JP7352149B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

ノズルと、ノズルに連通する圧力室と、インク供給流路を介して圧力室に連通するリザーバとを備える液体吐出装置（特許文献１参照）が知られている。この液体吐出装置において、リザーバ及びインク供給流路は、圧力室が形成された流路基板とは異なるリザーバ形成部材に形成されている。このため、流路基板にリザーバを形成する必要がなく、流路基板のサイズを小さくすることができる。

特開２０１６－１３２１２３号公報

上記の液体吐出装置では、リザーバ形成部材が流路基板に接合されることにより、インク供給流路が、圧力室の長手方向の端部に形成されたインク供給孔と接続されている。しかし、圧力室の幅は、圧電素子と対向する中央部よりも、インク供給孔が形成されている端部の方が狭くなっている。このため、リザーバ形成部材を流路基板に接合する際に、インク供給流路とインク供給孔との位置合わせが難しい。そして、インク供給孔に対するインク供給流路の位置がずれると、インクが漏れて、インク供給孔の周囲に形成されている配線との間で短絡が生じる可能性があった。

本発明は、リザーバ部材と圧力室プレートとを接合する際に、インク供給流路とインク供給孔との位置合わせが容易な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の態様に従えば、液体吐出ヘッドであって、圧力室が形成された第１基板であって、前記圧力室と連通するノズルが開口する第１面と、前記第１面とは反対側の第２面であって、前記圧力室に連通する連通孔が開口する第２面とを有する第１基板と、前記第１基板の前記第２面に接合された第２基板であって、前記連通孔を介して前記圧力室と連通する流路が形成された第２基板とを備え、前記連通孔は、前記圧力室の、前記第１面に沿った第１方向の一方側の第１端部と連通し、前記圧力室の前記第１端部における、前記第１面に沿い且つ前記第１方向と交差する第２方向の幅は、前記圧力室の前記第１方向の中央部における、前記第２方向の幅よりも大きい液体吐出ヘッドが提供される。

本発明の態様に係る液体吐出ヘッドにおいて、第２基板に形成された流路は、圧力室の第１方向の一方側の第１端部と、連通孔を介して連通している。ここで、圧力室の第１端部の第２方向の幅は、圧力室の第１方向の中央部における第２方向の幅よりも大きい。このため、流路が形成された第２基板と圧力室が形成された第１基板とを接合する際に、流路と連通孔の位置合わせが容易である。

本発明の一実施形態に係るプリンタ１００の平面図である。 プリンタ１００に含まれるヘッド１の平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。 図２に示す領域ＩＶの拡大図である。 本発明の変形例にかかるヘッド１の図４相当の拡大図である。 本発明の変形例にかかる圧力室１１ｍの端部を搬送方向から見た断面図である。

図１を参照し、本発明の実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の概略構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１（液体吐出ヘッドの一例）を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及びコントローラ５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、２つのローラ対４ａ，４ｂを備える。コントローラ５の制御により搬送モータ４ｍが駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向（第１方向の一例）に搬送される。２つのローラ対４ａ，４ｂは、プラテン３を搬送方向に挟むように配置されている。

ヘッドユニット１ｘは、ライン式（位置が固定された状態でノズル１１ｎ（図２及び図４参照）から用紙９に対してインクを吐出する方式）であって、紙幅方向（第２方向の一例）に長尺である。４つのヘッド１は、紙幅方向に千鳥状に配置されている。

ここで、本実施形態において、紙幅方向は搬送方向と直交する。紙幅方向及び搬送方向は共に、鉛直方向と直交する。

コントローラ５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、コントローラ５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、ヘッド１のドライバＩＣ１９（図４参照）及び搬送モータ（図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。具体的には、ノズル１１ｎからインク滴を吐出させる吐出動作と、ローラ対４ａ，４ｂによって用紙９を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。

次に、図２～図４を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図２及び図３に示すように、流路基板１１、圧電アクチュエータ１２及びＣＯＦ１８を有する。

