JP7316898B2 - 監視システムおよび監視方法 - Google Patents

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Description

本開示は、アルカリ度の監視システムおよび監視方法に関する。
アルミ、チタンなどの航空機部材の表面処理を行うラインには、脱脂、洗浄、エッチング、皮膜などの処理工程が存在する。各処理工程では、処理液の薬品の濃度を管理する必要がある。例えば、アルカリによる脱脂処理工程では、手作業での中和滴定法により処理液中のアルカリ度を計測し、処理液の濃度管理を行う。
なお、特許文献1には、半導体基板の表面洗浄工程における処理液中の各物質のアルカリ度を測定する方法が開示されている。特許文献1の測定方法では、処理液中の特定物質に反応して化学発光する発光物質を処理液に加えて発光させ、その発光光度に基づいて、特定物質のアルカリ度を測定する。
特開平7-306146号公報
上記のようにアルカリ度の計測は、手分析によって行うことが多い。処理液のアルカリ度を、常に定められた範囲内に維持するためには、連続的、継続的なアルカリ度の監視が必要である。しかし、手作業によるアルカリ度の計測には時間が掛かり、定期的にアルカリ度計測を行ったとしても、連続的な監視は難しい。また、脱脂処理槽のアルカリ度は、対象製品の処理数、処理時間、上流側の他の処理工程の影響を受ける。例えば、製品の処理数が急激に増加すれば、処理液のアルカリ度の変化も急激になる。しかし、手作業によるアルカリ度計測では、このような変化に対応しきれない可能性がある。
本開示は、上記課題を解決することができる監視システムおよび監視方法を提供する。
本開示の監視システムは、溶液が供給される反応槽と、前記反応槽に指示薬を滴下する指示薬ビュレットと、前記反応槽に酸性の試薬を滴下する試薬ビュレットと、前記溶液に浸される吸光光度検出器と、前記指示薬ビュレット、前記試薬ビュレットおよび前記吸光光度検出器を制御するとともに、前記吸光光度検出器が検出した前記溶液の透過率を解析して、前記溶液のアルカリ度を計測する計測装置と、アルカリ性の処理液を貯留する処理槽から前記処理液のサンプルを採取して、前記溶液として前記反応槽へ供給する第1システムと、前記反応槽から前記溶液を廃液容器へ排出する排出システムと、制御装置と、を備え、前記第1システムは、前記処理槽と、計量管と、希釈液容器と、前記反応槽と、前記処理槽と前記計量管とを接続する第1配管と、前記計量管と前記反応槽とを接続する第2配管と、前記計量管と前記廃液容器とを接続する第3配管と、前記計量管と前記希釈液容器とを接続する第4配管と、前記第1配管に設けられ、前記処理槽の前記処理液を引き込んで前記計量管へ送出する第1ポンプと、前記第3配管に設けられ、前記第1ポンプが送出した前記処理液を前記計量管へ引き込む第2ポンプと、前記第4配管に設けられ、前記希釈液容器に貯留された希釈液を引き込んで前記計量管へ送出する第3ポンプと、を備え、前記制御装置は、前記第1ポンプを運転し、さらに所定時間だけ前記第2ポンプを運転して計測に必要な所定量の前記処理液を前記計量管に引き込み、その後、前記第3ポンプを運転して前記希釈液を前記計量管に送出することにより、前記希釈液と前記計量管に引き込んだ前記処理液とを前記溶液として前記第2配管を通じて前記反応槽へ供給し、前記溶液の前記反応槽への供給が完了すると、完了信号を前記計測装置へ出力し、前記計測装置によるアルカリ度の計測が完了すると、前記排出システムを制御して、前記反応槽から前記溶液を排出する。
また、本開示の監視方法は、反応槽と、指示薬ビュレットと、試薬ビュレットと、プローブ型の吸光光度検出器と、アルカリ性の処理液を貯留する処理槽から前記処理液を採取して前記反応槽へ供給する第1システムと、前記反応槽から前記処理液を廃液容器へ排出する排出システムと、を備え、前記第1システムが、前記処理槽と、計量管と、希釈液容器と、前記反応槽と、前記処理槽と前記計量管とを接続する第1配管と、前記計量管と前記反応槽とを接続する第2配管と、前記計量管と前記廃液容器とを接続する第3配管と、前記計量管と前記希釈液容器とを接続する第4配管と、前記第1配管に設けられ、前記処理槽の前記処理液を引き込んで前記計量管へ送出する第1ポンプと、前記第3配管に設けられ、前記第1ポンプが送出した前記処理液を前記計量管へ引き込む第2ポンプと、前記第4配管に設けられ、前記希釈液容器に貯留された希釈液を引き込んで前記計量管へ送出する第3ポンプと、を備える監視システムが、前記第1ポンプを運転し、さらに所定時間だけ前記第2ポンプを運転して計測に必要な所定量の前記処理液を前記計量管に引き込み、その後、前記第3ポンプを運転して前記希釈液を前記計量管に送出することにより、前記希釈液と前記計量管に引き込んだ前記処理液とを溶液として前記第2配管を通じて前記反応槽へ供給し、前記指示薬ビュレットを動作させて、指示薬を前記反応槽に滴下し、前記試薬ビュレットを動作させて、酸性の試薬を繰り返し前記反応槽に滴下し、前記吸光光度検出器によって、前記試薬を滴下する度に前記処理液の透過率を検出し、前記透過率に基づいて、前記処理液のアルカリ度を計測し、前記アルカリ度の計測が完了すると、前記排出システムを制御して、前記反応槽の前記処理液を排出する。
上述の監視システムおよび監視方法によれば、処理液中のアルカリ度の監視を継続して連続的に行うことができる。
