JP7311665B2 - 帯状材料観察および帯状材料検査のための方法および装置 - Google Patents
帯状材料観察および帯状材料検査のための方法および装置 Download PDFInfo
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Description
使用されるセンサの解像度 1024×768
最大視野 およそ100mm×71mm
最少視野 およそ9mm×7mm
解像度 2596×1944(マトリックスセンサ2個)
最大視野 およそ120mm×90mm(広角レンズ)
最大視野 およそ32mm×24mm(望遠レンズ)
最少視野 およそ4mm×3mm(望遠レンズ)
-第一の照明を用いた100%検査のための撮像
-第二の照明を用いた100%検査のための撮像
-第一の照明を用い、視覚的表示を行うための高解像度での欠陥の撮像(散発的)
-第二の照明を用い、視覚的表示を行うための高解像度での欠陥の撮像(散発的)
-第一の照明を用いた帯状体観察のための撮像
-第二の照明を用いた帯状体観察のための撮像
帯状材料長さ(y)の方向および/または帯状材料幅(x)の方向において移動する帯状材料を観察および/または検査するための方法であって、
帯状材料(10)の第一部分の第一の撮像画像を第一の時点において、ビニング機能を備えるマトリックスチップ(20)を含むカメラ(110)を用いて作成するステップと、
前記帯状材料(10)の第二部分の第二の撮像画像を第二の時点において前記カメラを用いて作成するステップと、を含む方法において、
前記第一の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第一の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第一のビニング段階が用いられ、前記第二の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第二の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第二のビニング段階が用いられることを特徴とし、
それぞれ統合される画素の前記第一の数は、それぞれ統合される画素の前記第二の数より大きいか、または小さく、それにより前記第二の撮像画像に対して物理的ズーム機能が実現されることを特徴とする方法。
前記第一部分と前記第二部分は、同一または対応する二つの帯状材料部分であり、あるいは前記第二部分は、前記帯状材料(10)の前記第一部分の部分または前記第一部分の対応する部分であることを特徴とする実施の形態1に記載の方法。
前記第一の撮像画像に対して、第一の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第一のアクティブ領域(22)が用いられ、前記第二の撮像画像に対して、第二の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第二のアクティブ領域(24)が用いられ、特に前記第一のアクティブ領域(22)およびそれに対応して前記第一の視野は、前記第二のアクティブ領域(24)およびそれに対応して前記第二の視野と同じ大きさであるか、または前記第二のアクティブ領域およびそれに対応して前記第二の視野よりも大きいことを特徴とする実施の形態1または実施の形態2に記載の方法。
前記第二のアクティブ領域(24)は、前記マトリックスチップ(20)の前記第一のアクティブ領域(22)と同じアクティブ領域であり、あるいは前記第一のアクティブ領域(22)の部分であり、任意選択的に前記第二のアクティブ領域(24)は、前記第一のアクティブ領域(22)内部に設けられていることを特徴とする実施の形態3に記載の方法。
前記方法はさらに、利用者のために前記第一の撮像画像を表示するステップと、利用者の入力に応答して前記第二の撮像画像を作成するステップと、前記利用者のために前記第二の撮像画像を表示するステップとを含むことを特徴とする実施の形態1から実施の形態4のいずれか一つに記載の方法。
前記第二のビニング段階および、任意選択的に前記第二の視野は、前記利用者の入力に応じて選択されることを特徴とする実施の形態5に記載の方法。
前記第一のアクティブ領域(22)と前記第二のアクティブ領域(24)は同一でなく、特に前記第一の領域と前記第二の領域は重なり合うか、あるいは重なり合わないことを特徴とする実施の形態3に記載の方法。
前記方法はさらに、前記第一の撮像画像を評価し、前記帯状材料(10)上の少なくとも一つの欠陥(26)の位置を特定するステップと、
前記第二のビニング段階および/または前記第二のアクティブ領域を、前記帯状材料(10)上の前記欠陥(26)の前記位置に基づいて選択するステップと、を含むことを特徴とする実施の形態7に記載の方法。
前記第二の撮像画像は、前記第二の時点で前記欠陥(26)の前記位置に基づいて作成されることを特徴とする実施の形態8に記載の方法。
前記第二の撮像画像の前記第二のアクティブ領域(24)および/または前記第二の時点はさらに、前記帯状材料(10)が移動する帯状材料速度に応じて決定されることを特徴とする実施の形態9に記載の方法。
前記第二のアクティブ領域(24)に対して、前記帯状材料長さ(y)の方向における位置、前記帯状材料幅(x)の方向における位置、および/または前記欠陥(26)の前記位置と前記欠陥(26)の大きさに基づく値が決定されることを特徴とする実施の形態8から実施の形態10のいずれか一つに記載の方法。
複数の欠陥(26a,26b)の位置が特定され、対応する複数の第二の撮像画像が作成されることを特徴とする実施の形態8から実施の形態11のいずれか一つに記載の方法。
前記マトリックスチップ(20)は第一部分と第二部分(20a,20b)とに分割されており、前記第一部分(20a)は前記第一のビニング段階で作動するとともに前記第一の撮像画像のために用いられ、前記第二部分(20b)は前記第二のビニング段階で作動するとともに前記第二の撮像画像のために用いられ、特に前記第二部分(20b)は帯状材料移動方向において、前記第一部分(20a)の後にあることを特徴とする実施の形態3から実施の形態12のいずれか一つに記載の方法。
