JP7311545B2 - Release film for manufacturing ceramic green sheets - Google Patents

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Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にセラミックグリーンシートと離型フィルムの剥離温度が高い場合、剥離角度が低い場合においても剥離力が低く、セラミックグリーンシートへのダメージを抑制することのできる超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。 The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet. More specifically, when the separation temperature between the ceramic green sheet and the release film is high during the production of an ultra-thin ceramic green sheet, the release film can be peeled off even when the peeling angle is low. The present invention relates to a release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet, which has a low force and can suppress damage to the ceramic green sheet.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、離型フィルムに、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシートに電極を印刷し離型フィルムから剥離したのち、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点を生じやすくなるといった問題点があった。そのため、優れた平坦性を有する離型層表面を実現するための手法が種々開発されてきた(例えば、特許文献1)。 Conventionally, a release film obtained by laminating a release layer on a polyester film as a base material has been used for molding ceramic green sheets such as laminated ceramic capacitors and ceramic substrates. In recent years, along with miniaturization and increase in capacity of laminated ceramic capacitors, the thickness of ceramic green sheets tends to be reduced. A ceramic green sheet is formed by coating a release film with a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin and drying the slurry. After electrodes are printed on the molded ceramic green sheets and separated from the release film, the ceramic green sheets are laminated, pressed, fired, and external electrodes are applied to manufacture the laminated ceramic capacitor. When molding a ceramic green sheet on the release layer surface of a polyester film, there is a problem that microscopic projections on the surface of the release layer affect the molded ceramic green sheet, making defects such as repelling and pinholes more likely to occur. there were. Therefore, various techniques have been developed for realizing a release layer surface having excellent flatness (for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm~1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、セラミックグリーンシートの強度が低下するため、離型層表面の平滑化だけではなく、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一に行うことが必要になってきた。つまり、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることがより重要になってきている。 However, in recent years, the thickness of ceramic green sheets has been further reduced, and ceramic green sheets having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically, a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm have been required. Therefore, since the strength of the ceramic green sheet decreases, it has become necessary not only to smooth the surface of the release layer, but also to perform a low and uniform release force when the ceramic green sheet is released from the release film. . In other words, it is becoming more important to minimize the force applied to the ceramic green sheets when peeling the ceramic green sheets from the release film so as not to damage the ceramic green sheets.

セラミックグリーンシートの剥離方法として、セラミックグリーンシート側を吸引ヘッドに固定し、端部からキャリアフィルムである離型フィルムを剥離していく方法が提案されている(例えば、特許文献2)。特許文献2の場合、装置のディメンジョンから剥離角度が約3°と低角度であることがわかる。一般的に剥離角度が90°より低角度になると剥離力が重くなることが知られている(例えば、非特許文献1)。また、セラミックシートを離型フィルムから剥離するヘッドと積層するヘッドが同一である場合がある。この場合、積層時にセラミックシート中のバインダー同士を融着させるため、剥離ヘッドには一定の温度がかけられている。 As a method for peeling a ceramic green sheet, a method has been proposed in which the ceramic green sheet side is fixed to a suction head and a release film, which is a carrier film, is peeled off from the edge (for example, Patent Document 2). In the case of Patent Document 2, it can be seen from the dimensions of the device that the peeling angle is as low as about 3°. Generally, it is known that when the peeling angle is lower than 90°, the peeling force becomes heavy (for example, Non-Patent Document 1). In some cases, the head for separating the ceramic sheet from the release film and the head for laminating the ceramic sheet are the same. In this case, a constant temperature is applied to the peeling head in order to fuse the binders in the ceramic sheets during lamination.

近年になって、紫外線硬化性樹脂を用いることで、離型層の表面が平滑になることが見出された。また、同時に離型層に含まれるシリコーン系成分、またはその硬化物によって、セラミックシートとの剥離性にも優れることが見出されている(例えば、特許文献3参照)。 In recent years, it has been found that the surface of the release layer can be made smooth by using an ultraviolet curable resin. At the same time, it has been found that the silicone-based component contained in the release layer or the cured product thereof is excellent in releasability from the ceramic sheet (see, for example, Patent Document 3).

しかしながら、特許文献3に記載された方法によると、離型層加工時にシリコーン成分が離型層表面に偏析しやすく、かつラジカル重合特有の表面硬化阻害が発生するため、離型層表面付近の耐溶剤性の悪化を招くという問題があった。離型層表面付近の耐溶剤性が悪いと、セラミックグリーンシート加工や内部電極印刷時に用いる有機溶剤、例えばトルエンなどによって離型層表面が浸食され、特に、低角度、高温でのセラミックグリーンシートを剥離する時の剥離力が顕著に増大してしまい、セラミックシートへダメージを与えてしまう問題があった。以上から、低角度での剥離力が低く、高温剥離においても剥離力が低い離型層が、セラミックグリーンシートへのダメージを減らす上で効果的であることに着目し、本発明をなすに至った。 However, according to the method described in Patent Document 3, the silicone component tends to segregate on the surface of the release layer during processing of the release layer, and surface curing inhibition peculiar to radical polymerization occurs. There is a problem that the deterioration of the solvent property is caused. If the solvent resistance near the surface of the release layer is poor, the surface of the release layer will be corroded by organic solvents such as toluene used during ceramic green sheet processing and internal electrode printing. There is a problem in that the peeling force at the time of peeling is remarkably increased, and the ceramic sheet is damaged. From the above, it was found that a release layer having a low peeling force at a low angle and a low peeling force even when peeled at a high temperature is effective in reducing damage to a ceramic green sheet, and the present invention has been completed. rice field.

特開2000-117899号公報JP-A-2000-117899 特開2004-031489号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-031489 国際公開第2013/145864号WO2013/145864

稲尾、佐伯、杉崎、清水、因幡、岸本、「粘着剤・剥離剤界面の剥離エネルギとその影響」、日本接着学会誌、Vol.48、No.9、p.308-313、2012年Inao, Saeki, Sugisaki, Shimizu, Inaba, Kishimoto, "Peeling Energy of Adhesive/Release Agent Interface and its Effect", Journal of Adhesion Society of Japan, Vol.48, No.9, p. 308-313, 2012

本発明は、上記実情に鑑み鋭意検討した結果、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにするために、離型フィルムの離型層表面の高い平滑性を維持し、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較してセラミックグリーンシート製造時に剥離角度が低角度の場合においても剥離力が低く、厚みが1μm以下の超薄層セラミックグリーンシートの製造においても剥離時の剥離力が低いセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。 As a result of intensive studies in view of the above-mentioned circumstances, the present invention has found that, in order not to damage the ceramic green sheets, the surface of the release layer of the release film is maintained with high smoothness. Ceramic green with low peeling force even when the peeling angle is low when manufacturing a ceramic green sheet compared to a release film, and low peeling force when manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet with a thickness of 1 μm or less. An object of the present invention is to provide a release film for sheet production.

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討した結果、ポリエステルフィルムを用い、少なくとも片面に離型層を設け、前記離型層上に塗布したセラミックシートと離型層との剥離温度50℃、剥離角度30°での剥離力F(T50/A30)が60mN/mm以下とすることでセラミックグリーンシートの剥離性に優れたセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供できることを見出した。 As a result of intensive studies by the present inventors in order to solve the above problems, a polyester film was used, a release layer was provided on at least one side, and a release temperature of 50 between the ceramic sheet applied on the release layer and the release layer C. and a peeling angle of 30.degree. C. and a peeling angle of 30.degree.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層された離型フィルムであって、前記離型層上にセラミックグリーンシート成型した場合に、セラミックグリーンシートと離型フィルムとの剥離温度50℃、剥離角度30°での剥離力F(T50/A30)が60mN/mm以下となるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 離型層上のナノインデンテーション試験により、前記離型層における前記基材とは反対側の面から測定される被膜弾性率が、2.0GPa以上である上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 離型層は、少なくとも離型剤及びバインダー成分を含有する塗膜が硬化されてなり、バインダー成分が離型層の固形分の85質量%以上である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 離型剤がシリコーン骨格を含んでおり、離型剤の含有量が離型層固形分に対して15質量%以下である上記第3に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
5. 離型層の膜厚が0.01μm~1.5μmである上記第1~第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
6. バインダー成分が、メラミン系化合物、エポキシ系化合物、アクリレート系化合物の少なくとも一つの架橋体からなる上記第3~第5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
7. ポリエステルフィルム基材の表面層Aとは反対側の表面層を形成している表面層Bが粒子を含有し、前記粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、粒子の合計が表面層B中に5000~15000ppm含有されている上記第1~第6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
8. 上記第1~第7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm~1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。
9. 上記第8に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention consists of the following configurations.
1. A polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A on at least one side that does not substantially contain inorganic particles, and the surface layer A on at least one side is separated directly or via another layer. When a release film is laminated with a mold layer, and a ceramic green sheet is formed on the release layer, the release force F at a release temperature of 50 ° C. and a release angle of 30 ° between the ceramic green sheet and the release film A release film for producing a ceramic green sheet having a (T50/A30) of 60 mN/mm or less.
2. 1. The ceramic green sheet production according to 1 above, wherein the film elastic modulus measured from the surface of the release layer opposite to the substrate is 2.0 GPa or more by a nanoindentation test on the release layer. release film.
3. The ceramic green according to the first or second above, wherein the release layer is formed by curing a coating film containing at least a release agent and a binder component, and the binder component accounts for 85% by mass or more of the solid content of the release layer. Release film for sheet manufacturing.
4. 3. The release film for producing a ceramic green sheet as described in 3 above, wherein the release agent contains a silicone skeleton and the content of the release agent is 15% by mass or less relative to the solid content of the release layer.
5. 4. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of 1 to 4 above, wherein the release layer has a thickness of 0.01 μm to 1.5 μm.
6. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above 3rd to 5th, wherein the binder component comprises a crosslinked product of at least one of a melamine-based compound, an epoxy-based compound and an acrylate-based compound.
7. The surface layer B forming the surface layer opposite to the surface layer A of the polyester film base contains particles, the particles are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total of the particles is the surface layer B 6. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of 1 to 6 above, which contains 5000 to 15000 ppm in the release film.
8. A method for producing a ceramic green sheet by molding a ceramic green sheet using the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to seventh items, wherein the molded ceramic green sheet has a thickness of 0.2 μm to 0.2 μm. A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm.
9. A method for manufacturing a ceramic capacitor employing the method for manufacturing a ceramic green sheet according to the eighth above.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層の表面が平滑であり、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較してセラミックグリーンシート製造時に剥離角度が低角度の場合においても剥離力が低く、セラミックグリーンシートへのダメージを抑制し0.2~1.0μmの超薄層のセラミックグリーンシートを製造することができる。 In the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, the surface of the release layer is smooth, and when the peeling angle is low during the production of the ceramic green sheet compared to the conventional release film for producing a ceramic green sheet, The release force is also low, and damage to the ceramic green sheet can be suppressed, and an ultra-thin ceramic green sheet with a thickness of 0.2 to 1.0 μm can be produced.

本発明における剥離力の測定方法を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the measuring method of the peeling force in this invention.

以下、本発明について詳細に説明する。 The present invention will be described in detail below.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に実質的に無機粒子を含有しない表面層Aを有しており、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されており、前記離型層上に塗布したセラミックシートと離型層との剥離温度50℃、剥離角度30°での剥離力F(T50/A30)が60mN/mm以下であることが好ましい。 The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention has a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles on at least one side of a polyester film, and directly or on the surface of the surface layer A on at least one side or another A release layer is laminated via layers, and the release force F (T50/A30) at a release temperature of 50°C and a release angle of 30° between the ceramic sheet applied on the release layer and the release layer is 60 mN. /mm or less.

(ポリエステルフィルム)
本発明における基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成形したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン-2,6-ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(polyester film)
The polyester that constitutes the polyester film used as the base material in the present invention is not particularly limited, and it is possible to use a film-formed polyester that is commonly used as a base material for a release film. It is preferably a crystalline linear saturated polyester comprising an aromatic dibasic acid component and a diol component, such as polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, or resins thereof. Component-based copolymers are more preferred, and polyester films formed from polyethylene terephthalate are particularly preferred. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol % or more, more preferably 95 mol % or more, and may be copolymerized with a small amount of other dicarboxylic acid component or diol component, but from the viewpoint of cost. , preferably made only from terephthalic acid and ethylene glycol. In addition, known additives such as antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, crystallization agents, etc. may be added within limits that do not impair the effects of the film of the present invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film because of its high bidirectional elastic modulus.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50~0.70dl/gが好ましく、0.52~0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料ペレットは十分に真空乾燥することが好ましい。 The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl/g, more preferably 0.52 to 0.62 dl/g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl/g or more, it is preferable because many breakages do not occur in the stretching process. Conversely, when it is 0.70 dl/g or less, the cutting performance is good when cutting into a predetermined product width, and dimensional defects do not occur, which is preferable. Moreover, it is preferable to sufficiently vacuum-dry the raw material pellets.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。 The method for producing the polyester film in the present invention is not particularly limited, and conventionally generally used methods can be used. For example, the polyester can be melted by an extruder, extruded into a film, cooled by a rotating cooling drum to obtain an unstretched film, and biaxially stretched to obtain the unstretched film. The biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a longitudinally or laterally uniaxially stretched film in the lateral direction or longitudinal direction, or by a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal direction and the lateral direction. I can.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1~8倍、特に2~6倍の延伸をすることが好ましい。 In the present invention, the stretching temperature during stretching of the polyester film is preferably higher than the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable that the film is stretched 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times, in each of the longitudinal and transverse directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12~50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15~38μmであり、より好ましくは、19μm~33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や離型層の加工工程、セラミックグリーンシートなどの成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。 The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 μm, more preferably 15 to 38 μm, more preferably 19 to 33 μm. If the thickness of the film is 12 μm or more, it is preferable because there is no risk of deformation due to heat during film production, the process of releasing the release layer, or the molding of ceramic green sheets. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film to be discarded after use is not excessively increased, which is preferable for reducing the environmental load.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有することが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層を表面層A、その反対面の層を表面層B、これら以外の芯層を層Cとすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながら層Cは複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。 The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but preferably has a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing particles and the like on the opposite side of the surface layer A which does not substantially contain inorganic particles. As a laminated structure, the layer on the side to which the release layer is applied is the surface layer A, the layer on the opposite side is the surface layer B, and the core layer other than these is the layer C. The layer structure in the thickness direction is release layer / Laminated structures such as A/B or release layer/A/C/B may be mentioned. As a matter of course, the layer C may be composed of a plurality of layers. Alternatively, the surface layer B may not contain particles. In that case, it is preferable to provide a coating layer containing particles and a binder on the surface layer B in order to impart lubricity for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the polyester film substrate of the present invention, the surface layer A forming the surface to be coated with the release layer preferably does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during molding of laminated ultra-thin ceramic green sheets, which is preferable. It can be said that the smaller the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more. Here, when the below-described anchor coat layer or the like is provided on the surface layer A, it is preferable that the coat layer does not substantially contain inorganic particles, and the region surface average roughness (Sa) after lamination of the coat layer is within the above range. It is preferable to enter In the present invention, "substantially free of inorganic particles" means a content of 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, most preferably a detection limit or less when the inorganic elements are quantified by fluorescence X-ray analysis. do. This is because even if inorganic particles are not positively added to the film, contaminants derived from foreign substances and dirt adhering to the lines and equipment in the raw material resin or film manufacturing process peel off and mix into the film. This is because there are cases.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される粒子含有量は、表面層B中に粒子の合計で5000~15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1~40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5~35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。 In the polyester film substrate of the present invention, the surface layer B, which forms the surface opposite to the surface to which the release layer is applied, preferably contains particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease with which air can escape. Silica particles and/or calcium carbonate particles are preferably used. The content of the particles contained in the surface layer B is preferably 5000 to 15000 ppm in total. At this time, the area average surface roughness (Sa) of the film of the surface layer B is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total amount of silica particles and/or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is wound into a roll, air can escape uniformly, resulting in a good roll shape and good flatness. , suitable for the production of ultra-thin ceramic green sheets. In addition, when the total amount of silica particles and/or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, aggregation of the lubricant is difficult to occur and coarse protrusions cannot be formed, so that the quality is stable when manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet. and preferred.

