JP7306130B2 - Gate break method and gate break device - Google Patents
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Description
本発明は、ゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置に関するものである。 The present invention relates to a gate breaking method and a gate breaking device.
半導体パッケージは、一般に、半導体素子を載置したリードフレーム等の基材を金型に供給し、また、封止樹脂を金型のポットに供給し、金型を閉じて封止樹脂を溶融させ、溶融した封止樹脂で半導体素子を封止して製造されている。 Generally, a semiconductor package is manufactured by supplying a base material such as a lead frame on which a semiconductor element is mounted to a mold, supplying a sealing resin to a pot of the mold, closing the mold, and melting the sealing resin. , is manufactured by encapsulating a semiconductor element with a molten encapsulating resin.
具体的には、溶融した封止樹脂が金型のポットから、カル及びランナーを経てキャビティに流入して半導体素子を封止する。この時、ランナーが基材の端面(端縁)を横切るため、基材の端面に沿って封止樹脂が流れて付着し、樹脂封止成形品となった状態では封止樹脂が硬化して、端面に固着する。 Specifically, the molten sealing resin flows from the pot of the mold through the cull and runner into the cavity to seal the semiconductor element. At this time, since the runner crosses the end face (edge) of the base material, the sealing resin flows and adheres along the end face of the base material. , adheres to the end face.
このようにして形成された樹脂封止成形品からは、カルやランナー等の不要樹脂が除去されるが、この際に、後工程で搬送不良が起こらないようにするために、特に基材に樹脂バリが残らないように除去する必要がある。 Unnecessary resin such as culls and runners is removed from the resin-sealed molded product thus formed. It is necessary to remove resin burrs so that they do not remain.
従来、基材に樹脂バリが生じた場合は、手作業により除去していたが、この作業負担を軽減する不要樹脂の除去装置として、例えば特許文献1記載の装置が提案されている。
In the past, when resin burrs occurred on a base material, they were removed manually. As a device for removing unnecessary resin, for example, a device described in
特許文献1記載のカル及びランナーの除去装置は、樹脂封止成形されカル及びランナーが付着したリードフレームを載置する支持体と、支持体上部に設けられカル及びランナーをリードフレームから分離する押出棒を備えている。
The cull and runner removal apparatus described in
そして、カルからキャビティに繋がるランナーを押し出す複数の押出棒のうち、カルに対し遠い方の押出棒が近い方の押出棒と比べて、少なくともリードフレームの板厚分より長く形成されている。 Among the plurality of push rods for pushing out runners connected to the cavity from the cull, the push rod farther from the cull is formed longer than the push rod closer to the cull by at least the plate thickness of the lead frame.
これにより、リードフレームからランナーを、カルに対して遠い方から除々に近い方へ分離することができ、リードフレームに対する樹脂の付着残り(樹脂バリ)がなく、確実なランナー除去を行うことができるというものである。 As a result, the runner can be separated from the lead frame in the direction closer to the cull from the farther side, and the runner can be reliably removed without leaving any resin residue (resin burr) on the lead frame. That's what it means.
ここで、図11は、特許文献1の「ランナー押出棒によってランナーをカルに対し遠い方から押し出し、カルとランナーを分離排出する。」という特徴的構成を近年の装置の実用的な形態として表したものである。
Here, FIG. 11 shows the characteristic configuration of
すなわち、カル及びランナーの除去装置は、上ブレイク盤90に、ランナー押出棒に相当する複数のパンチ板91と、内ピン92及び外ピン93が並設されており、これらは一体となって昇降する。
That is, the cull and runner removing device has a plurality of
また、各パンチ板91の先端、或いは内ピン92及び外ピン93の先端から、下ブレイク盤(図示省略)の基材載置部94までの距離(間隔)は、基材載置部94に載置された樹脂封止成形品8のカル81に対し遠い方から近い方へ順に大きくなる(離れる)ように形成されている。
Also, the distance (interval) from the tip of each
特許文献1の上記構成によれば、図11上図で、左から順に各パンチ板91でランナー82を打ち抜き、図11左拡大図から右拡大図に示すように、最後から二番目の内ピン92がランナー82を打ち抜くときには、最後の外ピン93は未だランナー82の上面に達していない。
According to the above configuration of
この状態から、更に内ピン92と外ピン93が下降すると、ランナー82には矢印a1方向(図11右拡大図参照)に作用する押圧方向の力によって、ランナー82の基材と繋がっている部分を中心とする、図で左周り方向のモーメントが作用する。
From this state, when the
これにより、ランナー82において基材80の端面89に固着する段差部の固着面820が、端面89に押し付けられる。
As a result, the
そして、ランナー82がカル81と共に基材80から離脱はしても、実際には固着面820が、端面89に押し付けられることにより端面89に封止樹脂が残って、樹脂バリ(図11右拡大図のハッチング部分参照)が生じてしまうことが多くあり、樹脂バリを防ぐ対策として充分とは言えなかった。
Even though the
本発明は、以上の点を鑑みて創案されたものであり、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から、カルやランナー等の不要樹脂を除去するゲートブレイクを行う際に、基材の端面に樹脂バリが残ることを、より確実に抑止できるゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置を提供することを目的とする。 The present invention has been invented in view of the above points. It is an object of the present invention to provide a gate breaking method and a gate breaking device that can more reliably prevent resin burrs from remaining on the end face of a base material.
(1)上記の目的を達成するために本発明は、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から押圧体によって、打ち抜き位置で、不要樹脂を打ち抜いて分離するゲートブレイク方法であって、前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を保持する工程と、保持した前記樹脂封止成形品へ向け前記押圧体を移動させて、前記不要樹脂であるランナーを、カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの第1打ち抜き位置で、前記端面と前記ランナーの前記端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に力を作用させて打ち抜いた後に、前記基材に形成された通孔に前記押圧体を貫通させ、前記ランナーを、前記端面を基準として前記カルの位置とは反対の位置、かつ前記カルに最も近い第2打ち抜き位置で打ち抜く工程とを備えるゲートブレイク方法である。 (1) To achieve the above objects, the present invention provides a gate breaking method in which unnecessary resin is punched out at a punching position from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is mounted on a base material, using a pressing body. a step of fixing the base material and holding the resin-sealed molded product; At the first punching position closer to the cull with the end face of the base material closer to the base as a reference, forces are applied in opposite directions along the surfaces to the end face and the fixing surface of the runner contacting the end face. After punching, the pressing body is passed through a through hole formed in the base material, and the runner is moved to a second punching position opposite to the position of the cull with respect to the end face and closest to the cull. It is a gate breaking method comprising a step of punching with.
本発明のゲートブレイク方法は、基材を固定して、樹脂封止成形品を保持することで、樹脂封止成形品の位置が決まり、押圧体による不要樹脂の打ち抜きがしやすくなる。
また、保持した樹脂封止成形品へ向け押圧体を移動させることにより、成形時に樹脂封止成形品に残っている不要樹脂であるランナーの押圧体による打ち抜きが可能になる。
In the gate breaking method of the present invention, the substrate is fixed and the resin-sealed molded product is held so that the position of the resin-sealed molded product is determined, and unnecessary resin can be easily punched out by the pressing body.
Further, by moving the pressing body toward the held resin-sealed molded product, it is possible to punch out the runner, which is unnecessary resin remaining in the resin-sealed molded product during molding, by the pressing body.
更に、ランナーを、カルに近い方の基材の端面を基準として、カル寄りの第1打ち抜き位置で、基材の端面とランナーの端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に力を作用させて打ち抜くことによって、ランナーの固着面が基材の端面に押し付けられることなく面に沿う方向に動くので、基材の端面からランナーの固着面が剥がれやすく、樹脂バリが生じることを抑止できる。 Furthermore, with the end face of the base material closer to the cull as a reference, the end face of the base material and the fixing surface contacting the end face of the runner are placed in opposite directions along the surfaces at the first punching position closer to the cull. By applying force to the punch, the fixing surface of the runner moves in the direction along the surface without being pressed against the end surface of the base material. can be suppressed.
その後に、基材に形成された通孔に押圧体を貫通させ、ランナーを、端面を基準としてカルの位置とは反対の位置、かつカルに最も近い第2打ち抜き位置で打ち抜くことにより、仮に上記第1打ち抜き位置で打ち抜きを行った後、基材にランナーが繋がっている場合でも、第2打ち抜き位置でランナーを確実に打ち抜いて分離することができる。 After that, the pressing body is passed through a through hole formed in the base material, and the runner is punched at a second punching position opposite to the position of the cull with respect to the end face and closest to the cull, thereby temporarily obtaining the above-described runner. After punching at the first punching position, even if the runner is connected to the base material, the runner can be reliably punched and separated at the second punching position.
