KR20200097281A - 온수 카트 컨디셔닝 시스템 및 방법 - Google Patents

온수 카트 컨디셔닝 시스템 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20200097281A
KR20200097281A KR1020207017924A KR20207017924A KR20200097281A KR 20200097281 A KR20200097281 A KR 20200097281A KR 1020207017924 A KR1020207017924 A KR 1020207017924A KR 20207017924 A KR20207017924 A KR 20207017924A KR 20200097281 A KR20200097281 A KR 20200097281A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter module
conditioning system
water
conditioning
outlet
Prior art date
Application number
KR1020207017924A
Other languages
English (en)
Inventor
마이클 걸리온
크리스토퍼 홀
조슈아 하울리
Original Assignee
에보쿠아 워터 테크놀로지스 엘엘씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에보쿠아 워터 테크놀로지스 엘엘씨 filed Critical 에보쿠아 워터 테크놀로지스 엘엘씨
Publication of KR20200097281A publication Critical patent/KR20200097281A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B01D65/02—Membrane cleaning or sterilisation ; Membrane regeneration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/145—Ultrafiltration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/145—Ultrafiltration
    • B01D61/146—Ultrafiltration comprising multiple ultrafiltration steps
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/20—Accessories; Auxiliary operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/22—Controlling or regulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B01D65/02—Membrane cleaning or sterilisation ; Membrane regeneration
    • B01D65/027—Cleaning of other parts of the apparatus than the membrane
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
    • C02F1/444—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by ultrafiltration or microfiltration
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F19/00—Preventing the formation of deposits or corrosion, e.g. by using filters or scrapers
    • F28F19/02—Preventing the formation of deposits or corrosion, e.g. by using filters or scrapers by using coatings, e.g. vitreous or enamel coatings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/88—Integrated analysis systems specially adapted therefor, not covered by a single one of the groups G01N30/04 - G01N30/86
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
    • B01D2311/24—Quality control
    • B01D2311/246—Concentration control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/22—Cooling or heating elements
    • B01D2313/221—Heat exchangers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/48—Mechanisms for switching between regular separation operations and washing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/70—Control means using a programmable logic controller [PLC] or a computer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/70—Control means using a programmable logic controller [PLC] or a computer
    • B01D2313/701—Control means using a programmable logic controller [PLC] or a computer comprising a software program or a logic diagram
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/90—Additional auxiliary systems integrated with the module or apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/90—Additional auxiliary systems integrated with the module or apparatus
    • B01D2313/903—Integrated control or detection device
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2321/00—Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/08—Use of hot water or water vapor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2321/00—Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/12—Use of permeate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2321/00—Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/40—Automatic control of cleaning processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2321/00—Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/44—Specific cleaning apparatus
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
    • C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
    • C02F2209/10—Solids, e.g. total solids [TS], total suspended solids [TSS] or volatile solids [VS]
    • C02F2209/105—Particle number, particle size or particle characterisation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
    • C02F2209/20—Total organic carbon [TOC]
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
    • C02F2209/40—Liquid flow rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2303/00—Specific treatment goals
    • C02F2303/08—Corrosion inhibition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2303/00—Specific treatment goals
    • C02F2303/16—Regeneration of sorbents, filters
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2303/00—Specific treatment goals
    • C02F2303/22—Eliminating or preventing deposits, scale removal, scale prevention
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N2015/0662—Comparing before/after passage through filter

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
  • Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)

Abstract

필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템이 개시된다. 컨디셔닝 시스템은 일반적으로 유입구, 열 교환기, 자기 부상 펌프, 열 교환기를 우회하도록 제공된 채널, 제어기, 유출구, 및 기저부를 포함할 수도 있다. 시스템은 내부식성 재료로 라이닝된 컴포넌트를 가질 수도 있다. 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법이 또한 개시된다. 방법은 일반적으로 초순수 공급원 내 TOC를 측정하는 것, 초순수를 가열하는 것, 필터 모듈을 가열된 물로 헹구는 것, 필터 모듈을 주위 온도 물로 플러싱하는 것, 및 가열된 물로 헹구는 것과 주위 온도 물로 플러싱하는 것을 반복하는 것을 포함할 수도 있다. 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하는 방법이 또한 개시된다. 방법은 일반적으로 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 제공하는 것 및 설치 또는 사용을 위한 명령어를 제공하는 것을 포함할 수도 있다.

Description

온수 카트 컨디셔닝 시스템 및 방법
관련 출원에 대한 상호-참조
본 출원은 미국 가출원 일련번호 제62/608,214호(발명의 명칭: "Vanox Hot Water Cart Conditioning Method", 출원일: 2017년 12월 20일)에 대한 우선권을 35 U.S.C. §119(e)하에서 주장하고, 이는 모든 목적을 위해 전문이 참조에 의해 본 명세서에 원용된다.
기술 분야
본 명세서에 개시된 양상 및 실시형태는 일반적으로 필터 모듈 컨디셔닝 시스템(filter module conditioning system), 더 구체적으로, 전자 등급 필터 모듈 컨디셔닝 시스템 및 이 시스템을 작동시키는 방법에 관한 것이다.
하나의 양상에 따르면, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템이 제공된다. 시스템은 초순수 공급원(source of ultrapure water)에 유체 흐름 가능하게 연결 가능한 유입구를 포함할 수도 있다. 시스템은 유입구로부터 하류에 배치된 제1 내부식성 재료로 라이닝된(lined) 열 교환기를 포함할 수도 있다. 시스템은 열 교환기와 유체 연통(fluid communication)하는 자기 부상 펌프를 포함할 수도 있다. 시스템은 자기 부상 펌프로부터 하류에 배치되고 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결 가능한 유출구를 포함할 수도 있다. 시스템은 열 교환기를 우회하도록 구성 및 배열된, 제2 내부식성 재료로 라이닝된 채널을 포함할 수도 있다. 시스템은 물을 열 교환기로 또는 채널로 선택적으로 향하게 하도록 구성된 제어기를 포함할 수도 있다. 제어기는 초순수 공급원 내 총 유기 탄소(total organic carbon: TOC)의 농도 및 물 유출구에서의 물 내 TOC의 농도 중 적어도 하나에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능할 수도 있다. 시스템은 열 교환기, 자기 부상 펌프, 채널 및 제어기를 지지하는 기저부를 더 포함할 수도 있다.