上記表面層Bに含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子などを用いることができる。透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましいが、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ-シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。 As the particles contained in the surface layer B, inert inorganic particles and/or heat-resistant organic particles can be used in addition to silica and/or calcium carbonate. Silica particles and/or calcium carbonate particles are preferably used from the viewpoint of transparency and cost, but other usable inorganic particles include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Examples of heat-resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. .

上記表面層Bに添加する粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。 The average particle diameter of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. If the average particle size of the particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. In addition, if the average particle size is 2.0 μm or less, it is preferable because there is no fear of generating pinholes in the ceramic green sheet due to coarse particles on the surface of the release layer.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。 The surface layer B may contain two or more kinds of particles made of different materials. Further, particles of the same type but different in average particle diameter may be contained.

なお、粒子の平均粒子径の測定方法は、加工後のフィルムの断面の粒子を透過型電子顕微鏡または走査型電子顕微鏡で観察を行い、凝集していない粒子100個を観察し、各粒子の最大径を粒子径とし、その平均値をもって平均粒子径とする方法で行う。 In addition, the method for measuring the average particle size of the particles is to observe the particles in the cross section of the film after processing with a transmission electron microscope or scanning electron microscope, observe 100 particles that are not agglomerated, and measure the maximum particle size of each particle. The diameter is defined as the particle diameter, and the average value thereof is defined as the average particle diameter.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1~40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5~35nmの範囲である。 When the surface layer B does not contain particles, it is preferable that a coating layer containing particles on the surface layer B provides lubricity. Although the present coat layer is not particularly limited, it is preferably provided as an in-line coat that is applied during film formation of the polyester film. When the surface layer B does not contain particles and the surface layer B has a coat layer containing particles, the surface of the coat layer has a region surface roughness (Sa) for the same reason as the region surface roughness (Sa) of the surface layer B The average surface roughness (Sa) is preferably in the range of 1-40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。 From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use recycled raw materials in the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, in order to prevent particles such as lubricant from being mixed.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さくなり好ましい。 The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, is preferably 20% or more and 50% or less of the total layer thickness of the base film. If it is 20% or more, the inside of the film is less likely to be affected by the particles contained in the surface layer B, etc., and it is easy for the region surface average roughness Sa to satisfy the above range, which is preferable. When the total thickness of the base film is 50% or less of the total thickness of the base film, the ratio of the recycled raw material used in the surface layer B can be increased, and the environmental load is reduced, which is preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50~90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、表面層Bに含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。 From the viewpoint of economy, the layers other than the surface layer A (the surface layer B or the intermediate layer C described above) may contain 50 to 90% by mass of recycled film scraps and PET bottle raw materials. Even in this case, the type and amount of lubricant contained in the surface layer B, the particle size, and the area surface average roughness (Sa) preferably satisfy the above ranges.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。 In addition, a film before or after uniaxial stretching is applied to the surface of the surface layer A and/or the surface layer B in order to improve the adhesion of a release layer to be applied later or to prevent electrification. A coat layer may be provided on the surface, and corona treatment or the like may be applied.

(離型層)
本発明における離型層は、少なくとも離型剤とバインダー成分を含む塗膜が硬化されてなることが好ましい。本発明における離型層は、架橋密度が高い方が好ましい。架橋密度を高めることで、弾性率も向上するため剥離時の変形を少なくすることで高温、低角度での剥離力を低くすることができる。また、離型層表面の耐溶剤性が高いことも高温、低角度での剥離力を低くする点で好ましい。離型層表面の耐溶剤性が高いことで、スラリー塗工時に溶剤による離型層表面の浸食などが防げる。溶剤浸食による離型層表面の変形を少なくすることで剥離力を低くすることができる。また、離型層中の離型剤は、バインダーと相互作用を保ったまま表面に適度に偏析していることも、高温、低角度での剥離力を低くする点で好ましい。
(release layer)
The release layer in the present invention is preferably formed by curing a coating film containing at least a release agent and a binder component. The release layer in the present invention preferably has a high crosslink density. By increasing the cross-linking density, the elastic modulus is also improved, so that the deformation during peeling is reduced, so that the peel force at high temperatures and low angles can be reduced. It is also preferable that the surface of the release layer has high solvent resistance in order to reduce the release force at high temperatures and low angles. Since the release layer surface has high solvent resistance, it is possible to prevent corrosion of the release layer surface by the solvent during slurry coating. Releasing force can be lowered by reducing deformation of the release layer surface due to solvent erosion. It is also preferable that the release agent in the release layer is appropriately segregated on the surface while maintaining interaction with the binder in terms of lowering the release force at high temperatures and low angles.

本発明における離型層に含まれるバインダー成分としては、特に限定されないが、離型層の架橋密度を高めるため、架橋できる成分が架橋されてなることが好ましい。バインダー成分は熱硬化系樹脂、紫外線硬化系樹脂などを用いることができる。架橋、硬化前の塗布液や塗膜中の構成物質である離型剤やバインダー成分等は、架橋、硬化された後の離型層中では化学構造的に変化している場合があるが、その架橋、硬化した状態の化学構造そのものを記載することは困難であるため、離型層は、少なくとも離型剤及びバインダー成分を含有する塗膜が硬化されてなると表現している。 The binder component contained in the release layer in the present invention is not particularly limited, but in order to increase the crosslink density of the release layer, a crosslinkable component is preferably crosslinked. A thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, or the like can be used as the binder component. The release agent, binder component, etc., which are constituents of the coating liquid and coating film before crosslinking and curing, may change in chemical structure in the release layer after crosslinking and curing. Since it is difficult to describe the chemical structure itself in its crosslinked and cured state, the release layer is expressed as a cured coating film containing at least a release agent and a binder component.

本発明における離型層に含まれるバインダー成分には、反応性官能基を1分子中に2つ以上含んでいることが好ましい。2つ以上の官能基を有することで架橋密度を高めることができるため好ましい。 The binder component contained in the release layer in the present invention preferably contains two or more reactive functional groups per molecule. Having two or more functional groups is preferable because the crosslink density can be increased.

熱硬化性樹脂の好適なバインダー成分としては、メラミン系化合物が挙げられる。メラミン系化合物を使用することで、架橋密度が高い離型層を得ることができるため好ましい。 Suitable binder components for thermosetting resins include melamine compounds. It is preferable to use a melamine-based compound because a release layer having a high cross-linking density can be obtained.

(メラミン系化合物)
本発明における離型層に用いるメラミン系樹脂としては、一般的なものを使用でき特に限定されないが、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られ、1分子中にトリアジン環、及びメチロール基及び/又はアルコキシメチル基をそれぞれ1つ以上有していることが好ましい。具体的には、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られるメチロールメラミン誘導体に、低級アルコールとしてメチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール等を脱水縮合反応させてエーテル化した化合物などが好ましい。メチロール化メラミン誘導体としては、例えばモノメチロールメラミン、ジメチロールメラミン、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ペンタメチロールメラミン、ヘキサメチロールメラミンを挙げることができる。1種類を用いても2種類以上も用いても構わない。
(melamine compound)
As the melamine-based resin used for the release layer in the present invention, a general one can be used without particular limitation, but it is obtained by condensing melamine and formaldehyde, and has a triazine ring and a methylol group and / or alkoxy in one molecule. Each preferably has one or more methyl groups. Specifically, a methylolmelamine derivative obtained by condensing melamine and formaldehyde is preferably etherified by dehydration condensation reaction with a lower alcohol such as methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, or butyl alcohol. Examples of methylolated melamine derivatives include monomethylolmelamine, dimethylolmelamine, trimethylolmelamine, tetramethylolmelamine, pentamethylolmelamine, and hexamethylolmelamine. One type may be used, or two or more types may be used.

本発明における離型層は、剥離力を低くするために架橋密度が高く高弾性率にすることが好ましい。そのため離型層に用いるメラミン系樹脂としては、離型層の架橋密度を高くすることができる、1分子中に多くの架橋点をもつヘキサメチロールメラミンを用いることが好ましい。 The release layer in the present invention preferably has a high crosslink density and a high elastic modulus in order to reduce the peeling force. Therefore, as the melamine-based resin used for the release layer, it is preferable to use hexamethylolmelamine, which has many cross-linking points in one molecule, so that the cross-linking density of the release layer can be increased.

本発明における離型層に用いるメラミン系樹脂として、メチロールメラミン誘導体にアルコールを用いて脱水縮合反応したエーテル化合物を用いる場合は、反応性の観点から、メチルアルコールで脱水縮合して得られたヘキサメトキシメチルメラミンが特に好ましい。 As the melamine-based resin used in the release layer in the present invention, when using an ether compound obtained by dehydration condensation reaction of a methylolmelamine derivative with alcohol, from the viewpoint of reactivity, hexamethoxy obtained by dehydration condensation with methyl alcohol Methylmelamine is particularly preferred.

本発明における離型層に用いるメラミン系樹脂において、重量平均分子量が1000未満であることが好ましい。より好ましくは、重量平均分子量が800未満、更に好ましくは600未満である。重量平均分子量が1000未満であれば、架橋反応が進行しやすく、より架橋密度の高い膜が形成できるため好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。 The melamine-based resin used for the release layer in the present invention preferably has a weight-average molecular weight of less than 1,000. More preferably, the weight average molecular weight is less than 800, more preferably less than 600. If the weight average molecular weight is less than 1,000, the cross-linking reaction proceeds easily and a film with a higher cross-linking density can be formed, which is preferable. In addition, the weight average molecular weight in this specification is the value of standard polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC) method.

本発明における離型層のバインダーとしてメラミン系化合物を用いる場合、メラミン系化合物の架橋反応を促進するために触媒を添加することが好ましい。用いる触媒としては、特に限定されないが既存の酸触媒を使用することができ、カルボン酸系、金属塩系、リン酸エステル系、スルホン酸系のものを好適に使用することができる。また、酸部位がブロックされたブロックタイプの触媒も使用することができる。 When a melamine-based compound is used as the binder for the release layer in the present invention, it is preferable to add a catalyst to promote the cross-linking reaction of the melamine-based compound. The catalyst to be used is not particularly limited, but existing acid catalysts can be used, and carboxylic acid, metal salt, phosphoric acid ester, and sulfonic acid catalysts can be preferably used. Block-type catalysts in which acid sites are blocked can also be used.

酸触媒として、スルホン酸系を用いる場合には、例えば、パラトルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、クメンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ジノニルナフタレンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸などを好適に使用することができ、パラトルエンスルホン酸が特に好適に使用することができる。 When a sulfonic acid system is used as the acid catalyst, for example, p-toluenesulfonic acid, xylenesulfonic acid, cumenesulfonic acid, dodecylbenzenesulfonic acid, dinonylnaphthalenesulfonic acid, trifluoromethanesulfonic acid, etc. are preferably used. and p-toluenesulfonic acid is particularly preferred.

酸触媒として、カルボン酸系を用いる場合には、例えば、安息香酸、酢酸、ギ酸、シュウ酸、プロピオン酸やそれらの誘導体などを使用することができる。カルボン酸系の酸触媒は、スルホン酸系など他の触媒と比較し酸性度が弱く反応性に劣ることが知られているが、本発明ではカルボン酸系でも十分使用することができる。また、カルボン酸系は、スルホン酸系に比べ反応が遅いため、乾燥工程で離型剤が表面に偏析しやすく、離型剤をより少量の添加で離型性の効果を発現することができるため好ましい。特に4-メチル安息香酸などは安価であり入手しやすく使用しやすい。 When carboxylic acids are used as acid catalysts, for example, benzoic acid, acetic acid, formic acid, oxalic acid, propionic acid, derivatives thereof, and the like can be used. Carboxylic acid-based acid catalysts are known to be weaker in acidity and less reactive than other catalysts such as sulfonic acid-based catalysts, but carboxylic acid-based catalysts can be sufficiently used in the present invention. In addition, since the carboxylic acid system reacts more slowly than the sulfonic acid system, the release agent tends to segregate on the surface during the drying process, and the release agent can be added in a smaller amount to exhibit the effect of release properties. Therefore, it is preferable. In particular, 4-methylbenzoic acid is inexpensive, readily available and easy to use.