一実施形態に係る監視システムを含む表面処理ラインの概要図である。 一実施形態に係る監視システムの一例を示す構成図である。 一実施形態に係るアルカリ度の計測処理の一例を示すフローチャートである。 一実施形態に係る計測結果の一例を示す図である。 一実施形態に係る監視システムの制御の一例を示すフローチャートである。 一実施形態に係る計測装置と制御装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
<実施形態>
以下、一実施形態に係るアルカリ度の監視システムについて、図1~図6を参照しながら説明する。
(システム構成)
図1は、一実施形態に係る監視システムを含む表面処理ラインの概要図である。
図1に例示する表面処理ライン(例えば、航空機部材の表面処理ライン)は、全体工程のうちアルカリによる脱脂処理を行う工程を抜粋したものである。脱脂処理のラインには、アルカリ脱脂処理槽2、1次水洗処理槽3、2次水洗処理槽4などの複数の処理槽が設置されている。図示しないクレーンは、アルミ等を材料とする製品5を保持し、アルカリ脱脂処理槽2、1次水洗処理槽3、2次水洗処理槽4の順に搬送し、製品5を各処理槽の処理液へ浸漬させる。例えば、アルカリ脱脂処理槽2には、所定のアルカリ度のアルカリ処理液が貯留されており、製品5をアルカリ脱脂処理槽2に浸漬させて、製品5の表面から油を取り除く脱脂処理を行う。その後、製品5は、純水が貯留された1次水洗処理槽3および2次水洗処理槽4にて洗浄される。各処理槽の処理液に浸漬されつつ移動することで、製品5に対する脱脂処理が実行される。アルカリ脱脂処理槽2には、監視システム1が接続されている。監視システム1は、アルカリ脱脂処理槽2の処理液を採取し、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度を監視する。
図2は、一実施形態に係るアルカリ度監視システムの一例を示す構成図である。
監視システム1は、処理液のアルカリ度を計測システム20の反応槽26へ供給する第1システムと、反応槽26へ供給された溶液のアルカリ度を計測する計測システム20と、アルカリ度を計測した後に、反応槽26へ供給された溶液を排出する排出システムと、アルカリ度が既知の標準アルカリ溶液を反応槽26へ供給する第2システムと、純水を反応槽26へ供給する第3システムと、各システムを制御する制御装置30と、を備える。本実施形態では、反応槽26へ供給される被滴定物として、アルカリ脱脂処理槽2の処理液、アルカリ度既知の標準アルカリ液、純水の3種類を用いるが、これらおよびこれらに指示薬や試薬を滴下した液を溶液と呼ぶ。
第1システムは、ポンプP1~P5と、手動弁V1と、電磁弁EV1と、計量管13と、希釈液容器14と、計測システム20と、これらを接続する配管を含んで構成される。
排出システムは、ポンプP6~P7と、廃液トラップ15と、廃液容器16と、これらを接続する配管を含んで構成される。
第2システムは、第1システムにおけるポンプP1と、手動弁V1と、電磁弁EV1と、それらと継手F1を接続する配管を含まず、代わりに標準アルカリ溶液槽11と、電磁弁EV2と、それらと継手F1を接続する配管を含む。他の構成は、第1システムと同様である。
第3システムは、第1システムにおけるポンプP1と、手動弁V1と、電磁弁EV1と、それらと継手F1を接続する配管を含まず、代わりに純水槽12と、電磁弁EV3と、それらと継手F1を接続する配管を含む。他の構成は、第1システムと同様である。
計測システム20は、計測装置21と、HCL等の酸性の試薬を反応槽26へ滴下する試薬ビュレット22と、メチルオレンジやメチルレッド等の指示薬を反応槽26へ滴下する指示薬ビュレット23と、反応槽26の溶液中に挿入されるプローブ型の吸光光度検出器24と、反応槽26の溶液中に挿入される撹拌装置25と、を有している。計測装置21は、試薬ビュレット22と、指示薬ビュレット23と、吸光光度検出器24と、撹拌装置25と、接続されている。計測装置21は、試薬ビュレット22と、指示薬ビュレット23と、吸光光度検出器24と、撹拌装置25の動作を制御する。計測装置21は、吸光光度検出器24が検出した吸光度を取得し、取得した吸光度に基づいて滴定結果を解析し、溶液のアルカリ度を算出する。計測システム20は、制御装置30と接続されていて、制御装置30との間で制御信号を送受信する。
一般にアルカリの中和滴定では、電位差滴定装置を用いることが多い。電位差滴定装置は、ガラス電極を溶液中に浸し、PHの検出を行う。ガラス電極は、破損のおそれがあり、校正が必要とされる。本実施形態では、ガラス電極の代わりに吸光光度検出器24を溶液に浸し、光度滴定法によって、溶液のアルカリ度を計測する。また、計測システム20では、指示薬の添加、試薬の滴定、アルカリ度の計測のプロセスを自動化している。
制御装置30は、ポンプP1~P7と接続されていて、ポンプP1~P7の動作を制御する。制御装置30は、電磁弁EV1~EV3と接続されていて、電磁弁EV1~EV3の開度を制御する。制御装置30は、計量管13と接続されていて計量管13内部の3方弁131、132を切り替える。制御装置30は、計測装置21と接続されていて、計測装置21と連携して反応槽26への溶液の供給、反応槽26からの溶液の排出の制御を行う。また、制御装置30は、モニタ、ランプ、ブザー等の通知手段と接続されていて、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度に異常があると、その異常の発生を、通知手段を通じて監視員に通知する。
(第1システムの動作)
