JP7349409B2 - インナーリング、及び管継手 - Google Patents

Description

本発明は、インナーリング、及び管継手に関する。

半導体製造、医療・医薬品製造、及び食品加工・化学工業等の各種技術分野の製造工程では、薬液、高純度液、超純水、或いは洗浄液等の流体が流れる配管経路において、チューブや流体デバイスに形成された流路同士を接続する接続構造として、例えば合成樹脂製の管継手が採用されている。このような管継手として、チューブの先端部の内周側に装着されるインナーリングと、チューブの先端部の外周側に装着される円筒状の継手本体と、継手本体の外周側に装着されるユニオンナットと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

図５に示すように、従来の管継手１００におけるインナーリング１１０は、円筒状の本体部１１１と、本体部１１１の軸方向一端部に形成された膨出部１１２と、本体部１１１の軸方向他端部に形成された圧入部１１３と、を有している。インナーリング１１０の内部には、流体流路１１４が形成されている。膨出部１１２は、本体部１１１よりも径外側へ突出して形成され、チューブ１２０の先端部内に圧入される。圧入部１１３は、本体部１１１から軸方向に突出して形成されており、ユニオンナット１３０を締め付けると、継手本体１４０の端部内に圧入部１１３が圧入される。

インナーリング１１０の膨出部１１２及び圧入部１１３が、それぞれチューブ１２０の先端部内及び継手本体１４０の端部内に圧入されると、インナーリング１１０の軸方向両端部が径内側へ押圧されることで、インナーリング１１０の内周面における軸方向両端部は、径内側へ倒れ込むように変形する。その際、インナーリング１１０の内周面における軸方向両端部が流体流路１１４内へ突出すると、管継手１００内を流れる流体の置換特性が低下し、管継手１００内のフラッシングに時間を要する等の悪影響が生じる。

このため、図６に示すように、インナーリング１１０の内周面における軸方向両端部には、それぞれ軸方向内側から軸方向外端へ向かって徐々に拡径するテーパ面１１５，１１６が形成されている。これにより、インナーリング１１０の軸方向両端部が径内側へ押圧されても、インナーリング１１０の内周面における軸方向両端部が流体流路１１４内へ突出するのを抑制している。

特開２０１８－１６８９４７号公報

図７に示すように、インナーリング１１０の軸方向一端部において、テーパ面１１５の軸方向の長さＬ’が短い場合、インナーリング１１０の内周面における軸方向一端部の径内側への変形代が不十分となる。このため、図８に示すように、インナーリング１１０の膨出部１１２がチューブ１２０の先端部内に圧入されると、インナーリング１１０の内周面における軸方向一端部の流体流路１１４側内への突出を抑制することができない。また、図示を省略するが、インナーリング１１０の軸方向他端部においても、テーパ面１１６の軸方向の長さが短い場合に同様の問題が生じる。

図９に示すように、インナーリング１１０の軸方向一端部において、テーパ面１１５の軸方向の長さＬ’が長い場合、インナーリング１１０の軸方向一端部における径方向の厚み（断面積）が小さくなりすぎる。このため、図１０に示すように、インナーリング１１０の膨出部１１２がチューブ１２０の先端部内に圧入されると、インナーリング１１０の内周面における軸方向一端部は、かえって径内側へ倒れ込み易くなり、流体流路１１４内への突出を抑制することができない。また、図示を省略するが、インナーリング１１０の軸方向他端部においても、テーパ面１１６の軸方向の長さが長い場合に同様の問題が生じる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、インナーリングの内周面の軸方向端部が流体流路内へ突出するのを効果的に抑制できるようにすることを目的とする。

