JP7374900B2 - 光電変換素子 - Google Patents
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Description
<光電変換素子の全体構成>
図1は、第1実施形態に係る光電変換素子10の断面構成を示す。なお、図1に示す光電変換素子10の断面構成は、後述する本技術の第2~第4実施形態と共通する。第1実施形態に係る光電変換素子10は、例えば、CCDイメージセンサまたはCMOSイメージセンサ等の固体撮像装置の1つの画素(単位画素)を構成する。ここでは、いわゆる裏面照射型の固体撮像装置の画素を構成する場合を例示する。このため、図1において、光電変換素子10を構成する半導体基板11の受光面(図1の半導体基板11の上面)S1を「裏面」と呼び、半導体素子11の裏面S1とは反対側の面(図1の半導体基板11の下面)S2を「表面」と呼ぶ。
前述したSiバルク分光で2色の信号を取り出し、Siバルク上に設けられた有機光電変換膜で1色の信号を取り出す撮像素子では、一般に、有機光電変換膜は、p型有機半導体材料とn型有機半導体材料とが不規則に混合されたバルクヘテロ構造を有する。バルクヘテロ構造では、有機半導体材料がアモルファス状態で存在することが多い。一般的にアモルファス有機半導体は結晶に比べてエネルギー分散が大きいため移動度が低い。移動度が低下すると、電荷分離界面で発生した電荷が電極に到達するまでに要する時間が長くなるため、残像特性が低下するという課題がある。そこで、第1実施形態では、エネルギー分散の小さく移動度の高いアモルファス有機半導体を用いることによって、残像特性を向上させることが可能な光電変換素子を提供する。
HOMO体積率=HOMO体積/1分子の占有体積 …(1)
LUMO体積率=LUMO体積/1分子の占有体積 …(2)
計算例1~7として、上記式(1-15)に示したペンタセン、上記式(3)に示したキナクリドン、下記式(9)に示したベンゾチエノベンゾチオフェノン誘導体(DPh-BTBT)、下記式(10)に示したF6-OC6F5、下記式(11)に示したF6-OPh2,6F2、下記式(12)に示したNTCD-Ph、下記式(13)に示したB4PyMPMについて、HOMO体積率およびLUMO体積率を計算した。
第2実施形態に係る光電変換素子10も、図1に示した断面構造を有し、第1実施形態に係る光電変換素子の構造と共通する。しかしながら、第2実施形態に係る光電変換素子10は、有機光電変換層17の構成が第1実施形態と相違する。以下では有機光電変換層17の構成に着目して説明し、第1実施形態との共通部分の説明を省略する。
石英ガラス基板をUV/オゾン処理にて洗浄したのち、有機蒸着装置を用いて、1×10-5Pa以下の真空下で基板ホルダを回転させながら抵抗加熱法により有機光電変換層を成膜した。まず、下記式(14-1)に示したキナクリドン誘導体(QD),下記式(14-2)に示したキナクリドン誘導体(BQD),下記式(14-3)に示したキナクリドン誘導体(MMQD),下記式(15)に示したBP-ChDT,上記式(6-1)に示したC60,下記式(16)に示したF6-SubPc-F,下記式(17)に示したサブフタロシアニン誘導体(F6-SubPc-OPh2,6F2)の単膜をそれぞれ成膜し、試料1~7とした。その後、化合物の組み合わせおよび成膜レート比がQD:F6-SubPc-F=5:5、QD:F6-SubPc-F=7:3、BQD:QD:F6-SubPc-F=3.5:3.5:3、BP-ChDT:C60:F6-SubPc-OPh2,6F2=3;3:4、BP-ChDT:C60:F6-SubPc-OPh2,6F2=4:24:4:2の共蒸着膜をそれぞれ成膜し、試料8~12とした。試料1~7の単膜の膜厚を50nm、試料8~12の共蒸着膜の膜厚を230nmとした。
第3実施形態に係る光電変換素子10も、図1に示した断面構造を有し、第1および第2実施形態に係る光電変換素子の構造と共通する。しかしながら、第3実施形態に係る光電変換素子10は、有機光電変換層17の構成が第1および第2実施形態と相違する。以下では有機光電変換層17の構成に着目して説明し、第1および第2実施形態との共通部分の説明を省略する。
まず、第2有機半導体材料(n型有機半導体材料)として上記式(6-1)に示したC60、第3有機半導体材料(色素材料)として上記式(11)に示したF6-OPh2,6F2を採用し、C60およびF6-OPh2,6F2についての最も安定な二量体構造を求めた。計算は密度汎関数法で行い、分子の構造最適化時には汎関数B3LYP、基底関数6-31G(d)を用い、分子軌道とエネルギー計算時には汎関数B3LYP、基底関数6-311++G(d,p)を用いた。
第4実施形態に係る光電変換素子10も、図1に示した断面構造を有し、第1~第3実施形態に係る光電変換素子の構造と共通する。しかしながら、第4実施形態に係る光電変換素子10は、有機光電変換層17の構成が第1~第3実施形態と相違する。以下では有機光電変換層17の構成に着目して説明し、第1~第3実施形態との共通部分の説明を省略する。
[実験例1~3の試料作成方法]