前記第二部分(20b)は、前記第一の撮像画像において欠陥(26,26a,26b)が見出されたときだけ、アクティブにされることを特徴とする実施の形態13に記載の方法。
前記第一部分(20a)は前記第二部分(20b)より大きく、特に、前記第一部分(20a)は前記第二部分(20b)の少なくとも2倍、少なくとも3倍、少なくとも5倍、または少なくとも9倍の大きさであることを特徴とする実施の形態13または実施の形態14に記載の方法。
連続的に第一の撮像画像は前記第一部分(20a)を用いて作成され、第二の撮像画像は前記第二部分(20b)を用いて作成され、特に前記第二の撮像画像は連続的にリングバッファに保存されることを特徴とする実施の形態13から実施の形態15のいずれか一つに記載の方法。
対応する第一の撮像画像において、少なくとも一つの欠陥(26,26a,26b)が確認された場合、対応する第二の撮像画像は、前記リングバッファから読み出され、および/または利用者のために提供され、および/または表示されることを特徴とする実施の形態16に記載の方法。
前記第一の撮像画像も前記第二の撮像画像も、前記帯状材料(10)の100%をカバーすることを特徴とする実施の形態16または実施の形態17に記載の方法。
前記ビニング機能のビニング段階を用いる際、前記画素は第一の方向に沿って、特に前記帯状材料長さ(y)の方向に沿って、第二の方向に沿って、特に前記帯状材料幅(x)の方向に沿って、あるいは前記第一の方向に沿うのと前記第二の方向に沿うのを組み合わせて統合されることを特徴とする実施の形態1から実施の形態18のいずれか一つに記載の方法。
前記ビニング機能のビニング段階を用いる際、前記マトリックスチップ(20)の前記画素は統合され、それにより、1×2,1×3,1×4,1×5,1×6,1×7,1×8,1×9,1×10,1×11,2×1,3×1,4×1,5×1,6×1,7×1,8×1,9×1,10×1,11×1,2×2,3×2,2×3,4×2,2×4,5×2,2×5,6×2,2×6,7×2,2×7,8×2,2×8,9×2,2×9,10×2,2×10,11×2,2×11,3×3,4×3,3×4,5×3,3×5,6×3,3×6,7×3,3×7,8×3,3×8,9×3,3×9,10×3,3×10,11×3,3×11,4×4,5×4,4×5,6×4,4×6,7×4,4×7,8×4,4×8,9×4,4×9,10×4,4×10,11×4,4×11,5×5,6×5,5×6,7×5,5×7,8×5,5×8,9×5,5×9,10×5,5×10,11×5,5×11,6×6,7×6,6×7,8×6,6×8,9×6,6×9,10×6,6×10,11×6,6×11,7×7,8×7,7×8,9×7,7×9,10×7,7×10,11×7,7×11,8×8,9×8,8×9,10×8,8×10,11×8,8×11,9×9,10×9,9×10,11×9,9×11,10×10,11×10,10×11,または11×11画素の画素サイズを備える仮想画素が生じることを特徴とする実施の形態19に記載の方法。
特に前記ビニング機能を用いる際に生じている隣接する複数の物理的画素もしくは仮想画素の補間によって、さらにデジタルズームが用いられ、それにより対応するビニング段階間の解像度における移行領域をカバーすることを特徴とする実施の形態1から実施の形態20のいずれか一つに記載の方法。
前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域および前記ビニング段階と、任意選択的にデジタルズームの応用とは、前記第一の撮像画像および第二の撮像画像に対して互いに調整され、それにより無段階ズーム機能が提供されることを特徴とする実施の形態1から実施の形態21のいずれか一つに記載の方法。
前記方法はさらに、前記マトリックスチップ(20)の最大物理的解像度に応じて、当該マトリックスチップ(20)のそれぞれのアクティブ領域と用いられるビニング段階とから、最適な比率を決定し、特に、前記撮像画像のために任意選択的に用いられる対物レンズ(112)に対する最適な特性を決定するステップを含むことを特徴とする実施の形態1から実施の形態22のいずれか一つに記載の方法。
前記帯状材料(10)は反復する反復模様を有することを特徴とし、反復模様ごとに対応するトリガ信号が提供され、前記第一の撮像画像の前記第一の時点は第一のトリガ信号によって決定され、前記第二の撮像画像の前記第二の時点は第二のトリガ信号によって決定され、それにより前記第一部分および第二部分は、前記帯状材料(10)上の対応する部分を表すことを特徴とする実施の形態1から実施の形態23のいずれか一つに記載の方法。
前記マトリックスチップ(20)は少なくとも16メガピクセル、少なくとも32メガピクセル、少なくとも50メガピクセル、少なくとも70メガピクセル、または少なくとも100メガピクセルの解像度を有することを特徴とする実施の形態1から実施の形態24のいずれか一つに記載の方法。
前記方法はさらに、前記第一部分の付加的な撮像画像を第三の時点において、前記第一のビニング段階を用いて作成し、前記第一部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第一部分の前記第一の撮像画像に対するものとは別の前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられるステップを含むことを特徴とする実施の形態1から実施の形態25のいずれか一つに記載の方法。
前記第三の時点は前記第一の時点の後にあり、特に前記第三の時点は前記第二の時点の前、あるいは前記第二の時点の後にあることを特徴とする実施の形態26に記載の方法。
前記第一部分の前記二つの撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを特徴とする実施の形態26または実施の形態27に記載の方法。