（１）本発明のインナーリングは、軸方向一端部において外周面が径外側に突出して形成され、チューブの先端部内に圧入される膨出部と、軸方向他端部に形成され、継手本体の端部内に圧入される圧入部と、前記膨出部と前記圧入部との間に形成され、軸方向全体にわたって一定の外径を有し、当該外径が前記膨出部の最大外径よりも小さい円筒状の本体部と、を備え、内周面の内側に流体流路が形成されたインナーリングであって、前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入される前の状態において、前記内周面の軸方向一端部に、軸方向他方側から軸方向一端へ向かって漸次拡径して形成されたテーパ面を備え、前記テーパ面の拡径始点は、前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入されたときに前記膨出部が前記チューブから外力を受けることによって前記内周面が変形する起点となる変形起点位置から、前記本体部の外周面における軸方向一端に対応する前記内周面の位置までの範囲内に位置する。

本発明のインナーリングによれば、インナーリングの内周面において軸方向一端部に形成されたテーパ面の拡径始点は、膨出部がチューブから外力を受けることによって内周面が変形する起点となる変形起点位置よりも軸方向一方側に位置することはない。これにより、テーパ面の拡径始点が前記外力によって径内側へ変形するのを抑制できるので、インナーリングの内周面における軸方向一端部の径内側への変形代を確保することができる。

また、テーパ面の拡径始点は、本体部の外周面における軸方向一端に対応する内周面の位置よりも軸方向他方側に位置することはない。すなわち、テーパ面の拡径始点は、インナーリングにおける径方向の厚みが薄くなる部分に位置することはない。これにより、テーパ面を形成しても、インナーリングの軸方向一端部における径方向の厚み（断面積）が小さくなりすぎるのを抑制することができるので、インナーリングの内周面における軸方向一端部が径内側へ変形する度合いを抑制することができる。
以上により、インナーリングの内周面における軸方向一端部が流体流路内へ突出するのを効果的に抑制することができる。

（２）前記膨出部の外周面には、軸方向の所定長さにわたって最大外径となる最大外径部が形成されており、前記テーパ面の前記拡径始点は、前記最大外径部の前記所定長さの範囲に対応する前記内周面の範囲内に位置するのが好ましい。
この場合、テーパ面の拡径始点は、膨出部における径方向の厚みが最も大きい部分に位置するので、テーパ面を形成しても、インナーリングの軸方向一端部において径方向の厚みが小さくなる度合いを抑制することができる。これにより、インナーリングの内周面における軸方向一端部が径内側へ変形する度合いをさらに抑制することができる。

（３）前記変形起点位置は、前記最大外径部の軸方向一端に対応する前記内周面の位置に位置し、前記テーパ面の前記拡径始点は、前記変形起点位置上に位置するのが好ましい。
この場合、テーパ面の拡径始点が前記外力によって径内側へ変形するのを抑制しつつ、インナーリングの軸方向一端部において径方向の厚みが小さくなる度合いを可及的に抑制することができる。これにより、インナーリングの内周面における軸方向一端部が径内側へ変形する度合いをさらに抑制することができる。

（４）他の観点から見た本発明のインナーリングは、軸方向一端部において外周面が径外側に突出して形成され、チューブの先端部内に圧入される膨出部と、軸方向他端部に形成され、継手本体の端部内に圧入される圧入部と、前記膨出部と前記圧入部との間に形成され、軸方向全体にわたって一定の外径を有し、当該外径が前記圧入部の外径よりも小さい円筒状の本体部と、を備え、内周面の内側に流体流路が形成されたインナーリングであって、前記圧入部が前記継手本体の端部内に圧入される前の状態において、前記内周面の軸方向他端部に、軸方向一方側から軸方向他端へ向かって漸次拡径して形成されたテーパ面を備え、前記テーパ面の拡径始点は、前記圧入部が前記継手本体の端部内に圧入されたときに前記圧入部が前記継手本体から外力を受けることによって前記内周面が変形する起点となる変形起点位置から、前記本体部の外周面における軸方向他端に対応する前記内周面の位置までの範囲内に位置する。

