JP7339119B2 - 磁気センサの検査装置、磁気センサの検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、磁気センサの検査装置、磁気センサの検査方法に関するものである。

磁気センサの検査装置は、予め定めた方向の磁場を発生させ、磁気センサの出力が適正な範囲にあるかを検査するものであり、一般に縦方向と横方向の双方で検査するために、磁場の方向を切り替えることが求められている。また、複数の磁気センサを同時に検査するために、広い範囲で均一となる強い磁場を発生させることも望まれている。特許文献１では、磁場を発生させる円環状のコイルが、互いに直交する三軸方向に一対ずつあり、夫々が磁気センサを取り囲み、全体で正六面体を構成するように配置されている。

特開２０１３－３６９４１号公報

特許文献１に記載された従来技術の場合、広い範囲で均一となる強い磁場を発生させるために、各コイルを大きくすることが考えられる。しかしながら、各組のコイルを大きくすると互いに干渉してしまうため、磁気センサから遠くに配置しなければならず、磁場の強度や均一性が低下する。
本発明の課題は、磁気センサの検査装置において、広い範囲で均一となる強い磁場を発生させることである。

本発明の一態様に係る磁気センサの検査装置は、検査対象となる磁気センサが接続される接続部と、平行に延びる一対の線形部が形成された環状の巻線であり、通電されるときに磁気センサに対して予め定めた方向の磁場を発生させる第一のコイル及び第二のコイルと、を備え、第一のコイル及び第二のコイルは、互いに対称性を有し、一方の線形部同士及び他方の線形部同士が平行となり、一方の線形部同士が離間し、他方の線形部同士が接近した状態で対向するように配置され、接続部は、一方の線形部同士の間に配置される。

本発明の一態様に係る磁気センサの検査方法は、環状の巻線である第一のコイル及び第二のコイルに、夫々、平行に延びる一対の線形部を形成し、第一のコイル及び第二のコイルを、互いに対称性を有し、一方の線形部同士及び他方の線形部同士が平行となり、一方の線形部同士が離間し、他方の線形部同士が接近した状態で対向するように配置し、一方の線形部同士の間に配置された接続部に、検査対象となる磁気センサを接続し、第一のコイル及び第二のコイルに通電し、磁気センサに対して予め定めた方向の磁場を発生させ、磁気センサの出力が適正な範囲にあるか否かを診断する。

本発明によれば、対称性を有する第一のコイル及び第二のコイルを、一方の線形部同士が離間し、他方の線形部同士が接近した状態で対向するように配置したことで、双方への通電によって、予め定めた方向の磁場を発生させることができる。すなわち、第一のコイル及び第二のコイルを大型化しても互いの配置に干渉することがないため、広い範囲で均一となる強い磁場を発生させることができる。

磁気センサの検査装置を示す図である。 Ｘ‐Ｚ平面に沿った各コイルの断面を示す図である。 縦磁場印加モードを示す図である。 横磁場印加モードを示す図である。 磁場のシミュレーション結果を示す図である。 磁気センサの検査処理を示すフローチャートである。 変形例を示す図である。 第２実施形態を示す図である。 第２実施形態における磁場のシミュレーション結果を示す図である。 第３実施形態を示す図である。 第３実施形態における横磁場印加モードを示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図面は模式的なものであって、現実のものとは異なる場合がある。また、以下の実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであり、構成を下記のものに特定するものでない。すなわち、本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。

《第１実施形態》
《構成》
以下の説明では、互いに直交する三方向を、便宜的に、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とし、ここではＸ方向及びＹ方向を水平方向とし、Ｚ方向を垂直方向とする。
図１は、磁気センサの検査装置を示す図である。
磁気センサの検査装置１１は、ソケット１２（接続部）と、ソケット基板１３と、テスタ１４と、コイル２１（第一のコイル）と、コイル２２（第二のコイル）と、切替リレー２３と、駆動電源２４と、コントローラ２５（制御部）と、を備える。