酸触媒の添加量は、離型層に含まれるメラミン系樹脂に対して0.1~10質量%であることが好ましい。より好ましくは、0.5~8質量%である。さらに好ましくは0.5~5質量%である。0.1質量%以上であると、硬化反応が進みやすくなり好ましい。一方10質量%以下であると成型するセラミックグリーンシートへ酸触媒が移行するおそれがなく、悪影響を及ぼすおそれがないことから好ましい。 The amount of the acid catalyst to be added is preferably 0.1 to 10 mass % with respect to the melamine resin contained in the release layer. More preferably, it is 0.5 to 8% by mass. More preferably, it is 0.5 to 5% by mass. A content of 0.1% by mass or more is preferable because the curing reaction proceeds easily. On the other hand, when the content is 10% by mass or less, the acid catalyst is not likely to migrate to the ceramic green sheet to be molded, which is preferable because there is no possibility of having an adverse effect.

紫外線硬化樹脂の好適なバインダー成分としては、カチオン硬化系樹脂やラジカル硬化系樹脂が挙げられる。カチオン硬化系樹脂としては、エポキシ系化合物、エーテル系化合物、オキセタン系化合物が挙げられる。また、ラジカル硬化系樹脂としては、アクリレート系化合物が好適に使用することができる。カチオン硬化系樹脂の場合、エポキシ系化合物の反応性が高く好ましい。 Suitable binder components for the ultraviolet curable resin include cationic curable resins and radical curable resins. Cationic curable resins include epoxy compounds, ether compounds, and oxetane compounds. Moreover, an acrylate-based compound can be preferably used as the radical-curing resin. In the case of cationic curable resins, epoxy compounds are preferred because of their high reactivity.

(エポキシ系化合物)
本発明における離型層に用いるエポキシ基を含有する化合物の例としては、グリシジルエーテル型、グリシジルアミン型、グリシジルエステル型のエポキシや、脂環式エポキシが挙げられるが、特に、グリシジルエーテル型のエポキシと脂環式エポキシが好ましく、反応性の観点から脂環式エポキシを用いることが最も好ましい。グリシジルエーテル型のエポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂に代表される芳香族グリシジルエーテル、水添A型グリシジルエーテルやブチルグリジシルエーテルに代表される脂肪族グリシジルエーテル等が挙げられる。脂環式エポキシとしては、エステル骨格、ジシクロペンタジエン骨格、フルオレン骨格、ε-カプロラクトン骨格等を導入したものが例として挙げられ、これ以外の骨格を有していても良い。
(Epoxy compound)
Examples of the epoxy group-containing compound used for the release layer in the present invention include glycidyl ether type, glycidyl amine type, glycidyl ester type epoxy, and alicyclic epoxy. and alicyclic epoxies are preferred, and alicyclic epoxies are most preferred from the viewpoint of reactivity. Examples of glycidyl ether type epoxy compounds include aromatic glycidyl ethers typified by bisphenol type epoxy resins and cresol novolac type epoxy resins, and aliphatic glycidyl ethers typified by hydrogenated type A glycidyl ethers and butyl glycidyl ethers. be done. Examples of the alicyclic epoxy include those into which an ester skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, a fluorene skeleton, an ε-caprolactone skeleton, or the like is introduced, and may have other skeletons.

前記脂環式エポキシ化合物としては、市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、サイクロマー(登録商標)M100、セロキサイド(登録商標)2000(以上、ダイセル社製、1官能)、セロキサイド(登録商標)2021P、2081(以上、ダイセル社製、2官能)、エポリード(登録商標)GT401(ダイセル社製、4官能)、EHPE(登録商標)3150(ダイセル社製、多官能)などが挙げられる。 A commercially available one can also be used as the alicyclic epoxy compound. Examples of commercially available products include Cychromer (registered trademark) M100, Celoxide (registered trademark) 2000 (manufactured by Daicel, monofunctional), Celoxide (registered trademark) 2021P, 2081 (manufactured by Daicel, bifunctional). , Epolead (registered trademark) GT401 (manufactured by Daicel Corporation, tetrafunctional), EHPE (registered trademark) 3150 (manufactured by Daicel Corporation, multifunctional), and the like.

本発明における離型層に用いるエポキシ化合物は、単独で用いられてもよく、2種類以上が併用されてもよい。これらのエポキシ基含有化合物の中では、脂環式エポキシ化合物が特に好適であり、1分子に2官能以上を有する多官能の脂環式エポキシ樹脂がより好ましい。 The epoxy compound used for the release layer in the present invention may be used alone or in combination of two or more. Among these epoxy group-containing compounds, alicyclic epoxy compounds are particularly preferred, and polyfunctional alicyclic epoxy resins having two or more functionalities in one molecule are more preferred.

(カチオン重合開始剤)
本発明における離型層にカチオン系硬化樹脂を用いる場合、カチオン重合開始剤を用いることが好ましい。カチオン重合開始剤には、例えば、アリールジアゾニウム塩、アリールヨウドニウム塩アリールハロニウム塩、アリールスルホニウム塩などのオニウム塩、鉄-アレン錯体、チタノセン錯体、アリールシラノール-アルミニウム錯体などの有機金属錯体などが挙げられる。これらは単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Cationic polymerization initiator)
When using a cationic curable resin for the release layer in the present invention, it is preferable to use a cationic polymerization initiator. Cationic polymerization initiators include, for example, onium salts such as aryldiazonium salts, aryliodonium salts, arylhalonium salts, and arylsulfonium salts; mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

市販品としては、PCI-220、PCI-620(以上 日本化薬社製)、UVI6990(ユニオンカーバイド社製)、SP-150、SP-152、SP-170、SP-172(以上 旭電化工業社製)、Uvacure(登録商標)1590,1591(ダイセルUCB社製)、サンエイド(登録商標)SI-110,SI-180、SI-100L、SI-80L、SI60L(三新化学社製)などがある。 Commercially available products include PCI-220, PCI-620 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UVI6990 (manufactured by Union Carbide Co., Ltd.), SP-150, SP-152, SP-170, SP-172 (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.). ), Uvacure (registered trademark) 1590, 1591 (manufactured by Daicel UCB), San-Aid (registered trademark) SI-110, SI-180, SI-100L, SI-80L, SI60L (manufactured by Sanshin Chemical Co., Ltd.), etc. .

カチオン重合開始剤の添加量は、特に限定されない。例えば、用いられるカチオン系硬化樹脂に対して0.1から20質量%程度を用いることが好ましい。 The amount of the cationic polymerization initiator added is not particularly limited. For example, it is preferable to use about 0.1 to 20% by mass with respect to the cationic curing resin used.

カチオン重合開始剤として光カチオン重合開始剤を用いる場合、光増感剤と併用することが望ましい。光増感剤としては、例えばカルボニル化合物、有機硫黄化合物、過硫過物、レドックス系化合物、アゾおよびジアゾ化合物、ハロゲン化合物、光還元性色素などが挙げられる。具体的な光増感剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、α、α-ジメトキシ-α-フェニルアセトフェノンのようなベンゾイン誘導体、ベンゾフェノン、2,4-ジクロロベンゾフェノン、ο-ベンゾイル安息香酸メチル、4,4‘-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンのようなベンゾフェノン誘導体、2-クロロチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントンのようなチオキサントン誘導体、2-クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノンのようなアントラキノン誘導体、N-メチルアクリドン、N-ブチルアクリドンのようなアクリドン誘導体、α,α―ジエトキシアセトフェノン、ベンジル、フルオレノン、キサントン、ウラニル化合物、ハロゲン化合物などが挙げられる。但し、これらに限定されるものではない。また、これらは単独で使用しても混合して使用しても良い。光増感剤は、カチオン硬化性樹脂に対し、0.1ないし20質量%程度添加するのが好ましい。 When using a photocationic polymerization initiator as a cationic polymerization initiator, it is desirable to use together with a photosensitizer. Examples of photosensitizers include carbonyl compounds, organic sulfur compounds, persulfates, redox compounds, azo and diazo compounds, halogen compounds, and photoreductive dyes. Specific photosensitizers include, for example, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin derivatives such as α,α-dimethoxy-α-phenylacetophenone, benzophenone, 2,4-dichlorobenzophenone, ο-benzoylbenzoic acid. Benzophenone derivatives such as methyl, 4,4′-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4′-bis(dimethylamino)benzophenone, thioxanthone derivatives such as 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chloroanthraquinone , anthraquinone derivatives such as 2-methylanthraquinone, acridone derivatives such as N-methylacridone and N-butylacridone, α,α-diethoxyacetophenone, benzyl, fluorenone, xanthone, uranyl compounds, and halogen compounds. be done. However, it is not limited to these. Moreover, these may be used individually or may be used in mixture. It is preferable to add about 0.1 to 20% by mass of the photosensitizer to the cationic curable resin.

(アクリレート系化合物)
本発明における離型層に用いるアクリレート系化合物としては、紫外線硬化性樹脂である(メタ)アクリレート系化合物であることが好ましい。(メタ)アクリレート化合物は反応速度が非常に早いため、光重合開始剤の開裂と同時に瞬時にラジカル重合反応が進行し、架橋密度の高く、高弾性率な塗膜を形成することができる。離型層の弾性率を高めることで、剥離する際に離型層が変形し追随することがなくなり、セラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがないため好ましい。なお、ここで示す(メタ)アクリレート系化合物とは、分子内に有するメタアクリロイル基およびアクリロリル基が架橋点となってラジカル硬化反応が進行する化合物群を指す。
(Acrylate compound)
The acrylate-based compound used in the release layer in the present invention is preferably a (meth)acrylate-based compound that is an ultraviolet curable resin. Since the (meth)acrylate compound has a very fast reaction rate, the radical polymerization reaction proceeds instantaneously at the same time as the photopolymerization initiator is cleaved, and a coating film having a high crosslink density and a high elastic modulus can be formed. By increasing the elastic modulus of the release layer, the release layer is not deformed and follows the release layer, which is preferable because there is no possibility of damaging the ceramic green sheet. Here, the (meth)acrylate compound refers to a group of compounds in which the methacryloyl group and acryloryl group in the molecule serve as cross-linking points and radical curing reaction proceeds.

(メタ)アクリレート系化合物としては、アクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレートが例として挙げられる。それぞれ好適に用いることができるが、ウレタンアクリレートを用いることがより好ましい。ウレタンアクリレートを用いる場合、分子内のウレタン結合が水素結合を形成できるため、硬化した塗膜強度をさらに高めることができる。以下、ウレタンアクリレートとの記載は、ウレタンメタクリレートを含む用語として記載する。 Examples of (meth)acrylate compounds include acrylates, methacrylates, and urethane acrylates. Although each can be suitably used, it is more preferable to use urethane acrylate. When urethane acrylate is used, urethane bonds in the molecule can form hydrogen bonds, so that the strength of the cured coating film can be further increased. Hereinafter, the term urethane acrylate is used as a term including urethane methacrylate.

(メタ)アクリレート系化合物の一分子中の官能基数(ラジカル硬化反応において架橋点となり得る官能基の数)としては、4つ以上であることが架橋密度を高めるという観点から好ましく、6つ以上であることがより好ましく、7つ以上であることがより好ましく、9つ以上であることがさらに好ましい。官能基数に特に上限はないが、20以下であることが好ましい。20以下とすることで、分子間の架橋反応よりも分子内反応が進行しやすくなり、架橋密度向上の効果が得られなくなるおそれがなく好ましい。 The number of functional groups in one molecule of the (meth)acrylate compound (the number of functional groups that can become cross-linking points in the radical curing reaction) is preferably 4 or more from the viewpoint of increasing the cross-linking density, and 6 or more. There is more preferably one, more preferably seven or more, and even more preferably nine or more. Although there is no particular upper limit to the number of functional groups, it is preferably 20 or less. By making it 20 or less, the intramolecular reaction proceeds more easily than the intermolecular cross-linking reaction, and there is no possibility that the effect of improving the cross-linking density will be lost, which is preferable.

用いる(メタ)アクリレート系化合物は、モノマーでもオリゴマーでもポリマーでも良いが、有機溶媒への溶解性や、取扱い性の観点からモノマーまたはオリゴマーを用いることが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The (meth)acrylate compound to be used may be a monomer, an oligomer, or a polymer, but it is preferable to use a monomer or an oligomer from the viewpoint of solubility in organic solvents and handleability. These may be used alone or in combination of two or more.

(メタ)アクリレート系化合物としてモノマーを用いる際は、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 When using a monomer as a (meth) acrylate compound, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, di pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri(meth)acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, etc. .

(メタ)アクリレート系化合物としてオリゴマーを用いる際は、例えば、多官能(メタ)アクリレートオリゴマー、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、シリコーンアクリレート系オリゴマー等が挙げられる。 When oligomers are used as (meth)acrylate compounds, for example, polyfunctional (meth)acrylate oligomers, polyester acrylate oligomers, epoxy acrylate oligomers, polyether acrylate oligomers, polybutadiene acrylate oligomers, silicone acrylate oligomers, etc. mentioned.

本発明で用いるウレタンアクリレートとは、分子鎖中にウレタン結合と、アクリロイル基及びメタクリロイル基より選択される1種以上のラジカル硬化性官能基を有するものをいう。合成方法は特に限定されないが、例えば、多価アルコール及び有機ポリイソシアネートとヒドロキシアクリレートとの反応によって得ることができる。 The urethane acrylate used in the present invention means one having a urethane bond and one or more radical-curing functional groups selected from acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecular chain. Although the synthesis method is not particularly limited, it can be obtained, for example, by reacting a polyhydric alcohol and an organic polyisocyanate with hydroxyacrylate.

