JP7361824B2 - ケイ素酸化物の製造装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ケイ素酸化物の製造装置に関し、特に、ケイ素酸化物の産量を高める製造装置に関する。
二次電池は、ニッケルカドミウム電池、ニッケル水素電池やリチウムイオン二次電池などが知られる。また、リチウムイオン二次電池は、ニッケルカドミウム電池やニッケル水素電池に比べると、エネルギー密度が高く、作動電圧が高く、記憶効果が小さく、そして、急速充電も可能であるなどの特性を有することから、例えば、タブレット、スマートフォン、ノートパソコンやゲーム機などの電子機器に幅広く適用されている。
リチウムイオン二次電池は、内部の反応において、主に、リチウムイオンが正極と負極との間を往復運動することにより、正極と負極との間に電位差を生じさせるものである。一般的なリチウムイオン二次電池は、グラファイトを負極素材として用いることが多い。しかし、この負極素材が用いられたリチウムイオン二次電池は、エネルギー密度が極めて低い。従って、エネルギー密度を高めるために、産業において、新たな負極素材が多種類開発されてきた。そのうち、ケイ素酸化物をリチウムイオン二次電池に負極素材として用いる場合には、電圧が高く、エネルギー密度が高いリチウムイオン二次電池を取得することができる。
よく用いられるリチウム二次電池の負極素材を製造するためのケイ素酸化物の製造装置は、一般的に、原材料容器、加熱装置、析出室及び抽気装置を含み、ケイ素酸化物を含んだ粉末を当該原材料容器に入れて気化させるように加熱してから、当該抽気装置を介してケイ素酸化物の気体を当該析出室を流れるように抽出することにより、固体のケイ素酸化物を当該析出室の内壁に析出させる。しかしながら、よく用いられるケイ素酸化物の製造装置により製造されるケイ素酸化物は、産量が良くない。そして、良く用いられるケイ素酸化物の製造装置は、構成について設計がまだ完璧でなく、改良されるべきところが存在している。
本発明は、このことに鑑み、ケイ素酸化物の産量を高めると共に、利用者がケイ素酸化物を取り出すことに役立つ、ケイ素酸化物の製造装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明が提供するケイ素酸化物の製造装置は、加熱炉、加熱装置、坩堝、沈積ケース、少なくとも一つの排気ダクト及び一抽気装置を含み、当該加熱炉は、断熱素材で囲んで形成された加熱領域を内部に有し、当該加熱装置は、当該加熱領域に設置され、当該坩堝は、当該加熱領域に設置され、二酸化ケイ素及びケイ素を含む固体の原材料を受容することに用いられ、当該加熱装置は、当該坩堝を加熱して当該固体の原材料に気体のケイ素酸化物を生じさせ、当該坩堝は、上方開口を有し、当該沈積ケースは、当該加熱領域と当該加熱炉の内炉壁との間に設置されると共に、少なくとも一つの吸気口及び排気口を有し、当該沈積ケースは、当該沈積ケースの内部空間に設置された少なくとも一つの吸着部を含み、当該少なくとも一つの吸着部は、表面材質に炭素を含み、当該少なくとも一つの排気ダクトは、当該坩堝の上方開口と近づく位置に設置される第一端及び当該沈積ケースの当該少なくとも一つの吸気口と連通する第二端を有し、当該抽気装置は、当該沈積ケースの当該排気口に連通して当該気体のケイ素酸化物を当該坩堝から抽出し、当該気体のケイ素酸化物を当該少なくとも一つの吸着部の表面に接触させ固体のケイ素酸化物を沈積させる。
本発明による効果は、当該少なくとも一つの吸着部を設置することにより、当該沈積ケースと気体ケイ素酸化物との接触面積を増やし、また、当該少なくとも一つの吸着部の表面材質に炭素を含む設計により、析出する酸化ケイ素の産量を効果的に高めるだけでなく、生産された酸化ケイ素が金属により汚染されてしまう問題を避けるということにある。
本発明の好ましい一実施例によるケイ素酸化物の製造装置の模式図である。 上記の好ましい実施例による沈積ケースの一部の構成を分解した模式図である。 上記の好ましい実施例による沈積ケースのケース本体の模式図である。 好ましい他の一実施例による沈積ケースの一部の構成を分解した模式図である。 好ましい他の一実施例による沈積ケースのケース本体の模式図である。 好ましい他の一実施例によるケイ素酸化物の製造装置の模式図である。 好ましい他の一実施例による沈積ケースのケース本体の模式図である。 好ましい他の一実施例による吸着部を沈積ケースの内部に並べて分布する模式図である。
