JP7357385B2 - 光干渉性断層撮影装置およびこれを利用した映像生成方法 - Google Patents
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Description
。
110:光源部
130:カプラ部
131:基準部
135:サンプル部
139:分割部
150:検出部
151:分光部
153:フォーカス部
155:スキャン制御部
157:スキャン部
170:映像生成部
Claims (8)
- 光を生成し照射するように構成された光源部;
カプラ部であって、
前記光源部から照射された光を受け取り、
前記光を第1の光と第2の光に分割し、前記第1の光は基準光を生成するために照射及び使用され、前記第2の光は測定光を生成するために照射及び使用され、
前記基準光及び前記測定光を受け取り、
前記測定光及び前記基準光を用いて合成光を生成し、
前記カプラ部の中に含まれるスイッチがオンのときにのみ、前記合成光をn個の合成分割光に分割し、
n個の合成分割光を照射し、nは2以上の自然数であり、
前記スイッチがオフのときは前記合成光を合成分割光に分割せずに一つの合成光として照射する
カプラ部;
前記カプラ部から照射された前記n個の合成分割光を受け取り、入射したn個の合成分割光をそれぞれn個の分光器に照射し、各分光器から波長帯域別に分光された各光を順次スキャンする検出部であって
前記検出部は、
前記入射したn個の合成分割光をそれぞれ平行光に変換し、各平行光をn番目の分光器に入射して波長帯域別に分光させる分光部と、
前記分光部で波長帯域別に分光された平行光を各波長帯域によって一つの焦点に集まるように平行光の焦点距離を調節するフォーカス部と、
1番目の分光器からn番目の分光器まで各分光器から分光された平行光のスキャンを開始するスキャン開始信号を順次伝送するスキャン制御部と、
前記スキャン制御部からスキャン開始信号が受信されると、前記フォーカス部で各波長帯域によって一つの焦点に集まった平行光を順次スキャンするスキャン部であって、n番目の分光器で分光された平行光に対するスキャン開始信号は、n-1番目の分光器により分光された平行光がスキャンされている間に受け取られ、n番目の分光器により分光された平行光のスキャンは、n番目の分光器により分光された平行光に対するスキャン開始信号が受け取られ、かつn-1番目の分光器により分光された平行光のスキャンが完了した後に開始されるスキャン部と、
前記フォーカス部によりフォーカスされた平行光を平行光の2つのビームに分割するように構成されたビーム分割部であって、前記スキャン部は平行光の2つのビームを並列スキャンするように構成される、ビーム分割部とを有する検出部;および
前記検出部でスキャンした結果を利用して単一映像を生成する映像生成部;
を含む、光干渉性断層撮影(OCT)装置。 - 前記カプラ部は、
前記光源部の光から第1光を生成し、前記第1光をスキャンし反射させて基準光を生成する基準部;
前記光源部の光から第2光を生成し、前記第2光を対象物に照射して反射する測定光を生成するサンプル部;および
前記基準光と測定光を合成して合成光を生成し、前記合成光をn個の合成分割光に分割する分割部;を含む、請求項1に記載のOCT装置。 - 前記サンプル部は、
前記対象物がk個存在する場合、前記第2光をk個に分割して各対象物に照射する、請求項2に記載のOCT装置。 - 前記映像生成部は、
前記k個の対象物を照射する光経路差による周波数が異なる多数個の測定光に応じて多数個のチャネルで形成して単一映像に生成する、請求項3に記載のOCT装置。 - 光干渉性断層撮影(OCT)装置を用いる画像生成方法であって、
光を生成することと、
前記OCT装置のカプラ部を用いて、前記生成した光から分割されて生成された1つの基準光および1つの測定光を利用して合成光を生成することと、
前記合成光を受け取ることと、
前記カプラ部の中に含まれるスイッチがオンのときにのみ、前記合成光をn個の合成分割光に分割し、前記OCT装置の前記カプラ部を用いて、前記n個の合成分割光を照射し、前記スイッチがオフのときは前記合成光を合成分割光に分割せずに一つの合成光として照射することであって、nは2以上の自然数であることと、
入射したn個の合成分割光をそれぞれn個の分光器に照射して各分光器から波長帯域別に分光された各光を順次スキャンすることであって、波長帯域別に分光された各光を順次スキャンすることは、
前記入射したn個の合成分割光をそれぞれ平行光に変換することと、
各平行光をn番目の分光器に入射して波長帯域別に分光させることと、
前記波長帯域別に分光された平行光を各波長帯域によって一つの焦点に集まるように平行光の焦点距離を調節することと、
1番目の分光器からn番目の分光器までそれぞれで分光された平行光のスキャンを開始するスキャン開始信号を順次伝送することと、
前記スキャン開始信号が受信されると、各波長帯域によって一つの焦点に集まった平行光を順次スキャンすることであって、n番目の分光器で分光された平行光に対するスキャン開始信号は、n-1番目の分光器により分光された平行光がスキャンされている間に受け取られ、n番目の分光器により分光された平行光のスキャンは、n番目の分光器により分光された平行光に対するスキャン開始信号が受け取られ、かつn-1番目の分光器により分光された平行光のスキャンが完了した後に開始されることと、を含む、順次スキャンすることと、
スキャンした結果を利用して単一映像を生成することと、
を含み、
波長帯域別に分光された各光を順次スキャンすることは、各波長帯域に応じてフォーカスされた平行光を平行光の2つのビームに分割することと、平行光の2つのビームを並列スキャンすることとを含み、
合成光を生成することは、生成された光を分割して第1の光と第2の光を生成することと、前記第1の光をスキャン及び反射して基準光を生成することと、前記第2の光を対象物に照射して、前記対象物から反射された測定光を生成することと、前記第1の光と第2の光から生成された基準光と測定光を合成することとを含み、
前記測定光を生成することは、k個の対象物があるとき、前記第2の光をk個に分割し、各対象物に照射することを含み、kは2以上の自然数である、
