JP7355819B2 - 圧電フィルム - Google Patents
圧電フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7355819B2 JP7355819B2 JP2021527483A JP2021527483A JP7355819B2 JP 7355819 B2 JP7355819 B2 JP 7355819B2 JP 2021527483 A JP2021527483 A JP 2021527483A JP 2021527483 A JP2021527483 A JP 2021527483A JP 7355819 B2 JP7355819 B2 JP 7355819B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric film
- electrode
- layer
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 147
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 102
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 98
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 63
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 61
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 32
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 31
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 31
- 125000001731 2-cyanoethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C([H])([H])C#N 0.000 claims description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 294
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 description 33
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 25
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 25
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 22
- 238000003490 calendering Methods 0.000 description 21
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- -1 cyanoethyl hydroxypropyl Chemical group 0.000 description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 10
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 9
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 8
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 4
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000011491 glass wool Substances 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000856 Amylose Polymers 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 239000004373 Pullulan Substances 0.000 description 2
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 2
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 2
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 2
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 2
- KXJGSNRAQWDDJT-UHFFFAOYSA-N 1-acetyl-5-bromo-2h-indol-3-one Chemical compound BrC1=CC=C2N(C(=O)C)CC(=O)C2=C1 KXJGSNRAQWDDJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKNASXZDGZNEDA-UHFFFAOYSA-N 2-cyanoethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC#N VKNASXZDGZNEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEPWOCLBLLCOGZ-UHFFFAOYSA-N 2-cyanoethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC#N AEPWOCLBLLCOGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229930006000 Sucrose Natural products 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQCCZSBUXOQGIU-UHFFFAOYSA-N [La].[Pb] Chemical compound [La].[Pb] PQCCZSBUXOQGIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005537 brownian motion Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 235000013681 dietary sucrose Nutrition 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 229920006248 expandable polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229960004793 sucrose Drugs 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R31/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
- H04R31/003—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor for diaphragms or their outer suspension
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