流路基板１１は、図３に示すように、リザーバ部材１１ａ、圧力室プレート１１ｂ及びノズルプレート１１ｃを有する。なお、図２では、リザーバ部材１１ａの図示を省略している。

圧力室プレート１１ｂには、複数の圧力室１１ｍが形成されている。ノズルプレート１１ｃには、複数の圧力室１１ｍにそれぞれ連通する複数のノズル１１ｎが形成されている。リザーバ部材１１ａには、複数のリザーバ１１ｓが形成されている。各リザーバ１１ｓは、複数の圧力室１１ｍに共通の流路である。各リザーバ１１ｓは、インクを貯留するタンク（図示略）と連通している。

圧力室１１ｍは、図２に示すように、紙幅方向に配列され、搬送方向に並ぶ４つの圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成している。各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４において、圧力室１１ｍは紙幅方向に等間隔に配置されている。４つの圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４のうち図２の右側の２つの圧力室列１１ｍ１，１１ｍ２を構成する圧力室１１ｍは、紙幅方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。４つの圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４のうち図２の左側の２つの圧力室列１１ｍ３，１１ｍ４を構成する圧力室１１ｍは、紙幅方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。

ノズル１１ｎは、図２に示すように、圧力室１１ｍと同様、紙幅方向に配列され、搬送方向に並ぶ４つのノズル列を構成している。各ノズル列において、ノズル１１ｎは紙幅方向に等間隔に配置されている。４つのノズル列のうち図２の右側の２つのノズル列を構成するノズル１１ｎは、紙幅方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。４つのノズル列のうち図２の左側の２つのノズル列を構成するノズル１１ｎは、紙幅方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。各ノズル１１ｎは、対応する圧力室１１ｍの、搬送方向の他方側（図２の左側）の端部と鉛直方向に重なるように形成されている。

ノズルプレート１１ｃは、図３に示すように、圧力室プレート１１ｂの下面に接着されている。即ち、ノズルプレート１１ｃは、圧力室プレート１１ｂに対して圧電アクチュエータ１２と反対側に配置されている。ノズルプレートの下面は、本発明の第１面の一例である。

リザーバ部材１１ａは、圧力室プレート１１ｂの上面に、圧電アクチュエータ１２を介して接着されている。

リザーバ部材１１ａには、複数のリザーバ１１ｓに加え、各リザーバ１１ｓと複数の圧力室１１ｍとを連通させる複数の供給流路１１ｔが形成されている。さらに、リザーバ部材１１ａには、それぞれ紙幅方向に延びる４つの凹部１１ａｘが形成されている。４つの凹部１１ａｘは、リザーバ部材１１ａの下面に形成され、圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４のそれぞれと鉛直方向に対向している。供給流路１１ｔは、本発明の流路の一例である。

圧力室プレート１１ｂの上面には、振動板１７が設けられている。振動板１７は、例えば圧力室プレート１１ｂを構成するシリコン単結晶基板の表面を酸化又は窒化することにより形成された絶縁層であり、圧力室プレート１１ｂの上面の略全体に配置されている。振動板１７は、圧電アクチュエータ１２と圧力室プレート１１ｂとの間に配置され、複数の圧力室１１ｍを覆っている。振動板１７の上面は、本発明の第２面の一例である。また、ノズルプレート１１ｃ、圧力室プレート１１ｂ、及び振動板１７を合わせたものが、本発明の第１基板の一例である。

振動板１７において、各供給流路１１ｔと鉛直方向に対向する部分には、連通孔１７ｘが形成されている。ポンプ（図示略）の駆動により、タンク内のインクがリザーバ１１ｓに供給され、各供給流路１１ｔ及び各連通孔１７ｘを通って、各圧力室１１ｍに供給される。

圧電アクチュエータ１２は、図３に示すように、圧力室プレート１１ｂの上面に振動板１７を介して配置され、圧力室プレート１１ｂに形成された全ての圧力室１１ｍを覆っている。

圧電アクチュエータ１２は、下から順に、共通電極１２ｂ、４つの圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを有する。

