KR20210060657A - 밸브 장치 및 가스 공급 시스템 - Google Patents

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KR20210060657A
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켄지 아이카와
타카히로 마츠다
아키히로 하라다
카즈나리 와타나베
토모히로 나카타
츠토무 시노하라
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

소형화, 집적화에 의해 적합한 구조를 가지는 반도체 제조 프로세스 등에 이용되는 밸브 장치를 제공한다.
수용 오목부(35)에 수용되고, 저면에 제1의 포트(3p1) 및 제2의 포트(3p2)를 가지는 밸브 바디(3)와, 외주에 나사부(20a)가 형성되고, 수용 오목부(35)의 내주에 나사 결합함으로써, 밸브 바디(3)를 수용 오목부(35)의 저부를 향하여 압압하면서, 당해 밸브 바디(3)를 유로 블록(30)에 고정하는 보닛 너트(20)를 가지며, 밸브 바디(3)는 제1의 포트(3p1) 및 제2의 포트(3p2)의 주위에 저면(3d)에서 돌출되어 형성된 실링용의 제1 및 제2의 환상 돌기(4a, 4b)를 가지며, 상기 제1 및 제2의 환상 돌기(4a, 4b)는 일부를 공용하도록 형성되어 있다.

Description

밸브 장치 및 가스 공급 시스템
본 발명은 유로가 형성된 유로 블록에 분리 가능하게 장착되는 밸브 장치 및 이 밸브 장치를 이용한 가스 공급 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서는, 반도체 제조 장치의 챔버에 대하여, 각종 프로세스 가스의 공급을 제어하는 밸브가 이용되고 있다. 원자층 퇴적법(ALD:Atomic Layer Deposition법) 등의 프로세스에 있어서는, 소형화되면서, 기판에 막을 퇴적시키는 처리 프로세스에 사용하는 프로세스 가스의 유량 제어에 고응답성, 고정밀성이 요구되고 있다. 이를 실현하기 위해서는, 배관을 가능한 한 생략하여 배관 내의 잔류 가스를 줄이고, 밸브를 소형화하여, 프로세스 가스의 공급처에서 가능한 한 가까운 곳에 다수의 밸브를 집적화할 필요가 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 1998-47514호 공보
특허 문헌 1은 모듈화되고, 조인트 부재를 통하지 않고 가스 공급처인 유로 블록에 직접적으로 나사 결합한 집적화 밸브를 개시하고 있다.
본 발명의 목적의 하나는, 더욱 소형화되고, 집적화에 적합한 구조의 밸브 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 밸브 장치는 유로가 형성된 유로 블록에 분리 가능하게 장착되는 밸브 장치로서,
상기 유로 블록에 형성된 수용 오목부에 수용되고, 저면에 제1의 포트 및 제2의 포트를 가지는 밸브 바디와,
외주에 나사부가 형성되고, 상기 수용 오목부의 내주에 나사 결합함으로써, 상기 밸브 바디를 상기 수용 오목부의 저부를 향하여 압압하면서, 당해 밸브 바디를 상기 유로 블록에 고정하는 보닛 너트를 가지며,
상기 밸브 바디는 상기 제1의 포트 및 제2의 포트의 주위에 상기 저면에서 돌출되어 형성된 실링용의 제1 및 제2의 환상 돌기를 가지며,
상기 제1 및 제2의 환상 돌기는 일부를 공용하도록 형성되어 있다.
바람직하게는, 상기 제1 및 제2의 환상 돌기는 전체적으로, 8자 형상의 윤곽 형상을 가지는 구성을 채용할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 제1 및 제2의 환상 돌기는 상기 밸브 바디의 중심 축선을 포함하는 가상 평면에 관하여 좌우 대칭으로 형성되어 있는 구성을 채용할 수 있다.
본 발명의 밸브 장치는 상기 밸브 바디와 상기 보닛 너트 사이에, 상기 밸브 바디에 대한 상기 보닛 너트의 회전을 허용하도록 설치된 베어링을 더 가지는 구성으로 할 수 있다.