- H04R7/04—Plane diaphragms
- H04R7/06—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
- H04R7/10—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers in contact
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/852—Composite materials, e.g. having 1-3 or 2-2 type connectivity
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2307/00—Details of diaphragms or cones for electromechanical transducers, their suspension or their manufacture covered by H04R7/00 or H04R31/003, not provided for in any of its subgroups
- H04R2307/025—Diaphragms comprising polymeric materials
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2307/00—Details of diaphragms or cones for electromechanical transducers, their suspension or their manufacture covered by H04R7/00 or H04R31/003, not provided for in any of its subgroups
- H04R2307/027—Diaphragms comprising metallic materials
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/16—Mounting or tensioning of diaphragms or cones
- H04R7/18—Mounting or tensioning of diaphragms or cones at the periphery
- H04R7/22—Clamping rim of diaphragm or cone against seating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Description
特許文献1に開示される圧電フィルムは、常温で粘弾性を有する高分子材料からなる粘弾性マトリックス中に圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体と、高分子複合圧電体を挟むように設けられた電極層とを有するものである。特許文献1に記載される圧電フィルムは、好ましい態様として、薄膜電極の表面に形成された保護層を有する。
また、特許文献1に開示される圧電フィルムは、電極層との接触面において、高分子複合圧電体における圧電体粒子の面積分率が50%以下である。
しかしながら、従来の圧電フィルムの放熱性は十分ではなく、高い放熱性を有する圧電フィルムの実現が望まれている。
断面を走査型電子顕微鏡で観察した際に、少なくとも一方の電極層が、保護層に向かう複数の凸部を有し、凸部の数が、断面における電極層の長さ方向の走査型電子顕微鏡の視野85μmあたり、2~40個であることを特徴とする圧電フィルム。
[2] 保護層と電極層との界面における凸部の高さが250nm以下である、[1]に記載の圧電フィルム。
[3] 保護層と電極層との界面における凸部の大きさが2400nm以下である、[1]または[2]に記載の圧電フィルム。
[4] 両方の電極層の表面に保護層を有する、[1]~[3]のいずれかに記載の圧電フィルム。
[5] 厚さ方向に分極されている、[1]~[4]のいずれかに記載の圧電フィルム。
[6] 圧電特性に面内異方性を有さない、[1]~[5]のいずれかに記載の圧電フィルム。
[7] 高分子材料がシアノエチル基を有する、[1]~[6]のいずれかに記載の圧電フィルム。
[8] 高分子材料がシアノエチル化ポリビニルアルコールである、[7]に記載の圧電フィルム。
[9] 圧電体粒子が、ペロブスカイト型またはウルツ鉱型の結晶構造を有するセラミックス粒子からなるものである、[1]~[8]のいずれかに記載の圧電フィルム。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に制限されるものではない。
なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
また、以下に示す図は、いずれも、本発明を説明するための概念的な図であって、各層の厚さ、圧電体粒子の大きさ、および、構成部材の大きさ等は、実際の物とは異なる。
このような本発明の圧電フィルムは、厚さ方向の断面を走査型電子顕微鏡(SEM(Scanning Electron Microscope)で観察した際に、少なくとも一方の電極層が、保護層に向かう複数の凸部を有する。また、本発明の圧電フィルムは、少なくとも一方の電極層は、SEMで観察する断面において、電極層の長さ方向のSEMの視野(観察視野)85μmあたり、この凸部を、2~40個、有する。
電気音響変換器は、圧電フィルムへの電圧印加によって、圧電フィルムが面方向に伸長すると、この伸長分を吸収するために、圧電フィルムが、上方(音の放射方向)に移動する。逆に、圧電フィルムへの電圧印加によって、圧電フィルムが面内方向に収縮すると、この収縮分を吸収するために、圧電フィルムが、下方に移動する。
電気音響変換器は、この圧電フィルムの伸縮の繰り返しによる振動により、振動(音)と電気信号とを変換するものである。電気音響変換器は、圧電フィルムに電気信号を入力して電気信号に応じた振動により音を再生し、また、音波を受けることによる圧電フィルムの振動を電気信号に変換する。圧電フィルムは、振動による触感付与、および、振動による物体の輸送等にも利用可能である。
具体的には、圧電フィルムの用途としては、フルレンジスピーカー、ツイーター、スコーカー、ウーハーなどのスピーカー、ヘッドホン用スピーカー、ノイズキャンセラー、マイクロフォン、および、ギター等の楽器に用いられるピックアップ(楽器用センサー)などの各種の音響デバイスが挙げられる。また、本発明の圧電フィルムは非磁性体であるため、ノイズキャンセラーのなかでもMRI用ノイズキャンセラーとして好適に用いることが可能である。
また、本発明の圧電フィルムを利用する電気音響変換器は薄く、軽く、曲がるため、帽子、マフラーおよび衣服といったウエアラブル製品、テレビおよびデジタルサイネージなどの薄型ディスプレイ、ならびに、音響機器等としての機能を有する建築物、自動車の天井、カーテン、傘、壁紙、窓およびベッドなどに好適に利用される。
図1に示す圧電フィルム10は、圧電体層12と、圧電体層12の一方の面に積層される上部薄膜電極14と、上部薄膜電極14に積層される上部保護層18と、圧電体層12の他方の面に積層される下部薄膜電極16と、下部薄膜電極16に積層される下部保護層20と、を有する。
(i) 可撓性
例えば、携帯用として新聞や雑誌のように書類感覚で緩く撓めた状態で把持する場合、絶えず外部から、数Hz以下の比較的ゆっくりとした、大きな曲げ変形を受けることになる。この時、高分子複合圧電体が硬いと、その分大きな曲げ応力が発生し、高分子マトリックスと圧電体粒子との界面で亀裂が発生し、やがて破壊に繋がる恐れがある。従って、高分子複合圧電体には適度な柔らかさが求められる。また、歪みエネルギーを熱として外部へ拡散できれば応力を緩和することができる。従って、高分子複合圧電体の損失正接が適度に大きいことが求められる。