(2)本発明に係るゲートブレイク方法は、前記基材を固定すると同時に、又は固定した後、前記第1打ち抜き位置で打ち抜く前又は後に、前記基材の前記カルに近い方の端部を弾性変形させて、前記端面と前記固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に相対的に移動させて剥がす工程を備える構成とすることもできる。 (2) In the gate breaking method according to the present invention, at the same time as fixing the base material, or after fixing the base material, before or after punching at the first punching position, the end of the base material closer to the cull is elastically bent. It is also possible to provide a step of deforming and peeling off the end surface and the fixing surface by relatively moving them in directions opposite to each other in the direction along the surfaces.
この場合、基材を固定すると同時にカルに近い方の基材の端部を弾性変形させ、基材の端面とランナーの固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に相対的に移動させることにより、ランナーの打ち抜きを始める前に、基材の端面とランナーの固着面を剥がすことができる。これにより、基材の端面とランナーの固着面を剥がした状態で上記ランナーの打ち抜きを行うことができるので、効率的な作業が可能になる。 In this case, the end of the base material closer to the cull is elastically deformed at the same time that the base material is fixed, and the end surface of the base material and the fixing surface of the runner are relatively moved in opposite directions along the surface. Therefore, the end surface of the base material and the fixed surface of the runner can be separated before starting the runner punching. As a result, the runner can be punched in a state in which the end face of the base material and the fixed surface of the runner are separated, so that efficient work becomes possible.
(3)上記の目的を達成するために本発明は、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から押圧体によって、打ち抜き位置で、不要樹脂を打ち抜いて分離するゲートブレイク方法であって、前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を保持する工程と、前記基材に形成された通孔に前記押圧体を貫通させ、前記不要樹脂であるランナーを、前記基材のカルに対し遠い方から近い方にかけて設けられた打ち抜き位置で打ち抜く工程と、前記基材を固定すると同時に、又は固定した後、前記ランナーを、前記カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの打ち抜き位置で打ち抜く前又は後に、前記基材の前記カルに近い方の端部を弾性変形させて、前記端面と前記ランナーの前記端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に相対的に移動させて剥がす工程とを備えるゲートブレイク方法である。 (3) In order to achieve the above object, the present invention provides a gate breaking method in which unnecessary resin is punched out at a punching position from a resin-sealed molded article in which a semiconductor element is mounted on a base material, using a pressing body. a step of fixing the base material to hold the resin-sealed molded product; A step of punching at a punching position provided from the far side to the near side with respect to the cull, and at the same time or after fixing the base material, the runner is set with the end surface of the base material closer to the cull as a reference. Before or after punching at the punching position near the cull, the end of the base material closer to the cull is elastically deformed so that the end surface and the fixing surface in contact with the end surface of the runner move in the direction along the surface. and a step of relatively moving in opposite directions to peel off.
本発明のゲートブレイク方法は、基材を固定して、樹脂封止成形品を保持することで、樹脂封止成形品の位置が決まり、押圧体による不要樹脂の打ち抜きがしやすくなる。
また、基材に形成された通孔に押圧体を貫通させ、不要樹脂であるランナーを、カルに対し基材の遠い方から基材の近い方にかけて設けられた打ち抜き位置で打ち抜くことにより、保持した樹脂封止成形品から、ランナーを分離することができる。
In the gate breaking method of the present invention, the substrate is fixed and the resin-sealed molded product is held so that the position of the resin-sealed molded product is determined, and unnecessary resin can be easily punched out by the pressing body.
In addition, the pressing body is passed through a through hole formed in the base material, and the runner, which is an unnecessary resin, is punched out at a punching position provided from the far side of the base material to the near side of the base material with respect to the cull, thereby holding the cull. The runner can be separated from the molded resin-encapsulated product.
そして、基材を固定すると同時に、又は固定した後、カルに近い方の基材の端部を弾性変形させ、基材の端面とランナーの端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に相対的に移動させることにより、基材の端面を基準としてカル寄りの打ち抜き位置でランナーの打ち抜きを始める前又は後に、基材の端面とランナーの固着面を剥がすことができる。 At the same time as or after fixing the base material, the end of the base material closer to the cull is elastically deformed so that the end surface of the base material and the fixing surface in contact with the end surface of the runner are mutually aligned in the direction along the surface. By relatively moving in the opposite direction, the end face of the base material and the fixing surface of the runner can be peeled off before or after starting the runner punching at the punching position closer to the cull with respect to the end face of the base material.
(4)本発明のゲートブレイク方法は、前記打ち抜く工程で、前記ランナーにおいて、前記基材の前記カルに対し遠い前記基材の端面と近い前記基材の端面の間に設けられた複数の打ち抜き位置において、前記第2打ち抜き位置に達する前までの打ち抜き位置で順に打ち抜く工程を備える構成とすることもできる。 (4) In the gate breaking method of the present invention, in the punching step, in the runner, a plurality of punches are provided between an end face of the base material that is farther from the cull of the base material and an end face of the base material that is close to the cull of the base material. It is also possible to provide a step of sequentially punching at the punching positions before reaching the second punching position.
この場合は、ランナーにおいて、カルに対し遠い基材の端面と近い基材の端面の間に設けられた複数の打ち抜き位置において、第2打ち抜き位置に達する前までの打ち抜き位置で順に打ち抜くことにより、打ち抜く際にランナーに変形による大きな応力負荷が生じにくいようにすることができる。 In this case, in the runner, at a plurality of punching positions provided between the end face of the base material far from the cull and the end face of the base material close to the cull, punching is performed sequentially at the punching positions before reaching the second punching position, It is possible to prevent a runner from being subjected to a large stress load due to deformation during punching.
(5)本発明のゲートブレイク方法は、前記打ち抜く工程で、前記ランナーにおいて、前記基材の前記カルに対し遠い前記基材の端面と近い前記基材の端面の間に設けられた複数の打ち抜き位置において、前記第2打ち抜き位置に達する前までの打ち抜き位置で順不同に打ち抜く工程を備える構成とすることもできる。 (5) In the gate breaking method of the present invention, in the punching step, in the runner, a plurality of punches are provided between an end face of the base material that is farther from the cull of the base material and an end face of the base material that is close to the cull of the base material. It is also possible to provide a step of punching in random order at the punching positions before reaching the second punching position.
(6)本発明のゲートブレイク方法は、前記打ち抜く工程で、前記カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの前記第1打ち抜き位置を、最初に打ち抜く工程を備える構成とすることもできる。 (6) In the gate breaking method of the present invention, in the punching step, the first punching position closer to the cull is first punched with reference to the end surface of the base material closer to the cull. can also
(7)上記の目的を達成するために本発明は、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から押圧体により、打ち抜き位置で、不要樹脂を打ち抜いて分離するゲートブレイク装置であって、不要樹脂であるカルとランナーで前記基材が繋がれる方向に並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部を有する成形品保持部と、前記第1の基材載置部及び第2の基材載置部に前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を前記成形品保持部と協働して保持する固定部と、前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部に近い方の前記第1の基材載置部の端部を基準として前記第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で前記不要樹脂を打ち抜く第1押圧体と、前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部とは反対の位置、かつ、第2の基材載置部に最も近い前記第1の基材載置部の第2打ち抜き位置において、前記第1押圧体で前記不要樹脂を打ち抜いた後に、前記不要樹脂を打ち抜く第2押圧体とを備えるゲートブレイク装置である。 (7) In order to achieve the above object, the present invention provides a gate breaking device for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is mounted on a base material by a pressing body. a molded article holding portion having a first base material mounting portion and a second base material mounting portion arranged in parallel in a direction in which the base material is connected by culls and runners that are unnecessary resin; a fixing part for fixing the base material to the base material mounting part and the second base material mounting part, and holding the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part; The first base material mounting portion which is movable toward the holding portion and which is closer to the second base material mounting portion than the end portion of the first base material mounting portion closer to the second base material mounting portion. a first pressing body for punching out the unnecessary resin at a punching position; a second pressing body for punching out the unnecessary resin after punching out the unnecessary resin with the first pressing body at a second punching position of the first base material placement part closest to the part. be.