바람직하게는, 상기 유로 블록은 상기 밸브 바디의 제1의 포트 및 제2의 포트에 각각 금속 가스켓을 통해 접속되는 제3의 포트 및 제4의 포트를 상기 수용 오목부의 저면에 가지며,
상기 유로 블록은 상기 제3의 포트 및 제3의 포트의 주위에 상기 수용 오목부의 저면에서 돌출되어 형성된 실링용의 제3 및 제4의 환상 돌기를 가지며,
상기 제3 및 제4의 환상 돌기는 일부를 공용하도록 형성되어 있는 구성을 채용할 수 있다.
본 발명의 가스 공급 시스템은 복수의 유체 기기가 배열된 가스 공급 시스템으로서,
상기 복수의 유체 기기는 상기의 밸브 장치를 포함한다.
바람직하게는, 상기 밸브 장치는 가스 공급 시스템의 공급 경로의 최종단에 설치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 밸브 바디의 실링용의 제1 및 제2의 환상 돌기의 일부를 공용하도록 형성하였으므로, 제1의 포트 및 제2의 포트의 거리를 보다 접근시킬 수 있고, 그로 인해, 밸브 바디의 외경 치수를 축소할 수 있다. 그 결과, 더욱 소형화되고, 집적화에 적합한 구조의 밸브 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 밸브 장치와, 금속 가스켓 및 유로 블록의 일부에 단면을 포함하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 밸브 장치를 유로 블록에 장착한 상태의 종단면도이다.
도 3은 도 1의 밸브 장치의 저면도이다.
도 4는 유로 블록의 수용 오목부 내의 구조를 나타내는 상면도이다.
도 5는 집적화된 본 실시 형태에 따른 밸브 장치의 사시도이다.
도 6은 본 실시 형태에 따른 밸브 장치가 적용되는 가스 공급 시스템의 일예를 나타내는 개략도이다.
이하, 본 개시의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 적절히 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 밸브 장치(1)를 장착할 곳인 유로 블록(30)에서 분리한 상태를 나타내고 있다. 도 2는 밸브 장치(1)를 유로 블록(30)에 장착한 상태의 종단면을 나타내고 있다. 도 3은 밸브 장치(1)의 저면도를 나타내고, 도 4는 유로 블록(30)의 수용 오목부(35)의 상면도이다.
밸브 장치(1)는 밸브 바디(3), 밸브 시트(5), 이너 디스크(7), 다이어프램(10), 액튜에이터(15), 볼베어링(17) 및 보닛 너트(20)를 가지고 있다.
밸브 바디(3)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 상부에 원통부(3b)를 가지며, 저부에 확경부(3c)를 가지는 축선(Ct)을 중심 축선으로 갖는 회전체이고, 유로(3A) 및 유로(3B)가 형성되고, 유로(3A)의 일단은 밸브 바디(3)의 저면에서 개구하는 포트(3p1)에 연통되고, 유로(3B)의 일단은 밸브 바디(3)의 저면에서 개구하는 포트(3p2)에 연통되어 있다.
포트(3p1) 및 포트(3p2)는 도 3의 저면도에 나타낸 바와 같이, 밸브 바디(3)의 축선(Ct)을 포함하는 가상 평면(PL)에 관하여 좌우 대칭으로 형성되어 있다. 포트(3p1) 및 포트(3p2)의 주위에는 저면에서 돌출되어 형성된 실링용의 돌기(4)가 밸브 바디(3)에 일체로 형성되어 있다. 돌기(4)는 가스켓(21)에 눌려져, 가스켓(21)을 소성 변형시키기 위하여 설치되어 있다.
돌기(4)는 2개의 원환상 돌기(4a) 및 원환상 돌기(4b)로 이루어지고, 원환상 돌기(4a)와 원환상 돌기(4b)는 일부를 공용하도록 형성되어 있다. 즉, 원환상 돌기(4a) 및 원환상 돌기(4b)의 일부가 공통적인 돌기 부분(4c)으로 구성되어 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 돌기(4)는 전체적으로 8자 형상의 외윤곽 형상을 가지는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 원환상 돌기(4a) 및 원환상 돌기(4b)의 일부가 공통적인 돌기 부분(4c)으로 구성됨으로써, 포트(3p1) 및 포트(3p2)의 거리를 보다 근접시킬 수 있고, 밸브 바디(3)의 외경을 축소시킬 수 있다.