일부 실시형태에서, 시스템은 초순수 공급원 내 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 유입구 센서 및 유출구에서 초순수 내 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 유출구 센서를 더 포함할 수도 있다. 유입구 센서 및 유출구 센서 중 적어도 하나는 제어기에 전기적으로 연결될 수도 있다. 유입구 센서 및 유출구 센서 중 적어도 하나는 10㎚ 이하의 입자 크기를 검출하도록 더 구성될 수도 있다.
유입구는 필터 모듈로부터 하류에서 유체 흐름 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 필터 모듈은 한외여과 모듈일 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 제1 내부식성 재료는 190℉까지의 수온에서 안정할 수도 있다. 제1 내부식성 재료 및 제2 내부식성 재료 중 적어도 하나는 플루오로폴리머일 수도 있다. 제1 내부식성 재료 및 제2 내부식성 재료 중 적어도 하나는 에틸렌 테트라플루오로에틸렌(ETFE), 폴리비닐플루오라이드(PVF), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF), 퍼플루오로알콕시 알칸(PFA), 플루오로네이티드 에틸렌 프로필렌(FEP), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 에틸렌 클로로트라이플루오로에틸렌(ECTFE), 폴리클로로트라이플루오로에틸렌 (PCTFE), 및 이들의 조합일 수도 있다.
일부 실시형태에서, 시스템의 임의의 금속 컴포넌트는 스테인리스강이 실질적으로 없을 수도 있다. 금속 컴포넌트 중 적어도 하나는 티타늄, 인콜로이, 하스텔로이, 및 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함할 수도 있다.
시스템은 휴대용일 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 자기 부상 펌프는 내부식성 플라스틱으로 라이닝될 수도 있다.
일부 실시형태에서, 제어기는 필터 모듈의 용량의 표시에 응답하여 자기 부상 펌프의 속도를 설정하도록 더 프로그램 가능할 수도 있다.
또 다른 양상에 따르면, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법이 제공된다. 방법은 초순수 공급원 내 총 유기 탄소(TOC)의 농도를 측정하는 단계를 포함할 수도 있다. 방법은 초순수 공급원을 약 170℉ 내지 약 190℉로 가열하여 가열된 물을 생산하는 단계를 포함할 수도 있다. 방법은 필터 모듈의 유출구에서 물 내 TOC의 농도를 안정화시키기에 충분한 제1 미리 결정된 시간 기간 동안 약 2 내지 약 15gpm의 제1 유량의 가열된 물로 필터 모듈을 헹구는 단계를 포함할 수도 있다. 방법은 제2 미리 결정된 시간 기간 동안 약 2 내지 약 40gpm의 제2 유량의, 주위 온도를 가진 초순수 공급원으로 필터 모듈을 헹구는 단계로서, 제2 유량은 제1 유량 초과인, 초순수 공급원으로 필터 모듈을 헹구는 단계를 포함할 수도 있다. 방법은 필터 모듈의 유출구에서의 물이 14㎚ 미만의 입자 크기를 가진 입자의 100개/리터 미만을 가질 때까지 필터 모듈을 가열된 물로 헹구는 것과 필터 모듈을 주위 온도에서 초순수로 헹구는 것을 순환하는 단계를 포함할 수도 있다.
일부 실시형태에서, 필터 모듈은 물 처리의 사용 전에 컨디셔닝될 수도 있다.
일부 실시형태에서, 필터 모듈은 필터 모듈의 유출구에서의 물 내 TOC의 농도가 2ppb 초과일 때 컨디셔닝될 수도 있다.
방법은 필터 모듈의 용량에 응답하여 제1 유량을 선택하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
방법은 필터 모듈의 재료에 응답하여 가열된 물의 온도를 선택하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
또 다른 양상에 따르면, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법이 제공된다. 방법은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 제공하는 단계를 포함할 수도 있고, 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템은 제1 내부식성 재료로 라이닝된 열 교환기, 열 교환기와 유체 연통하는 자기 부상 펌프, 열 교환기를 우회하도록 구성 및 배열된, 제2 내부식성 재료로 라이닝된 채널, 및 물을 열 교환기로 또는 채널로 선택적으로 향하게 하도록 구성된 제어기를 포함하고, 열 교환기 및 자기 부상 펌프로부터 상류의 물 내 총 유기 탄소(TOC)의 농도 및 자기 부상 펌프로부터 하류의 물 내 TOC의 농도 중 적어도 하나에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능하다. 방법은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유입구를 통해 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하고 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유출구를 통해 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하기 위한 명령어를 제공하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
일부 실시형태에서, 방법은 초순수 공급원 내 TOC의 농도를 측정하도록 구성된 유입구 센서 및 자기 부상 펌프로부터 하류의 물 내 TOC의 농도를 측정하도록 구성된 유출구 센서를 설치하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
방법은 제어기를 유입구 센서 및 유출구 센서에 전기적으로 연결시키는 단계를 더 포함할 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 방법은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유입구를 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하고 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유출구를 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
일부 실시형태에서, 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유입구를 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 필터 모듈의 유출구에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것을 포함한다.
휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유출구를 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 한외여과 모듈의 유입구에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것을 포함할 수도 있다. 이러한 실시형태에서, 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유입구를 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 한외여과 모듈의 유출구에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것을 포함할 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 방법은 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하기 전에 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 플러싱(flush)하기 위한 명령어를 제공하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
본 개시내용은 전술한 양상 및/또는 실시형태 중 임의의 하나 이상의 모든 조합, 뿐만 아니라 상세한 설명 및 임의의 실시예에 제시된 실시형태 중 임의의 하나 이상과의 조합을 고려한다.
