JP7368138B2

JP7368138B2 - processing equipment

Info

Publication number: JP7368138B2
Application number: JP2019149046A
Authority: JP
Inventors: 崇史大森
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-08-15
Filing date: 2019-08-15
Publication date: 2023-10-24
Anticipated expiration: 2039-08-15
Also published as: JP2021034403A

Description

本発明は、チャックテーブルに保持された被加工物を撮影、表示する加工装置に関する。 The present invention relates to a processing device that photographs and displays a workpiece held on a chuck table.

半導体ウェーハやセラミックス、樹脂パッケージ基板、ＳｉＣウェーハ、サファイアウェーハ等各種板状の被加工物を個々のチップに分割するために、切削ブレードを用いる切削装置やレーザー光線を用いるレーザー加工装置などといった加工装置が使用される。このような加工装置は、分割予定ラインに沿って加工を施し、加工痕（切削溝やレーザー加工痕）を形成する。このような加工装置には、オペレータがその加工結果を確認するため、定期的、又は任意のタイミングで加工処理が停止されて、加工痕（切削溝やレーザー加工痕）を観察することができる機能が備えられている（特許文献１参照）。 In order to divide various plate-shaped workpieces such as semiconductor wafers, ceramics, resin package substrates, SiC wafers, and sapphire wafers into individual chips, processing equipment such as cutting equipment using cutting blades and laser processing equipment using laser beams are used. used. Such a processing device performs processing along the planned dividing line to form processing marks (cutting grooves and laser processing marks). Such processing equipment has a function that allows the operator to stop the processing periodically or at any time and observe the processing marks (cutting grooves and laser processing marks) in order to check the processing results. (See Patent Document 1).

特開２０１６－１９７７０２号公報Japanese Patent Application Publication No. 2016-197702

オペレータは、例えば、１本の分割予定ラインを蛇行無く加工できているかどうか確認する場合、分割予定ラインの端から端まで観察位置（撮影位置）を移動させながら、表示ユニットに表示される画像で加工痕の蛇行を目視で確認する。オペレータは、この際、観察位置（撮影位置）を移動させるための動作ボタンをずっと押しながら観察位置（撮影位置）を移動させるが、全ての被加工物でこの動作を実施させる場合、オペレータは同じボタン操作を繰り返し実施しなければならず、煩わしいという問題があった。また、所定の分割予定ラインで観察することが決まっている場合、この動作ボタンを操作しながらその分割予定ラインを探し出す必要があるため、その探し出す作業も手間がかかるという問題があった。このように、従来の加工装置では、どの被加工物も決まった位置を観察する、という作業のためにオペレータの作業時間及び工数がとられているという問題があった。 For example, when checking whether a single scheduled dividing line has been processed without meandering, the operator can move the observation position (photographing position) from one end of the scheduled dividing line to the other, and check the image displayed on the display unit. Visually check the meandering of the machining marks. At this time, the operator moves the observation position (photography position) while holding down the operation button for moving the observation position (photography position), but if this operation is to be performed on all workpieces, the operator must There was a problem that button operations had to be performed repeatedly, which was troublesome. Further, when it has been decided to observe along a predetermined dividing line, it is necessary to search for the dividing line while operating this operation button, which causes the problem that the task of searching is also time-consuming. As described above, conventional processing apparatuses have a problem in that the operator's work time and man-hours are taken up by the task of observing each workpiece at a fixed position.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物の決まった位置を観察する作業の作業時間及び工数を低減することができる加工装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and its purpose is to provide a processing device that can reduce the working time and man-hours for observing a fixed position of a workpiece. .

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、分割予定ラインを備える被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮影するカメラと、該カメラで撮影した画像を表示する表示ユニットと、該加工ユニット及び該カメラに対し、該チャックテーブルを該保持面と平行なＸ方向及びＹ方向に相対的に移動させる移動ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該移動ユニットが被加工物を撮影する該カメラを該チャックテーブルに対して相対的に移動させる検査ルートを該分割予定ライン上に設定し、該分割予定ライン上に設定した該検査ルートを登録する検査ルート登録部を備え、該検査ルート登録部に登録された該検査ルートの始点と終点との間の各検査位置において、該検査ルート登録部に登録された該検査ルートに従って該チャックテーブルに対して相対的に移動する該カメラで被加工物を撮影した画像を、該表示ユニットに表示させることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the objects, the processing apparatus of the present invention includes a chuck table that holds a workpiece with a dividing line on a holding surface, and a chuck table that holds a workpiece having a dividing line on a holding surface, and a A processing device comprising a processing unit that processes the workpiece along the dividing line, a camera that photographs the workpiece held on the chuck table, and a display unit that displays the image photographed by the camera. A movement unit that moves the chuck table relative to the processing unit and the camera in an X direction and a Y direction parallel to the holding surface, and a control unit that controls each component, the control unit sets an inspection route on the dividing line in which the moving unit moves the camera that photographs the workpiece relative to the chuck table, and the inspection route set on the dividing line is set on the dividing line. The chuck table is provided with an inspection route registration section to be registered, and at each inspection position between the start point and the end point of the inspection route registered in the inspection route registration section, the chuck table is arranged according to the inspection route registered in the inspection route registration section. The present invention is characterized in that an image taken of the workpiece by the camera moving relative to the object is displayed on the display unit.

該カメラで撮影した画像が記録される画像記録部を備えてもよい。また、該制御ユニットは、所定の該分割予定ラインが選択されることで、所定の該分割予定ラインの一方の端から他方の端までの全部を該検査ルートに設定して、該検査ルート登録部に登録させてもよい。また、該制御ユニットは、なぞられた部分を該検査ルートに設定して、該検査ルート登録部に登録させてもよい。また、該制御ユニットは、なぞられた部分を最近接の分割予定ライン上の位置に自動的に補正して該検査ルートに設定して、該検査ルート登録部に登録させてもよい。 The camera may include an image recording section that records images taken by the camera. Further, when the predetermined dividing line is selected, the control unit sets the entire area from one end of the prescribed dividing line to the other end as the inspection route, and registers the inspection route. You may register with the department. Further, the control unit may set the traced portion as the inspection route and register it in the inspection route registration section. Further, the control unit may automatically correct the traced portion to a position on the nearest scheduled division line, set it as the inspection route, and register it in the inspection route registration section.

本願発明は、被加工物の決まった位置を観察する作業の作業時間及び工数を低減することができる。 The present invention can reduce the work time and man-hours required for observing a fixed position of a workpiece.

