JP7319181B2 - 封止構造およびその製造方法 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の実施の形態1に係る封止構造の製造方法について、図1A~図1Mを参照して説明する。
次に、本発明の実施の形態2に係る封止構造の製造方法について、図2A~図2Gを参照して説明する。
Claims (6)
- 基部の主面に凹部を形成する第1工程と、
前記凹部の底面から前記基部を貫通する貫通孔を形成する第2工程と、
前記凹部の表面に金属層を形成する第3工程と、
前記金属層が形成された前記凹部の表面の、前記基部の主面と接する箇所から、前記基部の主面から前記貫通孔の方向にかけて、前記凹部の途中まで配置される溝部を形成する第4工程と、
前記基部の裏面側に、前記貫通孔で前記基部の主面側と連通するオイル収容部を形成する第5工程と、
前記オイル収容部および前記貫通孔にオイルを充填する第6工程と、
金属から構成された金属部材を、前記金属層が形成された前記凹部に配置する第7工程と、
前記凹部に配置された前記金属部材を加熱し、前記金属層に溶着した前記金属部材からなる封止部材で前記貫通孔を封止する第8工程と
を備える封止構造の製造方法。 - 請求項1記載の封止構造の製造方法において、
前記第4工程は、前記凹部に前記金属層の未形成部を設けることで前記溝部を形成することを特徴とする封止構造の製造方法。 - 請求項1または2記載の封止構造の製造方法において、
前記第8工程は、前記封止部材で前記凹部を埋める状態にすることを特徴とする封止構造の製造方法。 - 基部と、
前記基部の主面に形成された凹部と、
前記基部の裏面側に形成されたオイル収容部と、
前記凹部の底面から前記基部を貫通し、前記基部の主面側と前記オイル収容部とを連通する貫通孔と、
前記凹部の表面に形成された金属層と、
前記金属層が形成された前記凹部の表面の、前記基部の表面と接する箇所から、前記基部の主面から前記貫通孔の方向にかけて、前記凹部の途中まで形成された溝部と、
前記オイル収容部および前記貫通孔に充填されたオイルと、
金属から構成され、前記金属層に溶着することで前記貫通孔を封止する封止部材と
を備える封止構造。 - 請求項4記載の封止構造において、
前記溝部は、前記金属層の未形成部により構成されていることを特徴とする封止構造。 - 請求項4または5記載の封止構造において、
前記封止部材は、前記凹部を埋めて形成されていることを特徴とする封止構造。
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JP2018159597A (ja) | 2017-03-22 | 2018-10-11 | アズビル株式会社 | オイル封入方法 |
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