共通電極１２ｂは、振動板１７の上面に配置されている。

共通電極１２ｂは、図２に示すように、搬送方向に互いに離隔した、４つの共通電極１２ｂ１～１２ｂ４を含む。各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成する複数の圧力室１１ｍに共通の電極であり、各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成する複数の圧力室１１ｍと鉛直方向に対向している。各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、例えば白金（Ｐｔ）からなる。

図２に示すように、４つの圧電体１２ｃはそれぞれ、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４の上面において、紙幅方向に延び、圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成する全ての圧力室１１ｍを覆っている。各圧電体１２ｃは、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。

個別電極１２ｄは、各圧電体１２ｃの上面に複数配置され、圧力室１１ｍのそれぞれと鉛直方向に対向している。

図２に示すように、複数の個別電極１２ｄは、複数の圧力室１１ｍと同様、紙幅方向に配列され、搬送方向に並ぶ４つの個別電極列を構成している。各個別電極列を構成する複数の個別電極１２ｄは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と鉛直方向に対向している。各個別電極列において、個別電極１２ｄは紙幅方向に等間隔に配置されている。４つの個別電極列のうち図２の右側の２つの個別電極列を構成する個別電極１２ｄは、紙幅方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。４つの個別電極列のうち図３の左側の２つの個別電極列を構成する個別電極１２ｄは、紙幅方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。

個別電極１２ｄ、共通電極１２ｂ、及び圧電体１２ｃにおける個別電極１２ｄと共通電極１２ｂとで挟まれた部分（以下、活性部という）は、個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて変形可能な、圧電素子１２ｘとして機能する。即ち、圧電アクチュエータ１２は、複数の圧力室１１ｍのそれぞれと対向する複数の圧電素子１２ｘから構成されている。個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて、圧電素子１２ｘが駆動すること（例えば、圧力室１１ｍに向かって圧電体１２ｃが凸となるように変形すること）により、圧力室１１ｍの容積が変化し、圧力室１１ｍ内のインクに圧力が付与され、ノズル１１ｎからインクが吐出される。

圧電アクチュエータ１２は、さらに、複数の個別配線１２ｅ、複数の個別接点１２ｆ、２つの共通接点１２ｇ、複数の環状配線１３、共通配線１４及び複数の連結配線１５を有する。これら配線１２ｅ，１３～１５及び接点１２ｆ，１２ｇは、互いに同じ材料（例えばアルミニウム（Ａｌ））からなる。

個別配線１２ｅは、個別電極１２ｄ毎に設けられており、個別電極１２ｄとこれに対応する個別接点１２ｆとを繋いでいる。各環状配線１３は、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４のいずれかに接続されている。共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、複数の連結配線１５を介して共通配線１４に接続されている。さらに、共通配線１４は、２つの共通接点１２ｇに接続されている。

図３に示すように、各個別接点１２ｆは、圧力室プレート１１ｂにおいてリザーバ部材１１ａに覆われていない部分と対向する位置に配置されている。２つの共通接点１２ｇも同様に、圧力室プレート１１ｂにおいてリザーバ部材１１ａに覆われていない部分と対向する位置に配置されている。

複数の個別接点１２ｆ及び２つの共通接点１２ｇは、圧電アクチュエータ１２に設けられた全ての個別電極１２ｄからなる群に対して、搬送方向の一方側（図２の右側）において、紙幅方向に１列に配列されている。複数の個別接点１２ｆは、紙幅方向に等間隔に配置されている。２つの共通接点１２ｇは、複数の個別接点１２ｆを紙幅方向に挟んでいる。

共通配線１４は、対向部分１４ａと、２つの接続部分１４ｂとを含む。対向部分１４ａは、圧電アクチュエータ１２に設けられた全ての個別電極１２ｄからなる群に対して、搬送方向の他方側（図２の左側）に設けられている。２つの接続部分１４ｂは、対向部分１４ａの紙幅方向両側（本実施形態では、対向部分１４ａの紙幅方向両端）から搬送方向の一方側（図２の右側）に延びて２つの共通接点１２ｇにそれぞれ接続されている。対向部分１４ａと２つの接続部分１４ｂとは、一体的に形成されている。個別電極１２ｄの群は、共通配線１４と複数の個別接点１２ｆの列とによって取り囲まれている。