本発明のインナーリングによれば、インナーリングの内周面において軸方向他端部に形成されたテーパ面の拡径始点は、圧入部が継手本体から外力を受けることによって内周面が変形する起点となる変形起点位置よりも軸方向他方側に位置することはない。これにより、テーパ面の拡径始点が前記外力によって径内側へ変形するのを抑制できるので、インナーリングの内周面における軸方向他端部の径内側への変形代を確保することができる。
また、テーパ面の拡径始点は、本体部の外周面における軸方向他端に対応する内周面の位置よりも軸方向一方側に位置することはない。すなわち、テーパ面の拡径始点は、インナーリングにおける径方向の厚みが薄くなる部分に位置することはない。これにより、テーパ面を形成しても、インナーリングの軸方向他端部における径方向の厚み（断面積）が小さくなりすぎるのを抑制することができるので、インナーリングの内周面における軸方向他端部が径内側へ変形する度合いを抑制することができる。
以上により、インナーリングの内周面における軸方向他端部が流体流路内へ突出するのを効果的に抑制することができる。

（５）前記テーパ面の前記拡径始点は、前記変形起点位置上に位置するのが好ましい。
この場合、テーパ面の拡径始点が前記外力によって径内側へ変形するのを抑制しつつ、インナーリングの軸方向他端部において径方向の厚みが小さくなる度合いを可及的に抑制することができる。これにより、インナーリングの内周面における軸方向他端部が径内側へ変形する度合いをさらに抑制することができる。

（６）他の観点から見た本発明の管継手は、外周に雄ねじ部が形成された継手本体と、前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部が内周に形成されたユニオンナットと、前記（１）から（５）のいずれかに記載のインナーリングと、を備える。
本発明の管継手によれば、前記インナーリングと同様の作用効果を奏する。

本発明によれば、インナーリングの内周面の軸方向端部が流体流路内へ突出するのを効果的に抑制することできる。

本発明の実施形態に係る管継手を示す軸方向の断面図である。 前記管継手のインナーリングを示す軸方向の断面図である。 前記インナーリングの内周面における第１テーパ面を示す図２の要部拡大断面図である。 前記インナーリングの内周面における第２テーパ面を示す図２の要部拡大断面図である。 従来の管継手を示す軸方向の断面図である。 従来のインナーリングを示す軸方向の断面図である。 従来のインナーリングの内周面に形成されたテーパ面が軸方向に短い場合を示す拡大断面図である。 図７のインナーリングのテーパ面が変形した状態を示す拡大断面図である。 従来のインナーリングの内周面に形成されたテーパ面が軸方向に長い場合を示す拡大断面図である。 図９のインナーリングのテーパ面が変形した状態を示す拡大断面図である。

次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［管継手の全体構成］
図１は、本発明の実施形態に係る管継手を示す軸方向の断面図である。図１において、管継手１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液（流体）が流れる配管経路に用いられる。管継手１は、継手本体２と、ユニオンナット３と、インナーリング４と、を備えている。以下、本実施形態では、便宜上、図１の左側を軸方向一方側といい、図１の右側を軸方向他方側という（図２～図４についても同様）。

インナーリング４は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、又はフッ素樹脂（パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、又はポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等）の合成樹脂材料によって、円筒状に形成されている。

インナーリング４の内周面４ａの内側には、流体流路４ｂが形成されている。流体流路４ｂは、チューブ８の内部に形成された流路８ａと、継手本体２の内部に形成された流路２ｃとを連通する。インナーリング４は、軸方向一端部に形成された膨出部５と、軸方向他端部に形成された圧入部６と、膨出部５と圧入部６との間に形成された円筒状の本体部７と、を備えている。

膨出部５は、合成樹脂材料（ＰＦＡ等）からなるチューブ８の先端部内に圧入されて、当該チューブ８の先端部を拡径する。膨出部５は、径外側に突出して山型に形成された外周面５ａを有する。膨出部５の外周面５ａは、最大外径となる最大外径部５ｂと、第１縮径部５ｃと、第２縮径部５ｄと、を有している。