(ii) 音質
スピーカーは、20Hz~20kHzのオーディオ帯域の周波数で圧電体粒子を振動させ、その振動エネルギーによって振動板(高分子複合圧電体)全体が一体となって振動することで音が再生される。従って、振動エネルギーの伝達効率を高めるために高分子複合圧電体には適度な硬さが求められる。また、スピーカーの周波数特性が平滑であれば、曲率の変化に伴い最低共振周波数f0が変化した際の音質の変化量も小さくなる。従って、高分子複合圧電体の損失正接は適度に大きいことが求められる。
このとき、圧電フィルムの湾曲程度すなわち湾曲部の曲率半径が大きくなるほど機械的なスチフネスsが下がるため、最低共振周波数f0は小さくなる。すなわち、圧電フィルムの曲率半径によってスピーカーの音質(音量、周波数特性)が変わることになる。
高分子複合圧電体(圧電体層12)において、ガラス転移点が常温にある高分子材料、言い換えると、常温で粘弾性を有する高分子材料をマトリックスに用いることで、20Hz~20kHzの振動に対しては硬く、数Hz以下の遅い振動に対しては柔らかく振舞う高分子複合圧電体が実現する。特に、この振舞いが好適に発現する等の点で、周波数1Hzでのガラス転移温度が常温にある高分子材料を、高分子複合圧電体のマトリックスに用いるのが好ましい。
これにより、高分子複合圧電体が外力によってゆっくりと曲げられた際に、最大曲げモーメント部における高分子マトリックス/圧電体粒子界面の応力集中が緩和され、高い可撓性が期待できる。
これにより、高分子複合圧電体が外力によってゆっくりと曲げられた際に発生する曲げモーメントが低減できると同時に、20Hz~20kHzの音響振動に対しては硬く振る舞うことができる。
しかしながら、その反面、良好な耐湿性の確保等を考慮すると、高分子材料は、比誘電率が25℃において10以下であるのも、好適である。
また、これらの高分子材料としては、ハイブラー5127(クラレ社製)などの市販品も、好適に利用可能である。
以下の説明では、シアノエチル化PVAを代表とする上述の高分子材料を、まとめて『常温で粘弾性を有する高分子材料』とも言う。
すなわち、高分子複合圧電体を構成する高分子マトリックス24には、誘電特性や機械的特性の調節等を目的として、上述した常温で粘弾性を有する高分子材料に加え、必要に応じて、その他の誘電性高分子材料を添加しても良い。
中でも、シアノエチル基を有する高分子材料は、好適に利用される。
また、圧電体層12の高分子マトリックス24において、これらの誘電性高分子材料は、1種に制限はされず、複数種を添加してもよい。
さらに、粘着性を向上する目的で、ロジンエステル、ロジン、テルペン、テルペンフェノール、および、石油樹脂等の粘着付与剤を添加しても良い。
これにより、高分子マトリックス24における粘弾性緩和機構を損なうことなく、添加する高分子材料の特性を発現できるため、高誘電率化、耐熱性の向上、圧電体粒子26や電極層との密着性向上等の点で好ましい結果を得ることができる。
圧電体粒子26は、好ましくは、ペロブスカイト型またはウルツ鉱型の結晶構造を有するセラミックス粒子からなるものである。
圧電体粒子26を構成するセラミックス粒子としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)、チタン酸バリウム(BaTiO3)、酸化亜鉛(ZnO)、および、チタン酸バリウムとビスマスフェライト(BiFe3)との固溶体(BFBT)等が例示される。
圧電体粒子26の粒径を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
圧電体層12中における圧電体粒子26の体積分率は、30~80%が好ましく、50~80%がより好ましい。
高分子マトリックス24と圧電体粒子26との量比を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
圧電体層12の厚さは、8~300μmが好ましく、8~200μmがより好ましく、10~150μmがさらに好ましく、特に15~100μmが好ましい。
圧電体層12の厚さを、上記範囲とすることにより、剛性の確保と適度な柔軟性との両立等の点で好ましい結果を得ることができる。
言い換えれば、本発明の圧電フィルム10は、圧電体層12の両面を電極対、すなわち、上部薄膜電極14および下部薄膜電極16で挟持し、好ましくは、さらに、上部保護層18および下部保護層20で挟持してなる構成を有する。
このように、上部薄膜電極14および下部薄膜電極16で挾持された領域は、印加された電圧に応じて駆動される。
従って、本発明の圧電フィルム10における上部および下部には、技術的な意味は無く、また、実際の使用状態とは無関係である。
貼着剤は、接着剤でも粘着剤でもよい。また、貼着剤は、圧電体層12から圧電体粒子26を除いた高分子材料すなわち高分子マトリックス24と同じ材料も、好適に利用可能である。なお、貼着層は、上部薄膜電極14側および下部薄膜電極16側の両方に有してもよく、上部薄膜電極14側および下部薄膜電極16側の一方のみに有してもよい。
電極引出し部としては、薄膜電極および保護層が、圧電体層の面方向外部に、凸状に突出する部位を設けても良いし、あるいは、保護層の一部を除去して孔部を形成して、この孔部に銀ペースト等の導電材料を挿入して導電材料と薄膜電極とを電気的に導通して、電極引出し部としてもよい。
なお、各薄膜電極において、電極引出し部は1つには制限されず、2以上の電極引出し部を有していてもよい。特に、保護層の一部を除去して孔部に導電材料を挿入して電極引出し部とする構成の場合には、より確実に通電を確保するために、電極引出し部を3以上有するのが好ましい。
下部保護層20と上部保護層18とは、配置位置が異なるのみで、構成は同じである。従って、以下の説明においては、下部保護層20および上部保護層18を区別する必要がない場合には、両部材をまとめて、保護層ともいう。
保護層の剛性が高過ぎると、圧電体層12の伸縮を拘束するばかりか、可撓性も損なわれる。そのため、機械的強度やシート状物としての良好なハンドリング性が要求される場合を除けば、保護層は、薄いほど有利である。
例えば、圧電体層12の厚さが50μmで下部保護層20および上部保護層18がPETからなる場合、下部保護層20および上部保護層18の厚さはそれぞれ、100μm以下が好ましく、50μm以下がより好ましく、中でも25μm以下が好ましい。
上部電極14および下部電極16は、圧電フィルム10(圧電体層12)に電界を印加するために設けられる。
なお、下部電極16および上部電極14は、基本的に同じものである。従って、以下の説明においては、下部電極16および上部電極14を区別する必要がない場合には、両部材をまとめて、薄膜電極ともいう。
中でも、銅、アルミニウム、金、銀、白金、および、酸化インジウムスズは、好適に例示される。その中でも、導電性、コストおよび可撓性等の観点から銅がより好ましい。
ここで、上述した保護層と同様に、薄膜電極の剛性が高過ぎると、圧電体層12の伸縮を拘束するばかりか、可撓性も損なわれる。そのため、薄膜電極は、電気抵抗が高くなり過ぎない範囲であれば、薄いほど有利である。
例えば、保護層がPET(ヤング率:約6.2GPa)で、薄膜電極が銅(ヤング率:約130GPa)からなる組み合わせの場合、保護層の厚さが25μmだとすると、薄膜電極の厚さは、1.2μm以下が好ましく、0.3μm以下がより好ましく、中でも0.1μm以下が好ましい。
このような圧電フィルム10は、動的粘弾性測定による周波数1Hzでの損失正接(Tanδ)が0.1以上となる極大値が常温に存在するのが好ましい。