밸브 바디(3)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 원통부(3b)의 저부의 유로(3B)의 개구의 주위에 원환상의 밸브 시트(5)가 설치되고, 이 밸브 시트(5)는 이너 디스크(7)에 의해 정위치에 유지되어 있다. 이너 디스크(7) 상에는 금속제의 다이어프램(10)이 설치되고, 이너 디스크(7)을 전면적으로 덮고 있다. 다이어프램(10)은 액튜에이터(15)에 의해 구동되는 다이어프램 프레서(12)에 의해 밸브 시트(5)에 접촉, 이격함으로써, 유로(3A)와 유로(3B) 사이를 연통, 차단한다. 다이어프램(10)은 밸브 바디(3)의 원통부(3b)의 내주에 틀어 박히는 액튜에이터(15)의 하단부의 선단면에 의해 밸브 바디(3)를 향하여 압압됨으로써, 기밀하게 고정되어 있다. 또한, 액튜에이터(15)는 밸브 바디(3)의 원통부(3b)의 내주에 나사 결합함으로써, 밸브 바디(3)에 접속되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 밸브 바디(3)의 저부에 형성된 확경부(3c)는 그 상단면에서 볼베어링(17)을 지지하고 있으며, 외주면은 후술되는 유로 블록(30)의 수용 오목부(35)의 내주에 형성된 내주면부(35a)에 감합(嵌合)하는 외주면부(3f)로 되어 있다. 이 외주면부(3f)에, 유로 블록(30)에 대한 밸브 바디(3)의 축선(Ct)을 중심으로 한 회전 위치를 규정하는 위치 결정용의 볼록부(3a)가 형성되어 있다. 볼록부(3a)는 축선(Ct)을 따른 방향으로 연장되어 있다. 또한, 볼록부(3a)의 형상은, 이에 한정되는 것은 아니지만, 축선(Ct)을 따른 방향으로 연장시키면, 후술되는 직선상의 홈부(35c)에 걸림 결합하였을 때에 이동이 원활해진다.
밸브 바디(3)의 외주에는 원통상으로 형성된 보닛 너트(20)가 배치되고, 보닛 너트(20)의 하단면은 볼베어링(17)을 통해 밸브 바디(3)의 확경부(3c) 상에 배치되어 있다. 보닛 너트(20)의 외주면에는 외측 나사부(20a)가 형성되고, 후술되는 유로 블록(30)의 수용 오목부(35)의 내측 나사부(35s)에 나사 결합한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 상기한 위치 결정용의 볼록부(3a)는 밸브 바디(3)의 저면에서 보아, 보닛 너트(20)의 외주의 외측 나사부(20a)의 외경 내에 들어가 있다.
유로 블록(30)은 도 1 및 도 2에 나타낸 것처럼, 유로(31) 및 유로(32)가 형성되어 있음과 동시에, 단면 형상이 원형의 수용 오목부(35)를 가진다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 수용 오목부(35)의 저면(35b)에는 유로(31)에 연통되는 포트(31p)와 유로(32)에 연통되는 포트(32p)가 개구되어 있다. 포트(31p)와 포트(32p)의 형성 위치는 밸브 바디(3)의 포트(3p1) 및 포트(3p2)에 각각 대응되어 있다.
또한, 포트(31p)와 포트(32p)의 주위에는 수용 오목부(35)의 저면(35b)에서 돌출되어 형성된 실링용의 돌기(33)가 유로 블록(30)에 일체로 형성되어 있다. 돌기(33)는 가스켓(21)에 눌려져, 가스켓(21)을 소성 변형시키기 위하여 설치되어 있다.
돌기(33)는 2개의 원환상 돌기(33a) 및 원환상 돌기(33b)로 이루어지고, 원환상 돌기(33a)와 원환상 돌기(33b)는 일부를 공용하도록 형성되어 있다. 즉, 원환상 돌기(33a) 및 원환상 돌기(33b)의 일부가 공통적인 돌기 부분(33c)으로 구성되어 있다. 돌기(33)는 밸브 바디(3)의 돌기(4)에 대응되는 위치에 형성되어 있다.
유로 블록(30)의 수용 오목부(35)의 내주에는 상단측에서 저부를 향하여 내측 나사부(35s)가 형성되고, 최저부에는 밸브 바디(3)의 외주면부(3f)가 끼이는 내주면부(35a)가 형성되어 있다. 내측 나사부(35s)의 내경은 내주면부(35a)의 내경보다 약간 크게 형성되어 있으므로, 밸브 바디(3)의 외주면부(3f)가 내측 나사부(35s)와 간섭하는 것은 없다.