ソケット１２は、ソケット基板１３の上面に固定されており、ソケット基板１３の電気回路、及び配線１５を介してテスタ１４に接続されている。ソケット基板１３には、複数のソケット１２が固定されており、各ソケット１２には、検査対象となる磁気センサ１６が接続可能である。磁気センサ１６は、磁場（磁界）の強度と方向を検出し、検出した信号はテスタ１４で読み込まれ、こうして磁気センサ１６の出力が適正な範囲にあるかが検査される。

コイル２１は、配線２６を介して切替リレー２３に接続され、コイル２２は、配線２７を介して切替リレー２３に接続され、夫々、駆動電源２４から電力が供給される。切替リレー２３は、コイル２１の通電方向、及びコイル２２の通電方向を、任意に切り替えることができる。コントローラ２５は、例えばマイクロコンピュータで構成され、磁気センサ１６に対して実施する検査方向に応じて、コイル２１及びコイル２２への通電を制御する。
コイル２１及びコイル２２は、環状に巻かれた巻線であり、通電されるときに予め定めた方向の磁場を発生させる。コイル２１及びコイル２２は、互いに対称性を有する。具体的には、Ｙ‐Ｚ平面を軸に線対称の関係にあり、夫々、略直角に曲がっていて、一方側がＸ‐Ｙ平面に沿い、他方側がＹ‐Ｚ平面に沿った形状である。

図２は、Ｘ‐Ｚ平面に沿った各コイルの断面を示す図である。
コイル２１には、Ｙ方向に沿って延びる一対の上側線形部３１（一方の線形部）、及び下側線形部３２（他方の線形部）が形成されている。コイル２１は、上側線形部３１と下側線形部３２との中央が、Ｙ方向と平行な折り目で屈曲しており、その屈曲部にコイル中心ｃ１がある。すなわち、コイル２１は、コイル中心ｃ１がソケット１２に近づく側に曲がっている。
コイル２２には、Ｙ方向に沿って延びる一対の上側線形部３３（一方の線形部）、及び下側線形部３４（他方の線形部）が形成されている。コイル２２は、上側線形部３３と下側線形部３４との中央が、Ｙ方向と平行な折り目で屈曲しており、その屈曲部にコイル中心ｃ２がある。すなわち、コイル２２は、コイル中心ｃ２がソケット１２に近づく側に曲がっている。

コイル２１及びコイル２２は、上側線形部同士（３１と３３）及び下側線形部同士（３２と３４）が平行となり、上側線形部同士（３１と３３）が離間し、下側線形部同士（３２と３４）が接近した状態で対向するように配置されている。コイル２１及びコイル２２は、互いにできるだけ近づけることが好ましいが、非接触状態を保つ必要がある。コイル２１及びコイル２２は、略同一の寸法であり、Ｚ方向の位置、及びＹ方向の位置も略同一である。
コントローラ２５は、コイル２１及びコイル２２の双方に通電し、Ｚ方向及びＸ方向の二方向に磁場を切り替えて発生させる。具体的には、何れか一方の通電方向を逆転することで磁場の方向を切り替えるが、ここではコイル２１の通電方向を逆転させる例について説明する。

図３は、縦磁場印加モードを示す図である。
図中の（ａ）はコイル２１及びコイル２２の斜視図であり、図中の（ｂ）はＡ矢視図である。コイル２１に流れる電流Ｉ１を実線矢印で示し、コイル２１が単独で作る磁場Ｈ１を点線矢印で示す。ソケット１２の位置からコイル２１のコイル中心ｃ１を見て、電流Ｉ１は反時計回りに流れ、Ｙ方向から見てソケット１２の位置には、屈曲したコイル２１の内角側から外角側に向かって斜め上に磁場Ｈ１が発生する。コイル２２に流れる電流Ｉ２を実線矢印で示し、コイル２２が単独で作る磁場Ｈ２を点線矢印で示す。ソケット１２の位置からコイル２２のコイル中心ｃ２を見て、電流Ｉ２は反時計回りに流れ、Ｙ方向から見てソケット１２の位置には、屈曲したコイル２２の内角側から外角側に向かって斜め上に磁場Ｈ２が発生する。コイル２１及びコイル２２の双方で作る合成磁場Ｈをブロック矢印で示す。ソケット１２の位置には、Ｚ方向に沿って上方に向かう合成磁場Ｈが発生する。

