JP7324931B2 - 二酸化ケイ素懸濁液の調製方法 - Google Patents
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Description
長い寿命を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
気泡を含まないか又は気泡の含有量が少ないガラスから作られた光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
高い透明性を有するガラスから作られた光導体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
低い不透明性を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
低減衰性を有する光導体を提供することが本発明のさらなる目的である。
高い輪郭精度を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。特に、高温でも変形しない光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明の目的である。特に、大きいサイズで形成された場合でも、形状が安定している光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明の目的である。
破れにくく破損しにくい光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
調製が効率的な光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
調製するのに費用対効果の高い光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
調製するのに長いさらなる加工工程、例えば焼き入れ(強化、テンパリング)を必要としない光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
高い耐熱衝撃性を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。大きい熱変動があってもわずかな熱膨張しか示さない光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが特に本発明の目的である。
高い硬度を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
純度が高く、異物原子の混入が少ない光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。異物原子という用語は、意図的に導入されていない構成成分を意味するために採用される。
ドーパント材料の含有量が少ない光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。
高い均質性を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが本発明のさらなる目的である。特性又は材料の均質性は、試料中のこの特性又は材料の分布の均一性の尺度である。
高い材料均質性を有する光導体、発光体、成形体及びコーティングを提供することが特に本発明の目的である。材料均質性は、光導体、発光体又は半導体デバイスに含まれる元素及び化合物、特にOH、塩素、金属、特にアルミニウム、アルカリ土類金属、耐火金属及びドーパント材料の分布の均一性の尺度である。
線状の形態を有する石英ガラス体を提供することが本発明のさらなる目的である。特に、高い曲げ半径を有する石英ガラス体を提供することが目的である。特に、高いファイバーカールを有する石英ガラス体を提供することがさらなる目的である。
カチオンの移行が可能な限り低い石英ガラス体を提供することがさらなる目的である。
石英ガラス体の全長にわたって高い均質性を有する石英ガラス体を提供することがさらなる目的である。
特に、石英ガラス体の全長にわたって高い屈折率均質性を有する石英ガラス体を提供することが本発明のさらなる目的である。
特に、石英ガラス体の全長にわたって高い粘度均質性を有する石英ガラス体を提供することが本発明のさらなる目的である。
特に、石英ガラス体の全長にわたって高い材料均質性を有する石英ガラス体を提供することが本発明のさらなる目的である。
特に、石英ガラス体の全長にわたって高い光学的均質性を有する石英ガラス体を提供することが本発明のさらなる目的である。
低い焼結温度を有する二酸化ケイ素粉末を提供することが本発明のさらなる目的である。
安定した造粒体を得る原料とすることができる二酸化ケイ素粉末を提供することが本発明のさらなる目的である。
微細な粉塵の含有量が少ない二酸化ケイ素造粒体を提供することが本発明のさらなる目的である。
容易に保管、輸送及び搬送できる二酸化ケイ素造粒体を提供することがさらなる目的である。
気泡を含まない石英ガラス体を形成することができる二酸化ケイ素造粒体を提供することが本発明のさらなる目的である。バルク材料として可能な限り小さいガス体積を含む二酸化ケイ素造粒体を提供することが本発明のさらなる目的である。
開孔した二酸化ケイ素造粒体を提供することが本発明のさらなる目的である。
石英ガラス体をより簡単に調製することができるプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
石英ガラス体を連続的に調製することができるプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
石英ガラス体を連続的な溶融及び成形プロセスによって調製することが可能なプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
石英ガラス体を高速で形成することができるプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
石英ガラス体を低い不良品率で調製することができるプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
組立可能な石英ガラス体を調製することができるプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
二酸化ケイ素造粒体を、例えば1000℃を超える温度処理による意図的な緻密化工程を事前に受ける必要なく、溶融炉で加工することができる、石英ガラス体の調製プロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
BETが20m2/g以上の二酸化ケイ素造粒体を溶融炉に導入し、溶融し処理して石英ガラス体を得ることができる、石英ガラス体の調製プロセスを提供することが特に本発明の目的である。
石英ガラス体を調製することができる自動化されたプロセスを提供することが本発明のさらなる目的である。
本発明のさらなる目的は、二酸化ケイ素懸濁液の製造方法であって、二酸化ケイ素懸濁液が可能な限り少ない不純物を含む方法を提供することである。
本発明のさらなる目的は、二酸化ケイ素懸濁液の製造方法であって、二酸化ケイ素懸濁液の固体成分がSi、O、H、Cl及びCの原子のみを含む方法を提供することである。
本発明のさらなる目的は、二酸化ケイ素懸濁液の製造方法であって、二酸化ケイ素懸濁液の固体成分が、Si、O、H、Cl又はCではない原子をできるだけ少なく含む方法を提供することである。
本発明のさらなる目的は、可能な限り均質で貯蔵中に安定している煤煙粉末からの二酸化ケイ素懸濁液の製造方法を提供することである。
本発明のさらなる目的は、高純度の石英ガラスの製造方法を述べることである。
本発明のさらなる目的は、可能な限り気泡を含まない石英ガラスの製造方法を述べることである。
本発明のさらなる目的は、金属不純物の粒子を含まない石英ガラスの製造方法を述べることである。
(i)二酸化ケイ素粉末を提供する工程と、
(ii)液体を提供する工程と、
(iii)上記二酸化ケイ素粉末を上記液体と混合して、スラリーを得る工程と、
(iv)このスラリーを超音波で処理して、前駆体懸濁液を得る工程と、
(v)この前駆体懸濁液の少なくとも一部を第1の多段式フィルタ装置に通す工程であって、
この第1の多段式フィルタ装置は、少なくとも第1、第2及び第3のフィルタ工程を有し、
各フィルタ工程は少なくとも1つのフィルタを含み、
第2のフィルタ工程は第1のフィルタ工程の下流にあり、第3のフィルタ工程は第2のフィルタ工程の下流にあり、
上記第1のフィルタ工程は5μm以上のフィルタ目開きを有し、
上記第2のフィルタ工程は0.5~5μmの範囲のフィルタ目開きを有し、
上記第3のフィルタ工程は1μm以下のフィルタ目開きを有し、
上記第1、第2及び第3のフィルタ工程から選択されるフィルタ工程の少なくとも1つは99.5%以上の分離率を有し、
記載されるフィルタについての分離率は、いずれの場合もISO 16889に準拠して記載されており、
上記フィルタ目開きは、上記フィルタが保持する最小の粒子サイズが何であるかを示す工程と
を含む方法。
(a)第1のフィルタ工程が90%以下の分離率を有する、
(b)第1のフィルタ工程が、5~15μmの範囲のフィルタ目開きを有する、
(c)第2のフィルタ工程が95%以上の分離率を有する、
(d)第2のフィルタ工程が、0.5~2μmのフィルタ目開きを有する、
(e)第3のフィルタ工程が99.5%以上の分離率を有する
の少なくとも1つ、又はこれらの2つ以上の組み合わせを特徴とする実施形態|1|に記載の方法。
a. 100ppm未満の炭素含有量、
b. 500ppm未満の塩素含有量、
c. 200ppb未満のアルミニウム含有量、
d. 5ppm未満のSi、O、H、C、Cl以外の原子の含有量、
e. 粉末粒子の少なくとも70重量%が、10~100nmの範囲の一次粒子サイズを有する、
f. 0.001~0.3g/cm3の範囲のタンピング密度(Stampfdichte)、
g. 5重量%未満の残留水分、
h. 35m 2 /g未満のBET表面積、
の少なくとも1つ、又は特性a.~h.の2つ以上の組み合わせを有し、
上記重量%、ppm及びppbは、いずれの場合も、二酸化ケイ素粉末の総量に基づく実施形態|1|から実施形態|7|のいずれか1つに記載の方法。
a.)スラリーの乾燥重量に基づいて、少なくとも20重量%の固形分含有量、
b.)4重量%のスラリーとして、このスラリーが3~8の範囲のpH値を有する、
