JP7320882B2 - 反射標本のマクロ検査のためのシステム、方法および装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2019年12月6日に出願された「反射標本のマクロ検査のためのシステム、方法および装置」と題された16/705,674に優先権を主張し、これは、2019年8月7日に出願された「大規模な反射標本を画像化するための方法」と題された米国仮出願第62/883,931号の利益を主張し、その内容は参照によりその全体が組み込まれている。本出願は、2019年1月30日に出願された「マクロ検査システム、装置および方法」と題された米国特許出願第16/262,017号にさらに関連しており、その内容は参照によりその全体が組み込まれる。
Claims (18)
- 標本を保持するように構成された標本ステージと、
前記標本ステージから前記標本の1つまたは複数の画像をキャプチャするために前記標本ステージの上方に配置された1つまたは複数の画像化デバイスと、
前記標本ステージと前記1つまたは複数の画像化デバイスの間のプラットフォームに配置されたライトのセットと、
前記標本ステージ、前記1つまたは複数の画像化デバイス、および前記プラットフォームに結合された制御システムと、を含む検査装置であって、前記制御システムは、
1つまたは複数のプロセッサと、
メモリと、を含み、前記メモリは、
前記1つまたは複数のプロセッサによって実行された結果として、前記制御システムに、
前記標本の第1の画像をキャプチャするために前記1つまたは複数の画像化デバイスに第1の命令を提供することであって、前記第1の画像は、前記標本表面上の基準点を通過する線の第1の側に第1の画像化アーチファクトを含む、ことと、
前記標本の第2の画像をキャプチャするために、前記1つまたは複数の画像化デバイスに第2の命令を提供することであって、前記第2の画像は、前記基準点を通過する前記線の第2の側に第2の画像化アーチファクトを含み、前記第1の画像及び前記第2の画像は、前記第1の画像の第1の重複領域及び前記第2の画像の第2の重複領域を画定する複数の画素を共有することと、
前記第1の画像の前記第1の重複領域と前記第2の画像の前記第2の重複領域を比較して、前記標本の合成画像を形成するために前記第2の画像が前記第1の画像とともに使用可能であることを決定することと、
前記第1の画像から前記第1の画像化アーチファクトをトリミングし、前記第2の画像から前記第2の画像化アーチファクトをトリミングすることと、
前記第1の画像と前記第2の画像をデジタルでつなぎ合わせて、前記標本の前記合成画像を生成することであって、前記合成画像には、前記第1の画像化アーチファクトと前記第2の画像化アーチファクトがない、こととを、行わせる実行可能命令を記憶する、検査装置。 - 前記実行可能命令はさらに、前記制御システムに、
前記1つまたは複数の画像化デバイスを第1の方向に、前記基準点の前記第1の側の上方かつ前記第1の側の第1の位置に並進させて、前記標本の前記第1の画像をキャプチャすることと、
前記1つまたは複数の画像化デバイスを第2の方向に、前記基準点の前記第2の側の上方かつ前記第2の側の第2の位置に並進させて、前記標本の前記第2の画像をキャプチャすることと、を行わせる、請求項1に記載の検査装置。 - 前記実行可能命令はさらに、前記制御システムに、
前記標本ステージを第1の方向に、前記基準点の前記第1の側の下方かつ前記第1の側の第1の位置に並進させて、前記標本の前記第1の画像をキャプチャすることと、
前記標本ステージを第2の方向に、前記基準点の前記第2の側の下方かつ前記第2の側に並進させ、前記標本の前記第2の画像をキャプチャすることと、を行わせる、請求項1に記載の検査装置。 - 前記基準点が、前記標本の中心線に沿って配置される、請求項1に記載の検査装置。
- 前記標本ステージおよび前記1つまたは複数の画像化デバイスの少なくとも一方が回転軸に沿って移動可能である、請求項1に記載の検査装置。
- 前記1つまたは複数の画像化デバイスは、
前記基準点の前記第1の側の上方かつ前記第1の側に配置された第1の画像化デバイスと、
前記基準点の前記第2の側の上方かつ前記第2の側に配置された第2の画像化デバイスと、を含み、
前記検査装置は、前記第1の画像化デバイスおよび前記第2の画像化デバイスの下に配置されたアパーチャスライダーをさらに含み、前記アパーチャスライダーは、前記第1の画像化デバイスまたは前記第2の画像化デバイスのいずれかを使用して前記標本の画像のキャプチャを可能にする開口部を含む、請求項1に記載の検査装置。 - 前記実行可能命令はさらに、前記制御システムに、
前記第1の画像をキャプチャするために前記開口部が前記第1の画像化デバイスと位置合わせされるように、前記アパーチャスライダーを第1の位置に並進させることと、
前記第2の画像をキャプチャするために前記開口部が前記第2の画像化デバイスと位置合わせされるように、前記アパーチャスライダーを第2の位置に並進させることと、を行わせる、請求項6に記載の検査装置。 - 前記実行可能命令はさらに、前記制御システムに、
前記プラットフォームを並進させることと、
前記ライトのセットの1つまたは複数の組み合わせをアクティブ化して、照明プロファイルを決定することと、
前記標本の前記第1の画像を分析して、標本分類を識別することと、
前記標本分類に基づいて、前記照明プロファイルを選択することと、