또한, 수용 오목부(35)의 내주에는 축선(Ct)과 평행하게 상단부에서 저부를 향하여 연장되는 홈부(35c)가 형성되어 있다. 홈부(35c)에 밸브 바디(3)의 볼록부(3a)가 걸림 결합하고, 유로 블록(30)에 대한 밸브 바디(3)의 축선(Ct)을 중심으로 한 회전 위치가 규정된다. 홈부(35c)에 밸브 바디(3)의 볼록부(3a)가 걸림 결합함으로써, 유로 블록(30)의 포트(31p) 및 포트(32p)에, 밸브 바디(3)의 포트(3p1) 및 포트(3p2)가 각각 위치 조정된다. 또한, 도 2에서 알 수 있듯이, 홈부(35c)는 내측 나사부(35s)의 골 지름의 내측에 형성되어 있다.
가스켓(21)은 도 1에 나타낸 것처럼, 금속제의 원반상 부재이며, 유로 블록(30)의 포트(31p) 및 포트(32p)와 밸브 바디(3)의 포트(3p1) 및 포트(3p2)에 대응되어 2개의 관통공이 형성되어 있다. 가스켓(21)은 상기한 밸브 바디의 돌기(4) 및 유로 블록(30)의 돌기(33)에 의해 소성 변형을 발생시키기 때문에, 돌기(4) 및 돌기(33)보다 경도가 충분히 낮다. 가스켓(21)은 밸브 바디(3)의 저면(3d) 및 수용 오목부(35)의 저면(35b)에 각각 형성된 오목부에 외주면이 끼워지도록 되어 있다. 가스켓(21)의 외주면에는 도시하지 않는 가이드 링이 설치되고, 가스켓(21)을 오목부에 끼우면 빠져 나갈 수 없는 구조로 되어 있다.
상기한 밸브 장치(1)를 유로 블록(30)에 조립하는 방법에 대하여 설명한다. 우선, 가스켓(21)을 밸브 바디(3)의 저면(3d)의 오목부에 유지시키는, 또는, 수용 오목부(35)의 저면(3d)에 형성된 오목부에 배치한다. 이 상태로, 밸브 바디(3)의 볼록부(3a)를 수용 오목부(35)의 홈부(35c)에 걸림 결합시키면서, 보닛 너트(20)의 외측 나사부(20a)를 수용 오목부(35)의 내측 나사부(35s)에 나사 결합시키고, 공구를 이용하여 보닛 너트(20)를 회전시키고, 보닛 너트(20)의 추진력을, 볼베어링(17)을 통해 밸브 바디(3)의 확경부(3c)에 전달시킨다. 이때, 볼베어링(17)은 보닛 너트(20)의 회전 방향의 힘을 놓치고, 하방으로 향하는 추진력만이 밸브 바디(3)에 작용하도록 한다. 또한, 밸브 바디(3)에 회전 방향의 힘이 다소 걸렸다고 하여도, 위치 결정용의 볼록부(3a)가 수용 오목부(35)의 홈부(35c)에 걸림 결합하고 있으므로, 밸브 바디(3)와 유로 블록(30)의 상대적인 회전 위치가 어긋나는 일이 없다.
보닛 너트(20)에 필요한 회전 토크를 주면, 밸브 바디(3)의 돌기(4) 및 유로 블록(30)의 돌기(33)가 가스켓(21)을 변형시키고, 유로(3A)와 유로(31)가 기밀하게 연통되고, 유로(3B)와 유로(32)가 기밀하게 연통된다.
돌기(4) 및 돌기(33)는 가상 평면(PL)에 관하여 좌우 대칭으로 형성되어 있으므로, 돌기(4) 및 돌기(33)에 작용하는 힘은 균등화되고, 실링성이 안정화된다.
이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 밸브 시트(5), 다이어프램(10) 등을 내장하는 밸브 바디(3)를 유로 블록(30)의 수용 오목부(35)에 수용하고, 또한, 밸브 바디(3)의 유로 블록(30)에 대한 회전 방향의 위치 결정 기구를, 나사부 영역을 이용하여 최소화하고 있다. 이에 따라, 회전 방향의 위치 결정 기구가 밸브 바디(3)의 외경의 축소의 방해가 되지 않는다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 실링용의 돌기(4) 및 돌기(33)를 2개의 원환상 돌기의 일부가 공통적인 돌기 부분으로 구성되어 있는 구성으로 하였으므로, 포트 사이의 거리를 단축화할 수 있고, 밸브 바디(3)의 외경을 축소시킬 수 있다. 그 결과, 수용 오목부(35)의 내경도 작게 할 수 있으므로, 더욱 소형화, 집적화에 적합한 밸브 장치가 제공된다.