c.)二酸化ケイ素粒子の少なくとも90重量%が、1nm~10μm未満の範囲の粒子サイズを有する、
d.)500ppm以下の塩素原子含有量、
e.)5ppm以下のSi、O、H、C、Cl以外の原子の含有量、
f.)上記スラリーがレオペクシー性である、
のうち少なくとも1つを特徴とし、上記重量%及びppmは、常にスラリーの全固形分に基づく実施形態|1|から実施形態|8|のいずれか1つに記載の方法。
A. 45℃未満の温度及び20~70重量%の範囲の固形分濃度でのレオペクシー特性であって、この重量%は懸濁液中の全固形分に基づく、
B. すべての二酸化ケイ素粒子の総重量に基づいて上記二酸化ケイ素粒子の少なくとも90%が、1nm~10μm未満の範囲の粒子サイズを有する、
C. 4重量%の懸濁液として、上記懸濁液が3~8の範囲のpH値を有し、この重量%は懸濁液の固形分に基づく、
D. 500ppm未満の塩素含有量、
E. 200ppb未満のアルミニウム含有量、
F. 5ppm未満のSi、O、H、C、Cl以外の原子の含有量
のうち少なくとも1つを有し、上記ppm及びppbは、二酸化ケイ素粒子の総量に基づく実施形態|1|から実施形態|9|のいずれか1つに記載の方法。
a]噴霧塔での噴霧造粒、
b]40bar(バール)以下、例えば、1.3~20bar、1.5~18bar、2~15bar、又は4~13barの範囲、特に好ましくは5~12barの範囲の、ノズルにおける二酸化ケイ素懸濁液の圧力であって、この圧力は絶対値で記載されている(p=0hPaに対する相対値)、
c]噴霧塔に入る液滴の温度が、10~50℃の範囲、好ましくは15~30℃の範囲、特に好ましくは18~25℃の範囲の温度である、
d]噴霧塔に面したノズルの側の温度が、100~450℃の範囲、例えば250~440℃の範囲、特に好ましくは320~430℃にある、
e]二酸化ケイ素懸濁液は、0.05~1m3/h、例えば0.1~0.7m3/h又は0.2~0.5m3/hの範囲、特に好ましくは0.25~0.4m3/hの範囲でノズルを通過する、
f]二酸化ケイ素は、いずれの場合も二酸化ケイ素懸濁液の総重量に基づいて、少なくとも40重量%、例えば50~80重量%の範囲、又は55~75重量%の範囲、特に好ましくは60~70重量%の範囲の固形分を有する、
g]10~100kg/分の範囲、例えば20~80kg/分又は30~70kg/分の範囲、特に好ましくは40~60kg/分の範囲の、噴霧塔に入るガス流、
h]100~450℃の範囲、例えば250~440℃の範囲、特に好ましくは320~430℃の範囲の温度で噴霧塔に入るガス、
i]噴霧塔から出るガスの温度が170℃未満である、
j]ガスは、空気、窒素及びヘリウム又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる群から選択され、好ましくは空気である、
k]噴霧塔から取り出されたとき、造粒体は、いずれの場合も噴霧乾燥で生じた二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて、5重量%未満、例えば3重量%未満、若しくは1重量%未満、又は0.01~0.5重量%の範囲、特に好ましくは0.1~0.3重量%の範囲の残留水分を有する、
l]噴霧乾燥で生じた二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて少なくとも50重量%が、1~100秒の範囲、例えば10~80秒の時間、特に好ましくは25~70秒の時間をかけて飛行時間を完了する、
m]噴霧乾燥で生じた二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて噴霧造粒体の少なくとも50重量%が、20m超、例えば30m超、若しくは50m超、若しくは70m超、若しくは100m超、若しくは150m超、若しくは200m超、又は20~200mの範囲、若しくは10~150m、若しくは20~100m、特に好ましくは30~80mの範囲を飛行する、
n]噴霧塔は円筒形の形状を有する、
o]噴霧塔の高さが10m超、例えば15m超、若しくは20m超、若しくは25m超、若しくは30m超、又は10~25mの範囲、特に好ましくは15~20mの範囲である、
p]噴霧塔から造粒体を取り出す前に、サイズが90μm未満の粒子を濾別する、
q]噴霧塔から造粒体を取り出した後、好ましくは振動シュート上で、500μm超のサイズの粒子を濾別する、
r]二酸化ケイ素懸濁液の液滴が、鉛直方向に対して30~60°の角度、特に好ましくは鉛直方向に対して45°の角度でノズルから出る
の少なくとも1つを特徴とする実施形態|14|から実施形態|16|のいずれか1つに記載の方法。
A)23~26°の範囲の安息角、
B)20~50m2/gの範囲のBET表面積、
C)0.5~1.2g/cm3の範囲のかさ密度、
D)二酸化ケイ素造粒体粒子が、50~500μmの範囲の平均粒子サイズを有する、
E)50ppm未満の炭素含有量、
F)500ppm未満の塩素含有量、
G)200ppb未満のアルミニウム含有量、
H)5ppm未満のSi、O、H、C以外の原子の含有量、
I)二酸化ケイ素造粒体粒子が、0.7~1.3g/cm3の範囲のタンピング密度を有する、
J)二酸化ケイ素造粒体粒子が、0.1~2.5mL/gの範囲の細孔容積を有する、
K)二酸化ケイ素造粒体粒子が、50~150μmの範囲の粒子サイズ分布(粒度分布)D10を有する、
L)二酸化ケイ素造粒体粒子が、150~300μmの範囲の粒子サイズ分布D50を有する、
M)二酸化ケイ素造粒体粒子が、250~620μmの範囲の粒子サイズ分布D90を有する
の少なくとも1つを有し、上記ppm及びppbは、いずれの場合も二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づく実施形態|14|から実施形態|17|のいずれか1つに記載の方法。
i.)実施形態|14|から実施形態|18|のいずれか1つに記載の方法によって得られる二酸化ケイ素造粒体を提供する工程と、
ii.)この二酸化ケイ素造粒体からガラス融液を形成する工程と、
iii.)このガラス融液の少なくとも一部から石英ガラス体を形成する工程と
を含む方法。
A]500ppm未満の塩素含有量、
B]200ppb未満のアルミニウム含有量、
C]5ppm未満のSi、O、H、C以外の原子の含有量、
D]log10(η(1250℃)/dPas)=11.4~log10(η(1250℃)/dPas)=12.9、又はlog10(η(1300℃)/dPas)=11.1~log10(η(1300℃)/dPas)=12.2、又はlog10(η(1350℃)/dPas)=10.5~log10(η(1350℃)/dPas)=11.5の範囲の粘度(p=1013hPa)、
E]10-4未満の屈折率均質性、
F]円筒形の形態、
G]5ppm未満のタングステン含有量、
H]5ppm未満のモリブデン含有量
のうち少なくとも1つを有し、上記ppb及びppmは、いずれの場合も石英ガラス体の総重量に基づく実施形態|20|に記載の石英ガラス体。
A/実施形態|20|若しくは実施形態|21|に記載の石英ガラス体、又は実施形態|19|に記載の方法によって得られる石英ガラス体を提供し、この石英ガラス体を最初に加工して、少なくとも1つの開口部を有する中空体を得る工程と、
B/工程A/からの中空体に、少なくとも1つの開口部を介して1つ以上のコアロッドを挿入して前駆体を得る工程と、
C/この前駆体を加熱しながら延伸して、1つ以上のコア及びジャケットM1を有する光導体を得る工程と
を含む方法。
(i)実施形態|20|若しくは実施形態|21|に記載の石英ガラス体、又は実施形態|19|に記載の方法によって得られる石英ガラス体を提供し、この石英ガラス体を最初に加工して、少なくとも1つの開口部を有する中空体を得る工程と、
(ii)この中空体に、必要に応じて電極を装着する工程と、
(iii)工程(i)からの中空体にガスを充填する工程と
を含む方法。
(1)実施形態|20|若しくは実施形態|21|に記載の石英ガラス体、又は実施形態|19|に記載の方法によって得られる石英ガラス体を提供する工程と、
(2)この石英ガラス体を成形して、成形体を得る工程と
を含む方法。
|A|実施形態|1|から実施形態|12|にのいずれか1つに記載の方法による二酸化ケイ素懸濁液、及び基板を提供する工程と、
|B|この二酸化ケイ素懸濁液のコーティングを基板上に堆積させる工程と
を含む方法。
本明細書では、記載されている範囲には、限界値として記載されている値も含まれる。それゆえ、変数Aに関する「x~yの範囲」というタイプの記載は、Aが値x、y及びxとyの間の値を取り得ることを意味する。従って、変数Aに関する「yまで」というタイプの一方側のみが制限された範囲は、値y及びy未満を意味する。
(i)二酸化ケイ素粉末を提供する工程と、
(ii)液体を提供する工程と、
(iii)上記二酸化ケイ素粉末を上記液体と混合して、スラリーを得る工程と、
(iv)このスラリーを超音波で処理して、前駆体懸濁液を得る工程と、
(v)この前駆体懸濁液の少なくとも一部を第1の多段式フィルタ装置に通す工程であって、
この第1の多段式フィルタ装置は、少なくとも第1、第2及び第3のフィルタ工程を有し、
各フィルタ工程は少なくとも1つのフィルタを含み、
第2のフィルタ工程は第1のフィルタ工程の下流に配置され、第3のフィルタ工程は第2のフィルタ工程の下流に配置され、
上記第1のフィルタ工程は5μm以上のフィルタ目開き(精度)を有し、
上記第2のフィルタ工程は0.5~5μmの範囲のフィルタ目開きを有し、
上記第3のフィルタ工程は1μm以下のフィルタ目開きを有し、
上記第1、第2及び第3のフィルタ工程から選択されるフィルタ工程の少なくとも1つは99.5%以上の分離率を有し、
分離率は、いずれの場合も記載されているフィルタに基づいて、ISO 16889に準拠して記載されており、
上記フィルタ目開きは、上記フィルタが保持する最小の粒子サイズが何であるかを示す工程と
を含む方法である。
本発明では、自然界に存在する二酸化ケイ素又は合成的に製造された二酸化ケイ素から二酸化ケイ素粉末を得ることが原理的に可能である。好ましくは、合成された二酸化ケイ素粉末が用いられる。特に好ましくは、焼成により製造された二酸化ケイ素粉末が使用される。
SipOpR2p
を有し、上記式中、pは少なくとも2、好ましくは2~10、特に好ましくは3~5の整数であり、
RはC原子数1~8、好ましくはC原子数1~4のアルキル基であり、特に好ましくはメチル基である。