図４は、横磁場印加モードを示す図である。
図中の（ａ）はコイル２１及びコイル２２の斜視図であり、図中の（ｂ）はＡ矢視図である。コイル２１に流れる電流Ｉ１を実線矢印で示し、コイル２１が単独で作る磁場Ｈ１を点線矢印で示す。ソケット１２の位置からコイル２１のコイル中心ｃ１を見て、電流Ｉ１は時計回りに流れ、Ｙ方向から見てソケット１２の位置には、屈曲したコイル２１の外角側から内角側に向かって斜め下に磁場Ｈ１が発生する。コイル２２に流れる電流Ｉ２を実線矢印で示し、コイル２２が単独で作る磁場Ｈ２を点線矢印で示す。ソケット１２の位置からコイル２２のコイル中心ｃ２を見て、電流Ｉ２は反時計回りに流れ、Ｙ方向から見てソケット１２の位置には、屈曲したコイル２２の内角側から外角側に向かって斜め上に磁場Ｈ２が発生する。コイル２１及びコイル２２の双方で作る合成磁場Ｈをブロック矢印で示す。ソケット１２の位置には、Ｘ方向に沿ってコイル２２の側からコイル２１の側に向かう合成磁場Ｈが発生する。

図５は、磁場のシミュレーション結果を示す図である。
図中の（ａ）は縦磁場印加モードを示し、図中の（ｂ）は横磁場印加モードを示す。コイル２１及びコイル２２の各線形部（３１～３４）に電流が流れるとき、右ねじの法則により、各線形部の周りに磁場が発生する。すなわち、紙面上、奥から手前に電流が流れるときには、線形部の周りに反時計回りの磁場が発生し、手前から奥に電流が流れるときには、線形部の周りに時計回りの磁場が発生する。縦磁場印加モードでは、上側線形部同士（３１と３３）の磁場が支配的になり、ソケット１２の位置において、Ｚ方向に沿って上方に向かう磁場を発生させる。横磁場印加モードでは、下側線形部同士（３２と３４）の磁場が支配的になり、ソケット１２の位置において、Ｘ方向に沿ってコイル２２の側からコイル２１の側に向かう磁場を発生させる。

図中の（ａ）において点線で囲んだ領域３５は、縦磁場を印加できる有効範囲を示しており、この領域３５内であれば、ソケット１２の配置を移動させてもよい。図中の（ｂ）において点線で囲んだ領域３６は、横磁場を印加できる有効範囲を示しており、この領域３６内であれば、ソケット１２の配置を移動させてもよい。すなわち、コイル２１及びコイル２２における上側線形部同士（３１と３３）の間となる中央付近は、概ね縦磁場及び横磁場の双方を印加できる有効範囲であり、この範囲内にソケット１２の配置が設定される。

次に、磁気センサの検査方法について説明する。
図６は、磁気センサの検査処理を示すフローチャートである。
磁気センサの検査処理は、ユーザによって検査要求が入力されたときに、コントローラ２５で実行される。
先ずステップＳ１０１では、ソケット１２に対する磁気センサ１６の接続が完了しているか否かを判定する。磁気センサ１６の接続が完了しているときにはステップＳ１０２に移行する。磁気センサ１６の接続が完了していないときには、接続が完了するまで待機する。
ステップＳ１０２では、コイル２１及びコイル２２の双方に通電し、縦磁場印加モードを実行する。

