JP7360156B2 - バルブ装置、流量制御装置及び分流装置 - Google Patents

Description

本発明は、バルブ装置、流量制御装置及び分流装置に関する。

従来、半導体製造プロセスに用いられるプロセスガス等の流通・遮断制御や流量制御に各種バルブ装置が用いられており、特に気密性維持のためにダイヤフラムバルブが多く用いられている。
ダイヤフラムバルブは、流量センサと組み合わせた流量制御装置（マスフローコントローラ）に用いられ、さらに複数の流量制御装置を並列に配置した分流器にも用いられている。
ダイヤフラムバルブの流量制御のためにダイヤフラムを変形さる駆動部として、モータ駆動のカム機構が、大流量制御、調整分解能、小保持電力、の観点から使用される場合がある。特に、一定の流量を保持する分流器に用いられる場合に適している（例えば特許文献１）。

カム機構を有するバルブ装置の一例を、図６に示す。このバルブ装置は、内部に流路１１ａ，１１ｂが設けられたバルブボディ１０と、バルブボディ１０の弁室内に配置され、流路１１ａ，１１ｂを開閉するダイヤフラム２０と、ダイヤフラム２０を弾性変性させるステム３０ａと、ステム３０ａを駆動するカム５２と、カム５２を回転させるステッピングモータ５１とを有する。ステッピングモータ５１がカム５２の回転位置を制御することにより、ステム３０ａの軸方向位置を調整し、ダイヤフラム２０の変形量を調整して、バルブの開度を調整するようになっている。

特開２０１５－４９５６９号公報

しかし、カム５２の回転時にステム３０ａの軸方向がブレると、ステム３０ａの軸方向位置は、カム５２の回転による半径変化に忠実に追従できず、カム５２の回転位置に従って設定されるべきバルブ開度と実際のバルブ開度との間に誤差を生ずる。
この軸ブレの１つの原因としては、ステム３０ａの先端部が、カム５２の回転につられてカム５２の回転方向に変位することが考えられる。ステム３０ａの先端部には、ベアリング３４が取り付けられているが、それでも僅かにカム５２の回転力がステム３０ａに加わると考えられる。一方、ステム３０ａは、ボンネット４０内周部に配置されたリニアガイド４２によってガイドされて、軸方向に移動が可能になっているが、リニアガイド４２の各転動ボールとステム３０ａの外周面との間に僅かな隙間があるため、上記カム５２の回転力により、その隙間分のステム３０ａの軸ブレが発生すると考えられる。
図７は、同一の回転位置のカム５２に対するステム３０ａとの接触状態を示す説明図で、（a）は軸ブレのない場合、（ｂ）はステム３０ａ上端が右方向に軸ブレした場合、（ｃ）はステム３０ａ上端が左方向に軸ブレした場合を示す。このように、カム５２が同一の回転位置にあっても、ステム３０ａの上端（ベアリング３４上端）は、（ａ）のときは、点Ｐ_０でカム５２と接するため、カム５２の中心Ｃからｒ_０の位置に設定され、（ｂ）のときは、点Ｐ_１でカム５２と接するため、カム５２の中心Ｃからｒ_１の位置に設定され、（ｃ）のときは、点Ｐ_２でカム５２と接するため、カム５２の中心Ｃからｒ_２の位置に設定される。
カム５２が反転するとステム３０ａの軸ブレ方向も反転するため、図８のようにカム５２の回転位置を往復させる際、ステム３０ａの軸方向位置に往復差ｒ_２－ｒ_１が発生し、流体の流量にも往復差が発生すると考えられる。

上記バルブ装置を組み込んだ流量制御装置においては、流量センサの測定値によりバルブ装置にフィードバックをかけるため、流量の誤差は所定時間内に修正されるが、上記往復差があると制御応答性が悪くなるため、速い外乱には制御が追い付かず、一時的に制御誤差を生ずるという問題がある。
また、流量の分流比制御には、ＰＩＤフィードバック制御を採用しており、各流量に最適なＰＩＤ値を分流制御部にマッピング、メモリしている。往復差ｒ_２－ｒ_１があると、流量制御誤差が生じるため、ＰＩＤ値のマッチング不良が発生して、例えば、出力ハンチングのように制御安定性に影響を及ぼすことが考えられる。