첨부 도면은 축척대로 도시되는 것으로 의도되지 않는다. 도면에서, 다양한 도면에서 예시되는 각각의 동일하거나 또는 거의 동일한 컴포넌트는 유사한 숫자로 나타난다. 명확성을 기하기 위하여, 모든 컴포넌트가 모든 도면에 나타나지 않을 수도 있다. 도면에서:
도 1은 하나의 실시형태에 따른, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템의 박스 도면;
도 2는 대안적인 실시형태에 따른, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템의 박스 도면;
도 3a는 하나의 실시형태에 따른, 제1 측면으로부터 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템의 사시도; 및
도 3b는 하나의 실시형태에 따른, 제2 측면으로부터 도 3a에 도시된 컨디셔닝 시스템의 사시도.
본 명세서에 개시된 시스템 및 방법은 필터 모듈을 컨디셔닝하도록 채용될 수도 있다. 본 개시내용이 예시적인 한외여과 모듈과 관련될 수도 있지만, 컨디셔닝 시스템 및 방법이 필요로 하는 임의의 필터 모듈을 컨디셔닝하도록 채용될 수도 있다는 것이 이해되어야 한다.
반도체 제조 장치는 일반적으로 제작 과정 동안 반도체 웨이퍼를 오염시키는 것을 방지하도록 매우 순수한 수질을 필요로 한다. 미립자 오염은 많은 염려 중 하나이다. 반도체 디바이스 제조에서 14㎚ 초과의 크기를 가진 입자는 결함을 생산할 수도 있다. 물로부터 미립자 오염을 제거하도록 사용되는 하나의 디바이스는 한외여과(ultrafiltration: UF) 디바이스이다. UF 디바이스가 입자를 매우 효과적으로 제거하는 동안, 모듈은 종종 UF 모듈 내에 포함된 임의의 입자 및 다른 제작-관련 오염물질, 예컨대, 총 유기 탄소(TOC)를 제거하도록 설치 전에 컨디셔닝을 필요로 한다. 부가적으로, UF 모듈은 일반적으로 계속적인 사용으로부터 임의의 오염물질 축적을 제거하도록 정기적인 유지보수를 필요로 한다. 본 명세서에 설명된 시스템 및 방법은 약 10㎚ 이하의 입자를 가진 반도체 등급 물을 생산하려고 할 수도 있다.
하나의 양상에 따르면, 본 명세서에 설명된 시스템 및 방법은 설치 전 그리고 종래의 방법을 사용하여 걸리는 시간 미만의 시간의 유지보수 동안 UF 모듈을 컨디셔닝하도록 채용될 수도 있다. 예를 들어, 종래의 방법은 필터 모듈을 적절히 컨디셔닝하도록 수주 걸릴 수도 있다. 본 명세서에 개시된 시스템 및 방법은 수일에, 예를 들어, 1일 미만, 약 1일, 약 2일, 약 3일, 약 5일, 또는 1주 미만에 필터 모듈을 충분히 컨디셔닝할 수도 있다. 필터 모듈을 컨디셔닝하는데 걸릴 시간은 일반적으로 컨디셔닝 전의 필터 모듈의 상태 및 컨디셔닝 방법을 위해 사용되는 물의 품질에 의존적일 수도 있다.
컨디셔닝 방법은 일반적으로 가열된 물로 처리하는 것 및 주위 온도 물로 플러싱하는 것을 포함할 수도 있다. 온수 컨디셔닝은 모듈 구멍이 개방되게 하고 다양한 수지 및 플라스틱으로부터 UF의 제작에 고유한 TOC 및 입자를 제거하게 한다. 본 명세서에서 사용될 때, "주위 온도" 물은 상온의 물이다. 상온이 위치에 의해 변경될 수도 있지만, 일반적으로 약 64℉ 내지 약 77℉(18℃ 내지 25℃)의 범위 내에 있다는 것이 이해된다. 주위 온도 물은 냉각되지 않고 가열되지 않은 물을 나타낼 수도 있다. 가열된 물/주위 온도 물 순환 방법은 필터 모듈의 즉각적인 서비스를 위한 적합한 컨디셔닝을 제공할 수도 있다.
특정한 이득이 본 명세서에 개시된 시스템 및 방법에 의해 제공된다. 목록이 방향을 결정하지는 않지만, 다음의 이득은 종래의 시스템 및 방법을 통해 구상된다. 본 명세서에 개시된 시스템 및 방법은 모든 목적을 위해 전문이 참조에 의해 본 명세서 원용되는, 미국 특허 제8,741,155호에 설명된 기존의 높은 기술 요구 필터 모듈 시스템, 예를 들어, 바녹스(Vanox)(상표등록) POU(point of use) 시스템(펜실베니아주 피츠버그 소재의 Evoqua Water Technologies LLC사에 의해 배포됨)과 호환 가능하다. 시스템 및 방법은 램프 업 온도 및 램프 다운 온도를 정확하게 제어할 수 있어서, 필터 모듈에 대해 열충격을 유발하는 가능성을 감소시킨다. 시스템 및 방법은 유량을 정확하게 제어할 수 있다. 필터 모듈의 하류에서 획득된 피드백 결과와 온도 및 유량의 제어를 결합할 때, 컨디셔닝이 더 효율적으로 수행될 수 있다. 본 명세서에 설명된 시스템 및 방법은 다수의 필터 모듈과 호환 가능하게 될 수 있다. 특정한 실시형태에서, 시스템은 안전 작동을 위한 저 무게 중심에 의해 쉽게 조종 가능하도록 구성될 수 있다. 종래의 시스템에 대한 부가적인 개선예가 또한 구상된다.