実験例1~3の試料を以下の手順で作製した。石英基板上にスパッタリング装置を用いて厚さ100nmのITOを成膜し、フォトリソグラフィーとエッチングにより、ITO膜をパターニングし、下部電極を形成した。この基板をUV/オゾン処理にて洗浄した後、基板を真空蒸着機に移し、1×10-5Pa以下に減圧された状態で、基板ホルダを回転させながら、抵抗加熱法によって有機材料を成膜した。次に、第3有機半導体材料43を上記式(17)に示したF6-SubPc-OPh2,6F2、第2有機半導体材料42を上記式(6-1)に示したC60として、第3有機半導体材料43の成膜レートを0.50Å/秒、第2有機半導体材料42の成膜レートを0.25Å/秒とし、図15に模式的に示すように、基板51上に第2有機半導体材料42をXnm、第3有機半導体材料43をYnm、第2有機半導体材料42をXnm、第3有機半導体材料43をYnm、…と、総膜厚が45nmとなるまで交互に積層して成膜した後、ITOを50nmの厚みで成膜して上部電極52を形成した。実験例1は(X、Y)=(1、2)、実験例2は(X、Y)=(1.5、3)、実験例3は、(X、Y)=(3、6)とした。
実験例1~3について、PL測定を行った。ラマン分光装置を用いて、励起に波長532nmのYAGレーザーを使用し、測定波長範囲は500~1000nmとした。レーザーを強く照射すると有機膜にダメージが与えられるため、発光スペクトルが確認できる最小限の光量にNDフィルタを用いて調整し、ITOの上から光照射する形で測定した。実験例1~3で用いた第3有機半導体材料43としてのF6-SubPc-OPh2,6F2は、500nm~600nmの波長領域、即ち緑色を吸収する有機半導体材料である。500nm~600nmの波長領域に含まれる532nmを励起波長とした。532nmの波長で励起された第3有機半導体材料43の発光ピークは520~580nmの領域に観測される。
実験例4~7として、第1ドメイン17Aを構成する第1有機半導体材料41と、第2ドメイン17Bを構成する第2有機半導体材料42と第3有機半導体材料43とを有する光電変換素子を作製した。実験例4~7の作製方法としては、石英基板上にスパッタリング装置を用いて厚さ100nmのITOを成膜し、フォトリソグラフィーとエッチングにより、ITO膜をパターニングし、ITO下部電極を形成した。この基板をUV/オゾン処理にて洗浄した後、基板を真空蒸着機に移し、1×10-5Pa以下に減圧された状態で、基板ホルダを回転させながら、抵抗加熱法によって有機材料の成膜を行った。はじめに電子ブロッキング層として、下記式(18)に示したHTM105を基板温度0℃にて10nm成膜し、次に基板温度40℃にて第3有機半導体材料43として上記式(17)に示したF6-SubPc-OPh2,6F2、第1有機半導体材料として下記式(19)に示したBP-rBDT、第2有機半導体材料42としてC60を成膜レート、それぞれ、0.50Å/秒、0.50Å/秒、0.25Å/秒で、混合層の厚さが230nmとなるように成膜した。最後に、正孔ブロッキング層として、下記式(20)に示したNDI-35を基板温度0℃にて10nm成膜した。続いて、スパッタリング装置に基板を移し、ITOを50nmの厚みで成膜し、上部電極を形成した。以上の作製方法により1mm×1mmの光電変換領域を有する光電変換素子を作製した。作製した素子は、N2雰囲気下で、150℃、210分アニールを行った。
緑色LED光源からバンドパスフィルターを介して光電変換素子に照射される光の波長を560nm、光量を1.62μW/cm2とし、光電変換素子の電極間に印加されるバイアス電圧を半導体パラメータアナライザを用いて制御し、上部電極に対し、下部電極に印加する電圧を掃引することで、電流―電圧曲線を得た。バイアス電圧を-2.6Vとした場合の明電流値および暗電流値を計測し、EQEを算出した。
実験例4~7に対してPL測定を行った。PL測定は、ラマン分光装置を用いて、励起に波長532nmのYAGレーザーを使用し、測定波長範囲は500nm以上1000nm以下とした。レーザーを強く照射すると有機膜にダメージを与えるため、発光スペクトルが確認できる最小限の光量にNDフィルタを用いて調整し、ITOの上から光照射することにより測定した。
第5実施形態に係る光電変換素子10も、図1に示した断面構造を有し、第1~第4実施形態に係る光電変換素子の構造と共通する。しかしながら、第5実施形態に係る光電変換素子10は、有機光電変換層17の構成が第1~第4実施形態と相違する。以下では有機光電変換層17の構成に着目して説明し、第1~第4実施形態との共通部分の説明を省略する。
[実験例10~14の試料作成方法]
