JP7310046B1 - ワーク保持装置 - Google Patents

Abstract

ワーク保持装置（１）は、内側面が第１保持部（１２３）の外周面に第１弾性部材を介して対向した状態でベース部材（１１）に固定される第１筒状部材（１５）と、第１弾性部材を拡張させて第１弾性部材の外側全体を第１筒状部材（１５）の内側面に押し付けることにより、第１揺動部材（１２）がベース部材（１１）に対して動くのを規制する第１揺動規制部（２１）と、内側面が第２保持部（１３３）の外周面に第２弾性部材を介して対向した状態で第１揺動部材（１２）に固定される第２筒状部材（１６）と、第２弾性部材を拡張させて第２弾性部材の外側全体を第２筒状部材（１６）の内側面に押し付けることにより、第２揺動部材（１３）が第１揺動部材（１２）に対して動くのを規制する第２揺動規制部（２２）と、を備える。

Description

本発明は、ワーク保持装置に関する。

治具ベースと、第１方向に延びる第１揺動軸を有して第１揺動軸を中心に揺動するように治具ベースに支持される第１揺動部材と、第１方向と直交する第２方向に延びる第２揺動軸を有して第２揺動軸を中心に揺動するように第１揺動部材に支持される第２揺動部材と、第２揺動部材に固定されて前記ワークを保持するワークホルダと、を備え、ワークを浮動状態で支持するフローティング治具が提案されている（例えば特許文献１参照）。このフローティング治具では、第１揺動軸の周囲を囲うように配置されて治具ベースに固定された複数の第１アクチュエータが、それぞれ、第１揺動軸の軸心へ向かう方向に第１揺動軸を押し付けることにより第１揺動軸の揺動を制限する。また、第２揺動軸の周囲を囲うように配置されて第１揺動部材に固定された複数の第２アクチュエータが、それぞれ、第２揺動軸の軸心へ向かう方向に第２揺動軸を押し付けることにより第２揺動軸の揺動を制限する。

ところで、複数の第１アクチュエータにより第１揺動部材の姿勢を固定する動作が行われるときに、第１揺動軸に対して複数の第１アクチュエータの押し付け力が不均衡に作用すると、第１揺動部材の姿勢にずれが生じる虞がある。また、複数の第２アクチュエータにより第２揺動部材の姿勢を固定する動作が行われるときに、第２揺動軸に対して複数の第２アクチュエータの押し付け力が不均衡に作用すると、第２揺動部材の姿勢にずれが生じる虞がある。そこで、特許文献１に記載された構成では、第１揺動軸、第２揺動軸に荷重センサが設けられており、荷重センサの検出結果に基づいて、複数の第１アクチュエータ間並びに複数の第２アクチュエータ間における押し付け力の不均衡を小さくする制御を実行する。

特開２０２０－１３１３４５号公報

しかしながら、特許文献１に記載された構成では、複数の第１アクチュエータ、複数の第２アクチュエータそれぞれの押し付け力を検出する荷重センサと、荷重センサの検出結果に基づいて、複数の第１アクチュエータ間並びに複数の第２アクチュエータ間における押し付け力の不均衡を小さくする制御を実行する制御装置と、を設ける必要がある。このため装置構成が複雑となるとともに、部品点数の増大により重量が増加してしまう虞がある。

本発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、構成の簡素化および軽量化を図ることができるワーク保持装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るワーク保持装置は、
ベース部材と、
前記ベース部材により第１方向に延在する第１揺動軸周りに揺動する方向と前記第１揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第１本体部と、円盤状であり中心軸が前記第１揺動軸と一致する姿勢で前記第１本体部に固定されるとともに、外周面全体において円環状の第１弾性部材を保持する第１保持部と、を有する第１揺動部材と、
前記第１揺動部材により前記第１方向と直交する第２方向に延在する第２揺動軸を中心として揺動する方向と前記第２揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第２本体部と、円盤状であり中心軸が前記第２揺動軸と一致する姿勢で前記第２本体部に固定されるとともに、外周面全体において円環状の第２弾性部材を保持する第２保持部と、を有する第２揺動部材と、
前記第２本体部に固定されワークを保持するワークホルダと、
筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側面が前記第１保持部材の外周面に前記第１弾性部材を介して対向した状態で前記ベース部材に固定される第１筒状部材と、
前記第１弾性部材を拡張させて前記第１弾性部材の外側全体を前記第１筒状部材の内側面に押し付けることにより、前記第１揺動部材が前記ベース部材に対して動くのを規制する第１揺動規制部と、
筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側面が前記第２保持部材の外周面に前記第２弾性部材を介して対向した状態で前記第１揺動部材に固定される第２筒状部材と、
前記第２弾性部材を拡張させて前記第２弾性部材の外側全体を前記第２筒状部材の内側面に押し付けることにより、前記第２揺動部材が前記第１揺動部材に対して動くのを規制する第２揺動規制部と、を備える。

本発明によれば、第１揺動規制部が、第１弾性部材を拡張させて第１弾性部材の外側全体を第１筒状部材の内側面に押し付けることにより、第１揺動部材がベース部材に対して動くのを規制する。また、第２揺動規制部が、第２弾性部材を拡張させて第２弾性部材の外側全体を第２筒状部材の内側面に押し付けることにより、第２揺動部材が第１揺動部材に対して動くのを規制する。これにより、第１揺動部材の第１保持部がその周方向全体に亘って均一な圧力で第１筒状部材に固定されるとともに、第２揺動部材の第２保持部がその周方向全体に亘って均一な圧力で第２筒状部材に固定される。従って、第１揺動部材および第２揺動部材の姿勢のずれを抑制しつつ、構成の簡素化並びに軽量化を図ることができる。

本発明の実施の形態１に係るホーニング加工装置の斜視図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置の一部破断した斜視図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置の図２のＡ－Ａ線で破断した断面矢視図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置の図２のＢ－Ｂ線で破断した断面矢視図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置がワークの保持を解除した状態を示す一部断面図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置からワークが離脱した状態を示す一部断面図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置がワークを保持していない状態を示す一部断面図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置がワークを保持した状態を示す一部断面図である。 実施の形態１に係る第１揺動規制部および第２揺動規制部の概略構成図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置の揺動可能な状態を示す一部断面図である。 実施の形態１に係るワーク保持装置の制振状態を示す一部断面図である。 実施の形態２に係るワーク保持装置の一部破断した斜視図である。 実施の形態２に係るワーク保持装置の図８のＣ－Ｃ線で破断した断面矢視図である。 実施の形態２に係るワーク保持装置の図８のＤ－Ｄ線で破断した断面矢視図である。 実施の形態１に係る第１揺動規制部および第２揺動規制部の概略構成図である。 実施の形態２に係るワーク保持装置の揺動可能な状態を示す一部断面図である。 実施の形態２に係るワーク保持装置の制振状態を示す一部断面図である。 変形例に係る揺動規制部の概略構成図である。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態に係るワーク保持装置について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態に係るワーク保持装置は、ホーニング加工時においてワークを保持する治具である。このワーク保持装置は、ベース部材と、第１揺動部材と、第２揺動部材と、ワークホルダと、第１筒状部材と、第１揺動規制部と、第２筒状部材と、第２揺動規制部と、を備える、第１揺動部材は、ベース部材により第１方向に延在する第１揺動軸を中心として揺動する方向と第１揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第１本体部と、円盤状であり中心軸が第１揺動軸と一致する姿勢で第１本体部に固定されるとともに、外周面全体において円環状の第１弾性部材を保持する第１保持部と、を有する。第２揺動部材は、第１揺動部材により第１方向と直交する第２方向に延在する第２揺動軸を中心として揺動する方向と第１揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第２本体部と、円盤状であり中心軸が第２揺動軸と一致する姿勢で第２本体部に固定されるとともに、外周面全体において円環状の第２弾性部材を保持する第２保持部と、を有する。ワークホルダは、第２揺動部材の第２本体部に固定されワークを保持する。第１筒状部材は、筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側面が第１保持部材の外周面に第１弾性部材を介して対向した状態でベース部材に固定されている。第１揺動規制部は、第１弾性部材を拡張させて第１弾性部材の外側全体を第１筒状部材の内側面に押し付けることにより、第１揺動部材がベース部材に対して動くのを規制する。第２筒状部材は、筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側面が第２保持部材の外周面に第２弾性部材を介して対向した状態で第１揺動部材に固定されている。第２揺動規制部は、第２弾性部材を拡張させて第２弾性部材の外側全体を第２筒状部材の内側面に押し付けることにより、第２揺動部材が第１揺動部材に対して動くのを規制する。

本実施の形態に係るホーニング加工装置は、図１に示すように、ホーニングツール９０と、ホーニングツール９０の鉛直下方に配置されたワーク保持装置１と、を備える。また、ホーニング加工装置は、ホーニングツール９０をその長手方向に沿って中心軸Ｊ２を中心として回転させながら昇降させる駆動機構（図示せず）を備える。なお、図１では、ワークＷが、その加工孔Ｗｈの中心軸Ｊ０とホーニングツール９０の中心軸Ｊ１とが一致する姿勢で配置されている。

ホーニングツール９０は、長尺円筒状のツール本体９１と、ツール本体９１の－Ｚ方向側の端部においてツール本体９１の径方向へ拡縮可能に設けられた複数の砥石９２と、を有する。また、ホーニングツール９０は、－Ｚ方向側の端部に設けられたウェッジ部分（図示せず）を有し、ツール本体９１の内側において砥石９２が固定された砥石台（図示せず）の砥石９２側とは反対側の傾斜面にウェッジ部分が当接した状態で配置され、ツール本体９１に対して鉛直方向へ相対的に移動することにより砥石９２を拡張移動させるためのウェッジロッド（図示せず）と、砥石９２を収縮移動する方向へ付勢する付勢部材（図示せず）と、を有する。そして、ウェッジロッドが－Ｚ方向へ移動するのに伴って、砥石台および砥石台に固定された砥石９２がウェッジ部分に押圧されて拡張方向へ移動する。一方、ウェッジロッドが＋Ｚ方向へ移動すると、付勢部材の付勢力により、砥石台および砥石９２が収縮方向へ移動する。なお、付勢部材としては、リングばね、リング状のゴム等を採用することができる。

ここで、ホーニング加工装置は、ホーニングツール９０をワーク保持装置１に保持されたワークＷの加工孔Ｗｈ内へ挿入してから、砥石９２を拡張移動させることにより砥石９２が加工孔Ｗｈの内壁に接触させる。そして、ホーニング加工装置は、砥石９２を加工孔Ｗｈの内壁に接触させた状態で、ホーニングツール９０をその長手方向に沿った中心軸Ｊ２を中心として回転することにより、ワークＷの加工孔Ｗｈの内壁を研削する。

ワーク保持装置１は、ベース部材１１と、第１揺動部材１２と、第２揺動部材１３と、ワークホルダ１４と、第１筒状部材１５と、第２筒状部材１６と、第１弾性部材１７と、第２弾性部材１８と、スペーサ１９と、を備える。また、ワーク保持装置１は、第１揺動部材１２のベース部材１１に対する揺動および水平方向への移動を規制する第１揺動規制部２１と、第２揺動部材１３の第１揺動部材１２に対する揺動および水平方向への移動を規制する第２揺動規制部２２と、を備える。ベース部材１１は、枠状の本体部１１１と、本体部１１１の周方向における複数箇所から－Ｚ方向へ延在し本体部１１１を支持する支柱１１２と、平面視略矩形状の扁平な形状を有し、複数の支柱１１２の－Ｚ方向側の端部が固定される基台１１３と、を有する。

第１揺動部材１２は、ベース部材１１によりＸ軸方向に延在する第１揺動軸Ｊｘを中心として揺動する方向と第１揺動軸Ｊｘ方向とへ移動自在に支持されている。第１揺動部材１２は、平面視の外形が六角形の形状を有する枠状の本体部１２１と、長尺であり長手方向の一端部が第１本体部１２１に固定されたシャフト１２２と、円盤状でありシャフト１２２の他端部に固定され第１弾性部材１７を保持する第１保持部１２３と、を有する。第１弾性部材１７は、円環状であり、ゴム、エラストマ等の弾性材料から形成されている。本体部１２１は、ベース部材１１によりシャフト１２２を介してＸ軸方向に延在する第１揺動軸Ｊｘを中心として揺動する方向と第１揺動軸Ｊｘ方向とへ移動自在に支持されている。シャフト１２２は、軸受１２５を介してベース部材１１の本体部１１１に固定されている。第１保持部１２３は、その厚さ方向に沿った中心軸が第１揺動軸Ｊｘと一致する姿勢で本体部１２１に固定され、外周面全体において第１弾性部材１７を保持している。ここで、第１保持部１２３は、シャフト１２２と連続一体に形成されており、シャフト１２２を介して本体部１２１に固定されている。

また、図３Ａに示すように、シャフト１２２の内部には、シャフト１２２の内部をシャフト１２２の長手方向、即ち、Ｘ軸方向に沿って延在する流路１２２ａが形成されている。そして、シャフト１２２における本体部１２１に固定されている部分には、本体部１２１の＋Ｚ方向側から流路１２２ａの内側に連通し流路１２２ａに空気を導入するための流路１２４ａが形成されたコネクタ１２４が配設されている。更に、第１保持部１２３は、外周面における周方向全体に亘って第１弾性部材１７が嵌入される第１溝１２３ａが形成されている。そして、第１保持部１２３には、第１弾性部材１７が第１溝１２３ａに嵌入された状態で第１弾性部材１７と第１溝１２３ａの内側との間に形成される第１領域に連通する流路１２３ｂが設けられている。

第２揺動部材１３は、図２に示すように、第１揺動部材１２によりＹ軸方向に延在する第２揺動軸Ｊｙを中心として揺動する方向と第２揺動軸Ｊｙ方向とへ移動自在に支持されている。第２揺動部材１３は、本体部１３１と、長尺であり長手方向の一端部が本体部１３１に固定されたシャフト１３２と、円盤状でありシャフト１３２の他端部に固定され第２弾性部材１８を保持する第２保持部１３３と、を有する。また、第２揺動部材１３には、後述のスペーサロック板１４４の旋回動作を案内するためのガイドローラ３２が固定されている。第２弾性部材１８は、第１弾性部材１７と同様に、円環状であり、ゴム、エラストマ等の弾性材料から形成されている。本体部１３１は、板状の主片１３１１と、主片１３１１のＹ軸方向における両端部から主片１３１１の厚さ方向に沿った同一方向へ延在し主片１３１１を＋Ｚ方向側から保持する２つの保持片１３１２と、を有する。主片１３１１には、その厚さ方向に貫通し内側にワークホルダ１４が配置される貫通孔１３１ａが穿設されている。また、貫通孔１３１ａの内壁には、ワークホルダ１４の一部が－Ｚ方向側から係止される段部１３１ｂが形成されている。シャフト１３２は、軸受１３５を介して第１揺動部材１２の本体部１２１に固定され、前述の長手方向の一端部が、本体部１３１の保持片１３１２に固定されている。このようにして、本体部１３１は、第１揺動部材１２によりシャフト１３２を介してＹ軸方向に延在する第２揺動軸Ｊｙを中心として揺動する方向と第２揺動軸Ｊｙ方向とへ移動自在に支持されている。第２保持部１３３は、その厚さ方向に沿った中心軸が第２揺動軸Ｊｙと一致する姿勢で本体部１３１に固定され、外周面全体において第２弾性部材１８を保持している。ここで、第２保持部１３３は、シャフト１３２と連続一体に形成されており、シャフト１３２を介して本体部１３１に固定されている。

また、図３Ｂに示すように、シャフト１３２の内部には、シャフト１３２の内部をシャフト１２２の長手方向、即ち、Ｙ軸方向に沿って延在する流路１３２ａが形成されている。そして、シャフト１３２における本体部１３１に固定されている部分には、本体部１３１の＋Ｚ方向側から流路１３２ａの内側に連通し流路１３２ａに空気を導入するための流路１３４ａが形成されたコネクタ１３４が配設されている。更に、第２保持部１３３は、外周面における周方向全体に亘って第２弾性部材１８が嵌入される第２溝１３３ａが形成されている。そして、第２保持部１３３には、第２弾性部材１８が第２溝１３３ａに嵌入された状態で第２弾性部材１８と第２溝１３３ａの内側との間に形成される第２領域に連通する流路１３３ｂが設けられている。

ワークホルダ１４は、図２、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、筒状のホルダ本体１４１と、円筒状でありホルダ本体１４１の＋Ｚ方向側に配置されワークＷを－Ｚ方向側から支持するワーク支持部１４２と、付勢部材１４３と、２つのスペーサロック板１４４と、を有する。ホルダ本体１４１は、円筒状であり内側に＋Ｚ方向側から嵌入された付勢部材１４３を係止する段部１４１ａが形成された主部１４１１と、主部１４１１の＋Ｚ方向側の端部から外側へ張り出した外鍔部１４１２と、スペーサロック板１４４を旋回自在に支持するロック板支持部１４１３と、を有する。ロック板支持部１４１３は、円筒状であり主部１４１１に外嵌された状態で主部１４１１に対して鉛直方向へ摺動自在となっている支持部本体１４１３ａと、支持部本体１４１３ａのＸ軸方向において対向する２箇所から互いに離れる方向へ突出した２つの突出部１４１３ｂと、２つの突出部１４１３ｂそれぞれの先端部に設けられスペーサロック板１４４の－Ｚ方向側の端部を枢支する軸部１４１３ｃと、を有する。そして、外鍔部１４１２とロック板支持部１４１３との間には、コイルばね１４５が配置されており、ロック板支持部１４１３が主部１４１１に対して＋Ｚ方向側へ移動すると、コイルばね１４５の復元力によりロック板支持部１４１３が－Ｚ方向側へ付勢される。また、ホルダ本体１４１には、スペーサロック板１４４の旋回動作を案内するためのガイドピン３１が固定されている。

ワーク支持部１４２の内壁のＺ軸方向における略中央部から＋Ｚ方向側の端部に亘る部分には、＋Ｚ方向側に向かうにつれて拡径するテーパ部１４２ｂが形成されている。また、ワーク支持部１４２の－Ｚ方向側の端面には、付勢部材１４３の＋Ｚ方向側の端部を係止する段部１４２ａが形成されている。更に、ワーク支持部１４２の－Ｚ方向側の端部には、外側へ張り出した外鍔部１４２ｃが設けられている。付勢部材１４３は、コイルバネであり、－Ｚ方向側の端部がホルダ本体１４１の段部１４１ａに係止され、＋Ｚ方向側の端部がワーク支持部１４２の段部１４２ａに係止された状態で、ホルダ本体１４１の主部１４１１の内側に配置されている。２つのスペーサロック板１４４は、それぞれ、長尺板状であり、長手方向における一端部には、スペーサロック板１４４の厚さ方向に貫通しホルダ本体１４１のロック支持部１４１３の軸部１４１３ｃが挿通される貫通孔１４４ｄが貫設されている。また、スペーサロック板１４４それぞれの他端部には、第２揺動部材１３の本体部１３１にスペーサ１９が載置された状態でスペーサ１９を＋Ｚ方向側から係止するフック１４４ａが設けられている。また、スペーサロック板１４４は、ホルダ本体１４１とは反対側に突出した突起１４４ｃと、貫通孔１４４ｄが貫設された一端部から他端部に向かってホルダ本体１４１から離れるように傾斜したテーパ部１４４ｂと、を有する。そして、図３Ａに示すように、スペーサロック板１４４がスペーサ１９を係止した状態で、前述のガイドピン３１が突起１４４ｃの頂部に当接した状態となり、スペーサロック板１４４の旋回が規制された状態となる。そして、図３Ａに示す状態から、図４Ａの矢印ＡＲ３１に示すように、ロック支持部１４１３を、ホルダ本体１４１に対して＋Ｚ方向側へ摺動させると、コイルばね１４５が圧縮され、スペーサロック板１４４のテーパ部１４４ｂにおける前述のガイドローラ３２と当接する位置が、テーパ部１４４ｂにおける貫通孔１４４ｄが貫設された一端部側へ移動し、これに伴い、矢印ＡＲ３２に示すように、スペーサロック板１４４が、その他端部がスペーサ１９から離脱する方向へ旋回する。これにより、図４Ｂの矢印ＡＲ３３に示すように、ワークＷとスペーサ１９とを＋Ｚ方向側へ取り出すことができる。

ここで、ワーク支持部１４２は、図５Ａに示すように、ワークＷを保持していない状態では、外鍔部１４２ｃが第２揺動部材１３の主片１３１１における貫通孔１３１ａの内側の段部１３１ｂに－Ｚ方向側から当接し付勢部材１４３により主片１３１１に押し付けられた状態となっている。そして、図５Ｂの矢印ＡＲ１１に示すように、ワークＷが＋Ｚ方向側から挿入されると、ワークＷの－Ｚ方向側の端部がワーク支持部１４２のテーパ部１４２ｂに当接し、ワーク支持部１４２が－Ｚ方向側へ移動する。このとき、ワーク支持部１４２は、付勢部材１４３の付勢力によりワークＷの－Ｚ方向側の端部に押し付けられ、ワークＷの－Ｚ方向側の端部がテーパ部１４２ｂに沿ってＸＹ方向へ移動することでワークＷの中心軸Ｊ０がワーク支持部１４２の中心軸Ｊ２と一致するように調芯される。

スペーサ１９は、円板状であり、中央部に厚さ方向に貫通し内側にワークＷが挿通される開口部１９ａが貫設されている。スペーサ１９は、第２揺動部材１３の本体部１３１の主片１３１１上に載置され、開口部１９ａの内側に挿通されたワークＷがワークホルダ１４に保持された状態で、周部上面がワークホルダ１４のスペーサロック板１４４のフック１４４ａに係止されることにより第２揺動部材１３に固定される。

図２および図３Ａに示すように、２つの第１筒状部材１５は、それぞれ、有底円筒状であり、筒状部１５１と筒状部１５１の筒軸方向における一方の端部を閉塞する底壁１５２と、を有し、少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形である。第１筒状部材１５の筒状部１５１の内側面は、第１揺動部材１２の第１保持部１２３の外周面に第１弾性部材１７を介して対向した状態でベース部材１１に固定されている。２つの第２筒状部材１６は、図２および図３Ｂに示すように、それぞれ、有底円筒状であり、筒状部１６１と筒状部１６１の筒軸方向における一方の端部を閉塞する底壁１６２と、を有し、少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形である。第２筒状部材１６の筒状部１６１の内側面は、第２揺動部材１３の第２保持部１３３の外周面に第２弾性部材１８を介して対向した状態で第１揺動部材１２に固定されている。

図６に示すように、第１揺動規制部２１は、圧縮空気を出力する空気源２１１と、第１揺動部材１２のコネクタ１２４に接続されるチューブ２１２と、チューブ２１２の先端部に設けられたコネクタ２１５と、空気源２１１とチューブ２１２との間に介在しチューブ２１２内の空気圧を調節するための圧力制御弁２１３と、圧力制御部２１４と、を有する。そして、コネクタ２１５が第１揺動部材１２のコネクタ１２４に接続された状態で、圧力制御部２１４が、圧力制御弁２１３を制御して、空気源２１１からコネクタ１２４に供給される空気の圧力を調節することにより、第１揺動部材１２がベース部材１１に対して動くのを規制する。また、第２揺動規制部２２は、空気源２１１と、第２揺動部材１３のコネクタ１３４に接続されるチューブ２２２と、チューブ２２２の先端部に設けられたコネクタ２２５と、空気源２１１とチューブ２２２との間に介在しチューブ２２２内の空気圧を調節するための圧力制御弁２２３と、圧力制御部２１４と、を有する。そして、コネクタ２２５が第２揺動部材１３のコネクタ１３４に接続された状態で、圧力制御部２１４が、圧力制御弁２２３を制御して、空気源２１１からコネクタ１３４に供給される空気の圧力を調節することにより、第２揺動部材１３が第１揺動部材１２に対して動くのを規制する。

例えば図７Ａに示すように、第２弾性部材１８が第２筒状部材１６の筒状部１６１の内側面１６１ａに当接していない状態では、第２揺動部材１３が、第１揺動部材１２に対して揺動自在であり且つ水平方向へ移動自在となっている。そして、第２揺動規制部２２は、第２揺動部材１３の第１揺動部材１２に対する動くのを規制する場合、コネクタ１３４から流路１３４ａ、１３２ａ、１３３ｂを通じて、第２弾性部材１８と第２溝１３３ａの内側との間に形成される第２領域Ｓ２へ空気を供給する。これにより、図７Ｂの矢印ＡＲ１２に示すように、第２弾性部材１８が拡張して、第２弾性部材１８の外側全体が第２筒状部材１６の筒状部１６１の内側面１６１ａに押し付けられ、第２揺動部材１３の第１揺動部材１２に対する動きが規制される。また、第１弾性部材１７も第１筒状部材１５の筒状部１５１の内側面に当接していない状態では、第１揺動部材１２が、ベース部材１１に対して揺動自在であり且つ水平方向へ移動自在となっている。そして、第１揺動規制部２１は、第１揺動部材１２のベース部材１１に対する動くのを規制する場合、図３Ａに示すコネクタ１２４から流路１２４ａ、１２２ａ、１２３ｂを通じて、第１弾性部材１７と第１溝１２３ａの内側との間に形成される第１領域へ空気を供給する。これにより、第１弾性部材１７が拡張して、第１弾性部材１７の外側全体が第１筒状部材１５の筒状部１５１の内側面に押し付けられ、第１揺動部材１２のベース部材１１に対する動きが規制される。

また、圧力制御部２１４は、圧力制御弁２１３、２２３を制御することにより、コネクタ１２４、１３４に供給する空気の圧力を段階的または連続的に変化させることができる。これにより、第１揺動部材１２、第２揺動部材１３それぞれのベース部材１１、第１揺動部材１２に対する制動力を段階的または連続的に調節することができる。

以上説明したように、本実施の形態に係るワーク保持装置１では、第１揺動規制部２１が、第１弾性部材１７を拡張させて第１弾性部材１７の外側全体を第１筒状部材１５の筒状部１５１の内側面に押し付けることにより、第１揺動部材１２がベース部材１１に対して動くのを規制する。また、第２揺動規制部２２が、第２弾性部材１８を拡張させて第２弾性部材１８の外側全体を第２筒状部材１６の筒状部１６１の内側面１６１ａに押し付けることにより、第２揺動部材１３が第１揺動部材１２に対して動くのを規制する。これにより、第１揺動部材１２の第１保持部１２３がその周方向全体に亘って均一な圧力で第１筒状部材１５に固定されるとともに、第２揺動部材１３の第２保持部１３３がその周方向全体に亘って均一な圧力で第２筒状部材１６に固定される。従って、第１揺動部材１２および第２揺動部材１３の姿勢のずれを抑制しつつ、構成の簡素化並びに軽量化を図ることができる。

また、本実施の形態に係るワーク保持装置１では、圧力制御弁 ２１３、２２３をそれぞれ各別に制御して、コネクタ１２４、１２５それぞれに加わる圧力を異なる圧力に調整できる。これにより、例えば第１揺動部材１２、第２揺動部材１３の揺動振幅および水平方向へ移動振幅を比較して、これらの振幅の大きい方に設けられたコネクタ１２４、１２５に加わる圧力を他方の圧力に比べて大きくなるように調整することが可能となる。

ところで、複数のワーク保持装置１をコンベヤに載置し、ホーニングツール９０の鉛直下方に順次配置しながら加工を行ういわゆる連続加工により生産効率を高めることが要請されている。この場合、特許文献１に記載されたホーニング加工機では、制御部が加工機本体側に設けられている場合、制御部が、例えば無線通信機能により複数の第１アクチュエータおよび複数の第２アクチュエータを制御する構成とする必要がありホーニング加工機の構成が複雑になってしまう。これに対して、本実施の形態に係るワーク保持装置１では、コネクタ１２４、１３４を、第１揺動規制部２１、第２揺動規制部２２それぞれのチューブ２１２、２２２の先端部に設けられたコネクタ２１５、２２５への結合およびコネクタ２１５、２２５からの離脱を行うだけで、ホーニングツール９０の鉛直下方に配置するワーク保持装置１の交換を行うことができる。従って、ワーク保持装置１の交換を自動で行う構成とする場合、コネクタ１２４、１３４へのコネクタ２１５、２２５を自動で着脱する機構を設けるだけでよいので、ホーニングツール９０を備えるホーニング加工装置またはコンベヤの構成を簡素化することができる。

また、本実施の形態に係るワーク保持装置１は、第１揺動部材１２、第２揺動部材１３がＸ軸方向、Ｙ軸方向における両端部それぞれにおいて、１つの第１弾性部材１７、第２弾性部材１８を用いて第１揺動部材１２、第２揺動部材１３の制動機構が実現できている。このため、制動機構をコンパクト且つ軽量化できるので、特に、ホーニングツール９０を高速回転させながらのホーニング加工を行うことが可能となる。

また、本実施の形態に係る第１揺動規制部２１は、第１揺動部材１２の第１保持部１２３に形成された流路１２３ｂを通じて第１弾性部材１７と第１保持部１２３の第１溝１２３ａの内側との間に形成される第１領域へ空気を導入することにより、空気圧により第１弾性部材１７全体に対して第１揺動軸Ｊｘと直交し且つ第１揺動軸Ｊｘから離れる方向へ第１弾性部材１７を拡張させる。また、第２揺動規制部２２は、第２揺動部材１３の第２保持部１３３に形成された流路１３３ｂを通じて第２弾性部材１８と第２保持部１３３の第２溝１３３ａの内側との間に形成される第２領域Ｓ２へ空気を導入することにより、空気圧により第２弾性部材１８全体に対して第２揺動軸Ｊｙと直交し且つ第２揺動軸Ｊｙから離れる方向へ第２弾性部材１８を拡張させる。これにより、第１弾性部材１７、第２弾性部材１８に対して均一に空気圧を加えることができるので、第１弾性部材１７、第２弾性部材１８をそれらの周方向において偏り無く均一に拡張することができる。

更に、本実施の形態に係るワークホルダ１４は、内側にワークＷが配置されるホルダ本体１４１と、ホルダ本体１４１に対するワークＷの挿入方向側、即ち、－Ｚ方向側からワークＷに当接した状態でワークＷを支持するワーク支持部１４２と、ホルダ本体１４１に固定され、ワーク支持部１４２を＋Ｚ方向へ付勢する付勢部材１４３と、を有する。これにより、ワーク支持部１４２は、付勢部材１４３の付勢力によりワークＷの－Ｚ方向側の端部に押し付けられ、ワークＷの－Ｚ方向側の端部がテーパ部１４２ｂに沿ってＸＹ方向へ移動することでワークＷの中心軸Ｊ０がワーク支持部１４２の中心軸Ｊ２と一致するように調芯される。従って、ワークＷをワークホルダ１４にセットする際のワークＷの加工孔Ｗｈの位置バラツキ低減することができる。特に、第１揺動部材１２、第２揺動部材１３の移動限界を超えるワークＷの加工孔Ｗｈの位置バラツキを抑制でき、第１揺動部材１２、第２揺動部材１３の移動可能距離が確保できるので、加工精度を高めることができる。

（実施の形態２）
本実施の形態に係るワーク保持装置は、筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側に円環状の第１弾性部材を保持する第１保持部材と、筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側に円環状の第２弾性部材を保持する第２保持部材と、を備える点で実施の形態１と相違する。

図８に示すように、本実施の形態に係るワーク保持装置２は、ベース部材１１と、第１揺動部材２０１２と、第２揺動部材２０１３と、ワークホルダ１４と、第１保持部材２０１５と、第２保持部材２０１６と、第１弾性部材１７、１８と、スペーサ１９と、を備える。なお、図８において、実施の形態１と同様の構成については図２と同一の符号を付している。また、ワーク保持装置２は、第１揺動部材２０１２のベース部材１１に対する揺動および水平方向へ移動を規制する第１揺動規制部２０２１と、第２揺動部材２０１３の第１揺動部材２０１２に対する揺動および水平方向へ移動を規制する第２揺動規制部２０２２と、を備える。

第１揺動部材２０１２は、ベース部材１１によりＸ軸方向に延在する第１揺動軸Ｊｘを中心として揺動する方向と第１揺動軸Ｊｘ方向とへ移動自在に支持されている。第１揺動部材２０１２は、枠状の本体部１２１と、長尺であり長手方向の一端部が本体部１２１に固定されたシャフト２１２２と、円盤状でありシャフト２１２２の他端部に固定された第１円盤状部２１２３と、を有する。シャフト２１２２は、軸受１２５を介してベース部材１１の本体部１１１に固定されている。第１円盤状部２１２３は、中心軸が第１揺動軸Ｊｘと一致する姿勢で本体部１２１に固定されている。ここで、第１円盤状部２１２３は、図９Ａに示すように、シャフト２１２２と連続一体に形成されており、シャフト２１２２を介して本体部１２１に固定されている。

第２揺動部材２０１３は、図８に示すように、第１揺動部材２０１２によりＹ軸方向に延在する第２揺動軸Ｊｙを中心として揺動する方向と第２揺動軸Ｊｙ方向とへ移動自在に支持されている。第２揺動部材２０１３は、本体部１３１と、長尺であり長手方向の一端部が本体部１３１に固定されたシャフト２１３２と、円盤状でありシャフト２１３２の他端部に固定された第２円盤状部２１３３と、を有する。シャフト２１３２は、図９Ｂに示すように、軸受１３５を介して第１揺動部材２０１２の本体部１２１に固定され、前述の長手方向の一端部が、本体部１３１の保持片１３１２に固定されている。このようにして、本体部１３１は、第１揺動部材２０１２によりシャフト２１３２を介してＹ軸方向に延在する第２揺動軸Ｊｙを中心として揺動する方向と第２揺動軸Ｊｙ方向とへ移動自在に支持されている。第２円盤状部２１３３は、その厚さ方向に沿った中心軸が第２揺動軸Ｊｙと一致する姿勢で本体部１３１に固定されている。ここで、第２円盤状部２１３３は、シャフト２１３２と連続一体に形成されており、シャフト２１３２を介して本体部１３１に固定されている。

図８に示すように、２つの第１保持部材２０１５は、それぞれ、有底円筒状であり、筒状部２１５１と底壁１５２とコネクタ２１５３とを有し、少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形である。第１保持部材２０１５は、筒状部２１５１の内側に第１弾性部材１７を保持するとともに、内側面が第１弾性部材１７を介して第１揺動部材２０１２の第１円盤状部２１２３の外周面に対向した状態でベース部材１１に固定されている。また、図９Ａに示すように、筒状部２１５１には、内周面における周方向全体に亘って第１弾性部材１７が嵌入される第１溝２１５１ａが形成されている。更に、筒状部２１５１の＋Ｚ方向側の頂部には、筒状部２１５１の厚さ方向に貫通し第１弾性部材１７が第１溝２１５１ａに嵌入された状態で第１弾性部材１７と第１溝２１５１ａの内側との間に形成される第１領域に連通する流路２１５１ｂが設けられている。コネクタ２１５３は、筒状部２１５１における流路２１５１ｂが形成された部分の外側に配設されている。

図８に戻って、２つの第２保持部材２０１６は、それぞれ、有底円筒状であり、筒状部２１６１と底壁１６２とコネクタ２１６３とを有し、少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形である。第２保持部材２０１６は、筒状部２１６１の内側に第２弾性部材１８を保持するとともに、内側面が第２弾性部材１８を介して第２揺動部材２０１３の第２円盤状部２１３３の外周面に対向した状態で第１揺動部材２０１２に固定されている。また、図９Ｂに示すように、筒状部２１６１には、内周面における周方向全体に亘って第２弾性部材１８が嵌入される第２溝２１６１ａが形成されている。更に、筒状部２１６１の＋Ｚ方向側の頂部には、筒状部２１６１の厚さ方向に貫通し第２弾性部材１８が第２溝２１６１ａに嵌入された状態で第２弾性部材１８と第２溝２１６１ａの内側との間に形成される第２領域に連通する流路２１６１ｂが設けられている。コネクタ２１６３は、筒状部２１６１における流路２１６１ｂが形成された部分の外側に配設されている。

図１０に示すように、第１揺動規制部２０２１は、空気源２１１と、第１保持部材２０１５のコネクタ２１５３に接続されるチューブ２１２と、コネクタ２１５と、圧力制御弁２１３と、圧力制御部２１４と、を有する。なお、図１０において、実施の形態１と同様の構成については図６と同一の符号を付している。そして、コネクタ２１５が第１保持部材２０１５のコネクタ２１５３に接続された状態で、圧力制御部２１４が、圧力制御弁２１３を制御して、空気源２１１からコネクタ２１５３に供給される空気の圧力を調節することにより、第１揺動部材２０１２がベース部材１１に対して動くのを規制する。また、第２揺動規制部２２は、空気源２１１と、第２保持部材２０１６のコネクタ２１６３に接続されるチューブ２２２と、コネクタ２２５と、圧力制御弁２２３と、圧力制御部２１４と、を有する。そして、コネクタ２２５が第２保持部材２０１６のコネクタ２１６３に接続された状態で、圧力制御部２１４が、圧力制御弁２２３を制御して、空気源２１１からコネクタ２１６３に供給される空気の圧力を調節することにより、第２揺動部材２０１３が第１揺動部材２０１２に対して動くのを規制する。

例えば図１１Ａに示すように、第２弾性部材１８が第２揺動部材２０１３の第２円盤状部２１３３の外周面２１３３ａに当接していない状態では、第２揺動部材１３が、第１揺動部材１２に対して揺動自在であり且つ水平方向へ移動自在となっている。そして、第２揺動規制部２０２２は、第２揺動部材２０１３の第１揺動部材２０１２に対する揺動および水平方向への移動を規制する場合、コネクタ２１６３から流路２１６１ｂを通じて、第２弾性部材１８と第２溝２１６１ａの内側との間に形成される第２領域Ｓ２００２へ空気を供給する。これにより、図１１Ｂの矢印ＡＲ２に示すように、第２弾性部材１８が収縮して、第２弾性部材１８の内側全体が第２揺動部材２０１３の第２円盤状部２１３３の外周面２１３３ａに押し付けられ、第２揺動部材２０１３の第１揺動部材２０１２に対する揺動および水平方向への移動が規制される。また、第１弾性部材１７も第２揺動部材２０１３の第２円盤状部２１３３の外周面に当接していない状態では、第１揺動部材２０１２が、ベース部材１１に対して揺動自在であり且つ水平方向へ移動自在となっている。そして、第１揺動規制部２０２１は、第１揺動部材１２のベース部材１１に対する揺動および水平方向への移動を規制する場合、図９Ａに示すコネクタ２１５３から流路２１５１ｂを通じて、第１弾性部材１７と第１溝２１５１ａの内側との間に形成される第１領域へ空気を供給する。これにより、第１弾性部材１７が収縮して、第１弾性部材１７の内側全体が第１揺動部材２０１２の第１円盤状部２１２３の外周面に押し付けられ、第１揺動部材２０１２のベース部材１１に対する揺動および水平方向への移動が規制される。

以上説明したように、本実施の形態に係るワーク保持装置１では、第１揺動部材２０１２のシャフト２１２２および第１円盤状部２１２３並びに第２揺動部材２０１３のシャフト２１３２および第２円盤状部２１３３の内側に流路が形成されていない。これにより、第１揺動部材２０１２および第２揺動部材２０１３を作製する際に流路を形成するための加工が不要となるので、その分、ワーク保持装置２の作製が容易になるという利点がある。

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明は前述の実施の形態の構成に限定されるものではない。例えば第１弾性部材１７と第２弾性部材１８との少なくとも一方が、複数存在するものであってもよい。例えば実施の形態１に係るワーク保持装置１において、第１揺動部材１２の第１保持部１２３の外周面に、その周方向に沿って延在する複数の第１溝１２３ａが形成されており、複数の第１溝１２３ａそれぞれに、円環状の第１弾性部材１７が嵌入されているものであってもよい。或いは、第２揺動部材１３の第２保持部１３３の外周面に、その周方向に沿って延在する複数の第２溝１３３ａが形成されており、複数の第２溝１３３ａそれぞれに、円環状の第２弾性部材１８が嵌入されているものであってもよい。

また、実施の形態２に係るワーク保持装置２において、第１保持部材２０１５の筒状部２１５１の内側面に、その周方向に沿って延在する複数の第１溝２１５１ａが形成されており、複数の第１溝２１５１ａそれぞれに、円環状の第１弾性部材１７が嵌入されているものであってもよい。或いは、第２保持部材２０１６の筒状部２１６１の内側面に、その周方向に沿って延在する複数の第２溝２１６１ａが形成されており、複数の第２溝２１６１ａそれぞれに、円環状の第２弾性部材１８が嵌入されているものであってもよい。

本構成によれば、第１揺動部材１２、２０１２のベース部材１１に対する揺動および水平方向へ移動を規制する場合、複数の第１弾性部材１７を第１筒状部材１５の内側面または第１揺動部材２０１２の第１円盤状部２１２３の外周面に押し付けることができる。また、第２揺動部材１３、２０１３の第１揺動部材１２、２０１２に対する揺動および水平方向へ移動を規制する場合、複数の第２弾性部材１８を第２筒状部材１６の内側面または第２揺動部材２０１３の第２円盤状部２１３３の外周面に押し付けることができる。これにより、第１揺動部材１２、２０１２のベース部材１１に対する揺動および水平方向へ移動を規制する制動力或いは第２揺動部材１３、２０１３の第１揺動部材１２、２０１２に対する揺動および水平方向へ移動を規制する制御力を向上させることができる。

各実施の形態では、ワーク支持部１４２が円筒状であり、その内壁のＺ軸方向における略中央部から＋Ｚ方向側の端部に亘る部分に＋Ｚ方向側に向かうにつれて拡径するテーパ部１４２ｂが形成されている例について説明した。但し、ワーク支持部の形状は円筒状に限定されるものではなく、ワークＷの形状に応じて角筒状、楕円筒状であってもよい。この場合、ワークホルダは、内側に筒軸方向における一端側に向かうにつれて筒軸方向と直交する断面の面積が増加するテーパ部が形成されたものとすればよい。

各実施の形態では、第１揺動規制部２１、２０２１と第２揺動規制部２２、２０２２とが、それぞれ、各別の圧力制御弁２１３、２２３を備え、コネクタ１２４、１３４またはコネクタ２１５３、２１６３が各別の圧力制御弁２１３、２２３に接続される例について説明した。但し、これに限定されるものではなく、例えば図１２に示すように、揺動規制部３０２１が、１つの圧力制御弁２１３を備え、コネクタ１２４、１３４またはコネクタ２１５３、２１６３が共通の１つの圧力制御弁２１３に接続されているものであってもよい。なお、図１２において、各実施の形態と同様の構成については、図６、図１０と同一の符号を付している。

各実施の形態では、空気源２１１から第１揺動部材１２のコネクタ１２４、第１保持部材２０１５のコネクタ２１５３に供給される空気の圧力を調節することにより、第１揺動部材１２、２０１２がベース部材１１に対して動くのを規制し、空気源２１１から第２揺動部材１３のコネクタ１３４、第２保持部材２０１６のコネクタ２１６３に供給される空気の圧力を調節することにより、第２揺動部材１３、２０１３が第１揺動部材１２、２０１２に対して動くのを規制する例について説明した。但し、コネクタ１２４、１３４、２１５３、２１６３へ供給する流体は、空気に限定されるものではなく、水、油等の液体であってもよい。また、窒素、酸素等の空気以外の気体をコネクタ１２４、１３４、２１５３、２１６３へ供給する構成であってもよい。

以上、本発明の実施の形態および変形例について説明したが、本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施の形態は、この発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。すなわち、本発明の範囲は、実施の形態ではなく、請求の範囲によって示される。そして、請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、この発明の範囲内とみなされる。

本発明は、トランスミッションに用いられるギア、インジェクタ部品等を加工するホーニング加工装置に好適である。

１，２：ワーク保持装置、１１：ベース部材、１２，２０１２：第１揺動部材、１３，２０１３：第２揺動部材、１４：ワークホルダ、１５：第１円筒状部材、１６：第２円筒状部材、１７：第１弾性部材、１８：第２弾性部材、１９：スペーサ、１９ａ：開口部、２１，２０２１：第１揺動規制部、２２，２０２２：第２揺動規制部、９０：ホーニングツール、９１：ツール本体、９２：砥石、１１１，１２１，１３１：本体部、１１２：支柱、１１３：基台、１２２，１３２，２１２２，２１３２：シャフト、１２２ａ，１２３ｂ，１２４ａ、１３２ａ，１３３ｂ，１３４ａ，２１５１ｂ，２１６１ｂ：流路、１２３：第１保持部、１２３ａ，２１５１ａ：第１溝、１２４，１３４，２１５，２２５，２１５３，２１６３：コネクタ、１２５，１３５：軸受、１３１ａ：貫通孔、１３１ｂ，１４１ａ，１４２ａ：段部、１３３：第２保持部、１３３ａ，２１６１ａ：第２溝、１４１：ホルダ本体、１４２：ワーク支持部、１４２ｂ，１４４ｂ：テーパ部、１４２ｃ，１４１２：外鍔部、１４３：付勢部材、１４４：スペーサロック板、１４４ａ：フック、１４４ｃ：突起、１４４ｄ：貫通孔、１５１，１６１，２１５１，２１６１：筒状部、１５２，１６２：底壁、１６１ａ：内側面、２１１：空気源、２１２，２２２：チューブ、２１３，２２３：圧力制御弁、２１４：圧力制御部、１３１１：主片、１３１２：保持片、１４１１：主部、１４１３：ロック板支持部、２０１５：第１保持部材、２０１６：第２保持部材、２１２３：第１円盤状部、２１３３：第２円盤状部、２１３３ａ：外周面、３０２１：揺動規制部、Ｊ０，Ｊ１，Ｊ２：中心軸、Ｊｘ：第１揺動軸、Ｊｙ：第２揺動軸、Ｗ：ワーク、Ｗｈ：加工孔

Claims (7)

1. ベース部材と、
   前記ベース部材により第１方向に延在する第１揺動軸周りに揺動する方向と前記第１揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第１本体部と、円盤状であり中心軸が前記第１揺動軸と一致する姿勢で前記第１本体部に固定されるとともに、外周面全体において円環状の第１弾性部材を保持する第１保持部と、を有する第１揺動部材と、
   前記第１揺動部材により前記第１方向と直交する第２方向に延在する第２揺動軸を中心として揺動する方向と前記第２揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第２本体部と、円盤状であり中心軸が前記第２揺動軸と一致する姿勢で前記第２本体部に固定されるとともに、外周面全体において円環状の第２弾性部材を保持する第２保持部と、を有する第２揺動部材と、
   前記第２本体部に固定されワークを保持するワークホルダと、
   筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側面が前記第１保持部の外周面に前記第１弾性部材を介して対向した状態で前記ベース部材に固定される第１筒状部材と、
   前記第１弾性部材を拡張させて前記第１弾性部材の外側全体を前記第１筒状部材の内側面に押し付けることにより、前記第１揺動部材が前記ベース部材に対して動くのを規制する第１揺動規制部と、
   筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側面が前記第２保持部の外周面に前記第２弾性部材を介して対向した状態で前記第１揺動部材に固定される第２筒状部材と、
   前記第２弾性部材を拡張させて前記第２弾性部材の外側全体を前記第２筒状部材の内側面に押し付けることにより、前記第２揺動部材が前記第１揺動部材に対して動くのを規制する第２揺動規制部と、を備える、
   ワーク保持装置。
2. 前記第１保持部は、前記外周面における周方向全体に亘って前記第１弾性部材が嵌入される第１溝が形成されるとともに、前記第１弾性部材が前記第１溝に嵌入された状態で前記第１弾性部材と前記第１溝の内側との間に形成される第１領域に連通する第１流路が設けられ、
   前記第１揺動規制部は、前記第１流路を通じて前記第１領域へ流体を導入することにより、流体の圧力により前記第１弾性部材全体に対して前記第１揺動軸と直交し且つ前記第１揺動軸から離れる方向へ前記第１弾性部材を拡張させ、
   前記第２保持部は、前記外周面における周方向全体に亘って前記第２弾性部材が嵌入される第２溝が形成されるとともに、前記第２弾性部材が前記第２溝に嵌入された状態で前記第２弾性部材と前記第２溝の内側との間に形成される第２領域に連通する第２流路が設けられ、
   前記第２揺動規制部は、前記第２流路を通じて前記第２領域へ流体を導入することにより、流体の圧力により前記第２弾性部材全体に対して前記第２揺動軸と直交し且つ前記第２揺動軸から離れる方向へ前記第２弾性部材を拡張させる、
   請求項１に記載のワーク保持装置。
3. ベース部材と、
   前記ベース部材により第１方向に延在する第１揺動軸を中心として揺動する方向と前記第１揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第１本体部と、円盤状であり中心軸が前記第１揺動軸と一致する姿勢で前記第１本体部に固定される第１円盤状部と、を有する第１揺動部材と、
   前記第１揺動部材により前記第１方向と直交する第２方向に延在する第２揺動軸を中心として揺動する方向と前記第２揺動軸方向との少なくとも一方へ移動自在に支持される第２本体部と、円盤状であり中心軸が前記第２揺動軸と一致する姿勢で前記第２本体部に固定される第２円盤状部と、を有する第２揺動部材と、
   前記第２揺動部材に固定されワークを保持するワークホルダと、
   筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側に円環状の第１弾性部材を保持するとともに、内側面が前記第１弾性部材を介して前記第１円盤状部の外周面に対向した状態で前記ベース部材に固定されると第１保持部材と、
   前記第１弾性部材を収縮させて前記第１円盤状部の外周面に押し付けることにより、前記第１揺動部材が前記ベース部材に対して動くのを規制する第１揺動規制部と、
   筒状であり少なくとも内側の筒軸方向と直交する断面形状が円形であり、内側に円環状の第２弾性部材を保持するとともに、内側面が前記第２弾性部材を介して前記第２円盤状部の外周面に対向した状態で前記第１揺動部材に固定される第２保持部材と、
   前記第２弾性部材を収縮させて前記第２円盤状部の外周面に押し付けることにより、前記第２揺動部材が前記第１揺動部材に対して動くのを規制する第２揺動規制部と、を備える、
   ワーク保持装置。
4. 前記第１保持部材は、前記内側面における周方向全体に亘って前記第１弾性部材が嵌入される第１溝が形成されるとともに、前記第１弾性部材が前記第１溝に嵌入された状態で前記第１弾性部材と前記第１溝の内側との間に形成される第１領域に連通する第１流路が設けられ、
   前記第１揺動規制部は、前記第１流路を通じて前記第１領域へ流体を導入することにより、流体の圧力により前記第１弾性部材全体に対して前記第１揺動軸と直交し且つ前記第１揺動軸に近づく方向へ前記第１弾性部材を収縮させ、
   前記第２保持部材は、前記内側面における周方向全体に亘って前記第２弾性部材が嵌入される第２溝が形成されるとともに、前記第２弾性部材が前記第２溝に嵌入された状態で前記第２弾性部材と前記第２溝の内側との間に形成される第２領域に連通する第２流路が設けられ、
   前記第２揺動規制部は、前記第２流路を通じて前記第２領域へ流体を導入することにより、流体の圧力により前記第２弾性部材全体に対して前記第２揺動軸と直交し且つ前記第２揺動軸に近づく方向へ前記第２弾性部材を収縮させる、
   請求項３に記載のワーク保持装置。
5. 前記第１弾性部材と前記第２弾性部材との少なくとも一方は、複数存在する、
   請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク保持装置。
6. 前記ワークホルダは、
   内側に前記ワークが配置されるホルダ本体と、
   筒状であり内側に筒軸方向における一端側に向かうにつれて筒軸方向と直交する断面の面積が増加するテーパ部が形成され、前記ホルダ本体に対する前記ワークの挿入方向側から前記テーパ部が前記ワークに当接した状態で前記ワークを支持するワーク支持部と、
   前記ホルダ本体に固定され、前記ワーク支持部を前記挿入方向とは反対方向へ付勢する付勢部材と、を有する、
   請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク保持装置。
7. 前記ワークホルダは、
   内側に前記ワークが配置されるホルダ本体と、
   筒状であり内側に筒軸方向における一端側に向かうにつれて筒軸方向と直交する断面の面積が増加するテーパ部が形成され、前記ホルダ本体に対する前記ワークの挿入方向側から前記テーパ部が前記ワークに当接した状態で前記ワークを支持するワーク支持部と、
   前記ホルダ本体に固定され、前記ワーク支持部を前記挿入方向とは反対方向へ付勢する付勢部材と、を有する、
   請求項５に記載のワーク保持装置。

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