하나의 양상에 따르면, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법이 제공된다. 방법은 일반적으로 물을 가열하는 것, 오염물질의 유출 농도가 안정화될 때까지 필터 모듈의 유출구에서의 오염물질의 농도를 감소시키도록 필터 모듈을 가열된 물로 헹구는 것, 필터 모듈을 주위 온도 물로 플러싱하는 것, 및 온수로 헹구는 것을 반복하는 것을 포함할 수도 있다. 각각의 사이클에 대해 필터 매체의 유출구에서의 오염물질의 농도가 감소될 수도 있다. 사이클은 필터 매체의 유출구에서의 원하는 농도에 도달될 때까지 계속될 수도 있다. 필터 매체는 모든 부분이 적절히 컨디셔닝될 때까지 순차적으로 부분별로 컨디셔닝될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사이클은 필터 매체가 약 10ppb TOC 미만, 약 5ppb TOC 미만, 약 2ppb TOC 미만, 또는 약 1ppb TOC를 가진 물을 생산할 때까지 계속될 수도 있다.
일부 실시형태에서, 사이클은 필터 매체가 14㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 100개 입자/ℓ 미만, 14㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 50개 입자/ℓ 미만, 또는 14㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 25개 입자/ℓ 미만을 가진 물을 생산할 때까지 계속될 수도 있다. 입자는 생물학적 입자, 유기 입자, 및 무기 입자를 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사이클은 필터 매체가 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 100개 입자/ℓ 미만, 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 50개 입자/ℓ 미만, 또는 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 25개 입자/ℓ 미만을 가진 물을 생산할 때까지 계속될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사이클은 필터 매체가 이전에 설명된 바와 같이, 전자기기의 적어도 하나의 품질을 가진 물 및 반도체 등급의 초순수를 생산할 때까지 계속될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사이클은 필터 매체가 이전에 설명된 바와 같이, 전자기기의 필요조건을 충족하는 물 및 반도체 등급의 초순수를 생산할 때까지 계속될 수도 있다.
필터 모듈은 물 처리의 사용 전의 전처리로서 컨디셔닝될 수도 있다. 컨디셔닝 방법은 필터 모듈 상의 오염물질, 예를 들어, 제작으로부터의 잔여 오염물질을 제거하도록 수행될 수도 있다. 필터 모듈은 부가적으로 또는 대안적으로 명시된 사용 기간 후, 유지보수를 위해 컨디셔닝될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 필터 모듈은 반년마다, 1년마다, 2년마다, 또는 필요할 때(예를 들어, 입자파 또는 유압 충격 사건 후) 컨디셔닝될 수도 있다. 컨디셔닝 방법은 사용으로부터 오염물질의 축적을 제거하도록 수행될 수도 있다. 따라서, 방법은 오염을 필터 모듈에 제공하는 것을 방지하고, 제한하거나 또는 회피하기에 충분한, 원하는 품질의 물로 필터 모듈을 컨디셔닝하는 것을 포함할 수도 있다. 특정한 실시형태에 따르면, 본 명세서에 개시된 방법은 이전에 설명된 바와 같이, 고순도의 물로 수행될 수도 있다.
방법은 수원에서 오염물질의 농도를 측정하는 것을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 방법은 필터 모듈을 물로 헹구거나 플러싱하기 전에 TOC, 입자(생물학적, 유기, 무기), 실리카, 금속, 용해된 기체, 또는 다른 오염물질의 농도를 측정하는 것을 포함할 수도 있다. 방법은 필터 모듈을 헹구거나 플러싱하기 전에, 가열된 물 또는 펌핑된 물에서 오염물질의 농도를 측정하는 것을 더 포함할 수도 있다. 방법은 필터 모듈의 유출구에서 물 내 오염물질의 농도를 측정하는 것을 더 포함할 수도 있다.
일부 실시형태에서, 필터 모듈은 필터 모듈의 유출구에서 물 내 오염물질의 농도가 미리 결정된 문턱값에 도달할 때 유지보수를 위해 컨디셔닝될 수도 있다. 예를 들어, 필터 모듈은 필터 모듈의 유출구에서 물 내 TOC가 약 10ppb 초과, 예를 들어, 약 5ppb 초과, 약 2ppb 초과, 또는 약 1ppb일 때 컨디셔닝될 수도 있다. 필터 모듈은 필터 모듈의 유출구에서 물이 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 100개 입자/ℓ 초과, 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 50개 입자/ℓ 초과, 또는 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 25개 입자/ℓ 초과를 포함할 때 컨디셔닝될 수도 있다. 필터 모듈은 필터 모듈의 유출구에서 물이 14㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 100개 입자/ℓ 초과, 14㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 50개 입자/ℓ 초과, 또는 14㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 약 25개 입자/ℓ 초과를 포함할 때 컨디셔닝될 수도 있다. 따라서, 방법은 필터 모듈의 유출구에서 오염물질의 농도를 측정하는 것을 포함할 수도 있고 필터 모듈을 결정하는 것은 농도가 문턱값 초과일 때 유지보수 컨디셔닝을 필요로 한다. 문턱값은 필터 모듈의 유형 및 원하는 물의 순도에 따라 선택될 수도 있다. 예를 들어, 문턱값은 필터 모듈이 한외여과 모듈일 때 전자기기 및 반도체 등급의 초순수를 생산하도록 선택될 수도 있다.
방법은 일반적으로 가열된 물을 생산하도록 수원을 약 170℉(76℃) 내지 약 190℉(88℃)로 가열하는 것을 포함할 수도 있다. 방법은 수원을 약 180℉(82℃) 내지 약 190℉(88℃)로 또는 약 175℉(79℃) 내지 약 185℉(85℃)로 가열하는 것을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 방법은 수원을 약 170℉, 약 175℉, 약 180℉, 약 185℉, 또는 약 190℉)(76℃, 79℃, 82℃, 85℃, 88℃)로 가열하는 것을 포함할 수도 있다. 온도는 필터 모듈의 유형 및/또는 재료에 기초하여 선택될 수도 있다. 일부 비제한적인 실시형태에서, 필터 모듈은 한외여과 모듈을 컨디셔닝하기 위해 약 185℉(85℃)로 가열될 수도 있다. 다른 예시적인 모듈은 폴리설폰, 폴리비닐리덴 다이플로라이드(PVDF), 섬유 유리, 또는 에폭시로부터 생산될 수도 있다. 섬유 유리 및 에폭시 막은 폴리설폰 및 PVDF 막보다 더 낮은 온도에서 컨디셔닝될 수도 있다.