本発明のゲートブレイク装置は、成形品保持部により、成形品保持部が有する並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部に樹脂封止成形品の基材の部分を載置することができる。また、ゲートブレイク装置は、固定部により基材載置部に基材を固定し、成形品保持部と協働して、樹脂封止成形品を保持することができる。 In the gate breaking device of the present invention, the base material of the resin-sealed molded product is placed on the first base material mounting part and the second base material mounting part, which are arranged side by side, of the molded product holding part by the molded product holding part. can be placed. Further, the gate breaking device can fix the base material to the base material mounting part by the fixing part, and can hold the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part.
そして、第1押圧体が成形品保持部へ向けて移動し、成形品保持部と固定部で保持した、第2の基材載置部に近い第1の基材載置部の端部を基準として第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で、樹脂封止成形品の不要樹脂を打ち抜くことができる。 Then, the first pressing body moves toward the molded article holding section, and the end portion of the first substrate mounting section, which is held by the molded article holding section and the fixed section, near the second substrate mounting section. As a reference, the unnecessary resin of the resin-encapsulated molded product can be punched out at the first punching position near the second substrate mounting portion.
また、第1押圧体で不要樹脂を打ち抜いた後に、第2押圧体が成形品保持部へ向けて移動し、第1の基材載置部において、第2の基材載置部に最も近い第2打ち抜き位置において不要樹脂を打ち抜くことができる。 In addition, after punching out the unnecessary resin with the first pressing body, the second pressing body moves toward the molded product holding portion, and the first substrate placing portion is closest to the second substrate placing portion. Unnecessary resin can be punched out at the second punching position.
このように、本発明によれば、第1の基材載置部において第2の基材載置部に最も近い第2打ち抜き位置より早いタイミングで、第1の基材載置部において第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で不要樹脂の打ち抜きが行われる。これにより、第1の基材載置部において第2の基材載置部に近い端部に近接して位置する基材の端面に固着している不要樹脂の固着面が基材の端面から剥がれやすい。 Thus, according to the present invention, the second punching position on the first substrate mounting portion is earlier than the second punching position closest to the second substrate mounting portion on the first substrate mounting portion. Unnecessary resin is punched out at a first punching position closer to the substrate mounting portion. As a result, the fixed surface of the unnecessary resin fixed to the end face of the base material located close to the end portion near the second base material mounting part in the first base material mounting part is separated from the end face of the base material. Easy to peel off.
(8)本発明のゲートブレイク装置は、前記第1の基材載置部に載置される前記基材の前記第2の基材載置部に近い端部を前記第1の基材載置部から離れる方向へ弾性変形させる作用部を備える構成とすることもできる。 (8) In the gate breaking device of the present invention, the end portion of the substrate placed on the first substrate placement portion near the second substrate placement portion is placed on the first substrate placement portion. It is also possible to adopt a configuration including an action portion that elastically deforms in a direction away from the placing portion.
この場合は、第1の基材載置部に載置される基材の第2の基材載置部に近い端部を、作用部によって第1の基材載置部から離れる方向へ弾性変形させることにより、基材の第2の基材載置部に近い端面が同方向へ移動し、この端面と固着していた不要樹脂が端面から剥がれる。 In this case, the end portion of the substrate placed on the first substrate placement portion near the second substrate placement portion is elastically moved away from the first substrate placement portion by the action portion. By deforming, the end face of the base material near the second base material placing portion moves in the same direction, and the unnecessary resin fixed to this end face is peeled off from the end face.
(9)上記の目的を達成するために本発明は、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から不要樹脂を打ち抜いて分離するゲートブレイク装置であって、不要樹脂であるカルとランナーで前記基材が繋がれる方向に並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部を有する成形品保持部と、前記第1の基材載置部及び第2の基材載置部に前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を前記成形品保持部と協働して保持する固定部と、前記第1の基材載置部に載置される前記基材の端部のうち、前記第2の基材載置部に近い端部を前記第1の基材載置部から離れる方向へ弾性変形させる作用部と、前記第1の基材載置部の、前記第2の基材載置部に対し遠い方から近い方にかけて設けられた打ち抜き位置に対応して設けられており、前記不要樹脂を押圧し、打ち抜く押圧体とを備えるゲートブレイク装置である。 (9) In order to achieve the above objects, the present invention provides a gate breaking device for punching and separating unnecessary resin from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is mounted on a substrate, wherein a molded product holding unit having a first substrate placement unit and a second substrate placement unit arranged side by side in a direction in which the substrates are connected by runners; a fixing portion for fixing the base material to the second base material mounting portion and holding the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding portion; an action portion that elastically deforms an end portion of the substrate placed near the second substrate placement portion in a direction away from the first substrate placement portion; A pressing body provided corresponding to a punching position provided on the base material mounting part from a far side to a near side with respect to the second base material mounting part, and pressing and punching the unnecessary resin. It is a gate break device provided.
本発明のゲートブレイク装置は、成形品保持部により、成形品保持部が有する並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部に樹脂封止成形品の基材の部分を載置することができる。また、ゲートブレイク装置は、固定部により基材載置部に基材を固定し、成形品保持部と協働して、樹脂封止成形品を保持することができる。 In the gate breaking device of the present invention, the base material of the resin-sealed molded product is placed on the first base material mounting part and the second base material mounting part, which are arranged side by side, of the molded product holding part by the molded product holding part. can be placed. Further, the gate breaking device can fix the base material to the base material mounting part by the fixing part, and can hold the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part.
また、第1の基材載置部に載置される基材の、第2の基材載置部に近い端部を、作用部によって第1の基材載置部から離れる方向へ弾性変形させることにより、基材の第2の基材載置部に近い端面が同方向へ移動し、この端面と固着していた不要樹脂が端面から剥がれる。 Further, the end portion of the base material placed on the first base material mounting part near the second base material mounting part is elastically deformed by the action part in a direction away from the first base material mounting part. As a result, the end face of the base material near the second base material mounting portion moves in the same direction, and the unnecessary resin fixed to this end face is peeled off from the end face.
そして、第1の基材載置部において第2の基材載置部に対し遠い方から近い方にかけて設けられた打ち抜き位置に対応して設けられた押圧体により、不要樹脂を押圧し、打ち抜くことができる。 Then, the unnecessary resin is pressed and punched out by the pressing bodies provided corresponding to the punching positions provided from the far side to the near side with respect to the second base material mounting section in the first base material mounting section. be able to.
これによれば、作用部によって基材の端部を弾性変形させたときに、不要樹脂が基材の端面から剥がれずに、基材が変形した状態で固着状態が維持されていたとしても、押圧体による不要樹脂の打ち抜きにより、不要樹脂が基材の端面から剥がれやすい。 According to this, when the end portion of the base material is elastically deformed by the action portion, even if the unnecessary resin is not peeled off from the end surface of the base material and the adhered state is maintained in the deformed state of the base material, The unnecessary resin is easily peeled off from the end face of the base material by punching out the unnecessary resin with the pressing body.
(10)本発明のゲートブレイク装置は、前記第1の基材載置部の、前記第2の基材載置部に対し遠い方から前記第2打ち抜き位置に達する前までに設けてある打ち抜き位置に対応して、複数の押圧体を有しており、該各押圧体は、前記各押圧体の押圧方向の先端部から前記第1の基材載置部までの距離が、前記第2の基材載置部に向かう方向において順に遠くなるように形成されており、前記押圧体が前記第1の基材載置部へ向け移動可能であり、前記各押圧体は互いに同じ移動量であるという構成とすることもできる。 (10) In the gate breaking device of the present invention, the punching device provided on the first base material mounting portion from the side farther from the second base material mounting portion to before reaching the second punching position. Each of the pressing bodies has a plurality of pressing bodies corresponding to the positions, and each of the pressing bodies has a distance from the tip of the pressing body in the pressing direction to the first base material placing portion. are formed so as to become farther in order in the direction toward the base material mounting portion, the pressing body is movable toward the first base material mounting portion, and the respective pressing bodies are moved by the same amount as each other. It can also be configured that there is.
この場合は、複数の押圧体が、第1の基材載置部の、第2の基材載置部に対し遠い方から第2打ち抜き位置に達する前までに設けてある打ち抜き位置に対応して設けてあるので、各押圧体はそれぞれに対応する打ち抜き位置において不要樹脂を打ち抜くことができる。 In this case, the plurality of pressing bodies correspond to the punching positions provided on the first base material mounting portion from the side farther from the second base material mounting portion to before reaching the second punching position. Since each pressing body is provided at a corresponding punching position, unnecessary resin can be punched out.