対向部分１４ａは、紙幅方向に長尺な矩形状の部分である。各接続部分１４ｂは、搬送方向に長尺な矩形状の部分である。各接続部分１４ｂは、搬送方向の他方側（図２の左側）の端部において、対向部分１４ａに繋がり、搬送方向の一方側（図２の右側）の端部において、後述する絶縁膜１２ｉの貫通孔に入り込んだ部分（接点部１４ｂｘ）を介して、各共通接点１２ｇと電気的に接続されている。各接続部分１４ｂは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と、連結配線１５によって連結されている。

共通配線１４及び連結配線１５は、他の配線１２ｅ，１３よりも幅が広い。配線１２ｅ，１３～１５の厚みは、互いに略同じである。

複数の個別配線１２ｅはそれぞれ、搬送方向に延びている。各個別配線１２ｅは、搬送方向の他方側（図２の左側）の端部に、対応する個別電極１２ｄとの接点部１２ｅｘ（図３参照）を有し、搬送方向の一方側（図２の右側）の端部に、個別接点１２ｆを有する。

搬送方向の最も上流側の個別電極列を構成する個別電極１２ｄのうち、紙幅方向の両端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、搬送方向の上流側から２列目、３列目、及び４列目の個別電極列における、紙幅方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、搬送方向に延びている。搬送方向の上流側から２列目の個別電極列を構成する個別電極１２ｄのうち、紙幅方向の一方側（図２の下側）の端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、搬送方向の上流側から３列目及び４列目の個別電極列における、紙幅方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、搬送方向に延びている。搬送方向の上流側から３列目の個別電極列を構成する個別電極１２ｄのうち、紙幅方向の他方側（図２の上側）の端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、搬送方向の上流側から４列目の個別電極列における、紙幅方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、搬送方向に延びている。

図２及び図４に示すように、各環状配線１３は、環状部１３ａと環状部１３ａから搬送方向に延びる延在部１３ｂとを有する。各環状部１３ａは、連通孔１７ｘを取り囲むように形成されている。各延在部１３ｂは、環状部１３ａに繋がる一端と、共通電極１２ｂに接続されている他端とを有する。本実施形態において、各環状配線１３は、紙幅方向に隣り合ういずれの２つの圧力室１１ｍの間の隔壁とも重ならないように配置されている。

なお、本実施形態では、各個別配線１２ｅと共通電極１２ｂとの間の絶縁性を高めるため、絶縁膜１２ｉ（図２では図示略。図３参照）が設けられている。絶縁膜１２ｉは、振動板１７の上面の略全体に配置され、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４、圧電体１２ｃ、共通配線１４及び連結配線１５を覆っている。ただし、絶縁膜１２ｉは、圧電素子１２ｘの駆動を阻害しないよう、各個別電極１２ｄの外縁部のみを覆っており、各個別電極１２ｄの中央部は絶縁膜１２ｉから露出している。絶縁膜１２ｉは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）からなる。

複数の個別配線１２ｅ、複数の環状配線１３、複数の個別接点１２ｆ及び２つの共通接点１２ｇは、絶縁膜１２ｉの上面に配置されている。

共通配線１４及び連結配線１５は、共通電極１２ｂと同様、振動板１７の上面に配置されており、絶縁膜１２ｉの下側に配置されている。

各個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉの貫通孔に入り込んだ部分（接点部１２ｅｘ）を介して、対応する個別電極１２ｄと電気的に接続されている。各環状配線１３の延在部１３ｂは、絶縁膜１２ｉの貫通孔に入り込んだ部分（接点部１３ｘ）を介して、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４のいずれかと電気的に接続されている。

各接点部１２ｅｘは、対応する個別電極１２ｄにおける搬送方向の一方側（図２～図４の右側）の端部に設けられている。各接点部１３ｘは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４における搬送方向の一方側（図２の右側）の端部に設けられている。

