JP5627259B2 - 撮像装置及び撮像方法 - Google Patents
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Description
第1及び第2の測定光を照射した被検査物からの第1及び第2の戻り光と、該第1及び第2の測定光にそれぞれ対応する第1及び第2の参照光とをそれぞれ合成した第1及び第2の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像装置であって、
前記第1及び第2の合成光を波長毎に検出する検出手段と、
前記検出手段における前記第1及び第2の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する低減手段と、
前記重なりが低減した第1及び第2の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段と、を有する。
第1及び第2の測定光を照射した被検査物からの第1及び第2の戻り光と、該第1及び第2の測定光にそれぞれ対応する第1及び第2の参照光とをそれぞれ合成した第1及び第2の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像方法であって、
前記第1及び第2の合成光を波長毎に検出する検出手段における前記第1及び第2の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する工程と、
前記重なりが低減した第1及び第2の合成光に基づく前記被検査物の光干渉断層画像を取得する工程と、を有する。
マイケルソン型の干渉計の場合、分割部103は、参照光と測定光とを合成するように構成される。すなわち、分割部103は、光源101から発生された光を参照光と測定光とに分割する役割と、参照光と戻り光とを合成する役割とを兼ねるように構成される。
マッハツェンダー型の干渉計の場合、前記参照光と前記測定光とを合成するための合成部を備える。前記合成部は、例えばファイバカプラ407であるが、光を合成出来るものなら何でも良い。
また、別の本発明の実施形態に係る光干渉断層法を用いる撮像方法は、以下の工程を含む。
a)複数の光からなる測定光を被検査物の異なる位置に照射する。
b)被検査物によって反射あるいは散乱された前記複数の光からなる測定光による戻り光と、複数の光からなる参照光を合成する。
c)前記合成された干渉光をセンサにより検出する。
d)複数の干渉光を受光する前記センサにおいて、第1の干渉光と隣接する第2の干渉光とが互いに重なり得る部分の光量を低減する。
e)被検査物の断層画像(あるいは光干渉断層画像とも呼ぶ。)を取得する。
低コヒーレンス光源101から出射された光はファイバビームスプリッタ102により、複数の光に分割される。これらの複数に分割された光はファイバカプラ103により、それぞれ複数の光からなる測定光と参照光とに更に分割され、次のように測定光は被測定対象である被検査物に導かれると共に参照光が参照ミラーに導かれる。複数の光からなる測定光を被検査物に導くに際し、測定光は、特定の間隔で並べられたファイバコリメータ104より出射される。ビーム走査を行う走査手段(走査光学系)105によって走査された複数の光からなる測定光が、照射光学系を構成する対物レンズ106を介して、被測定物(被測定対象である被検査物)120に照射される。被測定物120によって反射あるいは散乱された戻り光は、再び同じ光学系を通って、ファイバカプラ103に戻される。参照光は、ファイバコリメータ107より出射され、参照ミラー109にて反射され、ファイバカプラ103に戻される。このとき、参照光との波長分散量をあわせるために、分散補償ガラス108を通している。被測定物120より散乱されファイバカプラ103に戻された測定光と、参照ミラー109にて反射されファイバカプラ103に戻され参照光がファイバカプラ103で合成され、干渉光となる。このように、ファイバカプラ103によって合成された干渉光は、干渉光の検出装置110によって、各測定光に対応した干渉信号として検出される。
以下に本発明の実施例について、図1を用いて説明する。
実施例2として、上記実施例1の光干渉断層法を用いる撮像装置のように光ファイバではなく、バルク光学系(光が空間中を通過する系)を用い、光学フィルタ112の位置を変えた構成例を説明する。
実施例3として、上記実施例1、2の光干渉断層法を用いる撮像装置のように1つの低コヒーレンス光源101を複数のビームに分岐するのではなく、各ビームに別々の光源を設けた場合の構成例を説明する。
以上の実施例ではマイケルソン型の干渉計を用いた例を示したが、本実施例ではマッハツェンダー型の干渉計の場合の構成例を示す。
実施例5として、光学フィルタを参照光路内に配置した構成例を説明する。
103 ファイバカプラ(分割部)
105 走査手段(走査光学部)
110 分光器(検出部)
112 バンドパスフィルタ(調整部材)
114 透過型回折素子(分光素子)
116 センサアレイ
Claims (19)
- 第1及び第2の測定光を照射した被検査物からの第1及び第2の戻り光と、該第1及び第2の測定光にそれぞれ対応する第1及び第2の参照光とをそれぞれ合成した第1及び第2の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像装置であって、
前記第1及び第2の合成光を波長毎に検出する検出手段と、
前記検出手段における前記第1及び第2の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する低減手段と、
前記重なりが低減した第1及び第2の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記検出手段が、
前記第1及び第2の合成光を波長毎に分光する分光素子と、
前記分光素子により波長毎に分光された第1及び第2の光を検出するセンサと、を有し、