これにより、圧電フィルム10が外部から数Hz以下の比較的ゆっくりとした、大きな曲げ変形を受けたとしても、歪みエネルギーを効果的に熱として外部へ拡散できるため、高分子マトリックスと圧電体粒子との界面で亀裂が発生するのを防ぐことができる。
これにより、常温で圧電フィルム10が貯蔵弾性率(E’)に大きな周波数分散を有することができる。すなわち、20Hz~20kHzの振動に対しては硬く、数Hz以下の振動に対しては柔らかく振る舞うことができる。
これにより、圧電フィルム10が可撓性および音響特性を損なわない範囲で、適度な剛性と機械的強度を備えることができる。
これにより、圧電フィルム10を用いたスピーカーの周波数特性が平滑になり、スピーカー(圧電フィルム10)の曲率の変化に伴い最低共振周波数f0が変化した際の音質の変化量も小さくできる。
図示例の圧電フィルム10は、下部電極16が、SEMで観察する断面において、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたり、下部保護層20に向かう凸部を2~40個、有する。なお、図示例の圧電フィルム10において、上部電極14は、圧電体層12の厚さの変動などに起因するウネリのような大きな凹凸は有しても、上部保護層18に向かって突出するような凸部は有さず、基本的に平面状である。
図2は、下部電極16の近傍を概念的に示す図である。なお、図2では、図1と上下方向が逆になっている。すなわち、図2では、図中、上から、下部保護層20、下部電極16および圧電体層12の順番となっている。
すなわち、圧電フィルム10においては、下部電極16側では、他の圧電体粒子26よりも下部保護層20側に突出する圧電体粒子26による押圧によって形成された、下部電極16の隆起部である凸部30と、凸部30に対応する下部保護層20の凹部とが、同じ位置に存在する。
なお、SEMで観察する圧電フィルム10の切断は、公知の方法で行えばよい。一例として、イオンミリング法(イオンミリング装置)による切断が好適に例示される。
また、圧電フィルム10の切断および後述するSEMでの観察は、必要に応じて、圧電フィルム10を接着剤によって支持体に接着して行ってもよい。支持体としては、厚さ数~数十μmの表面が平滑なシート状物が好ましく例示される。支持体の形成材料には、制限はないが、一例として、金属、ガラスおよび樹脂等が好適に例示される。接着剤にも制限はなく、圧電フィルム10の表面に影響がないものであれば、公知の各種の接着剤が利用可能である。接着剤の厚さとしては、10~数十μm程度が例示される。
また、圧電フィルム10の断面をSEMで観察する際には、必要に応じて、例えばOsコート(オスミウムコート)など、SEMによる試料の観察において行われている、公知の導電処理を行ってもよい。
具体的には、下部電極16の凸部30は、圧電フィルム10の断面において、電極層の長さ方向に向かって、下部電極16の平坦部の或る位置から隆起して、下部保護層20側に向かって上昇し、或る位置で頂点となって圧電体層12側に向かって下降を開始し、再度、下部電極16の平坦部なる。
なお、電極層の長さ方向とは、圧電フィルム10の断面における上部電極14および下部電極16の長さ方向であり、すなわち、図中の横方向である。電極層の長さ方向は、圧電フィルムの主面(最大面)の面方向と一致する。
また、基準線Wから垂線tを立てて、基準線Wから下部電極16の表面までの長さが最も長い垂線tの長さを、凸部30の高さとする。
例えば、凸部30同士の距離が近い場合には、図4に概念的に示すように、凸部30が本来の下部電極16の表面から隆起せずに、凸部30間で下部電極16の高さが一定である平坦部となり、この平坦部から隣接する凸部30が隆起する場合も有る。
この場合には、図4に示すように、下部電極16の高さが一定となった平坦部からの隆起点を基準点Pとして、基準点Pを結んで基準線Wおよび垂線tを設定して、凸部30の大きさ、および、凸部30の高さを測定すればよい。
なお、下部電極16の高さが一定になる、すなわち、下部電極16の平坦部とは、下部電極16と、圧電フィルム10の下部電極16とは逆側の主面すなわち上部保護層18の表面との距離が、一定になっていることを示す。
この場合には、図5に示すように、下部電極16の表面が降下から上昇に転じた点、すなわち下部電極16の表面の底部を基準点Pとして、基準点Pを結んで基準線Wおよび垂線tを設定して、凸部30の大きさ、および、凸部30の高さを測定すればよい。
この場合には、肩部も凸部30の一部と見なして、電極層の長さ方向において、下部電極16が下部保護層20に向かって上昇(隆起)を開始する位置を基準点Pとして、図4および図5に示す例と同様に、凸部30の大きさ、および、凸部30の高さを測定すればよい。
この際において、破断部(破断位置)における下部電極16の段差が大きい場合には、図6に示すように、破断部を基準点Pとして、基準点Pを結んで基準線Wおよび垂線tを設定して、凸部30の大きさ、および、凸部30の高さを測定すればよい。
なお、圧電フィルム10において、破断部における下部電極16の段差が大きいとは、具体的には、破断部において、下部電極16の厚さ方向の段差が100nm以上である場合を示す。従って、破断部の厚さ方向の段差の大きさが100nm未満である場合には、下部電極16は破断していないと見なして、上述の例と同様に、基準線Wを設定して、凸部30の大きさ、および、凸部30の高さを測定すればよい。
好ましくは、下部保護層20に向かう下部電極16の隆起部のうち、上述のようにして測定した高さが20nm以上の隆起部を、凸部30とする。
なお、本発明においては、このようなSEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30の計数を、圧電フィルム10の断面において、SEM画像における任意の電極層の長さ方向の視野85μmで行えばよい。この凸部30の計数を行う際におけるSEMの観察倍率は、例えば、1500倍とすればよい。なお、凸部30の高さおよび大きさ等を測定する場合には、前述のように、倍率を例えば40000倍にする。
圧電フィルム10の断面の観察は、1500倍で断面SEM画像を撮像して凸部30の計数を行い、その後、凸部30の箇所を40000倍に拡大して、高さ等の測定を行ってもよく、あるいは、1500倍で断面SEM画像を撮像して凸部30の計数を行い、その後、凸部30の箇所の断面SEM画像を40000倍で撮像して、高さ等の測定を行ってもよい。
本発明では、このような圧電フィルム10の断面における、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30の計数を、圧電フィルム10の任意の10断面で行う。さらに、10断面における凸部30の数の平均値を算出し、この平均値を、圧電フィルム10の断面におけるSEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30の数とする。
従って、圧電フィルムは、高い熱電変換性能のみならず、良好な放熱性を有するのが好ましい。しかしながら、従来の圧電フィルムの放熱性は十分とは言えない。
本発明の圧電フィルム10は、このような構成を有することにより、圧電体層12および圧電体層12に密着する下部電極16(電極層)の表面積を増加できる。しかも、下部電極16は、通常、銅などの金属で形成されるので、熱伝導性が高い。その結果、本発明の圧電フィルム10は、放熱性が高く、連続的に振動して音声を出力しても、温度の上昇を抑制できる。
また、後述するが、下部電極16の凸部30は、一例として、圧電フィルム10の製造に工程において、圧電体層12に複数回のカレンダ処理を施すことで形成できる。すなわち、下部電極16が複数の凸部30を有する本発明の圧電フィルム10は、圧電体層12における圧電体粒子26の密度(体積分率)が高い。その結果、本発明の圧電フィルム10は、入力動作電圧に対して十分な音圧を得ることができる。