ポンプP1は、アルカリ脱脂処理槽2に接続された配管を通じて、アルカリ脱脂処理槽2から処理液のサンプルを第1システムへ引き込む。ポンプP1が吸引した処理液サンプルは、ポンプP1と継手F1を接続する配管へ送られる。この配管には、手動弁V1、電磁弁EV1が設けられている。手動弁V1は、通常、開状態とされており、ポンプP1が吸引した処理液サンプルは、電磁弁EV1にて流量を調整されて、継手F1に接続された計量管13へ送られる。制御装置30は、電磁弁EV1を所定の開度に制御する。計量管13は、三方弁131、132を有している。制御装置30は、処理液サンプルの流れが実線矢印方向となるように三方弁131、132を制御して、例えば、所定時間(計測に必要な量の処理液を吸引できる時間)だけポンプP2を駆動する。すると、所定量(例えば、1ml)の処理液サンプルが、ポンプP2によって吸引され、計量管13へ流入する。次に制御装置30は、計量管13に流入した処理液サンプルの流れが破線矢印方向となるように三方弁131、132を制御して、ポンプP3を駆動する。すると、希釈液容器14に貯留された希釈液が、ポンプP3によって、計量管13へ送出される。この希釈液が、計量管13内に流入した処理液サンプルを押し出すようにして、処理液サンプルと希釈液は反応槽26へ供給される。制御装置30は、所定時間ポンプP3を動作させ、希釈液とともに処理液サンプルを反応槽26へ供給する。また、反応槽26は、図示しない純水タンクとポンプP5を介して接続されており、制御装置30は、ポンプP5を動作させて、純水タンクの純水を反応槽26へ供給する。反応槽26の溶液の量が所定量(例えば、吸光光度検出器24が十分に浸されるだけの量)となると、制御装置30は、ポンプP5を停止する。これにより、反応槽26へ滴定対象の溶液が供給される。制御装置30は、処理液サンプルを含む溶液の供給が完了すると、溶液供給の完了を通知する完了信号を計測装置21へ出力する。
なお、希釈液容器14は、ポンプP4を介して図示しない純水タンクと接続されている。制御装置30は、希釈液容器14の希釈液(純水)の量が所定量よりも低下すると、ポンプP4を駆動して、希釈液容器14へ希釈液を充填する。
また、第1システムを動作させる場合、制御装置30は、電磁弁EV2、EV3を閉状態に制御する。
(計測システムの動作)
溶液供給の完了信号を取得すると、計測装置21は、アルカリ度の計測を開始する。図3を参照して、計測システム20による、溶液のアルカリ度の計測処理の流れを説明する。図3は、一実施形態に係るアルカリ度計測処理の一例を示すフローチャートである。
まず、計測装置21は、指示薬ビュレット23を動作させて所定量の指示薬を反応槽26へ滴下する(ステップS1)。例えば、メチルオレンジを滴下した場合、アルカリ性の溶液は黄色に着色される。次に計測装置21は、試薬ビュレット22を動作させて、所定量(例えば、0.1M)の試薬を反応槽26に滴下する(ステップS2)。試薬が滴下されると、計測装置21は、吸光光度検出器24へ透過率の検出を指示する。吸光光度検出器24は、反応槽26の溶液の透過率を検出し(ステップS3)、検出結果を計測装置21へ出力する。計測装置21は、透過率を記憶する。その後も、計測装置21は、ステップS2、S3の処理を繰り返す。つまり、計測装置21は、所定の時間間隔で試薬ビュレット22を動作させて、所定量ずつ繰り返し試薬を滴下する。また、試薬が滴下される度に、吸光光度検出器24は透過率を検出し、検出結果を計測装置21へ出力する。計測装置21は、吸光光度検出器24が検出した透過率を試薬の滴定回数または滴下総量とともに記憶する。試薬を滴下しつつ、計測装置21は、滴下を終了するかどうかを判定する(ステップS4)。滴下を終了しない場合(ステップS4;No)、計測装置21は、ステップS2、S3の処理を繰り返す。
ここで、図4を参照する。図4は、一実施形態に係る計測結果の一例を示す図である。図4の縦軸は、吸光光度検出器24が計測した透過率を示し、横軸は、反応槽26に滴下された試薬(HCL)の総量を示す。計測装置21は、所定量ずつHCLを滴下し、透過率が所定値以下に低下した後に、さらに所定回数だけHCLを滴下すると、試薬の滴下を終了するように構成されている。指示薬にメチルオレンジを使用した場合、溶液の色は、黄色、オレンジ、赤と変化する。計測装置21は、吸光光度検出器24が検出した透過率に基づいて、溶液の色が赤になったことを検出し、例えば、その後、数回だけHCLを滴下したところで(図示する終了点)、HCLの滴下を停止する。計測装置21は、滴下した試薬の総量が図示する終了点に達すると、滴下を終了すると判定し(ステップS4;Yes)、試薬ビュレット22の滴下動作を終了させる(ステップS5)。
試薬の滴下が終了すると、計測装置21は、図4に例示する透過率の変化から中和点を算出し、中和点におけるHCLの総量から、処理液サンプルのアルカリ度を算出する(ステップS6)。計量管13の制御により、反応槽26へ供給される処理液サンプルの量は一定に制御されるため、HCLの滴定量から処理液サンプルのアルカリ度を算出することができる。計測装置21は、処理液サンプルのアルカリ度を制御装置30へ出力する。
(排出システムの動作)
処理液のアルカリ度の通知を取得すると、制御装置30は、計測されたアルカリ度が適切かどうかを判定し、通知手段により計測結果の適否を監視員に通知する。また、アルカリ度の通知により、今回の計測が完了したと判断し、次回の計測に備えて、反応槽26の溶液を排出する制御を行う。例えば、制御装置30は、ポンプP6を動作させ、反応槽26の溶液を、廃液トラップ15を介して廃液容器16へ排出させる。なお、廃液トラップ15は、空気を送出するポンプP7と接続されていて、制御装置30が、ポンプP7を動作させることにより、廃液トラップ15内に空気を取り込んで、廃液トラップ15内のガスを廃液トラップ15外へ放出させることができる。