最大外径部５ｂは、軸方向の所定長さＬにわたって形成されている（図２参照）。第１縮径部５ｃは、最大外径部５ｂの軸方向一端から軸方向一方側へ向かって漸次縮径して形成されている。第２縮径部５ｄは、最大外径部５ｂの軸方向他端から軸方向他方側へ向かって漸次縮径して形成されている。第２縮径部５ｄの軸方向他端は、本体部７の外周面７ａに接続されている。

圧入部６は、継手本体２の端部（軸方向一端部）内に圧入される。圧入部６は、円筒状の圧入本体６ａと、環状の一次シール部６ｂと、円筒状の二次シール部６ｃと、を備えている。
圧入本体６ａは、継手本体２の受口部２ａ（後述）内に圧入される。

一次シール部６ｂは、圧入本体６ａの軸方向他端の径内側から軸方向他方側に突出して形成されている。一次シール部６ｂの外周面６ｂ１は、軸方向一端から軸方向他端へ向かって漸次縮径して形成されている。一次シール部６ｂは、継手本体２の一次シール溝２ｄ（後述）に圧入される。

二次シール部６ｃは、圧入本体６ａの軸方向他端の径外側から軸方向他方側に突出して形成されている。二次シール部６ｃは、継手本体２の二次シール溝２ｅ（後述）に圧入される。一次シール部６ｂと二次シール部６ｃとの間には断面円弧状に形成された環状溝６ｄが形成されている。二次シール部６ｃの外径は、圧入本体６ａの外径と同一である。これにより、圧入部６（圧入本体６ａ及び二次シール部６ｃ）は、軸方向全体にわたって一定の外径Ｄ３（図２参照）を有する。

インナーリング４の本体部７は、軸方向全体にわたって一定の外径Ｄ１を有し、その外径Ｄ１は、膨出部５の最大外径Ｄ２よりも小さく、かつ、圧入部６の外径Ｄ３よりも小さい（図２参照）。本体部７の外周面７ａは、圧入部６の軸方向一端に形成された段差面６ｅを介して、圧入部６の外周面６ｆに接続されている。

継手本体２は、例えば、ＰＶＣ、ＰＰ、ＰＥ又はフッ素樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥ等）の合成樹脂材料によって円筒状に形成されている。継手本体２の内径は、薬液の移動を妨げないように、インナーリング４の内径と略同一寸法に設定されている。継手本体２の軸方向一端部には、円筒状の受口部２ａが形成されている。受口部２ａの内周には、チューブ８の先端部内に膨出部５が圧入されたインナーリング４の圧入部６が圧入されている。これにより、継手本体２の軸方向一端部は、チューブ８の先端部の外周に装着されている。受口部２ａの外周には、雄ねじ部２ｂが形成されている。

継手本体２は、受口部２ａよりも軸方向他方側に形成された、環状の一次シール溝２ｄ及び円筒状の二次シール溝２ｅを有している。一次シール溝２ｄは、継手本体２の径内側において、軸方向一端から軸方向他端へ向かって漸次縮径するように切り欠かれたテーパ形状とされている。二次シール溝２ｅは、継手本体２において一次シール溝２ｄよりも径外側に形成されている。

ユニオンナット３は、例えば、ＰＶＣ、ＰＰ、ＰＥ又はフッ素樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥ等）の合成樹脂材料によって円筒状に形成されている。ユニオンナット３は、軸方向一端部において径内側に突出して形成された押圧部３ａと、軸方向他端部の内周に形成された雌ねじ部３ｂと、を有している。雌ねじ部３ｂは、継手本体２の雄ねじ部２ｂに締め付けられている。その締め付けによって、ユニオンナット３は継手本体２に装着されるとともに、押圧部３ａの軸方向他端部は、インナーリング４の膨出部５によって径外側に膨らむチューブ８の外周面を押圧する。