図３に示すように、ＣＯＦ１８は、ポリイミド等からなる絶縁性のシート１８ｂと、個別接点１２ｆのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線１８ｆと、共通接点１２ｇのそれぞれと電気的に接続される２つの共通配線（図示略）とを有する。

ＣＯＦ１８の一端は、個別配線１８ｆ及び共通配線が個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇのそれぞれと対向した状態で、接着剤Ａを介して流路基板１１に接着されている。ＣＯＦ１８の他端は、コントローラ５（図１参照）と電気的に接続されている。

ＣＯＦ１８の一端と他端との間に、ドライバＩＣ１９が実装されている。ドライバＩＣ１９は、コントローラ５からの信号に基づいて、圧電素子１２ｘを駆動するための駆動信号を生成し、当該駆動信号を各個別電極１２ｄに供給する。共通電極１２ｂの電位は、グランド電位に維持される。駆動信号が供給されると、個別電極１２ｄの電位は、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。

個別電極１２ｄの電位がグランド電位から駆動電位に変化すると、個別電極１２ｄと共通電極１２ｂとの間に電位差が生じる。これにより、圧電体１２ｃの活性部に、圧電体１２ｃの厚み方向に平行な電界が作用する。このとき、圧電体１２ｃの活性部の分極方向（圧電体１２ｃの厚み方向）と、電界の方向とが一致するため、活性部は、圧電体１２ｃの厚み方向に伸び、圧電体１２ｃの面方向に収縮する。圧電体１２ｃの活性部の収縮変形に伴い、振動板１７及び圧電アクチュエータ１２における圧力室１１ｍと対向する部分が、圧力室１１ｍに向かって凸となるように変形する。これにより、圧力室１１ｍの容積が減少し、圧力室１１ｍ内のインクにエネルギーが付与され、圧力室１１ｍに連通するノズル１１ｎからインク滴が吐出される。

図２及び図４に示されるように、各圧力室１１ｍは、搬送方向に長い略矩形の平面形状を有する。そして、図４に示されるように、各圧力室１１ｍにおいて、搬送方向の両端部における紙幅方向の幅Ｄ３は、搬送方向の中央部における紙幅方向の幅Ｄ６よりも、例えば３～４μｍ程度広い。このため、連通孔１７ｘの紙幅方向の幅Ｄ２も広く確保することができ、リザーバ部材１１ａと圧力室プレート１１ｂとを接合する際に、供給流路１１ｔを連通孔１７ｘに対してより容易に位置合わせすることができる。また、紙幅方向に隣り合う２つの圧力室１１ｍの間の隔壁において、搬送方向の中央部における紙幅方向の幅を、搬送方向の両端部における紙幅方向の幅よりも広くすることができる。このため、紙幅方向に隣り合う２つの圧力室１１ｍの間のクロストークを抑制することができる。

また、図４に示されるように、紙幅方向に隣り合う２つの連通孔１７ｘの間には複数の個別配線１２ｅが配置されているため、連通孔１７ｘに対する供給流路１１ｔの位置合わせの精度は、紙幅方向の方が搬送方向よりも高く要求される。この点、本実施形態では、図４に示されるように、各連通孔１７ｘの搬送方向の長さＤ５は、紙幅方向の長さＤ２よりも長く、各供給流路１１ｔの水平面と平行な断面の搬送方向の長さＤ４は、紙幅方向の長さＤ１よりも長い。このため、連通孔１７ｘに対する供給流路１１ｔの位置合わせにおいて、紙幅方向の精度を搬送方向の精度よりも高くすることができる。また、各供給流路１１ｔの水平面と平行な断面、及び各連通孔１７ｘにおいて、紙幅方向の長さを短くした分、搬送方向の長さを長くすることにより、流路抵抗が小さくなるのを防ぐことができる。