방법은 필터 모듈을 약 2 내지 약 15gpm의 유량의 가열된 물로 헹구는 것을 더 포함할 수도 있다. 유량은 필터 모듈의 용량 또는 크기에 기초하여 선택될 수도 있다. 유량은 또한 필터 모듈의 유형 또는 재료에 기초하여 선택될 수도 있다. 일부 예시적인 비제한적 실시형태에서, 유량은 15gpm의 용량을 가진 한외여과 모듈에 대해 약 2gpm 내지 약 5gpm일 수도 있고, 유량은 35gpm의 용량을 가진 한외여과 모듈에 대해 약 3gpm 내지 약 7.5gpm일 수도 있고, 유량은 35gpm의 용량을 가진 한외여과 모듈에 대해 약 5gpm 내지 약 15gpm일 수도 있다.
방법은 이전에 설명된 바와 같이, 필터 모듈의 유출구에서 물 내 오염물질, 예를 들어, TOC, 입자(생물학적, 유기, 무기), 실리카, 금속, 용해된 기체, 또는 다른 오염물질의 농도를 안정화시키기에 충분한, 제1 미리 결정된 시간 기간 동안 필터 모듈을 가열된 물로 헹구는 것을 포함할 수도 있다. 미리 결정된 시간 기간은 예를 들어, 약 30분 내지 약 1.5시간일 수도 있다. 미리 결정된 시간 기간은 예를 들어, 약 1시간 내지 약 5시간일 수도 있다. 특정한 실시형태에 따르면, 미리 결정된 시간 기간은 약 30분, 약 45분, 약 1시간, 약 1.25시간, 약 1.5시간, 약 2시간, 약 3시간, 약 4시간, 또는 약 5시간일 수도 있다. 예시적인 비제한적 실시형태에 따르면, 새로운 한외여과 모듈(즉, 물 처리에서 사용되도록 놓이지 않음)은 약 1시간의 온수 사이클로 헹궈질 수도 있다. 사이클은 일반적으로 필터 모듈의 유출구에서 물 내 오염물질의 농도를 안정화시키기에 충분하다. 방법은 필요한 품질의 물을 달성하기에 필요한 만큼 많은 사이클을 수행하는 것을 포함할 수도 있다. 그러나, 일부 실시형태에서, 약 1 내지 약 10개의 사이클이 수행될 수도 있다. 예를 들어, 원하는 품질의 물이 필터 모듈의 유출구에서 측정되기 전에 약 3 내지 약 8개의 사이클이 수행될 수도 있거나 또는 약 4 내지 약 6개의 사이클이 수행될 수도 있다. 일반적으로, 사이클의 수는 컨디셔닝 방법의 시작 때 수원의 품질 및 필터 모듈의 상태에 의존적일 수도 있다.
방법은 온수로 헹군 후 주위 온도에서 수원으로 필터 모듈을 플러싱하는 것을 포함할 수도 있다. 수원은 일반적으로 필터 모듈을 플러싱할 때 가열되지/냉각되지 않을 수도 있다. 필터 모듈은 약 2 내지 약 40gpm의 유량의 물로 플러싱될 수도 있다. 일반적으로, 적어도 필터 모듈이 가열된 물에 대한 유량보다 주위 온도 물에 대한 더 높은 유량을 견디는 경향이 있기 때문에, 플러싱에 대한 유량은 필터 모듈을 헹구기 위한 유량 초과일 수도 있다. 예를 들어, 필터 모듈은 약 5gpm 내지 약 40gpm, 약 7.5gpm 내지 약 40gpm, 또는 약 15gpm 내지 약 40gpm의 유량의 물로 플러싱될 수도 있다.
부가적으로, 필터 모듈 및 컨디셔닝 시스템은 가열된 물보다 주위 온도 물로부터의 더 높은 탁도를 견딜 수도 있다. 따라서, 주위 온도 물은 필터 모듈로부터 잔여 오염물질을 플러싱하도록 더 큰 탁도로 제공될 수도 있다. 탁도는 주위 온도 물을 제공하도록 사용되는 도관에 의존적일 수도 있다.
필터 모듈은 필터 모듈로부터 제거하기 힘든 오염물질을 퇴거하기에 충분한 미리 결정된 시간 기간 동안 플러싱될 수도 있다. 일반적으로, 필터 모듈은 가열된 물로 헹구기 위한 시간 기간 미만의 시간 기간 동안 주위 온도 물로 플러싱될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 필터 모듈은 약 5시간 미만 동안 주위 온도 물로 플러싱될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 필터 모듈은 약 1.5시간 미만 동안 주위 온도 물로 플러싱될 수도 있다. 예를 들어, 필터 모듈은 약 5시간 미만, 약 4시간 미만, 약 3시간 미만, 약 2시간 미만, 약 1.5시간 미만, 약 1.25시간 미만, 약 1.0시간 미만, 약 45분 미만, 또는 약 30분 미만 동안 주위 온도 물로 플러싱될 수도 있다. 필터 모듈은 수분, 예를 들어, 약 2분, 약 5분, 약 10분, 약 15분, 또는 약 20분 동안 플러싱될 수도 있다.