このような第1システム、計測システム20、排出システムの制御を繰り返し行うことで、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度の自動監視を実現できる。なお、第1システムにより処理液サンプルを含む溶液を取り込み、計測システム20によってアルカリ度を計測し、排出システムによって処理液サンプルを含む溶液を排出する制御を行う周期は任意である。例えば、製品5の処理数が多い場合には、短い周期で処理液サンプルのアルカリ度を計測し、製品5の処理数が少ない場合には、処理液サンプルのアルカリ度を計測する周期を長くしてもよい。
監視システム1は、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度を計測するシステムに加え、計測システム20による計測精度を検査するためのシステムを有している。例えば、監視システム1は、アルカリ度が既知の標準アルカリ溶液や純水を反応槽26へ供給し、それらの液が供給されたときの計測システム20の計測値に基づいて、計測システム20の計測精度を検査する。次にこれらの機構について説明する。
(第2システムの動作)
標準アルカリ溶液槽11には、アルカリ度が既知の標準アルカリ溶液が貯留されている。標準アルカリ溶液槽11には、継手F1へつながる配管が接続されている。この配管には、電磁弁EV2が設けられている。第2システムを動作させる場合、制御装置30は、電磁弁EV2を所定の開度に制御し、電磁弁EV1、EV3を閉状態に制御する。制御装置30がポンプP2を動作させると、標準アルカリ溶液は、電磁弁EV2にて流量を調整されて、継手F1に接続された計量管13へ送られる。標準アルカリ溶液を反応槽26へ供給するときの残りの制御は、第1システムと同様である。つまり、制御装置30は、三方弁131、132とポンプP2、P3を制御して、所定量(1ml)の標準アルカリ溶液を反応槽26へ送り込む。また、制御装置30は、反応槽26の溶液量が所定の量となるように、ポンプP5を動作させて、純水を反応槽26へ送り込む。反応槽26への標準アルカリ溶液を含む溶液の供給が完了すると、制御装置30は、標準アルカリ溶液供給の完了を通知する完了信号を計測装置21へ出力する。
標準アルカリ溶液供給の完了信号を取得すると、計測装置21は、上記と同様に手順で、標準アルカリ溶液のアルカリ度を計測し、その結果を制御装置30に出力する。制御装置30は、計測装置21が計測したアルカリ度を標準アルカリ溶液の既知のアルカリ度と比較して、その差が所定の許容範囲内かどうかを判定する。制御装置30は、通知手段によって、判定結果を通知する。制御装置30は、上記したように排出システムを制御し、反応槽26の溶液を排出する。例えば、続いて第1システムを動作させることで、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度の監視を行うことができる。
(第3システムの動作)
純水槽12には、純水が貯留されている。純水槽12には、継手F1へつながる配管が接続されている。この配管には、電磁弁EV3が設けられている。第3システムを動作させる場合、制御装置30は、電磁弁EV3を所定の開度に制御し、電磁弁EV1、EV2を閉状態に制御する。制御装置30がポンプP2を動作させると、純水は、電磁弁EV3にて流量を調整されて、継手F1に接続された計量管13へ送られる。純水を反応槽26へ供給するときの残りの制御は、第1、第2システムと同様である。制御装置30は、三方弁131、132とポンプP2、P3を制御して、所定量(1ml)の純水を反応槽26へ送り込む。制御装置30は、ポンプP5を動作させて、図示しない純水タンクから純水を反応槽26へ送り込む。反応槽26への純水の溶液の供給が完了すると、制御装置30は、純水供給の完了信号を計測装置21へ出力する。
純水供給の完了信号を取得すると、計測装置21は、上記と同様に手順で、純水のアルカリ度を計測し、その結果を制御装置30に出力する。制御装置30は、計測装置21が計測したアルカリ度を純水のアルカリ度と比較して、その差が所定の許容範囲内かどうかを判定する。制御装置30は、通知手段によって、判定結果を通知する。制御装置30は、上記したように排出システムを制御し、反応槽26の溶液を排出する。
監視システム1では、第1システムを動作させてアルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度監視を所定の時間間隔(例えば、30分~1時間ごと)で、継続して連続的に行い、第2システムや第3システムによる計測システム20の計測精度検査を間欠的(例えば、1日ごと)に行う。上記のように制御装置30の制御により、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度監視と計測システム20の計測精度検査をスムーズに切り替えることができる。従って、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度監視を阻害することなく、計測システム20の計測精度検査を行って、アルカリ度監視の精度を維持することができる。また、計測システム20の計測精度が低下した場合には、速やかに計測システム20のメンテナンスを行って、精度のよいアルカリ度監視を再開することができる。
(監視システム1の制御)
次に図5を参照して、監視システム1の制御の一例を説明する。