前記低減手段が、前記センサにおける前記第1及び第2の光の重なりを低減することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記検出手段が、前記第1及び第2の光をそれぞれ第1の領域と第2の領域に集光させる集光手段を有し、
前記低減手段が、前記第1の光のうち、前記第2の領域に照射され得る波長の光の光量を低減することを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。 - 前記低減手段が、前記第1及び第2の光における特定の波長の光を遮蔽する遮蔽部材であることを特徴とする請求項2あるいは3に記載の撮像装置。
- 前記低減手段が、前記特定の波長の光の透過率または反射率を制限する特性を持つ光学フィルタであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 光を発生させる光源と、
前記光源からの光を前記第1及び第2の参照光と前記第1及び第2の測定光とに分割する分割手段と、
前記被検査物に対して前記第1及び第2の測定光を走査する走査手段と、
を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記低減手段が、前記光源から前記分割手段までの光路に設けられ、該光源からの光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項6に記載の撮像装置。
- 前記分割手段が、前記第1及び第2の参照光と前記第1及び第2の測定光とをそれぞれ合成し、
前記光源から発生された光を複数に分割し、該分割された複数の光をそれぞれ参照光と測定光とに分割し、該複数の測定光を前記被検査物において走査するように構成されることを特徴とする請求項6あるいは7に記載の撮像装置。 - 前記光源を複数有し、
前記分割手段が、前記複数の光源から光を発生し、該発生された複数の光をそれぞれ前記第1及び第2の参照光と前記第1及び第2の測定光とに分割し、
前記走査手段が、前記被検査物に対して前記第1及び第2の測定光を走査することを特徴とする請求項6あるいは7に記載の撮像装置。 - 前記第1及び第2の参照光と前記第1及び第2の測定光とをそれぞれ合成する合成手段を有し、
前記分割手段が、前記光源から発生された光を測定光と参照光とに分割し、該分割された測定光を前記第1及び第2の測定光に分割し、且つ該分割された参照光を前記第1及び第2の参照光に分割し、
前記走査手段が、前記被検査物に対して前記第1及び第2の測定光を走査することを特徴とする請求項6あるいは7に記載の撮像装置。 - 前記低減手段が、前記第1及び第2の参照光の光路に設けられ、該第1及び第2の参照光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 測定光を照射した被検査物からの戻り光と前記測定光に対応する参照光とが合成された第1及び第2の合成光を波長毎に検出する検出手段と、
前記検出手段における前記第1及び第2の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する低減手段と、
前記重なりが低減した第1及び第2の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記低減手段が、前記第1及び第2の合成光の光路に設けられ、該第1及び第2の合成光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 第1及び第2の測定光を照射した被検査物からの第1及び第2の戻り光と、該第1及び第2の測定光にそれぞれ対応する第1及び第2の参照光とをそれぞれ合成した第1及び第2の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像方法であって、
前記第1及び第2の合成光を波長毎に検出する検出手段における前記第1及び第2の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する工程と、
前記重なりが低減した第1及び第2の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する工程と、
を有することを特徴とする撮像方法。 - 前記低減する工程において、前記第1及び第2の参照光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項14に記載の撮像方法。
- 測定光を照射した被検査物からの戻り光と前記測定光に対応する参照光とが合成された第1及び第2の合成光を波長毎に検出する検出手段を用いて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像方法であって、
前記検出手段における前記第1及び第2の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する工程と、
前記重なりが低減した第1及び第2の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する工程と、
を有することを特徴とする撮像方法。 - 前記低減する工程において、前記第1及び第2の合成光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に記載の撮像方法。
- 前記低減する工程において、光源からの光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項14乃至17のいずれか1項に記載の撮像方法。
- 請求項14乃至18のいずれか1項に記載の撮像方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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