圧電フィルム10は、薄膜電極等に欠陥を有すると、駆動を行うにしたがって白色の欠陥部が生じる。断面におけるSEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30の数が40個を超えると、この白色の欠陥部が多くなり、外観等の点で不利になる。
断面におけるSEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30の数は、2~35個が好ましく、2~30個がより好ましく、2~25個がさらに好ましい。
凸部30の高さを250nm以下とすることにより、上述した白色の欠陥部の発生を抑制できる等の点で好ましい。
凸部30の高さは、上述のように20nm以上が好ましいが、より良好な放熱性が得られる等の点で、100nm以上がより好ましく、130nm以上がさらに好ましく、150nm以上が特に好ましい。
凸部30の大きさを2400nm以下とすることにより、上述した白色の欠陥部の発生を抑制できる等の点で好ましい。
良好な放熱性が得られる等の点で、凸部30の大きさは、1000nm以上が好ましく、1200nm以上がより好ましく、1300nm以上がさらに好ましい。
なお、上述のとおり、本発明の圧電フィルム10においては、上部電極14および下部電極16等における上部および下部とは、本発明の圧電フィルム10を説明するために、図面に合わせて便宜的に称しているだけである。すなわち、本発明の圧電フィルム10において上部および下部には、技術的な意味は無く、また、実際の使用状態とは、無関係である。従って、本発明の圧電フィルムは、上部電極のみが凸部30を有し、下部電極は凸部を有さない構成でもよいが、この場合でも、実質的な構成は図示例の圧電フィルムと同様であり、また、作用効果も同じである。
さらに、図10に概念的に示す、上部保護層18の表面に上部電極14が形成されたシート状物38を準備する。
あるいは、保護層の上に銅薄膜等が形成された市販品のシート状物を、シート状物34および/またはシート状物38として利用してもよい。
シート状物34およびシート状物38は、同じものでもよく、異なるものでもよい。
有機溶媒には制限はなく、ジメチルホルムアミド(DMF)、メチルエチルケトン、および、シクロヘキサノン等の各種の有機溶媒が利用可能である。
シート状物34を準備し、かつ、塗料を調製したら、この塗料をシート状物34にキャスティング(塗布)して、有機溶媒を蒸発して乾燥する。これにより、図8に示すように、下部保護層20の上に下部電極16を有し、下部電極16の上に圧電体層12を積層してなる積層体36を作製する。
あるいは高分子材料が加熱溶融可能な物であれば、高分子材料を加熱溶融して、これに圧電体粒子26を添加してなる溶融物を作製し、押し出し成形等によって、図7に示すシート状物34の上にシート状に押し出し、冷却することにより、図8に示すような、積層体36を作製してもよい。
高分子マトリックス24に、これらの高分子圧電材料を添加する際には、上記塗料に添加する高分子圧電材料を溶解すればよい。あるいは、加熱溶融した常温で粘弾性を有する高分子材料に、添加する高分子圧電材料を添加して加熱溶融すればよい。
通常の圧電フィルムの製造では、カレンダ処理は、1回である。これに対して、本発明の圧電フィルム10を製造する際には、カレンダ処理を、複数回、行う。
周知のように、カレンダ処理とは、加熱プレスや加熱ローラ等によって、被処理面を加熱しつつ押圧して、平坦化等を施す処理ある。
ここで、下部電極16とは逆側から、複数回のカレンダ処理を行うことにより、圧電体粒子26によって下部電極16を押圧して、下部保護層20に向かう凸部30を下部電極16に形成できる。また、複数回のカレンダ処理を行うことで、圧電体層12を構成する高分子マトリックス24を加熱かつ押圧して、圧電体層12における圧電体粒子26の密度(体積分率)を向上できる。その結果、本発明の圧電フィルム10は、入力動作電圧に対して、高い音圧が得られる。
また、カレンダ処理の回数は、複数回であればよいが、3回以上が好ましい。カレンダ処理を、3回以上、行うことで、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30のを、好適に2個以上にできる。
カレンダ処理の回数には上限は無いが、50回以下が好ましい。カレンダ処理の回数を50回以下とすることにより、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたりの凸部30の数が40個を超えることを、好適に防止できる。
カレンダ処理を行うと、多くの圧電体粒子26が、圧電体層12に押し込まれる。その際に、回転を伴って押し込まれる圧電体粒子26も存在する。そのため、分極処理を行った後に、カレンダ処理を行うと、分極方向が本来の膜厚方向から傾いた圧電体粒子26が発生し、圧電フィルム10の圧電特性が低下してしまう。また、このような不都合は、後述する熱圧着によるシート状物38の熱圧着時にも生じる。
これに対し、カレンダ処理を行った後に、分極処理を行うことにより、このような圧電体粒子26の回転に起因する圧電特性の低下を防止できる。また、一度、カレンダ処理を行っているので、後述する熱圧着によるシート状物38の熱圧着時にも、圧電体粒子26の回転は生じにくい。
圧電体層12の分極処理の方法には制限はなく、公知の方法が利用可能である。例えば、分極処理を行う対象に、直接、直流電界を印加する、電界ポーリングが例示される。なお、電界ポーリングを行う場合には、分極処理の前に、上部電極14を形成して、上部電極14および下部電極16を利用して、電界ポーリング処理を行ってもよい。
また、本発明の圧電フィルム10を製造する際には、分極処理は、圧電体層12(高分子複合圧電体)の面方向ではなく、厚さ方向に分極を行う。
さらに、この積層体を、下部保護層20および上部保護層18を挟持するようにして、加熱プレス装置および加熱ローラ等を用いて熱圧着して、積層体36とシート状物38とを貼り合わせ、図1に示すような、本発明の圧電フィルム10を作製する。
あるいは、積層体36とシート状物38とを、接着剤を用いて貼り合わせて、好ましくは、さらに圧着して、本発明の圧電フィルム10を作製してもよい。
周知のように、RtoRとは、長尺な原材料を巻回してなるロールから、原材料を引き出して、長手方向に搬送しつつ、成膜や表面処理等の各種の処理を行い、処理済の原材料を、再度、ロール状に巻回する製造方法である。
第1のロールおよび第2のロールは、同じものでよい。
次いで、カレンダ処理を行う。ここで、RtoRによって圧電フィルム10を製造する際には、積層体36の搬送方向に複数個の加熱ローラ37を配置し、積層体36を搬送しつつ、各加熱ローラ37によってカレンダ処理を行うことで、圧電体層12に複数回のカレンダ処理を行えばよい。
次いで、圧電体層12の分極処理を行う。ここで、RtoRによって圧電フィルム10を製造する際には、積層体36を搬送しつつ、積層体36の搬送方向と直交する方向に延在して配置した電極によって、圧電体層12の分極処理を行う。なお、この分極処置の前に、カレンダ処理を行ってもよいのは、上述したとおりである。また、圧電体層12の分極処理は、圧電体層12の厚さ方向に行う。
次いで、第2のロールからシート状物38を引き出し、シート状物38および積層体36を搬送しつつ、貼り合わせローラ等を用いる公知の方法で上部薄膜電極14を圧電体層12に向けて、積層体36の上にシート状物38を積層する。
その後、加熱ローラ対によって積層体36およびシート状物38を挟持搬送することで熱圧着して、本発明の圧電フィルム10を完成し、この圧電フィルム10を、ロール状に巻回する。