本発明の目的は、このような課題を解決し、ステムの軸ブレを低減でき、この軸ブレに起因する流量制御誤差を低減できるバルブ装置、及び、該バルブ装置を用いた流量制御装置及び分流装置を提供することにある。

本発明のバルブ装置は、
内部に流路が設けられるとともに一面に弁室が凹設されたバルブボディと、
前記弁室に配置され、弾性変形により前記流路の開閉及び開度の調節が可能なダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを押圧して弾性変形させるステムと、
前記ステムを駆動する、モータ駆動で回転するカムを有する駆動部と、
を有するバルブ装置において、
前記ステムは、前記バルブボディ側に固定されたボンネットによりリニアガイドを介して軸方向に移動可能に保持されており、
前記ステムの外周は、さらに、前記ボンネット側に固定された柔軟性材料を有する１以上の保持部材の内周と接触していることを特徴とする。
この構成により、保持部材がステムの外周に接触することで、ステム外周とリニアガイド内周との隙間に起因する軸ブレを低減できるので、ステムの軸ブレに起因する流量制御の悪化を低減することができる。また、保持部材は柔軟性を有するため変形可能で、ステムの軸方向の移動を妨げることはない。

好ましくは、前記保持部材が前記ステムの軸方向の前記リニアガイドの両側に配置されている構成を採用できる。
この構成により、保持部材がステムの軸ブレをより効果的に低減できる。

好ましくは、前記保持部材は、ゴム製である構成を採用できる。
この構成により、保持部材の柔軟性を実現できる。

好ましくは、前記保持部材は、断面円形のＯリングである構成を採用できる。
この構成により、市販のＯリングを使用できるので、低コストで本発明の構成が実現できる。

好ましくは、前記保持部材は、断面Ｈ型のＯリングである構成を採用できる。
この構成により、強い保持力を維持したまま、断面形状が変形しやすく、ステムの軸方向の移動を許容できる。

本発明の流量制御装置は、
流体が通過する流体流路と、
前記流体流路を通過する流体の質量流量を測定する流量センサと、
前記流体流路を通過する流体の流量を調整する調整バルブと、
前記流量センサで測定された流体の質量流量が所定値になるように前記調整バルブの開度を制御する制御部と、
を有し、
前記調整バルブとして本発明のバルブ装置を用いたことを特徴とする。
この構成により、この軸ブレに起因する流量制御誤差を低減できる流量制御装置を実現できる。

本発明の分流装置は、供給源からの流体を複数に分流する分流路と、各分流路に設けられた流量制御装置と、各流量制御装置の制御部に目標流量を指示する分流装置制御部と、を有し、前記各流量制御装置として、本発明の流量制御装置を用いることを特徴とする。
好ましくは、いずれかの前記流量制御装置の前記制御部が、前記分流装置制御部の機能を備えている構成を採用できる。

この構成により、この軸ブレに起因する流量比制御誤差を低減できる分流器を実現できる。

本発明によれば、保持部材がステムの外周に接触することで、ステムの軸ブレを低減できるので、ステムの軸ブレに起因する流量制御の悪化を低減することができる。
このため、このバルブ装置を用いることにより、ステムの軸ブレに起因する流量制御の悪化を低減できる流量制御装置及び分流装置を提供することができる。

本発明の実施形態のバルブ装置を示す概略断面図。 図１のバルブ装置の弁室と下側保持部を示す拡大断面図。 図１のバルブ装置の上側保持部を示す拡大断面図。 本発明の実施形態の流量制御装置を示す概略断面図。 本発明の実施形態の分流装置を示す系統図。 従来のバルブ装置を示す概略断面図。 同一の回転位置のカムに対するステムの接触状態を示す説明図で、（a）は軸ブレのない場合、（ｂ）はステム上端が右方向に軸ブレした場合、（ｃ）はステム上端が左方向に軸ブレした場合を示す。 軸ブレがある場合のカムの角度に対するステムの軸方向移動を示す説明図。

（第１の実施形態）
以下、本発明の実施形態のバルブ装置について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態のバルブ装置を示す概略断面図である。
本実施形態のバルブ装置１００は、バルブボディ１０と、ダイヤフラム２０と、ステム３０と、ボンネット４０と、駆動部５０と、を有する。