前記方法はさらに、前記第二部分の付加的な撮像画像を第四の時点において、前記第二のビニング段階を用いて作成し、前記第二部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第二部分の前記第二の撮像画像に対するものとは別の前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられるステップを含み、特に前記第二部分の前記二つの撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを特徴とする実施の形態26から実施の形態28のいずれか一つに記載の方法。
前記第四の時点は前記第二の時点の後、あるいは前記第三の時点の後にあることを特徴とする実施の形態29に記載の方法。
複数のカメラ(110)が用いられ、当該カメラはそれぞれ、ビニング機能を備えるマトリックスチップを有し、前記カメラのそれぞれは、実施の形態1から実施の形態30の対応する撮像画像を作成することを特徴とする実施の形態1から実施の形態30のいずれか一つに記載の方法。
前記カメラは前記帯状材料幅(x)にわたって配分されて設けられており、それにより前記カメラの視野は前記帯状材料幅(x)の方向において、互いに隣接するか、または重なることを特徴とする実施の形態31に記載の方法。
前記複数のカメラ(110)の撮像画像から、一の関連する撮像画像が特定されることを特徴とする実施の形態31または実施の形態32に記載の方法。
前記帯状材料長さ(y)の方向における前記カメラ同士の機械的なずれは、前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域を相応に選択することによって平準化されることを特徴とする実施の形態31から実施の形態33のいずれか一つに記載の方法。
帯状材料長さ(y)の方向および/または帯状材料幅(x)の方向に移動する帯状材料を観察および/または検査するための装置(100)であって、
高度な解像を行うマトリックスチップ(20)を含むカメラを含み、当該マトリックスチップ(20)にはビニング機能が実装されており、前記装置は制御ユニットを含む装置において、
前記制御ユニットが、
前記帯状材料(10)の第一部分の第一の撮像画像が第一の時点において作成され、
前記帯状材料(10)の第二部分の第二の撮像画像が第二の時点において作成されることを生じさせるように設計されていることを特徴とし、
前記第一の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第一の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第一のビニング段階が用いられ、
前記第二の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第二の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第二のビニング段階が用いられ、
それぞれ統合される画素の前記第一の数は、それぞれ統合される画素の前記第二の数より大きいか、または小さく、それにより前記第二の撮像画像に対して物理的ズーム機能が実現されることを特徴とする装置。
前記装置はさらに、固定式の焦点距離を備える対物レンズ(112)を含むことを特徴とする実施の形態35に記載の装置。
前記第一部分と前記第二部分は、同一または対応する二つの帯状材料部分であり、あるいは前記第二部分は前記帯状材料(10)の前記第一部分の部分または前記第一部分の対応する部分であることを特徴とする実施の形態35または実施の形態36に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第一の撮像画像に対して、第一の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第一のアクティブ領域(22)を用い、前記第二の撮像画像に対して、第二の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第二のアクティブ領域(24)を用いるように設計されており、特に、前記第一のアクティブ領域(22)およびそれに対応して第一の視野は、前記第二のアクティブ領域(24)およびそれに対応して第二の視野と同じ大きさであるか、または前記第二のアクティブ領域およびそれに対応して第二の視野よりも大きいことを特徴とする実施の形態35から実施の形態37のいずれか一つに記載の装置。
前記第二のアクティブ領域(24)は、前記マトリックスチップ(20)の前記第一のアクティブ領域(22)と同じアクティブ領域であり、あるいは前記第一のアクティブ領域の部分であり、任意選択的に前記第二のアクティブ領域(24)は、前記第一のアクティブ領域(22)内部に設けられていることを特徴とする実施の形態38に記載の装置。
前記装置(100)はまた表示部を含み、前記制御ユニットは、利用者のために前記第一の撮像画像が前記表示部に表示され、利用者の入力に応答して前記第二の撮像画像が作成され、前記利用者のために前記第二の撮像画像が前記表示部に表示されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態39のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第二のビニング段階と、任意選択的に前記第二の視野とを、前記利用者の入力に応じて選択するように設計されていることを特徴とする実施の形態40に記載の装置。
