JP7320366B2 - アルミニウム蒸着フィルム積層体およびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、アルミニウム蒸着フィルムとプラスチックフィルムが押出ラミネート加工により接合されたフィルム積層体に関し、優れた密着性を有するとともに易引き裂き性を有するアルミニウム蒸着フィルム積層体およびその製造方法に関する。

プラスチックフィルムの表面に金属や金属酸化物などの各種薄膜を形成した蒸着フィルムは、食品、医薬品、工業用品等の包装用途や、電化製品等の加飾用途、電子機器材料、建築材料等の各種用途に広く用いられている。特に金属蒸着フィルムは、ガスバリア性能、光線遮断性能、加飾性などに優れることから包装用途に広範に用いられており、製造コスト、生産性、ガスバリア性能で最もバランスの取れたアルミニウム蒸着フィルムが広範に用いられている。

ところで、アルミニウム蒸着フィルムを包装用途に使用するにあたり、表層材料やシーラントフィルムとの積層体とするが、フィルム積層体への加工方法として接着性溶融樹脂を用いた押出ラミネート法、二液硬化型ウレタン系接着剤を用いたドライラミネート法が広範に用いられており、製造コスト、生産性で有利な押出ラミネート法が好ましく用いられる。

押出ラミネート法においては、アルミニウム蒸着層と接着性溶融樹脂との密着性が課題である。また、アルミニウム蒸着層は、高湿度環境下において、大気中の水分と反応して水酸化物となるため、押出ラミネート法により積層された積層体において、金属光沢が失われるとともに、密着性、ガスバリア性能が低下する問題があった。

そのため、アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム蒸着層表面に、二液硬化型の耐水性コート層をさらに設けることで密着性を確保し、アルミニウムの水酸化物への変化を防止することができる（例えば、特許文献１を参照）。

また、押出ラミネート法により、アルミニウム蒸着フィルムとプラスチックフィルムを貼り合わせる際、押し出される樹脂層の加熱溶融温度を高温にする方法やアルミニウム蒸着層と押し出される接着性樹脂層の間にアンカーコート層を設ける方法（例えば特許文献２を参照）、接着性樹脂に工夫を加えること（例えば特許文献３）が行われている。

特開２００１－１６２７１１号公報 特開２０１３－１２６７１９号公報 特開２０１５－１２８８９４号公報

特許文献１の技術では、しかし、高コスト、生産性低下となる問題があった
特許文献２、特許文献３の技術では、しかしながら、押し出される樹脂層の加熱溶融温度を高温にすることにより、アルミニウム蒸着フィルムが熱収縮し、アルミニウム層にクラックが生じ、ガスバリア性能および金属光沢が低下するとともに、アルミニウム蒸着フィルムの基材フィルムとアルミニウム蒸着層間で剥離し、アルミニウム蒸着フィルムの基材フィルムとアルミニウム蒸着層間の密着性が低下する問題があった。アンカーコート層を設けようとすると、コストアップに繋がり、アンカーコート剤に含まれるイソシアネート系硬化剤が、硬化反応せずに押し出される樹脂層の添加物と反応してしまい、十分な密着性が得られない問題があった。

一方、こういった積層体を用いた包装袋においては、開封するために切り口（ノッチ）から引き裂いた際に、直線的に容易に引き裂くことができ、意図しない方向に引き裂かれることで内容物が飛び散ったりこぼれたりすることがないことが要求されている。

本発明は、上記従来技術による問題点を解決することを目的とするものであり、アルミニウム蒸着フィルムにアンカーコート処理を行わなくても、押出ラミネート加工によりオレフィン樹脂層を介してプラスチックフィルムと強固に接合され、易引き裂き性を有するアルミニウム蒸着フィルム積層体およびその製造方法を提供する。

上記課題を達成するため、本発明は以下の構成をとる。

基材プラスチックフィルム上にアンカー金属蒸着層を介して、金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜が積層されたアルミニウム蒸着フィルムの該蒸着面と、プラスチックフィルムとが、オレフィン樹脂層により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体。