続くステップＳ１０３では、磁気センサ１６の出力信号をテスタ１４から取得する。
続くステップＳ１０４では、縦磁場の印加に対して、各磁気センサ１６の出力が適正な範囲にあるか否かを診断し、診断結果をモニタに表示するなどしてユーザに通知する。
続くステップＳ１０５では、コイル２１及びコイル２２の双方に通電し、横磁場印加モードを実行する。このとき、縦磁場印加モードのときとは、コイル２１の通電方向を逆転させる。
続くステップＳ１０６では、磁気センサ１６の出力信号をテスタ１４から取得する。
続くステップＳ１０７では、横磁場の印加に対して、各磁気センサ１６の出力が適正な範囲にあるか否かを診断し、診断結果をモニタに表示するなどしてユーザに通知し、所定のメインプログラムに復帰する。

《作用》
次に、第１実施形態の主要な作用効果について説明する。
磁気センサの検査装置１１は、一般に縦方向と横方向の双方で検査するために、磁場の方向を切り替えることが必要で、さらに複数の磁気センサ１６を同時に検査するために、広い範囲で均一となる強い磁場を発生させることも望まれている。複数の方向に一対ずつコイルを設け、各コイルを大きくすることが考えられる。しかしながら、各組のコイルを大きくすると互いに干渉してしまうため、磁気センサ１６から遠くに配置しなければならず、磁場の強度や均一性が低下する。さらに、水平磁場を発生させる一対のコイルを設けると共に、その外側に垂直磁場を発生させる一対のコイルを設けることも考えられる。しかしながら、この構成の場合には、水平磁場の強度に比べて垂直磁場の強度が弱まってしまう。

そこで、対称性を有する一対のコイル２１及びコイル２２を、上側線形部同士（３１と３３）が離間し、下側線形部同士（３２と３４）が接近した状態で対向するように配置した。そして、磁気センサ１６が接続されるソケット１２を、上側線形部同士（３１と３３）の間に配置した。これにより、コイル２１及びコイル２２の双方への通電によって、予め定めた方向の磁場を発生させることができる。すなわち、コイル２１及びコイル２２を大型化しても互いの配置に干渉することがないため、広い範囲で均一となる強い磁場を発生させることができる。

コイル２１（２２）は、上側線形部３１（３３）と下側線形部３２（３４）との間が、Ｙ方向と平行な折り目で直角に曲がっている。具体的には、コイル中心ｃ１（ｃ２）がソケット１２に近づく側に曲がっている。これにより、コイル２１及びコイル２２の双方への通電によって、広い範囲で均一となる強い磁場を予め定めた方向に発生させることができる。すなわち、コイル中心ｃ１（ｃ２）は、最も磁場が強い場所であるため、コイル中心ｃ１（ｃ２）をソケット１２に近づけることで、例えば８０［ｍＴ］ほどの強い磁場を発生させることが可能となる。

コイル２１及びコイル２２は、異なる複数の方向に磁場を切り替えて発生させる。具体的には、直交する二方向に磁場を切り替えて発生させる。これにより、磁気センサ１６を回転させることなく、直交する二方向において磁気センサ１６の検査を実施することができる。
コントローラ２５は、コイル２１及びコイル２２の双方に通電し、切替リレー２３を介して何れか一方の通電方向を逆転することで磁場の方向を切り替える。これにより、個別の駆動電源を設けることなく、磁場の方向を切り替えることができる。したがって、コストの増大を抑制できる。

本実施形態によれば、縦磁場印加モードであれ、横磁場印加モードであれ、磁場を印加できる有効範囲（領域３５、領域３６）で磁場の強度が概ね均一な分布となり、精度よく測定できることが判明している。また磁場強度は、シミュレーションにより予測した値と実験により実測した値との差も極僅かであり、通常のコイルと同程度の安定性が得られることも判明している。

《変形例》
本実施形態では、コイル２１及びコイル２２が、略直角に曲がっている構成について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、湾曲させたり、線形にしたりしてもよい。
図７は、変形例を示す図である。
図中の（ａ）は、コイル２１及びコイル２２を湾曲させた構成を示す。この場合も、直交する二方向に磁場を切り替えて発生させることができる。略直角に曲げる構成と比べると強度は劣るが、例えば３０［ｍＴ］ほどの磁場を発生させることが可能となる。
図中の（ｂ）は、コイル２１及びコイル２２を線形にした構成を示す。この場合も、直交する二方向に磁場を切り替えて発生させることができる。略直角に曲げる構成と比べると強度は劣るが、例えば１６［ｍＴ］ほどの磁場を発生させることが可能となる。

