JP7369205B2 - 長寿命レーザチャンバ電極 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2019年5月10日出願のLONG LIFE LASER CHAMBER ELECTRODE(長寿命レーザチャンバ電極)と題された米国出願第62/845,926号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
1.レーザチャンバと、
レーザチャンバ内に少なくとも部分的に位置決めされる電極と、
レーザチャンバに接続可能な層形成ガスの供給源と、
電極に電気的に接続される電圧源であって、層形成ガスの存在下において、電極に対して電圧を供給して電極の表面でプラズマを生成し、電極上に保護層を形成するように構成された電圧源と、
を備える装置。
2.層形成ガスは、酸素含有ガスを含む、条項1に記載の装置。
3.酸素含有ガスは、O2を含む、条項2に記載の装置。
4.酸素含有ガスは、H2Oを含む、条項2に記載の装置。
5.酸素含有ガスは、H2O2を含む、条項2に記載の装置。
6.酸素含有ガスは、O3を含む、条項2に記載の装置。
7.酸素含有ガスは、亜酸化窒素を含む、条項2に記載の装置。
8.酸素含有ガスは、空気を含む、条項2に記載の装置。
9.保護層は、金属酸化物を含む、条項1~8のいずれか一項に記載の装置。
10.電極は真鍮を含み、保護層は酸化銅CuOを含む、条項2~8のいずれか一項に記載の装置。
11.電極は真鍮を含み、保護層は酸化亜鉛ZnOを含む、条項2~8のいずれか一項に記載の装置。
12.層形成ガスは、窒素含有ガスを含む、条項1に記載の装置。
13.窒素含有ガスは、N2を含む、条項12に記載の装置。
14.窒素含有ガスは、NH3を含む、条項12に記載の装置。
15.窒素含有ガスは、亜酸化窒素を含む、条項12に記載の装置。
16.窒素含有ガスは、空気を含む、条項12に記載の装置。
17.保護層は、金属窒化物を含む、条項12~16のいずれか一項に記載の装置。
18.電極は真鍮を含み、保護層は窒化銅を含む、条項12~16のいずれか一項に記載の装置。
19.電極は真鍮を含み、保護層は窒化亜鉛を含む、条項12~16のいずれか一項に記載の装置。
20.層形成ガスは、窒素含有および酸素含有ガスを含む、条項1に記載の装置。
21.窒素含有および酸素含有ガスは、亜酸化窒素を含む、条項20に記載の装置。
22.窒素含有および酸素含有ガスは、空気を含む、条項20に記載の装置。
23.保護層は、金属酸窒化物を含む、条項20~22のいずれか一項に記載の装置。
24.電極は真鍮を含み、保護層は酸窒化銅を含む、条項20~22のいずれか一項に記載の装置。
25.電極は真鍮を含み、保護層は酸窒化亜鉛を含む、条項20~22のいずれか一項に記載の装置。
26.レーザ放電チャンバ内の電極上に保護層を形成する方法であって、
レーザ放電チャンバに層形成ガスを追加し、所定の分圧を得ることと、
電極を用いて、レーザ放電チャンバ内で所定の時間にわたりプラズマを生成することと、
を含む方法。
27.層形成ガスは、酸素含有ガスを含む、条項26に記載の方法。
28.酸素含有ガスは、O2を含む、条項27に記載の方法。
29.酸素含有ガスは、H2Oを含む、条項27に記載の方法。
30.酸素含有ガスは、H2O2を含む、条項27に記載の方法。
31.酸素含有ガスは、O3を含む、条項27に記載の方法。
32.酸素含有ガスは、亜酸化窒素を含む、条項27に記載の方法。
33.酸素含有ガスは、空気を含む、条項27に記載の方法。
34.保護層は、金属酸化物を含む、条項26~33のいずれか一項に記載の方法。
35.電極は真鍮を含み、保護層は酸化銅CuOを含む、条項26~33のいずれか一項に記載の方法。
36.電極は真鍮を含み、保護層は酸化亜鉛ZnOを含む、条項26~33のいずれか一項に記載の方法。
37.層形成ガスは、窒素含有ガスを含む、条項26に記載の方法。
38.窒素含有ガスは、N2を含む、条項37に記載の方法。
39.窒素含有ガスは、NH3を含む、条項37に記載の方法。
40.窒素含有ガスは、亜酸化窒素を含む、条項37に記載の方法。
41.窒素含有ガスは、空気を含む、条項37に記載の方法。
42.保護層は、金属窒化物を含む、条項37~41のいずれか一項に記載の方法。
43.電極は真鍮を含み、保護層は窒化銅を含む、条項37~41のいずれか一項に記載の方法。
44.電極は真鍮を含み、保護層が窒化亜鉛を含む、条項37~41のいずれか一項に記載の方法。
45.層形成ガスは、窒素含有および酸素含有ガスを含む、条項26に記載の方法。
46.窒素含有および酸素含有ガスは、亜酸化窒素を含む、条項26に記載の方法。