前記アルミニウム蒸着フィルム積層体のプラスチックフィルムが積層された反対側に第２のプラスチックフィルムがオレフィン樹脂層により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体。

オレフィン樹脂層がそれぞれのフィルムの長手方向に沿って押出ラミネート法により積層され、長手方向に沿ったＪＩＳＫ７１２８－１による引き裂き強度が１Ｎ以下である前記アルミニウム蒸着フィルム積層体。

長手方向に沿ったＪＩＳＫ７１２８－１による引き裂き強度試験において、１００ｍｍ長が引き裂かれた箇所における長手方向に沿った直線からの幅方向のずれが１０ｍｍ以内である前記アルミニウム蒸着フィルム積層体。

基材プラスチックフィルム上にアンカー金属蒸着層を介して、金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜を積層し、該蒸着膜が積層されたアルミニウム蒸着フィルム積層体の蒸着面とプラスチックフィルムとを押出ラミネート加工によりオレフィン樹脂層を介して接合するアルミニウム蒸着フィルム積層体の製造方法。

本発明は、アンカーコートなしの押出ラミネート加工により、アルミニウム蒸着フィルムとプラスチックフィルムとが安定した密着性を有して接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体を提供する。

本発明における積層体の実施形態の１例を示した構成図である。 本発明における積層体の実施形態の他の例を示した構成図である。 本発明における金属蒸着フィルムの実施形態の１例を示した構成図である。 一般的な真空蒸着装置の断面概略図である。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、図１に示すように、アルミニウム蒸着フィルム１１の蒸着面とプラスチックフィルム１３が押出ラミネート法によりオレフィン樹脂層１２を介して接合された積層体である。また、本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、図２に示すように、上記アルミニウム蒸着フィルム積層体のプラスチックフィルム１３が積層された反対側に第２のプラスチックフィルム１４がオレフィン樹脂層１２により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体とすることが好ましい。

また、この積層体に用いられるアルミニウム蒸着フィルムは、図３に示すように、基材プラスチックフィルム２４の少なくとも一方の面に、アンカー金属蒸着層２３を介して、金属アルミニウム層２２から酸化アルミニウム層２１へ連続的に組成変化する蒸着膜が積層された構成を有す。

アルミニウム蒸着フィルムに用いられる基材プラスチックフィルムとしては、蒸着加工適性を有していれば特に限定されないが、代表的な例としてはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレン２，６－ナフタレートなどのポリエステル、ポリビニルアルコール、エチレン・酢酸ビニル共重合体ケン化物、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、６ナイロン、１２ナイロンなどのポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミドなどの単独重合体または共重合体からなるフィルム、シートが挙げられる。好ましくは、蒸着加工適性により優れ、寸法安定性、耐熱性を有することが好ましい。本発明のアルミニウム蒸着フィルムに用いられる基材プラスチックフィルムは、経済性の点から二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好適に用いられる。

また、これらの基材プラスチックフィルムの表面に、コロナ処理、火炎処理、プラズマ処理、アンカーコート等の表面改質処理を施しても構わない。さらに、これらのプラスチックフィルムの厚さは、目的に応じ、蒸着加工適性、経済性の観点から、６～２５０μｍの範囲で選択される。

本発明におけるアルミニウム蒸着フィルムは、基材プラスチックフィルム上にアンカー金属蒸着層を介して、金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜が積層されたものである。基材プラスチックフィルム上にアンカー金属蒸着層を形成する方法としては、特に限定されるものではないが、特定の金属をターゲットとしたスパッタリング方式によることが、一定量を安定的に形成することができ好ましい。なかでも、プレーナーマグネトロン方式のスパッタリング方式は大電力を投入しやすく、放電の安定性の点からより好ましい。

本発明におけるアンカー金属蒸着層の金属はマグネシウム、ケイ素、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、パラジウム、銀、錫、タンタル、タングステンなどから選ぶことができるが、経済性と上記スパッタリングでの蒸着のしやすさから銅が好ましい。