そして、各押圧体が、互いに同じ移動量で第1の基材載置部へ向け移動すると、各押圧体の押圧方向の先端部から第1の基材載置部までの距離が、第2の基材載置部に向かう方向において順に遠くなる各押圧体は、第2の基材載置部に対し遠い方から順に打ち抜き位置で不要樹脂を打ち抜くことができる。 Then, when each of the pressing bodies moves toward the first base material mounting part by the same amount of movement, the distance from the tip of each pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part becomes the second base material mounting part. Each of the pressing bodies, which are sequentially distant in the direction toward the second substrate mounting portion, can punch out the unnecessary resin at the punching position in order from the one farthest from the second substrate mounting portion.
(11)本発明のゲートブレイク装置は、前記第1の基材載置部の、前記第2の基材載置部に対し遠い方から前記第2打ち抜き位置に達する前までに設けてある打ち抜き位置に対応して、複数の押圧体を有しており、該各押圧体の押圧方向の先端部から前記第1の基材載置部までの距離が異なる前記各押圧体が、前記第2の基材載置部に向かう方向において順不同に並んで形成されており、前記押圧体が前記第1の基材載置部へ向け移動可能であり、前記各押圧体は互いに同じ移動量であるという構成とすることもできる。 (11) In the gate breaking device of the present invention, the punching device provided on the first base material mounting part from the side farther from the second base material mounting part to before reaching the second punching position It has a plurality of pressing bodies corresponding to the positions, and each of the pressing bodies having different distances from the tip of the pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part is arranged in the second base material mounting part. are arranged in random order in the direction toward the base material mounting portion, the pressing bodies are movable toward the first base material mounting part, and the respective pressing bodies have the same movement amount as each other It can also be configured as follows.
この場合は、複数の押圧体が、第1の基材載置部において第2の基材載置部に対し遠い方から第2打ち抜き位置に達する前までに設けてある打ち抜き位置に対応して設けてあるので、各押圧体はそれぞれに対応する打ち抜き位置において不要樹脂を打ち抜くことができる。 In this case, the plurality of pressing bodies correspond to the punching positions provided on the first base material mounting part from the far side to the second base material mounting part before reaching the second punching position. Since it is provided, each pressing body can punch out the unnecessary resin at the corresponding punching position.
そして、第2の基材載置部に向かう方向において順不同に並んで形成されている各押圧体は、互いに同じ移動量で第1の基材載置部へ向けて移動すると、順不同(ランダム)な打ち抜き位置で不要樹脂を打ち抜くことができる。 When the pressing bodies arranged in random order in the direction toward the second base material mounting portion are moved toward the first base material mounting portion by the same amount of movement, they are in random order. Unnecessary resin can be punched out at a suitable punching position.
(12)本発明のゲートブレイク装置は、前記第1押圧体の押圧方向の先端部から前記第1の基材載置部までの距離が、前記第2押圧体の押圧方向の先端部から前記第1の基材載置部までの距離より近くなるように形成されている構成とすることもできる。 (12) In the gate breaking device of the present invention, the distance from the tip of the first pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part is the above-mentioned distance from the tip of the second pressing body in the pressing direction. A configuration in which it is formed so as to be closer than the distance to the first base material placing portion can also be adopted.
この場合は、各押圧体が、互いに同じ移動量で第1の基材載置部へ向け移動すると、先に第1の基材載置部において第2の基材載置部に近い端面より第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で第1押圧体が不要樹脂を打ち抜き、次いで第1の基材載置部において第2の基材載置部に最も近い第2打ち抜き位置で第2押圧体が不要樹脂を打ち抜くことができる。 In this case, when each of the pressing bodies moves toward the first base material mounting part by the same amount of movement, the first base material mounting part first moves from the end face near the second base material mounting part. The first pressing body punches the unnecessary resin at the first punching position closer to the second base material mounting part, and then the second punching position closest to the second base material mounting part on the first base material mounting part. , the unnecessary resin can be punched out by the second pressing body.
本発明は、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から、カルやランナー等の不要樹脂を除去するゲートブレイクを行う際に、基材の端面に樹脂バリが残ることを、より確実に抑止できるゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置を提供することができる。 The present invention prevents resin burrs from remaining on the end face of a base material when gate breaking is performed to remove unnecessary resin such as culls and runners from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is placed on the base material. It is possible to provide a gate breaking method and a gate breaking device that can reliably prevent this.
図1乃至図4を主に参照して、本発明に係るゲートブレイク装置の一実施の形態を更に詳細に説明する。なお、図4の切断位置は、図3のA-Aに対応する位置であり、後述する図5~図10までの断面位置も同様である。また、図4右拡大図は、図4左拡大図におけるB-B概略断面図である。 Mainly referring to FIGS. 1 to 4, one embodiment of the gate break device according to the present invention will be described in more detail. The cutting position in FIG. 4 corresponds to AA in FIG. 3, and the cross-sectional positions in FIGS. 5 to 10, which will be described later, are the same. The right enlarged view of FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along line BB in the left enlarged view of FIG.
また、以下の説明において、場所又は方向の説明をする際の「前後」の表現については、各正面視説明図(図1、図4乃至図10)の紙厚み方向において、紙表方を「前」、紙裏方を「後」として説明する。 In addition, in the following description, regarding the expression of "front and back" when explaining the location or direction, the paper surface is " The front side will be described as the front side, and the back side of the paper will be described as the rear side.