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a processing device according to a first embodiment. 図２は、実施形態１に係る加工装置における検査ルート登録方法の設定画面の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a setting screen for an inspection route registration method in the processing apparatus according to the first embodiment. 図３は、実施形態１に係る加工装置における検査ルート登録の一例を説明する上面図である。FIG. 3 is a top view illustrating an example of inspection route registration in the processing apparatus according to the first embodiment. 図４は、実施形態１に係る加工装置において登録された検査ルートの一例を説明する上面図である。FIG. 4 is a top view illustrating an example of an inspection route registered in the processing apparatus according to the first embodiment. 図５は、実施形態１に係る加工装置において登録された検査ルートに従って撮影した画像の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of an image photographed according to a registered inspection route in the processing apparatus according to the first embodiment. 図６は、実施形態２に係る加工装置における検査ルート登録の一例を説明する上面図である。FIG. 6 is a top view illustrating an example of inspection route registration in the processing apparatus according to the second embodiment. 図７は、実施形態２に係る加工装置において登録された検査ルートの一例を説明する上面図である。FIG. 7 is a top view illustrating an example of an inspection route registered in the processing apparatus according to the second embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Modes (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. Further, the constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. Further, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態１に係る加工装置１は、被加工物２００を切削し、被加工物２００に加工痕である切削溝３００（図５等参照）を形成する装置である。また、加工装置１は、被加工物２００の加工中又は加工後の任意のタイミングで切削加工によって形成された切削溝３００のうち予め設定された検査ルート４００（図４参照）上の切削溝３００を撮像し、表示、記憶する装置でもある。なお、加工装置１は、本発明では、これに限定されず、被加工物２００にレーザー光線を照射して被加工物２００をレーザー加工し、レーザー加工によって形成されかつ検査ルート４００上の加工痕であるレーザー加工溝を撮像し、表示、記憶するレーザー加工装置であってもよい。 [Embodiment 1]
A processing apparatus 1 according to Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a processing device 1 according to the first embodiment. The processing apparatus 1 according to the first embodiment is an apparatus that cuts a workpiece 200 and forms cutting grooves 300 (see FIG. 5, etc.) that are processing marks on the workpiece 200. The processing device 1 also detects a cutting groove 300 on a preset inspection route 400 (see FIG. 4) among the cutting grooves 300 formed by cutting during or at any timing after processing the workpiece 200. It is also a device that captures, displays, and stores images. Note that, in the present invention, the processing device 1 is not limited to this, and processes the workpiece 200 by irradiating the workpiece 200 with a laser beam and processes the workpiece 200 with a laser beam, and processes marks formed by the laser processing and on the inspection route 400. It may be a laser processing device that images a certain laser processing groove, displays it, and stores it.

実施形態１において、加工装置１が切削する被加工物２００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物２００は、平坦な表面２０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン２０２によって区画された領域にデバイス２０３が形成されている。被加工物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４に粘着テープ２０５が貼着され、粘着テープ２０５の外縁部に環状フレーム２０６が装着されている。なお、被加工物２００は、本発明では、これに限定されず、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。 In the first embodiment, the workpiece 200 cut by the processing apparatus 1 is, as shown in FIG. 1, a disk-shaped semiconductor wafer whose base material is silicon, sapphire, silicon carbide (SiC), gallium arsenide, or the like. and optical device wafers. A device 203 is formed on a workpiece 200 in an area defined by a plurality of dividing lines 202 formed in a lattice shape on a flat surface 201 . The workpiece 200 has an adhesive tape 205 attached to the back surface 204 on the back side of the front surface 201, and an annular frame 206 attached to the outer edge of the adhesive tape 205. In the present invention, the workpiece 200 is not limited thereto, and may be a rectangular package substrate having a plurality of devices sealed with resin, a ceramic plate, a glass plate, or the like.

加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削加工を実施する加工ユニット２０と、カメラ３０と、表示ユニット４０と、移動ユニット５０と、制御ユニット６０と、を備える。加工装置１は、図１に示すように、加工ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。 As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 includes a chuck table 10, a processing unit 20 that performs cutting, a camera 30, a display unit 40, a movement unit 50, and a control unit 60. As shown in FIG. 1, the processing device 1 is a so-called facing dual type cutting device that includes two processing units 20, that is, a two-spindle dicer.

チャックテーブル１０は、複数の分割予定ライン２０２を備える被加工物２００を保持面１１で保持する。チャックテーブル１０は、被加工物２００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。チャックテーブル１０は、移動ユニット５０のＸ軸移動ユニット５１により移動自在で、不図示の回転駆動源により回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物２００を吸引保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０６をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。 The chuck table 10 holds a workpiece 200 having a plurality of planned dividing lines 202 on a holding surface 11 . The chuck table 10 has a flat holding surface 11 for holding a workpiece 200 formed on the upper surface, and a disk-shaped suction section made of porous ceramic or the like having a large number of porous holes, and a suction section located at the center of the top surface. It is disc-shaped and includes a frame that is fitted into the recess and fixed. The chuck table 10 is movable by an X-axis moving unit 51 of a moving unit 50, and is rotatably provided by a rotational drive source (not shown). The chuck table 10 has a suction section connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown), and suctions and holds the workpiece 200 on the entire holding surface 11 . Further, around the chuck table 10, as shown in FIG. 1, a plurality of clamp parts 12 for clamping the annular frame 206 are provided.

加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を分割予定ライン２０２に沿って加工して切削溝３００を形成する。加工ユニット２０は、切削ブレード２１と、スピンドルと、スピンドルハウジング２２と、を備える。切削ブレード２１は、Ｙ軸周りの回転動作が加えられて、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する。スピンドルは、Ｙ軸方向に沿って設けられ、先端でＹ軸周りに回転可能に切削ブレード２１を支持する。スピンドルハウジング２２は、スピンドルをＹ軸周りの回転動作を可能に収納する。加工ユニット２０は、スピンドルハウジング２２が、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、移動ユニット５０のＹ軸移動ユニット５２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、移動ユニット５０のＺ軸移動ユニット５３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 The processing unit 20 processes the workpiece 200 held on the chuck table 10 along the dividing line 202 to form a cutting groove 300 . The processing unit 20 includes a cutting blade 21, a spindle, and a spindle housing 22. The cutting blade 21 is rotated about the Y axis to cut the workpiece 200 held on the chuck table 10 . The spindle is provided along the Y-axis direction, and supports the cutting blade 21 rotatably around the Y-axis at its tip. The spindle housing 22 accommodates the spindle so that it can rotate around the Y axis. The processing unit 20 is provided with a spindle housing 22 movable in the Y-axis direction by a Y-axis movement unit 52 of a movement unit 50 with respect to a workpiece 200 held on the chuck table 10, and It is provided movably in the Z-axis direction by a Z-axis moving unit 53.

カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影することで、観察支援処理の一部を担う。カメラ３０は、実施形態１では、加工ユニット２０と一体的に移動するように、加工ユニット２０に固定されている。カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された切削加工処理前の被加工物２００の分割予定ライン２０２、及び、切削加工処理後の被加工物２００の加工痕である切削溝３００を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。 The camera 30 plays a part in the observation support process by photographing the workpiece 200 held on the chuck table 10. In the first embodiment, the camera 30 is fixed to the processing unit 20 so as to move integrally with the processing unit 20. The camera 30 is an image sensor that captures an image of a dividing line 202 of the workpiece 200 before the cutting process held on the chuck table 10 and a cutting groove 300 that is a machining mark on the workpiece 200 after the cutting process. It is equipped with The image sensor is, for example, a CCD (Charge-Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary MOS) image sensor.

カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された切削加工処理前の被加工物２００を撮像して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット６０に出力する。また、カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された切削加工後の被加工物２００を撮像して、得た画像を制御ユニット６０に出力する。 The camera 30 captures an image of the workpiece 200 held on the chuck table 10 before cutting processing, and obtains an image for performing alignment for aligning the workpiece 200 and the cutting blade 21. The obtained image is output to the control unit 60. Further, the camera 30 images the cut workpiece 200 held on the chuck table 10 and outputs the obtained image to the control unit 60.

表示ユニット４０は、切削加工の各動作や画像及びカメラ３０が撮像した切削溝３００の画像などを表示する液晶表示装置などにより構成され、制御ユニット６０と情報通信可能に電気的に接続されている。表示ユニット４０は、同様に制御ユニット６０と情報通信可能に電気的に接続されている報知ユニット４１及び入力ユニット４２と連携されている。 The display unit 40 is constituted by a liquid crystal display device, etc., which displays each cutting operation and image, and the image of the cutting groove 300 captured by the camera 30, and is electrically connected to the control unit 60 so as to be able to communicate information. . The display unit 40 is also linked to a notification unit 41 and an input unit 42, which are electrically connected to the control unit 60 so as to be able to communicate information.

報知ユニット４１は、切削加工及びカーフチェックを含む観察支援処理に関する各動作の状態に基づいて報知する発光ダイオード（Light Emitting Diode、ＬＥＤ）などにより構成される。入力ユニット４２は、オペレータが切削加工の加工条件、及び検査ルート４００等の情報等を入力及び登録等する際に用いるものであり、表示ユニット４０に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。 The notification unit 41 includes a light emitting diode (LED), etc. that provides notification based on the status of each operation related to observation support processing including cutting and kerf checking. The input unit 42 is used by the operator to input and register information such as machining conditions for cutting and the inspection route 400, and includes at least a touch panel provided on the display unit 40, a keyboard, etc. Consists of one.

移動ユニット５０は、図１に示すように、Ｘ軸移動ユニット５１と、Ｙ軸移動ユニット５２と、Ｚ軸移動ユニット５３と、を備える。Ｘ軸移動ユニット５１は、チャックテーブル１０を加工ユニット２０に対して相対的に、水平方向の一方向であるＸ軸方向に沿って加工送りする。Ｙ軸移動ユニット５２は、加工ユニット２０をチャックテーブル１０に対して相対的に、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向に沿って割り出し送りする。Ｚ軸移動ユニット５３は、加工ユニット２０をチャックテーブル１０に対して相対的に、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方と直交し鉛直方向に平行なＺ軸方向に沿って切り込み送りする。 The moving unit 50 includes an X-axis moving unit 51, a Y-axis moving unit 52, and a Z-axis moving unit 53, as shown in FIG. The X-axis moving unit 51 processes and feeds the chuck table 10 along the X-axis direction, which is one horizontal direction, relative to the processing unit 20. The Y-axis moving unit 52 indexes and feeds the processing unit 20 relative to the chuck table 10 along the Y-axis direction, which is another horizontal direction and perpendicular to the X-axis direction. The Z-axis moving unit 53 cuts and feeds the processing unit 20 relative to the chuck table 10 along the Z-axis direction, which is orthogonal to both the X-axis direction and the Y-axis direction and parallel to the vertical direction.

制御ユニット６０は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する切削加工及びカーフチェックを含む観察支援処理に関する各動作を加工装置１に実施させるものである。 The control unit 60 controls each component of the processing apparatus 1 and causes the processing apparatus 1 to perform various operations related to observation support processing including cutting and kerf checking on the workpiece 200.

制御ユニット６０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット６０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。 Control unit 60 includes a computer system in the first embodiment. The control unit 60 includes an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and an input/output interface device. and has. The arithmetic processing device performs arithmetic processing according to the computer program stored in the storage device, and outputs control signals for controlling the processing device 1 to each component of the processing device 1 via the input/output interface device. do.

制御ユニット６０は、検査ルート登録部６１と、画像記録部６２と、を備える。検査ルート登録部６１及び画像記録部６２は、いずれも、制御ユニット６０の記憶装置により実現される。検査ルート登録部６１は、移動ユニット５０が被加工物２００を撮影するカメラ３０をチャックテーブル１０に対し相対的に移動させる検査ルート４００を登録する。検査ルート登録部６１は、より詳細には、オペレータが観察する被加工物２００の決まった位置を経路に含む検査ルート４００を登録する。画像記録部６２は、カメラ３０で撮影した画像を記録する。画像記録部６２は、より詳細には、検査ルート４００の経路上の各位置においてカメラ３０で撮影した被加工物２００の画像を記録する。 The control unit 60 includes an inspection route registration section 61 and an image recording section 62. Both the inspection route registration section 61 and the image recording section 62 are realized by the storage device of the control unit 60. The inspection route registration unit 61 registers an inspection route 400 along which the moving unit 50 moves the camera 30 that photographs the workpiece 200 relative to the chuck table 10. More specifically, the inspection route registration unit 61 registers an inspection route 400 whose route includes a fixed position of the workpiece 200 observed by the operator. The image recording unit 62 records images taken by the camera 30. More specifically, the image recording unit 62 records images of the workpiece 200 taken by the camera 30 at each position on the inspection route 400.

また、加工装置１は、図１に示すように、切削加工前後の被加工物２００を収容するカセット７０と、カセット７０の収容前後の被加工物２００を仮置きする仮置きユニット７１と、切削加工後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット９０と、被加工物２００をチャックテーブル１０、カセット７０、仮置きユニット７１及び洗浄ユニット９０の間で搬送する搬送ユニット８０と、をさらに備える。 As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 also includes a cassette 70 that stores the workpieces 200 before and after cutting, a temporary storage unit 71 that temporarily stores the workpieces 200 before and after the cassette 70 is stored, and The apparatus further includes a cleaning unit 90 that cleans the workpiece 200 after processing, and a transport unit 80 that transports the workpiece 200 between the chuck table 10, the cassette 70, the temporary storage unit 71, and the cleaning unit 90.