アンカー金属蒸着層の金属を銅とした場合、その付着量は４０～１２０ｎｇ／ｃｍ^２の範囲とすることが好ましい。４０ｎｇ／ｃｍ^２未満になると基材プラスチックフィルムと金属アルミニウム層の密着強度が不十分となることがある。また、１２０ｎｇ／ｃｍ^２を超えるとプラズマ処理強度が強いため、基材プラスチックフィルムが劣化し、外観が問題となることがある。経済面からより好ましい付着量は４０～８０ｎｇ／ｃｍ^２の範囲である。

また、酸化アルミニウム層を積層するための方法は特に制限されるものではないが、金属アルミニウムを直接加熱して蒸発させ、酸素ガスとの反応により酸化アルミニウム層を形成する反応性蒸着法、酸素ガス雰囲気下でのイオンプレーティング法、酸化アルミニウムターゲットを用いたスパッタリング法、金属アルミニウムのターゲットを用い酸素ガスと反応させる反応性スパッタリング法、化学気相蒸着法などの公知の方法が使用できる。

本発明において、基材プラスチックフィルム上にアンカー金属蒸着層を介して、金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜が積層されたアルミニウム蒸着フィルムとするには、酸化アルミニウム層を積層するための方法としては上記の方法のうち金属アルミニウムを直接加熱して蒸発させ、金属アルミニウム層を蒸着しながら、蒸着の後半において酸素ガスとの反応により酸化アルミニウム層を形成する反応性蒸着法を採用することが好ましい。

本発明においては、例えば図４で示すように、真空槽内で基材プラスチックフィルムに連続的に金属アルミニウム層および酸化アルミニウム層を蒸着する真空蒸着装置３１を用いる。すなわち、真空装置内において、基材プラスチックフィルムロールを繰り出し軸３６から連続的に繰り出し、蒸着領域において、繰り出し側に設置されたプレーナーマグネトロン方式の放電電極３４によりアンカー金属層を蒸着し、巻取り側ガス導入部３５から酸素を供給しながら金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に組成変化する蒸着膜として順次形成する。

一般的に、基材プラスチックフィルム上に蒸着により形成された金属アルミニウム層の表面には、大気中の酸素等により１～４ｎｍの厚さの自然酸化膜が形成されるが、本発明においては、反応性蒸着法などにより、酸化アルミニウム層を形成することが必要であり、かつこれらの蒸着層を連続的に組成変化する層として形成することにより、各蒸着層間の界面における剥離の懸念がなくなるため、安定した密着性を得ることが可能になる。

本発明におけるアルミニウム蒸着フィルムのアンカー金属蒸着量はプレーナーマグネトロン方式のスパッタリング方式の放電電圧とフィルム搬送速度によって制御することができ、酸化アルミニウム層の厚さと酸化の程度は、反応性蒸着においてはフィルム搬送速度、光学濃度、酸素供給量によって制御することができる。

酸化アルミニウム層の厚さは、Ｘ線光電子分光法やオージェ電子分光法によって得られたアルミニウムおよび酸素のスパッタ深さにおける組成分布（いわゆるデプスプロファイル）と透過型電子顕微鏡における蒸着膜厚測定との相関から算出することができ、前述のごとく８～１５ｎｍの範囲であることが好ましく、蒸着加工適性、経済性の観点からさらに好ましくは８～１２ｎｍの範囲である。酸化アルミニウム層の厚さが８ｎｍ未満であると、押出ラミネートによる接着性樹脂との密着性が不十分となることがある。酸化アルミニウム層の厚さが１５ｎｍを超えると、金属アルミニウムと酸化アルミニウムが混合した状態の層が厚くなり、色調が褐色となって、金属光沢が不十分となる場合がある。