本発明をより明確に説明するために、好ましい実施例に基づいて図面を参照しながら以下のように説明する。図1に示すように、本発明の好ましい一実施例によるケイ素酸化物の製造装置1は、加熱炉10、加熱装置20、坩堝30、沈積ケース40、排気ダクト50及び抽気装置60を含む。
当該加熱炉10は、断熱素材12で囲んで形成された加熱領域Rを内部に有する。当該加熱装置20及び当該坩堝30は、当該加熱領域Rに設置される。当該坩堝30は、上方開口を有する。当該坩堝30は、二酸化ケイ素及びケイ素を含む固体原材料を受容するためのものである。当該加熱装置20は、それぞれ、当該坩堝30を取り囲む外側壁及び当該坩堝30の上方の位置に設置される複数のヒーターを含み、当該坩堝30を加熱して当該固体原材料に気体のケイ素酸化物を生じさせるためのものである。本実施例では、当該加熱装置20により、当該加熱領域Rの内部温度を1300~1350度に維持することができる。
当該沈積ケース40は、当該加熱領域Rと当該加熱炉10の内炉壁との間に設置される。当該沈積ケース40は、吸気口40a及び排気口40bを有する。当該沈積ケース40は、当該沈積ケース40の内部空間に設置される複数の吸着部42を含む。これらの吸着部は、表面材質に炭素を含む。これらの吸着部42は、熱伝導率が16W/m.K以上であり、融点が1200度よりも高い。当該排気ダクト50は、第一端50a及び第二端50bを有し、当該第一端50aが当該坩堝30の当該上方開口と近づく位置に設置され、当該第二端50bが当該沈積ケース40の当該吸気口40aと連通する。当該抽気装置60は、当該沈積ケース40の当該排気口40bと連通する。当該抽気装置60は、例えば、サイクロン集塵機とされてもよい。当該サイクロン集塵機により、気体ケイ素酸化物を当該サイクロン集塵機において析出させることができる。そして、固体のケイ素酸化物を集める収集率が高まる。そして、当該抽気装置60は、当該気体ケイ素酸化物を当該坩堝30から抽出し、当該気体ケイ素酸化物をこれらの吸着部42の表面に接触させてこれらの吸着部42の表面に固体のケイ素酸化物を生じさせる。また、これらの吸着部42を設置すること、及び、これらの吸着部42の表面材質に炭素を含む設計により、当該沈積ケース40と気体のケイ素酸化物との接触面積を増やして、ケイ素酸化物が析出する産量を高めるだけではなく、産出されたケイ素酸化物が金属により汚染されてしまうという問題を避けることができる。例を挙げると、これらの吸着部42は、グラファイト又は炭素/炭素複合材料で製造された構成であってもよい。再度説明するのは、他の実施例において、吸着部42の数が一つであってもよく、本実施例に係る複数の吸着部42に限られるものではない。本実施例では、当該ケイ素酸化物の製造装置1は、カバー70を含み、当該カバー70は、当該坩堝30の当該上方開口を覆うと共に、開孔70aを有する。当該開孔70aは、当該排気ダクト50における当該第一端50a及び当該坩堝30における内部と連通する。当該カバー70を設置することは、気体のケイ素酸化物の流れる領域を制限でき、ひいては、固体のケイ素酸化物を収集する収集率を高めることができる。本実施例では、図2及び図3に示すように、当該沈積ケース40がケース本体44、仕切り板46及びケースカバー48を含み、当該ケース本体44が左側板441、右側板442、後側板443、頂板444、底板445及び側方開口44aを有し、当該頂板444及び当該底板445が対向して設置され、当該左側板441及び当該右側板442が対向して設置される。当該後側板443は、それぞれ、当該左側板441、当該右側板442、当該頂板444及び当該底板445に接続される。当該頂板444は、当該排気口40bを有し、当該底板445は、当該吸気口40aを有する。当該仕切り板46は、当該頂板444と当該底板445との間に設置される。これらの吸着部42は、当該仕切り板46と当該底板445との間に設置される。当該ケースカバー48は、当該側方開口44aを閉鎖するためのものである。そのうち、当該仕切り板46は、一方端縁が当該後側板443に接続される。また、当該仕切り板46と当該沈積ケース40の側壁との間、つまり、当該左側板441と当該右側板442との間に、それぞれ、間隔距離D1を有しており、当該間隔距離D1が5~10cmであり、5~8cmが好ましい。そして、当該排気口40bと当該吸気口40aは、当該間隔距離D1だけを介して連通可能である。