図5は、一実施形態に係るアルカリ度監視システムの制御の一例を示すフローチャートである。前提として、制御装置30は、計測システム20の精度検査を行う時間(例えば、1日1回)、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度監視を行う時間帯(例えば、精度検査を行う時間を除く時間帯)、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度の許容範囲、標準アルカリ溶液のアルカリ度などの各情報を予め記憶しているとする。また、制御装置30は、ポンプP1を常時運転していて、電磁弁EV1を開くと、アルカリ脱脂処理槽2の処理液サンプルを監視システム1へ流入させることができる。また、制御装置30は、監視システム1の稼働中、以下の処理を所定の制御周期で行う。
まず、制御装置30が、計測システム20の精度検査を行う時間かどうかを判定する(ステップS11)。例えば、現在の時刻が、計測システム20の精度検査を行う時間に含まれている場合、制御装置30は、精度検査を行うと判定する。
精度検査を行うと判定した場合(ステップS11;Yes)、制御装置30は、標準アルカリ溶液による計測システム20の精度検査用に電磁弁E2等を制御する(ステップS17)。具体的には、制御装置30は、電磁弁EV2を適切な開度で開き、他の電磁弁EV1、EV3を閉とする。また、制御装置30は、ポンプP2、P3を動作させて、所定量の標準アルカリ溶液を反応槽26へ供給し、ポンプP5を動作させて、所定量の純水を反応槽26へ供給する。制御装置30は、溶液供給の完了信号を計測システム20(計測装置21)へ出力する。次に計測システム20は、標準アルカリ溶液のアルカリ度を計測する(ステップS18)。計測システム20は、図3、図4を用いて説明した処理によりアルカリ度の計測を行う。計測システム20は、計測したアルカリ度の値を制御装置30へ出力する。制御装置30は、アルカリ度の計測値を取得し、一時的に保持する。
次に制御装置30は、純水による計測システム20の精度検査用に電磁弁E3等を制御する(ステップS19)。具体的には、制御装置30は、電磁弁EV3を適切な開度で開き、他の電磁弁EV1、EV2を閉とする。また、制御装置30は、ポンプP2、P3を動作させて、所定量の純水を反応槽26へ供給し、ポンプP5を動作させて、所定量の純水を反応槽26へ供給する。制御装置30は、溶液供給の完了信号を計測システム20へ出力する。次に計測システム20は、純水のアルカリ度を計測する(ステップS20)。計測システム20は、図3、図4を用いて説明した処理により純水のアルカリ度の計測を行う。計測システム20は、計測したアルカリ度の値を制御装置30へ出力する。制御装置30は、アルカリ度の計測値を取得し、一時的に保持する。
次に制御装置30は、ステップS18、S20で計測されたアルカリ度の計測値が正確かどうかを判定する(ステップS21)。具体的には、制御装置30は、ステップS18で計測されたアルカリ度と、標準アルカリ溶液のアルカリ度との差が所定の許容範囲内であれば計測システム20(計測装置21)による計測値は正確であると判定し、差が許容範囲外であれば、計測システム20の計測値は正確ではないと判定する。また、制御装置30は、ステップS20で計測されたアルカリ度と、純水のアルカリ度との差が所定の許容範囲内であれば計測システム20の計測値は正確であると判定し、差が許容範囲外であれば、計測システム20の計測値は正確ではないと判定する。なお、制御装置30は、ステップS18、S20で計測されたアルカリ度とそれぞれの設定値との差の何れかが所定の許容範囲外であれば、計測システム20の計測値は正確ではないと判定してもよい。あるいは、制御装置30は、ステップS18、S20で計測されたアルカリ度とそれぞれの設定値との差の両方が所定の許容範囲外であれば、計測システム20の計測値は正確ではないと判定してもよい。計測システム20の計測値が正確ではないと判定した場合(ステップS21;No)、制御装置30は、計測システム20が故障している可能性があるとの警報を通知する(ステップS22)。例えば、制御装置30は、モニタにアルカリ度の計測値とともに警報を表示してもよい。アルカリ度の計測値が正確と判定した場合(ステップS21;Yes)、制御装置30は、計測システム20の計測値が正確であるとの通知を行う(ステップS23)。
ステップS20の判定結果に関わらず、制御装置30は、ステップS11からの処理を繰り返す。
なお、ここでは、計測システム20の精度検査を行う場合に、標準アルカリ溶液による精度検査と、純水による精度検査を連続的に行うこととしたが、標準アルカリ溶液による精度検査を行う時間と純水による精度検査を行う時間をずらして独立して行ってもよい。
一方、ステップS11の判定にて、精度検査を実行しないと判定した場合(ステップS11;No)、制御装置30は、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度の監視用に電磁弁EV1等を制御する(ステップS12)。具体的には、制御装置30は、電磁弁EV1を所定の開度で開き、他の電磁弁EV2、EV3を閉とする。また、制御装置30は、ポンプP2、P3を動作させて、所定量の処理液サンプルを、アルカリ脱脂処理槽2から反応槽26へ供給し、ポンプP5を動作させて、所定量の純水を反応槽26へ供給する。制御装置30は、溶液供給の完了信号を計測システム20へ出力する。計測システム20は、処理液サンプルのアルカリ度を計測する(ステップS13)。計測システム20は、計測したアルカリ度の値を制御装置30へ出力する。制御装置30は、アルカリ度の計測値を取得し、一時的に保持する。