本発明におけるアルミニウム蒸着フィルムの光学濃度は、遮光性、経済性の観点から１．５～３．５の範囲が好ましい。光学濃度とは、特定の測定波長におけるアルミニウム蒸着ポリエステルフィルムの透過率をＴ（％）としたときに、ｌｏｇ（１００（％）／Ｔ（％））で計算される値である。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体において、アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面とラミネートされるプラスチックフィルムに特に制限はなく、代表的な例としてはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレン２，６－ナフタレートなどのポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンからなるフィルムが挙げられる。これらのフィルムには必要に応じて印刷が施され、該印刷面とアルミニウム蒸着フィルムの蒸着面がラミネートされる。この場合には、アルミニウム蒸着フィルムの基材プラスチックフィルム側にはシーラントフィルムとして、未延伸のポリオレフィン系フィルムがラミネートされる。また、本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体において、最内層のシーラントフィルムとして、未延伸のポリオレフィンフィルムなどが、アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面とラミネートされることもある。この場合は、アルミニウム蒸着フィルムの基材プラスチックフィルム側に直接印刷が施されたり、印刷が施された他のプラスチックフィルムがラミネートされたりすることで使用される。

押出ラミネート加工に使用されるオレフィン樹脂層となる押出樹脂としては、アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面とラミネートされるプラスチックフィルムに密着し、両者を強固に接合できるものであれば、特に制限はなく、密着性、外観、経済性によっても異なるが、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン・メタクリル酸共重合体、エチレン・酢酸ビニル共重合体、マレイン酸変性のポリオレフィン樹脂などのオレフィン樹脂が用いられる。本発明においては、酸成分の分解が少なく、アルミニウム蒸着薄膜層へのダメージが低いポリエチレンがより好ましく用いられる。押出ラミネートする条件としては、一般的な押出ラミネート条件で良く、必要に応じて、オゾン処理、コロナ処理を施しても構わない。本発明においてはアンカーコート処理を行うことなく強固な接合が達成できるが、より強固な接合を目的にアンカーコート処理を行うことを排除するものではない。これらオレフィン樹脂層の厚さは、５～１５μｍの範囲で設計される。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体において、蒸着膜とオレフィン樹脂層との密着強度は１Ｎ／１５ｍｍ以上であることが好ましい。密着強度が１Ｎ／１５ｍｍ未満であると、使用時に剥離が発生しやすく、後で述べる引き裂き強度が上昇したり、直線的に引き裂くことが困難となったりする場合があり、用途や積層体の構成が制限されることがある。好ましくは１．１Ｎ／１５ｍｍ以上である。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体のより好ましい具体的態様を以下説明する。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、基材プラスチックフィルムが好ましくは、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムであり、プラスチックフィルムが無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムである。すなわち、アルミニウム蒸着フィルム（二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム／蒸着層）／オレフィン樹脂層／無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムの構成である。

また、本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、好ましくは、上記アルミニウム蒸着フィルム積層体の無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムが積層された面の反対側に、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムまたは二軸延伸ポリプロピレンフィルムがオレフィン樹脂層により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体である。すなわち、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムまたは二軸延伸ポリプロピレンフィルム／オレフィン樹脂層／アルミニウム蒸着フィルム（二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム／蒸着層）／オレフィン樹脂層／無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムの構成である。

さらに、本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は好ましくは、基材プラスチックフィルムが二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムであり、プラスチックフィルムが二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムまたは二軸延伸ポリプロピレンフィルムであり、第２のプラスチックフィルムが無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムであるアルミニウム蒸着フィルム積層体である。すなわち二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムまたは二軸延伸ポリプロピレンフィルム／オレフィン樹脂層／アルミニウム蒸着フィルム（蒸着層／二軸延伸ポリエチレンフィルム）／オレフィン樹脂層／無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムの構成である。

これらのアルミニウム蒸着フィルム積層体において、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの厚さは９～１８μｍの範囲が好ましい。二軸延伸ポリプロピレンフィルムの厚さは１５～３０μｍの範囲が好ましい。