i. 35m2/g未満、例えば25~35m2/g、又は25~30m2/gの範囲のBET表面積、及び
ii. 0.01~0.3g/cm3、例えば0.02~0.2g/cm3の範囲、好ましくは0.03~0.15g/cm3の範囲、さらに好ましくは0.1~0.2g/cm3の範囲、又は0.05~0.1g/cm3の範囲のかさ密度、
iii. 100ppm未満、例えば50ppm未満又は30ppm未満、特に好ましくは1ppb~20ppmの範囲の炭素含有量、
iv. 500ppm未満、例えば300ppm未満又は150ppm未満、特に好ましくは1ppb~80ppmの範囲の塩素含有量、
v. 200ppb未満、例えば1~100ppbの範囲、特に好ましくは1~80ppbの範囲のアルミニウム含有量、
vi. 5ppm未満、例えば2ppm未満、特に好ましくは1ppb~1ppmの範囲のSi、O、H、C、Cl以外の原子の合計含有量、
vii. 粉末粒子の少なくとも70重量%が、10~100nmの範囲、例えば15~100nm未満の範囲、特に好ましくは20~100nm未満の範囲の一次粒子サイズを有する、
viii. 0.001~0.3g/cm3の範囲、例えば0.002~0.2g/cm3の範囲、又は0.005~0.1g/cm3、好ましくは0.01~0.06g/cm3の範囲、好ましくは0.1~0.2g/cm3の範囲、又は0.15~0.2g/cm3の範囲のタンピング密度、
ix. 5重量%未満、例えば0.25~3重量%の範囲、特に好ましくは0.5~2重量%の範囲の残留水分含有量。
上記重量%、ppm及びppbは、それぞれ二酸化ケイ素粉末の総重量に基づく。
(i)二酸化ケイ素粉末を提供する工程、
(ii)液体を提供する工程、
(iii)上記二酸化ケイ素粉末を上記液体と混合して、スラリーを得る工程、
(iv)このスラリーを超音波で処理して、前駆体懸濁液を得る工程、
(v)この前駆体懸濁液の少なくとも一部を第1の多段式フィルタ装置に通す工程であって、
この第1の多段式フィルタ装置は、少なくとも第1、第2及び第3のフィルタ工程を有し、
各フィルタ工程は少なくとも1つのフィルタを有し、
第2のフィルタ工程は第1のフィルタ工程の下流にあり、第3のフィルタ工程は第2のフィルタ工程の下流にあり、
上記第1のフィルタ工程は5μm以上のフィルタ目開きを有し、
上記第2のフィルタ工程は0.5~5μmの範囲のフィルタ目開きを有し、
上記第3のフィルタ工程は1μm以下のフィルタ目開きを有し、
上記第1、第2及び第3のフィルタ工程から選択されるフィルタ工程の少なくとも1つは99.5%以上の分離率を有し、
分離率は、いずれの場合もフィルタに基づいて、ISO 16889に準拠して記載されており、
上記フィルタ目開きは、上記フィルタが保持する最小の粒子サイズが何であるかを示す。
a.)当該スラリーは、いずれの場合もスラリーの総重量に基づいて、少なくとも20重量%、例えば20~70重量%の範囲、又は30~50重量%の範囲、又は55~75重量%の範囲、特に60~70重量%の範囲の固形分を有する、
b.)当該スラリーは、3以上の範囲、例えば4超のpH値、又は4.5~8又は4.5~7の範囲のpH値を有し、このpH値は4重量%のスラリーに基づいて決定される、
c.)4重量%のスラリーにおいて、二酸化ケイ素粒子の少なくとも90%が、1nm~10μm未満の範囲、例えば200~300nmの範囲のDIN ISO 13320-1による粒子サイズを有する、
d.)5ppm以下のSi、O、H、C及び/又はCl以外の原子の含有量、
e.)当該スラリーがレオペクシー性である、
f.)当該スラリーがプラスチック表面に接触して搬送される、
g.)当該スラリーはせん断される(geschert)、
h.)当該スラリーは、0℃超、好ましくは5~35℃の範囲の温度を有する、
i.)当該スラリーは、500~2000mPasの範囲、例えば600~1700mPasの範囲、特に好ましくは650~1350mPasの範囲のDIN 53019-1(5rpm、30重量%)による粘度を有する。
(a)第1のフィルタ工程は、90%以下、例えば85%、80%若しくは75%、若しくは80~99.9%、若しくは80~95%の分離率を有する、
(b)第1フィルタ工程は、5μm以上、5~25μm、若しくは5~15μmの範囲、例えば10μm若しくは5μmのフィルタ目開きを有する、
(c)第2のフィルタ工程は、80%以上、例えば95%以上、例えば98%、99%、99.9%若しくは99.99%の分離率、若しくは80~99.9%若しくは80~95%の範囲の分離率を有する、
(d)第2のフィルタ工程は、0.5μm以上、例えば5~10μm、若しくは0.5~2μmの範囲の、例えば0.5μm、1.0μm、1.5μm、若しくは2.0μmフィルタ目開きを有する、
(e)第3のフィルタ工程は、80%以上、例えば99.5%以上、例えば99.9%若しくは99.99%、若しくは80~99.9%の範囲、若しくは95~99.9%の範囲の分離率を有する、
(f)第3のフィルタ工程は、0.5μm以上の範囲、例えば0.5~10μm、若しくは0.5~3μm、若しくは0.5~1μmの範囲のフィルタ目開きを有する、
のうち少なくとも1つ以上又はすべての特性、又は特性(a)~(e)の2つ以上の組み合わせによって特徴付けられてもよく、例として挙げた値の各組み合わせがとりわけ好ましい。1つの実施形態では、すべての特性(a)~(f)の組み合わせが有利であり、例えば、下記表1の例F1.3が挙げられる。
さらなる実施形態では、第2の多段式フィルタ装置は、少なくともデプスフィルタを備えている。
A. 上記二酸化ケイ素懸濁液は、記載された試験条件下でレオペクシー性である、
B. 4重量%のスラリーにおいて、二酸化ケイ素懸濁液中の二酸化ケイ素粒子の少なくとも90%が、1nm~10μm未満の範囲、例えば200~300nmの範囲のDIN ISO 13320-1に準拠した粒子サイズを有する、
C. 上記二酸化ケイ素懸濁液は、3以上の範囲、例えば4超の範囲のpH値、又は4.5~8、若しくは4.5~7の範囲のpH値を有し、このpH値は4重量%のスラリーによって決定される、
D. 500ppm以下、350ppm以下、又は200ppm以下の二酸化ケイ素懸濁液の固形分中の塩素含有量であり、このppmは二酸化ケイ素懸濁液中の固形分の総量に基づく、
E. 200ppb以下、例えば1~100ppbの範囲、特に好ましくは1~80ppbの範囲のアルミニウム含有量であり、このppmは二酸化ケイ素懸濁液中の固形物の総量に基づく、
F. 5ppm以下のSi、O、H、C、Clの原子以外の原子を含むこと、
G. 上記二酸化ケイ素懸濁液は、いずれの場合もスラリーの総重量に基づいて、少なくとも20重量%、例えば20~70重量%の範囲、又は30~50重量%の範囲、又は55~75重量%の範囲、特に好ましくは60~70重量%の範囲の固形分を有する、
H. 上記二酸化ケイ素懸濁液は、0℃超、好ましくは5~35℃の範囲の温度を有する、
I. 上記二酸化ケイ素懸濁液は、500~2000mPasの範囲、例えば600~1700mPasの範囲、特に好ましくは650~1350mPasの範囲のDIN 53019-1(5rpm、30重量%)に準拠した粘度を有する。
当該二酸化ケイ素造粒体は、二酸化ケイ素粉末から造粒により得られる。造粒は、粉末粒子を顆粒に変換することを意味する。造粒の際には、複数の二酸化ケイ素粉末粒子の凝集により、「二酸化ケイ素顆粒」と呼ばれるより大きい塊状物(凝集体)が形成される。これらは、「二酸化ケイ素粒子」、「二酸化ケイ素造粒体粒子」又は「造粒体粒子」と呼ばれることも多い。顆粒はまとめて造粒体を構成し、例えば、二酸化ケイ素顆粒は「二酸化ケイ素造粒体」を構成する。
第3の態様の好ましい実施形態によれば、二酸化ケイ素造粒体は、二酸化ケイ素懸濁液の噴霧造粒によって得られる。噴霧造粒は、噴霧乾燥としても知られる。
噴霧乾燥は、助剤の存在下で実施することができる。原則として、当業者に公知であり、本願に適していると思われるすべての材料を助剤として採用することができる。助剤としては、例えば、いわゆる結合剤(バインダ)を考えることができる。適切な結合材料の例は、酸化カルシウム等の金属酸化物、炭酸カルシウム等の金属炭酸塩、並びにセルロース、セルロースエーテル、デンプン及びデンプン誘導体等の多糖類である。
a]噴霧塔での噴霧造粒、
b]ノズルでの二酸化ケイ素懸濁液の圧力が40barを超えず、例えば1.3~20bar、1.5~18bar、2~15bar、若しくは4~13bar、又は特に好ましくは5~12barの範囲にあり、この圧力は絶対的に(p=0hPaに対する相対値)記載されている、
c]噴霧塔に入るときの液滴の温度が、10~50℃の範囲、好ましくは15~30℃の範囲、特に好ましくは18~25℃の範囲である、
d]噴霧塔に面したノズルの側の温度が、100~450℃の範囲、例えば250~440℃の範囲、特に好ましくは320~430℃の範囲にある、
e]ノズルを通る二酸化ケイ素懸濁液の処理量が、0.05~1m3/hの範囲、例えば0.1~0.7m3/h又は0.2~0.5m3/hの範囲、特に好ましくは0.25~0.4m3/hの範囲である、
f]二酸化ケイ素懸濁液は、いずれの場合もこの二酸化ケイ素懸濁液の総重量に基づいて、少なくとも40重量%、例えば50~80重量%の範囲、又は55~75重量%の範囲、特に好ましくは60~70重量%の範囲の固形分を有する、
g]10~100kg/分の範囲、例えば20~80kg/分又は30~70kg/分の範囲、特に好ましくは40~60kg/分の範囲の、噴霧塔に入るガス流、
h]噴霧塔に入るときのガス流の温度が、100~450℃の範囲、例えば250~440℃の範囲、特に好ましくは320~430℃の範囲である、
i]噴霧塔を出るときのガス流の温度が170℃未満である、
j]ガスは、空気、窒素及びヘリウム、又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる群から選択され、好ましくは空気である、
k]噴霧塔から取り出されたとき、造粒体は、いずれの場合も噴霧乾燥で生じた二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて、5重量%未満、例えば3重量%未満、若しくは1重量%未満、又は0.01~0.5重量%の範囲、特に好ましくは0.1~0.3重量%の範囲の残留水分を有する、
l]いずれの場合も噴霧乾燥で生じた二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて、噴霧造粒体の少なくとも50重量%が、1~100秒の範囲、例えば10~80秒の時間、特に好ましくは25~70秒の時間をかけて飛行時間を完了する、