次に制御装置30は、ステップS13で計測されたアルカリ度の計測値が適切かどうかを判定する(ステップS14)。具体的には、制御装置30は、ステップS13で計測されたアルカリ度と、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度の設定値との差が所定の許容範囲内であれば、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度は適切であると判定する。アルカリ度が適切であると判定した場合(ステップS14;Yes)、制御装置30は、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度が適切である旨を通知する(ステップS16)。アルカリ度が適切ではないと判定した場合(ステップS14;No)、制御装置30は、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度の異常を通知する(ステップS15)。例えば、制御装置30は、モニタにアルカリ度とともにアルカリ脱脂液や希釈液の添加を指示する表示を行ってもよい。
ステップS14の判定結果に関わらず、制御装置30は、ステップS11からの処理を繰り返す。
本実施形態の監視システム1は、アルカリ脱脂処理槽2の処理液サンプルを反応槽26に供給する第1システムと、標準アルカリ溶液(アルカリ度既知液)を反応槽26に供給する第2システムと、純水を反応槽26に供給する第3システムと、反応槽26から溶液を排出する排出システムと、を備える。そして、通常は、第1システムを動作させて、アルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度監視を継続して行う。また、間欠的に第2システムおよび第3システムを動作させて、計測システム20によるアルカリ度の計測精度の検査を行う。また、第1システム~第3システムの何れを動作させた場合でも、計測システム20によるアルカリ度の計測が終了すると、制御装置30は、排出システムを動作させて、反応槽26の溶液を排出する。従って、本実施形態によれば、アルカリ度の計測精度が保証されたアルカリ度監視を連続的に行うことができる。これにより、製品5の生産数のばらつき等によってアルカリ脱脂処理槽2のアルカリ度に変動が生じたとしても、その変動を速やかに検出し、対処することができる。従って、表面処理ラインにおける製品5の品質を確保し、歩留まりの発生を抑制することができる。
また、本実施形態の監視システム1は、一般的な中和滴定装置でPH計測用に用いられるガラス電極に代えて、プローブ型の吸光光度検出器24(例えば、UV吸収検出器)を備えた自動光度滴定装置(計測システム20)を備える。本実施形態の計測システム20であれば、ガラス電極の破損が生じることがなく、ガラス電極の校正作業の必要が無い。
なお、図2において、第2システムと第3システムの両方の機構を設ける監視システム1の構成例を示したが、片方だけを設ける構成としてもよい。
図6は、一実施形態に係る計測装置と制御装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
コンピュータ900は、CPU901、主記憶装置902、補助記憶装置903、入出力インタフェース904、通信インタフェース905を備える。
上述の計測装置21、制御装置30は、コンピュータ900に実装される。そして、上述した各機能は、プログラムの形式で補助記憶装置903に記憶されている。CPU901は、プログラムを補助記憶装置903から読み出して主記憶装置902に展開し、当該プログラムに従って上記処理を実行する。また、CPU901は、プログラムに従って、記憶領域を主記憶装置902に確保する。また、CPU901は、プログラムに従って、処理中のデータを記憶する記憶領域を補助記憶装置903に確保する。
なお、計測装置21、制御装置30の全部または一部の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより各機能部による処理を行ってもよい。ここでいう「コンピュータシステム」とは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、CD、DVD、USB等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。また、このプログラムが通信回線によってコンピュータ900に配信される場合、配信を受けたコンピュータ900が当該プログラムを主記憶装置902に展開し、上記処理を実行しても良い。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
以上のとおり、本開示に係るいくつかの実施形態を説明したが、これら全ての実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態及びその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
<付記>
各実施形態に記載の監視システム1監視方法は、例えば以下のように把握される。