また、図４に示されるように、各圧力室１１ｍの搬送方向の一方側（図４の右側）端部における紙幅方向の長さＤ３は、各連通孔１７ｘの紙幅方向の長さＤ２よりも大きく、各連通孔１７ｘの紙幅方向の長さＤ２は、各供給流路１１ｔの水平方向と平行な断面の紙幅方向の長さＤ１よりも大きい。このため、各圧力室１１ｍの搬送方向の一方側の端部に連通孔１７ｘを形成する際に位置合わせが容易である。また、リザーバ部材１１ａと圧力室プレート１１ｂとを接合する際に、供給流路１１ｔを連通孔１７ｘに対してより容易に位置合わせすることができる。

また、図４に示されるように、各連通孔１７ｘの紙幅方向の長さＤ２と、各供給流路１１ｔの水平方向と平行な断面の紙幅方向の長さＤ１との差は、各圧力室１１ｍの搬送方向の一方側（図４の右側）端部における紙幅方向の長さＤ３と、各連通孔１７ｘの紙幅方向の長さＤ２との差よりも大きい。このため、リザーバ部材１１ａと圧力室プレート１１ｂとを接合する際の紙幅方向のずれ量が、各圧力室１１ｍの端部に連通孔１７ｘを形成する際に使用されるマスクの、紙幅方向のずれ量よりも大きくなることが許容される。

また、絶縁膜１２ｉの上面には、各連通孔１７ｘを取り囲む環状配線１３が形成されている。そして、環状配線１３が形成されることにより、各連通孔１７ｘの周囲は、絶縁膜１２ｉの上面よりも高くなっている。このため、もし仮にリザーバ１１ａと圧力室プレート１１ｂとの接合不良等により、供給流路１１ｔと連通孔１７ｘとの接合部分からインクが流出したとしても、そのインクは環状配線１３によって堰き止められる。この結果、供給流路１１ｔと圧力室１１ｍとの接続部分から流出したインクが、圧電アクチュエータ１２に到達する可能性を低くすることができる。

また、図４に示されるように、各環状配線１３の少なくとも一部は、上方から見たとき、圧力室１１ｍの搬送方向の一方側（図４の右側）の端部よりも外側にはみ出している。換言すれば、各環状配線１３の少なくとも一部は、上方から見たとき、圧力室プレート１１ｂの、圧力室１１ｍが形成されていない部分と重なっている。このため、リザーバ部材１１ａを圧力室プレート１１ｂに押圧して接合する際に、振動板１７が破損する可能性を低くすることができる。

また、図３に示されるように、振動板１７の上面における連通孔１７ｘの周囲には、リザーバ部材１１ａの、凹部１１ａｘ及び供給流路１１ｔが形成されていない部分が接合されている。つまり、各圧力室１１ｍの搬送方向の端部はリザーバ部材１１ａによって拘束されている。このため、紙幅方向に隣り合う２つの圧力室１１ｍの間のクロストークを抑制することができる。

上記実施形態では、リザーバ部材１１ａには、リザーバ１１ｓ内のインクを圧力室１１ｍに供給するための供給流路１１ｔのみが形成されていたが、これには限られない。例えば、回収用リザーバと、圧力室１１ｍ内のインクを回収用リザーバ内に戻すための帰還流路１１ｔ´をさらに形成し、リザーバ１１ｓと圧力室１１ｍと回収用リザーバとの間でインクを循環させてもよい。この場合、図５に示すように、供給流路１１ｔは、上記実施形態と同様に、圧力室１１ｍの搬送方向の一方側（図５の右側）の端部に、連通孔１７ｘを介して連通させればよい。一方、帰還流路１１ｔ´は、圧力室１１ｍの搬送方向の他方側（図５の左側）の端部に、連通孔１７ｘ´を介して連通させてもよい。さらに、連通孔１７ｘ´の周囲を取り囲むように、環状配線１３´が形成されてもよい。また、ノズル１１ｎは、圧力室の搬送方向の中央部と重なるように配置してもよい。