m]噴霧乾燥によって生じた二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて噴霧造粒体の少なくとも50重量%が、20m超、例えば30m超、若しくは50m超、若しくは70m超、若しくは100m超、若しくは150m超、若しくは200m超、又は20~200m、若しくは10~150m若しくは20~100mの範囲、特に好ましくは30~80mの範囲を飛行する、
n]噴霧塔は円筒形の形状を有する、
o]噴霧塔の高さが10m超、例えば15m超、若しくは20m超、若しくは25m超、若しくは30m超、又は10~25mの範囲、特に好ましくは15~20mの範囲である、
p]噴霧塔から造粒体を取り出す前に、サイズが90μm未満の粒子を濾別する、
q]噴霧塔から造粒体を取り出した後、好ましくは振動シュート上で、サイズが500μm超の粒子を濾別する、
r]二酸化ケイ素懸濁液の液滴が、鉛直方向に対して30~60°の角度、特に好ましくは鉛直方向に対して45°の角度でノズルから出る。
第1の態様の別の実施形態によれば、二酸化ケイ素造粒体は、二酸化ケイ素懸濁液のロール造粒によって得られる。
[a]造粒は、回転する撹拌容器内で行われる、
[b]造粒は、二酸化ケイ素懸濁液1kgあたり、1時間あたり10~150kgのガス流量で行われる、
[c]導入時のガス温度は40~200℃である、
[d]100μm未満の粒子サイズ及び500μmを超える粒子サイズを有する顆粒がふるい分けられる、
[e]形成された顆粒は、15~30重量%の残留水分含有量を有する、
[f]形成された顆粒は、80~250℃で、好ましくは連続乾燥管で、特に好ましくは残留水分含有量が1重量%未満になるまで乾燥される。
A)23°~26°の範囲の安息角、
B)20m2/g~50m2/gの範囲のBET表面積、及び
C)0.5~1.2g/cm3の範囲、例えば0.6~1.1g/cm3の範囲、特に好ましくは0.7~1.0g/cm3の範囲のかさ密度、
D)50~500μmの範囲の平均粒子サイズ、
E)50ppm未満の炭素含有量、
F)500ppm未満、例えば350ppm以下、又は200ppm以下の塩素含有量、
G)20ppb未満のアルミニウム含有量、
H)0.7~1.2g/cm3の範囲のタンピング密度、
I)0.1~2.5ml/gの範囲、例えば0.15~1.5ml/gの範囲、特に好ましくは0.2~0.8ml/gの範囲の細孔容積、
J)23~26°の範囲の安息角、
K)50~150μmの範囲の粒子サイズ分布D10、
L)150~300μmの範囲の粒子サイズ分布D50、
M)250~620μmの範囲の粒子サイズ分布D90、
上記ppm及びppbは、いずれの場合も二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づく。
i.)第3の態様に記載の方法又はこの文脈で言及された実施形態の1つに記載された方法によって二酸化ケイ素造粒体を提供する工程と、
ii.)この二酸化ケイ素造粒体からガラス融液を形成する工程と、
iii.)このガラス融液の少なくとも一部から石英ガラス体を形成する工程と
を含む方法である。
工程ii.)によれば、二酸化ケイ素造粒体からガラス融液が形成される。通常、二酸化ケイ素造粒体は、ガラス融液が得られるまで加温される。ガラス融液を得るための二酸化ケイ素造粒体の加温は、原則として、この目的のために当業者に公知の任意の方法で実施することができる。
例えば加温による二酸化ケイ素造粒体からのガラス融液の形成は、連続プロセスで行うことができる。これにより、好ましくは、二酸化ケイ素造粒体を炉に連続的に導入するか、又はガラス融液を炉から連続的に取り出すか、又はその両方を行うことができる。さらに、二酸化ケイ素造粒体が炉に連続的に導入され、ガラス融液が炉から連続的に取り出される。
(a)少なくとも1つ、例えば1つよりも多い又は少なくとも2つ又は少なくとも3つ又は少なくとも5つ、特に好ましくは3つ又は4つの金属シートの層、
(b)少なくとも1枚の金属シート、例えば少なくとも3枚、又は少なくとも4枚、又は少なくとも6枚、又は少なくとも8枚、又は少なくとも12枚、又は少なくとも15枚、又は少なくとも16枚、又は少なくとも20枚の金属シート、特に好ましくは12枚又は16枚の金属シート、
(c)2つの金属シート部品の間の少なくとも1つの結合部、例えば、吊り下げ式金属シート坩堝の同じ2つの金属シート部品の間、又は複数の異なる金属シート部品の間の少なくとも2つ、又は少なくとも5個、又は少なくとも10個、又は少なくとも18個、又は少なくとも24個、又は少なくとも36個、又は少なくとも48個、又は少なくとも60個、又は少なくとも72個、又は少なくとも48個、又は少なくとも96個、又は少なくとも120個、又は少なくとも160個、特に好ましくは36個又は48個の結合部、
(d)吊り下げ式金属シート坩堝の金属シート部品は、例えば、少なくとも1つの接合部を深絞りすることによってリベット止めされ、例えば、深絞りと金属シートのカラー付け又は皿穴との組み合わせによって接合され、ねじ止めされ、又は、例えば、電子ビーム溶接及び溶接箇所の焼結によって溶接され、特に好ましくはリベット止めされる、
(e)吊り下げ式金属シート坩堝の金属シートは、物理的密度の増加を伴う成形工程、好ましくは焼結された金属又は焼結された合金の成形によって得られ、さらには、好ましくは、この成形は圧延である、
(f)銅、アルミニウム、鋼、鉄、ニッケル、又は耐火金属、例えば坩堝材料のハンガーアセンブリ、好ましくは、銅又は鋼の水冷ハンガーアセンブリ、
(g)ノズル、好ましくは、坩堝に永続的に固定されたノズル、
(h)マンドレル、例えば、ピンでノズルに固定されたマンドレル、支持ロッドで蓋に固定されたマンドレル、又は支持ロッドで坩堝の下に取り付けられたマンドレル、
(i)例えば充填パイプの形で、又は別の入口としての少なくとも1つのガス入口、
(j)例えば、坩堝の蓋又は壁に設けられた別個の出口としての少なくとも1つのガス出口、
(k)冷却ジャケット、好ましくは水冷式ジャケット、
(l)外側の断熱材、好ましくは酸化ジルコニウム製の外側の断熱材。
{a}吊り下げアセンブリ、好ましくは高さ調整可能な吊り下げアセンブリ、
{b}側面部品として互いに密封された少なくとも2つのリング、好ましくは側面部品として互いにねじ止めされた少なくとも2つのリング、
{c}ノズル、好ましくは、坩堝に永続的に取り付けられたノズル、
{d}マンドレル、例えば、ピンでノズルに固定されたマンドレル、支持ロッドで蓋に固定されたマンドレル、又は支持ロッドで坩堝の下に取り付けられたマンドレル、
{e}例えば充填パイプの形態の、又は特に好ましくは充填パイプの形態の別個の入口としての少なくとも1つのガス入口、
{f}例えば、坩堝の蓋又は壁に設けられている少なくとも1つのガス出口、
{g}冷却ジャケット、特に好ましくは水冷式ジャケット、
{h}坩堝の外側、例えば冷却ジャケットの外側に設けられた断熱材、好ましくは酸化ジルコニウム製の断熱層。
/a/立設エリアとして形成された領域、好ましくは、坩堝の底面に立設エリアとして形成された領域、さらに好ましくは、坩堝の底板に立設エリアとして形成された領域、特に好ましくは、坩堝の底面の外縁に立設エリアとして形成された領域、
/b/側面部品として互いに密封された少なくとも2つのリング、好ましくは側面部品としてさね継ぎ接続によって互いに密封された少なくとも2つのリング、
/c/ノズル、好ましくは、坩堝に、特に好ましくは、坩堝の底面の、立設エリアとして形成されていない領域に永続的に取り付けられたノズル、
/d/マンドレル、例えば、ピンでノズルに固定されたマンドレル、ピンで蓋に固定されたマンドレル、又は支持ロッドで坩堝の下から取り付けられたマンドレル、
/e/例えば、充填管の形の、又は別個の入口としての少なくとも1つのガス入口、
/f/例えば、蓋又は坩堝の壁に設けられた別個の出口としての少なくとも1つのガス出口、
/g/蓋。
好ましくは、上記炉は、通路によって互いに結合された少なくとも第1のチャンバ及びさらなるチャンバを有し、この第1及び第2のチャンバは異なる温度を有し、第1のチャンバの温度は、さらなるチャンバの温度よりも低い。さらなるチャンバの1つでは、当該二酸化ケイ素造粒体からガラス融液が形成される。このチャンバは、以下では溶融チャンバと呼ばれる。また、ダクトを介して溶融チャンバに接合されているが、溶融チャンバよりも上流に位置するチャンバを予熱部と呼ぶ。一例は、少なくとも1つの出口が溶融チャンバの入口に直接接続されているものである。また、上記の配置構成は、独立した炉でも可能であり、その場合、溶融チャンバは溶融炉となる。しかしながら、本明細書では、用語「溶融炉」は、「溶融チャンバ」という用語と同一であると解釈されてよい。従って、溶融炉に関して述べられていることは、溶融チャンバにも適用されるとみなしてよく、その逆もまた同様である。用語「予熱部」は、どちらの場合も同じものを意味する。
石英ガラス体は、上記ガラス融液の少なくとも一部から製造される。このために、好ましくは、工程ii)で製造されたガラス融液の少なくとも一部が取り出され、それから石英ガラス体が作られる。
- 連続プロセスで行われる超音波洗浄。
- 超音波洗浄のための装置は、互いにチューブによって接続された6つのチャンバを有する。
- 各チャンバにおける石英ガラス体の保持時間を設定できる。好ましくは、各チャンバにおける石英ガラス体の保持時間は同じである。好ましくは、各チャンバにおける保持時間は、1~120分の範囲であり、例えば、5分未満、若しくは1~5分若しくは2~4分、又は60分未満、若しくは10~60分若しくは20~50分、特に好ましくは、5~60分の範囲である。
- 第1のチャンバは、好ましくは水及び塩基を含む塩基性媒体と、超音波洗浄器とを含む。
- 第3のチャンバは、好ましくは水及び酸を含む酸性媒体と、超音波洗浄器とを含む。
- 第2チャンバ及び第4~第6チャンバでは、石英ガラス体が、水、好ましくは脱塩水で洗浄される。
- 第4~第6のチャンバは、水のカスケードで運転される。好ましくは、水は第6のチャンバにのみ導入され、第6のチャンバから第5のチャンバへ、第5のチャンバから第4のチャンバへと流れる。
iv.)上記石英ガラス体から少なくとも1つの開口部を有する中空体を作製する工程
を含んでもよい。
原則として、工程i.)で提供された二酸化ケイ素造粒体を、工程ii.)で加温してガラス融液を得る前に、1つ以上の前処理工程に供することが可能である。可能な前処理工程は、例えば、熱的又は機械的な処理工程である。例えば、当該二酸化ケイ素造粒体は、工程ii.)の加温の前に緻密化することができる。「緻密化」は、BET表面積の減少及び細孔容積の減少を意味する。
