JP7357109B2 - 放電加工装置 - Google Patents
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Description
20:載置ステージ
22:治具
24:載置板
26:側板
50:放電加工(EDM)ユニット
52:放電電極
52a:凹み領域
52b:電気的シールド構造
53a、53b:案内凸部
54:電力源
59a:加熱液体タンク
59b:加熱液体
55a:第1の導電線
55b:第2の導電線
56a:送給リール
56b:巻取リール
57a、57b:プーリ
58a、58b:案内溝
60:マイクロ波又は高周波源
62:位置決めユニット
70:接着剤層
72:導電板
100:被加工物
100a:切断面
100b:切断面
100c:切断面
110:加工対象領域
80、82、84、86:導電性ゲイン層
90:熱源
Claims (27)
- 放電加工装置であって、
少なくとも1つの被加工物を載置するための載置板を含む治具が設けられる載置ステージであって、前記被加工物には加工対象領域が画定され、前記被加工物の前記加工対象領域は前記載置板の上方に位置し、前記治具は、前記載置板に設けられる導電板を有する、載置ステージと、
少なくとも1つの放電電極を介して不均一な電界分布で放電エネルギーを前記被加工物の前記加工対象領域に印加することにより、前記加工対象領域に沿って前記被加工物を加工する放電加工(EDM)ユニットと、を含む、ことを特徴とする放電加工装置。 - 前記放電電極の両側には、前記放電エネルギーが前記不均一な電界分布を形成するように、電気的シールド構造が被覆される、請求項1に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極は、前記放電エネルギーが前記不均一な電界分布を形成するように、凹み領域を有する、請求項1に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極の断面形状は、前記放電エネルギーが前記不均一な電界分布を形成するように、T字形、l字形又は楕円形である、請求項1又は2に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極の断面形状は、前記放電エネルギーが前記不均一な電界分布を形成するように、円形である、請求項2に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極は、線状又は板状である、請求項1に記載の放電加工装置。
- 前記電気的シールド構造は、前記放電電極の両側を支持する支持構造である、請求項2に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極又は前記支持構造には案内凸部があり、前記案内凸部は、前記放電加工(EDM)ユニットのプーリの案内溝に対応することにより、前記案内溝を用いて前記案内凸部を案内する、請求項7に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極は磁性素子であり、前記放電電極が前記加工対象領域に沿って前記被加工物を加工する時に、前記放電加工(EDM)ユニットは、磁気引力で前記磁性素子に非接触で作用することにより、前記放電電極の向きを固定する、請求項1に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極は、第1の導電線及び第2の導電線を含み、前記第1の導電線の厚さ及び/又は印加電圧は、前記第2の導電線とは異なる、請求項1に記載の放電加工装置。
- 前記放電加工(EDM)ユニットの前記放電電極を介してマイクロ波又は高周波エネルギーを前記被加工物の前記加工対象領域に供給するためのマイクロ波又は高周波源をさらに含む、請求項1に記載の放電加工装置。
- 放電加工装置であって、
少なくとも1つの被加工物を載置するための載置板を含む治具が設けられる載置ステージであって、前記被加工物には加工対象領域が画定され、前記被加工物の前記加工対象領域は前記載置板の上方に位置し、前記治具は、前記載置板に設けられる導電板を有する、載置ステージと、
少なくとも1つの放電電極を介して放電エネルギーを前記被加工物の前記加工対象領域に印加することにより、前記加工対象領域に沿って前記被加工物を加工するための放電加工(EDM)ユニットと、を含む、ことを特徴とする放電加工装置。 - 前記治具は、前記載置板の両端に設けられる2つの側板をさらに有し、前記2つの側板は、前記被加工物の両側にそれぞれ位置することに用いられる、請求項12に記載の放電加工装置。
- 前記治具は、前記載置板に設けられる接着剤層を有し、前記被加工物の周縁は、前記治具の前記接着剤層に部分的に接着される、請求項12に記載の放電加工装置。
- 前記接着剤層は、導電性接着剤層である、請求項14に記載の放電加工装置。
- 前記接着剤層は、前記載置板に不連続に設けられる、請求項14に記載の放電加工装置。
- 前記接着剤層は、前記載置板から前記被加工物の側辺まで上方に延在する、請求項14に記載の放電加工装置。
- 前記接着剤層は、前記被加工物に浸透する、請求項14に記載の放電加工装置。
- 前記治具は、前記載置板に設けられる前記導電板を有し、前記接着剤層は、前記導電板に設けられる、請求項14、15、16、17又は18に記載の放電加工装置。
- 前記導電板は、仕事関数4.5eV以下の導電性金属構造である、請求項12に記載の放電加工装置。
- 前記載置ステージは、前記治具の前記放電電極に対する傾きを調整し、又は前記放電加工(EDM)ユニットは、前記放電電極の前記被加工物に対する傾きを調整することにより、前記被加工物の前記加工対象領域の前記治具の前記載置板に対する夾角を調整する、請求項12に記載の放電加工装置。
- 前記被加工物及び/又は前記治具は、前記被加工物と前記治具との間の電気的接触を向上させるように、導電性ゲイン層をさらに有する、請求項1又は12に記載の放電加工装置。
- 前記被加工物と前記治具との間の電気的接触を向上させるように、前記載置板上の前記被加工物を加熱するための熱源をさらに含む、請求項1又は12に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極は、流体中で前記被加工物の前記加工対象領域を切断する、請求項1又は12に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極は、真空環境で前記被加工物の前記加工対象領域を切断する、請求項1又は12に記載の放電加工装置。
- 前記放電電極の数は、1つ又は複数である、請求項1又は12に記載の放電加工装置。
- 前記被加工物の数は、1つ又は複数である、請求項1又は12に記載の放電加工装置。
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