つまり、気体は、当該沈積ケース40の当該吸気口40aから当該沈積ケース40の内部に入る。次に、当該仕切り板46は、それぞれ、当該左側板441又は当該右側板442との間隔距離D1があることから、当該排気口40bを介して当該沈積ケース40から排出する。当該間隔距離D1を5~10cmに選ぶことは、適正な気体の流れ速度を与えて固体のケイ素酸化物の収集率を高めるためである。当該間隔距離D1が5cmよりも小さい場合には、当該吸気口40aから当該沈積ケース40に入る気体が当該間隔距離D1からの制限により流れにくくなり気体の流れ速度が低すぎ、そして、各当該吸着部42に生成される固体のケイ素酸化物の産量に影響を与えるおそれがある。一方、当該間隔距離が10cmよりも大きい場合には、当該吸気口40aから当該沈積ケース40に入る気体が当該間隔距離D1だけ急速で当該排気口40bを介して当該沈積ケース40から排出し易くなり、同様に、各当該吸着部42に生成される固体のケイ素酸化物の産量に影響を与える恐れがある。
本実施例では、当該仕切り板46を当該後側板443に接続すること、及び、当該仕切り板46と当該左側板441及び当該右側板442との間にそれぞれ間隔距離D1を有することを例に説明したが、他の実施例において、当該仕切り板46を当該左側板441、当該右側板442又は当該後側板443のうちの少なくとも一つに接続すると共に、当該仕切り板46と当該沈積ケース40における当該左側板441、当該右側板442又は当該後側板443のうちの少なくとも一つとの間に間隔距離D1を有することを排除することはない。この場合においては、当該排気口40bと当該吸気口40aとを連通する効果が同様に図れる。また、図4に示すように、当該仕切り板46は、当該ケースカバー48に接続されてもよい。そして、利用者は、当該ケースカバー48を開けると、各当該吸着部42を当該沈積ケース40のケース本体44から取り出すことができる。そして、各当該吸着部42に生成された固体のケイ素酸化物の産出物を円滑に取り出すことができる。本実施例では、利用者は、塗布ナイフにより、各当該吸着部42を手動でさらい、各当該吸着部42に生成された固体のケイ素酸化物の産出物を取得する。他の実施例において、当該沈積ケース40に塗布ナイフを設置して、各当該吸着部42を自動的にさらい、各当該吸着部42に生成された固体のケイ素酸化物の産出物を取得することを排除することはない。
そのうち、各当該吸着部42が棒形状とされ、これらの吸着部42の直径Xが0.5~1センチメートル、長さHが15~20センチメートル、各当該吸着部42間の間隔距離Yが3~5センチメートルにあり、しかも、各当該吸着部42の棒主体は、それぞれ、対向する第三端42a及び第四端42bを両端に有しており、当該第四端42bは、当該第三端42aに対して、当該吸気口40aと近づく位置に設置される。そして、当該沈積ケース40と気体ケイ素酸化物との接触面積が増やされる。本実施例では、これらの吸着部42における当該第三端42aが当該仕切り板46に接続されるが、他の実施例において、図5に示すように、仕切り板46を設置せずに、各当該吸着部42を当該沈積ケース40の当該頂板444に直接に接続してもよい。再度説明するのは、本実施例において、各当該吸着部42が、取り外し可能に、当該沈積ケース40に設置される。例を挙げると、各当該吸着部42を螺合で当該仕切り板46に結合してもよい。この場合に、利用者は、各当該吸着部42を当該沈積ケース40から取り出すことができ、各当該吸着部42に生成された固体のケイ素酸化物の産出物を取得することに役立つ。本実施例では、各当該吸着部42が当該沈積ケース40に対して移動できないように当該沈積ケース40に設置されるが、他の実施例では、各当該吸着部42が当該沈積ケース40に対して移動できるように当該沈積ケース40に設置されることを排除することはない。例を挙げると、当該吸気口40aと近づく位置に設置される吸着部42は、当該吸気口40aから離れた位置に移動可能であり、また、当該吸気口40aから離れた位置に設置される他の吸着部42は、当該吸気口40aと近づく位置に移動可能である。そして、固体のケイ素酸化物の収集率が高まる。
