JP7361824B2 - ケイ素酸化物の製造装置 - Google Patents
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Description
10 加熱炉
12 断熱素材
20 加熱装置
30 坩堝
40a 吸気口
40b 排気口
40 沈積ケース
42 吸着部
42a 第三端
42b 第四端
44 ケース本体
441 左側板
442 右側板
443 後側板
444 頂板
445 底板
44a 側方開口
46 仕切り板
48 ケースカバー
50 排気ダクト
50a 第一端
50b 第二端
60 抽気装置
70 カバー
70a 開孔
D1 間隔距離
D2 距離
H 長さ
L 延出線
R 加熱領域
X 直径
Y 間隔距離
Claims (13)
- 断熱素材で囲んで形成された加熱領域を内部に有した加熱炉と、
当該加熱領域に設置される加熱装置と、
当該加熱領域に設置され、二酸化ケイ素及びケイ素を含む固体原材料を受容することに用いられ、上方開口を有した坩堝と、
当該加熱領域と当該加熱炉の内炉壁との間に設置され、少なくとも一つの吸気口及び排気口を有した沈積ケースであって、当該沈積ケースの内部空間に設置され、表面材質に炭素を含む少なくとも一つの吸着部を含む沈積ケースと、
当該坩堝の当該上方開口と近づく位置に設置される第一端及び当該沈積ケースの当該少なくとも一つの吸気口と連通する第二端を有する、少なくとも一つの排気ダクトと、
当該沈積ケースの当該排気口と連通する抽気装置、とを含み、
当該抽気装置は、当該沈積ケースの当該排気口に連通して気体のケイ素酸化物を当該坩堝から抽出し、当該気体のケイ素酸化物を当該少なくとも一つの吸着部の表面に接触させ固体のケイ素酸化物を沈積させる、ことを特徴とするケイ素酸化物の製造装置。 - 当該少なくとも一つの吸着部と当該少なくとも一つの吸気口との間には、3~13cmだけの距離を空ける、ことを特徴とする請求項1に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該少なくとも一つの吸着部は、延出線が当該少なくとも一つの吸気口を通過する長軸方向を有する、ことを特徴とする請求項2に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該少なくとも一つの吸着部は、数が複数であり、これらの吸着部のうちの一つが当該長軸方向を有する、ことを特徴とする請求項3に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該少なくとも一つの吸着部は、棒形状であり、対向する第三端及び第四端を有し、当該第四端は、当該第三端に対して、当該少なくとも一つの吸気口と近づく位置に設置される、ことを特徴とする請求項3に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該沈積ケースは、仕切り板、並びに、対向して設置された頂板及び底板を含み、
当該頂板は、当該排気口を有し、当該底板は、当該少なくとも一つの吸気口を有し、当該仕切り板は、当該頂板と当該底板との間に設置され、当該少なくとも一つの吸着部は、当該仕切り板と当該底板との間に設置され、当該少なくとも一つの吸着部における当該第三端は、当該仕切り板に接続される、ことを特徴とする請求項5に記載のケイ素酸化物の製造装置。 - 当該仕切り板と当該沈積ケースの側壁との間に少なくとも一つの間隔距離を有し、
当該排気口と当該少なくとも一つの吸気口は、当該少なくとも一つの間隔距離を空けて連通する、ことを特徴とする請求項6に記載のケイ素酸化物の製造装置。 - 当該沈積ケースは、側方開口を有したケース本体及び当該側方開口を閉鎖するためのケースカバーを含み、当該仕切り板は、当該ケースカバーに接続される、ことを特徴とする請求項7に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- これらの吸着部同士は、距離を空けて並ぶ、ことを特徴とする請求項3に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該沈積ケースは、対向して設置される頂板及び底板を含み、当該頂板が当該排気口を有し、当該底板が当該少なくとも一つの吸気口を有し、当該少なくとも一つの吸着部は、当該頂板に接続される、ことを特徴とする請求項1に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該少なくとも一つの吸着部は、グラファイト又は炭素/炭素複合材料で製造されたものである、ことを特徴とする請求項1から10のうちのいずれか一項に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該少なくとも一つの間隔距離は、5~10cmである、ことを特徴とする請求項7に記載のケイ素酸化物の製造装置。
- 当該少なくとも一つの吸気口及び当該少なくとも一つの排気ダクトは、それらの数がそれぞれ複数であり、それぞれが対応的に連通する、ことを特徴とする請求項1に記載のケイ素酸化物の製造装置。
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