前記照明プロファイルに従って、前記プラットフォームと前記ライトのセットを調整することと、を行わせる、請求項1に記載の検査装置。 - 前記標本ステージ上に保持された前記標本から反射されたライトを拡散して前記標本に戻すように構成されたバリアをさらに含む、請求項1に記載の検査装置。
- 検査装置の標本ステージで標本を受信することと、
前記検査装置の基準点を識別することと、
前記標本の第1の画像をキャプチャすることであって、前記第1の画像は、前記標本表面上の前記基準点を通過する線の第1の側に第1の画像化アーチファクトを含む、ことと、
前記標本の第2の画像をキャプチャすることであって、前記第2の画像は、前記基準点を通過する前記線の第2の側に第2の画像化アーチファクトを含む、ことと、
前記第1の画像の第1の重複領域及び前記第2の画像の第2の重複領域を識別し、前記第1の重複領域及び前記第2の重複領域は複数の画素を共有することと、
前記第1の画像の前記第1の重複領域と前記第2の画像の前記第2の重複領域を比較して、前記標本の合成画像を生成するために前記第2の画像が前記第1の画像とともに使用可能であることを決定することと、
前記第1の画像から前記第1の画像化アーチファクトをトリミングし、前記第2の画像から前記第2の画像化アーチファクトをトリミングすることと、
前記第1の画像と前記第2の画像をデジタルでつなぎ合わせて、前記標本の前記合成画像を生成することであって、前記合成画像には、前記第1の画像化アーチファクトと前記第2の画像化アーチファクトがない、ことと、を含む、方法。 - 前記検査装置の画像化デバイスを第1の方向に、前記基準点の前記第1の側の上方かつ前記第1の側の第1の位置に並進させて、前記第1の画像をキャプチャすることと、
前記検査装置の前記画像化デバイスを第2の方向に、前記基準点の前記第2の側の上方かつ前記第2の側の第2の位置に並進させて、前記標本の前記第2の画像をキャプチャすることと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記標本ステージを第1の方向に、前記基準点の前記第1の側の下方かつ前記第1の側の第1の位置に並進させて、前記第1の画像をキャプチャすることと、
前記標本ステージを、前記基準点の前記第2の側の下方かつ前記第2の側の第2の位置に並進させ、前記第2の画像をキャプチャすることと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記第1の画像をキャプチャするために、前記標本ステージを第1の位置に回転させることと、
前記第1の画像をトリミングして前記第1の画像の第1の部分を除去することであって、前記第1の部分は前記第1の画像化アーチファクトを含む、ことと、
前記標本ステージを第2の位置に回転させて、前記第2の画像をキャプチャすることと、
前記第2の画像をトリミングして前記第2の画像の第2の部分を除去することであって、前記第2の部分は、前記第2の画像化アーチファクトを含む、ことと、
前記第2の画像をデジタル回転させて、前記第2の画像の評価を開始することと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記検査装置のアパーチャスライダーを第1の方向に並進させて、開口部を前記検査装置の第1の画像化デバイスの下に配置して、前記第1の画像をキャプチャすることであって、前記第1の画像化デバイスは、前記基準点の前記第1の側の上方かつ前記第1の側に配置される、ことと、
前記検査装置の前記アパーチャスライダーを第2の方向に並進させて、前記開口部を前記検査装置の第2の画像化デバイスの下に配置して、前記第2の画像をキャプチャすることであって、前記第2の画像化デバイスは、前記基準点の前記第2の側の上方かつ前記第2の側に配置される、ことと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記検査装置のプラットフォームを並進させることであって、ライトのセットが前記プラットフォーム上に配置される、ことと、
照明プロファイルを決定するために、前記ライトのセットの1つまたは複数の組み合わせをアクティブ化することと、
前記標本の前記第1の画像を分析して、標本分類を識別することと、
前記標本分類に基づいて、前記照明プロファイルを選択することと、
前記照明プロファイルに従って前記プラットフォームと前記ライトのセットを調整することと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記検査装置の画像化デバイスを第1の方向に回転させて、前記画像化デバイスを前記基準点の前記第1の側に配置して、前記第1の画像をキャプチャすることと、
前記検査装置の前記画像化デバイスを第2の方向に回転させて、前記画像化デバイスを前記基準点の前記第2の側に配置して、前記第2の画像をキャプチャすることと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記標本ステージ上に保持された前記標本から反射されたライトを拡散して前記標本に戻すことをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記標本ステージが、X軸、Y軸、Z軸、および回転軸に沿って移動可能である、請求項10に記載の方法。
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