上記実施形態において、各圧力室１１ｍの搬送方向の端部における紙幅方向の幅Ｄ３は、鉛直方向に関して一定であったが、これには限られない。例えば、図６に示されるように、各圧力室１１ｍの搬送方向の端部における紙幅方向の幅Ｄ３は、上に向かって広がっていてもよい。この場合、連通孔１７ｘの紙幅方向の幅Ｄ２をより広く確保することができるので、リザーバ部材１１ａと圧力室プレート１１ｂとを接合する際に、供給流路１１ｔを連通孔１７ｘに対してより容易に位置合わせすることができる。

上記実施形態では、連通孔１７ｘの周囲を金属製の環状配線１３が取り囲んでいたが、これには限られず、例えば樹脂製の環状部材によって連通孔１７ｘの周囲を取り囲んでもよい。

上記実施形態及び変形例において、プリンタ１００は、プリンタ１００に対して固定されたシート幅方向に長いヘッドユニット１ｘからインクを吐出する所謂ラインヘッド方式で、記録用紙９への印刷を行う。しかし、プリンタ１００は、キャリッジによってインクジェットヘッドをシート幅方向に移動させる所謂シリアルヘッド方式で、記録用紙９への印刷を行ってもよい。

上記実施形態及び変形例では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。

１ ヘッド
１ｘ ヘッドユニット
１１ａ リザーバ部材
１１ｂ 圧力室プレート
１１ｃ ノズルプレート
１１ｍ 圧力室
１１ｎ ノズル
１１ｔ 供給流路
１２ 圧電アクチュエータ
１３ 環状配線
１７ 振動板
１７ｘ 貫通孔
１００ プリンタ

Claims (9)

1. 液体吐出ヘッドであって、
   圧力室が形成された第１基板であって、前記圧力室と連通するノズルが開口する第１面と、前記第１面とは反対側の第２面であって、前記圧力室に連通する連通孔が開口する第２面とを有する第１基板と、
   前記第１基板の前記第２面に接合された第２基板であって、前記連通孔を介して前記圧力室と連通する流路が形成された第２基板とを備え、
   前記連通孔は、前記圧力室の、前記第１面に沿った第１方向の一方側の第１端部と連通し、
   前記圧力室の前記第１端部における、前記第１面に沿い且つ前記第１方向と交差する第２方向の幅は、前記圧力室の前記第１方向の中央部における、前記第２方向の幅よりも大きく、
   前記連通孔の前記第２方向の幅は、前記流路の前記第１面と平行な断面における前記第２方向の幅よりも広く、
   前記圧力室の前記第１端部における前記第２方向の幅は、前記連通孔の前記第２方向の幅よりも広い、液体吐出ヘッド。
2. 前記連通孔において、前記第１方向の長さは前記第２方向の幅よりも大きい請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記流路の前記第１面と平行な断面において、前記第１方向の長さは前記第２方向の幅よりも大きい請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１基板の前記第２面には、前記連通孔を取り囲む環状配線が形成されている請求項１～３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記環状配線の少なくとも一部は、前記第１面に垂直な方向から見たとき、前記第１基板のうち前記圧力室が形成されていない部分と重なっている請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１基板の前記第２面に配置され、前記の圧力室内の液体に吐出エネルギーを付与する圧電素子をさらに備え、
   前記第２基板の、前記第１基板の前記第２面と対向する第３面には、前記圧電素子を覆う凹部が形成されており、
   前記第１基板の前記第２面における、前記連通孔の周囲には、前記第２基板の前記第３面における前記凹部が形成されていない部分が接合されている請求項１～５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記ノズルは、前記圧力室の、前記第１方向の他方側の第２端部と連通しており、
   前記圧力室の前記第２端部における前記第２方向の幅は、前記圧力室の前記中央部における前記第２方向の幅よりも大きい請求項１～６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記圧力室の前記第１端部における前記第２方向の幅は、前記第１面から前記第２面に向かう方向に広がっている請求項１～７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記連通孔の前記第２方向の幅と、前記流路の前記第１面と平行な断面における前記第２方向の幅との差は、前記圧力室の前記第１端部における前記第２方向の幅と、前記連通孔の前記第２方向の幅との差よりも大きい請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

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