加工装置１は、被加工物２００の分割予定ライン２０２の本数、分割予定ライン２０２同士の間隔等の情報を含む加工条件が制御ユニット６０に登録された後に、搬送ユニット８０がカセット７０内から被加工物２００を１枚取り出して仮置きユニット７１で所定の位置に位置付けた後、チャックテーブル１０の保持面１１に載置する。加工装置１は、チャックテーブル１０の保持面１１で被加工物２００を吸引保持して、アライメントを遂行した後、加工ユニット２０から被加工物２００に切削水を供給しながら、回転駆動源及び移動ユニット５０によりチャックテーブル１０と加工ユニット２０とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させて、加工ユニット２０の切削ブレード２１で被加工物２００の分割予定ライン２０２を切削して切削溝３００を形成する。加工装置１は、被加工物２００の全ての分割予定ライン２０２を切削すると、被加工物２００を洗浄ユニット９０で洗浄した後にカセット７０内に収容する。 In the processing apparatus 1 , after processing conditions including information such as the number of planned dividing lines 202 of the workpiece 200 and the interval between the planned dividing lines 202 are registered in the control unit 60 , the transport unit 80 transfers the processed material from within the cassette 70 . After one workpiece 200 is taken out and positioned at a predetermined position by the temporary placement unit 71, it is placed on the holding surface 11 of the chuck table 10. The processing device 1 sucks and holds the workpiece 200 on the holding surface 11 of the chuck table 10 and performs alignment, and then supplies cutting water from the processing unit 20 to the workpiece 200 while using a rotational drive source and movement. The unit 50 relatively moves the chuck table 10 and the processing unit 20 along the planned dividing line 202, and the cutting blade 21 of the processing unit 20 cuts the planned dividing line 202 of the workpiece 200 to form the cutting groove 300. form. When the processing device 1 cuts all the scheduled dividing lines 202 of the workpiece 200, the workpiece 200 is cleaned by the cleaning unit 90 and then stored in the cassette 70.

図２は、実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法の設定画面１１０の一例を示す図である。図３は、実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録の一例を説明する上面図である。図４は、実施形態１に係る加工装置１において登録された検査ルートの一例である検査ルート４００を説明する上面図である。図５は、実施形態１に係る加工装置１において登録された検査ルート４００に従って撮影した画像の一例を示す図である。なお、図３及び図４では、粘着テープ２０５及び環状フレーム２０６が省略されている。以下において、図２から図５を用いて、実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理の詳細を説明する。 FIG. 2 is a diagram showing an example of a setting screen 110 for the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment. FIG. 3 is a top view illustrating an example of inspection route registration in the processing apparatus 1 according to the first embodiment. FIG. 4 is a top view illustrating an inspection route 400 that is an example of an inspection route registered in the processing apparatus 1 according to the first embodiment. FIG. 5 is a diagram showing an example of an image photographed according to the registered inspection route 400 in the processing apparatus 1 according to the first embodiment. Note that the adhesive tape 205 and the annular frame 206 are omitted in FIGS. 3 and 4. Below, details of the observation support processing performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment will be explained using FIGS. 2 to 5.

実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、制御ユニット６０は、アライメント終了後、切削加工開始前に、まず、オペレータに観察可能にする被加工物２００上の位置を経路に含む検査ルート４００と、検査ルート４００の画像を表示ユニット４０に表示するタイミングと、を登録する。実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、例えば、図２に示すような実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法の設定画面１１０をユーザインターフェイスとして、検査ルート４００の登録方式の入力を受け付ける。実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法の設定画面１１０は、図２に示すように、分割予定ライン２０２を選択する方式と、検査ルート４００をなぞる方式とのいずれか一方の選択を設定して登録する画面である。 In the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 first includes in the path a position on the workpiece 200 that is to be observed by the operator after the alignment ends and before the start of the cutting process. The inspection route 400 and the timing for displaying an image of the inspection route 400 on the display unit 40 are registered. In the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, for example, the inspection route 400 is displayed using a setting screen 110 for the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment as shown in FIG. 2 as a user interface. Accepts input of registration method. As shown in FIG. 2, the setting screen 110 for the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment allows selection of either a method of selecting the planned division line 202 or a method of tracing the inspection route 400. This is the screen for setting and registering.

分割予定ライン２０２を選択する方式では、選択された分割予定ライン２０２を一方の端から他方の端までの全部を検査ルート４００の経路に含ませる旨を設定して登録する方式である。なお、分割予定ライン２０２を選択する方式は、観察支援処理における観察対象が分割予定ライン２０２に限定される場合が多いという必要性に応じて設けられたものである。 The method of selecting the planned dividing line 202 is a method of setting and registering the selected scheduled dividing line 202 to be included in the entire inspection route 400 from one end to the other end. Note that the method of selecting the scheduled dividing line 202 was provided in response to the necessity that the observation target in the observation support process is often limited to the scheduled dividing line 202.

検査ルート４００をなぞる方式では、なぞられた部分をそのまま検査ルート４００の経路に含ませる旨を設定して登録する方式である。なお、検査ルート４００をなぞる方式では、選択箇所を最近接の分割予定ライン２０２上の位置に自動的に補正して、分割予定ライン２０２を選択する方式と同様に、分割予定ライン２０２を選択するように設定して登録することができる。また、検査ルート４００をなぞる方式では、このような補正をせず、分割予定ライン２０２を選択する方式とは異なり、観察支援処理における観察対象として分割予定ライン２０２以外を設定して登録することもできる。 The method of tracing the inspection route 400 is a method of setting and registering the traced portion to be included in the inspection route 400 as it is. In addition, in the method of tracing the inspection route 400, the selected part is automatically corrected to the position on the nearest planned dividing line 202, and the planned dividing line 202 is selected, similar to the method of selecting the planned dividing line 202. You can set and register as follows. Furthermore, in the method of tracing the inspection route 400, unlike the method of selecting the planned dividing line 202 without making such correction, it is also possible to set and register a line other than the planned dividing line 202 as an observation target in the observation support process. can.

実施形態１では、分割予定ライン２０２を選択する方式について説明する。検査ルート４００をなぞる方式については、後述する実施形態２で説明する。なお、実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法については、本発明では、これらの方式に限定されず、入力ユニット４２を介して設定及び登録をすることが可能な方式であれば、如何なる方式を採用してもよい。 In the first embodiment, a method for selecting the planned dividing line 202 will be described. A method of tracing the inspection route 400 will be explained in Embodiment 2, which will be described later. Note that the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment is not limited to these methods, but any method that allows setting and registration via the input unit 42 may be used. Any method may be adopted.

