KR100863250B1 - 라인 프로파일 측정 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 백색광원을 출력하는 광원부;상기 광원부에서 출력된 백색광원을 기준미러 및 시료로 출력하고, 상기 기준미러에서 반사된 기준광 및 시료에서 반사된 물체광이 입사되는 광분리기; 및상기 기준광 및 물체광으로부터 간섭 무늬를 집광하여 이미지 스펙트럼을 생성한 후 상기 시료에 형성된 다수의 3차원 형상의 라인 프로 파일 정보를 고속으로 측정 이미지 분광기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로파일 측정 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이미지 분광기는상기 이미지 스펙트럼을 생성하는 ICCD센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로파일 측정 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이미지 스펙트럼은상기 이미지 분광기의 슬릿을 이미지하는 공간 축과, 상기 이미지 분광기의 회절소자에 의해 분광된 스펙트럼 축으로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로파일 측정 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 ICCD센서는상기 ICCD의 비닝 기능으로 한 점의 거리를 실시간으로 트래킹하는 것을 특징으로 하는 프로파일 측정 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 ICCD센서는나노 초의 노출 시간을 갖는 것을 특징으로 하는 프로파일 측정 장치.
- 측정 시료를 로딩한 후 백색광을 광분리기로 출력하고,상기 광분리기에 입사된 백색광을 상기 시료 및 기준미러로 출력하고,상기 시료의 한 포인트에서 반사되는 물체광 및 상기 기준미러에서 반사되는 기준광이 상기 광분리기로 입사되면, 간섭무늬를 생성하여 이미지 분광기로 출력하고,다음 포인트로 이동하면서 상기 이미지 분광기를 통해 간섭무늬의 이미지 스펙트럼을 생성한 후 라인 프로파일을 측정하는 것을 특징으로 하는 라인 프로파일 측정 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 다음 포인트로 이동 시상기 시료의 측정면과 기준미러의 기준면 사이의 거리를 측정하고,상기 시료와 측정 프로브 사이의 일정 거리를 유지하면서 이동하는 것을 특징으로 하는 라인 프로파일 측정 방법.
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- 2007-02-28 KR KR1020070020600A patent/KR100863250B1/ko active IP Right Grant
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