A. 5超~40m2/g未満、例えば10~30m2/gの範囲、特に好ましくは15~25m2/gの範囲のBET比表面積、
B. 100~300μmの範囲、特に好ましくは120~200μmの範囲の粒子サイズD10、
C. 150~550μmの範囲、特に好ましくは200~350μmの範囲の粒子サイズD50、
D. 300~650μmの範囲、特に好ましくは400~500μmの範囲の粒子サイズD90、
E. 0.8~1.6g/cm3、特に好ましくは1.0~1.4g/cm3の範囲のかさ密度、
F. 1.0~1.4g/cm3、特に好ましくは1.15~1.35g/cm3の範囲のタンピング密度、
G. 5ppm未満、例えば4.5ppm未満、特に好ましくは4ppm未満の炭素含有量、
H. 500ppm未満、特に好ましくは1ppb~200ppmのCl含有量。
上記ppm及びppbは、いずれの場合も圧縮された二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づく。
A]1ppm未満の塩素含有量、
B]200ppb未満のアルミニウム含有量、
C]5ppm未満のSi、O、H、C以外の原子の含有量、
D]log10(η(1250℃)/dPas)=11.4~log10(η(1250℃)/dPas)=12.9、又はlog10(η(1300℃)/dPas)=11.1~log10(η(1300℃)/dPas)=12.2、又はlog10(η(1350℃)/dPas)=10.5~log10(η(1350℃)/dPas)=11.5の範囲の粘度(p=1013hPa)、
E]10-4未満の屈折率均質性、
F]円筒形の形態、
G]5ppm未満のタングステン含有量、
H]5ppm未満のモリブデン含有量。
上記ppb及びppmは、いずれの場合も石英ガラス体の総重量に基づく。
A/本発明の第5の態様又はその実施形態のいずれか1つに記載の石英ガラス体、又は第4の態様に従って得られる石英ガラス体を提供し、この石英ガラス体を最初に加工して、少なくとも1つの開口部を有する中空体を得る工程と、
B/上記石英ガラス体に、上記少なくとも1つの開口部を介して1つ以上のコアロッドを挿入して前駆体を得る工程と、
C/工程B/からの前駆体を加熱しながら延伸して、1つ以上のコア及びジャケットM1を有する光ファイバー光導体を得る工程と
を含む方法である。
工程A/で提供される石英ガラス体は、好ましくは、本発明の第4及び/又は第5の特性の特徴を特徴とする。さらには、この石英ガラス体は、少なくとも1つの開口部を有する中空体を与えるために、再成形法によって成形されてもよい。特に好ましくは、このようにして得られる石英ガラス体は、第5の態様の特性を有する。
石英ガラス体の少なくとも1つの開口部を介して、1つ以上のコアロッドが導入される(工程B/)。本発明の文脈におけるコアロッドは、ジャケット、例えばジャケットM1に導入され、光導体を得るために加工されるように設計された物体を意味する。コアロッドは、石英ガラスのコアを有する。好ましくは、コアロッドは、石英ガラスのコアと、このコアを取り囲むジャケット層M0とを含む。
前駆体は加熱しながら延伸される(工程C/)。得られた製品は、1つ以上のコアと、少なくとも1つのジャケットM1とを有する光導体である。
a)5ppm未満、特に好ましくは1ppm未満のOH含有量、
b)200ppm未満、好ましくは100ppm未満、例えば80ppm未満、特に好ましくは60ppm未満の塩素含有量、
c)200ppb未満、好ましくは100ppb未満、例えば80ppb未満、特に好ましくは60ppb未満のアルミニウム含有量、
d)5・1015/cm3未満、例えば0.1・1015~3・1015/cm3の範囲、特に好ましくは0.5・1015~2.0・1015/cm3の範囲のODC含有量、
e)1ppm未満、例えば0.5ppm未満、特に好ましくは0.1ppm未満のアルミニウム以外の金属の金属含有量、
f)log10(η(1250℃)/dPas)=11.4~log10(η(1250℃)/dPas)=12.9、及び/又はlog10(η(1300℃)/dPas)=11.1~log10(η(1300℃)/dPas)=12.2、及び/又はlog10(η(1350℃)/dPas)=10.5~log10(η(1350℃)/dPas)=11.5の範囲の粘度(p=1013hPa)、
g)6m超のカールパラメータ、
h)1・10-4未満の屈折率均質性、
i)1150℃~1250℃の範囲、特に好ましくは1180℃~1220℃の範囲の変態点Tg。
上記ppb及びppmは、それぞれジャケットM1の総重量に基づく。
A/本発明の第5の態様に係る石英ガラス体、又は第4の態様に係る方法によって得られる石英ガラス体を提供し、この石英ガラス体を最初に加工して、少なくとも1つの開口部を有する中空体を得る工程と、
B/上記石英ガラス体に、少なくとも1つの開口部を介して1つ以上のコアロッドを挿入して前駆体を得る工程と、
C/工程B/からの前駆体を加熱しながら延伸して、1つ以上のコア及びジャケットM1を有する光導体を得る工程と
を含む方法によって得られる光導体に関する。
(i)本発明の第5の態様に係る石英ガラス体又は第4の態様に係る方法によって得られる石英ガラス体を提供し、この石英ガラス体を最初に加工して、中空体を得る工程と、
(ii)この中空体に、必要に応じて電極を装着する工程と、
(iii)この中空体にガスを充填する工程と
を含む方法に関する。
工程(i)では、石英ガラス体が提供される。工程(i)で提供された石英ガラス体は、最初に加工され、少なくとも1つの開口部、例えば、1つの開口部又は2つの開口部又は3つの開口部又は4つの開口部、特に好ましくは1つ又は2つの開口部を含む中空体が得られる。
HK1. 材料の総重量に基づいて、好ましくは95重量%超、例えば97重量%超、特に好ましくは99重量%超の二酸化ケイ素含有量、
HK2. 2.1~2.3g/cm3の範囲、特に好ましくは2.18~2.22g/cm3の範囲の密度、
HK3. 中空体の内部で発生する光の量に基づいて、10~100%の範囲、例えば30~99.99%の範囲、特に好ましくは50~99.9%の範囲の、350~750nmの可視領域の少なくとも1つの波長における光透過率、
HK4. 500ppm未満、例えば400ppm未満、特に好ましくは300ppm未満のOH含有量、
HK5. 200ppm未満、好ましくは100ppm未満、例えば80ppm未満、特に好ましくは60ppm未満の塩素含有量、
HK6. 200ppb未満、例えば100ppb未満、特に好ましくは80ppb未満のアルミニウム含有量、
HK7. 5ppm未満、例えば4.5ppm未満、特に好ましくは4ppm未満の炭素含有量、
HK8. 5・1015/cm3未満のODC含有量、
HK9. 1ppm未満、例えば0.5ppm未満、特に好ましくは0.1ppm未満のアルミニウム以外の金属の金属含有量、
HK10. log10η(1250℃)=11.4~log10η(1250℃)=12.4、及び/又はlog10η(1300℃)=11.1~log10η(1350℃)=11.7、及び/又はlog10η(1350℃)=10.5~log10η(1350℃)=11.1の範囲の粘度(p=1013hPa)、
HK11. 1150~1250℃の範囲、特に好ましくは1180~1220℃の範囲の変態点Tg。
上記ppm及びppbはそれぞれ、中空体の総重量に基づく。
好ましくは、工程(i)の中空体に、ガスを充填する前に、電極、好ましくは2つの電極が装着される。好ましくは、電極は電流源に接続されている。好ましくは、電極は発光体のソケットに接続されている。
工程(i)で提供され、任意に工程(ii)で電極が装着された中空体に、ガスが充填される。
I.)0.1cm3~10m3の範囲、例えば0.3cm3~8m3の範囲、特に好ましくは0.5cm3~5m3の範囲の体積を有する、
II.)1mm~100mの範囲、例えば3mm~80mの範囲、特に好ましくは5mm~50mの範囲の長さ、
III.)2~360°の範囲、例えば10~360°の範囲、特に好ましくは30~360°の範囲の放射角、
IV.)145~4000nmの範囲、例えば150~450nm、又は800~4000nmの範囲、特に好ましくは160~280nmの波長範囲の光の放射、
V.)1mW~100kWの範囲、特に好ましくは1kW~100kWの範囲、又は1~100Wの範囲の電力。
(i)本発明の第5の態様に係る石英ガラス体、又は本発明の第4の態様に従って得られる石英ガラス体を提供し、この石英ガラス体を最初に加工して、中空体を得る工程と、
(ii)この中空体に、必要に応じて電極を装着する工程と、
(iii)この中空体にガスを充填する工程と
を含む方法によって得られる発光体に関する。
(1)本発明の第5の態様に係る石英ガラス体、又は第4の態様に係る方法によって得られる石英ガラス体を提供する工程と、
(2)この石英ガラス体を成形して、成形体を得る工程と
を含む方法に関する。
工程(1)で提供される石英ガラス体を成形するためには、原則として、当業者に公知であり石英ガラスを成形するのに適した任意のプロセスが可能である。好ましくは、石英ガラス体は、第1、第4及び第5の態様の文脈で説明したように成形されて、成形体が得られる。さらには、好ましくは、当該成形体は、ガラス吹きの当業者に公知の技術によって成形されてもよい。
- 丸底フラスコ及び平底フラスコ等の少なくとも1つの開口部を有する中空体、
- そのような中空体のための備品及びキャップ、
- ボウル及びボート(ウエハキャリア)等の覆いのない物品、
- 覆いなしで又は閉鎖可能な状態で配置された坩堝、
- シート及び窓、
- キュベット、
- 管及び中空円筒、例えば反応管、セクション管、直方体チャンバ、
- 例えば丸型又は角型の、対称型若しくは非対称型のロッド、バー及びブロック、
- 一端又は両端が閉鎖された管及び中空円筒、
- ドーム及びベル、
- フランジ、
- レンズ及びプリズム、
- 互いに溶着された部品、
- 湾曲した部品、例えば、凸状又は凹状の面及びシート、湾曲したロッド及び管
である。
(1)本発明の第5の態様に係る石英ガラス体、又は本発明の第4の態様に係る方法によって得られる石英ガラス体を提供する工程と、
(2)この石英ガラス体を成形して、成形体を得る工程と
を含む方法によって得られる成形体に関する。
|A|第1の態様又はその実施形態に従って得られる二酸化ケイ素懸濁液、及び基板を提供する工程と、