例えば、上述した積層体を形成し、分極処理を行った後に、一度、ロール状に、この積層体36を巻回した積層体ロールとする。次いで、この積層体ロールから積層体36を引き出して、長手方向に搬送しつつ、前述のように、シート状物38の積層および熱圧着を行って、圧電フィルム10を作製し、この圧電フィルム10を、ロール状に巻回してもよい。
この圧電スピーカー40は、本発明の圧電フィルム10を、電気信号を振動エネルギーに変換する振動板として用いる、平板型の圧電スピーカーである。なお、圧電スピーカー40は、マイクロフォンおよびセンサー等として使用することも可能である。
ケース42は、プラスチック等で形成される、一面が開放する薄い筐体である。筐体の形状としては、直方体状、立方体状、および、円筒状とが例示される。
また、枠体48は、中央にケース42の開放面と同形状の貫通孔を有する、ケース42の開放面側に係合する枠材である。
粘弾性支持体46は、適度な粘性と弾性を有し、圧電フィルム10を支持すると共に、圧電フィルムのどの場所でも一定の機械的バイアスを与えることによって、圧電フィルム10の伸縮運動を無駄なく前後運動(フィルムの面に垂直な方向の運動)に変換させるためのものである。一例として、羊毛のフェルトおよびPET等を含んだ羊毛のフェルトなどの不織布、ならびに、グラスウール等が例示される。
そのため、圧電スピーカー40では、粘弾性支持体46の周辺部では、粘弾性支持体46が圧電フィルム10によって下方に押圧されて厚さが薄くなった状態で、保持される。また、同じく粘弾性支持体46の周辺部において、圧電フィルム10の曲率が急激に変動し、圧電フィルム10に、粘弾性支持体46の周辺に向かって低くなる立上がり部が形成される。さらに、圧電フィルム10の中央領域は四角柱状の粘弾性支持体46に押圧されて、(略)平面状になっている。
逆に、下部電極16および上部電極14への駆動電圧の印加によって、圧電フィルム10が面内方向に収縮すると、この収縮分を吸収するために、圧電フィルム10の立上がり部が、倒れる方向(平面に近くなる方向)に角度を変える。その結果、平面状の部分を有する圧電フィルム10は、下方に移動する。
圧電スピーカー40は、この圧電フィルム10の振動によって、音を発生する。
従って、本発明の圧電フィルム10は、図11に示すような剛性を有する平板状の圧電スピーカー40ではなく、単に湾曲状態で保持することでも、可撓性を有する圧電スピーカーとして機能させることができる。
また、上述のように、本発明の圧電フィルム10は、柔軟性および可撓性に優れ、しかも、面内に圧電特性の異方性が無い。そのため、本発明の圧電フィルム10は、どの方向に屈曲させても音質の変化が少なく、しかも、曲率の変化に対する音質変化も少ない。従って、本発明の圧電フィルム10を利用する圧電スピーカーは、設置場所の自由度が高く、また、上述したように、様々な物品に取り付けることが可能である。例えば、本発明の圧電フィルム10を、湾曲状態で洋服など衣料品およびカバンなどの携帯品等に装着することで、いわゆるウエアラブルなスピーカーを実現できる。
このような良好な音響特性すなわち圧電による高い伸縮性能を発現する本発明の圧電フィルム10は、複数枚を積層することにより、振動板等の被振動体を振動させる圧電振動素子としても、良好に作用する。本発明の圧電フィルム10は、放熱性が良好であるので、積層して圧電振動子とした際にも、自身の発熱を防止でき、したがって、振動板の加熱を防止できる。
なお、圧電フィルム10を積層する際には、短絡(ショート)の可能性が無ければ、圧電フィルムは上部保護層18および/または下部保護層20を有さなくてもよい。または、上部保護層18および/または下部保護層20を有さない圧電フィルムを、絶縁層を介して積層してもよい。
積層した圧電フィルム10に駆動電圧を印加することで、個々の圧電フィルム10が面方向に伸縮し、各圧電フィルム10の伸縮によって、圧電フィルム10の積層体全体が面方向に伸縮する。圧電フィルム10の積層体の面方向の伸縮によって、積層体が貼着された振動板が撓み、その結果、振動板が、厚さ方向に振動する。この厚さ方向の振動によって、振動板は、音を発生する。振動板は、圧電フィルム10に印加した駆動電圧の大きさに応じて振動して、圧電フィルム10に印加した駆動電圧に応じた音を発生する。
従って、この際には、圧電フィルム10自身は、音を出力しない。
なお、十分な伸縮力を有するものであれば、1枚の本発明の圧電フィルム10を、同様のエキサイター(圧電振動素子)として用いることも可能である。
一例として、ポリエチレンテレフタレート(PET)等からなる樹脂フィルム、発泡ポリスチレン等からなる発泡プラスチック、段ボール材等の紙材、ガラス板、および、木材等が例示される。さらに、十分に撓ませることができるものであれば、振動板として、表示デバイス等の機器を用いてもよい。
貼着層には制限はなく、貼着対象となる物同士を貼着できるものが、各種、利用可能である。従って、貼着層は、粘着剤からなるものでも接着剤からなるものでもよい。好ましくは、貼着後に固体で硬い貼着層が得られる、接着剤からなる接着剤層を用いる。
以上の点に関しては、後述する長尺な圧電フィルム10を折り返してなる積層体でも、同様である。
従って、圧電フィルム10の積層体において、分極方向は、全ての圧電フィルム10で同方向であってもよく、分極方向が異なる圧電フィルムが存在してもよい。
圧電フィルム10において、圧電体層12に印加する電圧の極性は、分極方向に応じたものとなる。従って、分極方向が上部電極14から下部電極16に向かう場合でも、下部電極16から上部電極14に向かう場合でも、積層される全ての圧電フィルム10において、上部電極14の極性および下部電極16の極性を、同極性にする。
従って、隣接する圧電フィルム10同士で、分極方向を互いに逆にすることで、隣接する圧電フィルム10の薄膜電極同士が接触しても、接触する薄膜電極は同極性であるので、ショート(短絡)する恐れがない。
長尺な圧電フィルム10を折り返して積層した構成は、以下のような利点を有する。
すなわち、カットシート状の圧電フィルム10を、複数枚、積層した積層体では、1枚の圧電フィルム毎に、上部電極14および下部電極16を、駆動電源に接続する必要がある。これに対して、長尺な圧電フィルム10を折り返して積層した構成では、一枚の長尺な圧電フィルム10のみで積層体を構成できる。また、長尺な圧電フィルム10を折り返して積層した構成では、駆動電圧を印加するための電源が1個で済み、さらに、圧電フィルム10からの電極の引き出しも、1か所でよい。
さらに、長尺な圧電フィルム10を折り返して積層した構成では、必然的に、隣接する圧電フィルム10同士で、分極方向が互いに逆になる。
図7~図10に示す方法で、圧電フィルムを作製した。
まず、下記の組成比で、シアノエチル化PVA(信越化学工業社製 CR-V)をジメチルホルムアミド(DMF)に溶解した。その後、この溶液に、圧電体粒子としてPZT粒子を下記の組成比で添加して、プロペラミキサー(回転数2000rpm)で攪拌して、圧電体層を形成するための塗料を調製した。
・PZT粒子・・・・・・・・・・・300質量部
・シアノエチル化PVA・・・・・・・30質量部
・DMF・・・・・・・・・・・・・・70質量部
なお、PZT粒子は、主成分となるPb酸化物、Zr酸化物およびTi酸化物の粉末を、Pb=1モルに対し、Zr=0.52モル、Ti=0.48モルとなるように、ボールミルで湿式混合してなる混合粉を、800℃で5時間、焼成した後、解砕処理したものを用いた。
シート状物の下部電極(銅蒸着薄膜)の上に、スライドコータを用いて、先に調製した圧電体層を形成するための塗料を塗布した。なお、塗料は、乾燥後の塗膜の膜厚が40μmになるように、塗布した。