バルブボディ１０は、略ブロック状を成し、上面から円筒状凹部である弁室１２が穿設されている。また、バルブボディ１０の内部には、弁室１２にそれぞれ連通する上流側流路１１ａと下流側流路１１ｂが形成されている。
上流側流路１１ａは、その流入口がバルブボディ１０の左側面に開口し、その流出口が弁室１２の底面中央部に開口している。下流側流路１１ｂは、その流入口が弁室１２の底面の周辺部に開口し、流出口がバルブボディ１０の下面に開口している。
弁室１２内部は、図２に拡大して示すように、底面中央部の上流側流路１１ａの開口部の周囲には樹脂製の環状のバルブシート１３が配置され、その周囲には、このバルブシート１３を抑えるインナーディスク１４が配置され、さらにこれらを覆うようにダイヤフラム２０が配置されている。

ダイヤフラム２０は、特殊ステンレス鋼やニッケル・コバルト合金等の金属からなる、自然状態で略球殻形の薄板である。ダイヤフラム２０は、弾性変形が可能で、下面をバルブシート１３から離間・当接することにより、上流側流路１１ａと下流側流路１１ｂとの間を連通・遮断して、流路の開閉及び開度の調節ができるようになっている。
ダイヤフラム２０の周縁部は、インナーディスク１４の周縁部の上に配置され、上からリング状の押えアダプタ４１を介して、弁室１２内周面のねじ部に螺合された略円筒状のボンネット４０の下端部により、抑えられている。

ダイヤフラム２０の中央部は、ダイヤフラム押え３１を介してステム３０の下端部により下方向に押圧されている。
図１に示すように、ステム３０は、下端部のダイヤフラム押え３１受け部分と、それ以外の円柱状の軸部分とからなる。ステム３０は、その前記軸部分がボンネット４０の内周側に設けられたリニアガイド４２によってガイドされて、上下方向に移動可能に保持されている。このリニアガイド４２は、内面に複数列の転動ボールを有し、ステム３０の外周面は、これらの転動ボールにガイドされて、きわめて低抵抗で上下方向に移動できる。
ステム３０の軸部分の上端部には、略コの字型のベアリングホルダ３３が取り付けられ、これを挿通するベアリング軸３５を介してベアリング３４が取り付けられている。

ベアリング３４は、その上側の偏心した略円筒状のカム５２に当接している。このカム５２は、ステッピングモータ５１の出力軸５１ａにセットビス５３によって取り付けられ、ステッピングモータ５１によって回転位置が変化できるようになっている。尚、カムの回転位置の原点は、カム５２に取り付けられた遮光板５６がフォトスイッチ（図示省略）を遮光する位置としている。
ステッピングモータ５１は、略箱型のモータホルダ４４の左側に、出力軸５１ａが内側に入り込むように取り付けられてボルト５５により固定されている。このモータホルダ４４は、その底面の開口部に挿通されたボンネット４０に、ロックナット４３，４５を用いて固定されている。これにより、ステッピングモータ５１は、モータホルダ４４を介してボンネット４０に固定されている。
一方、カム５２の他端部は、モータホルダ４４の右壁面を成すベアリングホルダ５７に保持されたベアリング５４により、回転可能に支持されている。

この構成により、ステム３０はダイヤフラム２０の形状復元力により押し上げられて、ベアリング３４がカム５２に当接し、カム５２の回転により、ステム３０が上下方向に移動し、前記流路の開閉ができるようになっている。

ここで、本発明の実施形態のバルブ装置では、ステム３０の軸ブレを低減するために、ステム３０の軸部分の外周は、さらに、ボンネット４０側に固定された柔軟性材料からなる保持部材６０ａ，６０ｂの内周と接触している。
保持部材６０ａは、断面円形のゴム製のＯリングが使用されている。これにより、断面の圧縮方向に柔軟に伸縮してステムの軸ブレを低減しつつ、剪断方向にも変形して、ステムの軸方向の動きを許容している。この保持部材６０ａは、ボンネット４０の下端部の内周面に設けられた溝部に収容されている。
保持部材６０ｂは、図３に示すように、断面がＨ型のゴム製のＯリングが使用されている。これにより、断面の圧縮方向に高い剛性を維持してステムの軸ブレを有効に低減しつつ、剪断方向の柔軟性を高くして、ステムの軸方向の動きが阻害されないようにしている。この保持部材６０ｂは、断面コの字型のリング状のホルダ６１内に収容され、このホルダ６１は、外周面にねじ部を有し、ボンネット４０の上端部の内周面に設けられたねじ部に螺合されている。
これらの保持部材６０ａ，６０ｂは、市販のＯリングの材質でよく、その材質は一般的なニトリルゴムでも良いが、高温の流体を扱うバルブの場合、耐熱性に優れたシリコーンゴムやフッ素ゴムが望ましい。