上記多価アルコールとしては、例えば、ネオペンチルグリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、トリシクロデカンジメチロール、ビス-[ヒドロキシメチル]-シクロヘキサン等;上記多価アルコールと多塩基酸(例えば、コハク酸、フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テレフタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、テトラヒドロ無水フタル酸等)との反応によって得られるポリエステルポリオール;上記多価アルコールとε-カプロラクトンとの反応によって得られるポリカプロラクトンポリオール;ポリカーボネートポリオール(例えば、1,6-ヘキサンジオールとジフェニルカーボネートとの反応によって得られるポリカーボネートジオール等);及び、ポリエーテルポリオールを挙げられる。上記ポリエーテルポリオールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、エチレンオキサイド変性ビスフェノールA等を挙げられる。 Examples of the polyhydric alcohol include neopentyl glycol, 3-methyl-1,5-pentanediol, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, trimethylolpropane, and pentaerythritol. , tricyclodecanedimethylol, bis-[hydroxymethyl]-cyclohexane, etc.; the above polyhydric alcohols and polybasic acids (e.g., succinic acid, phthalic acid, hexahydrophthalic anhydride, terephthalic acid, adipic acid, azelaic acid, tetrahydroanhydride polyester polyol obtained by reaction with phthalic acid, etc.); polycaprolactone polyol obtained by reaction of the above polyhydric alcohol with ε-caprolactone; polycarbonate polyol (for example, obtained by reaction of 1,6-hexanediol and diphenyl carbonate) polycarbonate diols, etc.); and polyether polyols. Examples of the polyether polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, ethylene oxide-modified bisphenol A, and the like.

上記有機ポリイソシアネートとしては、例えばイソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタン-4,4’-ジイソシアネート、ジシクロペンタニルイソシアネート等のイソシアネート化合物、これらイソシアネート化合物の付加体、或いはこれらイソシアネートの多量体等が挙げられる。 Examples of the organic polyisocyanate include isocyanate compounds such as isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, xylene diisocyanate, diphenylmethane-4,4′-diisocyanate and dicyclopentanyl isocyanate, adducts of these isocyanate compounds, or these Polymers of isocyanate and the like can be mentioned.

上記ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ジメチロールシクロヘキシルモノ(メタ)アクリレート、ヒドロキシカプロラクトン(メタ)アクリレート等が挙げられる。中でも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートであることが架橋密度を高めるという観点から好ましい。 Examples of the hydroxy(meth)acrylate compounds include pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, hydroxyethyl (meth)acrylate, ) acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, dimethylolcyclohexyl mono (meth)acrylate, hydroxycaprolactone (meth)acrylate and the like. Among them, pentaerythritol tri(meth)acrylate and dipentaerythritol penta(meth)acrylate are preferable from the viewpoint of increasing the crosslink density.

本発明に使用するウレタンアクリレートは市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、日本合成化学工業社製:UV1700B(10官能)、UV7620EA(9官能)、UV7610B(9官能)、UV7600B(6官能)、UV7650B(5官能)、日本化薬社製:DPHA40H(10官能)、UX5003(6官能)、荒川化学工業社製:ビームセット577(6官能)、大成ファインケミカル社製:8UX-015A(15官能)及び、新中村化学工業社製:U15HA(15官能)等を挙げることができる。 Commercially available urethane acrylates can also be used in the present invention. Examples of commercially available products include UV1700B (10-functional), UV7620EA (9-functional), UV7610B (9-functional), UV7600B (6-functional), UV7650B (5-functional) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.: DPHA40H (10 functional), UX5003 (hexafunctional), Arakawa Chemical Industries: Beamset 577 (hexafunctional), Taisei Fine Chemicals: 8UX-015A (15 functional) and Shin-Nakamura Chemical: U15HA (15 functionality) and the like.

(光ラジカル開始剤)
本発明における離型層にラジカル重合系樹脂を用いる場合は、光ラジカル重合開始剤を添加することが好ましい。光ラジカル重合開始剤としては、具体的には、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、2,4-ジエチルチオキサンソン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β-クロールアンスラキノン、(2,4,6-トリメチルベンジルジフェニル)フォスフィンオキサイド、2-ベンゾチアゾール-N,N-ジエチルジチオカルバメート等が挙げられる。特に、表面硬化性に優れるとされる、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]-フェニル}-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オンが好ましく、中でも2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オンが特に好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Photo radical initiator)
When a radically polymerizable resin is used for the release layer in the present invention, it is preferable to add a radical photopolymerization initiator. Specific examples of photoradical polymerization initiators include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, benzoin methyl benzoate, benzoin dimethyl ketal, 2, 4-diethylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, benzyldiphenylsulfide, tetramethylthiuram monosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, diacetyl, β-chloranthraquinone, (2,4,6- trimethylbenzyldiphenyl)phosphine oxide, 2-benzothiazole-N,N-diethyldithiocarbamate and the like. In particular, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}-2-methylpropan-1-one, which is said to have excellent surface curability, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropane-1 -one is preferred, especially 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

光ラジカル重合開始剤の添加量は、特に限定されない。例えば、用いられるラジカル系硬化樹脂に対して0.1から20質量%程度を用いることが好ましい。 The amount of the radical photopolymerization initiator to be added is not particularly limited. For example, it is preferable to use about 0.1 to 20% by mass with respect to the radical curing resin used.

本発明における離型層に含まれるバインダー成分は、離型層全体の固形分に対して、85質量%以上含まれることが好ましく、より好ましくは90質量%以上であり、さらに好ましくは95質量%である。バインダー成分を85質量%以上含むことで離型層が、高い架橋密度となり、離型層の弾性率を高くすることと離型層表面の耐溶剤性を良好にすることができセラミックグリーンシート剥離時に低い剥離力で剥離することができる。本発明においては、残留溶媒、酸触媒、光カチオン開始剤及び光ラジカル開始剤のような離型層におけるバインダー成分と離型剤成分以外の成分は、揮発性であるか微量であり、本発明においては、離型層全体の固形分とは、バインダー成分と離型剤の固形分の合計した値とする。 The binder component contained in the release layer in the present invention is preferably contained in an amount of 85% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and still more preferably 95% by mass, based on the solid content of the entire release layer. is. By containing 85% by mass or more of the binder component, the release layer has a high cross-linking density, which increases the elastic modulus of the release layer and improves the solvent resistance of the surface of the release layer. Sometimes it can be peeled off with a low peeling force. In the present invention, components other than the binder component and the release agent component in the release layer, such as residual solvent, acid catalyst, photocationic initiator and photoradical initiator, are volatile or in trace amounts, and , the solid content of the entire release layer is the sum of the solid content of the binder component and the release agent.

(離型剤)
本発明における離型層に用いる離型剤(離型層の離型性を向上させる添加剤)としては、シリコーン系添加剤や、オレフィン系、長鎖アルキル系、フッ素系などの非シリコーン系添加剤などを用いることができるが、剥離性の観点からシリコーン系添加剤を用いることが好ましい。
(Release agent)
As the release agent (additive for improving the releasability of the release layer) used in the release layer in the present invention, silicone additives and non-silicone additives such as olefin-based, long-chain alkyl-based and fluorine-based additives However, from the viewpoint of releasability, it is preferable to use a silicone-based additive.

シリコーン系添加剤としては、分子内にシリコーン骨格を有する化合物のことであり、ポリオルガノシロキサンなどを好適に使用することができる。また、ポリオルガノシロキサンを側鎖に有するアクリル樹脂やアルキッド樹脂なども使用することができる。ポリオルガノシロキサンの中でもポリジメチルシロキサン(略称、PDMS)を好適に使用することができ、ポリジメチルシロキサンの一部に官能基を有するものも好ましい。官能基を有することでバインダー成分と水素結合などの分子間相互作用が発現しやすくなり離型層表面の耐溶剤性が向上するため好ましい。 The silicone additive is a compound having a silicone skeleton in the molecule, and polyorganosiloxane or the like can be preferably used. Acrylic resins and alkyd resins having polyorganosiloxane in side chains can also be used. Among polyorganosiloxanes, polydimethylsiloxane (abbreviation: PDMS) can be preferably used, and polydimethylsiloxane having a functional group as a part thereof is also preferable. Having a functional group facilitates the expression of intermolecular interactions such as hydrogen bonding with the binder component, thereby improving the solvent resistance of the surface of the release layer, which is preferable.

ポリジメチルシロキサンに導入する反応性官能基としては、アミノ基、エポキシ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、カルボキシル基、メタクリル基、アクリル基などを使用することができる。非反応性官能基としては、ポリエーテル基、アラルキル基、フロロアルキル基、長鎖アルキル基、エステル基、アミド基、フェニル基などを使用することができる。 Amino groups, epoxy groups, hydroxyl groups, mercapto groups, carboxyl groups, methacrylic groups, acryl groups, and the like can be used as reactive functional groups to be introduced into polydimethylsiloxane. As non-reactive functional groups, polyether groups, aralkyl groups, fluoroalkyl groups, long-chain alkyl groups, ester groups, amide groups, phenyl groups and the like can be used.

バインダーとしてメラミン系化合物を用いる場合は、特に限定されないがメラミン系化合物のヒドロキシル基と適度な相互作用を示すカルボキシル基変性のポリジメチルシロキサンを使用することが好ましい。前記化合物を使用することで、離型層表面に適度に偏析しつつバインダーとの相互作用を示すため、離型層表面の耐溶剤性を高くすることができるので好ましい。離型層表面の耐溶剤性を向上させることで、低角度、高温での剥離力を低くすることができるので好ましい。 When a melamine-based compound is used as a binder, it is preferable to use carboxyl group-modified polydimethylsiloxane that exhibits moderate interaction with the hydroxyl group of the melamine-based compound, although it is not particularly limited. It is preferable to use the above-mentioned compound because it interacts with the binder while moderately segregating on the surface of the release layer, so that the solvent resistance of the surface of the release layer can be increased. By improving the solvent resistance of the surface of the release layer, it is possible to reduce the peel force at a low angle and at a high temperature, which is preferable.

カルボキシル基変性のポリジメチルシロキサンについては、ポリジメチルシロキサンのケイ素原子に直接カルボキシル基が結合したものであってもよいが、アルキル基又はアリール基を介してポリジメチルシロキサンにカルボキシル基が結合したものであってもよい。しかし、ポリエーテル、ポリエステル、ポリウレタン等の繰り返し構造を有する有機基を介してポリジメチルシロキサンにカルボキシル基が結合したものはあまり好ましくない。 Regarding carboxyl group-modified polydimethylsiloxane, carboxyl groups may be directly bonded to silicon atoms of polydimethylsiloxane, but carboxyl groups may be bonded to polydimethylsiloxane via alkyl groups or aryl groups. There may be. However, polydimethylsiloxane having carboxyl groups bonded via an organic group having a repeating structure such as polyether, polyester, or polyurethane is not very preferable.

バインダーとしてエポキシ系化合物を用いる場合は、バインダーとポリジメチルシロキサンとの反応性を考慮し、エポキシ変性ポリジメチルシロキサンを使用することが好ましい。前記化合物を使用することで離型層表面に適度に偏析しつつバインダーと相互作用を示すため、離型層表面の耐溶剤性を高くすることができるので好ましい。離型層表面の耐溶剤性を向上させることで、低角度、高温での剥離力を低くすることができるので好ましい。 When an epoxy-based compound is used as the binder, it is preferable to use epoxy-modified polydimethylsiloxane in consideration of the reactivity between the binder and polydimethylsiloxane. By using the above compound, it is preferable because it interacts with the binder while appropriately segregating on the surface of the release layer, so that the solvent resistance of the surface of the release layer can be increased. By improving the solvent resistance of the surface of the release layer, it is possible to reduce the peel force at a low angle and at a high temperature, which is preferable.

バインダーとしてアクリレート系化合物を用いる場合は、分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有するエネルギー線硬化型共重合ポリマーを用いることが好ましい。前記化合物を用いることで、離型層表面に適度に偏析しつつバインダーと相互作用を示すため、離型層表面の耐溶剤性を高くすることができるので好ましい。離型層表面の耐溶剤性を向上させることで、低角度、高温での剥離力を低くすることができるので好ましい。 When using an acrylate compound as the binder, it is preferable to use an energy ray-curable copolymer having (meth)acryloyl groups and polyorganosiloxane groups in the molecule. It is preferable to use the above-mentioned compound because it segregates appropriately on the surface of the release layer and interacts with the binder, so that the solvent resistance of the surface of the release layer can be increased. By improving the solvent resistance of the surface of the release layer, it is possible to reduce the peel force at a low angle and at a high temperature, which is preferable.

本発明における離型層には、離型剤が離型層全体の固形分に対して0.1質量%以上、15質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.5質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.5質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%以上であると、離型性が向上し、セラミックグリーンシートの剥離性が向上するため好ましい。一方、15質量%以下であると、離型層全体の弾性率と離型層表面の耐溶剤性が低下し過ぎることがなく、セラミックグリーンシート剥離時に離型層の変形が生じ剥離力が大きくなりにくいため好ましい。このとき、離型層全体の固形分とは、バインダー成分と離型剤の固形分の合計した値とする。 The release layer in the present invention preferably contains 0.1% by mass or more and 15% by mass or less of the release agent based on the solid content of the entire release layer. It is more preferably 0.5% by mass or more and 10% by mass or less, and still more preferably 0.5% by mass or more and 5% by mass or less. When it is 0.1% by mass or more, the releasability is improved, and the releasability of the ceramic green sheet is improved, which is preferable. On the other hand, if it is 15% by mass or less, the elastic modulus of the entire release layer and the solvent resistance of the release layer surface do not decrease excessively, and the release layer deforms when the ceramic green sheet is peeled off, resulting in a large peeling force. It is preferable because it is difficult to At this time, the solid content of the entire release layer is the sum of the solid content of the binder component and the release agent.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。 The release layer in the present invention may contain particles having a particle size of 1 μm or less, but from the viewpoint of pinhole generation, it is preferable not to contain particles that form protrusions.