以上の構成により、ユニオンナット３の雌ねじ部３ｂを継手本体２の雄ねじ部２ｂに締め付けると、インナーリング４の一次シール部６ｂ及び二次シール部６ｃは、それぞれ継手本体２の一次シール溝２ｄ及び二次シール溝２ｅに圧入されるため、インナーリング４と継手本体２との接続部分のシール性能を確保することができる。また、ユニオンナット３の押圧部３ａにより、チューブ８の抜け出しを防止することができる。

［インナーリングの内周面］
図２は、インナーリング４を示す軸方向の断面図であり、膨出部５及び圧入部６が、それぞれチューブ８の先端部内及び継手本体２の端部内に圧入される前の状態を示している。図２に示すように、インナーリング４は、内周面４ａの軸方向一端部に形成された第１テーパ面１１と、内周面４ａの軸方向他端部に形成された第２テーパ面１２と、を備えている。

第１テーパ面１１は、内周面４ａの軸方向一端部において、軸方向他方側から軸方向一端へ向かって漸次拡径して形成されている。本実施形態の第１テーパ面１１は、例えば曲面状に形成されている。なお、第１テーパ面１１は、平面状に形成されていてもよい。

第２テーパ面１２は、内周面４ａの軸方向他端部において、軸方向一方側から軸方向他端へ向かって漸次拡径して形成されている。本実施形態の第２テーパ面１２は、例えば平面状に形成されている。なお、第２テーパ面１２は、曲面状に形成されていてもよい。

図３は、インナーリング４の内周面４ａにおける第１テーパ面１１を示す図２の要部拡大断面図である。図３において、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、内周面４ａの変形起点位置Ｐ１２から、本体部７の外周面７ａにおける軸方向一端に対応する内周面４ａの位置Ｐ１３までの範囲Ｒ１１内に位置するのが好ましい。ここで、「変形起点位置Ｐ１２から・・・位置Ｐ１３までの範囲Ｒ１１内」とは、変形起点位置Ｐ１２上及び位置Ｐ１３上も含む意味である。

変形起点位置Ｐ１２は、膨出部５がチューブ８の先端部内に圧入されたとき、及びユニオンナット３（雌ねじ部３ｂ）を継手本体２（雄ねじ部２ｂ）に締め付けたときに、膨出部５がチューブ８及びユニオンナット３から外力を受けることによって、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部が径内側へ倒れ込むように変形する起点となる位置である。したがって、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部では、変形起点位置Ｐ１２よりも軸方向一方側の部分が、径内側へ倒れ込むように変形する。本実施形態における変形起点位置Ｐ１２は、膨出部５の外周面５ａにおける最大外径部５ｂの軸方向一端に対応する内周面４ａの位置である。

第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１が前記範囲Ｒ１１内に位置することで、以下の作用効果を奏する。
第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、変形起点位置Ｐ１２よりも軸方向一方側に位置することはない。これにより、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１がチューブ８及びユニオンナット３からの前記外力によって径内側へ変形するのを抑制できるので、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部の径内側への変形代を確保することができる。

また、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、位置Ｐ１３よりも軸方向他方側に位置することはない。すなわち、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、インナーリング４における径方向の厚みが薄くなる部分に位置することはない。これにより、第１テーパ面１１を形成しても、インナーリング４の軸方向一端部における径方向の厚み（断面積）が小さくなりすぎるのを抑制することができるので、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部が径内側へ変形する度合いを抑制することができる。

したがって、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１が前記範囲Ｒ１１内に位置することで、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部が流体流路４ｂ内へ突出するのを効果的に抑制することができる。

第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、膨出部５の外周面５ａにおける最大外径部５ｂの長さＬの範囲に対応する内周面４ａの範囲Ｒ１２内に位置するのがさらに好ましい。この場合、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、膨出部５における径方向の厚みが最も大きい部分に位置するので、第１テーパ面１１を形成しても、インナーリング４の軸方向一端部において径方向の厚みが小さくなる度合いを抑制することができる。これにより、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部が径内側へ変形する度合いをさらに抑制することができる。