次に、このように構成された本実施形態のバルブ装置１００の動作について、図１を参照して説明する。
初期位置では、カム５２の回転中心からステム３０側のベアリング３４との接触点までの半径が大きくなっており、ステム３０がカム５２によって押し下げられ、ダイヤフラム押え３１を介してダイヤフラム２０を押し下げ、ダイヤフラム２０下面はバルブシート１３に当接している。これにより、上流側流路１１ａと下流側流路１１ｂとは、遮断され、本バルブ装置１００は閉状態になっている。この初期位置で、例えば遮光板５６がフォトスイッチ（図示省略）を遮光するように設定され、初期位置が電気的に検出できるようになっている。

次に、カム５２がステッピングモータ５１により回転すると、カム５２の回転中心からステム３０側のベアリング３４との接触点までの半径が減少し、ステム３０がダイヤフラム２０の形状復元力によって押し上げられ、ダイヤフラム２０下面とバルブシート１３との間に隙間が生じ、上流側流路１１ａと下流側流路１１ｂは連通して、本バルブ装置１００は開状態になる。
ステッピングモータ５１の駆動ステップ数を制御することにより、カム５２の回転位置はオープンループで調整でき、それにより、バルブ装置１００の開度が調整できるようになっている。

ここで、前記のように、従来のバルブ装置では、リニアガイド４２の各転動ボールとステム３０の外周面との間に僅かな隙間があるため、カム５２の回転力により、その隙間分のステム３０の軸ブレが発生すると考えられる。
特に、カム５２の回転方向が反転するとステム３０の軸ブレ方向も反転するため、図８のようにカム５２の回転位置を往復させる際、ステム３０の軸方向位置に往復差ｒ_２－ｒ_１が発生し、流体の流量にも往復差が発生すると考えられる。

これに対し、本発明のバルブ装置１００では、ステム３０の軸ブレを低減するために、該ステム３０の軸部分の外周は、さらに、ボンネット４０側に固定された柔軟性材料からなる保持部材６０ａ，６０ｂの内周と接触させるようにしたので、軸ブレが抑えられて、ステムの軸ブレに起因する流量制御の悪化を低減することができる。

尚、本実施形態では、下側の保持部材６０ａとして断面円形のＯリングを用い、上側の保持部材６０ｂとして断面Ｈ型のＯリングを用いたが、これに限られない。ステム３０への適切な保持力（軸ブレ防止力）を維持しつつステム３０の軸方向の動きを許容する柔軟性があるものであればよい。例えば、上下両方とも断面円形のＯリングを用いてもよく、上下両方とも断面Ｈ型のＯリングを用いてもよい。もしくは、断面円形や断面Ｈ型以外の形状のＯリングを用いても良い。
また、Ｏリングのようなステム３０に全周に渡って接触する構造でなくてもよく、一部のみに接触する部材でも良い。

また、本実施形態では、保持部材６０ａ，６０ｂを上下２箇所に設けたが、例えば、上側のみ（保持部材６０ｂのみ）に設けても良い。このような構造でも、カム５２に対するステム３０先端のベアリング３４の接触位置のブレを防ぐことができ、本発明の効果を得られると考えられる。または、保持部材を３箇所以上に設けても良い。

さらに、ステム３０を軸方向に移動可能に保持するリニアガイド（４２）についても、リニアガイド以外のボールが軸の溝中を転動するボールスプラインや、軸の幅方向両側にＶレールを設け、ボールがそのＶレール中を転動するリニアガイドとしてもよい。または、ボールを用いない摺動ガイドでもよい。このような各種ガイドを用いても、ステムとガイドの間に微少な隙間があるため、ステム３０の僅かな軸ブレが発生する可能性があり、本発明の保持部材によって、軸ブレを低減できるからである。

本実施形態によれば、ステム３０の外周を、ボンネット４０側に固定された柔軟性材料からなる保持部材６０ａ，６０ｂの内周と接触させるようにしたので、軸ブレが抑えられて、ステム３０の軸ブレに起因する流量制御の悪化を低減することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の実施形態の流量制御装置について、図４を参照して説明する。
図４は、本発明の実施形態の流量制御装置を示す概略断面図である。
本実施形態の流量制御装置２００は、流体流路（２１１，２２１，１１ａ，１１ｂ）と、
熱式の流量センサ２３０と、調整バルブとしての第１の実施形態のバルブ装置１００と、制御部２５０と、さらに、これらを覆うカバー２６０を有する。