また、「上下」の表現については、同図の紙面における奥方を「上」とし、紙面における手前方を「下」として説明する。更に、「左右」の表現については、同図の紙面における左方を「左」とし、紙面における右方を「右」として説明する。 In addition, regarding the expression of "up and down", the back side of the paper surface of the figure is defined as "upper", and the front side of the paper surface is defined as "lower". Furthermore, regarding the expression of "left and right", the left side of the paper surface of the drawing is defined as "left", and the right side of the paper surface is defined as "right".
ゲートブレイク装置Gは、半導体パッケージを製造する樹脂封止装置(図示省略)において、金型を備える成形ユニット(図示省略)を使用して行われる樹脂封止成形品8を成形する工程の後工程に配置されるもので、下ブレイク盤1と上ブレイク盤2を備えている(図1参照)。
The gate breaking device G is a post-process of molding a resin-sealed molded
(樹脂封止成形品8)
ここで、図2及び図3を参照して、ゲートブレイク装置Gにより行われるゲートブレイクの対象となる樹脂封止成形品8について説明する。樹脂封止成形品8は、所要間隔でカル81とランナー82で繋がれて並設された、基材である二枚のリードフレーム80を有している。
(Resin-encapsulated molded product 8)
Here, the resin-encapsulated molded
各リードフレーム80は、複数のカル81と、各カル81から左右の各リードフレーム80の裏面へ2本ずつ伸びているランナー82を介して同じ高さで繋がっている(図1参照)。
Each
また、各リードフレーム80には、半導体を樹脂封止した平面視で四角形のパッケージ83が、各ランナー82にゲート84(図3参照)を介し繋がった状態で多数設けられている。
In each
各リードフレーム80には、左右方向の各パッケージ83の列の間に複数の細長い通孔85(図3、図4参照)が表裏方向に貫通して設けられている。各通孔85には、後述するように上記上ブレイク盤2が有する押圧体であるパンチ板24が通される。
Each
更に、各リードフレーム80の、通孔85の列方向において、カル81に近い端面89の近傍には、円形の通孔87が表裏を貫通して設けられている。図2、図3で前後方向の各通孔87には、後述するように上ブレイク盤2が有する第2押圧体である内パンチピン28が通される。
Furthermore, in the row direction of the through
(下ブレイク盤1)
下ブレイク盤1は、図示していないスライドガイドに沿って移動可能な保持台盤10を備えている。保持台盤10は、樹脂封止成形品8を保持する保持部12(本発明にいう成形品保持部)と、左右に平面視長方形状の排出口13、13aを備えている(図1、図4等参照)。
(lower break board 1)
The
排出口13、13aの上部には、排出口13、13aよりやや口径が小さい上部口130、130aが設けてある。上部口130、130aには、前後方向に所定の間隔をおいて、左右内壁に渡すように、複数の受部材14が設けてある(図4左右拡大図参照)。
Above the
各受部材14の上面140は、保持部12の上面120(図5左拡大図参照)よりやや低く、かつ上面120と平行に設けられており、各上面140同士は、互いに同じ高さになるように設定されている。各上面140は、後述するようにリードフレーム80をクランプしたときに、下方へ変形したリードフレーム80を受ける部分となる(図4左右拡大図参照)。
The
なお、各受部材14は、後述する各パンチ板24、内パンチピン28、外パンチピン27及び樹脂封止成形品8のランナー82が、空間部142を通ることができる間隔に設定されている(図4右拡大図参照)。
Each receiving
また、各受部材14の上面140の内端部(図5で右端部)には、所要高さの突起141(本発明にいう作用部)が各上面140間では仕切るように前後方向に設けてある。突起141の上面(符号省略)の高さは、保持部12の上面120と同じ高さであり(図5左右拡大図参照)、突起141の上面と保持部12の口縁部の上面120は、樹脂封止成形品8のリードフレーム80を載置する第1の基材載置部11である。なお、保持台盤10には、第1の基材載置部11に対し右方向に隣り合うように、第1の基材載置部11と線対称構造の第2の基材載置部11aが設けられている(図1参照)。
At the inner end (the right end in FIG. 5) of the
(上ブレイク盤2)
上ブレイク盤2は、上記下ブレイク盤1の上方に配してある。上ブレイク盤2は、押圧盤20を有している。また、押圧盤20の上面に取付具210を介し複数設けてある連結部材21により、図示を省略した昇降操作部に連結することにより、水平状態で押圧盤20の昇降操作が可能である。
(Upper break board 2)
The upper breaking board 2 is arranged above the
押圧盤20の左右端部には、コイルバネの弾性を利用して、下方からの衝撃を吸収する緩衝機構部22、22aが設けてある。緩衝機構部22、22aの下端部には、上方から樹脂封止成形品8を固定する固定盤23(本発明にいう固定部)が、上記押圧盤20と所定の間隔をおいて平行に設けてある(図1参照)。
各パンチ板24は、図1では、中心線を境とした左に、左右方向(カル81に対し遠い方と近い方を結ぶ方向)に一定の間隔をおいて、平面視で一直線上に並んで固定されている(図3を併せて参照)。なお、図1では、図示の便宜上、各パンチ板24のハッチングを省略して表している。
In FIG. 1, the
また、上記押圧盤20の下面には、所定長さの複数(本実施の形態では5本)のパンチ板24が、固定具25を介し、鉛直下方向を向いて設けてある。5本一組のパンチ板24は、上記各受部材14の隙間部分(符号省略)に対応して、複数列設けられている(図2、図3参照)。
A plurality of (five in the present embodiment)
なお、各パンチ板24の先端(下端)は、図4等で、右上がりに直線的に傾斜させてある。この傾斜角度は、図4等で最も左にあるパンチ板24の先端左角部と内パンチピン28の先端を結んだ直線の角度に合わせてあるが、これに限定されるものではなく、適宜設定が可能である。また、傾斜の形状は、直線に限らず、曲線的であってもよい。
Note that the tip (lower end) of each
そして、上記固定盤23には、各パンチ板24を通すことができる通孔233が固定盤23の上下面を貫通して鉛直方向に設けてある。各通孔233は、上記下ブレイク盤1にセットされた樹脂封止成形品8のリードフレーム80の通孔85の位置に対応する。
Through
固定盤23において、左右方向の左端に設けてある通孔233より左方の下面には、樹脂封止成形品8のリードフレーム80を固定するクランプ231が設けてある。また、固定盤23において、左右方向の右端に設けてある通孔233より右方の下面には、樹脂封止成形品8のリードフレーム80を固定するクランプ232が設けてある。
A
各パンチ板24の先部寄り(下部寄り)は、それぞれ対応する通孔233に挿通されている。各パンチ板24の先端から上記受部材14の上面140までの図1における距離は、左右方向において、カル81に対し遠い方から近い方へ、順に大きく(遠く)なるように(長さは順に短くなるように)設定されている(図1、図4参照)。
The tip side (lower side) of each
また、押圧盤20の内端寄りには、第1押圧体である外パンチピン27と、第2押圧体である内パンチピン28が所要間隔で並設されている。
Further, an
外パンチピン27は、リードフレーム80の端面89よりも第2の基材載置部11a寄りの打ち抜き位置(本発明にいう、カルに近い方の基材の端面を基準としてカル寄りの第1打ち抜き位置)に対応して鉛直方向に設けられた通孔234に挿通してあり、横断面形状が四角形である(図3参照)。
The
更に、内パンチピン28は、上記クランプ232に対応すると共に、第1の基材載置部11において第2の基材載置部11aに最も近い打ち抜き位置(本発明にいう、カルに近い方の基材の端面を基準としてカルの位置とは反対の位置、かつカルに最も近い第2打ち抜き位置)に対応して鉛直方向に設けられた通孔235に挿通してあり、横断面形状が円形である(図3参照)。
Further, the inner punch pins 28 correspond to the
なお、外パンチピン27と内パンチピン28の横断面形状は上記の通りであるが、それぞれその形状に限定するものではない。例えば外パンチピン27では、四角形以外の多角形、或いは円形や楕円形のもの等が採用でき、また、内パンチピン28では、円形以外に各種多角形、楕円形のもの等が採用できる。 Although the cross-sectional shapes of the outer punch pins 27 and the inner punch pins 28 are as described above, they are not limited to these shapes. For example, the outer punch pins 27 may be polygonal, circular, or elliptical other than rectangular, and the inner punch pins 28 may be polygonal or elliptical other than circular.
外パンチピン27と内パンチピン28は、各パンチ板24と同列に設けられている。パンチ板24に近い内パンチピン28は、最も右にあるパンチ板24より、先端から上記受部材14の上面140までの図1における距離は、やや大きく(遠く)なるように(長さはやや短くなるように)設定されている(図1参照)。
The outer punch pins 27 and the inner punch pins 28 are provided in the same row as the
また、外パンチピン27は、内パンチピン28より、先端から上記受部材14の上面140までの図1における距離が、小さく(近く)なるように(長さは長くなるように)設定されている(図4参照)。 In addition, the outer punch pins 27 are set so that the distance in FIG. See Figure 4).
外パンチピン27と内パンチピン28の長さの差は、各パンチピンの取り付け位置を調節することで、適宜設定が可能であり、外パンチピン27と内パンチピン28がランナー82の打ち抜きを行うタイミングを調節することができる。
The length difference between the outer punch pins 27 and the inner punch pins 28 can be appropriately set by adjusting the mounting position of each punch pin, and the timing at which the outer punch pins 27 and the inner punch pins 28 punch the
なお、パンチ板24、外パンチピン27及び内パンチピン28は、全部が同じ移動量で昇降移動するようになっているが、これに限定するものではなく、一部又は全部のパンチ板等が、押圧方向へ独立して進退動する構成とすることもできる。
The
長さの異なる各パンチ板24、内パンチピン28及び外パンチピン27の図1における左右の配列は、中心線を軸とする対称となっており、実質的に同様の構造であるので、本来、右に対象配置になっていて、上記各パンチ板24、内パンチピン28及び外パンチピン27と同様に作動する各パンチ板及びパンチピンの説明は、ここでは省略する。
The
なお、図1の上ブレイク盤2では、中心線を境とした右に、パンチ板24に変えてパンチピン24aを採用した場合の形態を、他の実施の形態として表している。