上記の無延伸ポリプロピレン系フィルムとは、ポリプロピレンを主成分としエチレン、ブテンなどと共重合したポリプロピレン系ランダム共重合体や、ブロック共重合体が好ましく用いられる。また無延伸ポリエチレン系フィルムとは、高圧法低密度ポリエチレンや直鎖状低密度ポリエチレンが好ましく用いられる。これらの厚さは２０～１００μｍの範囲のものがシール強度と経済性のバランスにより選択される。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、上記好ましい態様において、長手方向に沿ったＪＩＳＫ７１２８－１による引き裂き強度が１Ｎ以下であることが、引き裂きを容易とするため好ましい。

また、本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、上記ＪＩＳＫ７１２８－１に従って１００ｍｍ長が引き裂かれた箇所における長手方向に沿った直線からの幅方向のずれが１０ｍｍ以内であることが、思わぬ方向に引き裂けてトラブルとならないために好ましい。

以下、本発明について実施例を挙げて説明するが、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではない。なお、実施例及び比較例中の物性は,次のようにして測定した。

（１）押出ラミネート
（積層体１）
押出ラミネート機の第１給紙側にアルミニウム蒸着フィルム、第２給紙側に厚さ２０μｍの二軸延伸ポリプロピレンフィルムをセットし、Ｔダイから低密度ポリエチレン樹脂（住友化学（株）「スミカセン」（登録商標）Ｌ４２０）を樹脂温度３００℃で厚さ７μｍとなるように押出し、ニップロールによりこれら両フィルムで挟み込んで接合し、アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面側に二軸延伸ポリプロピレンフィルムを積層した積層体１を作製成した。

（積層体２）
押出ラミネート機の第１給紙側に積層体１、第２給紙側に厚さ４０μｍの直鎖状低密度ポリエチレンフィルム（トーセロ社製ＦＣＳ）をセットし、Ｔダイから低密度ポリエチレン樹脂（住友化学（株）「スミカセン」（登録商標）Ｌ４２０）を樹脂温度３００℃で厚さ７μｍとなるように押出し、ニップロールによりこれら両フィルムで挟み込んで接合し、積層体１の基材プラスチックフィルム側に直鎖状低密度ポリエチレンフィルムを積層した積層体２を作成した。

（積層体３）
押出ラミネート機の第１給紙側にアルミニウム蒸着フィルム、第２給紙側に厚さ４０μｍの直鎖状低密度ポリエチレンフィルム（トーセロ社製ＦＣＳ）をセットし、Ｔダイから低密度ポリエチレン樹脂（住友化学（株）「スミカセン」（登録商標）Ｌ４２０）を樹脂温度３００℃で厚さ７μｍとなるように押出し、ニップロールによりこれら両フィルムで挟み込んで接合し、アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面側に直鎖状低密度ポリエチレンフィルムを積層した積層体３を作製成した。

（積層体４）
押出ラミネート機の第１給紙側に上記積層体３、第２給紙側に厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムをセットし、Ｔダイから低密度ポリエチレン樹脂（住友化学（株）「スミカセン」（登録商標）Ｌ４２０）を樹脂温度３００℃で厚さ７μｍとなるように押出し、ニップロールによりこれら両フィルムで挟み込んで接合し、積層体３の基材プラスチックフィルム側に二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを積層した積層体４を作成した。

（２）ラミネート強度
上記（１）で作成した、押出ラミネート積層体１から、幅１５ｍｍ、長さ１５０ｍｍに切断したカットサンプルを作製し、(株)オリエンテック製「テンシロン」（ＲＴＧ－１２１０）を使用して、アルミニウム蒸着フィルムと二軸延伸ポリプロピレンフィルムをＴ型剥離法により、引張速度：５０ｍｍ／ｍｉｎで剥離し、ラミネート強度を測定した。