なお、以下において、Ｘ軸方向に沿った分割予定ライン２０２を選択する方式と、Ｙ軸方向に沿った分割予定ライン２０２を選択する方式と、両方の分割予定ライン２０２を共に選択する方式とは、分割予定ライン２０２の向きを除いて同様であるため、Ｘ軸方向に沿ったものについて詳細な説明だけをし、Ｙ軸方向に沿ったもの等については、その詳細な説明を省略する。 In addition, in the following, a method of selecting the planned division line 202 along the X-axis direction, a method of selecting the planned dividing line 202 along the Y-axis direction, and a method of selecting both planned dividing lines 202 are explained below. , are the same except for the direction of the scheduled dividing line 202, so only the detailed explanation along the X-axis direction will be given, and the detailed explanation of the ones along the Y-axis direction etc. will be omitted.

実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法では、まず、制御ユニット６０は、加工ユニット２０による切削加工を実施して切削溝３００を形成する前に、加工条件などを参照して、被加工物２００の表面２０１の一部または全体の画像を表示ユニット４０に表示させる。このアライメント用の画像は、具体的には、図３に示すように、切削溝３００が形成されていない被加工物２００の上面図である。なお、制御ユニット６０は、アライメントを遂行した時点で、全ての分割予定ライン２０２のチャックテーブル１０の保持面１１のＸＹ座標での位置及び向きを検出、認識しており、ＸＹ座標を以って正確に規定可能な状態となっている。 In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, first, before the processing unit 20 performs the cutting process to form the cutting groove 300, the control unit 60 refers to the processing conditions etc. An image of a part or the entire surface 201 of the workpiece 200 is displayed on the display unit 40. Specifically, this alignment image is a top view of the workpiece 200 in which the cutting groove 300 is not formed, as shown in FIG. It should be noted that the control unit 60 detects and recognizes the position and orientation of the holding surface 11 of the chuck table 10 of all scheduled division lines 202 in XY coordinates at the time of performing the alignment. It is now possible to define accurately.

実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法では、次に、制御ユニット６０は、入力ユニット４２を介して、オペレータによる観察対象に含めたい分割予定ライン２０２の選択を受け付ける。実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法では、制御ユニット６０は、例えば、図３に示す分割予定ライン２０２－１と分割予定ライン２０２－２とをオペレータが画面に表示させ選択することで、分割予定ライン２０２－１と分割予定ライン２０２－２の選択を受け付ける。実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方式では、制御ユニット６０は、このような分割予定ライン２０２－１，２０２－２の選択を受け付けると、表示ユニット４０に表示させている画面において、選択を受け付けた分割予定ライン２０２－１，２０２－２を強調表示する等して、分割予定ライン２０２－１，２０２－２の選択を受け付けた旨をオペレータに視認可能にしてもよい。 In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 next receives, via the input unit 42, the operator's selection of the planned dividing line 202 to be included in the observation target. In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 allows the operator to display and select the planned dividing line 202-1 and the planned dividing line 202-2 shown in FIG. 3 on the screen, for example. Then, the selection of the planned dividing line 202-1 and the planned dividing line 202-2 is accepted. In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, when the control unit 60 receives the selection of the planned division lines 202-1 and 202-2, the control unit 60 selects the following on the screen displayed on the display unit 40: The division schedule lines 202-1 and 202-2 whose selections have been accepted may be highlighted so that the operator can visually recognize that the selections of the division schedule lines 202-1 and 202-2 have been accepted.

実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法では、次に、制御ユニット６０は、分割予定ライン２０２－１，２０２－２の選択を受け付けた状態で、その他の分割予定ライン２０２の選択を受け付けることを終了すると、図４に示すように、分割予定ライン２０２－１，２０２－２を経路に含む検査ルート４００を生成する。実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法では、具体的には、制御ユニット６０は、分割予定ライン２０２－１の一方の端から他方の端までの全部を経路に含む第１検査ルート部分４０１と、分割予定ライン２０２－２の一方の端から他方の端までの全部を経路に含む第３検査ルート部分４０３と、第１検査ルート部分４０１と第３検査ルート部分４０３とを最短で接続するための第２検査ルート部分４０２と、をそれぞれ生成し、第１検査ルート部分４０１、第２検査ルート部分４０２及び第３検査ルート部分４０３を接続して検査ルート４００を生成する。 In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 next selects the other planned dividing lines 202 while accepting the selection of the planned dividing lines 202-1 and 202-2. When the acceptance is completed, as shown in FIG. 4, an inspection route 400 including the scheduled dividing lines 202-1 and 202-2 is generated. Specifically, in the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 creates a first inspection route that includes the entire route from one end of the scheduled dividing line 202-1 to the other end. A portion 401, a third inspection route portion 403 that includes the entire route from one end of the scheduled dividing line 202-2 to the other end, and a first inspection route portion 401 and a third inspection route portion 403 in the shortest possible time. A second inspection route portion 402 for connection is generated, respectively, and an inspection route 400 is generated by connecting the first inspection route portion 401, the second inspection route portion 402, and the third inspection route portion 403.

なお、実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方式では、選択された分割予定ライン２０２に基づく検査ルート部分４０１，４０３について、－Ｘ方向側の端を一方の端、すなわち始点とし、＋Ｘ方向側の端を他方の端、すなわち終点と設定しているが、本発明ではこれに限定されず、始点と終点との設定を逆にして検査ルート部分の向きを逆にしたり、始点と終点との設定を分割予定ライン２０２毎に交互にして検査ルート部分の向きを交互にしたりするなど、検査ルート部分の向きの設定を適宜変更することができる。 In addition, in the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, for the inspection route portions 401 and 403 based on the selected division line 202, the end on the −X direction side is set as one end, that is, the starting point, and the +X Although the end on the direction side is set as the other end, that is, the end point, the present invention is not limited to this, and the direction of the inspection route part can be reversed by reversing the settings of the start point and end point, or the start point and end point can be reversed. The setting of the orientation of the inspection route portion can be changed as appropriate, such as by alternating the settings for each scheduled dividing line 202 and alternating the orientation of the inspection route portion.

実施形態１に係る加工装置１における検査ルート登録方法では、制御ユニット６０は、上記のように生成した検査ルート４００を、検査ルート登録部６１に登録させる。 In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 causes the inspection route registration section 61 to register the inspection route 400 generated as described above.

実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、制御ユニット６０は、次に、上記のように生成し、検査ルート登録部６１に登録させた検査ルート４００に従って、移動ユニット５０のＸ軸移動ユニット５１及びＹ軸移動ユニット５２によりカメラ３０をＸＹ平面内に沿って移動させて、カメラ３０により、被加工物２００における検査ルート４００上の各検査位置の部分を撮影させて各撮影画像を取得する。 In the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 next performs the X The camera 30 is moved along the XY plane by the axis movement unit 51 and the Y-axis movement unit 52, and the camera 30 photographs a portion of each inspection position on the inspection route 400 of the workpiece 200, thereby obtaining each photographed image. get.