図3を再度参照すると、これらの吸着部42のうちの一つは、延出線Lが当該吸気口40aを通過する長軸方向を有し、つまり、当該吸着部42が当該吸気口40aの上方に設置されると共に、当該吸着部42と当該吸気口40aとの間に距離D2(つまり、当該吸着部42と当該底板445との間の最小間隔距離)を空ける。当該距離D2が3~13センチメートルである。当該距離D2を3~13センチメートルに選ぶことは、各当該吸着部42と当該底板445との最小間隔距離が3~13センチメートルとされる場合に、望ましい単一の吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率を取得することができる。発明者による試験データによると、各当該吸着部42と当該底板445との最小間隔距離が6センチメートル及び10センチメートルとされる場合において、単一の吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率がそれぞれ37%及び35%となる一方、各当該吸着部42と当該底板445との最小間隔距離が3センチメートルである場合において、単一の吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率が11%となる。また、各当該吸着部42と当該底板445との最小間隔距離が13センチメートル及び15センチメートルである場合において、単一の吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率がそれぞれ13%及び6%となる。上記の試験データによれば、当該距離D2について、6~10センチメートルが好ましく、最適な単一の吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率を取得できることが分かる。
なお、本実施例において、これらの吸着部42の長さHが各当該吸着部42と当該吸気口40aとの距離に従って設置されたものであり、当該吸気口40aと近づけば近いほどの吸着部42の長さHは、当該吸気口40aに対して距離が大きければ大きいほどの吸着部42の長さよりも短い。この場合に、当該吸着部42と気体ケイ素酸化物との接触の確率を増やすだけではなく、当該吸着部42に生成された固体のケイ素酸化物により当該吸気口40aが塞がれることを避けることができる。
本実施例では、当該沈積ケース40が吸気口40aを有すると共に、排気ダクト50を合わせて設置することを例に説明した。しかしながら、実際に、当該沈積ケース40は、複数の吸気口40aが設置され、複数の排気ダクト50が対応的に設置されてもよい。図6及び図7を参照して例示的に説明すると、当該沈積ケース40は、三つの吸気口40aが設置され、三つの排気ダクト50が対応的に設置されてもよい。そのうち、三つの吸着部42における長軸方向の延出線Lがそれぞれこれらの吸気口40aを対応的に通過すると共に、対応する吸気口40aと所定の距離を空ける。そして、吸着部42と気体ケイ素酸化物との接触確率及び接触面積を増やし、ひいては、固体のケイ素酸化物の産量を大幅に高めることができる。他の実施例において、吸気口及び排気ダクトは、それら数がそれぞれ二つ又は三つ以上であってもよい。
さらに説明するのは、本実施例において、これらの吸着部42を互いに所定の距離を空ける形態で横方向に並ぶことを例に説明した。しかしながら、実際に、これらの吸着部は、行列状又は異なる配列パターンで並んでもよいし、それぞれ等しくない間隔距離による形態で設置してもよい。例えば、当該吸気口40aから離れた上方の吸着部に設置されるほうよりも、当該吸気口40aと近づく上方の吸着部が、互いに間隔距離が比較的近い形態で配列されてもよく、上記の実施例に限られるものではない。図8は、他の実施例による吸着部を沈積ケースの内部に配列して分布する模式図である。そのうち、吸着部421、吸着部422、吸着部423、吸着部424、吸着部425、吸着部426及び吸着部427は、上記の実施例に言及した棒形状となる吸着部であり、吸着部428が薄板状の吸着部である。下表1は、沈積ケースにおける各吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率%である。表1から見れば、吸着部428が薄板状の吸着部である場合でも、同様に、気体のケイ素酸化物を吸着部428の表面に接触させて吸着部428の薄板表面に固体のケイ素酸化物を生じさせることが分かる。なお、吸着部423における当該長軸方向の延出線Lが当該吸気口40aを通過するとは、当該吸着部423を当該吸気口40aの上方に設置するということを意味しており、表1に示すように、当該吸着部423を当該吸気口40aの上方に設置することにより、望ましい単一の吸着部の固体のケイ素酸化物の産出率%を取得することができる。