流体流路（２１１，２２１，１１ａ，１１ｂ）は、制御対象の流体が通過する流路であり、本実施形態では、上流側ブロック２１０の内部を通過する流路２１１と，中間ブロック２２０の内部を通過する流路２２１と，第１の実施形態のバルブ装置１００の内部を通過する流路１１ａ，１１ｂとからなる。

熱式の流量センサ２３０は、流体流路（２１１，２２１，１１ａ，１１ｂ）を通過する流体の質量流量を測定するもので、流路２２１から分岐して再び流路２２１に戻る細管からなるセンサ流路２３１と、それに巻き付けられた一対の発熱抵抗体（図示省略）を有し、この一対の発熱抵抗体の抵抗値の差をブリッジ回路（図示省略）で読み取ることにより、センサ流路２３１を流れる流体の質量流量を検出している。
流路２２１のうちセンサ流路２３１に平行する部分は、バイパス流路２４０と呼ばれ、このバイパス流路２４０とセンサ流路２３１には、所定の流量比（例えば、１：２～１：１０００）で流体が流れるように構成されている。センサ流路２３１を流れる流体の質量流量にこの流量比をかけることで、流体流路（２１１，２２１，１１ａ，１１ｂ）の流量を算出している。

調整バルブ（１００）は、第１の実施形態のバルブ装置１００であり、流体流路（２１１，２２１，１１ａ，１１ｂ）を通過する流体の流量を調整する。

制御部２５０は、前記流量センサ２３０で測定された流体の質量流量が所定値になるように前記調整バルブ（１００）の開度を制御するものである。制御部２５０は、流量センサ２３０からの信号に基づいて流体の流量を算出し、流体流路（２１１，２２１，１１ａ，１１ｂ）を流れる流体が所定の流量となるように調整バルブ（１００）へ制御信号を出力するフィードバック制御を行う。制御部２５０は、増幅器，ＡＤ変換器，ステッピングモータ駆動回路、マイコン、さらに、外部からの流量指示値を入力するとともに流量測定値を出力する入出力インターフェースを備えている。

このように構成された本実施形態の流量制御装置２００の動作は、通常の流量制御装置と同様であり、外部からの目標流量指令値に従って流量を制御し、実測した流量値データを外部に出力できる。

本実施形態によれば、調整バルブ（１００）として第１の実施形態のバルブ装置１００を用いたので、ステム３０（図１参照）の軸ブレに起因する流量制御の悪化を低減できる

（第３の実施形態）
次に、本発明の実施形態の分流装置について、図５を参照して説明する。
図５は、本発明の実施形態の分流装置３００を示すブロック図であり、半導体製造装置の処理チャンバ４００の各所に半導体プロセスに使用するガスを供給する場合の例を示している。尚、符号５００は処理チャンバ４００内部を減圧する排気ポンプを示す。
本実施形態の分流装置３００は、供給源からの流体を複数に分流する分流路３１０と、その分流後の各流路３１０ａ～３１０ｄに設けられた流量制御装置２００ａ～２００ｄと、各流量制御装置の制御部２５０ａ～２５０ｄに目標流量を指示する分流装置制御部３２０と、を有し、前記各流量制御装置２００ａ～２００ｄとして、第２の実施形態の流量制御装置２００を用いることを特徴とする。
本実施形態では、流量制御装置２００ａの制御部２５０ａが前記分流装置制御部３２０の機能を備えている。

このように構成された本実施形態の分流装置３００の動作は、従来の分流器の動作と同じである。
すなわち、分流路３１０の分配前の流路には、上流側の他の流量制御装置で制御された流量Ｑの流体が供給される。流量制御装置２００ａ（マスター装置）の制御部２５０ａは、外部のコントローラから流量の分配比の指示を受けると、各流量制御装置２００ａ～２００ｄが流すべき流量値を算出し、自身の流量制御装置２００ａをその流量値になるように制御すると共に、他の各流量制御装置２００ｂ～２００ｄ（スレーブ装置）の制御部２５０ｂ～２５０ｄに、流すべき流量値を指示する。
指示を受けた他の各流量制御装置２００ｂ～２００ｄも、それぞれを流れる流量Ｑ１～Ｑ４が指示された流量になるように、制御する。