実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、制御ユニット６０は、具体的には、検査ルート４００の第１検査ルート部分４０１上の始点を含む検査位置４１１と、第１検査ルート部分４０１上の中点を含む検査位置４１２と、第１検査ルート部分４０１上の終点を含む検査位置４１３と、検査位置４１１と検査位置４１２との間の全ての各検査位置と、検査位置４１２と検査位置４１３との間の全ての各検査位置と、検査ルート４００の第３検査ルート部分４０３上の始点を含む検査位置４１４と、第３検査ルート部分４０３上の中点を含む検査位置４１５と、第３検査ルート部分４０３上の終点を含む検査位置４１６と、検査位置４１４と検査位置４１５との間の全ての各検査位置と、検査位置４１５と検査位置４１６との間の全ての各検査位置と、において、被加工物２００を撮影して各撮影画像を取得する。 In the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 specifically determines the inspection position 411 including the starting point on the first inspection route portion 401 of the inspection route 400 and the first inspection route. An inspection position 412 containing the midpoint on the section 401 , an inspection position 413 containing the end point on the first inspection route section 401 , every inspection position between the inspection positions 411 and 412 , and the inspection position 412 and each inspection position 413 , an inspection position 414 including the starting point on the third inspection route portion 403 of the inspection route 400 , and an inspection position 415 including the midpoint on the third inspection route portion 403 . , a test position 416 including the end point on the third test route portion 403 , all test positions between test positions 414 and 415 , and all test positions between test positions 415 and 416 . At the inspection position, the workpiece 200 is photographed to obtain each photographed image.

実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、制御ユニット６０は、例えば、図５の（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）のそれぞれに示すように、検査位置４１１，４１２，４１３のそれぞれにおいて、被加工物２００の分割予定ライン２０２と分割予定ライン２０２に沿って形成された切削溝３００とが撮影された撮影画像を取得する。 In the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 controls the inspection positions 411, 412, and 413, as shown in FIGS. In each case, a photographed image is obtained in which the planned dividing line 202 of the workpiece 200 and the cutting groove 300 formed along the planned dividing line 202 are photographed.

実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、制御ユニット６０は、例えば、図５の（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）のそれぞれに示す撮影画像も含め、検査ルート４００の第１検査ルート部分４０１上の全ての各検査位置を撮影した各撮影画像を、表示ユニット４０にオペレータが視認可能な所定の速度で次々に表示させる。また、実施形態１に係る加工装置１が実施する観察支援処理では、制御ユニット６０は、検査ルート４００の第３検査ルート部分４０３についても、検査ルート４００の第１検査ルート部分４０１と同様に、各撮影画像を表示ユニット４０に次々に表示させる。このようにすることで、オペレータは、被加工物２００の決まった位置である、オペレータが選択した分割予定ライン２０２－１，２０２－２を、作業時間及び工数をあまりかけることなく、容易に観察することができ、例えば、分割予定ライン２０２－１，２０２－２に形成された切削溝３００の蛇行の有無を容易に検査することができる。制御ユニット６０は、このように次々に動画的に各撮影画像を表示ユニット４０に表示させることで、オペレータが切削溝３００の蛇行の発生を容易に目視で判別することを可能にする。 In the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 controls the first inspection route 400, including the captured images shown in FIGS. The images taken at all the inspection positions on the inspection route portion 401 are displayed one after another on the display unit 40 at a predetermined speed that is visible to the operator. In addition, in the observation support process performed by the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the control unit 60 also performs the following operations on the third inspection route portion 403 of the inspection route 400 in the same way as the first inspection route portion 401 of the inspection route 400. Each photographed image is displayed one after another on the display unit 40. In this way, the operator can easily observe the division lines 202-1 and 202-2 selected by the operator, which are fixed positions on the workpiece 200, without spending much time or man-hours. For example, the presence or absence of meandering in the cut grooves 300 formed on the scheduled dividing lines 202-1 and 202-2 can be easily inspected. The control unit 60 allows the operator to easily visually determine the occurrence of meandering in the cut groove 300 by displaying each photographed image one after another in a moving image on the display unit 40 in this way.

また、制御ユニット６０は、本発明ではこの表示形態に限定されず、例えば、検査位置４１１，４１２，４１３における撮影画像だけを選択的に順次表示してもよいし、それらの撮影画像を並べて一括して表示してもよく、これらの場合でも上記の表示形態と同様に、オペレータが切削溝３００の蛇行の発生を容易に目視で判別することを可能にする。また、このような表示形態を実施する場合、制御ユニット６０は、選択的に撮影画像を表示する箇所である検査位置４１１，４１２，４１３を検査ルート４００と共に、検査ルート登録部６１に登録させる。 Further, the control unit 60 is not limited to this display form in the present invention, and may, for example, selectively display only the photographed images at the inspection positions 411, 412, and 413 sequentially, or may display these photographed images side by side at once. In these cases as well, the operator can easily visually determine the occurrence of meandering in the cut groove 300, similar to the display format described above. Further, when implementing such a display form, the control unit 60 registers the inspection positions 411, 412, and 413, which are locations where photographed images are selectively displayed, in the inspection route registration section 61 together with the inspection route 400.

実施形態１に係る加工装置１は、以上のような構成を有するので、制御ユニット６０が、移動ユニット５０が被加工物２００を撮影するカメラ３０をチャックテーブル１０に対して相対的に移動させる検査ルート４００を登録する検査ルート登録部６１を備え、検査ルート登録部６１に登録された検査ルート４００に従ってチャックテーブル１０に対して相対的に移動するカメラ３０で被加工物２００を撮影した画像を、表示ユニット４０に表示させる。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータが被加工物２００の観察位置（撮影位置）を移動させるための動作ボタンをずっと押しながら観察位置（撮影位置）を移動させる等の煩わしい作業を必要としないので、被加工物２００の決まった位置を観察する作業の作業時間及び工数を低減することができるという作用効果を奏する。また、このため、実施形態１に係る加工装置１は、被加工物２００の決まった位置を観察する作業について、オペレータの熟練を不要とするという作用効果を奏する。 Since the processing apparatus 1 according to the first embodiment has the above configuration, the control unit 60 performs an inspection in which the movement unit 50 moves the camera 30 for photographing the workpiece 200 relative to the chuck table 10. It is equipped with an inspection route registration section 61 that registers a route 400, and captures an image of the workpiece 200 with a camera 30 that moves relative to the chuck table 10 according to the inspection route 400 registered in the inspection route registration section 61. Displayed on the display unit 40. For this reason, the processing apparatus 1 according to the first embodiment requires troublesome work such as the operator moving the observation position (photographing position) of the workpiece 200 while continuously pressing an operation button to move the observation position (photographing position). Since this method does not require , it is possible to reduce the working time and man-hours required for observing a fixed position of the workpiece 200. Further, for this reason, the processing apparatus 1 according to the first embodiment has the effect that the operator does not need to be skilled in the task of observing a fixed position of the workpiece 200.