実験例10の作製方法としては、石英基板上にスパッタリング装置を用いて厚さ100nmのITOを成膜し、フォトリソグラフィーとエッチングにより、ITO膜をパターニングし、ITO下部電極を形成した。この基板をUV/オゾン処理にて洗浄した後、基板を真空蒸着機に移し、1×10-5Pa以下に減圧された状態で、基板ホルダを回転させながら、抵抗加熱法によって有機材料の成膜を行った。はじめに電子ブロッキング層として、上記式(18)に示したHTM105を基板温度0℃にて10nm成膜し、次に基板温度40℃にて、第1有機半導体材料として上記式(19)に示したBP-rBDT、第2有機半導体材料としてC60、第3有機半導体材料43として上記式(17)に示したF6-SubPc-OPh2,6F2を成膜レート、それぞれ、0.50Å/秒、0.50Å/秒、0.25Å/秒で、混合層の厚さが230nmとなるように成膜した。最後に、正孔ブロッキング層として、上記式(20)に示したNDI-35を基板温度0℃にて10nm成膜した。続いて、スパッタリング装置に基板を移し、ITOを50nmの厚みで成膜し、上部電極を形成した。以上の作製方法により1mm×1mmの光電変換領域を有する光電変換素子を作製した。作製した素子は、N2雰囲気下で、150℃、210分アニールを行った。
緑色LED光源からバンドパスフィルターを介して光電変換素子に照射される光の波長を560nm、光量を1.62μW/cm2とし、光電変換素子の電極間に印加されるバイアス電圧を半導体パラメータアナライザを用いて制御し、上部電極に対し、下部電極に印加する電圧を掃引することで、電流―電圧曲線を得た。バイアス電圧を-2.6Vとした場合の明電流値および暗電流値を計測し、EQEを算出した。
エネルギーギャップEg(C60)の測定方法としては、紫外光電子分光(UPS)測定により検出されるC60のHOMO由来のピーク立ち上がり部と逆光電子分光(IPES)測定により検出されるC60のLUMO由来のピーク立ち上がり部とのエネルギー差を用いた。
第1~第5実施形態に係る光電変換素子10をそれぞれ画素として用いて、図23に示すように固体撮像装置1を構成することができる。この固体撮像装置1は、CMOSイメージセンサであり、半導体基板11上に、撮像エリアとしての画素領域4を有すると共に、この画素領域4の周辺領域に、例えば、垂直駆動回路5、カラム選択回路6、水平駆動回路7、出力回路8および制御回路9からなる周辺回路部(5,6,7,8,9)を有する。
上記第1適用例に係る固体撮像装置1は、例えば、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、撮像機能を有する携帯電話等、撮像機能を備えたあらゆるタイプの電子機器に適用することができる。例えば、図24に示すように、第2適用例としての電子機器2(カメラ)の概略構成を示す。この電子機器2は、例えば、静止画または動画を撮影可能なビデオカメラであり、固体撮像装置1と、光学系(光学レンズ)201と、シャッタ装置202と、固体撮像装置1およびシャッタ装置202を駆動する駆動部204と、信号処理部203とを有する。光学系201は、被写体からの像光(入射光)を固体撮像装置1の画素領域4へ導く。この光学系201は、複数の光学レンズから構成されていてもよい。シャッタ装置202は、固体撮像装置1への光照射期間および遮光期間を制御する。駆動部204は、固体撮像装置1の転送動作およびシャッタ装置202のシャッタ動作を制御する。信号処理部203は、固体撮像装置1から出力された信号に対し、各種の信号処理を行う。信号処理後の映像信号は、メモリ等の記憶媒体に記憶されるか、あるいは、モニタ等に出力される。
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械(トラクター)などのいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
支持アーム装置5027は、ベース部5029から延伸するアーム部5031を備える。図示する例では、アーム部5031は、関節部5033a、5033b、5033c、及びリンク5035a、5035bから構成されており、アーム制御装置5045からの制御により駆動される。アーム部5031によって内視鏡5001が支持され、その位置及び姿勢が制御される。これにより、内視鏡5001の安定的な位置の固定が実現され得る。
内視鏡5001は、先端から所定の長さの領域が患者5071の体腔内に挿入される鏡筒5003と、鏡筒5003の基端に接続されるカメラヘッド5005と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒5003を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡5001を図示しているが、内視鏡5001は、軟性の鏡筒5003を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。
CCU5039は、CPU(Central Processing Unit)やGPU(Graphics Processing Unit)等によって構成され、内視鏡5001及び表示装置5041の動作を統括的に制御する。具体的には、CCU5039は、カメラヘッド5005から受け取った画像信号に対して、例えば現像処理(デモザイク処理)等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。CCU5039は、当該画像処理を施した画像信号を表示装置5041に提供する。また、CCU5039は、カメラヘッド5005に対して制御信号を送信し、その駆動を制御する。当該制御信号には、倍率や焦点距離等、撮像条件に関する情報が含まれ得る。