映像生成方法。 - 前記第2の光を対象物に照射して前記対象物から反射された測定光を生成することは、前記第2の光を平行光に変換することと、平行光の光路を変化させて平行光を前記対象物に直接的または間接的に照射することと、平行光を前記対象物の1つの焦点に集まるように調節することとを含む、請求項5に記載の映像生成方法。
- 平行光を前記対象物の1つの焦点に集まるように調節することは、平行光を前記対象物に照射するときの1以上のスキャンレンズまたはスキャンミラーの位置または角度を調節することを含む、請求項6に記載の映像生成方法。
- 前記単一映像を生成することは、
前記k個の対象物を照射する光経路差による周波数が異なる多数個の測定光に応じてk個のチャネルで形成して単一映像に生成することを含む、請求項5に記載の映像生成方法。
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---|---|---|---|---|
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KR102353412B1 (ko) * | 2020-08-20 | 2022-01-20 | 주식회사 휴비츠 | 측면 촬영용 3차원 단층 촬영 검사 장치 |
CN114076746A (zh) * | 2020-08-20 | 2022-02-22 | 株式会社湖碧驰 | 利用双线条相机的断层摄影检查装置和方法 |
KR102468083B1 (ko) * | 2020-12-22 | 2022-11-16 | 경북대학교 산학협력단 | 마하젠더 간섭계 기반 초고속 광 주파수 및 시분할 광 간섭성 단층 촬영장치 및 이를 이용한 촬영방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006116672A3 (en) | 2005-04-27 | 2007-02-22 | Dartmouth College | Systems and methods for tomographic image reconstruction |
JP2008538612A (ja) | 2005-04-22 | 2008-10-30 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | スペクトルドメイン偏光感受型光コヒーレンストモグラフィを提供することの可能な構成、システム、及び方法 |
JP2008272256A (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Univ Of Tsukuba | 偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置、該装置の信号処理方法、及び該装置における表示方法 |
US20140340634A1 (en) | 2013-04-05 | 2014-11-20 | Wasatch Photonics, Inc. | Optical coherence tomography systems and methods |
WO2017137567A1 (en) | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Carl Zeiss Meditec, Inc. | Systems and methods for improved oct measurements |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1623085A (zh) * | 2002-01-24 | 2005-06-01 | 通用医疗公司 | 使用光谱带并行检测的低相干干涉测量法(lci)和光学相干层析成像(oct)信号的测距和降噪的装置和方法 |
US7355715B2 (en) * | 2004-10-12 | 2008-04-08 | Tokyo Electron Limited | Temperature measuring apparatus, temperature measurement method, temperature measurement system, control system and control method |
US7417740B2 (en) * | 2004-11-12 | 2008-08-26 | Medeikon Corporation | Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor |
WO2006133030A2 (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Board Of Regents | Oct using spectrally resolved bandwidth |
US7488930B2 (en) * | 2006-06-02 | 2009-02-10 | Medeikon Corporation | Multi-channel low coherence interferometer |
KR100863250B1 (ko) | 2007-02-28 | 2008-10-15 | 삼성전자주식회사 | 라인 프로파일 측정 장치 및 방법 |
KR101281169B1 (ko) | 2007-08-24 | 2013-07-02 | 삼성전자주식회사 | 체내 성분 측정용 비침습 프로브 및 이를 포함하는비침습적 체내 성분 측정 시스템 |
JP5576367B2 (ja) | 2008-07-16 | 2014-08-20 | カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト | 光コヒーレンストモグラフィ方法およびシステム |
JP5623028B2 (ja) * | 2009-01-23 | 2014-11-12 | キヤノン株式会社 | 光干渉断層画像を撮る撮像方法及びその装置 |
JP5645445B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2014-12-24 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