|B|この二酸化ケイ素懸濁液の層を基板に塗布する(形成する)工程と
を含み、
コーティングが基板上に形成される方法である。
図1は、二酸化ケイ素懸濁液を製造するための方法であって、少なくとも、(i)二酸化ケイ素粉末を提供する工程101と、(ii)液体を提供する工程102と、(iii)上記二酸化ケイ素粉末を上記液体と混合して、スラリーを得る工程103と、(iv)このスラリーを超音波で処理して、前駆体懸濁液を得る工程104と、(v)この前駆体懸濁液の少なくとも一部を第1の多段式フィルタ装置に通す工程105とを含む方法を模式的に示す。
a. OH含有量
ガラスのOH含有量は、赤外分光法によって測定する。D.M.Dodd及びD.M.Fraser、「Optical Determinations of OH in Fused Silica」(J.A.P. 37、3991(1966))の方法を採用する。同書に記載されている装置の代わりに、FTIR分光計(フーリエ変換赤外分光計、Perkin Elmer(パーキン・エルマー)の現在のSystem 2000)を採用する。スペクトルの解析は、原則として、約3670cm-1の吸収バンド又は約7200cm-1の吸収バンドのどちらによっても可能である。吸収バンドの選択は、OH吸収による透過率の低下が10~90%であることに基づく。
定量的な検出のために、ODC(I)吸収を、165nmで、1~2mmの厚さを有するプローブにおける透過率測定により、McPherson,Inc.(マクファーソン)(米国)の真空UV分光計、モデルVUVAS 2000を用いて測定する。
そのとき、
N=α/σ
上記式中、
N=欠陥濃度[1/cm3]
α=ODC(I)バンドの光吸収[1/cm、底e]
σ=有効断面積[cm3]
ただし、有効断面積はσ=7.5・l0-17cm2に設定される(L.Skuja、「Color Centers and Their Transformations in Glassy SiO2」、Lectures of the summer school 「Photosensitivity in optical Waveguides and glasses」、1998年7月13~18日、フィッツナウ(Vitznau)、スイスより)。
c-1)固体試料を粉砕する。次に、約20gの試料を、それを耐HF性の容器にすべて導入し、HFで覆い、100℃で1時間熱処理することにより清浄化する。冷却後、酸を捨て、試料を高純度水で数回洗浄する。その後、この容器及び試料を乾燥庫内で乾燥させる。
OESを採用するか又はMSを採用するかは、予想される元素濃度による。典型的には、MSの測定値は1ppbであり、OESの測定値は10ppbである(いずれも秤量した試料に基づく)。上記測定装置による元素濃度の測定は、装置メーカー(ICP-MS:Agilent 7500ce、ICP-OES:Perkin Elmer 7300 DV)の規定に従い、かつ較正用の認証済みの基準液を用いて行う。次いで、装置により測定した溶液(15ml)中の元素濃度を、プローブの元の重量(2g)に基づいて変換する。
液体の密度を測定するために、正確に規定された体積の液体を、その液体及びその成分に対して不活性な測定装置に秤量し、容器の空重量及び充填後の重量を測定する。密度は、2つの重量測定値の差を、導入した液体の体積で割った値として与えられる。
石英ガラス試料15gを粉砕し、70℃の硝酸で処理することにより清浄化する。次いで、この試料を高純度水で数回洗浄し、次いで乾燥させる。試料2gをニッケル坩堝に量り入れ、10gのNa2CO3及び0.5gのZnOで覆う。坩堝をNi蓋で閉じ、1000℃で1時間焙焼する。その後、ニッケル坩堝に水を入れて、溶融クラストが完全に溶けるまで煮沸する。この溶液を200mlのメスフラスコに移し、高純度水を200mlまで入れる。未溶解成分の沈降後、30mlを取り、100mlメスフラスコに移し、0.75mlの氷酢酸及び60mlのTISABを加え、高純度水で満たす。この試料溶液を150mlのガラスビーカーに移す。
15gの石英ガラス試料を粉砕し、約70℃の硝酸で処理することにより清浄化する。その後、この試料を高純度水で数回洗浄し、次いで乾燥させる。次に、試料2gを圧力容器用のPTFE製インサートに充填し、15mlのNaOH(c=10mol/l)で溶解し、PTFE製の蓋で閉じて圧力容器に入れる。圧力容器を閉じ、約155℃で24時間熱処理する。冷却後、PTFE製インサートを取り出し、溶液を100mlのメスフラスコにすべて移す。そこに10mlのHNO3(65重量%)及び15mlの酢酸緩衝液を加え、冷却し、100mlまで高純度水を満たす。この試料溶液を150mlのガラスビーカーに移す。この試料溶液は5~7の範囲のpH値を有する。
石英ガラス中の塩素含有量50ppm未満~0.1ppmは中性子放射化分析(NAA)によって測定する。このために、測定対象の石英ガラス体から直径3mm、長さ1cmのボアを3つ採取する。これらを分析のために研究機関、今回はドイツのマインツにあるJohannes-Gutenberg University(ヨハネス・グーテンベルク大学)のinstitute for nuclear chemistry(核化学研究所)に送る。塩素による試料の汚染を排除するために、測定の直前に現地でHF浴で試料を徹底的に洗浄した。各ボアは数回測定する。その後、その結果とボアは研究所から返送される。
石英ガラス試料の透過率は、Perkin Elmer製の市販の回折格子型分光計又はFTIR型分光計(Lambda 900[190~3000nm]又はSystem 2000[1000~5000nm])を用いて測定する。必要な測定範囲に応じて選択を行う。
O=1/T=I0/I
により算出する。
管/ロッドの屈折率分布は、York Technology Ltd.(ヨーク・テクノロジー)製のPreform Profiler P102又はP104を用いて特性評価することができる。このために、ロッドを横たわった状態で測定チャンバ内に置き、チャンバをしっかりと閉じる。次いで、この測定チャンバに、試験波長である633nmにおける最外のガラス層の屈折率に非常に近い633nmにおける屈折率を有する液浸オイルを充填する。次いで、レーザービームが測定チャンバを通過する。測定チャンバの背後(放射線の方向)に、(測定チャンバから出る放射線と比較した、測定チャンバに入る放射線の)偏角を測定する検出器を装着する。ロッドの屈折率分布が半径方向に対称であると仮定して、直径方向の屈折率分布は、逆アーベル変換により再構築することができる。これらの計算は、装置メーカーであるYorkのソフトウェアによって行われる。
二酸化ケイ素造粒体及び二酸化ケイ素粉末の表面炭素含有量の定量的な測定は、Leco Corporation(レコ・コーポレーション)、米国の炭素分析器RC612を用いて、すべての表面炭素汚染(SiCを除く)を酸素で完全に酸化して二酸化炭素を得ることによって行う。このために、4.0gの試料を秤量し、石英ガラスの皿に入れて炭素分析器に導入する。試料を純酸素に浸し、180秒間900℃に加熱する。生成したCO2は、炭素分析器の赤外線検出器により測定する。これらの測定条件下では、検出限界は1ppm(重量ppm)以下の炭素である。
カールパラメータ(「ファイバーカール」とも呼ばれる)は、DIN EN 60793-1-34:2007-01(規格IEC 60793-1-34:2006のドイツ版)に従って測定する。測定は、Annex AのセクションA.2.1、A.3.2、及びA.4.1に記載の方法に従って行う(「極端な技法(extrema technique)」)。
測定は、付属書AのA.2.1、A.3.2及びA.4.1(「extrema technique」)の項に記載された方法に従って行われる。
減衰は、DIN EN 60793-1-40:2001(規格IEC 60793-1-40:2001のドイツ版)に従って測定する。測定は、付属書に記載の方法(「カットバック法」)に従って、λ=1550nmの波長で行う。
スラリーを、脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore(ミリポア)、水質:18.2MΩcm)を用いて、30重量%の固形分濃度で作製する。次いで、粘度をAnton-Paar(アントン・パール)社製のMCR102で測定する。このために、粘度を毎分5回転(5rpm)で測定する。測定は、23℃の温度及び1013hPaの気圧で行う。懸濁液の場合も同じ手順を用いる。
- n1. チキソトロピー
スラリー又は懸濁液を、脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore、水質:18.2MΩcm)を用いて、30重量%の固形分濃度で作製する。次いで、チキソトロピーを、円錐平板型配置のAnton-Paar社製のMCR102で測定する。このために、粘度は、毎分5回転(5rpm)及び毎分50回転(50rpm)で測定する。第1の値と第2の値の商が、チキソトロピー指数を示す。測定は、23℃の温度で行う。
スラリー又は懸濁液を、脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore、水質:18.2MΩcm)を用いて、60重量%の固形分濃度となるように作製する。次いで、25℃に調温したスラリー又は懸濁液の粘度を、Malvern Panalytical Ltd.(マルバーン・パナリティカル)のパドル撹拌機付きKinexus pro+レオメーターで、25/s又は100/sの一定せん断速度で15分間測定する。
ゼータ電位測定のために、ゼータ電位セル(Flow Cell、Beckman Coulter(ベックマン・コールター))を用いる。試料を脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore、水質:18.2MΩcm)中に溶解して、1g/Lの濃度を有する20mL溶液を得る。0.1mol/L及び1mol/Lの濃度を有するHNO3溶液並びに0.1mol/Lの濃度を有するNaOH溶液の添加を通じて、pHを7に設定する。測定は、23℃の温度で行う。
等電点、ゼータ電位測定セル(Flow Cell、Beckman Coulter)、及び自動滴定装置(DelsaNano AT、Beckman Coulter)を用いる。試料を脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore、水質:18.2MΩcm)中に溶解して、1g/Lの濃度を有する20mL溶液を得る。0.1mol/L及び1mol/Lの濃度を有するHNO3溶液並びに0.1mol/Lの濃度を有するNaOH溶液の添加により、pHを変化させる。等電点は、ゼータ電位が0に等しいpH値である。測定は、23℃の温度で行う。