도 5에 집적화된 복수의 밸브 장치(1)를 나타낸다.
보닛 너트(20)를 조작할 수 있는 범위에서, 밸브 장치(1) 사이를 접근시킬 수 있는 것을 알 수 있다.
도 6은 본 실시 형태에 따른 밸브 장치(1)가 적용되는 가스 공급 시스템의 일예를 나타내는 개략도이다.
도 6에 나타내는 시스템은 반도체 제조 프로세스 등을 실행하는 가스 공급 시스템이며, 200은 가스 공급원, 210은 수동 밸브, 220은 감압 밸브, 230은 압력계, 240은 필터, 250은 자동 밸브, 260은 챔버를 나타내고 있다.
이 시스템에 있어서는, 가스 공급원(200)에서 공급된 처리 가스는 수동 밸브(210), 감압 밸브(220), 압력계(230), 필터(240), 자동 밸브(250) 등의 복수의 유체 기기에 의해 제어된다. 본 실시 형태의 밸브 장치(1)는 유스 포인트(use point)(공급처)인 챔버(260)의 가장 가까운 곳, 즉, 가스 공급 시스템의 공급 경로의 최종단에 설치되고, 이를 개폐 제어함으로써, 복수의 유체 기기로 제어된 처리 가스를 챔버(260)로 공급한다.
여기서, "유체 기기"란, 유체의 흐름을 제어하는 기기로서, 유체 유로를 확정하는 바디를 구비하고, 이 바디의 표면에서 개구하는 적어도 2개의 유로구를 가지는 기기이다. 구체적으로는, 개폐 밸브(수동 밸브, 자동 밸브), 레귤레이터, 압력계, 필터 등이 포함되지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.
상기 실시 형태에서는, 볼록부(3a)와 홈부(35c)를 한 곳만을 형성하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 여러 곳에 형성 가능하다.
상기 실시 형태에서는, 볼록부(3a)를 밸브 바디(3)에 형성하고, 홈부(35c)를 유로 블록(30)의 수용 오목부(35)에 형성하였지만, 볼록부를 유로 블록의 수용 오목부의 내주면부에 형성하고, 홈부를 밸브 바디의 확경부에 형성할 수도 있다.
상기 실시 형태에서는, 돌기(4) 및 돌기(33)를 구성하는 2개의 환상 돌기를 원환상 돌기로 하였지만, 환상 돌기라면 다른 형태도 채용 가능하다.
상기 실시 형태에서는, 돌기(4) 및 돌기(33)는 가상 평면(PL)에 관하여 좌우 대칭으로 형성되어 있지만, 안정적인 실링성을 가지고 있으면, 좌우 비대칭으로 형성되어 있어도 된다.