前記第一のアクティブ領域(22)と前記第二のアクティブ領域(24)は同一でなく、特に前記第一の領域(22)と前記第二の領域(24)は重なり合い、あるいは重なり合わないことを特徴とする実施の形態38に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第一の撮像画像を評価し、前記帯状材料(10)上の少なくとも一つの欠陥(26)の位置を特定し、前記第二のビニング段階および/または前記第二のアクティブ領域(24)を、前記帯状材料(10)上の前記欠陥(26)の前記位置に基づいて決定するように設計されていることを特徴とする実施の形態42に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第二の撮像画像を前記第二の時点で、前記欠陥(26)の前記位置に基づいて作成するように設計されていることを特徴とする実施の形態43に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第二の撮像画像の前記第二のアクティブ領域(24)および/または前記第二の時点をさらに、前記帯状材料(10)が移動する帯状材料速度に応じて決定するように設計されていることを特徴とする実施の形態44に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第二のアクティブ領域(24)に対して、前記帯状材料長さ(y)の方向における位置、前記帯状材料幅(x)の方向における位置、および/または前記欠陥(26)の前記位置と前記欠陥(26)の大きさに基づく値を決定するように設計されていることを特徴とする実施の形態43から実施の形態45のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、複数の欠陥(26a,26b)の位置を特定し、対応する複数の第二の撮像画像が作成されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態43から実施の形態46のいずれか一つに記載の装置。
前記装置(100)はさらにセンサ(140)を含み、当該センサは前記帯状材料長さ(y)の方向における前記帯状材料(10)の走行距離または速度を特定し、対応する信号を提供するように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態47のいずれか一つに記載の装置。
前記マトリックスチップ(20)は第一部分と第二部分(20a,20b)とに分割されており、前記第一部分(20a)は前記第一のビニング段階で作動するとともに前記第一の撮像画像のために用いられ、前記第二部分(20b)は前記第二のビニング段階で作動するとともに前記第二の撮像画像のために用いられ、特に前記第二部分(20b)は帯状材料移動方向において、前記第一部分(20a)の後に設けられていることを特徴とする実施の形態38から実施の形態48のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第一の撮像画像において欠陥(26,26a,26b)が見出されたときだけ、前記第二部分(20b)をアクティブにするように設計されていることを特徴とする実施の形態49に記載の装置。
前記第一部分(20a)は前記第二部分(20b)より大きく、特に、前記第一部分(20a)は前記第二部分(20b)の少なくとも2倍、少なくとも3倍、少なくとも5倍、または少なくとも9倍の大きさであることを特徴とする実施の形態49または実施の形態50に記載の装置。
前記制御ユニットは、連続的に第一の撮像画像が前記第一部分(20a)を用いて作成され、第二の撮像画像が前記第二部分(20b)を用いて作成され、特に前記第二の撮像画像が連続的にリングバッファに保存されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態49から実施の形態51のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、対応する第一の撮像画像において、少なくとも一つの欠陥(26,26a,26b)が確認された場合、対応する第二の撮像画像が、前記リングバッファから読み出され、および/または利用者のために提供され、および/または前記表示部に表示されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態52に記載の装置。
前記装置は、前記第一の撮像画像も前記第二の撮像画像も、前記帯状材料(10)の100%をカバーするように設計されていることを特徴とする実施の形態52または実施の形態53に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記ビニング機能のビニング段階を用いる際、前記画素が第一の方向に沿って、特に前記帯状材料長さ(y)の方向に沿って、第二の方向に沿って、特に前記帯状材料幅(x)の方向に沿って、あるいは前記第一の方向に沿うのと前記第二の方向に沿うのを組み合わせて統合されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態54のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記ビニング機能のビニング段階を用いる際、前記マトリックスチップ(20)の前記画素が統合されることを生じさせるように設計されており、それにより、1×2,1×3,1×4,1×5,1×6,1×7,1×8,1×9,1×10,1×11,2×1,3×1,4×1,5×1,6×1,7×1,8×1,9×1,10×1,11×1,2×2,3×2,2×3,4×2,2×4,5×2,2×5,6×2,2×6,7×2,2×7,8×2,2×8,9×2,2×9,10×2,2×10,11×2,2×11,3×3,4×3,3×4,5×3,3×5,6×3,3×6,7×3,3×7,8×3,3×8,9×3,3×9,10×3,3×10,11×3,3×11,4×4,5×4,4×5,6×4,4×6,7×4,4×7,8×4,4×8,9×4,4×9,10×4,4×10,11×4,4×11,5×5,6×5,5×6,7×5,5×7,8×5,5×8,9×5,5×9,10×5,5×10,11×5,5×11,6×6,7×6,6×7,8×6,6×8,9×6,6×9,10×6,6×10,11×6,6×11,7×7,8×7,7×8,9×7,7×9,10×7,7×10,11×7,7×11,8×8,9×8,8×9,10×8,8×10,11×8,8×11,9×9,10×9,9×10,11×9,9×11,10×10,11×10,10×11,または11×11画素の画素サイズを備える仮想画素が生じることを特徴とする実施の形態55に記載の装置。