本実施形態では、コイル２１及びコイル２２の上面側にソケット１２を配置する構成としているが、これに限定されるものではなく、磁気センサの検査装置１１の上下方向を逆転させた構成としてもよい。
本実施形態では、縦磁場印加モードと横磁場印加モードとを切り替える際に、コイル２１の通電方向を逆転させる構成としているが、これに限定されるものではなく、コイル２２の通電方向を逆転させる構成としてもよい。

《第２実施形態》
《構成》
第２実施形態は、コイル中心ｃ１（ｃ２）がソケット１２から遠ざかる側に曲がっているものである。
ここでは、コイル２１及びコイル２２の曲げ方向が異なることを除いては、前述した第１実施形態と同様であるため、共通する部分については同一符号を付し、詳細な説明を省略する。

図８は、第２実施形態を示す図である。
コイル２１及びコイル２２は、夫々、略直角に曲がっていて、一方側がＸ‐Ｙ平面に沿い、他方側がＹ‐Ｚ平面に沿った形状である。
コイル２１は、上側線形部３１と下側線形部３２との中央が、Ｙ方向と平行な折り目で屈曲しており、その屈曲部にコイル中心ｃ１がある。すなわち、コイル２１は、コイル中心ｃ１がソケット１２から遠ざかる側に曲がっている。

コイル２２は、上側線形部３３と下側線形部３４との中央が、Ｙ方向と平行な折り目で屈曲しており、その屈曲部にコイル中心ｃ２がある。すなわち、コイル２２は、コイル中心ｃ２がソケット１２から遠ざかる側に曲がっている。
コイル２１及びコイル２２は、上側線形部同士（３１と３３）が離間し、下側線形部同士（３２と３４）が接近した状態で対向するように配置されている。コイル２１及びコイル２２は、互いにできるだけ近づけることが好ましいが、非接触状態を保つ必要がある。コイル２１及びコイル２２は、略同一の寸法であり、Ｚ方向の位置、及びＹ方向の位置も略同一である。

図９は、第２実施形態における磁場のシミュレーション結果を示す図である。
図中の（ａ）は縦磁場印加モードを示し、図中の（ｂ）は横磁場印加モードを示す。コイル２１及びコイル２２の各線形部（３１～３４）に電流が流れるとき、右ねじの法則により、各線形部の周りに磁場が発生する。すなわち、紙面上、奥から手前に電流が流れるときには、線形部の周りに反時計回りの磁場が発生し、手前から奥に電流が流れるときには、線形部の周りに時計回りの磁場が発生する。縦磁場印加モードでは、上側線形部同士（３１と３３）の磁場が支配的になり、ソケット１２の位置において、Ｚ方向に沿って上方に向かう磁場を発生させる。横磁場印加モードでは、下側線形部同士（３２と３４）の磁場が支配的になり、ソケット１２の位置において、Ｘ方向に沿ってコイル２２の側からコイル２１の側に向かう磁場を発生させる。

《作用》
次に、第２実施形態の主要な作用効果について説明する。
コイル２１（２２）は、上側線形部３１（３３）と下側線形部３２（３４）との間が、Ｙ方向と平行な折り目で直角に曲がっている。具体的には、コイル中心ｃ１（ｃ２）がソケット１２から遠ざかる側に曲がっている。この場合も、コイル２１及びコイル２２の双方への通電によって、広い範囲で均一となる強い磁場を予め定めた方向に発生させることができる。
その他の作用効果については、前述した第１実施形態と同様である。

《第３実施形態》
《構成》
第３実施形態は、一対のコイルを複数配置したものである。
ここでは、一対のコイルを複数配置することを除いては、前述した第１実施形態と同様であるため、共通する部分については同一符号を付し、詳細な説明を省略する。