In the upper breaking board 2 of FIG. 1, another embodiment is shown in which punch pins 24a are employed in place of the
この構造は、板状のパンチ板24が、上記内パンチピン28と同様の丸棒状のパンチピン24aに変わっただけで、ランナー82に当たる先端部の形態に違いはあっても、実質的に上記と同様の構造及び以下の作用と同様の作用を呈するので、パンチピン24aの作用についての説明は省略する。
This structure is substantially the same as the above except that the plate-shaped
(作用)
図5乃至図10を参照して、樹脂封止成形品8のゲートブレイクを行う際のゲートブレイク装置Gの作用を説明する。なお、ゲートブレイク装置Gによる樹脂封止成形品8のゲートブレイクは、各リードフレーム80における各ランナー82とカル81の全部が同時に行われる。
(action)
The operation of the gate breaking device G when breaking the gate of the resin-sealed
以下の説明では、樹脂封止成形品8の一体となっている二枚のリードフレーム80のうち、図1において左方のリードフレーム80について主に説明し、右方のリードフレーム80については説明を省略する。
In the following description, of the two
〔1〕樹脂封止成形品8の載置(図5参照)
成形ユニットで成形された樹脂封止成形品8が、図示しないアンローダーにより下金型から受け取られて搬送され、ゲートブレイク装置Gの、受け取り位置に停止している下ブレイク盤1の所定の位置に載置される。
[1] Placement of resin-encapsulated molded product 8 (see FIG. 5)
A resin-sealed molded
具体的には、樹脂封止成形品8は、リードフレーム80の図5において右端部を受部材14の上面140にある突起141の上面に載せ、左端部を保持部12の口縁部の上面120に載せる。これにより、樹脂封止成形品8は、水平に載置される。
Specifically, the resin-sealed molded
また、このとき、樹脂封止成形品8の各ランナー82は、各受部材14の隙間部分に対応して、その上方に位置している。
Also, at this time, each
〔2〕樹脂封止成形品8の保持(図6参照)
ゲートブレイク装置Gの上ブレイク盤2が、下ブレイク盤1の上方の所定の位置に移動して停止し、下降して、固定盤23の各クランプ231、232によって、樹脂封止成形品8のリードフレーム80を押し下げる。
[2] Holding the resin-encapsulated molded product 8 (see FIG. 6)
The upper breaking plate 2 of the gate breaking device G moves to a predetermined position above the
このとき、各クランプ231、232による押圧力は、緩衝機構部22、22aによって略一定に保たれ、リードフレーム80の損傷は抑止される。また、図6において右方のクランプ232は、左方のクランプ231より下方へやや突出するように設定されている。
At this time, the pressing forces of the
これにより、左方の保持部12の口縁部の上面120に載っているリードフレーム80はそのままの高さで上方から押圧され、右方のクランプ232は、リードフレーム80の端部を受部材14の上面140に当たるまで弾性変形させて押し下げる。
As a result, the
リードフレーム80が弾性変形することにより、リードフレーム80の図6において右端部が突起141に止められて右上がりに傾斜する。また、リードフレーム80は、突起141の高さの分だけ落ち込むので、ランナー82も同様に落ち込む。
Due to the elastic deformation of the
なお、リードフレーム80のクランプによる変形は、弾性変形であるので、リードフレーム80は、クランプ解除後に元の平坦な形状に戻り、製品収納等による搬送時の保持に支障がないようになる。
Since the deformation of the
また、本実施の形態では、リードフレーム80を、クランプ232を下降させて突出した突起141により変形させたが、これに限定されず、例えばクランプ232で固定した後、突起141を上方へ突出させて変形させる構成とすることもできる。
Further, in the present embodiment, the
これにより、リードフレーム80の右方の端面89は、ランナー82の段差部の固着面820から引き剥がされて、突起141に当たった部分が変形するか、或いは固着面820の一部が端面89に固着したままになって、リードフレーム80が止められて変形しない状態となる(図4左右拡大図参照)。
As a result, the
なお、剥がれるときの端面89と固着面820は、離れる方向に動くので、端面89に樹脂バリが残りにくい。また、リードフレーム80の端部の弾性変形は、本実施の形態のように、片側(右)だけに限らず、リードフレーム80を平行に昇降して歪な変形をさせないために、両側(左右)で行うようにすることもできる。
Since the
〔3〕パンチ板24によるランナー82の打ち抜き(図4、図7、図8参照)
そして、ゲートブレイク装置Gの上ブレイク盤2が、緩衝機構部22、22aの付勢力に抗して更に下降する。
[3] Punching the
Then, the upper breaking board 2 of the gate breaking device G descends further against the urging forces of the buffering
これに伴い、各パンチ板24と内パンチピン28及び外パンチピン27とが同時に下降し、まず、各パンチ板24が、図7、図8において左から順に打ち抜き位置でランナー82を打ち抜いていく。なお、このとき、各パンチ板24は、通孔233からリードフレーム80の通孔85を通り、更にランナー82と各パンチ板24は、各受部材14の間の隙間部分を通る。
Along with this, the
その後、図8において、一番右のパンチ板24によるランナー82の打ち抜きが始まる高さで、外パンチピン27の先端(下端)がランナー82の上面に当たる(図4左右拡大図参照)。また、このとき、内パンチピン28の先端は、未だランナー82の上面に届いていない。
Thereafter, in FIG. 8, at the height at which the punching of the
すなわち、リードフレーム80に対応する各パンチ板24及び内パンチピン28のうち、最後のタイミングでランナー82を押す位置(第2打ち抜き位置)にある内パンチピン28がランナー82に当たる前に、リードフレーム80のカル81に近い方の端面89よりカル81に近い外パンチピン27がランナー82を打ち抜くようになっている。
That is, of the
〔4〕外パンチピン27によるランナー82の打ち抜き(図4、図9参照)
上ブレイク盤2が更に下降すると、図4に示す状態から図9に示すように外パンチピン27が通孔234を通り、ランナー82を、カル81に対向するリードフレーム80の端部とカル81との間に位置する打ち抜き位置で打ち抜く。
[4]
When the upper breaking plate 2 is further lowered, the outer punch pins 27 pass through the through
これにより、上記〔1〕で、リードフレーム80の端面89とランナー82の固着面820が固着したままの箇所がある場合は、端面89と固着面820が、ここで改めて剥がされる(図9拡大図参照)。
As a result, in the above [1], if there is a portion where the
つまり、上記打ち抜きは、リードフレーム80の端面89とランナー82の固着面820が、面に沿う方向で互いに反対方向に力を作用させて行われており、上記リードフレーム80の端部のクランプによる弾性変形の際にも両面が押し付けられなかったことに加えて、この工程でも固着面820が端面89に押し付けられることなく面に沿う方向に動く。
That is, the punching is performed by applying forces in directions opposite to each other along the surfaces of the
なお、「リードフレーム80の端面89とランナー82の固着面820とが面に沿う方向に動く」とは、端面89と固着面820がそれぞれ単独で移動する場合と、両方が移動する場合を含む。
Note that "the
従って、端面89から固着面820が剥がれやすく、リードフレーム80の端面89に樹脂バリが生じることを抑止できる。
Therefore, the fixing
〔5〕内パンチピン28によるランナー82の打ち抜き(図10参照)
そして、上ブレイク盤2が更に下降すると、外パンチピン27と共に内パンチピン28が下降し、通孔235からリードフレーム80の通孔87を通り、打ち抜き位置でランナー82を打ち抜く。
[5] Punching the
When the upper breaking plate 2 is further lowered, the inner punch pins 28 are lowered together with the outer punch pins 27, pass through the through
仮に、外パンチピン27で押圧されるランナー82が大きく変形し、内パンチピン28の打ち抜き位置では、同じ高さで止まっていても、下降する内パンチピン28が確実に打ち抜いて、リードフレーム80から分離させることができる。
Even if the
〔6〕ランナーとカルの離脱(図10参照)
各ランナー82がリードフレーム80から分離することにより、樹脂封止成形品8に付着していた全部の各ランナー82が、カル81と共に自重で落下し、ゲートブレイクが完了する。これにより、リードフレーム80の端面に樹脂バリが生じていない成形品が得られる。
[6] Separation of Runner and Cull (See Figure 10)
By separating the
このように、本発明に係るゲートブレイク装置Gによれば、リードフレーム80に半導体素子を載置した樹脂封止成形品8から、カル81やランナー82等の不要樹脂を除去するゲートブレイクを行う際に、リードフレーム80の端面89に樹脂バリが残ることを、より確実に抑止できる。
As described above, according to the gate breaking device G according to the present invention, gate breaking is performed to remove unnecessary resin such as the
本明細書及び特許請求の範囲で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書及び特許請求の範囲に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。 The terms and expressions used in the specification and claims are for the purpose of description only and should not be regarded as limiting the features described and claimed herein. There is no intention to exclude some equivalent terms or expressions. Moreover, it goes without saying that various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.
