JP7328868B2 - 光検出器、光検出システム、ライダー装置、及び車 - Google Patents
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-
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係る光検出器の一部を例示する模式的平面図である。
図2は、図1のA1-A2断面図である。
図3は、第1実施形態に係る光検出器を例示する模式的平面図である。
図1に示すように、第1実施形態に係る光検出器100は、複数の素子1を含む。複数の素子1は、互いに交差する第1方向及び第2方向に沿って配列されている。
図3に示すように、構造体21は、Z方向から見たときに、5角以上の多角形である。図3の例では、構造体21は、Z方向から見たときに、八角形である。例えば、構造体21は、Y方向に延びる一対の第1延在部21-1、X方向に延びる一対の第2延在部21-2、及び複数の連結部21Cを含んでも良い。第1半導体層11(フォトダイオードPD)は、X方向において、一対の第1延在部21-1の間に設けられる。第1半導体層11は、Y方向において、一対の第2延在部21-2の間に設けられる。各連結部21Cは、第1延在部21-1の一端と、第2延在部21-2の一端と、を連結している。
第1半導体層11、第2半導体層12、第3半導体層13、及び半導体領域25は、シリコン、炭化シリコン、ガリウムヒ素、及び窒化ガリウムからなる群より選択される少なくとも1つの半導体材料を含む。これらの半導体領域がシリコンを含むとき、リン、ヒ素、又はアンチモンがn形不純物として用いられる。ボロンがp形不純物として用いられる。
第2半導体層12におけるp形不純物濃度は、例えば1.0×1016atom/cm3以上、1.0×1018atom/cm3以下である。この濃度範囲に設定することで、第2半導体層12を、第1半導体層11とpn接合させ、且つ第2半導体層12において空乏層を広がり易くできる。
第3半導体層13におけるp形不純物濃度は、例えば1.0×1013atom/cm3以上、1.0×1016atom/cm3以下である。この濃度範囲に設定することで、第3半導体層13で空乏層を十分に広げ、光子検出効率又は受光感度を高めることができる。
図6(a)~図18(a)は、図6(b)~図18(b)のB1-B2断面をそれぞれ示す。図6~図19を参照して、第1実施形態に係る光検出器の製造工程の一例を説明する。
光検出器100では、各素子1に、構造体21が設けられる。構造体21の屈折率は、フォトダイオードPDの屈折率と異なる。フォトダイオードPDに光が入射し、二次光子が発生したとき、隣り合うフォトダイオードPDへ進む二次光子は、構造体21の界面で反射される。構造体21が設けられることで、クロストークノイズを低減できる。
さらに、光検出器100では、構造体21の少なくとも一部同士が、互いに離れている。これにより、隣り合う素子1同士の間に1つの分離構造が設けられる場合に比べて、隣り合うフォトダイオードPD同士の間において、構造体21の界面の数が増加する。界面の数の増加により、フォトダイオードPDで二次光子が発生したとき、隣り合うフォトダイオードPDに向けて進む二次光子がより反射され易くなる。これにより、クロストークノイズをさらに低減できる。クロストークノイズのさらなる低減のためには、構造体21の全体同士が、互いに離れていることが好ましい。
図20は、第1実施形態の変形例に係る光検出器を例示する模式的平面図である。
図21は、図20のA1-A2断面図である。
図20では、素子1、クエンチ抵抗30、及び第1配線51などを示すために、絶縁層41~44が省略されている。
本変形例では、クエンチ抵抗30が構造体21とZ方向において並ぶ。クエンチ抵抗30が構造体21とZ方向において並ぶと、図2に示すようにクエンチ抵抗30が半導体領域25とZ方向において並ぶ場合に比べて、半導体領域25とクエンチ抵抗30との間の距離が長くなる。半導体領域25とクエンチ抵抗30との間には、絶縁層41よりも厚い構造体21が存在する。このため、クエンチ抵抗30の電圧が上昇した際に絶縁破壊が生じる可能性を低減できる。例えば、フォトダイオードPDにおけるブレークダウン電圧の設計自由度が上がる。
図22は、第2実施形態に係る光検出器の一部を例示する模式的平面図である。
図23は、図22のA1-A2断面図である。
図24は、図22のB1-B2断面図である。
図22では、素子1、クエンチ抵抗30、第1配線51、及び第2配線52などを示すために、絶縁層41~44が省略されている。
図25は、第2実施形態の第1変形例に係る光検出器の一部を例示する模式的平面図である。
図25では、素子1、クエンチ抵抗30、第1配線51、及び第2配線52などを示すために、絶縁層41~44が省略されている。
図25に示す光検出器210では、第1クエンチ抵抗30aは、Z方向において構造体21と並ぶ。第2クエンチ抵抗30bは、Z方向において構造体21と並ばない。換言すると、Z方向から見たときに、第2クエンチ抵抗30bは、構造体21と異なる位置に設けられる。第2クエンチ抵抗30bは、Z方向においてフォトダイオードPDと並ぶ。
図26において、横軸は、光子を検出してから経過した時間を示す。縦軸は、光子を検出したときの出力を表す。実線で示されるパルスP1は、第1素子1aからの出力パルスを示す。破線で示されるパルスP2は、第2素子1bからの出力パルスを示す。
図27~図29は、第2実施形態の第2変形例に係る光検出器の一部を例示する模式的平面図である。
なお、図27~図29では、各クエンチ抵抗及び各コンタクトの配置を示すために、これらを第1配線51及び第2配線52よりも紙面手前側に図示している。また、素子1、クエンチ抵抗30、第1配線51、及び第2配線52などを示すために、絶縁層41~44が省略されている。
図30は、第3実施形態に係るライダー(Laser Imaging Detection and Ranging:LIDAR)装置を例示する模式図である。