前記制御ユニットはさらに、特に前記ビニング機能を用いる際に生じている隣接する複数の物理的画素もしくは仮想画素の補間によって、デジタルズームを用いるように設計されており、それにより対応するビニング段階間の解像度における移行領域をカバーすることを特徴とする実施の形態35から実施の形態56のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域および前記ビニング段階と、任意選択的にデジタルズームの応用とを、前記第一の撮像画像および第二の撮像画像に対して互いに調整し、それにより無段階ズーム機能が提供されるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態57のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットはさらに、前記マトリックスチップ(20)の最大物理的解像度に応じて、当該マトリックスチップ(20)のそれぞれのアクティブ領域と用いられるビニング段階とから、最適な比率が決定されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態58のいずれか一つに記載の装置。
前記帯状材料(10)が反復する反復模様を有することを特徴とし、前記制御ユニットは、反復模様ごとに前記装置に対して提供される、対応するトリガ信号を処理するように設計されており、特に前記制御ユニットは、前記第一の撮像画像の前記第一の時点を第一のトリガ信号に基づいて決定し、前記第二の撮像画像の前記第二の時点を第二のトリガ信号に基づいて決定するように設計されており、それにより前記第一部分および第二部分は、前記帯状材料(10)上の対応する部分を表すことを特徴とする実施の形態35から実施の形態59のいずれか一つに記載の装置。
前記トリガ信号は前記制御ユニットによって提供され、前記制御ユニットは前記センサ(140)から情報を得、特に前記制御ユニットは、外部機器として設けられており、あるいは前記制御ユニットは直接的に前記カメラ(110)に内蔵されていることを特徴とする実施の形態60に記載の装置。
前記マトリックスチップ(20)は少なくとも16メガピクセル、少なくとも32メガピクセル、少なくとも50メガピクセル、少なくとも70メガピクセル、または少なくとも100メガピクセルの解像度を有することを特徴とする実施の形態35から実施の形態61のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第一部分の付加的な撮像画像が第三の時点において、前記第一のビニング段階を用いて作成され、前記第一部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第一部分の前記第一の撮像画像に対するものとは別の前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態62のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第三の時点が前記第一の時点の後にあり、特に前記第三の時点が前記第二の時点の前、あるいは前記第二の時点の後にあることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態63に記載の装置。
前記装置(100)は第一および第二の照明装置(120,130)を有し、それにより前記第一部分の前記二つの撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを特徴とする実施の形態63または実施の形態64に記載の装置。
前記第一および/または前記第二の照明装置(120,130)は、前記帯状材料幅(x)の方向に関して横断的に設けられていることを特徴とする実施の形態65に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第二部分の付加的な撮像画像が第四の時点において、前記第二のビニング段階を用いて作成され、前記第二部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第二部分の前記第二の撮像画像に対するものとは別のマトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられ、特に前記第二部分の前記二つの撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態63から実施の形態66のいずれか一つに記載の装置。
前記制御ユニットは、前記第四の時点が前記第二の時点の後、あるいは前記第三の時点の後にあることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態67に記載の装置。
前記装置(100)は、複数のカメラを有し、当該カメラはそれぞれ、ビニング機能を備えるマトリックスチップを含み、前記制御ユニットは、前記カメラのそれぞれが、前記実施の形態35から実施の形態68の対応する撮像画像を作成することを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態68のいずれか一つに記載の装置。
前記カメラは前記帯状材料幅(x)にわたって配分されて設けられており、それにより前記カメラの視野は前記帯状材料幅(x)の方向において、互いに隣接するか、または重なることを特徴とする実施の形態69に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記複数のカメラ(110)の撮像画像から、一の関連する撮像画像を特定するように設計されていることを特徴とする実施の形態69または実施の形態70に記載の装置。
前記制御ユニットは、前記帯状材料長さ(y)の方向における前記カメラ同士の機械的なずれを、前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域を相応に選択することによって平準化するように設計されていることを特徴とする実施の形態69から実施の形態71のいずれか一つに記載の装置。