(1)第1の態様に係る監視システム1は、溶液が供給される反応槽26と、前記反応槽26に指示薬を滴下する指示薬ビュレット23と、前記反応槽26に酸性の試薬(HCL)を滴下する試薬ビュレット22と、前記溶液に浸される吸光光度検出器24と、前記指示薬ビュレット23、前記試薬ビュレット22および前記吸光光度検出器24を制御するとともに、前記吸光光度検出器24が検出した前記溶液の透過率を解析して、前記溶液のアルカリ度を計測する計測装置21と、アルカリ性の処理液を貯留する処理槽(アルカリ脱脂処理槽2)から前記処理液のサンプルを採取して、前記溶液として前記反応槽26へ供給する第1システムと、前記反応槽26から前記溶液を排出する排出システムと、制御装置30と、を備え、前記制御装置30は、前記第1システムの動作を制御し、前記溶液の前記反応槽26への供給が完了すると、完了信号を前記計測装置21へ出力し、前記計測装置21によるアルカリ度の計測が完了すると、前記排出システムを制御して、前記反応槽26から前記溶液を排出する。
監視システム1によれば、第1システムによって処理液のサンプルを採取して計測システム20へ供給し、計測システム20が計測したアルカリ度を判定することによって、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度が適切かどうかを監視することができる。第1システム、計測装置21および排出システムを制御することによって、アルカリ脱脂処理槽2から反応槽26へのサンプルの供給、アルカリ度の計測、サンプルの排出を自動化できるので、連続的、継続的なアルカリ度の監視を行うことができる。
また、一般的にはガラス電極を用いて、アルカリ度の計測を行うことが多いが、監視システム1によれば、吸光光度検出器24を用いるので、ガラス電極の破損のおそれが無く校正の必要が無い。従って、反応槽26、指示薬ビュレット23、試薬ビュレット22、吸光光度検出器24、計測装置21を含む計測システム20は、取り扱いが容易で可搬性に優れる。
(2)第2の態様に係る監視システム1は、(1)の監視システム1であって、アルカリ度が既知の標準アルカリ溶液を前記反応槽へ供給する第2システム、をさらに備え、前記計測装置21は、前記標準アルカリ溶液のアルカリ度を計測し、前記制御装置30は、前記計測装置21が計測した前記標準アルカリ溶液のアルカリ度に基づいて、前記計測装置21による計測精度を評価する。
(2)の監視システム1によれば、第2システムによってアルカリ度が既知の溶液を反応槽26へ供給し、計測装置21が計測したアルカリ度と既知のアルカリ度とを比較することにより、計測装置21の計測精度を検査することができる。計測装置21の精度検査を行うことにより、アルカリ度の監視精度を確保することができる。
(3)第3の態様に係る監視システム1は、(1)または(2)の監視システム1であって、前記制御装置30は、前記第1システムを動作させ、前記第2システムを停止させて前記処理槽(アルカリ脱脂処理槽2)の前記アルカリ度の監視を行い、間欠的に前記第1システムを停止させ、その間、前記第2システムを動作させて前記計測装置による計測精度の評価を行う。
これにより、アルカリ脱脂処理槽2の処理液のアルカリ度の監視を連続的に行い、アルカリ度の監視の合間に計測装置21によるアルカリ度計測の精度を検査することができる。また、アルカリ度の監視と精度検査をスムーズに切り替えることができるので、安定的に監視を継続することができる。
(4)第4の態様に係る監視システム1は、(1)~(3)の監視システム1であって、純水を前記反応槽へ供給する第3システム、をさらに備え、前記制御装置30は、前記計測装置21が計測した前記純水のアルカリ度に基づいて、前記計測装置21による計測精度の評価を行う。
純水を用いて計測装置21によるアルカリ度の計測精度の評価を行うことで、アルカリ度の監視精度を確保することができる。
(6)第6の態様に係る監視方法は、反応槽と、指示薬ビュレットと、試薬ビュレットと、プローブ型の吸光光度検出器と、アルカリ性の処理液を貯留する処理槽から前記処理液を採取して前記反応槽へ供給する第1システムと、前記反応槽から前記処理液を排出する排出システムと、を備える監視システムが、前記第1システムを動作させて、前記処理液を前記反応槽へ供給し、前記指示薬ビュレットを動作させて、指示薬を前記反応槽に滴下し、前記試薬ビュレットを動作させて、酸性の試薬を繰り返し前記反応槽に滴下し、前記吸光光度検出器によって、前記試薬を滴下する度に前記処理液の透過率を検出し、前記透過率に基づいて、前記処理液のアルカリ度を算出し、前記アルカリ度の算出が完了すると、前記排出システムを制御して、前記反応槽の前記処理液を排出する。
1・・・監視システム
2・・・アルカリ脱脂処理槽
3・・・1次水洗処理槽
4・・・2次水洗処理槽
P1~P7・・・ポンプ
V1・・・手動弁
EV1~EV3・・・電磁弁
F1・・・継手
11・・・標準アルカリ溶液槽
12・・・純水槽
13・・・計量管
131、132・・・三方弁
14・・・希釈液容器
15・・・廃液トラップ
16・・・廃液容器
20・・・計測システム
21・・・計測装置
22・・・試薬ビュレット
23・・・指示薬ビュレット
24・・・吸光光度検出器
25・・・撹拌装置
26・・・反応槽
30・・・制御装置
200・・・自動添加システム
900・・・コンピュータ
901・・・CPU
902・・・主記憶装置
903・・・補助記憶装置
904・・・入出力インタフェース
905・・・通信インタフェース

Claims (6)

  1. 溶液が供給される反応槽と、
    前記反応槽に指示薬を滴下する指示薬ビュレットと、
    前記反応槽に酸性の試薬を滴下する試薬ビュレットと、
    前記溶液に浸される吸光光度検出器と、