본 명세서에 개시된 컨디셔닝 방법은 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템에 의해 수행될 수도 있다. 시스템은 휴대용, 예를 들어, 이동식일 수도 있다. 컨디셔닝 방법은 필터 모듈을 고객에게 제공하기 전에, 제작 현장, 예를 들어, 필터 모듈 제작 현장에서 수행될 수도 있다. 컨디셔닝 방법은 고객의 시설에서, 예를 들어, 유지보수 영역에서(임의로, 필터 모듈에 대한 사용 지점 근처에서) 또는 필터 모듈이 설치 전에 설치되는 활주부에서 수행될 수도 있다.
또 다른 양상에 따르면, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템이 제공된다. 시스템은 일반적으로 열 교환기, 물 펌프, 및 제어기를 포함할 수도 있다. 열 교환기와 물 펌프는 서로에 대해 유체 흐름 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 사용 때, 열 교환기와 물 펌프는 유체 흐름 가능하게 연결될 수도 있다. 제어기는 열 교환기 및 물 펌프 중 적어도 하나에 작동 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 사용 때, 제어기는 열 교환기 및 물 펌프 중 적어도 하나에 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 제어기는 열 교환기 및 물 펌프에 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 시스템은 시스템 내에서 물 흐름을 향하게 하도록 구성 및 배열된 밸브를 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 밸브는 제어기에 작동 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 밸브는 제어기가 시스템 내에서 물을 향하게 하기 위한 밸브를 작동시킬 수도 있도록 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 시스템은 열 교환기를 우회하도록 구성 및 배열된 채널을 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 제어기는 물을 열 교환기로 또는 우회 채널로 선택적으로 향하게 하기 위한 밸브를 작동시킬 수도 있다.
시스템은 본 명세서에 개시된 방법을 구현하도록 필요할 때, 부가적인 펌프, 밸브, 또는 채널을 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 시스템은 압력 축적을 해제하도록 압력 제어 밸브 및/또는 압력 조절 밸브를 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 시스템은 시스템 내에 제어된 그리고/또는 일관된 기압을 제공하도록 공기 조절기를 포함할 수도 있다. 시스템은 시스템 내 역류를 방지하도록 점검 밸브를 더 포함할 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 시스템의 하나 이상의 컴포넌트는 내부식성 재료로 라이닝될 수도 있다. 본 명세서에 개시된 바와 같이, 컴포넌트가 재료로 "라이닝"되는 것은 컴포넌트를 재료로부터 구성하는 것을 포함할 수도 있고, 컴포넌트가 재료를 포함할 수도 있거나, 또는 컴포넌트가 본질적으로 재료로 이루어질 수도 있거나 또는 재료로 이루어질 수도 있다. 일반적으로, 재료로 라이닝된 컴포넌트는 사용 때, 물만이 라이닝 재료와 접촉하는 컴포넌트를 나타낼 수도 있다. 예를 들어, 컴포넌트의 다른 재료는 사용 중일 때 물과 실질적으로 접촉하지 않을 수도 있다. 일부 실시형태에서, 라이닝 재료는 물-접촉면을 덮을 수도 있다. 라이닝 재료는 물-접촉면 상의 층으로서 포함될 수도 있다.
예시적인 내부식성 재료는 내부식성 플라스틱을 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 내부식성 재료는 플루오로폴리머일 수도 있다. 예를 들어, 내부식성 재료는 에틸렌 테트라플루오로에틸렌(ETFE), 폴리비닐플루오라이드(PVF), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF), 퍼플루오로알콕시 알칸(PFA), 플루오로네이티드 에틸렌 프로필렌(FEP), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 에틸렌 클로로트라이플루오로에틸렌(ECTFE), 폴리클로로트라이플루오로에틸렌(PCTFE), 및 이들의 조합일 수도 있다. 내부식성 재료는 원하는 수온 및 탁도에서 안정성을 위해 선택될 수도 있다. 예를 들어, 내부식성 재료는 190℉(88℃)까지의 수온에서 안정할 수도 있다. 내부식성 재료는 난류에서 물에 대해 안정할 수도 있다.
금속 컴포넌트는 시스템에서 제한될 수도 있다. 시스템은 사용 중일 때 물과 접촉하는 금속 컴포넌트가 실질적으로 없을 수도 있거나 또는 없을 수도 있다. 일반적으로, 금속 컴포넌트는 금속 컴포넌트가 고온에서 안정성을 손실할 때 바람직하지 않을 수도 있다. 시스템 내 금속 컴포넌트는 고온 강도 및 고온 부식(예를 들어, 산화 및 탄화)에 대한 저항에 대해 선택될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 금속 컴포넌트는 티타늄, 인콜로이(Incoloy)(등록상표) 합금(뉴욕주 뉴 하트포드 소재의 Special Metals Corporation에 의해 배포됨), 하스텔로이(Hastelloy)(등록상표) 합금(뉴욕주 뉴 하트포드 소재의 Special Metals Corporation에 의해 배포됨) 및 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 시스템의 임의의 금속 컴포넌트는 스테인리스강이 실질적으로 없을 수도 있다.
시스템은 내부식성 재료로 라이닝된 열 교환기를 포함할 수도 있다. 열 교환기는 물의 온도를 조절하도록 활용될 수도 있다. 열 교환기는 물을 190℉(88℃)까지의 온도로 가열할 수 있는 임의의 편리한 유형일 수도 있다. 일부 실시형태에서, 열 교환기는 침지 열 교환기일 수도 있다. 따라서, 내부식성 라이닝은 일반적으로 다양한 물 탁도에 대해 190℉(88℃)까지의 수온에서 안정할 수도 있다. 일반적으로, 열 교환기는 공정수의 고순도를 보존하기 위해, 임의의 가열/냉각 유체 또는 기체로부터 격리되게 공정수를 유지해야 한다. 많은 경우에, 열 교환기는 물을 약 170℉(76℃) 내지 약 190℉(88℃), 예를 들어, 약 170℉, 약 175℉, 약 180℉, 약 185℉, 또는 약 190℉(76℃, 79℃, 82℃, 85℃, 88℃)의 온도로 가열하도록 구성될 수도 있다. 일부 드문 경우에, 열 교환기는 물을 약 170℉(76℃) 내지 약 190℉(88℃), (예를 들어, 170℉, 175℉, 180℉, 185℉, 190℉)(76℃, 79℃, 82℃, 85℃, 88℃)의 온도로 냉각하도록 구성될 수도 있다.
