JP2019116086A - Release film for manufacturing ceramic green sheet - Google Patents

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Abstract

To provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet having no aggravation of detachability even when thickness of the release film is made thin, having no aggravation of runnability generated by curl, and hardly generating pin hole defect or the like on a molded ultrathin ceramic green sheet.SOLUTION: There is provided a release sheet for manufacturing a ceramic green sheet, in which a release sheet with 0.2 to 2.0 μm on at least a single surface of a polyester film directly or via other layers, area surface roughness (Sa) of a release layer surface is 7 nm or less, and the release layer is manufactured by curing a coated film containing at least an energy ray curing type copolymer acrylic resin having a (meth)acryloyl group and a polyorganosiloxane group in a molecule and weight average molecular weight of 2,000 to 100,000.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制したものを製造し得る、超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。   The present invention relates to a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet, and in particular, it is possible to produce a film in which the occurrence of process defects due to pinholes and thickness unevenness is suppressed at the time of producing an ultrathin layer ceramic green sheet. The present invention relates to a release film for producing an ultra-thin layer ceramic green sheet.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ(以下MLCCとする)、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、離型フィルムに、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシートに電極を印刷し離型フィルムから剥離したのち、セラミックグリーンシートを積層、プレスし裁断後、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。これまで、ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点が生じやすくなるといった問題点があった。そのため、優れた平坦性を有する離型層表面を実現するための手法が種々開発されてきた(例えば、特許文献1)。   Conventionally, a release film having a polyester film as a base material and a release layer laminated thereon is used for forming a ceramic green sheet such as a multilayer ceramic capacitor (hereinafter referred to as MLCC), a ceramic substrate or the like. In recent years, the thickness of ceramic green sheets tends to be thinner along with the miniaturization and the increase in capacity of multilayer ceramic capacitors. The ceramic green sheet is molded by coating and drying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin on a release film. After printing an electrode on a molded ceramic green sheet and peeling it from a release film, a laminated ceramic capacitor is manufactured by laminating, pressing and cutting the ceramic green sheet, and firing and applying an external electrode. So far, when molding a ceramic green sheet on the surface of the release layer of polyester film, minute projections on the surface of the release layer affect the formed ceramic green sheet, and defects such as repelling and pinholes are likely to occur. There was a problem. Therefore, various methods have been developed for realizing a release layer surface having excellent flatness (for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm〜1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、離型層表面により高い平滑性が求められるようになってきている。また、セラミックグリーンシートの薄膜化に伴い、セラミックグリーンシートの強度が低下するため、離型層表面の平滑化だけではなく、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一にすることが好ましく、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる負荷を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることが好ましくなってきている。   However, in recent years, the thickness of ceramic green sheets has been further reduced, and ceramic green sheets having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically 0.2 μm to 1.0 μm, have been required. Therefore, higher smoothness is required on the surface of the release layer. In addition, since the strength of the ceramic green sheet decreases as the thickness of the ceramic green sheet decreases, not only the surface of the release layer is smoothed, but also the peel strength when peeling the ceramic green sheet from the release film is low and uniform. It is preferable to reduce the load applied to the ceramic green sheet as much as possible when peeling the ceramic green sheet from the release film, and to prevent the ceramic green sheet from being damaged.

また近年、環境負荷とコストダウンの観点から離型フィルムの厚みを薄くすることが求められている。しかし、離型フィルムの厚みを薄くすると、離型フィルム表面の平滑性が低下したり、離型フィルムのコシ感が低下しカールなどを起こしやすくなり、セラミックグリーンシート成型時や電極印刷時の離型フィルムの走行性が悪くなる課題があった。より具体的には、離型フィルムの走行性が悪化すると、セラミックグリーンシートの塗布成型時の均一性が悪化し、セラミックグリーンシートの膜厚が不均一になったり、電極印刷工程で印刷精度が低下し、成形加工したMLCCの不良率が悪化する課題があった。   Further, in recent years, it is required to reduce the thickness of the release film from the viewpoint of environmental load and cost reduction. However, if the thickness of the release film is reduced, the smoothness of the surface of the release film may be reduced, or the stiffness of the release film may be reduced to cause curling, etc. There is a problem that the traveling property of the mold film is deteriorated. More specifically, when the traveling property of the release film is deteriorated, the uniformity at the time of coating and forming of the ceramic green sheet is deteriorated, the film thickness of the ceramic green sheet becomes uneven, and the printing accuracy in the electrode printing process There is a problem that the defect rate of the molded MLCC is deteriorated.

剥離時のセラミックグリーンシートへの負荷を抑制する方法としては、離型フィルムの離型層に活性エネルギー線硬化成分を用いることで離型層の架橋密度を高め、弾性率を向上させることで、セラミックグリーンシート剥離時における離型層の変形を抑制し剥離力を軽くする方策が検討されている(例えば、特許文献2、3)。   As a method of suppressing the load on the ceramic green sheet at the time of peeling, the crosslinking density of the releasing layer is increased by using an active energy ray curing component in the releasing layer of the releasing film, and the elastic modulus is improved. A measure to reduce the peeling force by suppressing the deformation of the release layer at the time of peeling the ceramic green sheet has been studied (for example, Patent Documents 2 and 3).

しかし、特許文献2や3のように離型層の架橋密度を高めるだけでは、離型層の硬化収縮が大きくなることがあり離型層加工後の離型フィルムにカールが発生し、走行性が悪化する懸念があった。また、硬化が不十分であった場合、離型層の耐溶剤性が悪化するため、セラミックグリーンシート加工や電極印刷時に用いる有機溶媒、例えばトルエンなどによって離型層が浸食されることで剥離力が増大し、剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがあった。さらに、硬化が不十分であった場合、シリコーン成分がグリーンシートへ多く移行し、グリーンシート間の接着力が低下する懸念があった。特に、離型フィルムの厚みが薄くなると、カールがより顕著となり、セラミックグリーンシートの成型時に課題が発生する一方、離型層を薄くすると硬化阻害を起こし、剥離不良の発生やシリコーン移行量が増える懸念があった。   However, just increasing the crosslinking density of the release layer as in Patent Documents 2 and 3 may result in an increase in curing shrinkage of the release layer, causing curling in the release film after release layer processing, and running property There was a concern that would worsen. In addition, if the curing is insufficient, the solvent resistance of the release layer is deteriorated, so that the release layer is corroded by the organic solvent used at the time of ceramic green sheet processing or electrode printing, for example, toluene, etc. And could cause damage to the ceramic green sheet at the time of peeling. Furthermore, when curing was insufficient, there was a concern that a large amount of the silicone component was transferred to the green sheet, and the adhesion between the green sheets was reduced. In particular, when the thickness of the release film becomes thin, curling becomes more remarkable, and while the problem occurs when molding the ceramic green sheet, when the release layer is made thinner, curing inhibition occurs and generation of peeling defects and silicone transfer amount increase. There was a concern.

特開2000−117899号公報JP 2000-117899 A 国際公開第2013/145864号International Publication No. 2013/145864 国際公開第2013/145865号International Publication No. 2013/145865

本発明者らは、上記実情に鑑み鋭意検討した結果、離型フィルムの離型層に特定の材料を使用することで、離型層の高架橋密度と低硬化収縮、及び低シリコーン移行が両立することを見出した。そして、本発明の課題は、離型フィルムの厚みを薄くしても剥離性の悪化や、カールにより生じる走行性の悪化がなく、成型される極薄のセラミックグリーンシートにピンホール欠点等を生じ難いセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供することである。   As a result of intensive investigations in view of the above situation, the inventors of the present invention, by using a specific material for the release layer of the release film, makes compatible high crosslink density of the release layer, low cure shrinkage, and low silicone migration. I found out. And, the subject of the present invention is that even if the thickness of the release film is made thin, there is no deterioration in releasability and no deterioration in running property caused by curling, and pinhole defects etc. occur in the molded ultrathin ceramic green sheet. It is an object of the present invention to provide a difficult release film for producing a ceramic green sheet.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. ポリエステルフィルムの少なくとも片面に直接又は他の層を介して0.2〜2.0μmの離型層が積層された離型フィルムであって、離型層表面の領域表面粗さ(Sa)が7nm以下であり、前記離型層が1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する重量平均分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を少なくとも含む塗膜が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 離型層が、1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂以外のエネルギー線硬化型樹脂成分及びポリオルガノシロキサン成分を含まない上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する重量平均分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂が、(メタ)アクリロイル基の前駆体を有するモノマー類とポリオルガノシロキサン基を有するモノマー類を少なくとも含む複数種のモノマー類が共重合されているアクリルコポリマー(I)に対して、(メタ)アクリロイル基を有する化合物がグラフトされているものであり、アクリルコポリマー(I)に対するポリオルガノシロキサン基の導入量が0.01〜10mol%、(メタ)アクリロイル基のグラフトによる導入量が70〜99.95mol%である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. ポリエステルフィルムが少なくとも2層以上からなる積層ポリエステルフィルムであって、前記積層ポリエステルフィルムの離型層が積層された側の表面層Aには実質的に無機粒子が含有されていない上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
5. 積層ポリエステルフィルムの表面層Aとは反対側の表面層Bが粒子を含有し、前記粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、合計の粒子の含有量が表面層Bの総質量に対して5000〜15000ppmである上記第4に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
6. 上記第1〜第5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みであるセラミックグリーンシートの製造方法。
That is, the present invention has the following constitution.
1. A release film in which a release layer of 0.2 to 2.0 μm is laminated on at least one surface of a polyester film directly or through another layer, and the area surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm The coating film containing at least an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a weight average molecular weight of 2000 to 100,000 having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule is cured. Release film for producing ceramic green sheets.
2. The release layer contains an energy ray-curable resin component and a polyorganosiloxane component other than an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a molecular weight of 2,000 to 100,000 having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule. The release film for producing a ceramic green sheet according to the above first aspect.
3. An energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a weight average molecular weight of 2,000 to 100,000 having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule, a monomer having a (meth) acryloyl group precursor and a polyorganosiloxane A compound having a (meth) acryloyl group is grafted to an acrylic copolymer (I) in which a plurality of types of monomers including at least a monomer having a group are copolymerized, and the acrylic copolymer (I) The release according to the first or the second according to the first or the second, wherein the amount of polyorganosiloxane group introduced is 0.01 to 10 mol%, and the amount of introduction of (meth) acryloyl group by grafting is 70 to 99.95 mol%. Mold film.
4. A laminated polyester film comprising at least two layers of polyester films, wherein the surface layer A on the side on which the release layer of the laminated polyester film is laminated is substantially free of inorganic particles. The release film for ceramic green sheet manufacture in any one of 3.
5. The surface layer B on the opposite side to the surface layer A of the laminated polyester film contains particles, the particles are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total content of particles relative to the total mass of the surface layer B The mold release film for producing a ceramic green sheet according to the above fourth, which has a weight of 5000 to 15000 ppm.
6. It is a manufacturing method of the ceramic green sheet which shape | molds a ceramic green sheet using the release film for ceramic green sheet manufacture in any one of the said 1st-5th, Comprising: 0.2 micrometers-of the ceramic green sheet shape | molded A method of producing a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、カールやシリコーン移行量が少なく、剥離性に優れるため、離型フィルムの厚みを薄くしても、成型される厚み1μm以下といった超薄膜セラミックグリーンシートにピンホールなどの欠点を少なくできるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの提供が可能となった。   The release film for producing a ceramic green sheet according to the present invention has a smaller amount of curling and transfer to silicone and is excellent in releasability as compared with a conventional release film for producing a ceramic green sheet, so the thickness of the release film is reduced. However, it has become possible to provide a release film for producing a ceramic green sheet which can reduce defects such as pinholes in an ultrathin ceramic green sheet having a thickness of 1 μm or less to be molded.

以下、本発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有しており、前記離型層は、1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する重量平均分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を少なくとも含む塗膜を硬化させてなることを特徴とするセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを好ましい態様とするものである。   The release film for producing an ultrathin ceramic green sheet according to the present invention has a release layer on at least one side of a polyester film, and the release layer contains a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane in one molecule. A release film for producing a ceramic green sheet, which is obtained by curing a coating film containing at least an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a weight average molecular weight of 2,000 to 100,000 having a group is a preferable embodiment. .

(ポリエステルフィルム)
本発明において基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム形成したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン?2,6?ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明の離型フィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film to be used as a substrate in the present invention is not particularly limited, and a polyester film generally used as a substrate for a release film may be used, but preferably It may be a crystalline linear saturated polyester comprising an aromatic dibasic acid component and a diol component, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene 2,6 naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate or resins thereof. Copolymers having a component as a main component are more preferred, and polyester films formed from polyethylene terephthalate are particularly preferred. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and small amounts of other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized, but from the viewpoint of cost And those produced solely from terephthalic acid and ethylene glycol. In addition, known additives, for example, an antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet light absorber, a crystallization agent, and the like may be added within a range not to inhibit the effect of the release film of the present invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film for reasons such as the height of the elastic modulus in both directions.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50■0.70dl/gが好ましく、0.52■0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料は十分に真空乾燥することが好ましい。   The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, a large number of fractures do not occur in the stretching step, which is preferable. On the contrary, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because the cutting property when cutting into a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. In addition, it is preferable that the raw material be sufficiently vacuum dried.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。   The method for producing the polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be melted by an extruder, extruded into a film, cooled by a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and obtained by biaxially stretching the unstretched film. A biaxially stretched film can be obtained by sequentially biaxially stretching a longitudinally or transversely uniaxially stretched film in the transverse direction or longitudinal direction, or by simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal direction and transverse direction. It can.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。   In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably at least the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in the longitudinal and transverse directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12■50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15■38μmであり、より好ましくは、19μm〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や加工工程、成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。   The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 μm, more preferably 15 to 38 μm, and still more preferably 19 to 33 μm. If the thickness of the film is 12 μm or more, there is no risk of deformation due to heat at the time of film production, processing steps, and molding, which is preferable. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use is not extremely large, which is preferable in reducing the environmental load.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有することが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、無機粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層をA層、その反対面の層をB層、これら以外の芯層をC層とすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながらC層は複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには無機粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には少なくとも無機粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。   The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but it is preferable to have a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing inorganic particles and the like on the opposite surface of the surface layer A substantially not containing inorganic particles. Assuming that the layer to which the release layer is applied is layer A, the layer on the opposite side is layer B, and the core layer other than these layers is layer C, the layer configuration in the thickness direction is release layer / A /. B, or a laminated structure of release layer / A / C / B or the like. Naturally, the C layer may have a plurality of layer configurations. The surface layer B can also contain no inorganic particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer containing at least inorganic particles and a binder on the surface layer B in order to impart slipperiness for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、無機粒子が、蛍光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。   In the polyester film substrate in the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface to which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area average surface roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. It is preferable that occurrence of pinholes and the like does not easily occur at the time of molding of the laminated ultrathin ceramic green sheet that Sa is 7 nm or less. The area average surface roughness (Sa) of the surface layer A is preferably as small as possible, but may be 0.1 nm or more. Here, when providing the below-mentioned anchor coat layer etc. on surface layer A, it is preferable that an inorganic particle is not included in a coat layer substantially, and the field surface average roughness (Sa) after coat layer lamination is the above-mentioned range Is preferred. In the present invention, the phrase "containing substantially no inorganic particles" means that the inorganic particles are 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, most preferably the detection limit or less when the inorganic element is quantified by fluorescent X-ray analysis. Means quantity. This is because, even if the inorganic particles are not positively added to the film, contamination components derived from extraneous foreign matter, stains attached to the lines and devices in the manufacturing process of the raw material resin or the film are peeled off and mixed in the film. It is because there is a case.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、無機粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される無機粒子含有量は、表面層B中に無機粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。   In the polyester film substrate according to the present invention, the surface layer B forming the opposite surface of the surface to which the release layer is applied preferably contains inorganic particles from the viewpoint of film slipperiness and ease of removal of air, In particular, silica particles and / or calcium carbonate particles are preferably used. It is preferable that the inorganic particle content to be contained is 5000 to 15000 ppm in total of the inorganic particles in the surface layer B. At this time, it is preferable that the area | region surface average roughness (Sa) of the film of surface layer B is the range of 1-40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total amount of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, air can be uniformly released when the film is rolled up, and the winding appearance is good and flatness is good. And ultra-thin ceramic green sheets. In addition, when the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, aggregation of the lubricant is difficult to occur and coarse projections can not be made, so the quality is stable at the time of manufacturing ceramic green sheet of ultrathin layer. Preferred.

上記B層に含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子なども用いることができるが、透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましいが、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ?シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。   In addition to silica and / or calcium carbonate, inactive inorganic particles and / or heat-resistant organic particles can be used as the particles contained in the above-mentioned B layer, but from the viewpoint of transparency and cost, silica particles and / or It is more preferable to use calcium carbonate particles, but examples of inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Further, as the heat resistant organic particles, crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, benzoguanamine particles and the like can be mentioned. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate which has been surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the slippage of the lubricant. .

上記表面層Bに添加する無機粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。無機粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。   The average particle diameter of the inorganic particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm to 2.0 μm and particularly preferably 0.5 μm to 1.0 μm. If the average particle diameter of the inorganic particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. In addition, if the average particle diameter is 2.0 μm or less, there is no possibility that pinholes occur in the ceramic green sheet due to the coarse particles on the surface of the release layer, which is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。   The surface layer B may contain two or more kinds of particles different in material. Further, particles of the same type but different in average particle diameter may be contained.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。   In the case where the surface layer B does not contain particles, it is preferable that the coat layer containing the particles on the surface layer B have lubricity. The present coating layer is not particularly limited, but is preferably provided by in-line coating which is applied during film formation of a polyester film. When the surface layer B does not contain particles but has a coat layer containing particles on the surface layer B, the surface of the coat layer is an area for the same reason as the area average roughness (Sa) of the above-mentioned surface layer B. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの無機粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。   In order to prevent the mixing of inorganic particles such as a lubricant, it is preferable not to use a regeneration raw material or the like from the viewpoint of reducing pinholes in the surface layer A which is the layer on the side where the release layer is provided.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さく好ましい。   It is preferable that the thickness ratio of surface layer A which is a layer at the side which provides the said mold release layer is 20% or more and 50% or less of the total layer thickness of a base film. If it is 20% or more, the influence of particles contained in the surface layer B or the like is not easily received from the inside of the film, and the area surface average roughness Sa easily meets the above range, which is preferable. The use ratio of the reproduction | regeneration raw material in surface layer B can be increased as it is 50% or less of the thickness of the whole layer of a base film, an environmental impact is small and preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、B層に含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。   Further, from the viewpoint of economy, 50 to 90% by mass of film scraps and recycled materials for plastic bottles can be used for the layers other than the surface layer A (surface layer B or the above-mentioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the layer B, the particle size, and the area surface average roughness (Sa) satisfy the above range.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。   In addition, a film after stretching or uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve adhesion of a release layer applied later or to prevent charging etc. May be provided with a coating layer, or may be subjected to corona treatment or the like.

(離型層)
本発明の離型層は、1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有するエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を少なくとも含む塗膜を硬化してなることが好ましい。1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有するエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を用いることで、離型層の硬化収縮を抑えつつ、架橋密度を向上させることができるため、離型層の耐溶剤性が向上しセラミックシート加工や電極印刷時の有機溶媒による離型層の浸食を抑制することができる。また、ポリオルガノシロキサン基が分子中に導入されているため、セラミックグリーンシートへ移行することを抑制できるため好ましい。
(Release layer)
The release layer of the present invention is preferably formed by curing a coating film containing at least an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule. By using an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule, it is possible to improve the crosslinking density while suppressing the cure shrinkage of the release layer, The solvent resistance of the mold layer is improved, and the erosion of the release layer by the organic solvent at the time of ceramic sheet processing and electrode printing can be suppressed. Moreover, since the polyorganosiloxane group is introduce | transduced in the molecule | numerator, since it can suppress transferring to a ceramic green sheet, it is preferable.

本発明の離型層は、前記1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有すエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂以外のポリオルガノシロキサン成分を含まないことが好ましい。このような構成の離型層とすることで架橋構造に取り込まれていないシリコーン成分が離型層表面に偏析することがなくなり、シリコーンの移行を抑制することができるため好ましい。また、このような構成の離型層とすることで、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂間のみで架橋反応が進行し、硬化収縮を抑えることができるため好ましい。ここで、「ポリオルガノシロキサン成分を含まない」とは、離型層を形成する塗膜に、特定の機能、例えば離型性などの機能を付与するために、意図的に、1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有すエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂以外のポリオルガノシロキサン成分を添加していないことを指す。そして、前記エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を合成する際の極微量な副生成物および原料由来の不純物の混入や、離型層を形成する工程内に残存するシリコーン成分の混入があったとしても、それは微々たる量であり、ポリオルガノシロキサン成分ではないものとする。   The release layer of the present invention preferably contains no polyorganosiloxane component other than the energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule. By using a release layer having such a configuration, it is preferable to prevent segregation of the silicone component not incorporated in the crosslinked structure on the surface of the release layer and to suppress migration of silicone. Moreover, since a crosslinking reaction can advance only by setting it as the mold release layer of such a structure, and a curing | hardening shrinkage | contraction can be suppressed only between energy beam-curable copolymerized acrylic resins, it is preferable. Here, "does not contain a polyorganosiloxane component" means that, in order to impart a specific function, for example, a function such as releasability to the coating film forming the release layer, intentionally within one molecule. It indicates that polyorganosiloxane components other than the energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group are not added. Then, when there is mixing of a very small amount of by-products and impurities derived from the raw material when synthesizing the energy ray-curable copolymerized acrylic resin, and mixing of the silicone component remaining in the step of forming the releasing layer. Also, it is a minor amount, not a polyorganosiloxane component.

本発明の離型層に用いる、1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有するエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂の重量平均分子量は、2000〜10万であることが好ましく、2000〜5万であることがより好ましく、2000〜3万であることがさらに好ましい。重量平均分子量が2000以上であると、導入するポリオルガノシロキサン基の量が極端に少なくなることがなく、剥離性に優れるため好ましい。重量平均分子量が10万以下であると、分子内の(メタ)アクリロイル基間の反応が抑制され、分子間で(メタ)アクリロイル基が架橋反応するため、架橋密度を高める効果が得られるため好ましい。   The weight average molecular weight of the energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule, which is used in the release layer of the present invention, is preferably 2000 to 100,000, 2000 It is more preferable that it is 50,000, and it is further more preferable that it is 2000-30,000. When the weight average molecular weight is 2000 or more, the amount of the introduced polyorganosiloxane group is not extremely reduced, and it is preferable because the peelability is excellent. When the weight average molecular weight is 100,000 or less, the reaction between (meth) acryloyl groups in the molecule is suppressed, and the (meth) acryloyl group crosslinks between molecules, which is preferable because the effect of increasing the crosslink density is obtained .

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂)
本発明で用いるエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂とは、1分子中に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有するものをいう。より詳しくその構造を述べると、シロキサン基および(メタ)アクリロイル基を分子内に有するアクリル樹脂をさし、(メタ)アクリロイル基を含有するポリジメチルシロキサン(アクリル変性シリコーンと呼ぶこともある)は含まない。
(Energy ray-curable copolymerized acrylic resin)
The energy ray-curable copolymerized acrylic resin used in the present invention refers to one having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule. More specifically, it refers to an acrylic resin having a siloxane group and a (meth) acryloyl group in the molecule, and includes a polydimethylsiloxane (sometimes called an acrylic modified silicone) containing a (meth) acryloyl group. Absent.

本発明で用いるエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂は、(メタ)アクリロイル基の前駆体を有するモノマー類と、ポリオルガノシロキサン基を有するモノマー類を共重合して合成した前駆体のアクリルコポリマー(I)に、(メタ)アクリロイル基をグラフトすることで得ることができる。   The energy ray-curable copolymerized acrylic resin used in the present invention is an acrylic copolymer of a precursor synthesized by copolymerizing a monomer having a (meth) acryloyl group precursor and a monomer having a polyorganosiloxane group (I ) Can be obtained by grafting a (meth) acryloyl group.

(メタ)アクリロイル基の前駆体を有するモノマー類としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートなどのヒドロキシルアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリル酸などのカルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステル類、3−ブテンー1−オール、4−ペンテン−2−オール、1−ペンテン−3−オール、4−ペンテン−1−オールなどのヒドロキシル基を有するアルケニル化合物、クロトン酸、ミリスレイン酸、パルミトレイン酸、サピエン酸、オレイン酸、エライジン酸、バクセン酸、ガドレイン酸、エイコセン酸、エルカ酸、ネルボン酸などのカルボキシル基を有するアルケニル化合物、グリシジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルなどのエポキシ変性アクリレート化合物などが挙げられる。   Monomers having a precursor of (meth) acryloyl group include hydroxylalkyl groups such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, etc. ) Acrylic esters, (meth) acrylic esters having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid, 3-buten-1-ol, 4-penten-2-ol, 1-penten-3-ol, 4- Alkenyl compounds having a hydroxyl group such as pentene-1-ol, crotonic acid, myristhic acid, palmitoleic acid, Sapienic acid, oleic acid, oleic acid, bacillic acid, gadeuric acid, eicosenic acid, erucic acid, nelvic acid, etc. An alkenyl compound having Jill (meth) acrylate, epoxy-modified acrylate compounds, such as 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether.

ポリオルガノシロキサン基を有するモノマー類としては、例えば、(メタ)アクリロイル変性されたポリオルガノシロキサンなどが該当し、製品名としては、信越化学社製X−22−174ASX、X−22−174BX、KF−2012、X−22−2426、X−22−2404などが挙げられる。   As a monomer having a polyorganosiloxane group, for example, (meth) acryloyl-modified polyorganosiloxane or the like corresponds, and as a product name, X-22-174 ASX manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., X-22-174 BX, KF -2012, X-22-2426, X-22-2404 etc. is mentioned.

前駆体のアクリルコポリマー(I)に(メタ)アクリロイル基をグラフトする方法として、特に限定は無いが、例えば、ヒドロキシル基またはカルボキシル基を、イソシアヌルエチル(メタ)アクリレートなどの分子内にイソシアネート基とアクリロイル基を有する化合物と反応させる方法や、エポキシ基と(メタ)アクリル酸を反応させて(メタ)アクリル酸エステルを得る方法などが挙げられる。   There is no particular limitation on the method of grafting the (meth) acryloyl group to the acrylic copolymer (I) of the precursor, for example, a hydroxyl group or a carboxyl group, an isocyanate group and an acryloyl group in the molecule such as isocyanuricethyl (meth) acrylate. Examples thereof include a method of reacting with a compound having a group, and a method of reacting an epoxy group and (meth) acrylic acid to obtain a (meth) acrylic ester.

本発明で用いるエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂には、前駆体であるアクリルコポリマーの一分子内にポリオルガノシロキサン基を0.01〜10mol%導入することが好ましく、0.03〜5mol%導入することがより好ましく、0.05〜5mol%導入することが更に好ましい。ポリオルガノシロキサン基を0.01mol%以上導入することで離型層の十分な剥離性が発現し、セラミックグリーンシートを剥離するときに、セラミック層にダメージを与えることなく剥離することができる。10mol%以下導入することで、セラミックスラリーを塗工するときにハジキが発生しづらくなり、均一なセラミックグリーンシートを成型できるため好ましい。なお、ポリオルガノシロキサン基の導入量を直接的に評価することは困難であるため、本明細書においては、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂の前駆体であるアクリルコポリマー(I)を合成する際のポリオルガノシロキサン基を有するモノマー類の投入量から算出した値で示している。具体的には、アクリルコポリマー(I)を合成する際に投入した全構成モノマー類のモル数に対するポリオルガノシロキサン基を有するモノマー類に含まれるポリオルガノシロキサン基のモル数をmol%で表現した値をポリオルガノシロキサン基の導入量としている。   In the energy ray-curable copolymerized acrylic resin used in the present invention, it is preferable to introduce 0.01 to 10 mol% of a polyorganosiloxane group into one molecule of the acrylic copolymer as a precursor, and introduce 0.03 to 5 mol%. It is more preferable to introduce 0.05 to 5 mol%. By introducing a polyorganosiloxane group in an amount of 0.01 mol% or more, sufficient releasability of the release layer is developed, and when the ceramic green sheet is peeled off, the ceramic layer can be peeled off without damaging the ceramic layer. The introduction of 10 mol% or less is preferable because repelling is less likely to occur when the ceramic slurry is applied, and a uniform ceramic green sheet can be formed. In addition, since it is difficult to directly evaluate the introduction amount of the polyorganosiloxane group, in the present specification, when synthesizing the acrylic copolymer (I) which is a precursor of the energy ray-curable copolymerized acrylic resin It is shown by the value calculated from the input amount of monomers having a polyorganosiloxane group. Specifically, the value which represented the mole number of the polyorganosiloxane group contained in the monomer which has a polyorganosiloxane group with respect to the mole number of all the component monomers thrown in at the time of synthesize | combining acrylic copolymer (I) in mol% Is the introduction amount of polyorganosiloxane group.

本発明で用いるエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂は、前駆体であるアクリルコポリマーの一分子内に(メタ)アクリロイル基が70〜99.95mol%導入されていることが好ましく、80〜99.95mol%導入されていることがより好ましい。(メタ)アクリロイル基を70mol%以上導入することで離型層の架橋密度が向上し、耐溶剤性が向上するため、セラミックシート加工や電極印刷時の有機溶媒によって離型層が浸食されることがなくなるため好ましい。99.95mol%以下導入することで、ポリオルガノシロキサン基の導入量が極端に少なくなることがなく、剥離性に優れるため好ましい。なお、(メタ)アクリロイル基の導入量を直接的に評価することは困難であるため、本明細書においては、グラフト反応が完全に進行したと仮定し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂の前駆体であるアクリルコポリマー(I)を合成する際の(メタ)アクリロイル基の前駆体を有するモノマー類の投入量から算出した値により示している。具体的には、アクリルコポリマー(I)を合成する際に投入した全モノマー類のモル数に対する(メタ)アクリロイル基を有する化合物がグラフトされることによりもたらされた(メタ)アクリロイル基のモル数をmol%で表現した値を(メタ)アクリロイル基の導入量としている。   In the energy ray-curable copolymerized acrylic resin used in the present invention, it is preferable that 70 to 99.95 mol% of (meth) acryloyl group be introduced into one molecule of the acrylic copolymer as a precursor, and 80 to 99.95 mol It is more preferable that% is introduced. By introducing 70 mol% or more of (meth) acryloyl group, the crosslink density of the release layer is improved, and the solvent resistance is improved. Therefore, the release layer is corroded by an organic solvent at the time of ceramic sheet processing or electrode printing. It is preferable because there is no The introduction amount of 99.95 mol% or less is preferable because the introduction amount of the polyorganosiloxane group does not extremely decrease and the peelability is excellent. In addition, since it is difficult to directly evaluate the introduction amount of (meth) acryloyl group, in the present specification, it is assumed that the grafting reaction has completely proceeded, and the precursor of the energy ray-curable copolymerized acrylic resin is assumed. This is shown by a value calculated from the amount of the monomer having a precursor of (meth) acryloyl group at the time of synthesizing the acrylic copolymer (I) which is a body. Specifically, the number of moles of (meth) acryloyl group produced by the grafting of the compound having a (meth) acryloyl group to the number of moles of all the monomers introduced when synthesizing the acrylic copolymer (I) The value which represented by mol% is made into the introduction | transduction amount of (meth) acryloyl group.

前駆体のアクリルコポリマー(I)の官能基のすべてに(メタ)アクリロイル基をグラフトしなくても良い。ヒドロキシル基、カルボキシル基、エポキシ基などがエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂に残存している場合、熱架橋型硬化剤を併用することで、架橋密度を制御することが可能となる。また、アクリルコポリマー(I)とグラフトする際にヒドロキシル基が生じる場合、そのヒドロキシル基と熱架橋型硬化剤を反応させて、架橋密度を制御することもできる。例えば、エポキシ基を含有するアクリルコポリマー(I)と(メタ)アクリル酸のグラフト反応や、カルボキシル基を含有するアクリルコポリマー(I)とグリシジル(メタ)アクリレートのグラフト反応では、ヒドロキシル基が生じるため、熱架橋型硬化剤と併用することができる。   It is not necessary to graft the (meth) acryloyl group to all of the functional groups of the precursor acrylic copolymer (I). When a hydroxyl group, a carboxyl group, an epoxy group, etc. remain in the energy ray-curable copolymerized acrylic resin, it is possible to control the crosslinking density by using a heat-crosslinking-type curing agent in combination. Moreover, when a hydroxyl group arises when grafting with acrylic copolymer (I), the hydroxyl group can also be made to react with a heat-crosslinking-type curing agent to control the crosslink density. For example, in the grafting reaction of acrylic copolymer (I) containing an epoxy group and (meth) acrylic acid, and the grafting reaction of acrylic copolymer (I) containing a carboxyl group with glycidyl (meth) acrylate, hydroxyl groups are generated. It can be used in combination with a heat crosslinkable curing agent.

熱架橋型硬化剤として、イソシアネート型硬化剤、金属キレート型硬化剤、エポキシ硬化剤、アジリジン系硬化剤、メラミン系硬化剤、オキサゾリン系硬化剤など特に限定なく使用することができる。   As a heat crosslinking type curing agent, an isocyanate type curing agent, a metal chelate type curing agent, an epoxy curing agent, an aziridine type curing agent, a melamine type curing agent, an oxazoline type curing agent, etc. can be used without particular limitation.

(光重合開始剤)
本発明の離型層には、光重合開始剤を添加することが好ましい。光重合開始剤としては、具体的には、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、2,4−ジエチルチオキサンソン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノン、(2,4,6−トリメチルベンジルジフェニル)フォスフィンオキサイド、2−ベンゾチアゾール−N,N−ジエチルジチオカルバメート等が挙げられる。特に、表面硬化性に優れるとされる、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オンが好ましく、中でも、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチルプロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オンが特に好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Photopolymerization initiator)
It is preferable to add a photopolymerization initiator to the release layer of the present invention. Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, methyl benzoin benzoate, benzoin dimethyl ketal, 2,4 -Diethylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, benzyl diphenyl sulfide, tetramethylthiuram monosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, diacetyl, β-chloroanthraquinone, (2,4,6-trimethyl Examples include benzyl diphenyl) phosphine oxide, 2-benzothiazole-N, N-diethyl dithiocarbamate and the like. In particular, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2-methylpropan-1-one, which is considered to be excellent in surface curability. 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1 Among them, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2-methylpropan-1-one, 2-methyl- Particularly preferred is 1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one. These may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤の添加量は、特に限定されない。例えば、用いられる樹脂に対して0.1から20質量%程度を用いることが好ましい。   The addition amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited. For example, it is preferable to use about 0.1 to 20% by mass with respect to the resin to be used.

(増感剤)
紫外線による硬化の場合、増感剤を用いることができる。増感剤としては、アミン系、チオール系など特に限定なく使用できる。
(Sensitizer)
In the case of UV curing, sensitizers can be used. As a sensitizer, an amine type, a thiol type, etc. can be used without particular limitation.

(その他の成分)
本発明の離型層には、粒子径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。
(Other ingredients)
The release layer of the present invention can contain particles having a particle diameter of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles that form projections such as particles from the viewpoint of pinhole generation.

本発明の離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。   An adhesion improver, an additive such as an antistatic agent, or the like may be added to the release layer of the present invention as long as the effects of the present invention are not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to subject the polyester film surface to pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment or the like before the release coating layer is provided.

本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型層が0.2〜2.0μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.3〜1.5μmであり、さらに好ましくは0.3〜1.0μmである。離型層の厚みが0.2μm以上であるとエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂の硬化性がよく離型層の弾性率が向上するため良好な剥離性能が得られ好ましい。また、2.0μm以下であると、離型フィルムの厚みが薄くなってもカールを起こしにくくセラミックグリーンシートを成型、乾燥する過程で走行性不良を起こさず好ましい。   In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use, and is not particularly limited, but preferably, the range in which the release layer after curing is 0.2 to 2.0 μm is good. More preferably, it is 0.3-1.5 micrometers, More preferably, it is 0.3-1.0 micrometers. When the thickness of the release layer is 0.2 μm or more, the curability of the energy ray-curable copolymerized acrylic resin is good and the elastic modulus of the release layer is improved, which is preferable because good release performance is obtained. Further, when the thickness is 2.0 μm or less, curling is unlikely to occur even when the thickness of the release film is reduced, and thus it is preferable because the runability defect does not occur in the process of molding and drying the ceramic green sheet.

本発明の離型フィルムは、離型層表面の平滑性が高いことが好ましい。そのため、離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であることが好ましい。また、前記のSaを満足し、且つ離型層表面の最大突起高さ(P)が100nm以下であることが更に好ましい。さらには領域表面平均粗さ(Sa)は5nm以下であることが好ましく、その際同時に最大突起高さ(P)が80nm以下であることが特に好ましい。領域表面粗さ(Sa)が7nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。前記のSaを満足し、且つ離型層表面の最大突起高さ(P)が100nm以下であれば、更にピンホール欠点を生じるおそれが少なくなり好ましい。前記の領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。   The release film of the present invention preferably has high surface smoothness of the release layer. Therefore, it is preferable that the area | region surface average roughness (Sa) of the mold release layer surface is 7 nm or less. Further, it is more preferable that the above-mentioned Sa is satisfied, and the maximum projection height (P) on the surface of the releasing layer is 100 nm or less. Furthermore, the area surface average roughness (Sa) is preferably 5 nm or less, and at the same time the maximum projection height (P) is particularly preferably 80 nm or less. If the area surface roughness (Sa) is 7 nm or less, defects such as pinholes do not occur at the time of forming the ceramic green sheet, which is preferable because the yield is good. If the above-mentioned Sa is satisfied and the maximum projection height (P) on the surface of the releasing layer is 100 nm or less, the possibility of causing a pinhole defect is further reduced, which is preferable. It can be said that the smaller the area surface average roughness (Sa) is, the better, but it may be 0.1 nm or more, and may be 0.3 nm or more. The smaller the maximum projection height (P), the better, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型層フィルムの離型層表面の表面自由エネルギーは、18mJ/m以上40mJ/m以下であることが好ましい。より好ましくは、20mJ/m以上35mJ/m以下である。18mJ/m以上であるとセラミックスラリーを塗工したときにハジキが発生しづらく均一に塗工することができるため好ましい。また40mJ/m以下だとセラミックグリーンシートの離型性が低下してしまう恐れがなく好ましい。上記範囲とすることで塗工時にハジキがなく、離型性に優れた離型フィルムを提供できる。 Surface free energy of the release layer surface of the release layer film of the present invention is preferably 18 mJ / m 2 or more 40 mJ / m 2 or less. More preferably, the 20 mJ / m 2 or more 35 mJ / m 2 or less. When it is 18 mJ / m < 2 > or more, when a ceramic slurry is coated, it is hard to generate | occur | produce repelling easily and it can coat uniformly, and it is preferable. Moreover, if it is 40 mJ / m < 2 > or less, there is no possibility that the mold release property of a ceramic green sheet may fall, and it is preferable. By setting it as the said range, there is no repelling at the time of coating, and the release film excellent in release property can be provided.

本発明の離型フィルムは、耐溶剤性が高いほどセラミックシート加工や電極印刷時の有機溶剤、例えばトルエンなどによる離型層の浸食が抑えられるため好ましい。耐溶剤性は、離型フィルムを有機溶媒に浸漬させた前後の離型層の表面状態の差を評価することで確かめることができる。有機溶剤としては、セラミックグリーンシート加工や電極印刷を想定し、一般的なセラミックスラリーや導電性ペーストに用いられるトルエンを用いることが好ましい。離型層の表面状態を評価する方法の一例としては、接触角による評価が挙げられ、トルエン浸漬前後の離型層表面の接触角変化が小さいほど好ましい。   The release film of the present invention is preferable because the corrosion resistance of the release layer by the organic solvent at the time of ceramic sheet processing or electrode printing, such as toluene, can be suppressed as the solvent resistance is higher. The solvent resistance can be confirmed by evaluating the difference in the surface state of the release layer before and after the release film is immersed in the organic solvent. As the organic solvent, it is preferable to use toluene that is used for general ceramic slurry and conductive paste, assuming processing of ceramic green sheets and electrode printing. As an example of the method of evaluating the surface state of the release layer, evaluation by a contact angle is mentioned, and the smaller the change in contact angle on the surface of the release layer before and after immersion in toluene, the better.

接触角を測定する際に用いる液摘の種類は特に制限されないが、水、ブロモナフタレン、エチレングリコールなどをそれぞれ好適に用いることができるが、離型層の表面状態の差をより顕著に見ることのできるジヨードメタンを用いることが最も好ましい。   The type of liquid drop used to measure the contact angle is not particularly limited, but water, bromonaphthalene, ethylene glycol, etc. can be suitably used, but the difference in the surface state of the release layer should be more clearly seen. Most preferably, diiodomethane is used.

接触角の測定に用いる液摘としてジヨードメタンを用いた際には、離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ−θ)の値が小さいほど、離型層表面の耐溶剤性が良く好ましい。具体的には、絶対値として3.0°以下であることが好ましく、2.0°以下であることが更に好ましく、1.0°以下であることが最も好ましい。3.0°以下であると、セラミックグリーンシート加工や電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食が抑えられ、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれがないため好ましい。離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ−θ)は0°が最も好ましいが、絶対値として0.05°以上であっても構わず、0.1°以上であっても構わない。 When using diiodomethane as Eki摘used to measure contact angle at room temperature diiodomethane contact angle theta 1 and the release film of the release layer surface in toluene, the contact angle of the release layer surface after immersion 5 minutes theta The smaller the value of the difference of 212 ), the better the solvent resistance of the surface of the release layer, which is preferable. Specifically, the absolute value is preferably 3.0 ° or less, more preferably 2.0 ° or less, and most preferably 1.0 ° or less. The erosion of the release layer by the organic solvent at the time of ceramic green sheet processing or electrode printing is suppressed as it is 3.0 degrees or less, and there is no possibility that the increase in exfoliation power or the uniformity of exfoliation will be impaired. The difference (θ 12 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 on the release layer surface and the contact angle θ 2 of the release layer surface after immersion of the release film in toluene for 5 minutes at room temperature is most preferably 0 ° The absolute value may be 0.05 ° or more, or 0.1 ° or more.

本発明の離型フィルムは、カールが少ないほど好ましい。カールが少ないと、セラミックグリーンシート塗布成型時の均一性が悪化し、セラミックグリーンシートの膜厚が不均一になるおそれがなく好ましい。また、電極印刷工程で印刷精度が低下するおそれがなく好ましい。さらに、ロール搬送時に、離型フィルムの張力にフィルム中央部と端部で差が生じづらくなり、搬送中の蛇行や巻ズレなどの外観品位が悪化するおそれがなく好ましい。   It is preferable that the release film of the present invention has less curl. When the curl is small, the uniformity at the time of coating and molding of the ceramic green sheet is deteriorated, and there is no possibility that the film thickness of the ceramic green sheet becomes nonuniform, which is preferable. Moreover, there is no possibility that printing accuracy may fall in an electrode printing process, and it is preferable. Furthermore, at the time of roll conveyance, the tension of the release film is less likely to be different at the film central portion and the end portion, and there is no possibility that the appearance quality such as meandering or winding deviation during conveyance is deteriorated.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、4.0mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、3.0mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎて搬送時にセラミックグリーンシートが浮いてしまうおそれがなく好ましい。剥離力が4.0mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けるおそれがなく好ましい。   The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN / mm or more and 4.0 mN / mm or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, they are 0.8 mN / mm or more and 3.0 mN / mm or less. When the peeling force is 0.5 mN / mm or more, there is no possibility that the peeling force is too light and the ceramic green sheet may float during transportation, which is preferable. When the peeling force is 4.0 mN / mm or less, there is no possibility that the ceramic green sheet is damaged at the time of peeling, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、架橋密度が高く、弾性率が高いほど好ましい。弾性率が高いと剥離時の離型層の変形が少なく、低く均一な力で剥離することができるため好ましい。弾性率は離型層表面をスチールウールで擦った時のキズつき度合によって評価することができる。キズつきの度合は、スチールウールで離型層を擦った時につくキズの個数で評価することができる。   The release film of the present invention preferably has a high crosslinking density and a high elastic modulus. When the elastic modulus is high, deformation of the release layer at the time of peeling is small, and peeling is possible with low uniform force, which is preferable. The elastic modulus can be evaluated by the degree of scratching when the release layer surface is rubbed with steel wool. The degree of scratching can be evaluated by the number of scratches that occur when the release layer is rubbed with steel wool.

(離型層の形成方法)
本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず、離型性の樹脂を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去後、硬化させる方法が用いられる。
(Method of forming release layer)
In the present invention, the method for forming the releasing layer is not particularly limited, and a coating liquid in which a releasing resin is dissolved or dispersed is spread on one surface of the polyester film of the substrate by coating etc. The method of making it harden | cure after removing by drying is used.

本発明の離型層を基材フィルム上に溶液塗布により塗布する場合の溶媒乾燥の乾燥温度は、50℃以上、100℃以下であることが好ましく、60℃以上、95℃以下であることがより好ましい。その乾燥時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。さらに溶剤乾燥後、活性エネルギー線を照射し硬化反応を進行させることが好ましい。この時用いる活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、X線などが使用することができるが、紫外線が使用しやすく好ましい。照射する紫外線量としては光量で30〜300mJ/cmが好ましく、より好ましくは、30〜200mJ/cmである。30mJ/cm以上とすることで樹脂の硬化が十分進行し、300mJ/cm以下とすることで加工時の速度を向上させることができるため経済的に離型フィルムを作成することができ好ましい。 It is preferable that the drying temperature of solvent drying in the case of apply | coating the release layer of this invention on a base film by solution application is 50 degreeC or more and 100 degrees C or less, and is 60 degrees C or more and 95 degrees C or less More preferable. The drying time is preferably 30 seconds or less and more preferably 20 seconds or less. Furthermore, after solvent drying, it is preferable to irradiate an active energy ray to advance the curing reaction. As the active energy ray used at this time, ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like can be used, but ultraviolet rays are preferred because they are easy to use. Preferably 30~300mJ / cm 2 in quantity as the amount of ultraviolet rays to be irradiated, more preferably 30~200mJ / cm 2. By setting it to 30 mJ / cm 2 or more, curing of the resin proceeds sufficiently, and by setting it to 300 mJ / cm 2 or less, the processing speed can be improved, so that it is possible to economically form a release film, which is preferable. .

前記活性エネルギー線を照射するときの雰囲気は、一般的な空気中でも窒素ガス雰囲気下でも構わない。窒素ガス雰囲気では、酸素濃度を減少させることでラジカル反応がスムーズに進行し離型層の弾性率を向上させることができるが、空気中で照射しても実用上問題なければ、空気中で照射する方が経済的観点から好ましい。   The atmosphere when the active energy ray is irradiated may be a general air or a nitrogen gas atmosphere. In a nitrogen gas atmosphere, the radical reaction can proceed smoothly by reducing the oxygen concentration, and the elastic modulus of the release layer can be improved. It is preferable from the economical point of view.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。   In the present invention, the surface tension of the coating liquid when the release layer is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By setting the surface tension as described above, the coating property after coating can be improved, and unevenness on the surface of the coated film after drying can be reduced.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。   Any known coating method can be applied as the coating method of the above coating solution, for example, roll coating such as gravure coating or reverse coating, bar coating such as wire bar, die coating, spray coating, air knife A conventionally known method such as a coating method can be used.

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
In general, a laminated ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic body. Inside the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first inner electrode is exposed at the first end face of the ceramic body. A first external electrode is provided on the first end face. The first inner electrode is electrically connected to the first outer electrode at the first end face. The second inner electrode is exposed at the second end face of the ceramic body. A second external electrode is provided on the second end face. The second inner electrode is electrically connected to the second outer electrode at the second end face.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。セラミックグリーンシートの厚みは、0.2〜1.0μmの極薄品が求められてきている。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。   The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention is used to produce such a multilayer ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, using the release film of the present invention as a carrier film, a ceramic slurry for forming a ceramic body is applied and dried. As for the thickness of the ceramic green sheet, a very thin product of 0.2 to 1.0 μm has been required. A conductive layer for forming a first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. The ceramic green sheet, the ceramic green sheet on which the conductive layer for forming the first internal electrode is printed, and the ceramic green sheet on which the conductive layer for forming the second internal electrode is printed are appropriately laminated and pressed. Thus, a mother laminate is obtained. The mother laminate is divided into a plurality of pieces to prepare a green ceramic body. A ceramic body is obtained by firing a green ceramic body. Thereafter, the laminated ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.

以下に、実施例を用いて本発明のさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited by these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following method.

(基材フィルム厚み)
ミリトロン(電子マイクロインジケーター)を用い、測定すべきフィルムの任意の4箇所より5cm角サンプル4枚を切り取り、一枚あたり各5点(計20点)測定して平均値を厚みとした。
(Base film thickness)
Using a Millitron (electronic micro indicator), 4 pieces of 5 cm square samples were cut out from any 4 parts of the film to be measured, and 5 pieces of each sample (20 pieces in total) were measured to obtain an average value as a thickness.

(ポリエステル樹脂の固有粘度(dl/g))
JIS K 7367−5:2000に準拠し、溶媒としてフェノール(60質量%)と1,1,2,2-テトラクロロエタン(40質量%)の混合溶媒を用い、30℃で測定した。
(Inherent viscosity of polyester resin (dl / g))
It measured at 30 degreeC using the mixed solvent of phenol (60 mass%) and 1,1,2,2- tetrachloroethane (40 mass%) as a solvent based on JISK 7367-5: 2000.

(離型層厚み)
離型層の厚みは、光干渉式膜厚計(F20、フィルメトリクス社製)を用いて測定した。(離型層の屈折率は1.52として算出)
(Release layer thickness)
The thickness of the release layer was measured using an optical interference type film thickness meter (F20, manufactured by Filmetrics). (The refractive index of the release layer is calculated as 1.52.)

(領域表面粗さSa、最大突起高さP)
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H−M100、菱化システム社製)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Area surface roughness Sa, maximum projection height P)
It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measurement system (VertScan R550H-M100, manufactured by Ryoka System Co., Ltd.). The area surface average roughness (Sa) was an average value of 5 measurements, and the maximum projection height (P) was 7 measurements, and the maximum value of 5 values excluding the maximum value and the minimum value was used.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 10 times ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area 936μm × 702μm
(Analysis conditions)
-Face correction: 4th order correction-Interpolation: Complete interpolation

(表面自由エネルギー)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学社製: 全自動接触角計 DM−701)を用いて離型フィルムの離型面に水(液滴量1.8μL)、ジヨードメタン(液適量0.9μL)、エチレングリコール(液適量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は、各液を離型フィルムに滴下後10秒後の接触角を採用した。前記方法で得られた、水、ジヨードメタン、エチレングリコールの接触角データを「北崎−畑」理論より計算し離型フィルムの表面自由エネルギーの分散成分γsd、極性成分γsp、水素結合成分γshを求め、各成分を合計したものを表面自由エネルギーγsとした。本計算には、本接触角計ソフトウェア(FAMAS)内の解析ソフトを用いて行った。
(Surface free energy)
Water (droplet amount of 1.8 μL) was applied to the release surface of the release film using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd .: fully automatic contact angle meter DM-701) under the conditions of 25 ° C. and 50% RH. Droplets of diiodomethane (liquid suitable amount: 0.9 μL) and ethylene glycol (liquid suitable amount: 0.9 μL) were prepared, and their contact angles were measured. As the contact angle, a contact angle after 10 seconds after dropping each liquid onto the release film was adopted. The contact angle data of water, diiodomethane and ethylene glycol obtained by the above method are calculated from “Kitazaki-Hata” theory to determine the dispersion component γsd of the surface free energy of the release film, the polar component γsp and the hydrogen bond component γsh The sum of each component was taken as the surface free energy γs. This calculation was performed using analysis software in the contact angle meter software (FAMAS).

(トルエン浸漬後の接触角)
測定に用いる離型フィルムを5cm×5cmの大きさに切り取り、液温25℃のトルエン30mLが入ったガラス製のトレーの中に、離型面を下にして5分間浸漬させた。浸漬した離型フィルムを取り出し離型面を上にして15分間風乾した後、25℃で1晩真空乾燥させた。こうして得たトルエン浸漬後の離型フィルムのジヨードメタン接触角を前記接触角の測定方法と同様の方法にて測定した。
(Contact angle after immersion in toluene)
The release film used for the measurement was cut into a size of 5 cm × 5 cm, and immersed in a glass tray containing 30 mL of toluene having a liquid temperature of 25 ° C. for 5 minutes with the release surface down. The dipped release film was taken out, air-dried with the release surface facing upward for 15 minutes, and then vacuum-dried at 25 ° C. overnight. The diiodomethane contact angle of the release film after toluene immersion obtained in this way was measured by the same method as the method of measuring the contact angle.

(接触角変化の評価)
前記方法にて測定したトルエン浸漬前の初期の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ、トルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角をθとした時の、θ1−θの絶対値の値をトルエン浸漬前後の接触角変化の値とした。以下の基準で接触角変化の評価を行った。
◎:|θ1―θ2| < 1.0°
○:1.0°≦ |θ1―θ2| < 2.0°
△:2.0°≦ |θ1―θ2| ≦ 3.0°
×:|θ1―θ2| > 3.0
(Evaluation of contact angle change)
When the diiodomethane contact angle of the initial release layer surface before toluene immersion is measured by the above method is θ 1 , and the diiodomethane contact angle of the release layer surface after toluene immersion is θ 2 , θ 12 The absolute value was taken as the value of the contact angle change before and after immersion in toluene. The change of the contact angle was evaluated on the basis of the following criteria.
:: | θ 1 −θ 2 | <1.0 °
○: 1.0 ° ≦ | θ 1 −θ 2 | <2.0 °
Δ: 2.0 ° ≦ | θ 1 −θ 2 | ≦ 3.0 °
×: | θ 1 −θ 2 |> 3.0

(セラミックスラリーの塗工性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを調製した。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール 3.5質量部
(積水化学工業社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のセラミックグリーンシートが0.8μmになるように塗工し90℃で2分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。
○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:塗工端部以外にもハジキが多く、全面に塗工できていない。
(Evaluation of coatability of ceramic slurry)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads of 0.5 mm in diameter for 30 minutes using a bead mill to prepare a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral 3.5 parts by mass (S-Rec (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. )
Next, 1.8 parts by mass of DOP (dioctyl phthalate) is applied to the release surface of the release film sample using an applicator so that the ceramic green sheet after drying is 0.8 μm and dried at 90 ° C. for 2 minutes, The coatability was evaluated based on the following criteria.
○: No coating was done and coating was possible on the entire surface.
Fair: There is some repelling at the coating end, but coating is possible on almost the entire surface.
X: There are many repellings other than the coating edge part, and it has not coated on the whole surface.

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
前記セラミックスラリーの塗工性評価と同様の方法でセラミックグリーンシートを成型した後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。測定は5回測定し平均値を採用した。
◎:ピンホールの発生なし
○:ピンホールの発生がほぼなし(目安:ピンホールが測定面積当たり2個以下)
△:ピンホールの発生があり(目安:ピンホールが測定面積当たり3個以上、5個以下)
×:ピンホールの発生が多数あり(剥離不可も含む)
(Pinhole evaluation of ceramic green sheet)
After molding the ceramic green sheet by the same method as the evaluation of the coating property of the ceramic slurry, the release film was peeled to obtain a ceramic green sheet.
In the central region of the film width direction of the obtained ceramic green sheet, light is applied from the opposite surface of the ceramic slurry application surface in the range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes where light is seen to be transmitted is observed. It judged visually. The measurement was performed 5 times and the average value was adopted.
:: No occurrence of pinholes ○: Almost no occurrence of pinholes (estimate: no more than 2 pinholes per measurement area)
:: Occurrence of pinholes (estimated: 3 or more, 5 or less pinholes per measurement area)
X: There are many pinholes (including non-removable)

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール 6.5質量部
(積水化学工業社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のセラミックグリーンシートが10μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを30mm幅、80mm長さにカットし、剥離力測定用サンプルとした。除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に、剥離試験機(協和界面科学社製、VPA−3)を用いて、剥離角度90度、剥離温度25℃、剥離速度10m/minで剥離した。剥離する向きとしては、剥離試験機付属のSUS板上に両面接着テープ(日東電工社製、No.535A)を貼りつけ、その上にセラミックグリーンシート側を両面テープと接着する形で離型フィルムを固定し、離型フィルム側を引っ張る形で剥離した。得られた測定値のうち、剥離距離20mm〜70mmの剥離力の平均値を算出し、その値を剥離力とした。測定は計5回実施し、その剥離力の平均値の値を採用し、評価を行った。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
◎:剥離力が2.0mN/mm以下の非常に軽い力で剥離できた。
○:剥離力が2.0mN/mmよりも大きく、3.0mN/mm以下の比較的軽い力で剥離できた。
△:剥離力が3.0mN/mmよりも大きく、4.0mN/mm以下の軽い力で剥離できた。
×:剥離力が4.0mN/mmよりも大きい力を必要であった。
(Evaluation of peelability of ceramic green sheet)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads of 0.5 mm in diameter for 60 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral 6.5 parts by mass (S-Rec (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. )
DOP (dioctyl phthalate) 3.3 parts by mass Then, an applicator was used to apply a thickness of 10 μm to the release surface of the release film sample, and dried for 2 minutes at 90 ° C. The sheet was molded on a release film. The obtained release film with a ceramic green sheet was cut into a width of 30 mm and a length of 80 mm, and used as a sample for measurement of peel force. After removing electricity using an electric discharge machine (manufactured by KEYENCE CORPORATION, SJ-F020), using a peeling tester (VPA-3 manufactured by Kyowa Interface Science), peeling angle 90 °, peeling temperature 25 ° C., peeling speed 10 m / It peeled in min. As a peeling direction, a double-sided adhesive tape (Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) is stuck on a SUS plate attached to a peeling tester, and a release film is formed by bonding the ceramic green sheet side to the double-sided tape on it. Were fixed and peeled off in the form of pulling the release film side. The average value of the peeling force of 20 mm-70 mm of peeling distances was computed among the obtained measured values, and the value was made into peeling force. The measurement was performed a total of five times, and the value of the average value of the peeling force was adopted and evaluated. From the numerical value of the peeling force obtained, it was judged according to the following criteria.
◎: Peeling was possible with a very light force of 2.0 mN / mm or less.
:: Peeling force was greater than 2.0 mN / mm, and peeling was possible with a relatively light force of 3.0 mN / mm or less.
Fair: Peeling force was greater than 3.0 mN / mm, and peeling was possible with a light force of 4.0 mN / mm or less.
X: Peeling force required a force greater than 4.0 mN / mm.

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで90℃、1分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるように白上質紙の上に離型フィルムサンプルを置いて、上白紙から浮いている部分の高さを測定した。このとき上白紙から一番大きく浮いている部分の高さを測定値とした。以下の基準でカール性の評価を行った。
◎:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない
○:カールが1mmよりも大きく、3mm以下であり、少しカールが見られた。
△:カールが3mmよりも大きく、10mm以下であり、カールが見られた。
×:カールが10mmよりも大きくカールしていた。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and heat treatment was performed in a hot air oven at 90 ° C. for 1 minute so that no tension was applied to the release film. Thereafter, the sample was taken out of the oven and cooled to room temperature, and then the release film sample was placed on white fine paper with the release surface facing up, and the height of the part floating from the upper white paper was measured. At this time, the height of the portion that floated the largest from the upper white paper was taken as the measurement value. The curling was evaluated based on the following criteria.
◎: The curl was 1 mm or less and hardly curled ○: The curl was larger than 1 mm and 3 mm or less, and a slight curl was observed.
Fair: The curl was larger than 3 mm and 10 mm or less, and curl was observed.
X: The curl was larger than 10 mm.

(シリコーン移行性)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ポリビニルブチラール(PVB)溶解液を得た。
トルエン 45.0質量部
エタノール 45.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学工業社製 エスレックBM−S) 10.0質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のPVBシートが10μmになるように塗工し90℃で2分乾燥後、離型フィルムを剥離し、剥離したPVBシートの離型フィルムが接触していた面(離型層)および、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型層を蛍光X線装置(Rigaku製ZSX Primus2)にてSi強度を測定し、シリコーンの移行量を定量した。蛍光X線装置の測定条件は下記の通りとした。
分析線:Si−KA、 ターゲット:Rh4.0kW
管電圧:50kV、 管電流:60mA
フィルタ:OUT、 アッテネータ:1/1、 スリット:S4、 分光結晶:PET
検出器:PC、 PHA条件:100(下限)-300(上限)
測定径:30mm、雰囲気:真空
シリコーンの移行量は、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(前)、PVBシートを塗工・剥離後の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(後)として、Si(前)からSi(後)を引いた値をシリコーン移行量とした。得られたシリコーン移行量の数値から下記の基準で判断した。
◎:0.04kcps以下
○:0.04kcpsより大きく、0.10kcps以下
△:0.10kcpsより大きく、0.20kcps以下
×:0.20kcps以上
(Silicone transferability)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed to obtain a polyvinyl butyral (PVB) solution.
Toluene 45.0 parts by mass Ethanol 45.0 parts by mass Polyvinyl butyral (S-LEC BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 10.0 parts by mass Then, the release surface of the obtained release film sample is dried using an applicator. The PVB sheet is coated so as to be 10 μm and dried at 90 ° C. for 2 minutes, and then the release film is peeled off, and the surface (release layer) of the peeled PVB sheet to which the release film was in contact The Si strength of the release layer of the release film before coating was measured with a fluorescent X-ray apparatus (ZSX Primus 2 manufactured by Rigaku) to quantify the amount of silicone transferred. The measurement conditions of the fluorescent X-ray apparatus were as follows.
Analysis line: Si-KA Target: Rh 4.0 kW
Tube voltage: 50kV, tube current: 60mA
Filter: OUT, Attenuator: 1/1, Slit: S4, Spectroscopic crystal: PET
Detector: PC, PHA condition: 100 (lower limit)-300 (upper limit)
Measurement diameter: 30 mm, atmosphere: vacuum Transfer amount of silicone, Si strength of release surface of release film before applying PVB sheet to Si (front), release film after applying and peeling PVB sheet A value obtained by subtracting Si (after) from Si (before) as Si (after) is taken as a silicone transfer amount. From the numerical value of the silicone transfer amount obtained, it was judged according to the following criteria.
:: 0.04 kcps or less ○: greater than 0.04 kcps, 0.10 kcps or less Δ: greater than 0.10 kcps, 0.20 kcps or less ×: 0.20 kcps or more

(耐キズ付性の評価)
スチールウール(日本スチールウール社製、ボンスター(登録商標) No.0000)を重さ200g、大きさ700mmの金属製の台座に貼り付けてスチールウール評価用治具を作成した。この治具を用いて、離型フィルムの離型面側とスチールウールが接触する形で200gの荷重をかけながら5往復離型面側を擦った。擦った面の中央部の2×2cmの範囲を蛍光灯透過下で観察し、目視で見えるキズの個数を評価した。キズの個数を以下の基準で判定し、評価した。
◎:キズの個数 ≦ 1個
○:1個 < キズの個数 ≦ 10個
△:10個 < キズの個数 ≦ 20個
×:20個 < キズの個数
(Evaluation of scratch resistance)
A steel wool (Nippon Steel Wool Co., Ltd., Bonstar (registered trademark) No. 0000) was attached to a metal pedestal of weight 700 g and size 700 mm 2 to prepare a steel wool evaluation jig. Using this jig, the five-reciprocal release surface was rubbed while applying a load of 200 g in such a manner that the release surface of the release film was in contact with the steel wool. An area of 2 × 2 cm at the center of the rubbed surface was observed under transmission of a fluorescent lamp to evaluate the number of scratches visually observed. The number of flaws was judged and evaluated according to the following criteria.
:: Number of flaws ≦ 1 piece ○: 1 piece <number of flaws ≦ 10 pieces △: 10 pieces <number of flaws ≦ 20 pieces ×: 20 pieces <number of flaws

(重量平均分子量の測定方法)
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(東ソー社製 HLC−8220GPC)を用いて以下の条件で分析を行い、ポリスチレン換算により算出した。
カラム:Shodex (登録商標)KF−805L
媒体:テトラヒドロフラン、
流速:1.0mL/min、
試料濃度:1.5mg/ml、
注入量:300μL、
カラム温度:40℃
(Method of measuring weight average molecular weight)
The analysis was performed using gel permeation chromatography (manufactured by Tosoh Corporation HLC-8220 GPC) under the following conditions, and calculated by polystyrene conversion.
Column: Shodex (registered trademark) KF-805L
Medium: tetrahydrofuran,
Flow rate: 1.0 mL / min,
Sample concentration: 1.5 mg / ml,
Injection volume: 300 μL,
Column temperature: 40 ° C

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒子径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒子径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As an esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus was used which was composed of a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material feed port and a product outlet. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles with respect to 1 mole of TPA, antimony trioxide is produced in an amount such that 160 ppm of Sb atoms are formed with respect to PET, and these slurries are ester The reaction mixture was continuously fed to the first esterification reactor of the esterification reactor, and reacted at 255 ° C. for 4 hours at an average residence time under normal pressure. Then, the reaction product in the first esterification reaction vessel is continuously taken out of the system, supplied to the second esterification reaction vessel, and distilled from the first esterification reaction vessel in the second esterification reaction vessel. The EG solution contains 8% by weight of EG to the produced PET, and further contains an EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms to the produced PET, and 40 ppm of P atoms to the produced PET The EG solution containing the following amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added, and the reaction was carried out at 260.degree. C. under an atmospheric pressure for an average residence time of 1 hour. Then, the reaction product of the second esterification reaction vessel is continuously taken out of the system, supplied to the third esterification reaction vessel, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) using a high pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.) 0.2% by mass of porous colloidal silica with an average particle size of 0.9 μm dispersed with an average pressure of 5 passes and an average particle of 1% by mass per ammonium carbonate of an ammonium salt of polyacrylic acid While adding 0.4 mass% of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm as an EG slurry of 10% each, the reaction was carried out at 260 ° C. at an average residence time of 0.5 hours under normal pressure. The esterification reaction product generated in the third esterification reaction vessel was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to conduct polycondensation, and a 95% cut diameter sintered a 20 μm stainless steel fiber After filtration with a filter, it was ultrafiltered and extruded in water, and after cooling it was cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter abbreviated as PET (I)) . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the manufacture of the above-mentioned PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter referred to as PET (II)).

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/(II)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
(Manufacture of laminated film X1)
After drying, these PET chips are melted at 285 ° C., melted at 290 ° C. by a separate melt extruder extruder, and a 95% cut diameter sintered filter of 15 μm stainless steel fibers, 95% cut diameter Two-stage filtration of a filter made of sintered 15 μm stainless steel particles is carried out and merged in a feed block to make PET (I) a surface layer B (reciprocal side layer), PET (II) a surface Layer A (release surface side layer) is laminated, extruded in a sheet shape at a speed of 45 m / min (casting), and electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by an electrostatic adhesion method. An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio was adjusted to be PET (I) / (II) = 60% / 40% in calculation of the discharge amount of each extruder. Next, this unstretched sheet was heated by an infrared heater and then stretched 3.5 times in the longitudinal direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Thereafter, it was introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140 ° C. It was then heat treated at 210 ° C. in the heat setting zone. Thereafter, the film was subjected to a relaxation treatment at 2.3 ° C. in the horizontal direction at 170 ° C. to obtain a 31 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1. The Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 28 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Production of laminated film X2)
The thickness was adjusted by changing the speed at the time of casting without changing the layer configuration and the stretching conditions similar to the laminated film X1 to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 having a thickness of 25 μm. In the surface layer A of the obtained film X2, Sa was 3 nm, and Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3の製造)
厚み25μmのポリエステルフィルム(東洋紡エステル(登録商標)フィルムE5101、東洋紡社製)を使用した。E5101は、2層構造の表面層A中にも無機粒子を含有した構成になっている。表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
(Production of laminated film X3)
A 25 μm thick polyester film (Toyobo ester (registered trademark) film E5101, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was used. E5101 has a configuration in which inorganic particles are also contained in the surface layer A of the two-layer structure. The Sa of the surface layer A was 24 nm, and the Sa of the surface layer B was 24 nm.

(前駆体アクリルコポリマー1aの重合)
メチルメタクリレート10g、片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン(JNC社製、製品名:FM0721、分子量5,000)10g、グリシジルメタクリレート80g、ドデシルメルカプタン2g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下60℃まで昇温した。その後AIBNを、計2g添加し、6時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー1aを得た。重量平均分子量1万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 1a)
Add 10 g of methyl methacrylate, 10 g of methacryloyl modified polydimethylsiloxane at one end (product made by JNC, product name: FM0721, molecular weight 5,000), 80 g of glycidyl methacrylate, 2 g of dodecyl mercaptan and 200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK) It heated up to 60 degreeC under airflow. Thereafter, a total of 2 g of AIBN was added, and the mixture was stirred for 6 hours to obtain a precursor acrylic copolymer 1a. The weight average molecular weight was 10,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂1bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸40.7gをMIBK76gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂1bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は11,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 1b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 40.7 g of acrylic acid was dissolved in 76 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 1b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 11,000.

(前駆体アクリルコポリマー2aの重合)
メチルメタクリレート10g、片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン(信越化学社製、製品名:X−22−174ASX、分子量900)30g、グリシジルメタクリレート60g、ドデシルメルカプタン2g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下60℃まで昇温した。その後AIBNを、計2g添加し、6時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー2aを得た。重量平均分子量1万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 2a)
Add 10 g of methyl methacrylate, 30 g of methacryloyl modified polydimethylsiloxane at one end (product name: X-22-174 ASX, product name: X-22-174 ASX, molecular weight 900), 60 g of glycidyl methacrylate, 2 g of dodecyl mercaptan and 200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK) The temperature was raised to 60 ° C. under a nitrogen stream. Thereafter, a total of 2 g of AIBN was added and stirred for 6 hours to obtain a precursor acrylic copolymer 2a. The weight average molecular weight was 10,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂2bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸30.6gをMIBK58gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂2bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は11,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 2b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 30.6 g of acrylic acid was dissolved in 58 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 2 b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 11,000.

(前駆体アクリルコポリマー3aの重合)
メチルメタクリレート10g、片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン(JNC社製、製品名:FM0721、分子量5,000)1g、グリシジルメタクリレート89g、ドデシルメルカプタン2g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下60℃まで昇温した。その後AIBNを、計2g添加し、6時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー3aを得た。重量平均分子量1万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 3a)
Add 10 g of methyl methacrylate, 1 g of methacryloyl modified polydimethyl siloxane at one end (product made by JNC, product name: FM0721, molecular weight 5,000), 89 g of glycidyl methacrylate, 2 g of dodecyl mercaptan and 200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK). It heated up to 60 degreeC under airflow. Thereafter, a total of 2 g of AIBN was added and stirred for 6 hours to obtain a precursor acrylic copolymer 3a. The weight average molecular weight was 10,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂3bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸45.4gをMIBK85gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂3bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は11,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 3b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 45.4 g of acrylic acid was dissolved in 85 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 3 b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 11,000.

(前駆体アクリルコポリマー4aの重合)
片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン(JNC社製、製品名:FM0721、分子量5,000)3g、グリシジルメタクリレート97g、ドデシルメルカプタン2g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下60℃まで昇温した。その後AIBNを、計2g添加し、6時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー4aを得た。重量平均分子量1万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 4a)
Add one-end methacryloyl modified polydimethylsiloxane (manufactured by JNC, product name: FM0721, molecular weight 5,000) 3 g, glycidyl methacrylate 97 g, dodecyl mercaptan 2 g, methyl isobutyl ketone (MIBK) 200 g, internal temperature under nitrogen stream 60 ° C. The temperature rose to the end. Thereafter, a total of 2 g of AIBN was added, and the mixture was stirred for 6 hours to obtain a precursor acrylic copolymer 4a. The weight average molecular weight was 10,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂4bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸49.4gをMIBK93gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂4bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は11,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 4b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 49.4 g of acrylic acid was dissolved in 93 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 4 b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 11,000.

(前駆体アクリルコポリマー5aの重合)
メチルメタクリレート10g、片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン(JNC社製、製品名:FM0721、分子量5,000)10g、グリシジルメタクリレート80g、ドデシルメルカプタン1.5g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下55℃まで昇温した。その後AIBNを、計1.5g添加し、10時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー5aを得た。重量平均分子量5万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 5a)
Add 10 g of methyl methacrylate, 10 g of methacryloyl modified polydimethylsiloxane at one end (product made by JNC, product name: FM 0721, molecular weight 5,000), 80 g of glycidyl methacrylate, 1.5 g of dodecyl mercaptan and 200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK) Was heated to 55.degree. C. under a nitrogen stream. Thereafter, a total of 1.5 g of AIBN was added and stirred for 10 hours to obtain precursor acrylic copolymer 5a. The weight average molecular weight was 50,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂5bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸40.7gをMIBK76gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂5bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は52,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 5b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 40.7 g of acrylic acid was dissolved in 76 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 5b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 52,000.

(前駆体アクリルコポリマー6aの重合)
メチルメタクリレート30g、片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン(JNC社製、製品名:FM0721、分子量5,000)10g、グリシジルメタクリレート60g、ドデシルメルカプタン2g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下60℃まで昇温した。その後AIBNを、計2g添加し、6時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー6aを得た。重量平均分子量1万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 6a)
Add 30 g of methyl methacrylate, 10 g of methacryloyl modified polydimethylsiloxane at one end (product made by JNC, product name: FM0721, molecular weight 5,000), 60 g of glycidyl methacrylate, 2 g of dodecyl mercaptan and 200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK) It heated up to 60 degreeC under airflow. Thereafter, a total of 2 g of AIBN was added, and the mixture was stirred for 6 hours to obtain a precursor acrylic copolymer 6a. The weight average molecular weight was 10,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂6bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸30.7gをMIBK58gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂6bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は11,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 6b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 30.7 g of acrylic acid was dissolved in 58 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 6 b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 11,000.

(前駆体アクリルコポリマー7aの重合)
メチルメタクリレート20g、グリシジルメタクリレート80g、ドデシルメルカプタン2g、メチルイソブチルケトン(MIBK)200gを加え、内温を窒素気流下60℃まで昇温した。その後AIBNを、計2g添加し、6時間攪拌し、前駆体アクリルコポリマー7aを得た。重量平均分子量1万、固形分濃度は35質量%であった。
(Polymerization of Precursor Acrylic Copolymer 7a)
20 g of methyl methacrylate, 80 g of glycidyl methacrylate, 2 g of dodecyl mercaptan and 200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK) were added, and the internal temperature was raised to 60 ° C. under a nitrogen stream. Thereafter, a total of 2 g of AIBN was added and stirred for 6 hours to obtain a precursor acrylic copolymer 7a. The weight average molecular weight was 10,000, and the solid content concentration was 35% by mass.

(エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂7bの合成)
次に、空気雰囲気下、90℃に加熱した後、p−メトキシフェノール0.1g、トリフェニルホスフィン0.5gを加えた。5分後、アクリル酸40.7gをMIBK76gに溶解し、30分かけて滴下した。この間液温を90〜100℃に保った。その後液温を110℃に上げ、この温度で8時間維持した後、室温に戻し、エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂7bを得た。固形分濃度は35質量%、重量平均分子量は11,000であった。
(Synthesis of energy ray-curable copolymerized acrylic resin 7b)
Next, after heating to 90 ° C. in an air atmosphere, 0.1 g of p-methoxyphenol and 0.5 g of triphenylphosphine were added. After 5 minutes, 40.7 g of acrylic acid was dissolved in 76 g of MIBK and added dropwise over 30 minutes. During this time, the solution temperature was maintained at 90 to 100 ° C. Thereafter, the liquid temperature was raised to 110 ° C. and maintained at this temperature for 8 hours, and then returned to room temperature to obtain an energy ray-curable copolymerized acrylic resin 7 b. The solid content concentration was 35% by mass, and the weight average molecular weight was 11,000.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下に示す組成の塗布液をワイヤーバーを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.9μmになるように塗工し、90℃で30秒乾燥した後、積算光量が70mJ/cmの紫外線を紫外線照射機(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を用いて照射することでセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し、離型層表面粗さ、表面自由エネルギー、塗工性、ピンホール、剥離性、カール、耐キズ付性、シリコーン移行性、耐溶剤性を評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 10.48質量部
イソプロピルアルコール 31.42質量部
エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂1b 57.10質量部
(固形分35質量%)
光重合開始剤 1.00質量部
(Omnirad127、IGM Resins社製)
Example 1
A coating solution of the composition shown below is coated on the surface layer A of the laminated film X1 using a wire bar so that the thickness of the release layer after drying is 0.9 μm and dried at 90 ° C. for 30 seconds A release film for producing a ceramic green sheet was obtained by irradiating ultraviolet light with an accumulated light quantity of 70 mJ / cm 2 using an ultraviolet irradiator (LC6B, H bulb manufactured by Heraeus). The ceramic slurry is applied to the obtained release film, and the release layer surface roughness, surface free energy, coatability, pin hole, peelability, curl, scratch resistance, silicone migration, solvent resistance As a result of evaluation, good evaluation results were obtained.
Methyl ethyl ketone 10.48 parts by mass Isopropyl alcohol 31.42 parts by mass Energy ray-curable copolymerized acrylic resin 1b 57.10 parts by mass (solid content: 35% by mass)
Photopolymerization initiator 1.00 parts by mass (Omnirad 127, manufactured by IGM Resins)

(実施例2〜6)
エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を表1に記載のものに変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Examples 2 to 6)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the energy ray-curable copolymerized acrylic resin was changed to one described in Table 1.

(実施例7,8)
離型層の膜厚を表1に記載した値にした以外は実施例4と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Examples 7, 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 4 except that the thickness of the release layer was changed to the value described in Table 1.

(実施例9)
基材フィルムを積層フィルムX2に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 9)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was changed to the laminated film X2.

(実施例10)
積層フィルムX1の表面層A上に以下に示す組成の塗布液をワイヤーバーを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.9μmになるように塗工し、140℃で30秒乾燥した後、積算光量が70mJ/cmの紫外線を紫外線照射機(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を用いて照射することでセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 13.25質量部
イソプロピルアルコール 39.75質量部
エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂4b 40.00質量部
(固形分35質量%)
ヘキサメトキシメチルメラミン 6.00質量部
(固形分100%、東京化成工業社製)
4-メチル安息香酸 0.40質量部
(固形分100%、東京化成工業社製)
光重合開始剤(Omnirad127、IGM Resins社製) 0.60質量部
(Example 10)
A coating solution of the composition shown below is coated on the surface layer A of the laminated film X1 using a wire bar so that the thickness of the release layer after drying is 0.9 μm and dried at 140 ° C. for 30 seconds A release film for producing a ceramic green sheet was obtained by irradiating ultraviolet light with an accumulated light quantity of 70 mJ / cm 2 using an ultraviolet irradiator (LC6B, H bulb manufactured by Heraeus).
Methyl ethyl ketone 13.25 parts by mass Isopropyl alcohol 39.75 parts by mass Energy ray-curable copolymerized acrylic resin 4b 40.00 parts by mass (solid content: 35% by mass)
Hexamethoxymethylmelamine 6.00 parts by mass (solid content 100%, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
0.40 parts by mass of 4-methylbenzoic acid (solid content 100%, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
Photopolymerization initiator (Omnirad 127, manufactured by IGM Resins) 0.60 parts by mass

(比較例1)
エネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を表1に記載の7bに変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムは、分子内にポリオルガノシロキサンを有していないエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を用いたため、剥離することができなかった。
(Comparative example 1)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the energy ray-curable copolymerized acrylic resin was changed to 7b described in Table 1. The obtained release film used an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having no polyorganosiloxane in its molecule, and therefore could not be peeled off.

(比較例2)
基材フィルムとして積層フィルムX3を用いて、離型層の膜厚を0.2μmになるように塗工した以外は、実施例4と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムは離型層の表面粗さが大きく、セラミックグリーンシートにピンホールが発生していた。また、セラミックグリーンシート剥離力が重く、シリコーン移行性、耐溶剤性の評価も悪かった。
(Comparative example 2)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 4 except that the film thickness of the release layer was 0.2 μm using the laminate film X3 as the base film. Obtained. The obtained release film had a large surface roughness of the release layer, and pinholes were generated in the ceramic green sheet. Moreover, the ceramic green sheet peeling force was heavy, and evaluation of silicone migration and solvent resistance was also bad.

(比較例3)
以下に示す組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 19.70質量部
イソプロピルアルコール 59.10質量部
ジペンタエリストリールヘキサアクリレート 20.00質量部
(A−DPH、新中村化学工業社製、固形分100%)
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン 0.20質量部
(BYK UV−3500、ビッグケミー・ジャパン社製固形分100%)
光重合開始剤 1.00質量部
(Omnirad127、IGM Resins社製)
得られた離型フィルムは、表面自由エネルギーが大きく剥離力が重かった。また、離型層の硬化収縮が大きくカールが発生しており、シリコーン移行性、耐溶剤性も悪かった。
(Comparative example 3)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 19.70 parts by mass Isopropyl alcohol 59.10 parts by mass Dipentaeristole hexaacrylate 20.00 parts by mass (A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100%)
Acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane 0.20 parts by mass (BYK UV-3500, solid content by Big Chemie Japan 100%)
Photopolymerization initiator 1.00 parts by mass (Omnirad 127, manufactured by IGM Resins)
The obtained release film had a large surface free energy and a heavy peeling force. In addition, the curing shrinkage of the release layer was large, curling occurred, and silicone migration and solvent resistance were also poor.

(比較例4)
以下に示す組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 19.75質量部
イソプロピルアルコール 59.25質量部
両末端アクリレート変性ポリジメチルシロキサン 20.00質量部
(X−22−2445、信越化学工業社製、固形分100%)
光重合開始剤 1.00質量部
(Omnirad127、IGM Resins社製)
得られた離型フィルムは、基材フィルムに対するポリジメチルシロキサンの濡れ性が悪く、基材フィルム表面で凝集しており、表面粗さが大きかった。また、表面自由エネルギーが小さく、セラミックスラリーを塗工した時にハジキが発生しており、セラミックグリーンシートにピンホールが発生していた。加えて、キズ付性、耐溶剤性、シリコーン移行性も悪く、剥離力も重かった。
(Comparative example 4)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 19.75 parts by mass Isopropyl alcohol 59.25 parts by mass Acrylate modified polydimethylsiloxane with both ends 20.00 parts by mass (X-22-2445, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., solid content 100%)
Photopolymerization initiator 1.00 parts by mass (Omnirad 127, manufactured by IGM Resins)
The obtained release film had poor wettability of the polydimethylsiloxane to the base film, was aggregated on the surface of the base film, and had a large surface roughness. In addition, the surface free energy was small, repelling occurred when the ceramic slurry was applied, and pinholes occurred in the ceramic green sheet. In addition, the scratch resistance, the solvent resistance, the silicone migration were also bad, and the peeling force was heavy.

(比較例5)
積層フィルムX1の表面層A上に以下に示す組成の塗布液をワイヤーバーを用いて、乾燥後の膜厚が0.6μmとなるように塗工し、次いで、160℃で15秒乾燥することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 33.00質量部
トルエン 33.00質量部
熱硬化付加型シリコーン 33.30質量部
(KS−847H、信越シリコーン社製、固形分30質量%)
白金触媒 0.70質量部
(CAT−PL−50T、信越化学工業社製)
得られた離型フイルムは、表面自由エネルギーが低く、セラミックスラリーを離型フィルム上に塗布した際にハジキが発生し、成型したセラミックグリーンシートにピンホールが発生していた。また、キズ付性、耐溶剤性、シリコーン移行性も悪かった。
(Comparative example 5)
Using a wire bar, apply a coating solution of the composition shown below on the surface layer A of the laminated film X1 so that the film thickness after drying is 0.6 μm, and then dry at 160 ° C. for 15 seconds Thus, a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained.
Methyl ethyl ketone 33.00 parts by mass Toluene 33.00 parts by mass Thermosetting addition type silicone 33.30 parts by mass (KS-847H, manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., solid content 30% by mass)
Platinum catalyst 0.70 parts by mass (CAT-PL-50T, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
The obtained release film had low surface free energy, repelling occurred when the ceramic slurry was applied on the release film, and pinholes were generated in the formed ceramic green sheet. In addition, scratch resistance, solvent resistance, silicone migration was also bad.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムによれば、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、離型層表面の平滑性に優れ、離型層の架橋密度が高く高弾性率でありながら、カールも抑制されるため、厚み1μm以下といった超薄膜セラミックグリーンシートを成型してもピンホールなどの欠点が少なく、剥離性に優れたセラミックグリーンシートの製造を可能とした。   According to the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, compared to the conventional release film for producing a ceramic green sheet, the smoothness of the surface of the release layer is excellent, the crosslink density of the release layer is high, and the elasticity is high. Since curling is also suppressed despite the rate, even when an ultra-thin ceramic green sheet having a thickness of 1 μm or less is molded, defects such as pinholes are less, making it possible to manufacture a ceramic green sheet excellent in releasability.

Claims (6)

ポリエステルフィルムの少なくとも片面に直接又は他の層を介して0.2〜2.0μmの離型層が積層された離型フィルムであって、離型層表面の領域表面粗さ(Sa)が7nm以下であり、前記離型層が1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する重量平均分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂を少なくとも含む塗膜が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   A release film in which a release layer of 0.2 to 2.0 μm is laminated on at least one surface of a polyester film directly or through another layer, and the area surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm The coating film containing at least an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a weight average molecular weight of 2000 to 100,000 having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule is cured. Release film for producing ceramic green sheets. 離型層が、1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂以外のエネルギー線硬化型樹脂成分及びポリオルガノシロキサン成分を含まない請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release layer contains an energy ray-curable resin component and a polyorganosiloxane component other than an energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a molecular weight of 2,000 to 100,000 having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule. A release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1. 1分子内に(メタ)アクリロイル基とポリオルガノシロキサン基を有する重量平均分子量2000〜10万のエネルギー線硬化型共重合アクリル樹脂が、(メタ)アクリロイル基の前駆体を有するモノマー類とポリオルガノシロキサン基を有するモノマー類を少なくとも含む複数種のモノマー類が共重合されているアクリルコポリマー(I)に対して、(メタ)アクリロイル基を有する化合物がグラフトされているものであり、アクリルコポリマー(I)に対するポリオルガノシロキサン基の導入量が0.01〜10mol%、(メタ)アクリロイル基のグラフトによる導入量が70〜99.95mol%である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   An energy ray-curable copolymerized acrylic resin having a weight average molecular weight of 2,000 to 100,000 having a (meth) acryloyl group and a polyorganosiloxane group in one molecule, a monomer having a (meth) acryloyl group precursor and a polyorganosiloxane A compound having a (meth) acryloyl group is grafted to an acrylic copolymer (I) in which a plurality of types of monomers including at least a monomer having a group are copolymerized, and the acrylic copolymer (I) The mold release according to claim 1 or 2, wherein the amount of polyorganosiloxane group introduced is 0.01 to 10 mol% and the amount introduced by grafting of (meth) acryloyl group is 70 to 99.95 mol%. the film. ポリエステルフィルムが少なくとも2層以上からなる積層ポリエステルフィルムであって、前記積層ポリエステルフィルムの離型層が積層された側の表面層Aには実質的に無機粒子が含有されていない請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The laminated polyester film comprising at least two layers of polyester film, wherein the surface layer A on the side on which the release layer of the laminated polyester film is laminated is substantially free of inorganic particles. A release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above. 積層ポリエステルフィルムの表面層Aとは反対側の表面層Bが粒子を含有し、前記粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、合計の粒子の含有量が表面層Bの総質量に対して5000〜15000ppmである請求項4に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The surface layer B on the opposite side to the surface layer A of the laminated polyester film contains particles, the particles are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total content of particles relative to the total mass of the surface layer B The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 4, which is 5000 to 15000 ppm. 請求項1〜5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みであるセラミックグリーンシートの製造方法。   It is a manufacturing method of the ceramic green sheet which shape | molds a ceramic green sheet using the release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-5, Comprising: 0.2 micrometers-1 of the ceramic green sheet shape | molded A method of producing a ceramic green sheet having a thickness of 0 μm.
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