JP7303187B2 - 温水カート調整システムおよび方法 - Google Patents
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Description
この出願は、35 U.S.C.§119(e)に基づいて、2017年12月20日に出願された「Vanox温水カート調整方法」という名称の米国仮出願第62/608,214号の優先権を主張し、全ての目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込む。
限外濾過モジュールのセクションは、水処理のために設置する前に調整することができる。最初の調整サイクルでは、限外ろ過モジュールのセクションを185°Fの温度の水で1時間洗浄することができる。限外濾過モジュールの下流で、4000ppbTOCの初期濃度が記録される。洗浄中、TOCの濃度は200ppbで安定する。限外ろ過モジュールのセクションは、周囲温度の水(70°F)で洗い流され、下流の水が排水される。
Claims (26)
- フィルタモジュール用の調整システムであって、
超純水の供給源に流体的に接続可能な入口と、
前記入口の下流に配置された第1の耐食性材料で被覆された熱交換器と、
前記熱交換器と流体連通する磁気浮上ポンプと、
前記磁気浮上ポンプの下流に配置され、前記フィルタモジュールに流体接続可能な出口と、
前記熱交換器を迂回するように構成および配置された、第2の耐食性材料で被覆されたチャネルと、
水を前記熱交換器または前記チャネルに選択的に向けるように構成されたコントローラであって、該コントローラは、前記超純水の供給源の総有機炭素(TOC)濃度および前記出口での水中のTOC濃度の少なくとも1つに応答して動作するようにプログラム可能である、コントローラと、
前記熱交換器、前記磁気浮上ポンプ、前記チャネル、および前記コントローラを支持するベースと、
を備えるシステム。 - 前記超純水の供給源におけるTOCの濃度を検出するように構成された入口センサーと、前記出口での超純水のTOCの濃度を検出するように構成された出口センサーとをさらに備え、前記入口センサーおよび前記出口センサーの少なくとも1つは、前記コントローラに電気的に接続されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記入口センサーおよび前記出口センサーの少なくとも1つは、さらに10nm以下の粒子サイズを検出するように構成されている、請求項2に記載のシステム。
- 前記入口は、前記フィルタモジュールの下流側で流体接続可能である、請求項1に記載のシステム。
- 前記フィルタモジュールは限外濾過モジュールである、請求項4に記載のシステム。
- 前記第1の耐食性材料は190°F(87.8℃)までの水温にて安定である、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の耐食性材料および前記第2の耐食性材料の少なくとも1つはフルオロポリマーである、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の耐食性材料および前記第2の耐食性材料の少なくとも1つは、エチレンテトラフルオロエチレン(ETFE)、ポリフッ化ビニル(PVF)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)、フッ化エチレンプロピレン(FEP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、エチレンクロロトリフルオロエチレン(ECTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、およびそれらの組み合わせである、請求項7に記載のシステム。
- 前記システムはステンレス鋼を含まない、請求項1に記載のシステム。
- 前記システムの構成要素の少なくとも1つは、チタン、インコロイ(登録商標)、ハステロイ(登録商標)、およびそれらの組み合わせを含む、請求項1~9のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記システムは携帯型である、請求項1に記載のシステム。
- 前記磁気浮上ポンプは耐食性プラスチックで被覆されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラは、さらに、前記フィルタモジュールのキャパシティの表示に応じて、前記磁気浮上ポンプの速度を設定するようにプログラム可能である、請求項1に記載のシステム。
- フィルタモジュールを調整する方法であって、
超純水の供給源に含まれる全有機炭素(TOC)の濃度を測定するステップと、
前記超純水の供給源を170°F(76.7℃)と190°F(87.8℃)との間の温度に加熱して加熱水を生成するステップと、
前記フィルタモジュールの出口での水中のTOC濃度を安定させるのに十分な第1の所定期間、2gpm(0.45424m3/h)と15gpm(3.4068m3/h)との間の第1の流量で前記フィルタモジュールを前記加熱水で洗浄するステップと、
周囲温度を有する前記超純水の供給源で、第2の所定期間、2gpm(0.45424m3/h)と40gpm(9.0848m3/h)との間の第2の流量で前記フィルタモジュールを洗い流すステップであって、前記第2の流量は前記第1の流量より大きい、ステップと、
前記フィルタモジュールを前記加熱水で洗浄するステップと、周囲温度で前記フィルタモジュールを前記超純水で洗い流すステップとを、前記フィルタモジュールの前記出口での前記水が14nm未満の粒子サイズの粒子が1リットル当たり100カウント未満になるまで繰り返すステップと、
を含む方法。 - 前記フィルタモジュールは水処理前に調整されている、請求項14に記載の方法。