支持アーム装置5027は、基台であるベース部5029と、ベース部5029から延伸するアーム部5031と、を備える。図示する例では、アーム部5031は、複数の関節部5033a、5033b、5033cと、関節部5033bによって連結される複数のリンク5035a、5035bと、から構成されているが、図27では、簡単のため、アーム部5031の構成を簡略化して図示している。実際には、アーム部5031が所望の自由度を有するように、関節部5033a~5033c及びリンク5035a、5035bの形状、数及び配置、並びに関節部5033a~5033cの回転軸の方向等が適宜設定され得る。例えば、アーム部5031は、好適に、6自由度以上の自由度を有するように構成され得る。これにより、アーム部5031の可動範囲内において内視鏡5001を自由に移動させることが可能になるため、所望の方向から内視鏡5001の鏡筒5003を患者5071の体腔内に挿入することが可能になる。
光源装置5043は、内視鏡5001に術部を撮影する際の照射光を供給する。光源装置5043は、例えばLED、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成される。このとき、RGBレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色(各波長)の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置5043において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、RGBレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド5005の撮像素子の駆動を制御することにより、RGBそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にカラーフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。
図28を参照して、内視鏡5001のカメラヘッド5005及びCCU5039の機能についてより詳細に説明する。図28は、図27に示すカメラヘッド5005及びCCU5039の機能構成の一例を示すブロック図である。
上記のように、本技術は第1~第5実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面は本技術を限定すると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
(1)
対向配置された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた光電変換層とを備え、
前記光電変換層が、第1有機半導体材料および第2有機半導体材料を含み、
前記第1有機半導体材料および前記第2有機半導体材料の少なくとも一方が、HOMO体積率が0.15以下、またはLUMO体積率が0.15以下の有機分子である、光電変換素子。
(2)
対向配置された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた光電変換層とを備え、
前記光電変換層が2種類以上の有機半導体材料で構成され、
前記光電変換層の膜密度をmとし、前記光電変換層を構成する各有機半導体材料の単膜の膜密度の組成に対する加重平均をnとしたときに、m/nが1以上である、光電変換素子。
(3)
前記光電変換層を構成する有機半導体材料の少なくとも1つが正孔輸送性材料である、前記(1)または(2)に記載の光電変換素子。
(4)
前記光電変換層が、前記正孔輸送性材料を重量比で30%以上含む、前記(3)に記載の光電変換素子。
(5)
対向配置された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた光電変換層とを備え、
前記光電変換層が、第1~第3有機半導体材料を含み、
前記第2有機半導体材料が、隣接する前記第3有機半導体材料との配位構造として最も安定な構造のみである比率が、0.5以上である、光電変換素子。
(6)
前記第1有機半導体材料が、電子供与性を有し、
前記第2有機半導体材料が、電子受容性を有し、
前記第3有機半導体材料が、光を吸収して励起する色素材料である、前記(5)に記載の光電変換素子。
(7)
量子化学計算から算出される最も安定な前記第2有機半導体材料と前記第3有機半導体材料の二量体構造における前記第3有機半導体材料の重心と前記第2有機半導体材料の重心を通る軸に対して垂直且つ前記第3有機半導体材料の重心を通る面で分断する分断面を定義し、当該分断面で定義された2つの領域のうち、前記第2有機半導体材料が有る方向の領域を特定領域とし、前記光電変換層内の前記第2有機半導体材料のうち、隣接する前記第3有機半導体材料の前記分断面で定義された前記特定領域にのみ位置する前記第2有機半導体材料の個数をNAとし、前記光電変換層内の前記第2有機半導体材料の総数をNとするとき、NA/N≧0.5を満たす、前記(5)または(6)に記載の光電変換素子。
(8)