この実施形態は、ライン光源、レンズと構成され長距離被写体検知システム(LIDAR)などに応用できる。ライダー装置5001は、対象物411に対してレーザ光を投光する投光ユニットTと、対象物411からのレーザ光を受光しレーザ光が対象物411までを往復してくる時間を計測し距離に換算する受光ユニットR(光検出システムともいう)と、を備えている。
光源3000は、検出対象となる物体600に光412を発する。光検出器3001は、物体600を透過あるいは反射、拡散した光413を検出する。
本実施形態に係る車両700は、車体710の4つの隅にライダー装置5001を備えている。本実施形態に係る車両は、車体の4つの隅にライダー装置を備えることで、車両の全方向の環境をライダー装置によって検出することができる。
Claims (19)
- それぞれがフォトダイオードを含み、第1方向と、前記第1方向に交差する第2方向と、に沿って並ぶ複数の素子であって、前記複数の素子の少なくとも一部は、前記フォトダイオードを囲み且つ前記フォトダイオードと異なる屈折率を有する構造体をそれぞれ含み、それぞれの前記構造体は絶縁層を含み且つ互いに離れている、前記複数の素子と、
隣り合う前記構造体同士の間に設けられ、前記隣り合う構造体に接する半導体領域と、を備え、
前記複数の素子のそれぞれは、前記第1方向及び前記第2方向を含む面と交差する第3方向において、絶縁層を挟んで前記半導体領域と隣接するクエンチ抵抗をさらに含む光検出器。 - 前記構造体は、前記第3方向から見たときに、5角以上の多角形又は角丸の多角形である、請求項1記載の光検出器。
- 前記構造体は、
前記第1方向に延びる一対の第1延在部と、
前記第2方向に延びる一対の第2延在部と、
前記一対の第1延在部と前記一対の第2延在部をそれぞれ連結する複数の連結部と、
を含み、
前記フォトダイオードは、前記第1方向において前記一対の第2延在部の間に設けられ、且つ前記第2方向において前記一対の第1延在部の間に設けられ、
前記第1延在部と前記連結部との間の角度、及び前記第2延在部と前記連結部との間の角度は、135度以上である請求項1記載の光検出器。 - それぞれの前記連結部の前記第1方向における長さ及び前記第2方向における長さは、1μmである請求項3記載の光検出器。
- 前記構造体は、前記第3方向から見たときに、八角形である請求項3又は4に記載の光検出器。
- 前記構造体は、
前記第1方向に延びる一対の第1延在部と、
前記第2方向に延びる一対の第2延在部と、
前記一対の第1延在部と前記一対の第2延在部をそれぞれ連結する複数の連結部と、
を含み、
前記フォトダイオードは、前記第1方向において前記一対の第2延在部の間に設けられ、且つ前記第2方向において前記一対の第1延在部の間に設けられ、
それぞれの前記連結部は、前記第3方向から見たときに、湾曲している請求項1記載の光検出器。 - それぞれの前記第1延在部の前記第1方向における長さは、それぞれの前記連結部の前記第1方向における長さよりも長く、
それぞれの前記第2延在部の前記第2方向における長さは、それぞれの前記連結部の前記第2方向における長さよりも長い請求項3又は6に記載の光検出器。 - 複数の前記クエンチ抵抗を介して複数の前記フォトダイオードとそれぞれ電気的に接続される配線と、
複数の前記配線と電気的に接続される共通配線と、
前記共通配線と電気的に接続されるパッドと、をさらに備えた請求項1~7のいずれか1つに記載の光検出器。 - 前記複数の素子は、前記構造体を含む第1素子と、第2素子と、を含み、
複数の前記第1素子及び複数の前記第2素子が、前記第1方向と、前記第2方向と、に沿って交互に設けられ、
前記半導体領域は、前記第1方向及び前記第2方向と交差する第4方向において、互いに隣り合う前記第2素子同士の間に設けられ、前記隣り合う第2素子に接する請求項1記載の光検出器。 - 前記複数の第1素子の少なくとも一部と電気的に接続された第1配線と、
前記複数の第2素子の少なくとも一部と電気的に接続された第2配線と、
をさらに備えた請求項9記載の光検出器。 - 前記第1配線及び前記第2配線には、互いに異なる動作電圧を印加可能である請求項10記載の光検出器。
- 前記第3方向から見たときに、前記複数の第1素子の前記フォトダイオードの形状は、前記複数の第2素子の前記フォトダイオードの形状と異なる、又は、
前記第3方向から見たときに、前記複数の第1素子の前記フォトダイオードの面積は、前記複数の第2素子の前記フォトダイオードの面積と異なる請求項9~11のいずれか1つに記載の光検出器。 - 前記複数の第1素子は、複数の第1クエンチ抵抗をそれぞれ含み、
前記複数の第2素子は、複数の第2クエンチ抵抗をそれぞれ含み、
それぞれの前記第1クエンチ抵抗の電気抵抗は、それぞれの前記第2クエンチ抵抗の電気抵抗と異なる請求項9~12のいずれか1つに記載の光検出器。 - それぞれの前記フォトダイオードは、ガイガーモードで動作するアバランシェフォトダイオードである請求項1~13のいずれか1つに記載の光検出器。
- 請求項1~14のいずれか1つに記載の光検出器と、
前記光検出器の出力信号から光の飛行時間を算出する距離計測回路と、
を備えた光検出システム。 - 物体に光を照射する光源と、
前記物体に反射された光を検出する請求項15記載の光検出システムと、
を備えたライダー装置。 - 前記光源と前記光検出器の配置関係に基づいて、三次元画像を生成する画像認識システムと、を備える請求項16記載のライダー装置。
- 請求項16又は17に記載のライダー装置を備えた車。
- 車体の4つの隅に請求項16又は17に記載のライダー装置を備えた車。
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WO2023157497A1 (ja) * | 2022-02-17 | 2023-08-24 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置およびその製造方法 |
KR102711235B1 (ko) * | 2022-06-24 | 2024-09-27 | 주식회사 트루픽셀 | 단일 광자 검출 소자, 전자 장치, 및 라이다 장치 |