JP5627259B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2014-11-19 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
US8617470B2 (en) * | 2009-11-10 | 2013-12-31 | Board Of Regents, The University Of Texas System | System for label-free quantitative detection of biomolecules |
US20110282331A1 (en) * | 2010-05-13 | 2011-11-17 | Oprobe, Llc | Optical coherence tomography with multiple imaging instruments |
KR101442708B1 (ko) | 2012-11-28 | 2014-09-22 | 주식회사 휴비츠 | 3차원 oct 데이터를 처리하기 위한 광 간섭 단층 촬영장치 |
JP6262762B2 (ja) * | 2012-12-06 | 2018-01-17 | リーハイ・ユニバーシティー | 空間分割多重光コヒーレンストモグラフィー装置 |
GB2508874B (en) * | 2012-12-13 | 2017-09-20 | Univ Of Huddersfield | Interferometric apparatus and sample characteristic determining apparatus using such apparatus |
AU2014237811B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-02-15 | Amo Wavefront Sciences, Llc | Angular multiplexed optical coherence tomography systems and methods |
WO2016094940A1 (en) * | 2014-12-14 | 2016-06-23 | Cylite Pty Ltd | Multichannel optical receivers |
US9869541B2 (en) | 2015-07-22 | 2018-01-16 | Medlumics S.L. | High-speed optical coherence tomography using multiple interferometers with suppressed multiple scattering cross-talk |
KR101882769B1 (ko) * | 2016-08-04 | 2018-08-24 | 광주과학기술원 | 주파수 분할 다중화방식의 광단층 영상장치 |
KR101990251B1 (ko) * | 2018-10-15 | 2019-06-17 | 경북대학교 산학협력단 | 광 간섭성 단층 촬영 장치 및 이를 이용한 영상 생성 방법 |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008538612A (ja) | 2005-04-22 | 2008-10-30 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | スペクトルドメイン偏光感受型光コヒーレンストモグラフィを提供することの可能な構成、システム、及び方法 |
WO2006116672A3 (en) | 2005-04-27 | 2007-02-22 | Dartmouth College | Systems and methods for tomographic image reconstruction |
JP2008272256A (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Univ Of Tsukuba | 偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置、該装置の信号処理方法、及び該装置における表示方法 |
US20140340634A1 (en) | 2013-04-05 | 2014-11-20 | Wasatch Photonics, Inc. | Optical coherence tomography systems and methods |
WO2017137567A1 (en) | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Carl Zeiss Meditec, Inc. | Systems and methods for improved oct measurements |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
AN L , et al.,High speed spectral domain optical coherence tomography for retinal imaging at 500,000 A-lines per second,BIOMEDICAL OPTICS EXPRESS,2011年09月12日,Vol. 2, No. 10,pp.2770-2783 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101990251B1 (ko) | 2019-06-17 |
WO2020080692A1 (ko) | 2020-04-23 |
CN112424583A (zh) | 2021-02-26 |
US20210310789A1 (en) | 2021-10-07 |
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