（３）蒸着膜厚
アルミニウム蒸着フィルムをマイクロサンプリング法でサンプリング後、収束イオンビーム加工装置（日立製作所製 ＦＢ－２０００）を用いて薄膜化を行った。その後、サンプル保護のため、炭素およびタングステン保護膜を形成した。このサンプルを電界放出形透過電子顕微鏡（日立製作所製 ＨＦ－２２００、以下ＴＥＭと称する）で観察し、観察写真より倍率を勘案して全蒸着膜厚を計算した。

（４）金属アルミニウム膜および酸化アルミニウム膜の膜厚
全自動走査型Ｘ線光電子分光分析装置（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製Ｑｕａｎｔｅｒａ ＳＸＭ、以下ＸＰＳと称する）を用いて、Ｘ線源ＡｌＫα、Ｘ線出力２５．１Ｗ、光電子取り出し角４５°で表面分析を行った。アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面側から、Ａｒイオンを用いて、Ａｒイオンエネルギー１ｋｅＶでスパッタを行ない、一定スパッタ時間毎に炭素、酸素、アルミニウムの元素について狭域光電子スペクトル測定を行い、Ｃ_１ｓ、Ｏ_１ｓ、Ａｌ_２ｐの狭域光電子ピーク面積強度比と相対感度係数から各元素の組成比を算出し、以下の方法に基づき深さ方向の組成分布を求めた。

まず、基材プラスチックフィルム側の炭素濃度に着目し、炭素濃度のピーク濃度の中間（１／２）濃度に対応したスパッタ時間を蒸着層と基材プラスチックフィルムの界面に到達したスパッタ時間と見なした。なお界面のアンカー金属層に由来する信号は小さく、無視した。（３）項のＴＥＭ観察による全蒸着膜厚と、上記界面に対応するスパッタ時間を関係付け、スパッタ時間に対応したスパッタ深さを計算した。

次に、酸化アルミニウム層中の酸素濃度に着目し、酸素濃度のピーク濃度の中間（１／２）濃度に対応したスパッタ時間から算出したスパッタ深さを酸化アルミニウム層と金属アルミニウム層の界面と見なした。

（５）銅蒸着層量（ｎｇ／ｃｍ^２）
アルミニウム蒸着フィルムより、１０ｃｍ角に切断したカットサンプルを作成し、カットサンプルを硝酸２０ｍｌに２４時間浸漬した後、得られた溶液の銅の吸光度（波長３２４．８ｎｍ）を原子吸光分光光度計（島津製作所社製 ＡＡ－６３００タイプ）で測定して、銅の溶解量（濃度）が分かっている標準サンプルを検量線として、銅蒸着層量を算出した。これらの算出を異なる４枚のカットサンプルを使用して行い、得られた値の平均値を銅蒸着層量（ｎｇ／ｃｍ^２）とした。

（６）外観（金属光沢）
外観を目視し、金属光沢の確認をした。明るい金属光沢のものを合格（○）とし、やや褐色がかって、くすんでいるが実用レベルの金属光沢のものを△、金属光沢のないものを×とした。

（７）積層体の引き裂き強度
ＪＩＳＫ７１２８－１：１９９８に準拠し、積層体２、３、４から長手方向１５０ｍｍ×幅方向５０ｍｍの長方形サンプルを切り出し、株式会社オリエンテック製「テンシロン」（ＲＴＧ－１２１０）を使用して２００ｍｍ／ｍｉｎの速度で、ＭＤ方向に引き裂き試験を行った。この測定を５回繰り返し、その平均値を求めた。