EP4307397A1 (en) * | 2022-07-11 | 2024-01-17 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Single photon avalanche diode |
EP4307396A1 (en) * | 2022-07-11 | 2024-01-17 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Single photon avalanche diode |
CN118398640B (zh) * | 2024-06-27 | 2024-08-30 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 一种背照式图像传感器及其制备方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008004547A1 (fr) | 2006-07-03 | 2008-01-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Ensemble photodiode |
JP2017117835A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電変換素子 |
JP2017117834A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電変換素子 |
WO2018021413A1 (ja) | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
WO2018108981A1 (en) | 2016-12-13 | 2018-06-21 | Sensl Technologies Ltd. | A lidar apparatus |
JP2019161047A (ja) | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 株式会社東芝 | 受光装置および受光装置の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4841834B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2011-12-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | ホトダイオードアレイ |
US20100108893A1 (en) * | 2008-11-04 | 2010-05-06 | Array Optronix, Inc. | Devices and Methods for Ultra Thin Photodiode Arrays on Bonded Supports |
IT1392366B1 (it) * | 2008-12-17 | 2012-02-28 | St Microelectronics Rousset | Fotodiodo operante in modalita' geiger con resistore di soppressione integrato e controllabile, schiera di fotodiodi e relativo procedimento di fabbricazione |
KR101648023B1 (ko) * | 2010-12-21 | 2016-08-12 | 한국전자통신연구원 | 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어 |
DE112016005522T5 (de) * | 2015-12-03 | 2018-08-30 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Halbleiter-Bildgebungselement und Bildgebungsvorrichtung |
JP2017190994A (ja) * | 2016-04-13 | 2017-10-19 | 株式会社東芝 | 光検出器およびライダー装置 |
US20170357000A1 (en) * | 2016-06-09 | 2017-12-14 | Texas Instruments Incorporated | Processing techniques for lidar receiver using spatial light modulators |
CN109478578B (zh) * | 2016-07-27 | 2022-01-25 | 浜松光子学株式会社 | 光检测装置 |
GB2557303B (en) * | 2016-12-05 | 2020-08-12 | X Fab Semiconductor Foundries Gmbh | Photodiode device and method of manufacture |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008004547A1 (fr) | 2006-07-03 | 2008-01-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Ensemble photodiode |
JP2017117835A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電変換素子 |
JP2017117834A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電変換素子 |
WO2018021413A1 (ja) | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
WO2018108981A1 (en) | 2016-12-13 | 2018-06-21 | Sensl Technologies Ltd. | A lidar apparatus |
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