- 前記フィルタモジュールは、該フィルタモジュールの前記出口での前記水中のTOC濃度が2ppbより大きい場合に調整される、請求項14に記載の方法。
- 前記フィルタモジュールのキャパシティに応じて前記第1の流量を選択するステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- 前記フィルタモジュールの材料に応じて前記加熱水の前記温度を選択するステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- フィルタモジュールの調整を促進する方法であって、
携帯型フィルタモジュール調整システムであって、前記システムは、
第1の耐食性材料で被覆された熱交換器と、
前記熱交換器と流体連通する磁気浮上ポンプと、
前記熱交換器を迂回するように構成および配置された第2の耐食性材料で被覆されたチャネルと、
前記熱交換器または前記チャネルに水を選択的に向けるように構成されたコントローラであって、該コントローラは、前記熱交換器と前記磁気浮上ポンプの上流の水中の全有機炭素(TOC)の濃度、および前記磁気浮上ポンプの下流の水中のTOC濃度の少なくとも1つに応答して動作するようにプログラム可能である、コントローラと、
を備えるシステム、を用意するステップと、
前記携帯型フィルタモジュール調整システムの入口を介して前記携帯型フィルタモジュール調整システムを超純水の供給源に流体接続し、前記携帯型フィルタモジュール調整システムの出口を介して前記携帯型フィルタモジュール調整システムをフィルタモジュールに流体接続する指示を提供するステップと、
を含む方法。 - 前記超純水の供給源のTOCの濃度を測定するように構成された入口センサーと、前記磁気浮上ポンプの下流の水のTOCの濃度を測定するように構成された出口センサーとを設置するステップをさらに含む、請求項19に記載の方法。
- 前記コントローラを前記入口センサーおよび前記出口センサーに電気的に接続するステップをさらに含む、請求項20に記載の方法。
- 前記携帯型フィルタモジュール調整システムの入口を前記超純水の供給源に接続するステップと、前記携帯型フィルタモジュール調整システムの出口を前記フィルタモジュールに接続するステップとをさらに含む、請求項19に記載の方法。
- 前記携帯型フィルタモジュール調整システムの入口を前記超純水の供給源に流体的に接続するステップは、前記携帯型フィルタモジュール調整システムを前記フィルタモジュールの出口に流体的に接続するステップを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記携帯型フィルタモジュール調整システムの出口を前記フィルタモジュールに流体的に接続するステップは、前記携帯型フィルタモジュール調整システムを限外濾過モジュールの入口に流体的に接続するステップを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記携帯型フィルタモジュール調整システムの入口を前記超純水の供給源に流体的に接続するステップは、前記携帯型フィルタモジュール調整システムを前記限外濾過モジュールの出口に流体的に接続するステップを含む、請求項24に記載の方法。
- 前記携帯型フィルタモジュール調整システムを前記フィルタモジュールに流体接続する前に、前記携帯型フィルタモジュール調整システムを洗い流す指示を提供するステップをさらに含む、請求項19に記載の方法。
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---|---|---|---|---|
KR102549174B1 (ko) * | 2022-05-19 | 2023-06-30 | 삼성전자주식회사 | 한외여과막 모듈의 세정 방법 및 이를 이용한 초순수 제조 시스템의 관리 방법 |
CN116920581B (zh) * | 2023-08-31 | 2024-04-19 | 浙江浙能迈领环境科技有限公司 | 用于天然气动力船舶的二氧化碳回收控制系统及其方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004275881A (ja) | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造システム |
JP2006218440A (ja) | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Nitto Denko Corp | 超純水用膜モジュールの洗浄方法 |
JP2010022935A (ja) | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Kurita Water Ind Ltd | 濾過膜の洗浄方法及び超純水製造用濾過膜 |
JP2010044022A (ja) | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Kurita Water Ind Ltd | 検水の連続モニタリング方法および装置 |
JP2014188465A (ja) | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Miura Co Ltd | 純水製造装置 |
WO2015050125A1 (ja) | 2013-10-04 | 2015-04-09 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
US20150166385A1 (en) | 2013-12-16 | 2015-06-18 | Hennesy Mechanical Sales, LLC | Mobile water purification system and method |
JP2018518352A (ja) | 2015-05-04 | 2018-07-12 | エヴォクア ウォーター テクノロジーズ エルエルシーEvoqua Water Technologies LLC | 柔軟なランプ構成を備えた超純水提供システム及び方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60261585A (ja) * | 1984-06-07 | 1985-12-24 | Kubota Ltd | 超純水の製造方法 |
BE904031A (fr) | 1986-01-13 | 1986-05-02 | Procedes Et Brevets Ind En Abr | Dispositif et procede de brossage. |
JPS62164903U (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-20 | ||
DE3884435T2 (de) * | 1987-03-25 | 1994-02-17 | Hitachi Ltd | Verfahren zur Erzeugung hochreinen Wassers und Verfahren zur Verwendung dieses Wassers. |
NL1009457C2 (nl) * | 1998-06-19 | 1999-12-21 | Sepeq B V | Inrichting en werkwijze voor het filteren van een vloeistof. |
JP2001336528A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Ntn Corp | 磁気浮上装置 |
US8741155B2 (en) * | 2007-04-03 | 2014-06-03 | Evoqua Water Technologies Llc | Method and system for providing ultrapure water |
US20080245737A1 (en) * | 2007-04-03 | 2008-10-09 | Siemens Water Technologies Corp. | Method and system for providing ultrapure water |
GB0818921D0 (en) * | 2008-10-16 | 2008-11-19 | Otv Sa | Method of TOC monitoring |
US7947176B1 (en) * | 2009-12-11 | 2011-05-24 | Tri-Flo International, Inc. | Membrane fluid filtration and remediation system |
US20130126430A1 (en) * | 2011-09-15 | 2013-05-23 | Deka Products Limited Partnership | Systems, Apparatus, and Methods for a Water Purification System |
US9295181B2 (en) * | 2012-11-08 | 2016-03-22 | International Business Machines Corporation | Coolant-conditioning unit with automated control of coolant flow valves |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004275881A (ja) | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造システム |
JP2006218440A (ja) | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Nitto Denko Corp | 超純水用膜モジュールの洗浄方法 |
JP2010022935A (ja) | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Kurita Water Ind Ltd | 濾過膜の洗浄方法及び超純水製造用濾過膜 |
JP2010044022A (ja) | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Kurita Water Ind Ltd | 検水の連続モニタリング方法および装置 |
JP2014188465A (ja) | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Miura Co Ltd | 純水製造装置 |
WO2015050125A1 (ja) | 2013-10-04 | 2015-04-09 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
US20150166385A1 (en) | 2013-12-16 | 2015-06-18 | Hennesy Mechanical Sales, LLC | Mobile water purification system and method |
JP2018518352A (ja) | 2015-05-04 | 2018-07-12 | エヴォクア ウォーター テクノロジーズ エルエルシーEvoqua Water Technologies LLC | 柔軟なランプ構成を備えた超純水提供システム及び方法 |
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