以上より、本発明において、これらの吸着部42を設置することにより、当該沈積ケース40と気体ケイ素酸化物との接触面積を増やし、しかも、これらの吸着部の表面材質に炭素を含む設計により、析出する酸化ケイ素の産量を効果的に高めるだけでなく、産出された酸化ケイ素が金属により汚染されてしまうという問題を避けることができる。
以上に説明したのは、本発明における好ましい実施可能な実施例に過ぎず、本発明の明細書及び特許請求の範囲に基づいてなされる如何なる均等置換は、いずれも、本発明の特許範囲に含まれる。
1 ケイ素酸化物の製造装置
10 加熱炉
12 断熱素材
20 加熱装置
30 坩堝
40a 吸気口
40b 排気口
40 沈積ケース
42 吸着部
42a 第三端
42b 第四端
44 ケース本体
441 左側板
442 右側板
443 後側板
444 頂板
445 底板
44a 側方開口
46 仕切り板
48 ケースカバー
50 排気ダクト
50a 第一端
50b 第二端
60 抽気装置
70 カバー
70a 開孔
D1 間隔距離
D2 距離
H 長さ
L 延出線
R 加熱領域
X 直径
Y 間隔距離

Claims (13)

  1. 断熱素材で囲んで形成された加熱領域を内部に有した加熱炉と、
    当該加熱領域に設置される加熱装置と、
    当該加熱領域に設置され、二酸化ケイ素及びケイ素を含む固体原材料を受容することに用いられ、上方開口を有した坩堝と、
    当該加熱領域と当該加熱炉の内炉壁との間に設置され、少なくとも一つの吸気口及び排気口を有した沈積ケースであって、当該沈積ケースの内部空間に設置され、表面材質に炭素を含む少なくとも一つの吸着部を含む沈積ケースと、
    当該坩堝の当該上方開口と近づく位置に設置される第一端及び当該沈積ケースの当該少なくとも一つの吸気口と連通する第二端を有する、少なくとも一つの排気ダクトと、
    当該沈積ケースの当該排気口と連通する抽気装置、とを含み、
    当該抽気装置は、当該沈積ケースの当該排気口に連通して気体のケイ素酸化物を当該坩堝から抽出し、当該気体のケイ素酸化物を当該少なくとも一つの吸着部の表面に接触させ固体のケイ素酸化物を沈積させる、ことを特徴とするケイ素酸化物の製造装置。
  2. 当該少なくとも一つの吸着部と当該少なくとも一つの吸気口との間には、3~13cmだけの距離を空ける、ことを特徴とする請求項1に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  3. 当該少なくとも一つの吸着部は、延出線が当該少なくとも一つの吸気口を通過する長軸方向を有する、ことを特徴とする請求項2に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  4. 当該少なくとも一つの吸着部は、数が複数であり、これらの吸着部のうちの一つが当該長軸方向を有する、ことを特徴とする請求項3に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  5. 当該少なくとも一つの吸着部は、棒形状であり、対向する第三端及び第四端を有し、当該第四端は、当該第三端に対して、当該少なくとも一つの吸気口と近づく位置に設置される、ことを特徴とする請求項3に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  6. 当該沈積ケースは、仕切り板、並びに、対向して設置された頂板及び底板を含み、
    当該頂板は、当該排気口を有し、当該底板は、当該少なくとも一つの吸気口を有し、当該仕切り板は、当該頂板と当該底板との間に設置され、当該少なくとも一つの吸着部は、当該仕切り板と当該底板との間に設置され、当該少なくとも一つの吸着部における当該第三端は、当該仕切り板に接続される、ことを特徴とする請求項5に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  7. 当該仕切り板と当該沈積ケースの側壁との間に少なくとも一つの間隔距離を有し、