（８）積層体の直線カット性
上記引き裂き強度の測定の際、最初の切込みを起点に長手方向に直線を描いておき、引き裂き開始位置から１００ｍｍの位置における引き裂き箇所における直線からのＴＤ方向のズレを測定し、５サンプルの平均値で以下の判定を行った。
○：ズレが６ｍｍ未満。
△：ズレが６ｍｍ以上１０ｍｍ未満
×：ズレが１０ｍｍ以上
（実施例１）
アルミニウム蒸着フィルムの基材プラスチックフィルムとして、厚さ１２μｍ、幅２０４０ｍｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製“ルミラー”（登録商標）Ｐ６０、以下ＰＥＴフィルムと称する）を使用した。連続式真空蒸着機（（株）アルバック製）を用い、フィルム繰出部と蒸着部の間に、銅をターゲットとするプレーナーマグネトロン方式の放電電極を設置し、高周波電源（周波数６０ｋＨｚ）により供給された電圧をかけることで、プラズマを発生させ、フィルム上に８０ｎｇ／ｃｍ^２の銅蒸着層を形成した。さらにその上に高周波誘導加熱方式で加熱したるつぼから金属アルミニウムを蒸発させ、ＰＥＴフィルムを速度４２０ｍ／ｍｉｎで巻出し、巻き取り側ガス導入部より酸素ガスを６．６Ｌ／ｍｉｎ導入し、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。この際、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が２．５となるように、金属アルミニウム蒸発量を調整した。

（実施例２）
実施例１において、巻き取り側ガス導入部より酸素ガスを４．２Ｌ／ｍｉｎ導入した。他の条件は実施例１と同じとして、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

（実施例３）
実施例１において、巻き取り側ガス導入部より酸素ガスを８．９Ｌ／ｍｉｎ導入した。他の条件は実施例１と同じとして、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

（実施例４）
実施例１において、ＰＥＴフィルム上に４０ｎｇ／ｃｍ^２の銅蒸着層を形成した。他の条件は実施例１と同じとして、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

（実施例５）
実施例１において、ＰＥＴフィルム上に１２０ｎｇ／ｃｍ^２の銅蒸着層を形成した。他の条件は実施例１と同じとして、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

（実施例６）
実施例１と同様に、巻き取り側ガス導入部より酸素ガスを２．４Ｌ／ｍｉｎ導入した。他の条件は実施例１と同じとして、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

（実施例７）
実施例１と同様に、巻き取り側ガス導入部より酸素ガスを１１．４Ｌ／ｍｉｎ導入した。他の条件は実施例１と同じとして、金属アルミニウム層、酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

（比較例１）
実施例１において、ＰＥＴフィルム上に銅蒸着層を形成せず、酸素ガスを導入せずに、金属アルミニウム層を蒸着した。この際、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が２．５となるようにアルミニウム蒸発量を調整した。アルミニウム蒸着フィルムの蒸着層表面には、大気中の酸素と反応した酸化アルミニウム層が形成され、その薄膜層の膜厚は３．１ｎｍであった。

（比較例２）
実施例１において、ＰＥＴフィルム上に８０ｎｇ／ｃｍ^２の銅蒸着層を形成し、酸素ガスを導入せずに、金属アルミニウム層を蒸着した。金属蒸着フィルムのアルミニウム蒸着薄膜層表面には、大気中の酸素と反応した酸化アルミニウム薄膜層が形成され、その薄膜層の膜厚は３．１ｎｍであった。

（比較例３）
実施例１において、ＰＥＴフィルム上に銅蒸着層を形成せず、巻取り側ガス導入部より酸素ガスを６．６Ｌ／ｍｉｎ導入し、反応性蒸着により金属アルミニウム層および酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。

上記のようにして作製した各アルミニウム蒸着フィルムに、前記（１）で説明した押出ラミネートにより、アルミニウム蒸着フィルム積層体１～４を作成した。積層体１によりそのラミネート強度を、積層体２～４により引き裂き強度と直線カット性を評価した。評価結果を表１、表２、表３、表４に示す。

表１に示されるように実施例１から５のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、銅蒸着量が４０～１２０ｎｇ／ｃｍ^２および酸化アルミニウム層の厚さが８～１５ｎｍの範囲にあり、ラミネート剥離界面が蒸着膜（ＡＬ）と低密度ポリエチレン樹脂（ＰＥ）間であり、ラミネート強度も１Ｎ／１５ｍｍ以上で安定したラミネート強度を有するアルミニウム蒸着フィルム積層体であった。