次いで、シート状物に塗料を塗布した物を、120℃のホットプレート上で加熱乾燥することでDMFを蒸発させた。これにより、PET製の下部保護層の上に銅製の下部薄膜電極を有し、その上に、厚さが40μmの圧電体層を形成してなる積層体を作製した。
カレンダ処理は、加熱ローラの温度を70℃、加熱ローラの押圧力を0.3MPa、加熱ローラの移動速度を0.6m/min、として行った。
次いで、積層体とシート状物との積層体を、ラミネータ装置を用いて、温度120℃で熱圧着することで、圧電体層と上部電極とを貼着して接着して、図1に示すような圧電フィルムを作製した。
次いで、圧電フィルムと支持体との積層体を、断面イオンミリング装置(日立ハイテクノロジーズ社製、IM4000PLUS)で切断した。
さらに、積層体の断面に、約2nmのOsコートを施した。
凸部の計数は、圧電フィルムの任意の10断面で行い、10断面で計数した凸部の数の平均値を、作製した圧電フィルムにおける、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μm当たりにおける下部電極の凸部の数とした。
その結果、下部電極の凸部の数は、3個であった。
その結果、最も大きい凸部の大きさ(大きさの最大値)は1000nm、最も高い凸部の高さ(高さの最大値)は100nmであった。
また、高さが20nm以上の凸部の数は、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μm当たり、2個であった。なお、高さが20nm以上の凸部の数も、先に凸部の数を計数した10断面の電極層の長さ方向の視野85μmにおける平均値である。
カレンダ処理の回数を10回(実施例2)、20回(実施例3)、40回(実施例4)、0回(比較例1)、1回(比較例2)、および、50回(比較例3)とした以外は、実施例1と同様に、圧電フィルムを作製した。
作製した圧電フィルムについて、実施例1と同様に、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μm当たりの凸部の数を計数し、さらに、凸部の大きさ、および、高さを測定して、最も大きい凸部の大きさ、最も高い凸部の高さ、および、SEM画像の電極層の長さ方向の視野85μm当たりの高さが20nm以上の凸部の数を測定した。
作製した圧電フィルムを用いて、図11に示す圧電スピーカーを作製した。
まず、作製した圧電フィルムから、210×300mm(A4サイズ)の矩形試験片を切り出した。切り出した圧電フィルムを、図11に示すように、予め粘弾性支持体としてグラスウールを収納した210×300mmのケース上に載せた後、周辺部を枠体で押さえて、圧電フィルムに適度な張力と曲率を与えることで、図11に示すような圧電スピーカーを作製した。
なお、ケースの深さは9mmとし、グラスウールの密度は32kg/m3で、組立前の厚さは25mmとした。
作製した圧電スピーカーを、5分間、所定のボリュームで駆動して、圧電フィルムの温度をサーモグラフィーで測定した。
5分間の圧電スピーカーの駆動中、圧電フィルムの温度が一度も30℃以上にならなかった場合を『OK』、一瞬でも圧電フィルムの温度が30℃以上になった場合を『NG』、と評価した。
作製した圧電スピーカーから1m離れた場所における平均音圧が80dBとなる駆動電圧を、1000時間、圧電フィルムに印加して、圧電スピーカーを駆動した。
その後、圧電フィルムの表面を目視で観察して、白色の欠陥部の有無を確認した。
白色の欠陥部が認められなかった場合を『無し』、1つでも白色の欠陥部が認められた場合を『有り』、と評価した。
結果を下記の表に示す。
表に示されるように、下部電極が、断面におけるSEM画像の電極層の長さ方向の視野85μmあたり、2~40個の凸部を有する本発明の圧電フィルムを用いた圧電スピーカーは、高い音圧が得られ、また放熱性および耐熱性も良好である。
これに対して、下部電極が凸部を有さない比較例1、および、下部電極の凸部の数が本発明の範囲未満である比較例2は、耐久性には問題は無いが、放熱性が低い。また、下部電極の凸部の数が本発明の範囲を超える比較例3は、放熱性は高いものの、耐熱性試験で白色の欠陥部が生じている。加えて、比較例は、本発明品に比して、音圧も低い。
なお、カレンダ処理を行わない比較例1に関しては、上部電極側も、同様にSEMでの観察を行って、凸部の有無を確認した。その結果、比較例1は、下部電極のみならず、上部電極にも、上部保護層に向かう凸部は確認されなかった。
以上の結果より、本発明の効果は、明らかである。
12 圧電体層
14 上部(薄膜)電極
16 下部(薄膜)電極
18 上部保護層
20 下部保護層
24 高分子マトリックス
26 圧電体粒子
30 凸部
34,38 シート状物
36 積層体
37 加熱ローラ
40 圧電スピーカー
42 ケース
46 粘弾性支持体
48 枠体
50 マイクロフォン
Claims (9)
- 高分子材料を含むマトリックス中に圧電体粒子を含む高分子複合圧電体と、前記高分子複合圧電体の両面に設けられた電極層と、少なくとも一方の前記電極層の表面に設けられた保護層とを有し、
断面を走査型電子顕微鏡で観察した際に、少なくとも一方の電極層が、前記保護層に向かう高さが20nm以上の凸部を、複数、有し、前記凸部の数が、前記断面における前記電極層の長さ方向の走査型電子顕微鏡の視野85μmあたり、2~40個であることを特徴とする圧電フィルム。 - 前記保護層と前記電極層との界面における前記凸部の高さが250nm以下である、請求項1に記載の圧電フィルム。
- 前記保護層と前記電極層との界面における前記凸部の大きさが2400nm以下である、請求項1または2に記載の圧電フィルム。
- 両方の電極層の表面に前記保護層を有する、請求項1~3のいずれか1項に記載の圧電フィルム。
- 厚さ方向に分極されている、請求項1~4のいずれか1項に記載の圧電フィルム。
- 圧電特性に面内異方性を有さない、請求項1~5のいずれか1項に記載の圧電フィルム。
- 前記高分子材料がシアノエチル基を有する、請求項1~6のいずれか1項に記載の圧電フィルム。
- 前記高分子材料がシアノエチル化ポリビニルアルコールである、請求項7に記載の圧電フィルム。
- 前記圧電体粒子が、ペロブスカイト型またはウルツ鉱型の結晶構造を有するセラミックス粒子からなるものである、請求項1~8のいずれか1項に記載の圧電フィルム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019121515 | 2019-06-28 | ||
JP2019121515 | 2019-06-28 | ||
PCT/JP2020/019872 WO2020261822A1 (ja) | 2019-06-28 | 2020-05-20 | 圧電フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020261822A1 JPWO2020261822A1 (ja) | 2020-12-30 |
JP7355819B2 true JP7355819B2 (ja) | 2023-10-03 |
Family
ID=74059685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021527483A Active JP7355819B2 (ja) | 2019-06-28 | 2020-05-20 | 圧電フィルム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220115579A1 (ja) |
EP (1) | EP3993073A4 (ja) |
JP (1) | JP7355819B2 (ja) |
KR (1) | KR20220007694A (ja) |
CN (1) | CN114008804A (ja) |