スラリーのpH値は、Wissenschaftlich-Technische-Werkstaetten GmbH製のWTW 3210を用いて測定する。WTW製のpH 3210 Set 3を電極として用いる。測定は、23℃の温度で行う。
スラリー又は懸濁液の材料の計量部分m1を、500℃に4時間加熱し、冷却後再計量する(m2)。固形分含有量wは、m2/m1×100[重量%]として与えられる。
バルク材のかさ密度は、規格DIN ISO 697:1984-01に従って、Powtec(パウテック)製のSMG 697で測定する。バルク材料(二酸化ケイ素粉末又は造粒体)は、塊を形成しない。
バルク材のタンピング密度は、規格DIN ISO 787:1995-10に基づいて測定する。二酸化ケイ素粉末及び二酸化ケイ素造粒体は、バルク材として特に適している。
細孔径分布は、DIN 66133に従って測定する(480mN/mの表面張力及び140°の接触角で)。3.7nmより小さい細孔径の測定については、Porotec(ポロテック)社製のPascal 400を使用する。3.7nm~100μmの細孔径の測定については、Porotec製のPascal 140を使用する。試料を、測定前に圧力処理に供する。このために、手動の油圧プレス機を使用する(Specac Ltd.(スペックアク))(リバーハウス(River House)、97 クレイアベニュー(Cray Avenue)、オーピントン(Orpington)、ケント(Kent) BR5 4HE、英国)製の注文番号15011)。250mgの試料材料を計量して、Specac Ltd.製の13mmの内径を有する「ペレットダイ」に入れ、ディスプレイに従って1tの荷重を加える。この荷重を、5sにわたって維持し、必要に応じて再調整する。次いで、試料に対する荷重を解除し、試料を再循環空気乾燥棚内で4時間にわたって105±2℃で乾燥させる。
一次粒子サイズは、走査電子顕微鏡(SEM)モデルZeiss Ultra 55を使用して測定する。試料を脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore、水質:18.2MΩcm)中に懸濁させて、極めて希薄な懸濁液を得る。この懸濁液を、超音波プローブ(UW 2070、Bandelin electronic(バンデリン・エレクトロニック)、70W、20kHz)で1分間処理し、次いで炭素粘着パッドに供する。
懸濁液中の平均粒子サイズは、Malvern Instruments Ltd.(英国)から入手可能なMastersizer 2000をユーザマニュアルに従って使用し、レーザー偏向法を使用して測定する。試料を脱塩水(Direct-Q 3UV、Millipore、水質:18.2MΩcm)中に懸濁させて、1g/Lの濃度を有する20mLの懸濁液を得る。この懸濁液を、超音波プローブ(UW 2070、Bandelin electronic、70W、20kHz)で1分間処理する。
固形物の粒子サイズ及びコアサイズは、Retsch Technology GmbH(レッチェ・テクノロジー)(ドイツ)から入手可能なCamsizer XTをユーザマニュアルに従って使用して測定する。ソフトウェアは、試料のD10、D50、及びD90の値を与える。
比表面積の測定については、DIN ISO 9277:2010に従って静的容量BET法を使用する。BET測定については、SMART法(「適応的分注速度による収着法(Sorption Method with Adaptive dosing Rate」)に従って動作する「NOVA 3000」又は「Quadrasorb」(Quantachrome(カンタクローム)から入手可能)を使用する。ミクロ細孔分析を、t-プロット法(p/p0=0.1~0.3)を使用して行い、メソ細孔分析を、MBET法(p/p0=0.0~0.3)を使用して行う。基準材料として、Quantachromeから入手可能な標準アルミナSARM-13及びSARM-214を使用する。測定セル(清浄かつ乾燥)の風袋重量を計量する。導入される試料材料及びフィラーロッドが測定セルをできる限り満たし、デッドスペースが最小限に低減されるように、測定セルの種類を選択する。試料材料を、測定セル内に導入する。測定値の予想値が10~20m2/gに対応するように、試料材料の量を選択する。測定セルをBET測定装置(フィラーロッドなし)の焼成位置に固定し、<200mbarに排気減圧する。排気減圧の速度は、材料が測定セルから漏出しないように設定する。焼成を、この状態で200℃で1時間にわたって行う。冷却後、試料が充填された測定セルを計量する(生の値)。次いで、風袋重量を、生の重量値から減じる=正味重量=試料の重量。次いで、充填ロッドを測定セル内に導入し、これもやはりBET測定装置の測定位置に固定する。測定の開始前に、試料の識別及び試料の重量をソフトウェアに入力する。測定を開始する。窒素ガス(N2 4.0)の飽和圧力を測定する。測定セルを排気減圧し、窒素浴を使用して77Kに冷却する。デッドスペースを、ヘリウムガス(He 4.6)を使用して測定する。測定セルを再び排気減圧する。少なくとも5つの測定点による多点分析を行う。N2 4.0を吸収剤として使用する。比表面積は、m2/gで与えられる。
ガラスの粘度は、TA Instruments(ティーエー・インスツルメンツ)製の型番401のビームベンディング式粘度計を、Windows 10で動作するメーカーのソフトウェアWinTA(現行バージョン9.0)と共に使用して、DIN ISO 7884-4:1998-02規格に従って測定する。支持体間の支持幅は、45mmである。長方形の断面を有する試料ロッドを、均質な材料の領域から切り出す(試料の頂面及び底面は、少なくとも1000グレインの仕上げを有する)。加工後の試料表面は、粒度=9μm及びRA=0.15μmを有する。試料ロッドは、以下の寸法、長さ=50mm、幅=5mm、及び高さ=3mm(規格文書と同様に、長さ、幅、高さの順に書かれている)、を有する。3つの試料を測定し、平均を計算する。試料表面に密着した熱電対を使用して、試料温度を測定する。以下のパラメータ、加熱速度=1500℃の最大値まで25K、荷重重量=100g、最大曲げ=3000μm(規格文書からの相違)、を使用する。
E15-x:焼成シリカ(BET=30m2/g、懸濁液中の平均粒子サイズ=100nm)のスラリーを、撹拌機/パドル形状を備えたミキサーで脱イオン水(L=0.1μS/cm)に入れ、均質化した。均質化された混合物の固形分は55重量%であった。E15-2、E15-3の場合には、次に、表2に示すように、懸濁液を超音波発生装置で処理した。その後、すべての懸濁液E15-xをフィルタ配置に通した。濾過前の粒子サイズ及び元素分析を表3に示す。
1.フィルタ:Acura Multiflow(登録商標)(PP多層デプスフィルタ)、フィルタ目開き10μm、分離率80%、
2.フィルタ:Acura Promelt(登録商標)(PPデプスフィルタ)、フィルタ目開き1μm、分離率99.9%、
3.フィルタ:Acura Multiflow(登録商標)(PP多層デプスフィルタ)、フィルタ目開き0.5μm、分離率80%。
E16-x:焼成シリカ(BET=30m2/g、懸濁液中の平均粒子サイズ=100nm)のスラリーを、撹拌機/パドル形状を備えたミキサーで脱イオン水(L=0.1μS/cm)に入れ、前と同様に均質化した。均質化された混合物の固形分は63重量%であった。その後、すべてのスラリーを超音波発生装置で処理した(定格:550W/リットル、処理量:250l/h、処理時間:30秒)。その後、すべてのE16-x懸濁液をフィルタ配置に通した。フィルタ配置は、3つのフィルタ番号1.~3.で構成されていた(1.から2.を経て3.までの下流への配列)。
使用したフィルタは以下の通りであった(表4)。
i. E16-1~E16-8に含まれる懸濁液の造粒性は「良好」であることがわかった。「良好」は、すべての懸濁液が造粒体化に適していることを意味する。
ii. 各例の造粒体から製造された石英ガラスのブリスターは、例E16-1~E16-3及びE16-7及びE16-8について「良好」であった。「良好」は、気泡がほとんどなく販売可能な石英ガラスの品質であることを意味する。そのような石英ガラスを図7のb)に示す。例E16-4~E16-6のブリスターは「中程度」と評価した。「中程度」は、気泡の数が多く、限定的にしか販売できないと考えられる石英ガラスの品質を意味する。
iii. 金属イオンの注入量は徹底的に少なく、D90とD10との比で表される粒子サイズ分布も低かった。
iv. フィルタの使用寿命に応じて、短い使用寿命(1000リットル未満)及び長い使用寿命(1000リットル超)が観察された。
E17-x:焼成シリカ(BET=30m2/g、懸濁液中の平均粒子サイズ=100nm)のスラリーを、撹拌機/パドル形状を備えたミキサーで、脱イオン水(L=0.1μS/cm)中で前と同様に均質化した。均質化された混合物の固形分は63重量%であった。その後、すべてのスラリーを超音波発生装置で処理した。超音波処理パラメータを表6にまとめる。すべての懸濁液E17-xを、続いて例E15-xと同じフィルタ配置に通した。
i. 高い超音波出力では、フィルタの上流にある懸濁液の平均粒子サイズは、低い超音波出力の場合よりも幾分低い。同時に、金属イオン、及び(ひいては)Si、O、H、C、Cl以外のイオンの含有量が明らかに高い。
ii. 同じ処理時間(10秒(s))で、550W/リットルの超音波出力での金属イオンの注入量は、950W/リットルの場合よりも明らかに低い。D10/D90の粒子サイズ分布はわずかに異なるだけである。550W/リットルでの処理時間を2倍の20秒にすると、950W/リットル及び10秒での処理と同等の粒子サイズ及び分布が、超音波処理により明らかに低い金属イオン濃度で得られる。
iii. 処理時間が長くなると、金属イオン濃度が高くなる。
102 工程(ii)
103 工程(iii)
104 工程(iv)
105 工程(v)
211 第1のフィルタ
212 第2のフィルタ
213 第3のフィルタ
311 フィルタを用いる第1の一フィルタ工程
312 第2フィルタ工程、フィルタA
313 第2フィルタ工程、フィルタB
314 フィルタを用いる第3のフィルタ工程
411 工程i.)