実施例６では酸化アルミニウム蒸着層が薄いため、ラミネート強度が若干低めながら実用レベルであった。実施例７では酸化アルミニウム蒸着層が厚いためやや褐色がかった金属外観であったが実用レベルであった。

表２に示されるように、比較例１ではアンカー金属蒸着層がなく、比較例２では、本発明における金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜が積層されたものではなく、金属アルミニウム層表面に約３ｎｍの厚さの自然酸化膜が確認された。いずれもラミネート強度が不十分なものとなった。

比較例３では、ＰＥＴフィルム上にアンカー金属蒸着層を有していないためＰＥＴフィルムと金属アルミニウム層の密着が悪くＰＥＴ／蒸着膜（ＡＬ）間で剥離してしまいラミネート強度が不十分なものとなった。

本発明のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、引き裂き強度が低く、直線カット性も優れたものとなった。

１１：アルミニウム蒸着フィルム
１２：オレフィン樹脂層
１３：プラスチックフィルム
１４：第２のプラスチックフィルム
２１：酸化アルミニウム層
２２：金属アルミニウム層
２３：アンカー金属（銅）蒸着層
２４：基材プラスチックフィルム
３１：真空蒸着装置
３２：冷却ドラム
３３：蒸発源
３４：プレーナーマグネトロン方式の放電電極
３５：巻取り側ガス導入部
３６：繰り出し軸
３７：巻き取り軸
３８：基材プラスチックフィルム

Claims (9)

1. 基材プラスチックフィルム上に、金属が銅であり、銅付着量が４０～１２０ｎｇ／ｃｍ ^２ であるアンカー金属蒸着層を介して、
   金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜が積層されたアルミニウム蒸着フィルムの酸化アルミニウム層の厚さが８～１５ｎｍであり、
   アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面と、プラスチックフィルムとが、オレフィン樹脂層により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体。
2. 蒸着膜とオレフィン樹脂層との密着強度が１Ｎ／１５ｍｍ以上である請求項１に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
3. 請求項１または２に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体のプラスチックフィルムが積層された反対面側に第２のプラスチックフィルムがオレフィン樹脂層により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体。
4. 前記基材プラスチックフィルムが二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムであり、前記プラスチックフィルムが無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムである請求項１～３のいずれかに記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
5. 請求項４に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体の無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムが積層された面の反対側に二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムまたは二軸延伸ポリプロピレンフィルムがオレフィン樹脂層により接合されたアルミニウム蒸着フィルム積層体。
6. 前記基材プラスチックフィルムが二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムであり、前記プラスチックフィルムが二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムまたは二軸延伸ポリプロピレンフィルムであり、前記第２のプラスチックフィルムが無延伸ポリプロピレン系フィルムまたは無延伸ポリエチレン系フィルムである請求項３に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
7. オレフィン樹脂層がそれぞれのフィルムの長手方向に沿って押出ラミネート法により積層され、長手方向に沿ったＪＩＳ Ｋ ７１２８－１による引き裂き強度が１Ｎ以下である請求項４～６のいずれかに記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
8. ＪＩＳ Ｋ ７１２８－１による引き裂き強度試験において、１００ｍｍ長が引き裂かれた箇所における長手方向に沿った直線からの幅方向のずれが１０ｍｍ未満である請求項７に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
9. 基材プラスチックフィルム上に、金属が銅であり、銅付着量が４０～１２０ｎｇ／ｃｍ ^２ であるアンカー金属蒸着層を介して、
   金属アルミニウム層から酸化アルミニウム層へ連続的に組成変化する蒸着膜を積層し、
   酸化アルミニウム層の厚さが８～１５ｎｍである該蒸着膜が積層された、
   アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面と、プラスチックフィルムとを、押出ラミネート加工によりオレフィン樹脂層を介して接合するアルミニウム蒸着フィルム積層体の製造方法。