TW (1) | TWI836088B (ja) |
WO (1) | WO2020261822A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021225075A1 (ja) * | 2020-05-08 | 2021-11-11 | 富士フイルム株式会社 | 高分子圧電フィルム |
KR20230147697A (ko) * | 2021-03-30 | 2023-10-23 | 후지필름 가부시키가이샤 | 압전 필름 |
WO2023157636A1 (ja) * | 2022-02-17 | 2023-08-24 | 富士フイルム株式会社 | 圧電フィルムおよび積層圧電素子 |
KR20240008099A (ko) | 2022-07-11 | 2024-01-18 | 단국대학교 산학협력단 | 압전소자체 및 이의 제조방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085757A (ja) | 1999-09-16 | 2001-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 可撓性圧電素子およびその製造方法 |
JP2013171981A (ja) | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Ngk Insulators Ltd | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 |
WO2014162976A1 (ja) | 2013-04-01 | 2014-10-09 | 富士フイルム株式会社 | 電気音響変換フィルム |
JP2018182251A (ja) | 2017-04-21 | 2018-11-15 | 日本バルカー工業株式会社 | 圧電積層体の製造方法および圧電積層体 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4732717A (en) * | 1985-10-11 | 1988-03-22 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Process for producing piezo-electric or pyro-electric composite sheet |
WO2017018313A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2017-02-02 | 富士フイルム株式会社 | 電気音響変換フィルムおよびその製造方法、ならびに、電気音響変換器、フレキシブルディスプレイ、声帯マイクロフォンおよび楽器用センサー |
-
2020
- 2020-05-20 KR KR1020217040801A patent/KR20220007694A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-05-20 WO PCT/JP2020/019872 patent/WO2020261822A1/ja active Application Filing
- 2020-05-20 CN CN202080043916.9A patent/CN114008804A/zh active Pending
- 2020-05-20 EP EP20833686.7A patent/EP3993073A4/en not_active Withdrawn
- 2020-05-20 JP JP2021527483A patent/JP7355819B2/ja active Active
- 2020-06-01 TW TW109118228A patent/TWI836088B/zh active
-
2021
- 2021-12-20 US US17/556,959 patent/US20220115579A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085757A (ja) | 1999-09-16 | 2001-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 可撓性圧電素子およびその製造方法 |
JP2013171981A (ja) | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Ngk Insulators Ltd | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 |
WO2014162976A1 (ja) | 2013-04-01 | 2014-10-09 | 富士フイルム株式会社 | 電気音響変換フィルム |
JP2018182251A (ja) | 2017-04-21 | 2018-11-15 | 日本バルカー工業株式会社 | 圧電積層体の製造方法および圧電積層体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3993073A4 (en) | 2022-11-09 |
JPWO2020261822A1 (ja) | 2020-12-30 |
US20220115579A1 (en) | 2022-04-14 |
KR20220007694A (ko) | 2022-01-18 |
EP3993073A1 (en) | 2022-05-04 |
CN114008804A (zh) | 2022-02-01 |
TWI836088B (zh) | 2024-03-21 |
WO2020261822A1 (ja) | 2020-12-30 |
TW202101793A (zh) | 2021-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6071932B2 (ja) | 電気音響変換フィルム | |
JP7355819B2 (ja) | 圧電フィルム | |
KR102599704B1 (ko) | 압전 필름, 적층 압전 소자 및 전기 음향 변환기 | |
JP7390390B2 (ja) | 圧電フィルムおよび圧電フィルムの製造方法 | |
JP7350102B2 (ja) | 圧電フィルム | |
KR102617510B1 (ko) | 고분자 복합 압전체 및 압전 필름 | |
KR102600731B1 (ko) | 압전 필름, 적층 압전 소자 및 전기 음향 변환기 | |
US11930714B2 (en) | Piezoelectric film | |
JP7402319B2 (ja) | 高分子圧電フィルム | |
US11910719B2 (en) | Piezoelectric film | |
JP7394873B2 (ja) | 圧電フィルム | |
WO2024062863A1 (ja) | 圧電フィルム | |
US20240179474A1 (en) | Piezoelectric film and piezoelectric element | |
WO2023286544A1 (ja) | 圧電フィルム | |
WO2023021920A1 (ja) | 圧電フィルムおよび積層圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230207 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7355819 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |