JP7304689B2 - 磁化できる基材上の磁化できない層の厚さを測定するための方法および機器 - Google Patents
磁化できる基材上の磁化できない層の厚さを測定するための方法および機器 Download PDFInfo
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Description
12 接続線または制御線
13 評価機器
14 筐体
16 長手方向の軸
17 プローブヘッド
18 保持要素
20 測定対象物
21 軸受けキャップ
23 案内要素
24 台
27 取付具
31 ポットコア
32 基部
33 コア
34 硬化したピン
36 第1のコイル、1次コイル
37 第2のコイル、2次コイル
38 第1のコイル対、内部コイル対
41 半径方向の周囲の壁
42 第1のコイル
43 第2のコイル
44 第2のコイル対、外部コイル対
46、47 相互作用体積
51 磁化できない層
52 磁化できる基材
55、56、57、65、66、67 特性曲線
B 磁気の流れ、磁界
d、dsoll、dmess 層厚さ
xn 正規化測定信号
Δd、Δd(μr) 層厚さ偏差
μr1、μr2、μr3 透磁率
Claims (10)
- 共通の幾何学的軸(16)を中心に置かれた、第1のコイル対(38)を形成する第1および第2のコイル(36、37)を有するポットコア(31)を備え、かつ前記共通の軸(16)内に軸受けキャップ(calotte)(21)を有するプローブヘッド(17)を有する測定プローブ(11)を有する、透磁率が不明な、磁化できる基材(52)上の磁化できない層(51)の厚さを測定する方法であって、
-前記基材(52)上の前記層(51)の前記厚さを測定するために、前記プローブヘッド(17)は、前記層(51)の上に置かれる方法であって、
-前記ポットコア(31)により引き起こされた場収束を用いて、前記第1のコイル対(38)により第1の相互作用体積を検出し、
-前記ポットコア(31)による前記場収束なしに、前記ポットコア(31)の外側に、前記幾何学的軸(16)を共有して配置された第1および第2のコイル(42、43)を有する第2のコイル対(44)により第2の相互作用体積を検出し、
-検出した前記第1および第2の相互作用体積を評価機器(13)で処理し、互いに比較して、測定すべき前記層(51)が適用された前記基材(52)の前記透磁率を補償し、前記基材(52)の前記透磁率の影響により補正された、前記層(51)に関する測定された層厚さを出力して、補正された層厚さを提供する、
ことを特徴とする方法。 - 前記基材(52)の透磁率の知識を必要としないことを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記基材(52)の透磁率の知識を必要としないことを特徴とする、請求項4に記載の方法。
- 前記基材(52)の透磁率の知識を必要としないことを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記第1および第2のコイル対(38、44)に関する第1の基礎較正を行い、その後、測定を行って、前記基材(52)のいくつかの異なる透磁率に対して層厚さを決定することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のコイル対(38、44)を交互に、または同時に制御することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 共通の長手方向の軸(16)を中心に置かれ、第1のコイル対(38)を形成する第1および第2のコイル(36、37)と、前記共通の長手方向の軸(16)内に配列された軸受けキャップ(21)とを有するポットコア(31)を有するプローブヘッド(17)を有する測定プローブ(11)を有する、請求項1に記載の前記方法を達成するための、磁化できる基材(52)上の磁化できない層(51)の厚さを測定するための測定機器であって、第1および第2のコイル(42、43)を有する第2のコイル対(44)は、前記ポットコア(31)の外側に、前記長手方向の軸(16)を共有して提供され、前記コイル(42、43)は、前記長手方向の軸(16)に同軸に整列されることを特徴とする測定機器。
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