JP7365771B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態の縦型ホール素子及び発熱源を備えた半導体装置10の平面図である。また、図2は、図1のA1-A1線に沿った断面図である。
第1の実施形態では、発熱源を有する回路が1つである場合について説明したが、縦型ホール素子の周辺に設けられる回路のうち発熱源を有する回路は1つとは限らない。そこで、第2の実施形態として、縦型ホール素子の周辺に発熱源を有する回路が複数存在する場合について説明する。図3は、本発明の第2の実施形態の縦型ホール素子及び発熱源を備えた半導体装置20の平面図である。
第3の実施形態として、2つの縦型ホール素子が同一半導体基板上に平行に配置される場合について説明する。図4は、本発明の第3の実施形態の縦型ホール素子及び発熱源を備えた半導体装置30の平面図である。
第4の実施形態として、2つの縦型ホール素子が同一半導体基板上に互いに垂直に配置される場合について説明する。図5は、本発明の第4の実施形態の縦型ホール素子及び発熱源を備えた半導体装置40の平面図である。
101 半導体基板
102 半導体層
103 素子分離拡散層
110、120 縦型ホール素子
111、112、113、114、115、121、122、123、124、125 電極
210、220 発熱源を有する回路
210hr、220hr 最も高温となる領域
210h、220h 最も高温となる領域の中心点
A1-A1、A2-A2、A3-A3、A4-A4 直線
CP1、CP2、CP3、CP4、CP5、CP6 電流経路
R1、R2、R3 領域
Claims (9)
- 半導体基板の第1の領域に設けられ、第1の直線上に順に並んで配置された第1乃至第3の電極を有する第1の縦型ホール素子と、
前記半導体基板の前記第1の領域とは異なる第2の領域に設けられた発熱源を有する第1の回路とを備え、
前記第1の縦型ホール素子の動作時に前記第1の回路において最も高温となる領域の中心点が、前記第1の電極と前記第3の電極との間に流れるホール素子駆動電流の経路となる第1の電流経路に直交し且つ前記第1の縦型ホール素子の中心を通る第2の直線上に位置し、
前記第1の縦型ホール素子は、前記第1乃至第3の電極を挟むように前記第1の直線上に前記第1乃至第3の電極と並んで設けられた第7及び第8の電極をさらに有していることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体基板の前記第1及び第2の領域とは異なる第3の領域に設けられた発熱源を有する第2の回路をさらに備え、
前記第1の縦型ホール素子の動作時に前記第2の回路において最も高温となる領域の中心点が、前記第2の直線上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板の前記第1及び第2の領域とは異なる第3の領域に設けられ、第3の直線上に順に並んで配置された第4乃至第6の電極を有する第2の縦型ホール素子をさらに備え、
前記第4の電極と前記第6の電極との間に流れるホール素子駆動電流の経路となる第2の電流経路に直交し且つ前記第2の縦型ホール素子の中心を通る直線が前記第2の直線と一致していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板の前記第1及び第2の領域とは異なる第3の領域に、前記第1の直線に直交する第3の直線上に順に並んで配置された第4乃至第6の電極を有する第2の縦型ホール素子をさらに備え、
前記第1の縦型ホール素子の動作時に前記第1の回路において最も高温となる領域の中心点が、前記第4の電極と前記第6の電極との間に流れるホール素子駆動電流の経路となる第2の電流経路に直交し且つ前記第2の縦型ホール素子の中心を通る第4の直線上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の縦型ホール素子は、前記第2の直線に対して線対称の構造を有していることを特徴とする請求項1乃至4いずれか一項に記載の半導体装置。
- 半導体基板の第1の領域に設けられ、第1の直線上に順に並んで配置された第1乃至第3の電極を有する第1の縦型ホール素子と、
前記半導体基板の前記第1の領域とは異なる第2の領域に設けられた発熱源を有する第1の回路とを備え、
前記第1の縦型ホール素子の動作時に前記第1の回路において最も高温となる領域の中心点が、前記第1の電極と前記第3の電極との間に流れるホール素子駆動電流の経路となる第1の電流経路に直交し且つ前記第1の縦型ホール素子の中心を通る第2の直線上に位置し、
前記半導体基板の前記第1及び第2の領域とは異なる第3の領域に設けられ、第3の直線上に順に並んで配置された第4乃至第6の電極を有する第2の縦型ホール素子をさらに備え、
前記第4の電極と前記第6の電極との間に流れるホール素子駆動電流の経路となる第2の電流経路に直交し且つ前記第2の縦型ホール素子の中心を通る直線が前記第2の直線と一致し、
前記第2の縦型ホール素子は、前記第4乃至第6の電極を挟むように前記第3の直線上に前記第4乃至第6の電極と並んで設けられた第9及び第10の電極をさらに有していることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の縦型ホール素子は、前記第2の直線に対して線対称の構造を有していることを特徴とする請求項3又は6に記載の半導体装置。
- 前記第2の縦型ホール素子は、前記第4乃至第6の電極を挟むように前記第3の直線上に前記第4乃至第6の電極と並んで設けられた第9及び第10の電極をさらに有していることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第2の縦型ホール素子は、前記第4の直線に対して線対称の構造を有していることを特徴とする請求項4又は8に記載の半導体装置。
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