また、実施形態１に係る加工装置１は、検査ルート４００に従って移動するカメラ３０で撮影した画像を記録する画像記録部６２をさらに備える。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータが被加工物２００の決まった位置を容易に再度観察することを可能にする。また、このため、実施形態１に係る加工装置１は、例えば、当該撮影画像が分割予定ライン２０２に沿ったものである場合、当該撮影画像を使用したカーフチェック等のその他の検査を可能にするという作用効果を奏する。また、このため、実施形態１に係る加工装置１は、被加工物２００の加工の証明やトレーサビリティとしても使用可能な撮影画像というデータを自動的に蓄積することができるという作用効果を奏する。 Furthermore, the processing apparatus 1 according to the first embodiment further includes an image recording unit 62 that records images taken by the camera 30 moving along the inspection route 400. Therefore, the processing apparatus 1 according to the first embodiment allows the operator to easily re-observe the fixed position of the workpiece 200. Further, for this reason, the processing device 1 according to the first embodiment enables other inspections such as a kerf check using the captured image, for example, when the captured image is along the division planned line 202. It has the following effects. Further, for this reason, the processing apparatus 1 according to the first embodiment has the effect of being able to automatically accumulate data such as photographed images that can be used as proof of processing of the workpiece 200 and traceability.

また、実施形態１に係る加工装置１は、アライメントを遂行するため等の被加工物２００の画像を使用して、分割予定ライン２０２の選択を受け付けることで、選択を受け付けた分割予定ライン２０２に沿った部分を含む検査ルート４００を生成する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータが、所定の分割予定ライン２０２で観察することが決まっている場合に、その分割予定ライン２０２を探し出すための煩わしい作業を必要としないので、分割予定ライン２０２を観察する作業の作業時間及び工数を低減することができるという作用効果を奏する。実施形態１に係る加工装置１は、切削加工処理前に遂行したアライメントを利用して、分割予定ライン２０２を基準にして検査ルート４００を生成するため、被加工物２００のチャックテーブル１０の保持面１１上における載置位置がずれた場合でも、観察対象となった分割予定ライン２０２を好適に観察可能とすることができるという作用効果を奏する。 In addition, the processing apparatus 1 according to the first embodiment uses an image of the workpiece 200 for performing alignment, etc., to accept the selection of the planned dividing line 202, and to apply the selected dividing planned line 202 to the selected dividing planned line 202. An inspection route 400 including a portion along the route is generated. Therefore, the processing apparatus 1 according to the first embodiment does not require the operator to perform the troublesome work of searching for a predetermined dividing line 202 when the operator has decided to observe the specified dividing line 202. This has the effect that the work time and man-hours required for observing the planned division line 202 can be reduced. The processing apparatus 1 according to the first embodiment uses the alignment performed before the cutting process to generate the inspection route 400 based on the planned dividing line 202, so that the holding surface of the chuck table 10 of the workpiece 200 is Even if the placement position on the image forming apparatus 11 is shifted, the intended dividing line 202 to be observed can be suitably observed.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る加工装置１における検査ルート登録の一例を説明する上面図である。図７は、実施形態２に係る加工装置１において登録された検査ルート４３０の一例を説明する上面図である。なお、図６及び図７では、図３及び図４と同様に、粘着テープ２０５及び環状フレーム２０６が省略されている。図６及び図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
A processing apparatus 1 according to a second embodiment of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 6 is a top view illustrating an example of inspection route registration in the processing apparatus 1 according to the second embodiment. FIG. 7 is a top view illustrating an example of the inspection route 430 registered in the processing apparatus 1 according to the second embodiment. Note that in FIGS. 6 and 7, the adhesive tape 205 and the annular frame 206 are omitted as in FIGS. 3 and 4. In FIGS. 6 and 7, the same parts as those in Embodiment 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１において、検査ルート登録方式を、分割予定ライン２０２を選択する方式から検査ルート４３０をなぞる方式に変更したものであり、その装置構成は同様である。ここで、検査ルート登録方式のなぞる方式とは、検査ルート４３０を一筆書きのようにして登録する方式でもよいし、検査ルート４３０のポイントを登録することで、そのポイントとポイントとを繋ぐ最短ルートが算出されて、一筆書きのような検査ルート４３０が登録される方式でもよい。なお、実施形態２に係る加工装置１は、分割予定ライン２０２上の位置に限定されず、例えば所定のデバイス２０３を登録する等してもよい。 The processing apparatus 1 according to the second embodiment is the same as the apparatus configuration in the first embodiment, except that the inspection route registration method is changed from the method of selecting the planned dividing line 202 to the method of tracing the inspection route 430. . Here, the tracing method of the inspection route registration method may be a method of registering the inspection route 430 in a single stroke, or by registering the points of the inspection route 430, the shortest route connecting the points is taken. may be calculated and the inspection route 430, which looks like a single stroke, is registered. Note that the processing apparatus 1 according to the second embodiment is not limited to the position on the planned dividing line 202, and may register a predetermined device 203, for example.

実施形態２に係る加工装置１における検査ルート登録方式では、制御ユニット６０は、例えば、図６に示す分割予定ライン２０２－１を＋Ｘ方向側の端から－Ｘ方向側の端に向かってなぞり、分割予定ライン２０２－１の－Ｘ方向側の端から図６に示す分割予定ライン２０２－２の－Ｘ方向側の端に向かって経路４２０に沿ってなぞり、分割予定ライン２０２－２を－Ｘ方向側の端から＋Ｘ方向側の端に向かってなぞった一連の経路線の入力を受け付ける。実施形態２に係る加工装置１における検査ルート登録方式では、制御ユニット６０は、このような検査ルート４３０のなぞりによる入力を受け付けると、表示ユニット４０に表示させている画面において、検査ルート４３０のなぞりによる入力を受け付けた部分を強調表示して、検査ルート４３０のなぞりによる入力を受け付けた旨をオペレータに視認可能にする。 In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the second embodiment, the control unit 60 traces the planned division line 202-1 shown in FIG. 6 from the end in the +X direction toward the end in the -X direction, for example. Trace along the path 420 from the -X direction end of the division plan line 202-1 to the -X direction end of the division plan line 202-2 shown in FIG. It accepts input of a series of route lines traced from the end on the +X direction side to the end on the +X direction side. In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the second embodiment, when the control unit 60 receives an input by tracing the inspection route 430, the control unit 60 displays the traced inspection route 430 on the screen displayed on the display unit 40. The part where the input by tracing the inspection route 430 has been accepted is highlighted, so that the operator can visually recognize that the input by tracing the inspection route 430 has been accepted.