G ゲートブレイク装置
1 下ブレイク盤
10 保持台盤
11 第1の基材載置部
11a 第2の基材載置部
12 保持部
120 上面
13、13a 排出口
130、130a 上部口
14 受部材
140 上面
141 突起
142 空間部
2 上ブレイク盤
20 押圧盤
21 連結部材
210 取付具
22、22a 緩衝機構部
23 固定盤
231、232 クランプ
233 通孔
234 通孔
235 通孔
24 パンチ板
25 固定具
27 外パンチピン
28 内パンチピン
24a パンチピン
8 樹脂封止成形品
80 リードフレーム
81 カル
82 ランナー
820 固着面
83 パッケージ
84 ゲート
85 通孔
87 通孔
89 端面
G
Claims (14)
前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を保持する工程と、
保持した前記樹脂封止成形品へ向け前記押圧体を移動させて、前記不要樹脂であるランナーを、カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの第1打ち抜き位置で、前記端面と前記ランナーの前記端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に力を作用させて打ち抜いた後に、前記基材に形成された通孔に前記押圧体を貫通させ、前記ランナーを、前記端面を基準として前記カルの位置とは反対の位置、かつ前記カルに最も近い第2打ち抜き位置で打ち抜く工程と、
前記基材を固定すると同時に、又は固定した後、前記第1打ち抜き位置で打ち抜く前又は後に、前記基材の前記カルに近い方の端部を弾性変形させて、前記端面と前記固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に相対的に移動させて剥がす工程を備える
ゲートブレイク方法。 A gate breaking method for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-encapsulated molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a step of fixing the base material to hold the resin-encapsulated molded product;
The pressing body is moved toward the held resin-sealed molded product, and the runner, which is the unnecessary resin, is removed at a first punching position near the cull with reference to the end face of the base material near the cull. After the end surface and the fixing surface of the runner contacting the end surface are punched out by applying force in directions opposite to each other along the surface, the pressing body is passed through the through hole formed in the base material, punching the runner at a second punching position opposite to the position of the cull with respect to the end face and closest to the cull;
Simultaneously with fixing the base material, or after fixing the base material, before or after punching at the first punching position, the end portion of the base material closer to the cull is elastically deformed to separate the end surface and the fixing surface. A gate breaking method comprising a step of peeling off by relatively moving in opposite directions along a surface.
前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を保持する工程と、
前記基材に形成された通孔に前記押圧体を貫通させ、前記不要樹脂であるランナーを、前記基材のカルに対し遠い方から近い方にかけて設けられた打ち抜き位置で打ち抜く工程と、
前記基材を固定すると同時に、又は固定した後、前記ランナーを、前記カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの打ち抜き位置で打ち抜く前又は後に、前記基材の前記カルに近い方の端部を弾性変形させて、前記端面と前記ランナーの前記端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に相対的に移動させて剥がす工程とを備える
ゲートブレイク方法。 A gate breaking method for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-encapsulated molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a step of fixing the base material to hold the resin-encapsulated molded product;
a step of penetrating the pressing body through a through hole formed in the base material and punching out the runner, which is the unnecessary resin, at a punching position provided from a far side to a near side with respect to the cull of the base material;
Simultaneously with or after fixing the base material, before or after punching the runner at a punching position closer to the cull with reference to the end surface of the base material closer to the cull, the runner is applied to the cull of the base material. a step of elastically deforming a nearer end to separate the end surface and the fixing surface of the runner in contact with the end surface by relatively moving them in opposite directions along the surface.
前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を保持する工程と、
保持した前記樹脂封止成形品へ向け前記押圧体を移動させて、前記不要樹脂であるランナーを、カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの第1打ち抜き位置で、前記端面と前記ランナーの前記端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に力を作用させて打ち抜いた後に、前記基材に形成された通孔に前記押圧体を貫通させ、前記ランナーを、前記端面を基準として前記カルの位置とは反対の位置、かつ前記カルに最も近い第2打ち抜き位置で打ち抜く工程と、
前記打ち抜く工程で、前記ランナーを、前記カルに対し遠い前記基材の端面と近い前記基材の端面の間に設けられた複数の打ち抜き位置において、前記第2打ち抜き位置に達する前までの打ち抜き位置で順に打ち抜く工程を備える
ゲートブレイク方法。 A gate breaking method for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-encapsulated molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a step of fixing the base material to hold the resin-encapsulated molded product;
The pressing body is moved toward the held resin-sealed molded product, and the runner, which is the unnecessary resin, is removed at a first punching position near the cull with reference to the end face of the base material near the cull. After the end surface and the fixing surface of the runner contacting the end surface are punched out by applying force in directions opposite to each other along the surface, the pressing body is passed through the through hole formed in the base material, punching the runner at a second punching position opposite to the position of the cull with respect to the end face and closest to the cull;
In the punching step, the runner is positioned at a plurality of punching positions provided between an end face of the base material farther from the cull and an end face of the base material closer to the cull, at punching positions before reaching the second punching position. A gate breaking method comprising a step of punching out in order.
請求項1記載のゲートブレイク方法。 In the punching step, the runner is positioned at a plurality of punching positions provided between an end face of the base material farther from the cull and an end face of the base material closer to the cull, at punching positions before reaching the second punching position. 2. The gate breaking method according to claim 1, comprising a step of punching out in order at .
前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を保持する工程と、
保持した前記樹脂封止成形品へ向け前記押圧体を移動させて、前記不要樹脂であるランナーを、カルに近い方の前記基材の端面を基準として前記カル寄りの第1打ち抜き位置で、前記端面と前記ランナーの前記端面に接触する固着面とを面に沿う方向で互いに反対方向に力を作用させて打ち抜いた後に、前記基材に形成された通孔に前記押圧体を貫通させ、前記ランナーを、前記端面を基準として前記カルの位置とは反対の位置、かつ前記カルに最も近い第2打ち抜き位置で打ち抜く工程と、
前記打ち抜く工程で、前記ランナーを、前記カルに対し遠い前記基材の端面と近い前記基材の端面の間に設けられた複数の打ち抜き位置において、前記第2打ち抜き位置に達する前までの打ち抜き位置で順不同に打ち抜く工程を備える
ゲートブレイク方法。 A gate breaking method for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-encapsulated molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a step of fixing the base material to hold the resin-encapsulated molded product;
The pressing body is moved toward the held resin-sealed molded product, and the runner, which is the unnecessary resin, is removed at a first punching position near the cull with reference to the end face of the base material near the cull. After the end surface and the fixing surface of the runner contacting the end surface are punched out by applying force in directions opposite to each other along the surface, the pressing body is passed through the through hole formed in the base material, punching the runner at a second punching position opposite to the position of the cull with respect to the end face and closest to the cull;
In the punching step, the runner is positioned at a plurality of punching positions provided between an end face of the base material farther from the cull and an end face of the base material closer to the cull, at punching positions before reaching the second punching position. A gate breaking method comprising a step of punching in random order.
請求項1記載のゲートブレイク方法。 In the punching step, the runner is positioned at a plurality of punching positions provided between an end face of the base material farther from the cull and an end face of the base material closer to the cull, at punching positions before reaching the second punching position. 2. The gate breaking method according to claim 1, further comprising a step of punching in random order.
請求項1記載のゲートブレイク方法。 2. The gate breaking method according to claim 1, wherein said punching step includes a step of first punching said first punching position closer to said cull with reference to an end face of said base material closer to said cull.
不要樹脂であるカルとランナーで前記基材が繋がれる方向に並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部を有する成形品保持部と、
前記第1の基材載置部及び第2の基材載置部に前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を前記成形品保持部と協働して保持する固定部と、
前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部に近い方の前記第1の基材載置部の端部を基準として前記第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で前記不要樹脂を打ち抜く第1押圧体と、
前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部とは反対の位置、かつ、前記第2の基材載置部に最も近い前記第1の基材載置部の第2打ち抜き位置において、前記第1押圧体で前記不要樹脂を打ち抜いた後に、前記不要樹脂を打ち抜く第2押圧体と、
前記第1の基材載置部に載置される前記基材の、前記第2の基材載置部に近い端部を前記第1の基材載置部から離れる方向へ弾性変形させる作用部を備える
ゲートブレイク装置。 A gate breaking device for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a molded product holding portion having a first substrate placement portion and a second substrate placement portion arranged side by side in a direction in which the substrates are connected by culls and runners, which are unnecessary resins;
a fixing part that fixes the base material to the first base material mounting part and the second base material mounting part and holds the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part;
It is movable toward the molded article holding part and is close to the second base material mounting part with reference to the end of the first base material mounting part closer to the second base material mounting part. a first pressing body that punches out the unnecessary resin at the first punching position of
The first base material mounting portion which is movable toward the molded product holding portion, is positioned opposite to the second base material mounting portion, and is closest to the second base material mounting portion. a second pressing body for punching out the unnecessary resin after punching out the unnecessary resin with the first pressing body at the second punching position;
An action of elastically deforming an end portion of the base material placed on the first base material mounting part near the second base material mounting part in a direction away from the first base material mounting part. A gate break device comprising a part.