本発明における離型層には、本発明における効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。 Additives such as an adhesion improver and an antistatic agent may be added to the release layer in the present invention as long as the effects of the present invention are not impaired. In order to improve adhesion to the substrate, it is also preferable to subject the surface of the polyester film to pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, etc. before providing the release coating layer.

本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層重量が0.01~1.5μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.05~1.3μmであり、さらに好ましくは0.1~1.1μmであればより好ましい。離型層の厚みが0.01μm以上であると剥離性能が得られ好ましい。また、1.5μm以下であると、硬化時間を短くでき、離型フィルムの平面性が保たれてセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制できて好ましい。また離型層の厚みが薄い方が離型フィルムを加熱したときにカールが小さくなるため、セラミックグリーンシートを成型、乾燥する過程で走行性不良を起こさず好ましい。 In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use, and is not particularly limited. Well, more preferably 0.05 to 1.3 μm, still more preferably 0.1 to 1.1 μm. It is preferable that the thickness of the release layer is 0.01 μm or more, because the release performance can be obtained. Further, when the thickness is 1.5 μm or less, the curing time can be shortened, the flatness of the release film can be maintained, and the thickness unevenness of the ceramic green sheet can be suppressed, which is preferable. In addition, when the thickness of the release layer is small, curling becomes small when the release film is heated.

本発明の離型層フィルムの離型層表面の表面自由エネルギーは、18mJ/m以上40mJ/m以下であることが好ましい。より好ましくは、23mJ/m以上35mJ/m以下であり、さらに好ましくは23mJ/m以上30mJ/m以下である。18mJ/m以上であるとセラミックスラリーを塗工したときにハジキが発生しづらく均一に塗工することができるため好ましい。また40mJ/m以下だとセラミックグリーンシートの離型性が低下してしまう恐れがなく好ましい。上記範囲とすることで塗工時にハジキがなく、離型性に優れた離型フィルムを提供できる。 The surface free energy of the release layer surface of the release layer film of the present invention is preferably 18 mJ/m 2 or more and 40 mJ/m 2 or less. It is more preferably 23 mJ/m 2 or more and 35 mJ/m 2 or less, still more preferably 23 mJ/m 2 or more and 30 mJ/m 2 or less. When it is 18 mJ/m 2 or more, cissing is less likely to occur when the ceramic slurry is applied, and the coating can be uniformly applied, which is preferable. Also, if it is 40 mJ/m 2 or less, it is preferable because there is no possibility that the releasability of the ceramic green sheet is deteriorated. By setting the content in the above range, it is possible to provide a release film that is free from repelling during coating and has excellent release properties.

本発明の離型フィルムは、剥離温度25℃、剥離角度90°でのセラミックグリーンシート剥離力F(T25/A90)が0.5mN/mm以上であることが好ましく、より好ましくは、1.0mN/mm以上である。剥離力F(T25/A90)が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎず、搬送時にセラミックグリーンシートが浮きあがる恐れがなく好ましい。一方、剥離力F(T25/A90)は4.5mN/mm以下であることが好ましく、より好ましくは、4.3mN/mm以下である。剥離力が4.5mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けにくく好ましい。 The release film of the present invention preferably has a ceramic green sheet peel force F (T25/A90) at a peel temperature of 25° C. and a peel angle of 90° of 0.5 mN/mm or more, more preferably 1.0 mN. / mm or more. When the peel force F (T25/A90) is 0.5 mN/mm or more, the peel force is not too light, and there is no fear that the ceramic green sheet will lift during transportation, which is preferable. On the other hand, the peel force F (T25/A90) is preferably 4.5 mN/mm or less, more preferably 4.3 mN/mm or less. When the peel force is 4.5 mN/mm or less, the ceramic green sheet is less likely to be damaged during peeling, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、剥離温度25℃、剥離角度30°でのセラミックグリーンシート剥離力F(T25/A30)が50.0mN/mm以下であることが好ましく、より好ましくは45.0mN/mm以下である。剥離力F(T25/A30)が50.0mN/mm以下であると剥離角度が低角度の場合の剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けにくく好ましい。 The release film of the present invention preferably has a ceramic green sheet peel force F (T25/A30) at a peel temperature of 25° C. and a peel angle of 30° of 50.0 mN/mm or less, more preferably 45.0 mN/mm. mm or less. When the peel force F (T25/A30) is 50.0 mN/mm or less, the ceramic green sheet is less likely to be damaged during peeling at a low peel angle, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、剥離温度50℃、剥離角度90°でのセラミックグリーンシート剥離力F(T50/A90)が7.0mN/mm以下であることが好ましく、より好ましくは6.0mN/mm以下である。剥離力F(T50/A90)が7.0mN/mm以下であると剥離温度が高温の場合の剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けにくく好ましい。 The release film of the present invention preferably has a ceramic green sheet peel force F (T50/A90) at a peel temperature of 50° C. and a peel angle of 90° of 7.0 mN/mm or less, more preferably 6.0 mN/mm. mm or less. When the peeling force F (T50/A90) is 7.0 mN/mm or less, the ceramic green sheet is less likely to be damaged during peeling at a high peeling temperature, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、剥離温度50℃、剥離角度30°でのセラミックグリーンシート剥離力F(T50/A30)が60.0mN/mm以下であることが好ましく、より好ましくは45.0mN/mm以下である。剥離力F(T50/A30)が60.0mN/mm以下であると剥離角度が低角度かつ剥離温度が高温の場合の剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けにくく好ましい。 The release film of the present invention preferably has a ceramic green sheet peel force F (T50/A30) at a peel temperature of 50°C and a peel angle of 30° of 60.0 mN/mm or less, more preferably 45.0 mN/mm. mm or less. When the peel force F (T50/A30) is 60.0 mN/mm or less, the ceramic green sheet is less likely to be damaged during peeling at a low peeling angle and at a high peeling temperature, which is preferable.

本発明における剥離力の測定においては、後述の方法によるセラミックグリーンシート付き離型フィルムを剥離力測定用サンプルとし、除電した後に、剥離試験機(協和界面科学社製、VPA-3)を用いて、図1に示すように剥離角度90度または30度、剥離温度25℃または50℃、剥離速度10m/minで剥離した。剥離する向きとしては、剥離試験機付属のSUS板上に両面接着テープ(日東電工社製、No.535A)を貼りつけ、その上にセラミックグリーンシート側を両面テープと接着する形で離型フィルムを固定し、離型フィルム側を引っ張る形で剥離した。本発明の離型フィルムは、剥離角度30度においても低い剥離力を有することで、超薄層のセラミックグリーンシートの製造に特に適している。 In the measurement of the peel force in the present invention, a release film with a ceramic green sheet by the method described later is used as a sample for peel force measurement, and after static elimination, a peel tester (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., VPA-3) is used. , at a peeling angle of 90° or 30°, a peeling temperature of 25°C or 50°C, and a peeling speed of 10 m/min as shown in FIG. As for the peeling direction, a double-sided adhesive tape (manufactured by Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) was attached to the SUS plate attached to the peel tester, and the ceramic green sheet side was adhered to the double-sided tape on the release film. was fixed and peeled off by pulling the release film side. Since the release film of the present invention has a low peeling force even at a peeling angle of 30 degrees, it is particularly suitable for producing an ultra-thin ceramic green sheet.

本発明において、前記剥離力を達成するには、離型層表面のナノインデンテーション試験により測定される弾性率は、2.0GPa以上であり、好ましくは2.3GPa以上であることが好ましい。離型層表面の弾性率が2.0GPa以上であることにより、離型層が変形し難くなるため、離型層からセラミックグリーンシートを剥離する際に、離型層がセラミックグリーンシートに追従し難くなり、それにより、セラミックグリーンシートを軽い力で正常に剥離することができるので好ましい。一方、離型塗布層表面の被膜弾性率の上限は特に定めないが、離型塗布層とPET基材との密着性を適度に保つ点から、10.0GPa以下であることが好ましく、7.0GPa以下であることがより好ましい。 In the present invention, the elastic modulus of the release layer surface measured by a nanoindentation test is preferably 2.0 GPa or more, preferably 2.3 GPa or more, in order to achieve the above-mentioned peel strength. When the release layer surface has an elastic modulus of 2.0 GPa or more, the release layer becomes difficult to deform, so that when the release layer is peeled off the ceramic green sheet, the release layer follows the ceramic green sheet. Therefore, the ceramic green sheet can be normally peeled off with a light force, which is preferable. On the other hand, although the upper limit of the elastic modulus of the film on the surface of the release coating layer is not particularly defined, it is preferably 10.0 GPa or less from the viewpoint of maintaining appropriate adhesion between the release coating layer and the PET substrate. It is more preferably 0 GPa or less.

本発明において、前記剥離力を達成するには、有機溶剤による浸食が少ないことが好ましい。離型層の浸食は離型フィルムを有機溶剤に浸漬させた前後の離型層の表面状態の差を評価することで確かめることができる。浸漬に用いる有機溶剤としては、セラミックグリーンシート製造工程を想定し、一般的なセラミックスラリーに用いられるトルエンを用いることが好ましい。離型層の表面状態を評価する方法の一例としては、接触角による評価が挙げられ、トルエン浸漬前後の離型層表面の接触角変化が小さいほど好ましい。 In the present invention, in order to achieve the above-mentioned peel strength, it is preferable that the corrosion by the organic solvent is small. Erosion of the release layer can be confirmed by evaluating the difference in the surface state of the release layer before and after the release film is immersed in an organic solvent. As the organic solvent used for the immersion, it is preferable to use toluene, which is used for a general ceramic slurry, assuming the ceramic green sheet manufacturing process. An example of a method for evaluating the surface state of the release layer is the evaluation based on the contact angle, and the smaller the change in the contact angle of the release layer surface before and after immersion in toluene, the better.

接触角を測定する際に用いる液滴の種類は特に制限されず、水、ブロモナフタレン、エチレングリコールなどをそれぞれ好適に用いることができるが、離型層の表面状態の差をより顕著に見ることのできるジヨードメタンを用いることが最も好ましい。 The type of droplet used for measuring the contact angle is not particularly limited, and water, bromonaphthalene, ethylene glycol, and the like can be suitably used. Most preferably, diiodomethane is used.

接触角の測定に用いる液滴としてジヨードメタンを用いる際には、離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ-θ)の絶対値が小さいほど、離型層表面の耐溶剤性が良く好ましい。具体的には、絶対値として3.0°以下であることが好ましく、2.0°以下であることが更に好ましく、1.0°以下であることが最も好ましい。3.0°以下であると、セラミックグリーンシート加工や内部電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食が抑えられ、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれがないため好ましい。離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ-θ)は0°が最も好ましいが、絶対値として0.05°以上であっても構わない。 When using diiodomethane as a droplet used for measuring the contact angle, the diiodomethane contact angle θ 1 on the release layer surface and the contact angle θ 2 on the release layer surface after the release film was immersed in toluene at room temperature for 5 minutes. The smaller the absolute value of the difference (θ 1 −θ 2 ), the better the solvent resistance of the surface of the release layer. Specifically, the absolute value is preferably 3.0° or less, more preferably 2.0° or less, and most preferably 1.0° or less. When the angle is 3.0° or less, erosion of the release layer by an organic solvent during processing of the ceramic green sheet or printing of the internal electrodes is suppressed, and there is no risk of an increase in the peeling force or loss of uniformity of peeling, which is preferable. The difference (θ 1 - θ 2 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 on the release layer surface and the contact angle θ 2 on the release layer surface after immersing the release film in toluene at room temperature for 5 minutes is most preferably 0°. , may be 0.05° or more as an absolute value.

本発明において、前記剥離力を達成するには、離型層表面の初期のジヨードメタン接触角が45.0°以上であることが好ましく、50.0°以上であることが更に好ましく、55.0°以上であることが最も好ましい。離型層表面の初期のジヨードメタン接触角が45.0°以上であると、剥離力を低下させる離型剤が適度に離型層表面に出ているため、剥離力を低くすることができ好ましい。離型層表面の初期のジヨードメタン接触角は100.0°以下であることが好ましく、90.0°以下であることが更に好ましく、80.0°以下であることが最も好ましい。離型層表面の初期のジヨードメタン接触角が100.0°以下であれば、セラミックシートを塗布した時に濡れ性が悪くなりすぎず、均一に塗布できるため好ましい。 In the present invention, in order to achieve the above peel strength, the initial contact angle of diiodomethane on the release layer surface is preferably 45.0° or more, more preferably 50.0° or more, and more preferably 55.0°. ° or more is most preferable. When the initial contact angle of diiodomethane on the surface of the release layer is 45.0° or more, the release agent that reduces the release force is appropriately exposed to the surface of the release layer, so the release force can be lowered, which is preferable. . The initial contact angle of diiodomethane on the release layer surface is preferably 100.0° or less, more preferably 90.0° or less, and most preferably 80.0° or less. When the initial contact angle of diiodomethane on the surface of the release layer is 100.0° or less, the wettability of the ceramic sheet is not excessively deteriorated and uniform coating can be achieved, which is preferable.

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず、離型性の樹脂を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去後、加熱乾燥、熱硬化させる方法が用いられる。 In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited. is removed by drying, followed by heat drying and heat curing.

本発明において、離型層にバインダーとしてメラミンなどの熱硬化性樹脂を用いる場合は、溶媒乾燥、熱硬化時の乾燥温度は、100℃以上、180℃以下であることが好ましく、110℃以上、160℃以下であることがより好ましく、125℃以上、150℃以下であることがもっとも好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。180℃以下の場合、フィルムの平面性が保たれ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが小さく好ましい。140℃以下であるとフィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが更に低下するので特に好ましい。100℃以上であると熱硬化性樹脂の硬化反応が十分に進行し、離型層の弾性率が高まって好ましい。 In the present invention, when a thermosetting resin such as melamine is used as a binder in the release layer, the drying temperature during solvent drying and thermosetting is preferably 100° C. or higher and 180° C. or lower, preferably 110° C. or higher, It is more preferably 160°C or lower, and most preferably 125°C or higher and 150°C or lower. The heating time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 180° C. or lower, the flatness of the film is maintained, and the possibility of causing unevenness in the thickness of the ceramic green sheet is small, which is preferable. When the temperature is 140° C. or lower, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing unevenness in the thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferred. When the temperature is 100° C. or higher, the curing reaction of the thermosetting resin proceeds sufficiently, and the elastic modulus of the release layer increases, which is preferable.