実施形態２に係る加工装置１における検査ルート登録方式では、次に、制御ユニット６０は、上記したような一連の経路線の入力を受け付けた状態で、検査ルート４３０をなぞる操作が終了すると、図７に示すように、分割予定ライン２０２－１，２０２－２を経路に含む検査ルート４３０を生成する。実施形態２に係る加工装置１における検査ルート登録方式では、具体的には、制御ユニット６０は、分割予定ライン２０２－１のなぞられた部分及び向きに対応する第１検査ルート部分４３１と、なぞられた経路４２０に対応する第２検査ルート部分４３２と、分割予定ライン２０２－２のなぞられた部分及び向きに対応する第３検査ルート部分４３３と、をそれぞれ生成し、第１検査ルート部分４３１、第２検査ルート部分４３２及び第３検査ルート部分４３３を接続して検査ルート４３０を生成する。 In the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the second embodiment, next, when the control unit 60 completes the operation of tracing the inspection route 430 while receiving the input of a series of route lines as described above, As shown in FIG. 7, an inspection route 430 including the scheduled dividing lines 202-1 and 202-2 is generated. Specifically, in the inspection route registration method in the processing apparatus 1 according to the second embodiment, the control unit 60 traces the first inspection route portion 431 corresponding to the traced portion and orientation of the planned division line 202-1, and A second inspection route portion 432 corresponding to the traced route 420 and a third inspection route portion 433 corresponding to the traced portion and direction of the planned dividing line 202-2 are generated, and the first inspection route portion 431 , a second test route portion 432 and a third test route portion 433 are connected to generate a test route 430.

ここで、実施形態２に係る検査ルート４３０は、分割予定ライン２０２－２の部分において、実施形態１に係る検査ルート４００と向きが逆である。実施形態２に係る加工装置１では、これに伴い、制御ユニット６０がカメラ３０に撮影させる画像の取得順序、表示ユニット４０にスライド表示させる際のスライド方向、及び、画像記録部６２に記録させる画像の記録順序が、それぞれ逆になる。 Here, the inspection route 430 according to the second embodiment has a direction opposite to that of the inspection route 400 according to the first embodiment at the portion of the planned division line 202-2. Accordingly, in the processing apparatus 1 according to the second embodiment, the control unit 60 determines the acquisition order of images to be photographed by the camera 30, the sliding direction in sliding display on the display unit 40, and the images to be recorded in the image recording unit 62. The recording order of each will be reversed.

実施形態２に係る加工装置１は、以上のような構成を有するので、実施形態１に係る加工装置１と同様に、制御ユニット６０が同様の検査ルート登録部６１及び画像記録部６２を備え、検査ルート登録部６１に登録された検査ルート４００に従って移動するカメラ３０で被加工物２００を撮影した画像を、表示ユニット４０に表示させる。このため、実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１に係る加工装置１と同様の作用効果を奏するものとなる。 Since the processing apparatus 1 according to the second embodiment has the above-described configuration, the control unit 60 includes the same inspection route registration section 61 and image recording section 62 as in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, An image taken of the workpiece 200 by the camera 30 moving according to the inspection route 400 registered in the inspection route registration section 61 is displayed on the display unit 40. Therefore, the processing apparatus 1 according to the second embodiment has the same effects as the processing apparatus 1 according to the first embodiment.

また、実施形態２に係る加工装置１は、アライメントを遂行するため等の被加工物２００の画像を使用して、検査ルート４３０をなぞる方式で、検査ルート４３０の入力を受け付ける。このため、実施形態２に係る加工装置１は、オペレータの感覚に沿った形で検査ルート４３０を決定することができるので、オペレータが感覚的に快適な分割予定ライン２０２を観察の作業等をすることができるという作用効果を奏する。 Furthermore, the processing apparatus 1 according to the second embodiment accepts input of the inspection route 430 by tracing the inspection route 430 using an image of the workpiece 200 for performing alignment. Therefore, the processing apparatus 1 according to the second embodiment can determine the inspection route 430 in accordance with the senses of the operator, so that the operator can perform tasks such as observing the planned dividing line 202 that is sensually comfortable. It has the effect of being able to.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 Note that the present invention is not limited to the above embodiments. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the invention.

１加工装置
１０チャックテーブル
１１保持面
２０加工ユニット
３０カメラ
４０表示ユニット
５０移動ユニット
６０制御ユニット
６１検査ルート登録部
６２画像記録部
２００被加工物
２０２，２０２－１，２０２－２分割予定ライン
３００切削溝
４００，４３０検査ルート
４０１，４３１第１検査ルート部分
４０２，４３２第２検査ルート部分
４０３，４３３第３検査ルート部分
４１１，４１２，４１３，４１４，４１５，４１６検査位置 1 Processing device 10 Chuck table 11 Holding surface 20 Processing unit 30 Camera 40 Display unit 50 Movement unit 60 Control unit 61 Inspection route registration section 62 Image recording section 200 Workpiece 202, 202-1, 202-2 Scheduled dividing line 300 Cutting Groove 400, 430 Inspection route 401, 431 First inspection route portion 402, 432 Second inspection route portion 403, 433 Third inspection route portion 411, 412, 413, 414, 415, 416 Inspection position

Claims

A processing device comprising: a chuck table that holds a workpiece having a scheduled dividing line on a holding surface; and a processing unit that processes the workpiece held on the chuck table along the scheduled dividing line,
a camera that photographs the workpiece held on the chuck table;
a display unit that displays images taken with the camera;
a moving unit that moves the chuck table relative to the processing unit and the camera in an X direction and a Y direction parallel to the holding surface;
A control unit that controls each component,
The control unit includes:
An inspection route in which the moving unit moves the camera that photographs the workpiece relative to the chuck table is set on the dividing line, and the inspection route set on the dividing line is registered. Equipped with an inspection route registration section,
At each inspection position between the start point and the end point of the inspection route registered in the inspection route registration section, the inspection device moves relative to the chuck table according to the inspection route registered in the inspection route registration section. A processing device that displays an image of a workpiece captured by a camera on the display unit.

The processing apparatus according to claim 1, further comprising an image recording section in which an image photographed by the camera is recorded.

When the predetermined dividing scheduled line is selected, the control unit sets the entire predetermined dividing scheduled line from one end to the other end as the inspection route, and sets it in the inspection route registration section. The processing device according to claim 1, wherein the processing device is registered.

The processing apparatus according to claim 1, wherein the control unit sets the traced portion as the inspection route and registers it in the inspection route registration section.

The processing apparatus according to claim 1, wherein the control unit automatically corrects the traced portion to a position on the nearest planned division line, sets it as the inspection route, and registers it in the inspection route registration section. .