1 : 밸브 장치
3 : 밸브 바디
3A : 유로
3B : 유로
3a : 볼록부
3b : 원통부
3c : 확경부
3d : 저면
3f : 외주면부
3p1 : 포트
3p2 : 포트
4 : 돌기
4a : 원환상 돌기
4b : 원환상 돌기
5 : 밸브 시트
7 : 이너 디스크
10 : 다이어프램
12 : 다이어프램 프레서
15 : 액튜에이터
17 : 볼베어링
20 : 보닛 너트
20a : 외측 나사부
21 : 가스켓
30 : 유로 블록
31 : 유로
31p : 포트
32 : 유로
32p : 포트
33 : 돌기
33a : 원환상 돌기
33b : 원환상 돌기
35 : 수용 오목부
35a : 내주면부
35b : 저면
35c : 홈부
35s : 내측 나사부
200 : 가스 공급원
210 : 수동 밸브
220 : 감압 밸브
230 : 압력계
240 : 필터
250 : 자동 밸브
260 : 챔버
Ct : 축선
PL : 가상 평면

Claims (7)

  1. 유로가 형성된 유로 블록에 분리 가능하게 장착되는 밸브 장치로서,
    상기 유로 블록에 형성된 수용 오목부에 수용되고, 저면에 제1의 포트 및 제2의 포트를 가지는 밸브 바디와,
    외주에 나사부가 형성되고, 상기 수용 오목부의 내주에 나사 결합함으로써, 상기 밸브 바디를 상기 수용 오목부의 저부를 향하여 압압하면서, 당해 밸브 바디를 상기 유로 블록에 고정하는 보닛 너트를 가지며,
    상기 밸브 바디는 상기 제1의 포트 및 제2의 포트의 주위에 상기 저면에서 돌출되어 형성된 실링용의 제1 및 제2의 환상 돌기를 가지며,
    상기 제1 및 제2의 환상 돌기는 일부를 공용하도록 형성되어 있는, 밸브 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2의 환상 돌기는 전체적으로, 8자 형상의 윤곽 형상을 가지는, 밸브 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2의 환상 돌기는 상기 밸브 바디의 중심 축선을 포함하는 가상 평면에 관하여 좌우 대칭으로 형성되어 있는, 밸브 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 바디와 상기 보닛 너트 사이에, 상기 밸브 바디에 대한 상기 보닛 너트의 회전을 허용하도록 설치된 베어링을 더 가지는, 밸브 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유로 블록은 상기 밸브 바디의 제1의 포트 및 제2의 포트에 각각 금속 가스켓을 통해 접속되는 제3의 포트 및 제4의 포트를 상기 수용 오목부의 저면에 가지며,
    상기 유로 블록은 상기 제3의 포트 및 제3의 포트의 주위에 상기 수용 오목부의 저면에서 돌출되어 형성된 실링용의 제3 및 제4의 환상 돌기를 가지며,
    상기 제3 및 제4의 환상 돌기는 일부를 공용하도록 형성되어 있는, 밸브 장치.
  6. 복수의 유체 기기가 배열된 가스 공급 시스템으로서,
    상기 복수의 유체 기기는 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항의 밸브 장치를 포함하는, 가스 공급 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 밸브 장치는 가스 공급 시스템의 공급 경로의 최종단에 설치되어 있는, 가스 공급 시스템.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024062989A1 (ja) * 2022-09-22 2024-03-28 株式会社デンソー 電動弁

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980047514A (ko) 1996-12-14 1998-09-15 박병재 자동차의 도난 방지장치

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3280119B2 (ja) * 1993-06-02 2002-04-30 清原 まさ子 ダイヤフラム弁
JP3605705B2 (ja) * 1995-07-19 2004-12-22 株式会社フジキン 流体制御器
JPH09329257A (ja) * 1996-04-09 1997-12-22 Ckd Corp 部材間のシール構造
JPH10300000A (ja) * 1997-02-28 1998-11-13 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
DE10139871B4 (de) * 2001-08-14 2010-08-26 Robert Bosch Gmbh Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
CN1179141C (zh) * 2001-12-11 2004-12-08 哈尔滨工程大学 具有计量功能的先导式差动阀门
US20060129092A1 (en) * 2002-10-28 2006-06-15 Sherwood Services Ag Single lumen adapter for automatic valve
JP4856462B2 (ja) * 2006-04-07 2012-01-18 株式会社ベン パイロット弁付電磁弁
CA2726306C (en) * 2008-06-20 2016-02-16 Masco Corporation Of Indiana Valve assembly for a two handle faucet
US20140020779A1 (en) * 2009-06-10 2014-01-23 Vistadeltek, Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
EP2567100B1 (en) * 2010-05-04 2018-11-28 Fluid Automation Systems S.A. Valve sub-base
JP5802532B2 (ja) * 2011-12-05 2015-10-28 株式会社フジキン ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット
JP2013119877A (ja) * 2011-12-06 2013-06-17 Fujikin Inc ダイヤフラム弁
US9416884B2 (en) * 2013-03-13 2016-08-16 Kohler Co. Fluid control valve and assembly
CN204627930U (zh) * 2015-05-20 2015-09-09 黄石东贝电器股份有限公司 一种双缸压缩机气缸
FR3038742B1 (fr) * 2015-07-07 2018-08-17 Vernet Cartouche thermostatique de regulation de fluides chaud et froid a melanger

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980047514A (ko) 1996-12-14 1998-09-15 박병재 자동차의 도난 방지장치

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