不要樹脂であるカルとランナーで前記基材が繋がれる方向に並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部を有する成形品保持部と、
前記第1の基材載置部及び第2の基材載置部に前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を前記成形品保持部と協働して保持する固定部と、
前記第1の基材載置部に載置される前記基材の端部のうち、前記第2の基材載置部に近い端部を前記第1の基材載置部から離れる方向へ弾性変形させる作用部と、
前記第1の基材載置部の、前記第2の基材載置部に対し遠い方から近い方にかけて設けられた打ち抜き位置に対応して設けられており、前記不要樹脂を押圧し、打ち抜く押圧体とを備える
ゲートブレイク装置。 A gate break device for punching and separating unnecessary resin from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is placed on a base material,
a molded product holding portion having a first substrate placement portion and a second substrate placement portion arranged side by side in a direction in which the substrates are connected by culls and runners, which are unnecessary resins;
a fixing part that fixes the base material to the first base material mounting part and the second base material mounting part and holds the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part;
Among the end portions of the substrate placed on the first substrate placement portion, the end portion near the second substrate placement portion is moved away from the first substrate placement portion. an action portion that elastically deforms;
It is provided corresponding to the punching position of the first base material mounting part, which is provided from the far side to the near side with respect to the second base material mounting part, and presses and punches the unnecessary resin. and a pressing body.
不要樹脂であるカルとランナーで前記基材が繋がれる方向に並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部を有する成形品保持部と、
前記第1の基材載置部及び第2の基材載置部に前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を前記成形品保持部と協働して保持する固定部と、
前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部に近い方の前記第1の基材載置部の端部を基準として前記第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で前記不要樹脂を打ち抜く第1押圧体と、
前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部とは反対の位置、かつ、前記第2の基材載置部に最も近い前記第1の基材載置部の第2打ち抜き位置において、前記第1押圧体で前記不要樹脂を打ち抜いた後に、前記不要樹脂を打ち抜く第2押圧体とを備え、
前記第1の基材載置部の、前記第2の基材載置部に対し遠い方から前記第2打ち抜き位置に達する前までに設けてある打ち抜き位置に対応して、複数の押圧体を有しており、該各押圧体は、前記各押圧体の押圧方向の先端部から前記第1の基材載置部までの距離が、前記第2の基材載置部に向かう方向において順に遠くなるように形成されており、前記押圧体が前記第1の基材載置部へ向け移動可能であり、前記各押圧体は互いに同じ移動量である
ゲートブレイク装置。 A gate breaking device for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a molded product holding portion having a first substrate placement portion and a second substrate placement portion arranged side by side in a direction in which the substrates are connected by culls and runners, which are unnecessary resins;
a fixing part that fixes the base material to the first base material mounting part and the second base material mounting part and holds the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part;
It is movable toward the molded article holding part and is close to the second base material mounting part with reference to the end of the first base material mounting part closer to the second base material mounting part. a first pressing body that punches out the unnecessary resin at the first punching position of
The first base material mounting portion which is movable toward the molded product holding portion, is positioned opposite to the second base material mounting portion, and is closest to the second base material mounting portion. a second pressing body that punches out the unnecessary resin after punching out the unnecessary resin with the first pressing body at the second punching position of
A plurality of pressing bodies are provided in correspondence with the punching positions provided on the first base material mounting part from the side farther from the second base material mounting part to before reaching the second punching position. and the distance from the tip of each pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part is in order in the direction toward the second base material mounting part. The gate breaking device is formed so as to be distant from each other, the pressing bodies are movable toward the first base material placing portion, and the respective pressing bodies have the same amount of movement as each other.
請求項8記載のゲートブレイク装置。 A plurality of pressing bodies are provided in correspondence with the punching positions provided on the first base material mounting part from the side farther from the second base material mounting part to before reaching the second punching position. and the distance from the tip of each pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part is in order in the direction toward the second base material mounting part. 9. The gate breaking device according to claim 8, wherein the pressing bodies are formed so as to be distant from each other, the pressing bodies are movable toward the first base material placing portion, and the respective pressing bodies have the same amount of movement.
不要樹脂であるカルとランナーで前記基材が繋がれる方向に並設された第1の基材載置部及び第2の基材載置部を有する成形品保持部と、
前記第1の基材載置部及び第2の基材載置部に前記基材を固定して、前記樹脂封止成形品を前記成形品保持部と協働して保持する固定部と、
前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部に近い方の前記第1の基材載置部の端部を基準として前記第2の基材載置部寄りの第1打ち抜き位置で前記不要樹脂を打ち抜く第1押圧体と、
前記成形品保持部へ向けて移動可能で、前記第2の基材載置部とは反対の位置、かつ、前記第2の基材載置部に最も近い前記第1の基材載置部の第2打ち抜き位置において、前記第1押圧体で前記不要樹脂を打ち抜いた後に、前記不要樹脂を打ち抜く第2押圧体とを備え
前記第1の基材載置部の、前記第2の基材載置部に対し遠い方から前記第2打ち抜き位置に達する前までに設けてある打ち抜き位置に対応して、複数の押圧体を有しており、該各押圧体の押圧方向の先端部から前記第1の基材載置部までの距離が異なる前記各押圧体が、前記第2の基材載置部に向かう方向において順不同に並んで形成されており、前記押圧体が前記第1の基材載置部へ向け移動可能であり、前記各押圧体は互いに同じ移動量である
ゲートブレイク装置。 A gate breaking device for punching and separating unnecessary resin at a punching position from a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is placed on a base material by a pressing body,
a molded product holding portion having a first substrate placement portion and a second substrate placement portion arranged side by side in a direction in which the substrates are connected by culls and runners, which are unnecessary resins;
a fixing part that fixes the base material to the first base material mounting part and the second base material mounting part and holds the resin-sealed molded product in cooperation with the molded product holding part;
It is movable toward the molded article holding part and is close to the second base material mounting part with reference to the end of the first base material mounting part closer to the second base material mounting part. a first pressing body that punches out the unnecessary resin at the first punching position of
The first base material mounting portion which is movable toward the molded product holding portion, is positioned opposite to the second base material mounting portion, and is closest to the second base material mounting portion. a second pressing body that punches out the unnecessary resin after punching out the unnecessary resin with the first pressing body at a second punching position of the second substrate of the first substrate placing portion; A plurality of pressing bodies are provided corresponding to the punching positions provided from the far side to the placing part until reaching the second punching position, and the tip of each pressing body in the pressing direction The pressing bodies having different distances to the first base material mounting part are arranged in random order in a direction toward the second base material mounting part, and the pressing bodies are aligned with the first base material. The gate breaking device is movable toward the material placing portion, and each of the pressing bodies has the same amount of movement.
請求項8記載のゲートブレイク装置。 A plurality of pressing bodies are provided in correspondence with the punching positions provided on the first base material mounting part from the side farther from the second base material mounting part to before reaching the second punching position. and the pressing bodies having different distances from the tip of the pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part are arranged in random order in the direction toward the second base material mounting part. 9 . The gate breaking device according to claim 8 , wherein the pressing bodies are movable toward the first substrate mounting portion, and the pressing bodies have the same amount of movement as each other.
請求項10、11、12又は13記載のゲートブレイク装置。 The distance from the tip of the first pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part is the distance from the tip of the second pressing body in the pressing direction to the first base material mounting part. 14. A gate break device according to claim 10, 11, 12 or 13, formed to be closer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019134317A JP7306130B2 (en) | 2019-07-22 | 2019-07-22 | Gate break method and gate break device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019134317A JP7306130B2 (en) | 2019-07-22 | 2019-07-22 | Gate break method and gate break device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021019108A JP2021019108A (en) | 2021-02-15 |
JP7306130B2 true JP7306130B2 (en) | 2023-07-11 |
Family
ID=74564328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019134317A Active JP7306130B2 (en) | 2019-07-22 | 2019-07-22 | Gate break method and gate break device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7306130B2 (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02194539A (en) * | 1989-01-21 | 1990-08-01 | Mitsubishi Electric Corp | Gate-breaking apparatus for semiconductor device manufacture |
JP3156873B2 (en) * | 1992-05-18 | 2001-04-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Method and apparatus for removing culls and runners |
JPH07276418A (en) * | 1994-04-11 | 1995-10-24 | Sony Corp | Method and apparatus for manufacturing resin-sealed semiconductor |
JPH0936156A (en) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | Gate break device and method |
JP2964967B2 (en) * | 1996-11-19 | 1999-10-18 | 日本電気株式会社 | Lead frame, resin molding method and apparatus therefor |
KR20040075479A (en) * | 2003-02-21 | 2004-08-30 | 삼성전자주식회사 | Degating apparatus used pin method for removal of one type cull |
-
2019
- 2019-07-22 JP JP2019134317A patent/JP7306130B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021019108A (en) | 2021-02-15 |
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