前記装置(100)は帯状材料位置センサを有し、前記制御ユニットは、前記帯状材料位置センサの信号に基づいて、前記マトリックスセンサ(20)の前記アクティブ領域が決定されること、特に前記帯状材料幅(x)の方向における前記アクティブ領域の大きさおよび/または位置が調整されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態38から実施の形態72のいずれか一つに記載の装置。
少なくとも一つのカメラ(110)が前記帯状材料(10)の表面に設けられているとともに、少なくとも一つのカメラが前記帯状材料(10)の裏面に設けられており、前記制御ユニットは、前記カメラのそれぞれが、前記実施の形態35から実施の形態73の対応する撮像画像を作成することを生じさせるように設計されていることを特徴とする実施の形態35から実施の形態73のいずれか一つに記載の装置。
2 2×2ビニング
3 3×3ビニング
4 4×4ビニング
5 5×5ビニング
10 帯状材料
20 マトリックスチップ
20a マトリックスチップの第一部分
20b マトリックスチップの第二部分
22 第一のアクティブ領域
24 第二のアクティブ領域
26,26a,26b 欠陥
100 帯状材料を観察および/または検査するための装置
112 対物レンズ
120 照明装置
130 照明装置
140 センサ
150 マトリックスチップの最大可能アクティブ領域
x 帯状材料幅
y 帯状材料長さ
ROI 関心領域
Claims (34)
- 帯状材料長さ(y)の方向および/または帯状材料幅(x)の方向において移動する帯状材料を観察および/または検査するための方法であって、
帯状材料(10)の第一部分の第一の撮像画像を第一の時点において、ビニング機能を備えるマトリックスチップ(20)を含むカメラ(110)を用いて作成するステップと、
前記帯状材料(10)の第二部分の第二の撮像画像を第二の時点において前記カメラを用いて作成するステップと、を含む方法において、
前記第一の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第一の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第一のビニング段階が用いられ、前記第二の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第二の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第二のビニング段階が用いられることを特徴とし、それぞれ統合される画素の前記第一の数は、それぞれ統合される画素の前記第二の数より大きく、それにより前記第二の撮像画像に対して物理的ズーム機能が実現され、
前記第一の撮像画像に対して、第一の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第一のアクティブ領域(22)が用いられ、前記第二の撮像画像に対して、第二の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第二のアクティブ領域(24)が用いられ、前記第一のアクティブ領域(22)およびそれに対応して前記第一の視野は、前記第二のアクティブ領域(24)およびそれに対応して前記第二の視野と同じ大きさであるか、または前記第二のアクティブ領域およびそれに対応して前記第二の視野よりも大きく、
前記第一のアクティブ領域(22)と前記第二のアクティブ領域(24)は同一でなく、
前記方法はさらに、
利用者のために前記第一の撮像画像を表示するステップ、
利用者の入力に応答して前記第二の撮像画像を作成するステップ、および
前記利用者のために前記第二の撮像画像を表示するステップであって、前記第二のビニング段階は、前記利用者の入力に応じて選択される、ステップ
を含む、ことを特徴とする方法。 - 前記帯状材料は複数の反復模様を有し、前記第一部分と前記第二部分は、同一または対応する二つの帯状材料部分であり、あるいは前記第二部分は、前記帯状材料(10)の前記第一部分の部分または前記第一部分の対応する部分であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第二のアクティブ領域(24)は、前記第一のアクティブ領域(22)の部分であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第二の視野は、前記利用者の入力に応じて選択される、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第一のアクティブ領域と前記第二のアクティブ領域は重なり合うか、あるいは重なり合わないことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第二の撮像画像は、前記第二の時点で欠陥(26)の位置に基づいて作成されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 複数の欠陥(26a,26b)の位置が特定され、対応する複数の第二の撮像画像が作成されることを特徴とする請求項1または請求項6に記載の方法。
- 前記マトリックスチップ(20)は第一部分と第二部分(20a,20b)とに分割されており、前記第一部分(20a)は前記第一のビニング段階で作動するとともに前記第一の撮像画像のために用いられ、前記第二部分(20b)は前記第二のビニング段階で作動するとともに前記第二の撮像画像のために用いられ、特に前記第二部分(20b)は帯状材料移動方向において、前記第一部分(20a)の後にあることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第二部分(20b)は、前記第一の撮像画像において欠陥(26,26a,26b)が見出されたときだけ、アクティブにされることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記帯状材料は複数の反復模様を有し、連続的に第一の撮像画像は前記第一部分(20a)を用いて作成され、第二の撮像画像は前記第二部分(20b)を用いて作成され、特に前記第二の撮像画像は連続的にリングバッファに保存され、対応する第一の撮像画像において、少なくとも一つの欠陥(26,26a,26b)が確認された場合、対応する第二の撮像画像は、前記リングバッファから読み出され、および/または利用者のために提供され、および/または表示されることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の方法。
