JP7340840B2 - 微小光学構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
図面において、同一又は同様の構成要素には同一の符号を付している。図面は模式的なものであり、平面寸法と厚さとの関係、及び各部材の厚さの比率は現実のものとは異なる。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
1A、1B、1C、1D パターン
3 フレキシブル基板
5 薄層
11 凸部
12 第1平坦部
31 凹部
32 第2平坦部
51 凸部
52 第3平坦部
55、60 レンズ
56 残渣
70 エアブロー
100、200 マイクロレンズ構造体
Claims (7)
- 第1光学材料からなる基板と、前記第1光学材料とは異なる第2光学材料からなる光学素子と、を有する微小光学構造体の製造方法であって、
一面に凸部と第1平坦部とを有するモールドを用いて前記第1光学材料に転写することで、表面に凹部と第2平坦部とを有する前記基板を作製するステップと、
前記基板の前記表面に前記第2光学材料をコーティングして、前記基板の前記凹部に対応する凸部と前記基板の前記第2平坦部に対応する第3平坦部とを有する薄層を形成するステップと、
前記薄層の前記第2光学材料の表面張力の効果によって、前記基板の前記凹部に、最表面が凸曲面の前記光学素子を形成するステップと、
を有する、微小光学構造体の製造方法。 - 前記モールドは、各々が前記凸部と同一構造を有する複数の凸部が、前記一面にマトリクス状に配列された構造を有し、
前記基板を作製するステップは、前記モールドを用いて、各々が前記凹部と同一構造を有する複数の凹部が、前記表面にマトリクス状に配列された前記基板を作製する、請求項1に記載の微小光学構造体の製造方法。 - 前記モールドは、前記複数の凸部のうち隣接する凸部の間に前記第1平坦部を有し、
前記基板を作製するステップは、前記モールドを用いて、前記複数の凹部のうち隣接する凹部の間に前記第2平坦部を有する前記基板を作製する、請求項2に記載の微小光学構造体の製造方法。 - 前記第1光学材料と前記第2光学材料は屈折率が異なる、請求項1~3の何れか1項に記載の微小光学構造体の製造方法。
- 前記基板を作製するステップは、前記基板としてフレキシブル基板を作製する、請求項1~4の何れか1項に記載の微小光学構造体の製造方法。
- 前記第2光学材料をコーティングするステップは、前記第2光学材料として液状の樹脂をコーティングし、
前記光学素子を形成するステップは、前記液状の樹脂を硬化させ、表面張力の効果によって、前記第2光学材料の濃度に応じて最表面が凸曲面の前記光学素子を形成する、請求項1~5の何れか1項に記載の微小光学構造体の製造方法。 - 前記光学素子を形成した後、前記基板に残留した前記第2光学材料の残渣を除去するステップを更に有する、請求項1~6の何れか1項に記載の微小光学構造体の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2002283362A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ及びその製造方法並びに光学装置 |
JP2014089228A (ja) | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイの製造方法およびマイクロレンズアレイ |
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- 2019-05-17 JP JP2019093886A patent/JP7340840B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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