시스템은 열 교환기와 유체 연통하는 자기 부상 펌프를 포함할 수도 있다. 펌프는 물을 약 40분당 갤런(gallons per minute: gpm)까지의 유량으로 펌핑할 수도 있다. 펌프는 밀봉된 케이싱의 내부에 배치된 부유식 무접촉 임펠러를 포함할 수도 있다. 임펠러는 모터에 의해 생성된 자기장에 의해 구동될 수도 있다. 자기 부상의 원리에 기초하여, 임펠러는 다른 표면과 접촉하지 않을 수도 있다. 자기 부상 펌프는 자기 베어링을 포함할 수도 있다. 자기 부상 펌프는 예를 들어, 원심 펌프로서, 베어링이 실질적으로 없을 수도 있다. 자기 부상 펌프는 로타미터가 실질적으로 없을 수도 있다. 자기 부상 펌프의 이점은 입자의 생산 없음, 마모 없음, 및 윤활유 필요 없음을 포함한다. 이 이점의 각각은 시스템 내 수질을 고순도로 유지하는 것을 도울 수도 있다. 예시적인 자기 부상 펌프는 BPSTM 및 푸라레프(PuraLev)(등록상표) 시리즈(메사추세츠주 프레이밍햄 소재의 Levitronix사에 의해 배포됨)의 자기 부상 펌프를 포함한다.
특정한 실시형태에 따르면, 자기 부상 펌프는 내부식성 재료로 라이닝될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 임펠러 및 케이싱 중 적어도 하나는 내부식성 재료로 라이닝될 수도 있다. 자기 부상 펌프는 내부식성 플라스틱으로 라이닝될 수도 있다. 자기 부상 펌프는 사용 중인 동안 물과 접촉하는 임의의 컴포넌트 상의 스테인리스강이 없을 수도 있다. 예를 들어, 자기 임펠러 및/또는 케이싱은 사용 중인 동안 물과 접촉하는 표면 상의 스테인리스강이 실질적으로 없을 수도 있다.
시스템은 시스템 내 공정수를 운반하도록 구성 및 배열된 하나 이상의 채널을 포함할 수도 있다. 하나 이상의 채널은 내부식성 재료로 라이닝될 수도 있다. 내부식성 재료는 시스템 내 채널의 배치에 따라, 미리 결정된 온도 또는 탁도에 대해 안정하도록 선택될 수도 있다. 예를 들어, 시스템은 내부식성 재료로 라이닝된 우회 채널을 포함할 수도 있다. 우회 채널은 열 교환기를 우회하도록 구성 및 배열될 수도 있다. 내부식성 라이닝은 일반적으로 천이 흐름 및 난류에 대해 안정할 수도 있다. 파이프를 통한 흐름에 대해, 천이 흐름은 적어도 2100, 예를 들어, 적어도 2300의 레이놀즈 수를 특징으로 할 수도 있고, 난류는 적어도 4000의 레이놀즈 수를 특징으로 할 수도 있다. 시스템은 내부식성 재료로 라이닝된 열 교환기로부터 하류에 채널을 더 포함할 수도 있다. 이러한 채널을 위한 내부식성 라이닝은 고온 물에 대해 안정할 수도 있다.
시스템은 사용자 인터페이스를 더 포함할 수도 있다. 사용자 인터페이스는 시스템의 열 교환기, 자기 부상 펌프, 및 밸브 중 적어도 하나에 작동 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 사용 때, 사용자 인터페이스는 시스템의 열 교환기, 자기 부상 펌프, 및 밸브 중 적어도 하나에 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 사용자 인터페이스는 예를 들어, (열 교환기를 통해) 물의 온도, (자기 부상 펌프를 통해) 물의 유량, 및 (밸브, 예를 들어, 물을 열 교환기로 또는 우회 채널로 선택적으로 향하게 하는 밸브를 통해) 시스템을 통한 물의 흐름 경로를 제어하도록 조작자에 의해 채용될 수도 있다. 사용자 인터페이스는 조작자에 의해 수동으로(필요할 때) 제어될 수도 있고, 타이머에 따라, 또는 피드백에 응답하여 하나 이상의 작동을 수행하도록 프로그래밍될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사용자 인터페이스는 제어기에 작동 가능하게 연결 가능할 수도 있다.
시스템은 제어기를 포함할 수도 있다. 제어기는 하나 이상의 작동을 자동으로, 예를 들어, 또 다른 컴포넌트로부터의 피드백에 응답하여 수행하도록 프로그램 가능할 수도 있다. 제어기는 시스템의 열 교환기, 자기 부상 펌프, 및 밸브 중 적어도 하나에 작동 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 사용 때, 제어기는 시스템의 열 교환기, 자기 부상 펌프, 및 밸브 중 적어도 하나에 작동 가능하게 연결될 수도 있다.
제어기는 물을 열 교환기로 또는 채널로 선택적으로 향하게 하도록 구성될 수도 있다. 작동을 구현하기 위해, 제어기는 밸브에 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 제어기는 수원의 수질, 시스템의 유출구에서의 물의 수질, 또는 필터 모듈로부터 하류의 물의 수질에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 제어기는 TOC의 농도, 예를 들어, 수원 내 TOC의 농도 또는 시스템의 유출구에서의 물 내 TOC의 농도에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능할 수도 있다. 제어기는 입자(생물학적, 유기, 및 무기)의 농도, 예를 들어, 수원 내 입자의 농도 또는 필터 모듈로부터 하류의 물 내 입자의 농도에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능할 수도 있다. 입자의 농도는 약 1㎛, 약 100㎚, 약 50㎚, 약 14㎚, 약 10㎚, 또는 10㎚ 미만의 평균 크기를 가진 입자에 대해 측정될 수도 있다.