前記第2有機半導体材料と、隣接する前記第3有機半導体材料との重心間距離が1.0nm以内である、前記(7)に記載の光電変換素子。
(9)
前記第2有機半導体材料は、フラーレンまたはフラーレン誘導体である、前記(5)~(8)のいずれかに記載の光電変換素子。
(10)
対向配置された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた光電変換層とを備え、
前記光電変換層が、第1~第3有機半導体材料を含み、
前記光電変換層が、前記第1有機半導体材料で構成される第1ドメインと、前記第2有機半導体材料と前記第3有機半導体材料が分子レベルで均一に相溶した第2ドメインとを有する、光電変換素子。
(11)
前記第1有機半導体材料が、電子供与性を有し、
前記第2有機半導体材料が、電子受容性を有し、
前記第3有機半導体材料が、光を吸収して励起する色素材料である、前記(10)に記載の光電変換素子。
(12)
前記第2有機半導体材料と前記第3有機半導体材料が分子間距離1.5nm未満で均一に相溶した、前記(10)または(11)に記載の光電変換素子。
(13)
前記第3有機半導体材料の持つ可視域吸収帯の波長によって励起した、前記光電変換層のPLスペクトルで、前記第3有機半導体材料の発光ピークの極大発光強度をAとし、前記第2有機半導体材料の発光ピークの極大発光強度をBとするとき、A/B<0.1を満たす、前記(10)~(12)のいずれかに記載の光電変換素子。
(14)
前記第3有機半導体材料は、500nm以上600nm以下の波長領域に極大吸収波長を有する、前記(10)~(13)のいずれかに記載の光電変換素子。
(15)
前記第3有機半導体材料は、520nm以上580nm以下の波長領域に極大発光強度を有する、前記(10)~(14)のいずれかに記載の光電変換素子。
(16)
前記第2有機半導体材料は、710nm以上740nm以下の波長領域に極大発光強度を有する、前記(10)~(15)のいずれかに記載の光電変換素子。
(17)
前記第2有機半導体材料は、フラーレンまたはフラーレン誘導体である、前記(10)~(16)のいずれかに記載の光電変換素子。
(18)
前記第3有機半導体材料の可視域吸収帯の波長によって励起した、前記光電変換層のPLスペクトルにおいて、710nm以上740nm以下の波長領域の極大波長が720nm以下である、前記(17)に記載の光電変換素子。
(19)
前記第1ドメインの結晶粒径が5nm以上20nm以下である、前記(10)~(18)のいずれかに記載の光電変換素子。
(20)
前記光電変換層において、前記第3有機半導体材料の質量含有率が、前記第2有機半導体材料の質量含有率よりも大きい、前記(10)~(19)のいずれかに記載の光電変換素子。
(21)
対向配置された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた光電変換層とを備え、
前記光電変換層が、少なくともフラーレンを含む2種類以上の有機半導体材料で構成され、
紫外光電子分光法および逆光電子分光法により測定した前記光電変換層中のフラーレンのエネルギーギャップの値が2.6eV以上である、光電変換素子。
(22)
前記光電変換層が、p型半導体材料及びn型半導体材料を含み、
前記n型半導体材料がフラーレンである、前記(21)に記載の光電変換素子。
(23)
前記光電変換層が、色素材料を更に含む、前記(22)に記載の光電変換素子。
(24)
前記エネルギーギャップの値が2.8eV以上3.1eV以下である、前記(21)~(23)のいずれかに記載の光電変換素子。
Claims (4)
- 対向配置された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた光電変換層とを備え、
前記光電変換層が、第1有機半導体材料および第2有機半導体材料を含み、
前記第1有機半導体材料および前記第2有機半導体材料のそれぞれが、HOMO体積率が0.15以下、またはLUMO体積率が0.15以下の有機分子である、光電変換素子。 - 前記第1有機半導体材料の前記HOMO体積率および前記LUMO体積率が0.15以下である、請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記第2有機半導体材料の前記HOMO体積率および前記LUMO体積率が0.15以下である、請求項2に記載の光電変換素子。
- 前記光電変換層が第3有機半導体材料を含み、
前記第3有機半導体材料が、HOMO体積率が0.15以下、またはLUMO体積率が0.15以下の有機分子である、請求項1乃至請求項3に記載の光電変換素子。
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JP2023131195A (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-22 | 株式会社東芝 | 光検出器及び放射線検出器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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