本実施形態によれば、各流量制御装置２００ａ～２００ｄとして、第２の実施形態の流量制御装置２００を用いたので、ステム３０（図１参照）の軸ブレに起因する流量制御の悪化と、それによる分配比率の悪化を低減できる分流装置を提供することができる。
できる。

なお、本実施形態は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本開示の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
例えば、第２の実施形態の流量制御装置２００では、流量センサとして熱式の流量センサ２３０を用いたものについて記載したが、圧力センサとオリフィスからなる圧力式流量センサを用いたものでも良い。
また、第３の実施形態の分流装置３００では、流量制御装置２００ａの制御部２５０ａが分流装置制御部３２０の機能を備えているものについて記載したが、分流装置制御部３２０を別体として構成したものでもよい。

１００ ：バルブ装置
１０ ：バルブボディ
１１ａ ：上流側流路
１１ｂ ：下流側流路
１２ ：弁室
１３ ：バルブシート
１４ ：インナーディスク
２０ ：ダイヤフラム
３０，３０ａ：ステム
３１ ：ダイヤフラム押え
３３ ：ベアリングホルダ
３４ ：ベアリング
３５ ：ベアリング軸
４０ ：ボンネット
４１ ：押えアダプタ
４２ ：リニアガイド
４３，４５：ロックナット
４４ ：モータホルダ
５０ ：駆動部
５１ ：ステッピングモータ
５１ａ ：出力軸
５２ ：カム
５３ ：セットビス
５４ ：ベアリング
５５ ：ボルト
５６ ：遮光板
５７ ：ベアリングホルダ
６０ａ，６０ｂ：保持部材
６１ ：ホルダ
１００ ：バルブ装置
２００，２００ａ～２００ｄ：流量制御装置
２１０ ：上流側ブロック
２１１，２２１：流路
２２０ ：中間ブロック
２３０ ：流量センサ
２３１ ：センサ流路
２４０ ：バイパス流路
２５０，２５０ａ～２５０ｄ：制御部
２６０ ：カバー
３００ ：分流装置
３１０ ：分流路
３１０ａ～３１０ｄ：流路
３２０ ：分流装置制御部
４００ ：処理チャンバ
５００ ：排気ポンプ

Claims (8)

1. 内部に流路が設けられるとともに一面に弁室が凹設されたバルブボディと、
   前記弁室に配置され、弾性変形により前記流路の開閉及び開度の調節が可能なダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムを押圧して弾性変形させるステムと、
   前記ステムを駆動する、モータ駆動で回転するカムを有する駆動部と、
   を有するバルブ装置において、
   前記ステムは、前記バルブボディ側に固定されたボンネットによりリニアガイドを介して軸方向に移動可能に保持されており、
   前記ステムの外周は、さらに、前記ボンネット側に固定された柔軟性材料を有する１以上の保持部材の内周と接触していることを特徴とする、バルブ装置。
2. 前記保持部材が前記ステムの軸方向の前記リニアガイドの両側に配置されている、請求項１に記載のバルブ装置。
3. 前記保持部材は、ゴム製である、請求項１又は２に記載のバルブ装置。
4. 前記保持部材は、断面円形のＯリングである、請求項３に記載のバルブ装置。
5. 前記保持部材は、断面Ｈ型のＯリングである、請求項３に記載のバルブ装置。
6. 流体が通過する流体流路と、
   前記流体流路を通過する流体の質量流量を測定する流量センサと、
   前記流体流路を通過する流体の流量を調整する調整バルブと、
   前記流量センサで測定された流体の質量流量が所定値になるように前記調整バルブの開度を制御する制御部と、
   を有し、
   前記調整バルブとして請求項１～５のいずれかに記載のバルブ装置を用いたことを特徴とする、流量制御装置。
7. 供給源からの流体を複数に分流する分流路と、各分流路に設けられた流量制御装置と、各流量制御装置の制御部に目標流量を指示する分流装置制御部と、を有し、前記各流量制御装置として、請求項６に記載の流量制御装置を用いることを特徴とする、分流装置。
8. いずれかの前記流量制御装置の前記制御部が、前記分流装置制御部の機能を備えている、請求項７に記載の分流装置。
   

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