本実施形態における第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１は、前記範囲Ｒ１２内において変形起点位置Ｐ１２上に位置する。この場合、第１テーパ面１１の拡径始点Ｐ１１が前記外力によって径内側へ変形するのを抑制しつつ、インナーリング４の軸方向一端部において径方向の厚みが小さくなる度合いを可及的に抑制することができる。これにより、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一端部が径内側へ変形する度合いをさらに抑制することができる。

図１に示すように、本実施形態における第１テーパ面１１は、膨出部５がチューブ８の先端部内に圧入されたときやユニオンナット３の締結により外力が生じたときに、第１テーパ面１１全体が径内側へ倒れ込むように変形することで、内周面４ａに沿って軸方向に真っすぐ延びた状態となる。したがって、膨出部５がチューブ８の先端部内に圧入されたときに、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向一部は、径内側へ倒れ込むように変形しても、流体流路４ｂ内に突出することはない。

図４は、インナーリング４の内周面４ａにおける第２テーパ面１２を示す図２の要部拡大断面図である。図４において、第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１は、内周面４ａの変形起点位置Ｐ２２から、本体部７の外周面７ａにおける軸方向他端に対応する内周面４ａの位置Ｐ２３までの範囲Ｒ２１内に位置するのが好ましい。ここで、「変形起点位置Ｐ２２から・・・位置Ｐ２３までの範囲Ｒ２１内」とは、変形起点位置Ｐ２２上及び位置Ｐ２３上も含む意味である。

変形起点位置Ｐ２２は、圧入部６が継手本体２の端部内に圧入されたとき、特に一次シール部６ｂが一次シール溝２ｄに圧入されたときに、圧入部６の一次シール部６ｂが継手本体２から外力を受けることによって、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部が径内側へ倒れ込むように変形する起点となる位置である。したがって、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部では、変形起点位置Ｐ２２よりも軸方向他方側の部分が、径内側へ倒れ込むように変形する。

第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１が前記範囲Ｒ２１内に位置することで、以下の作用効果を奏する。
第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１は、変形起点位置Ｐ２２よりも軸方向他方側に位置することはない。これにより、第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１が継手本体２からの前記外力によって径内側へ変形するのを抑制できるので、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部の径内側への変形代を確保することができる。

また、第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１は、本体部７の外周面７ａにおける軸方向他端に対応する内周面４ａの位置よりも軸方向一方側に位置することはない。すなわち、第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１は、インナーリング４における径方向の厚みが薄くなる部分に位置することはない。これにより、第２テーパ面１２を形成しても、インナーリング４の軸方向他端部における径方向の厚み（断面積）が小さくなりすぎるのを抑制することができるので、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部が径内側へ変形する度合いを抑制することができる。

したがって、第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１が前記範囲Ｒ２１内に位置することで、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部が流体流路４ｂ内へ突出するのを効果的に抑制することができる。

本実施形態では、変形起点位置Ｐ２２は、環状溝６ｄの径方向に延びる仮想接線Ｋと内周面４ａとの交点に位置する。そして、本実施形態における第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１は、前記範囲Ｒ２１内において変形起点位置Ｐ２２上に位置する。この場合、第２テーパ面１２の拡径始点Ｐ２１が前記外力によって径内側へ変形するのを抑制しつつ、インナーリング４の軸方向他端部において径方向の厚みが小さくなる度合いを可及的に抑制することができる。これにより、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部が径内側へ変形する度合いをさらに抑制することができる。

図１に示すように、本実施形態における第２テーパ面１２は、圧入部６が継手本体２の端部内に圧入されたときに、第２テーパ面１２全体が径内側へ倒れ込むように変形することで、内周面４ａに沿って軸方向に真っすぐ延びた状態となる。したがって、圧入部６が継手本体２の端部内に圧入されたときに、インナーリング４の内周面４ａにおける軸方向他端部は、径内側へ倒れ込むように変形しても、流体流路４ｂ内に突出することはない。