図１０は、第３実施形態を示す図である。
Ｚ方向から見て、ソケット１２に対して周方向に四つのコイル４１～コイル４４を配置している。コイル４１及びコイル４２は、Ｙ方向に沿ってソケット１２を挟んで対向するように配置され、夫々、Ｙ方向から見ると、第１実施形態のコイル２１及びコイル２２をＹ方向から見た形状と同一である。コイル４３及びコイル４４は、Ｘ方向に沿ってソケット１２を挟んで対向するように配置され、夫々、Ｘ方向から見ると、第１実施形態のコイル２１及びコイル２２をＹ方向から見た形状と同一である。

図１１は、第３実施形態における横磁場印加モードを示す図である。
図中の（ａ）はコイル４１及びコイル４２を通電状態にし、コイル４３及びコイル４４を非通電状態にした状態を示す。コイル４１に流れる電流Ｉ１を実線矢印で示しており、ソケット１２の位置からコイル４１のコイル中心を見て、電流Ｉ１は時計回りに流れる。コイル４２に流れる電流Ｉ２を実線矢印で示しており、ソケット１２の位置からコイル４２のコイル中心を見て、電流Ｉ２は反時計回りに流れる。コイル４１及びコイル４２の双方で作る合成磁場Ｈをブロック矢印で示す。ソケット１２の位置には、Ｘ方向に沿ってコイル４２の側からコイル４１の側に向かう合成磁場Ｈが発生する。

図中の（ｂ）はコイル４１及びコイル４２を非通電状態にし、コイル４３及びコイル４４を通電状態にした状態を示す。コイル４３に流れる電流Ｉ３を実線矢印で示しており、ソケット１２の位置からコイル４３のコイル中心を見て、電流Ｉ１は時計回りに流れる。コイル４４に流れる電流Ｉ４を実線矢印で示しており、ソケット１２の位置からコイル４４のコイル中心を見て、電流Ｉ４は反時計回りに流れる。コイル４２及びコイル４３の双方で作る合成磁場Ｈをブロック矢印で示す。ソケット１２の位置には、Ｙ方向に沿ってコイル４４の側からコイル４３の側に向かう合成磁場Ｈが発生する。
なお、縦磁場印加モードについては、コイル４１～コイル４４の全てを通電状態にしてもよいし、コイル４１及びコイル４２の一対かコイル４３及びコイル４４の一対だけを通電状態にしてもよい。何れの場合であっても、各コイルには、ソケット１２の位置から各コイル中心を見て反時計回りに通電すればよい。

《作用》
次に、第３実施形態の主要な作用効果について説明する。
本実施形態では、ソケット１２を囲むように、一対のコイル４１及びコイル４２、並びに一対のコイル４３及びコイル４４を配置した。これにより、横方向においても直交する二方向において磁気センサ１６の検査を実施することができる。
その他の作用効果については、前述した第１実施形態と同様である。
なお、本実施形態では、第１実施形態のように、各コイル中心がソケット１２に近づく側に曲がっている構成について説明したが、これに限定されるものではない。第２実施形態のように、各コイル中心がソケット１２から遠ざかる側に曲がっている構成としてもよい。

以上、限られた数の実施形態を参照しながら説明したが、権利範囲はそれらに限定されるものではなく、上記の開示に基づく実施形態の改変は、当業者にとって自明のことである。

１１…検査装置、１２…ソケット、１３…ソケット基板、１４…テスタ、１５…配線、１６…磁気センサ、２１…コイル、２２…コイル、２３…切替リレー、２４…駆動電源、２５…コントローラ、２６…配線、２７…配線、３１…上側線形部、３２…下側線形部、３３…上側線形部、３４…下側線形部、３５…領域、３６…領域、４１…コイル、４２…コイル、４３…コイル、４４…コイル、Ｈ…合成磁場、Ｈ１…磁場、Ｈ２…磁場、Ｉ１…電流、Ｉ２…電流、Ｉ３…電流、Ｉ４…電流、ｃ１…コイル中心、ｃ２…コイル中心

Claims (5)

1. 検査対象となる磁気センサが接続される接続部と、
   環状の巻線であり、通電されるときに前記磁気センサに対して磁場を発生させる第一のコイル及び第二のコイルと、を備え、
   互いに直交する三方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とし、
   前記第一のコイルは、Ｙ方向に沿って延びる一対の第一の上側線形部、及び第一の下側線形部が形成され、前記第一の上側線形部と前記第一の下側線形部との間が、Ｙ方向と平行な折り目で直角に曲がっており、
   前記第二のコイルは、Ｙ方向に沿って延びる一対の第二の上側線形部、及び第二の下側線形部が形成され、前記第二の上側線形部と前記第二の下側線形部との間が、Ｙ方向と平行な折り目で直角に曲がっており、
   前記第一のコイル及び前記第二のコイルは、Ｙ‐Ｚ平面を軸に線対称の関係にあり、夫々、直角に曲がった一方側がＸ‐Ｙ平面に沿い、直角に曲がった他方側がＹ‐Ｚ平面に沿った形状であり、Ｙ方向から見て、前記第一の上側線形部と前記第二の上側線形部との距離が、前記第一の下側線形部と前記第二の下側線形部との距離よりも大きくされ、
   前記接続部は、前記第一の上側線形部と前記第二の上側線形部との間に配置され、
   通電によって前記第一のコイルが単独で作る磁場と、通電によって前記第二のコイルが単独で作る磁場と、でＹ方向から見てＺ方向に沿った又はＸ方向に沿った合成磁場を発生させることで、前記接続部に接続された前記磁気センサに前記合成磁場を印加し、
   前記磁気センサの出力が適正な範囲にあるか否かを診断することを特徴とする磁気センサの検査装置。
2. 前記第一のコイル及び前記第二のコイルは、
   Ｙ方向から見て、前記第一の上側線形部と前記第二の上側線形部との間に、夫々の屈曲部が配置されていることを特徴とする請求項１に記載した磁気センサの検査装置。
3. 前記第一のコイル及び前記第二のコイルは、
   前記接続部に対して、Ｙ方向から見てＺ方向に沿った前記合成磁場とＺ方向に沿った前記合成磁場とを切り替えて発生させることを特徴とする請求項１又は２に記載した磁気センサの検査装置。
4. 前記第一のコイル及び前記第二のコイルの双方に通電し、何れか一方の通電方向を逆転することで前記合成磁場の方向を切り替える制御部を備えることを特徴とする請求項３に記載した磁気センサの検査装置。
5. 互いに直交する三方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とし、
   環状の巻線である第一のコイルに、Ｙ方向に沿って延びる一対の第一の上側線形部、及び第一の下側線形部を形成し、前記第一の上側線形部と前記第一の下側線形部との間を、Ｙ方向と平行な折り目で直角に曲げてあり、
   環状の巻線である第二のコイルに、Ｙ方向に沿って延びる一対の第二の上側線形部、及び第二の下側線形部を形成し、前記第二の上側線形部と前記第二の下側線形部との間を、Ｙ方向と平行な折り目で直角に曲げてあり、
   前記第一のコイル及び前記第二のコイルを、Ｙ‐Ｚ平面を軸に線対称の関係とし、夫々、直角に曲がった一方側がＸ‐Ｙ平面に沿い、直角に曲がった他方側がＹ‐Ｚ平面に沿った形状にし、Ｙ方向から見て、前記第一の上側線形部と前記第二の上側線形部との距離を、前記第一の下側線形部と前記第二の下側線形部との距離よりも大きくし、
   前記第一の上側線形部と前記第二の上側線形部との間に配置された接続部に、検査対象となる磁気センサを接続し、
   前記第一のコイル及び前記第二のコイルに通電し、前記第一のコイルが単独で作る磁場と、前記第二のコイルが単独で作る磁場と、でＹ方向から見てＺ方向に沿った又はＸ方向に沿った合成磁場を発生させることで、前記磁気センサに前記合成磁場を印加し、
   前記磁気センサの出力が適正な範囲にあるか否かを診断することを特徴とする磁気センサの検査方法。

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