47.窒素含有および酸素含有ガスは、空気を含む、条項26に記載の方法。
48.保護層は、金属酸窒化物を含む、条項45~47のいずれか一項に記載の方法。
49.電極は真鍮を含み、保護層は酸窒化銅を含む、条項45~47のいずれか一項に記載の方法。
50.電極は真鍮を含み、保護層は酸窒化亜鉛を含む、条項45~47のいずれか一項に記載の方法。
Claims (17)
- 1)レーザチャンバと、
2)レーザチャンバ内に少なくとも部分的に位置決めされる電極と、
3)前記レーザチャンバに接続可能な、酸素含有ガス及び/又は窒素含有ガスを含む層形成ガスの供給源と、
4)前記電極に電気的に接続される電圧源であって、前記層形成ガスの存在下において、前記電極に対して電圧を供給して前記電極の表面でプラズマを生成し、前記電極上に、金属酸化物、金属窒化物及び/又は金属酸窒化物を含む保護層を形成するように構成された電圧源と、
を備える装置。 - 前記酸素含有ガスは、O2、H2OまたはH2O2を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記酸素含有ガスは、O3を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記酸素含有ガスは、亜酸化窒素または空気を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記電極は真鍮を含み、前記保護層は酸化銅CuOまたは酸化亜鉛ZnOを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記層形成ガスは、N2またはNH3を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記保護層は前記金属窒化物を含み、前記電極は真鍮を含み、前記金属窒化物は窒化銅または窒化亜鉛である、請求項6に記載の装置。
- 前記保護層は酸窒化銅または酸窒化亜鉛を含み、前記電極は真鍮を含む、請求項1に記載の装置。
- 1)レーザチャンバと、
2)レーザチャンバ内に少なくとも部分的に位置決めされる真鍮を含む電極と、
3)前記レーザチャンバに接続可能な、酸素含有ガス及び/又は窒素含有ガスを含む層形成ガスの供給源と、
4)前記電極に電気的に接続される電圧源であって、前記層形成ガスの存在下において、前記電極に対して電圧を供給して前記電極の表面でプラズマを生成し、前記電極上に、金属酸化物、金属窒化物及び/又は金属酸窒化物を含む保護層を形成するように構成された電圧源と、
を備え、
前記酸素含有ガスは、O2、H2O、H2O2、O3、亜酸化窒素又は空気を含み、
前記窒素含有ガスは、N2またはNH3を含む、
装置。 - レーザ放電チャンバ内の電極上に保護層を形成する方法であって、
1)前記レーザ放電チャンバに層形成ガスを追加し、所定の分圧を得ることと、
2)前記電極を用いて、前記レーザ放電チャンバ内で所定の時間にわたりプラズマを生成することと、
を含み、
前記保護層は、金属酸化物、金属窒化物及び/又は金属酸窒化物を含み、
前記層形成ガスは、酸素含有ガス及び/又は窒素含有ガスを含む、
方法。 - 前記酸素含有ガスは、O2、H2O、H2O2、亜酸化窒素または空気を含む、請求項10に記載の方法。
- 前記酸素含有ガスは、O3を含む、請求項10に記載の方法。
- 前記電極は真鍮を含み、前記保護層は酸化銅CuOまたは酸化亜鉛ZnOを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記層形成ガスは、N2またはNH3を含み、前記保護層は、前記金属窒化物を含む、請求項10に記載の方法。
- 前記電極は真鍮を含み、前記金属窒化物は窒化銅または窒化亜鉛を含む、請求項14に記載の方法。
- 前記電極は真鍮を含み、前記保護層は酸窒化銅または酸窒化亜鉛を含む、請求項10に記載の方法。
- レーザ放電チャンバ内の電極上に保護層を形成する方法であって、
1)前記レーザ放電チャンバに層形成ガスを追加し、所定の分圧を得ることと、
2)前記電極を用いて、前記レーザ放電チャンバ内で所定の時間にわたりプラズマを生成することと、
を含み、
前記保護層は、金属酸化物、金属窒化物及び/又は金属酸窒化物を含み、
前記層形成ガスは、酸素含有ガス及び/又は窒素含有ガスを含み、
前記電極は、真鍮を含み、
前記酸素含有ガスは、O2、H2O、H2O2、O3、亜酸化窒素又は空気を含み、
前記窒素含有ガスは、N2またはNH3を含む、
方法。
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