［その他］
上記実施形態の膨出部５の外周面５ａにおける最大外径部５ｂは、軸方向の所定長さＬにわたって形成されているが、軸方向の一点だけに形成されていてもよい。また、上記実施形態の圧入部６は、圧入本体６ａと、一次シール部６ｂと、二次シール部６ｃと、を備えているが、少なくとも一次シール部６ｂを備えていればよい。また、本発明の管継手１及びインナーリング４は、半導体製造装置以外に、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいても適用することができる。また、インナーリング４には、膨出部５側の第１テーパ面１１及び圧入部６側の第２テーパ面１２のうち、いずれか一方のみを適用してもよいし、両方を適用してもよい。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 管継手
２ 継手本体
２ｄ 一次シール溝
２ｅ 二次シール溝
３ ユニオンナット
４ インナーリング
４ａ 内周面
４ｂ 流体流路
５ 膨出部
５ａ 外周面
５ｂ 最大外径部
６ 圧入部
７ 本体部
７ａ 外周面
８ チューブ
１１ 第１テーパ面（テーパ面）
１２ 第２テーパ面（テーパ面）
Ｐ１１，Ｐ２１ 拡径位置
Ｐ１２，Ｐ２２ 変形起点位置
Ｐ１３，Ｐ２３ 内周面の位置

Claims (5)

1. 軸方向一端部において外周面が径外側に突出して形成され、チューブの先端部内に圧入される膨出部と、
   軸方向他端部に形成され、継手本体の端部内に圧入される圧入部と、
   前記膨出部と前記圧入部との間に形成され、軸方向全体にわたって一定の外径を有し、当該外径が前記膨出部の最大外径よりも小さい円筒状の本体部と、を備え、
   内周面の内側に流体流路が形成されたインナーリングであって、
   前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入される前の状態において、前記内周面の軸方向一端部に、軸方向他方側から軸方向一端へ向かって漸次拡径して形成されたテーパ面を備え、
   前記テーパ面の拡径始点は、前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入されたときに前記膨出部が前記チューブから外力を受けることによって前記内周面が変形する起点となる変形起点位置から、前記本体部の外周面における軸方向一端に対応する前記内周面の位置までの範囲内に位置する、インナーリング。
2. 前記膨出部の外周面には、軸方向の所定長さにわたって最大外径となる最大外径部が形成されており、
   前記テーパ面の前記拡径始点は、前記最大外径部の前記所定長さの範囲に対応する前記内周面の範囲内に位置する、請求項１に記載のインナーリング。
3. 前記変形起点位置は、前記最大外径部の軸方向一端に対応する前記内周面の位置に位置し、
   前記テーパ面の前記拡径始点は、前記変形起点位置上に位置する、請求項２に記載のインナーリング。
4. 軸方向一端部において外周面が径外側に突出して形成され、チューブの先端部内に圧入される膨出部と、
   軸方向他端部に形成され、継手本体の端部内に圧入される圧入部と、
   前記膨出部と前記圧入部との間に形成され、軸方向全体にわたって一定の外径を有し、当該外径が前記圧入部の外径よりも小さい円筒状の本体部と、を備え、
   内周面の内側に流体流路が形成されたインナーリングであって、
   前記圧入部が前記継手本体の端部内に圧入される前の状態において、前記内周面の軸方向他端部に、軸方向一方側から軸方向他端へ向かって漸次拡径して形成されたテーパ面を備え、
   前記テーパ面の拡径始点は、前記圧入部が前記継手本体の端部内に圧入されたときに前記圧入部が前記継手本体から外力を受けることによって前記内周面が変形する起点となる変形起点位置上に位置する、インナーリング。
5. 外周に雄ねじ部が形成された継手本体と、
   前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部が内周に形成されたユニオンナットと、
   請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のインナーリングと、を備える管継手。

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