- 特に前記ビニング機能を用いる際に生じている隣接する複数の物理的画素もしくは仮想画素の補間によって、さらにデジタルズームが用いられ、それにより対応するビニング段階間の解像度における移行領域をカバーすることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マトリックスチップ(20)の前記第一のアクティブ領域および第二のアクティブ領域、前記第一のビニング段階および第二のビニング段階、ならびにデジタルズームの使用が、前記第一の撮像画像および第二の撮像画像に対して互いに調整され、それにより無段階ズーム機能が提供されることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記方法はさらに、前記第一部分の付加的な撮像画像を第三の時点において、前記第一のビニング段階を用いて作成し、前記第一部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第一部分の前記第一の撮像画像に対するものとは別の前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられるステップを含むことを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第三の時点は前記第一の時点の後にあり、特に前記第三の時点は前記第二の時点の前、あるいは前記第二の時点の後にあることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記第一部分の前記第一の撮像画像および前記第一部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを特徴とする請求項13または請求項14に記載の方法。
- 前記方法はさらに、前記第二部分の付加的な撮像画像を第四の時点において、前記第二のビニング段階を用いて作成し、前記第二部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第二部分の前記第二の撮像画像に対するものとは別の前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられるステップを含み、特に前記第二部分の前記第二の撮像画像および前記第二部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第四の時点は前記第二の時点の後、あるいは前記第三の時点の後にあることを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 複数のカメラ(110)が用いられ、当該カメラはそれぞれ、ビニング機能を備えるマトリックスチップを有し、前記カメラのそれぞれは、撮像画像を作成することを特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載の方法。
- 帯状材料長さ(y)の方向および/または帯状材料幅(x)の方向に移動する帯状材料を観察および/または検査するための装置(100)であって、
高度な解像を行うマトリックスチップ(20)を含むカメラを含み、当該マトリックスチップ(20)にはビニング機能が実装されており、前記装置は制御ユニットを含む装置において、
前記制御ユニットが、
前記帯状材料(10)の第一部分の第一の撮像画像が前記カメラ(110)を用いて第一の時点において作成され、
前記帯状材料(10)の第二部分の第二の撮像画像が前記カメラ(110)を用いて第二の時点において作成されることを前記帯状材料の観察および/または検査の間に生じさせるように設計されていることを特徴とし、
前記第一の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第一の数の画素が、 前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第一のビニング段階が用いられ、
前記第二の撮像画像に対して、前記マトリックスチップ(20)の第二の数の画素が、前記ビニング機能を用いてそれぞれ統合される第二のビニング段階が用いられ、
それぞれ統合される画素の前記第一の数は、それぞれ統合される画素の前記第二の数より大きく、それにより前記第二の撮像画像に対して物理的ズーム機能が実現され、
前記制御ユニットは、前記第一の撮像画像に対して、第一の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第一のアクティブ領域(22)を用い、前記第二の撮像画像に対して、第二の視野をカバーするために、前記マトリックスチップ(20)の第二のアクティブ領域(24)を用いるように設計されており、前記第一のアクティブ領域(22)およびそれに対応して第一の視野は、前記第二のアクティブ領域(24)およびそれに対応して第二の視野と同じ大きさであるか、または前記第二のアクティブ領域およびそれに対応して第二の視野よりも大きく、
前記第一のアクティブ領域(22)と前記第二のアクティブ領域(24)は同一でなく、
前記制御ユニットは、
前記第一の撮像画像を評価し、前記帯状材料(10)上の少なくとも一つの欠陥(26)の位置を特定し、かつ
前記第二のビニング段階および/または前記第二のアクティブ領域(24)を、前記帯状材料(10)上の前記欠陥(26)の前記位置に基づいて特定する