412 工程ii.)
413 工程iii.)
Claims (17)
- 二酸化ケイ素懸濁液の製造方法であって、
(i)二酸化ケイ素粉末を提供する工程と、
(ii)液体を提供する工程と、
(iii)前記二酸化ケイ素粉末を前記液体と混合して、スラリーを得る工程と、
(iv)前記スラリーを超音波で処理して、前駆体懸濁液を得る工程と、
(v)前記前駆体懸濁液の少なくとも一部を第1の多段式フィルタ装置に通す工程であって、
前記第1の多段式フィルタ装置は、少なくとも第1、第2及び第3のフィルタ工程を有し、
各フィルタ工程は少なくとも1つのフィルタを含み、
前記第2のフィルタ工程は前記第1のフィルタ工程の下流に配置され、前記第3のフィルタ工程は前記第2のフィルタ工程の下流に配置され、
前記第1のフィルタ工程は5μm以上のフィルタ目開きを有し、
前記第2のフィルタ工程は0.5~5μmの範囲のフィルタ目開きを有し、
前記第3のフィルタ工程は1μm以下のフィルタ目開きを有し、
前記第1、第2及び第3のフィルタ工程から選択される前記フィルタ工程の少なくとも1つは99.5%以上の分離率を有し、
分離率はISO 16889に準拠して記載されており、いずれの場合も前記フィルタに基づいており、
前記フィルタ目開きは、前記フィルタが保持する最小の粒子サイズが何であるかを示す工程と
を含む方法。 - 工程(v)の二酸化ケイ素懸濁液が、多段式フィルタ装置を通した後に得られる請求項1に記載の方法。
- 前記第1のフィルタ装置が、以下の特性:
(a)前記第1のフィルタ工程が90%以下の分離率を有する、
(b)前記第1のフィルタ工程が、5~15μmの範囲のフィルタ目開きを有する、
(c)前記第2のフィルタ工程が95%以上の分離率を有する、
(d)前記第2のフィルタ工程が、0.5~2μmのフィルタ目開きを有する、
(e)前記第3のフィルタ工程が、99.5%以上の分離率を有する、
のうち少なくとも1つ、又は、これらの2つ以上の組み合わせを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の方法。 - 前記フィルタ工程の1つにおける前記第1のフィルタ装置の少なくとも1つのフィルタがデプスフィルタとして設計されている請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法。
- 超音波による前記スラリーの処理が、少なくとも10秒続く請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法。
- 超音波による前記スラリーの処理が、600W/リットルまでの電力密度を特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記スラリーが、前記スラリーを安定化させるための5重量%未満の添加剤を有し、前記重量%は前記スラリーの総重量に基づく請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記二酸化ケイ素粉末が、シロキサン及びケイ素アルコキシドからなる群から選択される化合物から製造できる請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記二酸化ケイ素粉末が、以下の特性:
a. 100ppm未満の炭素含有量、
b. 500ppm未満の塩素含有量、
c. 200ppb未満のアルミニウム含有量、
d. 5ppm未満のSi、O、H、C、Cl以外の原子の含有量、
e. 粉末粒子の少なくとも70重量%が、10~100nmの範囲の一次粒子サイズを有する、
f. 0.001~0.3g/cm3の範囲のタンピング密度、
g. 5重量%未満の残留水分、
h. 35m 2 /g未満のBET表面積
のうち少なくとも1つ、又は特性a.~h.の2つ以上の組み合わせを有し、
前記重量%、ppm及びppbは、いずれの場合も、前記二酸化ケイ素粉末の総量に基づく請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の方法。 - 前記スラリーが、以下の特性:
a.)前記スラリーの乾燥重量に基づいて、少なくとも20重量%の固形分含有量、
b.)4重量%のスラリーとして、前記スラリーが3~8の範囲のpH値を有する、
c.)二酸化ケイ素粒子の少なくとも90重量%が、1nm~10μm未満の範囲の粒子サイズを有する、
d.)5ppm以下のSi、O、H、C、Cl以外の原子の含有量、
e.)前記スラリーがレオペクシー性である
のうち少なくとも1つを特徴とし、前記重量%及びppmは、常に前記スラリーの全固形分に基づく請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の方法。 - 前記二酸化ケイ素懸濁液が、以下の特性:
A. 45℃未満の温度及び20~70重量%の範囲の固形分濃度でのレオペクシー特性であって、前記重量%は前記懸濁液中の全固形分に基づく、
B. すべての二酸化ケイ素粒子の総重量に基づいて前記二酸化ケイ素粒子の少なくとも90重量%が、1nm~10μm未満の範囲の粒子サイズを有する、
C. 4重量%の懸濁液として、前記懸濁液が3~8の範囲のpH値を有し、前記重量%は前記懸濁液の固形分に基づく、
D. 500ppm未満の塩素含有量、
E. 200ppb未満のアルミニウム含有量、
F. 5ppm未満のSi、O、H、C、Cl以外の原子の含有量、
のうち少なくとも1つを有し、前記ppm及びppbは、いずれの場合も二酸化ケイ素粒子の総量に基づく請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の方法。 - 二酸化ケイ素造粒体の製造方法であって、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の方法によって得られる二酸化ケイ素懸濁液が処理されて二酸化ケイ素造粒体が得られ、前記二酸化ケイ素造粒体は、前記二酸化ケイ素懸濁液中に存在する二酸化ケイ素粒子よりも大きい粒子径を有する方法。
- 前記二酸化ケイ素懸濁液の前記処理が噴霧乾燥であり、前記噴霧乾燥が、以下の特性:
a]噴霧塔での噴霧造粒、
b]ノズルでの前記二酸化ケイ素懸濁液が、40bar以下にあり、この圧力は絶対値で記載されている(p=0hPaに対する相対値)、
c]前記噴霧塔に入る液滴が、10~50℃の範囲の温度にある、
d]前記噴霧塔に面したノズルの側の温度が、100~450℃の範囲の温度である、
e]0.05~1m3/hの範囲の、ノズルを通る二酸化ケイ素懸濁液の処理量、
f]いずれの場合も前記二酸化ケイ素懸濁液の総重量に基づいて、少なくとも40重量%の範囲の前記二酸化ケイ素懸濁液の固形分含有量、
g]10~100kg/分の範囲の、噴霧塔へのガス流入量、
h]100~450℃の範囲の前記噴霧塔に入るときのガス流の温度、
i]170℃未満の、前記噴霧塔を出るときのガス流の温度、
j]前記ガスが、空気、窒素及びヘリウム又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる群から選択され、
k]いずれの場合も前記噴霧乾燥で生じた前記二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて、5重量%未満の、前記噴霧塔から取り出されたときの前記造粒体の残留水分、
l]前記噴霧乾燥で生じた前記二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて噴霧造粒体の少なくとも50重量%が、1~100秒の範囲の飛行時間を完了する、
m]前記噴霧乾燥で生じた前記二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づいて前記噴霧造粒体の少なくとも50重量%が、20m超の飛行経路を完了する、
n]前記噴霧塔が円筒形の形状を有する、
o]10m超の範囲の前記噴霧塔の高さ、
p]噴霧塔から造粒体を取り出す前に、90μm未満のサイズの粒子を濾別する、
q]噴霧塔から造粒体を取り出した後、500μm超のサイズの粒子を濾別する、
r]二酸化ケイ素懸濁液の液滴が、鉛直方向に対して30~60°の角度で前記ノズルから出る、
のうち少なくとも1つを特徴とする請求項12に記載の方法。 - 前記二酸化ケイ素造粒体が、以下の特性:
A)23~26°の範囲の安息角、
B)20~50m2/gの範囲のBET比表面積、
C)0.5~1.2g/cm3の範囲のかさ密度、
D)50~500μmの範囲の二酸化ケイ素粒子の平均粒子サイズ
E)50ppm未満の炭素含有量、
F)500ppm未満の塩素含有量、
G)200ppb未満のアルミニウム含有量、
H)5ppm未満のSi、O、H、C以外の原子の含有量、
I)0.7~1.3g/cm3の範囲の二酸化ケイ素造粒体粒子のタンピング密度、
J)0.1~2.5mL/gの範囲の二酸化ケイ素造粒体粒子の細孔容積、
K)50~150μmの範囲の二酸化ケイ素造粒体粒子の粒子サイズ分布D10、
L)150~300μmの範囲の二酸化ケイ素粒子の粒子サイズ分布D50、
M)250~620μmの範囲の二酸化ケイ素粒子の粒子サイズ分布D90、
の少なくとも1つを有し、前記ppm及びppbは、いずれの場合も前記二酸化ケイ素造粒体の総重量に基づく請求項12又は請求項13に記載の方法。 - 石英ガラス体の製造方法であって、少なくとも
i.)請求項12から請求項14のいずれか1項に記載の方法によって得られる二酸化ケイ素造粒体を提供する工程と、
ii.)前記二酸化ケイ素造粒体からガラス融液を形成する工程と、
iii.)前記ガラス融液の少なくとも一部から石英ガラス体を形成する工程と
を含む方法。 - 光導体の製造方法であって、
A/請求項15に記載の方法によって得られる石英ガラス体を提供し、前記石英ガラス体を最初に加工して、少なくとも1つの開口部を有する中空体を得る工程と、
B/工程A/からの前記中空体に、前記少なくとも1つの開口部を介して1つ以上のコアロッドを挿入して前駆体を得る工程と、
C/前記前駆体を加熱しながら延伸して、1つ以上のコア及びジャケットM1を有する光導体を得る工程と
を含む方法。 - 発光体の製造方法であって、
(i)請求項15に記載の方法によって得られる石英ガラス体を提供し、前記石英ガラス体を最初に加工して、少なくとも1つの開口部を有する中空体を得る工程と、
(ii)前記中空体に、必要に応じて電極を装着する工程と、
(iii)工程(i)からの前記中空体にガスを充填する工程と
を含む方法。
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