本発明における離型層にバインダーとしてエポキシやアクリレートなどの活性エネルギー線硬化性樹脂を用いる場合は、溶媒乾燥の乾燥温度は、50℃以上、110℃以下であることが好ましく、60℃以上、100℃以下であることがより好ましい。その乾燥時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。さらに溶剤乾燥後、活性エネルギー線を照射し硬化反応を進行させる。この時用いる活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、X線などが使用することができるが、紫外線が使用しやすく好ましい。照射する紫外線量としては光量で30~300mJ/cmが好ましく、より好ましくは、30~200mJ/cmであり、30~80mJ/cmがさらに好ましい。30mJ/cm以上とすることで樹脂の硬化が十分進行し、300mJ/cm以下とすることで加工時の速度を向上させることができるため経済的に離型フィルムを作成することができ好ましい。 When an active energy ray-curable resin such as epoxy or acrylate is used as a binder for the release layer in the present invention, the drying temperature for solvent drying is preferably 50°C or higher and 110°C or lower, and preferably 60°C or higher and 100°C. °C or less is more preferable. The drying time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. Further, after the solvent is dried, an active energy ray is irradiated to advance the curing reaction. As the active energy rays used at this time, ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and the like can be used, but ultraviolet rays are preferable because they are easy to use. The amount of ultraviolet light to be irradiated is preferably 30 to 300 mJ/cm 2 , more preferably 30 to 200 mJ/cm 2 , and still more preferably 30 to 80 mJ/cm 2 . If it is 30 mJ/cm 2 or more, the curing of the resin will proceed sufficiently, and if it is 300 mJ/cm 2 or less, the processing speed can be improved, which is preferable because the release film can be produced economically. .

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。 In the present invention, the surface tension of the coating solution when the release layer is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN/m or less. By adjusting the surface tension as described above, the wettability after coating can be improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.

本発明において、離型塗布層を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜がレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10~80質量%程度添加することが好ましい。 In the present invention, the coating liquid for coating the release coating layer is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90° C. or higher. By adding a solvent having a boiling point of 90° C. or higher, bumping during drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. As for the amount to be added, it is preferable to add about 10 to 80% by mass based on the entire coating liquid.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。 As a method for applying the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar method, a die coating method, a spray coating method, and an air knife. A conventionally known method such as a coating method can be used.

本発明の離型フィルムの離型層表面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であることが好ましい。また、前記Saを満足し、かつ離型層表面の最大突起高さ(P)が100nm以下であることが更に好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)が5nm以下かつ最大突起高さ80nm以下であれば特に好ましい。領域表面粗さが7nm以下、且つ、最大突起高さが100nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。 The surface of the release layer of the release film of the present invention is desirably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet coated and molded thereon, and the area surface average roughness (Sa) is 7 nm or less. Preferably. Further, it is more preferable that the above Sa is satisfied and the maximum projection height (P) on the release layer surface is 100 nm or less. It is particularly preferable if the region surface average roughness (Sa) is 5 nm or less and the maximum projection height is 80 nm or less. If the surface roughness of the region is 7 nm or less and the maximum protrusion height is 100 nm or less, defects such as pinholes do not occur when the ceramic green sheets are formed, and the yield is good, which is preferable. It can be said that the smaller the region surface average roughness (Sa) is, the more preferable it is. It can be said that the smaller the maximum projection height (P) is, the more preferable it is, but the maximum projection height (P) may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明において、離型塗布層を形成させたフィルム表面を所定の粗さ範囲に調節するためには、PETフィルムには実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。なお、本発明でいう「実質的に無機粒子を含有しない」とは、基材フィルム及び離型塗布層の両者について、蛍光X線分析で粒子に由来する元素を定量分析した際に、50ppm以下であることで定義され、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下である。これは積極的に粒子を基材フィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the present invention, the PET film preferably contains substantially no inorganic particles in order to adjust the surface roughness of the film on which the release coating layer is formed within a predetermined range. The term "substantially free of inorganic particles" as used in the present invention means that, for both the base film and the release coating layer, when the elements derived from the particles are quantitatively analyzed by fluorescent X-ray analysis, the content is 50 ppm or less. is preferably 10 ppm or less, most preferably the detection limit or less. This is because even if particles are not actively added to the base film, contaminants derived from foreign substances and dirt adhering to the lines and equipment in the raw material resin or film manufacturing process will peel off and enter the film. This is because there are cases where

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(ceramic green sheet and ceramic capacitor)
Generally, a multilayer ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic body. Inside the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first internal electrode is exposed on the first end surface of the ceramic body. A first external electrode is provided on the first end surface. The first internal electrode is electrically connected to the first external electrode at the first end surface. The second internal electrode is exposed on the second end face of the ceramic body. A second external electrode is provided on the second end surface. The second internal electrode is electrically connected to the second external electrode at the second end surface.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。塗布、乾燥されたセラミックグリーンシートは0.2μm~1.0μmの厚みを有することが好ましい。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。 The release film for producing ceramic green sheets of the present invention is used for producing such a laminated ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, using the release film of the present invention as a carrier film, a ceramic slurry for forming a ceramic body is applied and dried. The coated and dried ceramic green sheet preferably has a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm. A conductive layer for forming the first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. Ceramic green sheets, ceramic green sheets printed with conductive layers for forming first internal electrodes, and ceramic green sheets printed with conductive layers for forming second internal electrodes are appropriately laminated and pressed. Thus, a mother laminate is obtained. The mother laminate is divided into a plurality of pieces to produce raw ceramic bodies. A ceramic body is obtained by firing a raw ceramic body. After that, the multilayer ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.

以下に、実施例を用いて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below using examples, but the present invention is not limited to these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following methods.

(表面粗さ)
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H-M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Surface roughness)
These are values measured under the following conditions using a non-contact surface profile measurement system (VertScan R550H-M100). The area surface average roughness (Sa) was the average value of 5 measurements, and the maximum protrusion height (P) was measured 7 times, and the maximum value of the 5 measurements excluding the maximum and minimum values was used.
(Measurement condition)
・Measurement mode: WAVE mode ・Objective lens: 10x ・0.5×Tube lens ・Measurement area: 936 μm×702 μm
(analysis conditions)
・Surface correction: Quaternary correction ・Interpolation processing: Complete interpolation

(セラミックグリーンシート付き離型フィルムの作製方法)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのジルコニアビーズを分散質とするビーズミルを用いて60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 43.75質量部
エタノール 43.75質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT-1) 10.86質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM-S) 1.09質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 0.55質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが1.0μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。
(Method for producing release film with ceramic green sheet)
A composition comprising the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 60 minutes using a bead mill containing zirconia beads with a diameter of 0.5 mm as a dispersoid to obtain a ceramic slurry.
Toluene 43.75 parts by mass Ethanol 43.75 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 10.86 parts by mass Polyvinyl butyral (Eslec BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 1.09 parts by mass DOP (phthalic acid Dioctyl) 0.55 parts by mass Next, the slurry after drying was applied to the release surface of the obtained release film sample using an applicator so as to have a thickness of 1.0 μm, and dried at 90° C. for 2 minutes to form a ceramic green sheet. was molded on a release film.

(セラミックグリーンシート剥離性の評価)
前記方法で作成したセラミックグリーンシート付き離型フィルムを30mm幅、80mm長さにカットし、剥離力測定用サンプルとした。除電機(キーエンス社製、SJ-F020)を用いて除電した後に、剥離試験機(協和界面科学社製、VPA-3)を用いて、剥離角度90度または30度、剥離温度25℃または50℃、剥離速度10m/minで剥離した。剥離する向きとしては、剥離試験機付属のSUS板上に両面接着テープ(日東電工社製、No.535A)を貼りつけ、その上にセラミックグリーンシート側を両面テープと接着する形で離型フィルムを固定し、離型フィルム側を引っ張る形で剥離した。得られた測定値のうち、剥離距離20mm~70mmの剥離力の平均化を算出し、その値を剥離力とした。測定は計5回実施し、その剥離力の平均値の値を採用し、評価を行った。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
○:45.0mN/mm以下
△:45.0mN/mmより大きく、60.0mN/mm以下
×:60.0mN/mmより大きい
なお、本評価方法における剥離角度とは、剥離試験機に固定した評価サンプル軸に対し、離型フィルムを引っ張る方向の角度を指す。剥離温度とは、装置付属のヒーター式ステージシステムを用いて固定した離型フィルムを加熱した時の温度である。ハンディータイプ温度計(安立計器社製、HD-1400E)を用いて、測定サンプルが該当温度になったことを確認後、剥離を行っている。
(Evaluation of peelability of ceramic green sheet)
The release film with a ceramic green sheet prepared by the above method was cut into a 30 mm wide and 80 mm long piece to prepare a sample for peel force measurement. After static elimination using a static eliminator (manufactured by Keyence Corporation, SJ-F020), using a peel tester (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., VPA-3), a peel angle of 90 degrees or 30 degrees, a peel temperature of 25 ° C. or 50 °C and a peeling speed of 10 m/min. As for the peeling direction, a double-sided adhesive tape (manufactured by Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) was attached to the SUS plate attached to the peel tester, and the ceramic green sheet side was adhered to the double-sided tape on the release film. was fixed and peeled off by pulling the release film side. Among the obtained measured values, the average peel force at a peel distance of 20 mm to 70 mm was calculated, and this value was defined as the peel force. The measurement was carried out a total of 5 times, and the average value of the peel strength was used for evaluation. Judgment was made according to the following criteria from the numerical value of the obtained peel strength.
○: 45.0 mN / mm or less △: greater than 45.0 mN / mm, 60.0 mN / mm or less ×: greater than 60.0 mN / mm The peel angle in this evaluation method is fixed to the peel tester. It refers to the angle of the direction in which the release film is pulled with respect to the evaluation sample axis. The peeling temperature is the temperature when the fixed release film is heated using a heater-type stage system attached to the apparatus. Using a handy type thermometer (manufactured by Anritsu Keiki Co., Ltd., HD-1400E), peeling is performed after confirming that the measured sample has reached the corresponding temperature.

(接触角)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学社製、全自動接触角計 DM-701)を用いて、静置した離型フィルムの離型面上にジヨードメタン(液滴量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は離型フィルム上に滴下後30秒後の接触角を採用し、5回測定した値の平均値を採用した。
(contact angle)
Diiodomethane (droplet amount A droplet of 0.9 μL) was prepared and its contact angle was measured. For the contact angle, the contact angle 30 seconds after dropping on the release film was adopted, and the average value of the values measured five times was adopted.

(トルエン浸漬後の接触角)
測定に用いる離型フィルムを5cm×5cmの大きさに切り取り、液温25℃のトルエン30mLが入ったガラス製のトレーの中に、離型面を下にして5分間浸漬させた。浸漬した離型フィルムを取り出し離型面を上にして15分間風乾した後、25℃で1晩真空乾燥させた。こうして得たトルエン浸漬後の離型フィルムを前記接触角の測定方法と同様の方法にて測定した。
(Contact angle after immersion in toluene)
A release film used for measurement was cut into a size of 5 cm×5 cm, and immersed in a glass tray containing 30 mL of toluene at a liquid temperature of 25° C. for 5 minutes with the release surface facing downward. The immersed release film was taken out, and air-dried for 15 minutes with the release surface facing up, and then vacuum-dried overnight at 25°C. The release film thus obtained after immersion in toluene was measured by the same method as the method for measuring the contact angle.

前記方法にて測定したトルエン浸漬前の初期の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ、トルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角をθとした時の、θ1-θの絶対値の値をトルエン浸漬前後の接触角変化の値とした。以下の基準で初期接触角、及び接触角変化の評価を行った。
(初期接触角の評価)
○:45.0°≦ θ1
×:θ1< 45.0°
(接触角変化の評価)
◎:|θ1―θ2| < 1.0°
○:1.0°≦ |θ1―θ2| < 2.0°
△:2.0°≦ |θ1―θ2| ≦ 3.0°
×:|θ1―θ2| > 3.0°
When the initial diiodomethane contact angle on the release layer surface before immersion in toluene measured by the above method is θ 1 , and the diiodomethane contact angle on the release layer surface after immersion in toluene is θ 2 , θ 1 - θ 2 The absolute value was taken as the change in contact angle before and after immersion in toluene. The initial contact angle and change in contact angle were evaluated according to the following criteria.
(Evaluation of initial contact angle)
○: 45.0° ≤ θ1
×: θ 1 < 45.0°
(Evaluation of contact angle change)
◎: |θ 1 −θ 2 | < 1.0°
○: 1.0° ≤ |θ 1 - θ 2 | < 2.0°
△: 2.0° ≤ |θ 1 - θ 2 | ≤ 3.0°
×: |θ 12 | > 3.0°

(離型層弾性率評価)
実施例および比較例で得られた離型フィルムを10mm×10mmサイズに裁断し、次いで、アルミニウム製の台座に接着したガラス板上に、裁断した離型フィルムの基材裏面を2液系エポキシ接着剤で固定した。そして、微小硬度評価装置(エリオニクス社製,ENT-3100)を使用して、圧子の最大押し込み深さ50nm、23℃の雰囲気下にてナノインデンテーション試験を行い、上記離型フィルムの離型層の弾性率を測定した。結果を表2に示す。
(Release layer elastic modulus evaluation)
The release films obtained in Examples and Comparative Examples were cut to a size of 10 mm × 10 mm, and then the back surface of the cut release film was adhered to a glass plate adhered to an aluminum pedestal by two-liquid epoxy bonding. fixed with an agent. Then, using a microhardness evaluation device (manufactured by Elionix, ENT-3100), a nanoindentation test was performed in an atmosphere at a maximum indentation depth of 50 nm and 23 ° C., and the release layer of the release film. was measured. Table 2 shows the results.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET (I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reactor, a continuous esterification reactor comprising a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material inlet and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) was adjusted to 2 tons/hour, EG (ethylene glycol) was adjusted to 2 mol per 1 mol of TPA, and antimony trioxide was adjusted to give an amount of Sb atoms of 160 ppm relative to the produced PET. It was continuously supplied to the first esterification reactor of the reaction apparatus and reacted at 255° C. for an average residence time of 4 hours under normal pressure. Next, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and distilled off from the first esterification reaction can into the second esterification reaction can. 8 mass % of EG is supplied to the produced PET, and further, an EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount such that the Mg atom is 65 ppm relative to the produced PET, and an EG solution containing 40 ppm of P atom relative to the produced PET. An EG solution containing TMPA (trimethyl phosphate) in an amount corresponding to the above was added and reacted at 260° C. under normal pressure for an average residence time of 1 hour. Next, the reaction product in the second esterification reactor was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reactor, and was subjected to 39 MPa (400 kg/cm 2 ) using a high-pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). 0.2% by mass of porous colloidal silica having an average particle size of 0.9 μm, which has been subjected to dispersion treatment for an average number of 5 passes at a pressure of , and 1% by mass of ammonium salt of polyacrylic acid per calcium carbonate. While adding 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate with a diameter of 0.6 μm as a 10% EG slurry, the mixture was reacted at normal pressure at 260° C. for an average residence time of 0.5 hours. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction vessel was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reactor for polycondensation to sinter stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 20 μm. After filtration with a filter, ultrafiltration was performed, the product was extruded into water, and after cooling, it was cut into chips to obtain PET chips having an intrinsic viscosity of 0.60 dl/g (hereinafter abbreviated as PET (I)). . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PET(I)チップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the production of the PET(I) chip, a PET chip containing no particles of calcium carbonate, silica, etc. and having an intrinsic viscosity of 0.62 dl/g was obtained (hereinafter abbreviated as PET(II)).

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/(II)=60質量%/40質量%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
(Production of laminated film X1)
After drying these PET chips, they were melted at 285° C. and melted at 290° C. by a separate melt extruder extruder to filter sintered stainless steel fibers with a 95% cut diameter of 15 μm and Two-stage filtration of sintered stainless steel particles of 15 μm is performed, and they are combined in the feed block to form PET (I) on the surface layer B (anti-releasing surface side layer) and PET (II) on the surface. Laminated so as to form layer A (releasing surface side layer), extruded (cast) into a sheet at a speed of 45 m / min, electrostatically adhered on a casting drum at 30 ° C. by an electrostatic adhesion method, cooled, An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl/g was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET (I)/(II)=60% by mass/40% by mass by calculating the discharge amount of each extruder. Then, the unstretched sheet was heated with an infrared heater and then stretched 3.5 times in the machine direction at a roll temperature of 80° C. due to the speed difference between the rolls. After that, it was led to a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140°C. It was then heat treated at 210° C. in a heat setting zone. After that, a 2.3% relaxation treatment was applied in the transverse direction at 170° C. to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 28 nm.

(バインダー成分)
バインダー成分としては、以下の材料を使用した。
(A-1)エポキシ系化合物(脂環式エポキシ化合物)
3',4'-エポキシシクロヘキシルメチル3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート
(製品名:セロキサイド(登録商標)2021P、ダイセル社製、固形分100質量%)
(A-2)エポキシ系化合物(脂環式エポキシ化合物)
ブタンテトラカルボン酸 テトラ(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル修飾
ε-カプロラクトン
(製品名:エポリード(登録商標)GT401、ダイセル社製、固形分100質量%)
(A-3)エポキシ系化合物(脂環式エポキシ化合物)
多官能脂環式エポキシ基含有ポリマー
(製品名:EHPE(登録商標)3150、ダイセル社製、固形分100質量%)
(B-1) アクリレート系化合物(6官能)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(製品名:A-DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
(B-2) アクリレート系化合物(10官能)
10官能ウレタンアクリレート (製品名:紫光(登録商標)UV1700B、日本合成化学工業社製、固形分100質量%)
(C-1)メラミン系化合物
ヘキサメトキシメチルメラミン、固形分100%、東京化成工業社製、(製品名 N,N,N’,N’,N’’,N’’-ヘキサキス(メトキシメチル)メラミン、分子量390)
(C-2)メラミン系化合物
ヘキサメトキシメチルメラミン、固形分100%、MTアクアポリマー社製、(製品名 サイメル303)
(binder component)
The following materials were used as binder components.
(A-1) Epoxy compound (alicyclic epoxy compound)
3',4'-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane carboxylate (product name: Celoxide (registered trademark) 2021P, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass)
(A-2) Epoxy compound (alicyclic epoxy compound)
Butanetetracarboxylic acid tetra(3,4-epoxycyclohexylmethyl-modified ε-caprolactone (product name: Epolead (registered trademark) GT401, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass)
(A-3) Epoxy compound (alicyclic epoxy compound)
Polyfunctional alicyclic epoxy group-containing polymer (product name: EHPE (registered trademark) 3150, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass)
(B-1) Acrylate compound (hexafunctional)
Dipentaerythritol hexaacrylate (product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100% by mass)
(B-2) Acrylate-based compound (10-functional)
10-functional urethane acrylate (product name: Shiko (registered trademark) UV1700B, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd., solid content 100% by mass)
(C-1) Melamine compound Hexamethoxymethyl melamine, solid content 100%, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd. (product name N,N,N',N',N'',N''-hexakis (methoxymethyl) melamine, molecular weight 390)
(C-2) Melamine-based compound Hexamethoxymethylmelamine, solid content 100%, manufactured by MT Aquapolymer (product name Cymel 303)

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液1をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.8μmになるように塗工し、90℃で15秒乾燥後、70mJ/cmの紫外線を紫外線照射機(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を用いて照射することでセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムに上記方法にてセラミックスラリーを塗工し剥離力を評価したところ、良好な評価結果が得られた。
(塗布液1)
メチルエチルケトン 43.70質量部
トルエン 43.70質量部
バインダー成分(A-1) 9.00質量部
(製品名:セロキサイド(登録商標)2021P、ダイセル社製、固形分100質量%))
離型剤 1.00質量部
(脂環式エポキシ基含有シリコーン樹脂、UV POLY215、固形分100%、荒川化学工業社製)
光カチオン開始剤 2.60質量部
(UV CATA211、有効成分19質量%、荒川化学工業社製)
(Example 1)
Coating solution 1 having the following composition was applied on surface layer A of laminated film X1 using reverse gravure so that the thickness of the release layer after drying was 0.8 μm, dried at 90° C. for 15 seconds, and applied at 70 mJ. A release film for producing a ceramic green sheet was obtained by irradiating ultraviolet rays at a rate of 1/cm 2 using an ultraviolet irradiation machine (manufactured by Heraeus, LC6B, H bulb). A ceramic slurry was applied to the obtained release film by the method described above, and the release force was evaluated. As a result, good evaluation results were obtained.
(Coating liquid 1)
Methyl ethyl ketone 43.70 parts by mass Toluene 43.70 parts by mass Binder component (A-1) 9.00 parts by mass (product name: Celoxide (registered trademark) 2021P, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass))
Release agent 1.00 parts by mass (alicyclic epoxy group-containing silicone resin, UV POLY215, solid content 100%, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)
Photo cationic initiator 2.60 parts by mass (UV CATA211, active ingredient 19% by mass, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)

(実施例2)
下記に示した組成である塗布液2に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液2)
メチルエチルケトン 43.70質量部
トルエン 43.70質量部
バインダー成分(A-2) 9.00質量部
(製品名:エポリード(登録商標)GT401、ダイセル社製、固形分100%)
離型剤 1.00質量部
(脂環式エポキシ基含有シリコーン樹脂、UV POLY215、固形分100%、荒川化学工業社製)
光カチオン開始剤 2.60%質量部
(UV CATA211、有効成分19質量%、荒川化学工業社製)
(Example 2)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that the composition was changed to coating liquid 2 having the composition shown below.
(Coating liquid 2)
Methyl ethyl ketone 43.70 parts by mass Toluene 43.70 parts by mass Binder component (A-2) 9.00 parts by mass (Product name: Epolead (registered trademark) GT401, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100%)
Release agent 1.00 parts by mass (alicyclic epoxy group-containing silicone resin, UV POLY215, solid content 100%, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)
Photo cationic initiator 2.60% mass parts
(UV CATA211, active ingredient 19% by mass, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)

(実施例3)
下記に示した組成である塗布液3に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液3)
メチルエチルケトン 44.50質量部
トルエン 44.50質量部
バインダー成分(A-3) 9.00質量部
((製品名:EHPE(登録商標)3150、ダイセル社製、固形分100質量%)
離型剤 1.00質量部
(脂環式エポキシ基含有シリコーン樹脂、UV POLY215、固形分100%、荒川化学工業社製)
光カチオン開始剤 1.00%質量部
(ヘキサフルオロアンチモネートトリアリールスルフォニウム塩)
(製品名:CPI(登録商標)101A、有効成分50質量%、サンアプロ社製)
(Example 3)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that the coating liquid was changed to coating liquid 3 having the composition shown below.
(Coating liquid 3)
Methyl ethyl ketone 44.50 parts by mass Toluene 44.50 parts by mass Binder component (A-3) 9.00 parts by mass ((Product name: EHPE (registered trademark) 3150, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass)
Release agent 1.00 parts by mass (alicyclic epoxy group-containing silicone resin, UV POLY215, solid content 100%, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)
Photo cationic initiator 1.00% by mass (Hexafluoroantimonate triarylsulfonium salt)
(Product name: CPI (registered trademark) 101A, active ingredient 50% by mass, manufactured by San-Apro)

(実施例4)
塗布液1を塗布液4に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液4)
イソプロピルアルコール 59.40質量部
メチルエチルケトン 19.80質量部
バインダー成分(B-1) 19.00質量部
(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 製品名:A-DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
(メタ)アクリロイル基含有共重合シリコーンアクリルポリマー 1.00質量部
(製品名:GL-04R、共栄社化学社製、固形分20%)
α-ヒドロキシアルキルフェノン 0.80質量部
(製品名:IRGACURE127、BASF社製、有効成分100%)
(Example 4)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that coating liquid 1 was changed to coating liquid 4.
(Coating liquid 4)
Isopropyl alcohol 59.40 parts by mass Methyl ethyl ketone 19.80 parts by mass Binder component (B-1) 19.00 parts by mass (Dipentaerythritol hexaacrylate Product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100% by mass )
(Meth) acryloyl group-containing copolymer silicone acrylic polymer 1.00 parts by mass (product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20%)
α-Hydroxyalkylphenone 0.80 parts by mass (product name: IRGACURE127, manufactured by BASF, active ingredient 100%)

(実施例5)
塗布液1を塗布液5に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液5)
イソプロピルアルコール 59.40質量部
メチルエチルケトン 19.80質量部
バインダー成分(B-2) 19.00質量部
(10官能ウレタンアクリレートアクリレート 製品名:紫光(登録商標)UV1700B、日本合成化学工業社製、固形分100質量%)
(メタ)アクリロイル基含有共重合シリコーンアクリルポリマー 1.00質量部
(製品名:GL-04R、共栄社化学社製、固形分20%)
α-ヒドロキシアルキルフェノン 0.80質量部
(製品名:IRGACURE127、BASF社製、有効成分100%)
(Example 5)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that coating liquid 1 was changed to coating liquid 5.
(Coating liquid 5)
Isopropyl alcohol 59.40 parts by mass Methyl ethyl ketone 19.80 parts by mass Binder component (B-2) 19.00 parts by mass (10-functional urethane acrylate acrylate Product name: Shiko (registered trademark) UV1700B, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd., solid content 100% by mass)
(Meth) acryloyl group-containing copolymer silicone acrylic polymer 1.00 parts by mass (product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20%)
α-Hydroxyalkylphenone 0.80 parts by mass (product name: IRGACURE127, manufactured by BASF, active ingredient 100%)

(実施例6)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液6をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.6μmになるように塗工し、140℃で15秒乾燥することでセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液6)
メチルエチルケトン 44.50質量部
トルエン 44.50質量部
バインダー(C-1) 10.00質量部
(ヘキサメトキシメチルメラミン、固形分100%、東京化成工業社製、商品名 N,N,N’,N’,N’’,N’’-ヘキサキス(メトキシメチル)メラミン、分子量390))
離型剤 0.50質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22-3710、固形分100%、信越化学工業社製、ジメチルシロキサンとカルボキシル基の間にアルキル基が介在)
酸触媒(p-トルエンスルホン酸) 0.50質量部
(Example 6)
A coating liquid 6 having the following composition was applied on the surface layer A of the laminated film X1 using reverse gravure so that the thickness of the release layer after drying was 0.6 μm, and dried at 140° C. for 15 seconds. A release film for manufacturing a ceramic green sheet was obtained.
(Coating liquid 6)
Methyl ethyl ketone 44.50 parts by mass Toluene 44.50 parts by mass Binder (C-1) 10.00 parts by mass (Hexamethoxymethyl melamine, solid content 100%, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., trade name N,N,N',N ',N'',N''-hexakis(methoxymethyl)melamine, molecular weight 390))
Release agent 0.50 parts by mass (single-end carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., alkyl group interposed between dimethylsiloxane and carboxyl group)
Acid catalyst (p-toluenesulfonic acid) 0.50 parts by mass

(実施例7)
実施例6の塗布液6の離型剤(X22-3710)の添加量を0.20質量部に変更した以外は実施例6と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 7)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 6, except that the amount of release agent (X22-3710) added to coating liquid 6 of Example 6 was changed to 0.20 parts by mass.