    前記指示薬ビュレット、前記試薬ビュレットおよび前記吸光光度検出器を制御するとともに、前記吸光光度検出器が検出した前記溶液の透過率を解析して、前記溶液のアルカリ度を計測する計測装置と、
    アルカリ性の処理液を貯留する処理槽から前記処理液のサンプルを採取して、前記溶液として前記反応槽へ供給する第1システムと、
    前記反応槽から前記溶液を廃液容器へ排出する排出システムと、
    制御装置と、
    を備え、
    前記第1システムは、前記処理槽と、計量管と、希釈液容器と、前記反応槽と、
    前記処理槽と前記計量管とを接続する第1配管と、
    前記計量管と前記反応槽とを接続する第2配管と、
    前記計量管と前記廃液容器とを接続する第3配管と、
    前記計量管と前記希釈液容器とを接続する第4配管と、
    前記第1配管に設けられ、前記処理槽の前記処理液を引き込んで前記計量管へ送出する第1ポンプと、
    前記第3配管に設けられ、前記第1ポンプが送出した前記処理液を前記計量管へ引き込む第2ポンプと、
    前記第4配管に設けられ、前記希釈液容器に貯留された希釈液を引き込んで前記計量管へ送出する第3ポンプと、
    を備え、
    前記制御装置は、前記第1ポンプを運転し、さらに所定時間だけ前記第2ポンプを運転して計測に必要な所定量の前記処理液を前記計量管に引き込み、その後、前記第3ポンプを運転して前記希釈液を前記計量管に送出することにより、前記希釈液と前記計量管に引き込んだ前記処理液とを前記溶液として前記第2配管を通じて前記反応槽へ供給し、前記溶液の前記反応槽への供給が完了すると、完了信号を前記計測装置へ出力し、
    前記計測装置によるアルカリ度の計測が完了すると、前記排出システムを制御して、前記反応槽から前記溶液を排出する、
    監視システム。
  2. 前記第1システムは、純水タンクと、
    前記純水タンクと前記反応槽とを接続する第5配管と、
    前記第5配管に設けられ、前記純水タンクに貯留された純水を引き込んで前記反応槽へ送出する第4ポンプと、
    をさらに備え、
    前記制御装置は、前記第3ポンプを所定時間運転して前記希釈液を前記計量管に送出することにより、前記希釈液と前記計量管に引き込んだ前記処理液とを前記溶液として前記第2配管を通じて前記反応槽へ供給するとともに、前記第4ポンプを運転して前記純水を前記反応槽へ供給し、前記反応槽に供給された前記溶液及び前記純水が、前記吸光光度検出器が十分に浸される所定量となると、前記第4ポンプを停止し、前記完了信号を前記計測装置へ出力する、
    請求項1に記載の監視システム。
  3. アルカリ度が既知の標準アルカリ溶液を前記反応槽へ供給する第2システム、
    をさらに備え、
    前記計測装置は、前記標準アルカリ溶液のアルカリ度を計測し、
    前記制御装置は、前記計測装置が計測した前記標準アルカリ溶液のアルカリ度に基づいて前記計測装置による計測精度を評価する、
    請求項1又は請求項2に記載の監視システム。
  4. 前記制御装置は、前記第1システムを動作させ、前記第2システムを停止させて前記処理槽の前記アルカリ度の監視を行い、
    間欠的に前記第1システムを停止させ、その間、前記第2システムを動作させて前記計測装置による計測精度の評価を行う、
    請求項に記載の監視システム。
  5. 純水を前記反応槽へ供給する第3システム、をさらに備え、
    前記制御装置は、前記計測装置が計測した前記純水のアルカリ度に基づいて前記計測装置による計測精度の評価を行う、
    請求項1から請求項の何れか1項に記載の監視システム。
  6. 反応槽と、指示薬ビュレットと、試薬ビュレットと、プローブ型の吸光光度検出器と、アルカリ性の処理液を貯留する処理槽から前記処理液を採取して前記反応槽へ供給する第1システムと、前記反応槽から前記処理液を廃液容器へ排出する排出システムと、を備え
    前記第1システムが、前記処理槽と、計量管と、希釈液容器と、前記反応槽と、
    前記処理槽と前記計量管とを接続する第1配管と、
    前記計量管と前記反応槽とを接続する第2配管と、
    前記計量管と前記廃液容器とを接続する第3配管と、
    前記計量管と前記希釈液容器とを接続する第4配管と、
    前記第1配管に設けられ、前記処理槽の前記処理液を引き込んで前記計量管へ送出する第1ポンプと、
    前記第3配管に設けられ、前記第1ポンプが送出した前記処理液を前記計量管へ引き込む第2ポンプと、
    前記第4配管に設けられ、前記希釈液容器に貯留された希釈液を引き込んで前記計量管へ送出する第3ポンプと、
    を備える監視システムが、
    前記第1ポンプを運転し、さらに所定時間だけ前記第2ポンプを運転して計測に必要な所定量の前記処理液を前記計量管に引き込み、その後、前記第3ポンプを運転して前記希釈液を前記計量管に送出することにより、前記希釈液と前記計量管に引き込んだ前記処理液とを溶液として前記第2配管を通じて前記反応槽へ供給し、
    前記指示薬ビュレットを動作させて、指示薬を前記反応槽に滴下し、
    前記試薬ビュレットを動作させて、酸性の試薬を繰り返し前記反応槽に滴下し、
    前記吸光光度検出器によって、前記試薬を滴下する度に前記処理液の透過率を検出し、
    前記透過率に基づいて、前記処理液のアルカリ度を計測し、
    前記アルカリ度の計測が完了すると、前記排出システムを制御して、前記反応槽の前記処理液を排出する、
    監視方法。
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