    当該排気口と当該少なくとも一つの吸気口は、当該少なくとも一つの間隔距離を空けて連通する、ことを特徴とする請求項6に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  8. 当該沈積ケースは、側方開口を有したケース本体及び当該側方開口を閉鎖するためのケースカバーを含み、当該仕切り板は、当該ケースカバーに接続される、ことを特徴とする請求項7に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  9. これらの吸着部同士は、距離を空けて並ぶ、ことを特徴とする請求項3に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  10. 当該沈積ケースは、対向して設置される頂板及び底板を含み、当該頂板が当該排気口を有し、当該底板が当該少なくとも一つの吸気口を有し、当該少なくとも一つの吸着部は、当該頂板に接続される、ことを特徴とする請求項1に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  11. 当該少なくとも一つの吸着部は、グラファイト又は炭素/炭素複合材料で製造されたものである、ことを特徴とする請求項1から10のうちのいずれか一項に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  12. 当該少なくとも一つの間隔距離は、5~10cmである、ことを特徴とする請求項7に記載のケイ素酸化物の製造装置。
  13. 当該少なくとも一つの吸気口及び当該少なくとも一つの排気ダクトは、それらの数がそれぞれ複数であり、それぞれが対応的に連通する、ことを特徴とする請求項1に記載のケイ素酸化物の製造装置。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003119017A (ja) 2001-10-11 2003-04-23 Denki Kagaku Kogyo Kk 低級酸化ケイ素粉末の製造方法
JP2005298273A (ja) 2004-04-12 2005-10-27 Nippon Steel Corp 高純度SiO固体の製造方法及び製造装置
JP2009091195A (ja) 2007-10-09 2009-04-30 Shin Etsu Chem Co Ltd 一酸化珪素の製造装置及び製造方法
JP2017535506A (ja) 2015-07-08 2017-11-30 深▲セン▼市貝特瑞新能源材料股▲ふん▼有限公司 シリコン酸化物の製造装置及び調製方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4465206B2 (ja) * 2004-02-20 2010-05-19 新日鉄マテリアルズ株式会社 SiOの製造方法及び製造装置
WO2011148569A1 (ja) * 2010-05-25 2011-12-01 株式会社大阪チタニウムテクノロジーズ リチウムイオン二次電池負極材用粉末およびその製造方法
JP5648070B2 (ja) * 2010-12-07 2015-01-07 株式会社大阪チタニウムテクノロジーズ リチウムイオン二次電池負極材用粉末、これを用いたリチウムイオン二次電池負極およびキャパシタ負極、ならびにリチウムイオン二次電池およびキャパシタ
EP3922601A4 (en) * 2020-04-16 2022-05-25 Tera Technos Co., Ltd. APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING SILICON OXIDES, AND SILICON OXIDE NEGATIVE ELECTRODE MATERIAL

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003119017A (ja) 2001-10-11 2003-04-23 Denki Kagaku Kogyo Kk 低級酸化ケイ素粉末の製造方法
JP2005298273A (ja) 2004-04-12 2005-10-27 Nippon Steel Corp 高純度SiO固体の製造方法及び製造装置
JP2009091195A (ja) 2007-10-09 2009-04-30 Shin Etsu Chem Co Ltd 一酸化珪素の製造装置及び製造方法
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