ように設計されていることを特徴とする装置。 - 前記帯状材料は複数の反復模様を有し、前記第一部分と前記第二部分は、同一または対応する二つの帯状材料部分であり、あるいは前記第二部分は前記帯状材料(10)の前記第一部分の部分または前記第一部分の対応する部分であることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記第一のアクティブ領域(22)と前記第二のアクティブ領域(24)は重なり合い、あるいは重なり合わないことを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記制御ユニットは、前記第二の撮像画像を前記第二の時点で、前記欠陥(26)の前記位置に基づいて作成するように設計されていることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記装置(100)はさらにセンサ(140)を含み、当該センサは前記帯状材料長さ(y)の方向における前記帯状材料(10)の走行距離または速度を特定し、対応する信号を提供するように設計されていることを特徴とする請求項19から22のいずれか一項に記載の装置。
- 前記マトリックスチップ(20)は第一部分と第二部分(20a,20b)とに分割されており、前記第一部分(20a)は前記第一のビニング段階で作動するとともに前記第一の撮像画像のために用いられ、前記第二部分(20b)は前記第二のビニング段階で作動するとともに前記第二の撮像画像のために用いられ、特に前記第二部分(20b)は帯状材料移動方向において、前記第一部分(20a)の後に設けられていることを特徴とする請求項19から23のいずれか一項に記載の装置。
- 前記帯状材料は複数の反復模様を有し、前記制御ユニットは、連続的に第一の撮像画像が前記第一部分(20a)を用いて作成され、第二の撮像画像が前記第二部分(20b)を用いて作成され、特に前記第二の撮像画像が連続的にリングバッファに保存されることを生じさせるように設計されており、前記制御ユニットは、対応する第一の撮像画像において、少なくとも一つの欠陥(26,26a,26b)が確認された場合、対応する第二の撮像画像が、前記リングバッファから読み出され、および/または利用者のために提供され、および/または表示部に表示されることを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項24に記載の装置。
- 前記帯状材料(10)が反復する反復模様を有することを特徴とし、前記制御ユニットは、反復模様ごとに前記装置に対して提供される、対応するトリガ信号を処理するように設計されており、特に前記制御ユニットは、前記第一の時点を第一のトリガ信号に基づいて決定し、前記第二の時点を第二のトリガ信号に基づいて決定するように設計されており、それにより前記第一部分および第二部分は、前記帯状材料(10)上の対応する部分を表すことを特徴とする請求項19から25のいずれか一項に記載の装置。
- 前記トリガ信号は前記制御ユニットによって提供され、前記制御ユニットはセンサ(140)から情報を得、特に前記制御ユニットは、外部機器として設けられており、あるいは前記制御ユニットは直接的に前記カメラ(110)に内蔵されていることを特徴とする請求項26に記載の装置。
- 前記制御ユニットは、前記第一部分の付加的な撮像画像が第三の時点において、前記第一のビニング段階を用いて作成され、前記第一部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第一部分の前記第一の撮像画像に対するものとは別の前記マトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられることを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項19から27のいずれか一項に記載の装置。
- 前記制御ユニットは、前記第三の時点が前記第一の時点の後にあり、特に前記第三の時点が前記第二の時点の前、あるいは前記第二の時点の後にあることを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項28に記載の装置。
- 前記装置(100)は第一および第二の照明装置(120,130)を有し、それにより前記第一部分の前記第一の撮像画像および前記第一部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを特徴とする請求項28または請求項29に記載の装置。
- 前記制御ユニットは、前記第二部分の付加的な撮像画像が第四の時点において、前記第二のビニング段階を用いて作成され、前記第二部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記第二部分の前記第二の撮像画像に対するものとは別のマトリックスチップ(20)のアクティブ領域が用いられ、特に前記第二部分の前記第二の撮像画像および前記第二部分の前記付加的な撮像画像に対して、前記帯状材料(10)を照明するために異なる照明種類が用いられることを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項28から30のいずれか一項に記載の装置。
- 前記制御ユニットは、前記第四の時点が前記第二の時点の後、あるいは前記第三の時点の後にあることを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項31に記載の装置。
- 前記装置(100)は、複数のカメラを有し、当該カメラはそれぞれ、ビニング機能を備えるマトリックスチップを含み、前記制御ユニットは、前記カメラのそれぞれが、撮像画像を作成することを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項19から32のいずれか一項に記載の装置。
- 少なくとも一つのカメラ(110)が前記帯状材料(10)の表面に設けられているとともに、少なくとも一つのカメラが前記帯状材料(10)の裏面に設けられており、前記制御ユニットは、前記カメラのそれぞれが、撮像画像を作成することを生じさせるように設計されていることを特徴とする請求項19から33のいずれか一項に記載の装置。
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