(実施例8)
実施例6の塗布液6のヘキサメトキシメチルメラミンの添加量を9.0質量部、離型剤(X22-3710)の添加量を1.0質量部に変更した以外は実施例6と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 8)
The procedure was the same as in Example 6 except that the amount of hexamethoxymethylmelamine added to coating liquid 6 of Example 6 was changed to 9.0 parts by mass and the amount of release agent (X22-3710) added was changed to 1.0 parts by mass. to obtain a release film for producing a ceramic green sheet.

(実施例9)
実施例6の塗布液6のヘキサメトキシメチルメラミンの添加量を8.0質量部、離型剤(X22-3710)の添加量を2.0質量部に変更した以外は実施例6と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 9)
The procedure of Example 6 was repeated except that the amount of hexamethoxymethylmelamine added to coating liquid 6 of Example 6 was changed to 8.0 parts by mass and the amount of release agent (X22-3710) added was changed to 2.0 parts by mass. to obtain a release film for producing a ceramic green sheet.

(実施例10~12)
実施例6の離型層の膜厚を表2に記載の膜厚に変更した以外は実施例6と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Examples 10-12)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 6, except that the thickness of the release layer of Example 6 was changed to the thickness shown in Table 2.

(比較例1)
塗布液1を塗布液7に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。比較例1ではエポキシ系バインダー成分と相互作用を示さないポリエーテル変性シリコーンを使用したため、離型層表面の耐溶剤性が悪くなり、低角度、高温での剥離力が顕著に高くなった。
(塗布液7)
メチルエチルケトン 43.70質量部
トルエン 43.70質量部
バインダー成分(A-1) 9.00質量部
(製品名:セロキサイド(登録商標)2021P、ダイセル社製、固形分100質量%))
離型剤 1.00質量部
(ポリエーテル変性シリコーン樹脂、BYK-302、固形分100%、荒川化学工業社製)
光カチオン開始剤 2.60質量部
(UV CATA211、有効成分19質量%、荒川化学工業社製)
(Comparative example 1)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that coating liquid 1 was changed to coating liquid 7. In Comparative Example 1, polyether-modified silicone, which does not interact with the epoxy binder component, was used, so that the release layer surface had poor solvent resistance and remarkably high peel strength at low angles and high temperatures.
(Coating liquid 7)
Methyl ethyl ketone 43.70 parts by mass Toluene 43.70 parts by mass Binder component (A-1) 9.00 parts by mass (product name: Celoxide (registered trademark) 2021P, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass))
Release agent 1.00 parts by mass (polyether-modified silicone resin, BYK-302, solid content 100%, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)
Photo cationic initiator 2.60 parts by mass (UV CATA211, active ingredient 19% by mass, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)

(比較例2)
塗布液1を塗布液8に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。比較例2ではポリジメチルシロキサンが主鎖である離型剤を使用していることと、ラジカル重合特有の酸素による表面硬化阻害が発生するため、離型層表面付近の耐溶剤性が悪くなった。その結果、離型層の弾性率は高いが、離型層表面の耐溶剤性が悪いため、低角度、高温での剥離力が顕著に高くなった。
(塗布液8)
イソプロピルアルコール 60.00質量部
メチルエチルケトン 20.00質量部
バインダー成分(B-1) 19.00質量部 (ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 製品名:A-DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン 0.20質量部
(製品名:BYK-UV3500、ビッグケミー・ジャパン社製、固形分100%)
α-ヒドロキシアルキルフェノン 0.80質量部
(製品名:IRGACURE127、BASF社製、有効成分100%)
(Comparative example 2)
A release film for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that coating liquid 1 was changed to coating liquid 8. In Comparative Example 2, the solvent resistance near the surface of the release layer deteriorated due to the use of a release agent having a main chain of polydimethylsiloxane and the inhibition of surface curing due to oxygen peculiar to radical polymerization. . As a result, although the release layer had a high elastic modulus, the peel strength at a low angle and at a high temperature was remarkably high because the solvent resistance of the surface of the release layer was poor.
(Coating liquid 8)
Isopropyl alcohol 60.00 parts by mass Methyl ethyl ketone 20.00 parts by mass Binder component (B-1) 19.00 parts by mass (Dipentaerythritol hexaacrylate Product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100% by mass )
Acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane 0.20 parts by mass (product name: BYK-UV3500, manufactured by Big Chemie Japan, solid content 100%)
α-Hydroxyalkylphenone 0.80 parts by mass (product name: IRGACURE127, manufactured by BASF, active ingredient 100%)

(比較例3)
塗布液6を以下塗布液9に変更した以外は、実施例6と同様にしてセラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤を多く添加し、メラミン樹脂が離型層の70質量%しかない比較例3では離型層の弾性率が低く、離型層表面の耐溶剤性も悪いため、セラミックグリーンシート剥離力が大きくなった。特に低角度、高温での剥離力が顕著に高くなった。
(塗布液9)
メチルエチルケトン 44.80質量部
トルエン 44.80質量部
バインダー(C-1) 7.00質量部
(ヘキサメトキシメチルメラミン、固形分100%、東京化成工業社製)
離型剤 3.00質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22-3710、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒(p-トルエンスルホン酸) 0.40質量部
(Comparative Example 3)
A release film for producing a ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 6, except that coating liquid 6 was changed to coating liquid 9 below. In Comparative Example 3, in which a large amount of release agent was added and the melamine resin was only 70% by mass of the release layer, the release layer had a low elastic modulus and poor solvent resistance on the surface of the release layer. has grown. In particular, the peel strength at low angles and high temperatures was remarkably increased.
(Coating liquid 9)
Methyl ethyl ketone 44.80 parts by mass Toluene 44.80 parts by mass Binder (C-1) 7.00 parts by mass (Hexamethoxymethyl melamine, solid content 100%, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
Release agent 3.00 parts by mass (single-end carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst (p-toluenesulfonic acid) 0.40 parts by mass

(比較例4)
塗布液1を以下塗布液10に変更した以外は、実施例1と同様にしてセラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤のヒドロキシル基とメラミン系樹脂の相互作用が強く、離型剤が表面に出ていないためか、離型層の弾性率が高く離型層表面の耐溶剤性も高いものの、剥離力が高くなった。
(塗布液10)
メチルエチルケトン 44.75質量部
トルエン 44.75質量部
バインダー(C-2) 9.00質量部
(ヘキサメトキシメチルメラミン、固形分100%、MTアクアポリマー社製、商品名 サイメル303)
離型剤 1.00質量部
(ポリエステル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK-370、固形分25%、ビックケミージャパン社製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.50質量部
(Comparative Example 4)
A release film for producing a ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that coating liquid 1 was changed to coating liquid 10 below. The interaction between the hydroxyl group of the release agent and the melamine resin is strong, and the release agent does not appear on the surface. became higher.
(Coating liquid 10)
Methyl ethyl ketone 44.75 parts by mass Toluene 44.75 parts by mass Binder (C-2) 9.00 parts by mass (Hexamethoxymethyl melamine, solid content 100%, manufactured by MT Aquapolymer, trade name Cymel 303)
Release agent 1.00 parts by mass (polydimethylsiloxane containing polyester-modified OH group, BYK-370, solid content 25%, manufactured by BYK-Chemie Japan)
Acid catalyst (p-toluenesulfonic acid) 0.50 parts by mass

各実施例及び比較例の評価結果を表1及び表2に示す。 Tables 1 and 2 show the evaluation results of each example and comparative example.

実施例1~12においては、剥離角度30°、剥離温度50℃での剥離力が低いため、セラミックシートにダメージを与えず剥離することができ品質の良いセラミックコンデンサを得ることができた。比較例1~4においては、剥離角度30°、剥離温度50℃での剥離力が高いため、セラミックシートにダメージを与えるためセラミックコンデンサの歩留まりが悪化した。 In Examples 1 to 12, the peel strength at a peel angle of 30° and a peel temperature of 50° C. was low, so that the ceramic sheets could be peeled off without damaging them, and high-quality ceramic capacitors could be obtained. In Comparative Examples 1 to 4, the peeling force at a peeling angle of 30° and a peeling temperature of 50°C was high.

本発明によれば、セラミックグリーンシートと離型フィルムの剥離温度が高い場合、剥離角度が低い場合においても剥離力が低く、セラミックグリーンシートへのダメージを抑制することのできる超薄層のセラミックグリーンシートを製造することができる。 According to the present invention, when the peeling temperature between the ceramic green sheet and the release film is high, the peeling force is low even when the peeling angle is low, and the ceramic green sheet is an ultra-thin layer that can suppress damage to the ceramic green sheet. Sheets can be manufactured.

1 : SUS板
2 : 両面粘着テープ
3 : セラミックグリーンシート
4 : 離型層
5 : ポリエステルフィルム基材
6 : 引っ張り方向
7 : 剥離角度
8 : 離型フィルム
9 : セラミックグリーンシート付き離型フィルム
1: SUS plate 2: Double-sided adhesive tape 3: Ceramic green sheet 4: Release layer 5: Polyester film substrate 6: Pulling direction 7: Peeling angle 8: Release film 9: Release film with ceramic green sheet

Claims (10)

ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、
少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層された離型フィルムであって、
前記離型層が少なくとも離型剤及びバインダー成分を含有しており、
前記離型層上にセラミックグリーンシート成型した場合に、セラミックグリーンシートと離型フィルムとの剥離温度50℃、剥離角度90°での剥離力F(T50/A90)が7.0mN/mm以下であり、
前記ポリエステルフィルム基材は、前記表面層Aとは反対側の面に表面層Bを有し、
表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)が、表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)よりも小さく、
前記離型層におけるバインダー成分が、メラミン系化合物、エポキシ系化合物、アクリレート系化合物の少なくとも一つの架橋体を含み、
前記バインダー成分がエポキシ系化合物を含む場合、前記バインダー成分は、更に、光カチオン重合開始剤を含み、
前記離型剤は、シリコーン骨格を含んでおり、
更に、エポキシ基、アクリロイル基及びカルボキシル基からなる群から選択される少なくとも1つの官能基を有し、
前記離型剤の含有量が離型層固形分に対して、0.1質量%以上15質量%以下であり、
前記剥離力Fの測定に用いるセラミックグリーンシートは、
トルエン、エタノール及びチタン酸バリウムを含む組成物から形成されたセラミックグリーンシートであり、
前記組成物は、トルエンとエタノールを同量で含む、
セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
A polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A on at least one side that does not substantially contain inorganic particles,
A release film in which a release layer is laminated directly or via another layer on at least one surface layer A surface,
The release layer contains at least a release agent and a binder component,
When a ceramic green sheet is formed on the release layer, the release force F (T50/A90) at a release temperature of 50°C and a release angle of 90° between the ceramic green sheet and the release film is 7.0 mN/mm or less. can be,
The polyester film base has a surface layer B on the side opposite to the surface layer A,
The area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is smaller than the area surface average roughness (Sa) of the surface layer B,
The binder component in the release layer contains at least one crosslinked product of a melamine-based compound, an epoxy-based compound, and an acrylate-based compound,
When the binder component contains an epoxy compound, the binder component further contains a photocationic polymerization initiator,
The release agent contains a silicone skeleton,
Furthermore, having at least one functional group selected from the group consisting of an epoxy group, an acryloyl group and a carboxyl group,
The content of the release agent is 0.1% by mass or more and 15% by mass or less with respect to the solid content of the release layer,
The ceramic green sheet used for measuring the peeling force F is
A ceramic green sheet formed from a composition containing toluene, ethanol and barium titanate,
The composition contains equal amounts of toluene and ethanol.
Release film for manufacturing ceramic green sheets.
離型層上のナノインデンテーション試験により、前記離型層における前記基材とは反対側の面から測定される被膜弾性率が、2.0GPa以上である請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 2. The ceramic green sheet production according to claim 1, wherein the film elastic modulus measured from the surface of the release layer opposite to the substrate is 2.0 GPa or more by a nanoindentation test on the release layer. release film. 離型層は、少なくとも前記離型剤及び前記バインダー成分を含有する塗膜が硬化されてなり、バインダー成分が離型層の固形分の85質量%以上である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 3. The ceramic according to claim 1 or 2, wherein the release layer is formed by curing a coating film containing at least the release agent and the binder component, and the binder component is 85% by mass or more of the solid content of the release layer. Release film for green sheet production. 剥離力Fの測定に用いるセラミックグリーンシートを形成する前記組成物は、ポリビニルブチラールを含む、請求項3に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 4. The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 3, wherein the composition forming the ceramic green sheet used for measuring the peel force F contains polyvinyl butyral. 離型層の膜厚が0.01μm~1.5μmである請求項1~4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the release layer has a thickness of 0.01 µm to 1.5 µm. 前記剥離力Fの測定に用いるセラミックグリーンシートは、更に、チタン酸バリウムを含む組成物から形成されたセラミックグリーンシートである、請求項1~5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The mold release for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the ceramic green sheet used for measuring the peeling force F is a ceramic green sheet formed from a composition containing barium titanate. the film. ポリエステルフィルム基材の表面層Aとは反対側の表面層を形成している表面層Bが粒子を含有し、前記粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、粒子の合計が表面層B中に5000~15000ppm含有されている請求項1~6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The surface layer B forming the surface layer opposite to the surface layer A of the polyester film base contains particles, the particles are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total of the particles is the surface layer B The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 6, containing 5000 to 15000 ppm in the release film. 表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、0.1nm以上7nm以下であり、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1~40nmである請求項1~7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is 0.1 nm or more and 7 nm or less, and the area surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is 1 to 40 nm. A release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above. 請求項1~8のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm~1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。 A method for producing a ceramic green sheet by molding a ceramic green sheet using the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 8, wherein the molded ceramic green sheet has a thickness of 0.2 μm to 1 μm. A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0 μm. 請求項9に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。 A method for manufacturing a ceramic capacitor employing the method for manufacturing a ceramic green sheet according to claim 9 .
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