시스템은 수원, 시스템의 유출구에서의 물, 또는 필터 모듈로부터 하류의 물 중 적어도 하나의 수질을 결정하도록 구성된 하나 이상의 센서를 포함할 수도 있다. 센서는 온도, 유량, 압력, 또는 하나 이상의 오염물질의 농도, 예를 들어, 입자 크기 및 농도, TOC, 용해된 산소, 금속, 미생물, 실리카, 및 다른 것을 측정할 수도 있다. 센서는 예를 들어, 초음파 유량계, 온도 전송기, 및 공기 조절기를 포함할 수도 있다. 센서는 인라인 센서일 수도 있다. 일반적으로, 인라인 기기는 오염물질의 농도를 이러한 낮은 레벨에서 측정할 때 가장 큰 정확도를 제공할 수도 있다. 인라인 기기는 또한 시스템 내 오염을 감소시킬 수도 있다. 예시적인 인라인 입자 계수기는 노스캐롤라이나주 윌밍턴 소재의 카노맥스(Kanomax)(등록상표)에 의해 배포된 액체 입자 계수기이다.
하나 이상의 센서는 사용자 인터페이스 및/또는 제어기에 전기적으로 연결 가능할 수도 있다. 사용 때, 하나 이상의 센서는 사용자 인터페이스 및/또는 제어기에 전기적으로 연결될 수도 있다. 이러한 전기 연결은 하나 이상의 와이어를 통해 이루어질 수도 있거나 무선일 수도 있다. 사용자 인터페이스는 센서에 의해 측정된 하나 이상의 매개변수를 디스플레이할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사용자 인터페이스는 조작자에 대한 사용자 인터페이스 상에 디스플레이된 결과에 응답하여 필요한 또는 원하는 시스템 변화를 이루도록 작동될 수도 있다. 제어기는 센서에 의해 전달된 측정값에 응답하여 작동하도록 구성될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 제어기는 예를 들어, TOC의 측정값 또는 입자 농도에 응답하여, 열 교환기의 온도, 공정수의 유량을 변경하거나 또는 공정수를 열 교환기 또는 우회 채널로 선택적으로 향하게 하도록 구성될 수도 있다. 제어기는 물의 온도에 응답하여 유량을 변경하거나(예를 들어, 밸브가 공정수를 우회 채널로 향하게 하도록 배치될 때 펌프 속도를 증가시킴) 또는 필터 모듈의 유형, 크기, 용량, 및/또는 재료에 응답하여 유량을 변경하도록 구성될 수도 있다.
일부 비제한적인 실시형태에서, 시스템은 수원 내 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 유입구 센서 및 시스템의 유출구에서 물 내 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 유출구 센서를 포함할 수도 있다. 시스템은 수원 내 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 농도를 검출하도록 구성된 유입구 센서 및 시스템의 유출구에서 물 내 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자의 농도를 검출하도록 구성된 유출구 센서를 포함할 수도 있다. 유입구 센서 및 유출구 센서 중 적어도 하나는 제어기에 전기적으로 연결될 수도 있다. 필터 모듈의 유출구에서 10㎚ 이하의 크기를 가진 입자 및/또는 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 센서는 또한 제어기에 전기적으로 연결될 수도 있다.
일부 실시형태에서, 제어기는 필터 모듈의 크기 또는 용량의 표시(indication)에 응답하여 자기 부상 펌프의 속도를 설정하도록 더 프로그램 가능할 수도 있다. 필터 모듈의 크기 또는 용량은 제어기로 수동으로, 예를 들어, 사용자 인터페이스를 통해 전달될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 시스템은 필터 모듈의 크기 또는 용량을 검출하고 이에 따라 자기 부상 펌프의 속도(즉, 공정수의 유량)를 제어하도록 구성될 수도 있다. 일부 예시적인 비제한적 실시형태에서, 제어기는 시스템을 15gpm의 용량을 가진 필터 모듈에 대한 약 2gpm 내지 약 5gpm의 유량의 펌프 물, 35gpm의 용량을 가진 필터 모듈에 대한 약 3gpm 내지 약 7.5gpm의 유량의 펌프 물, 및 35gpm의 용량을 가진 필터 모듈에 대한 약 5gpm 내지 약 15gpm의 유량의 펌프 물에 대해 설정하도록 구성될 수도 있다. 제어기는 시스템을 약 40gpm까지의 유량의 주위 온도를 가진 펌프 물에 대해 설정하도록 구성될 수도 있다. 일반적으로, 유량은 필터 모듈의 유형 및 재료에 따라 선택될 수도 있다. 유량은 시스템의 유출구에서의 물의 온도에 따라 선택될 수도 있다.
시스템은 수원에 유체 흐름 가능하게 연결 가능한 유입구를 포함할 수도 있다. 수원은 일반적으로 오염을 시스템에 제공하는 것을 방지하고, 제한하거나 또는 회피하기에 충분한, 원하는 품질의 것일 수도 있다. 특정한 실시형태에 따르면, 수원은 고순도의 물일 수도 있다. 수원은 예를 들어, 약 1ppm 미만, 약 100ppb 미만, 또는 10ppb 미만의 TOC의 저 농도를 가질 수도 있다. 고순도의 물의 예는 초순수 및 국제 표준화 기구(International Organization for Standardization: ISO)에 의해 확립된 바와 같은 등급(1 내지 3) 또는 미국 재료 시험 협회(American Society for Testing and Materials: ASTM) 인터내셔널에 의해 확립된 바와 같은 유형(I 내지 IV)의 물을 포함한다. 수원은 초순수일 수도 있다. 일부 특정한 비제한적인 실시형태에서, 초순수는 25℃에서 약 18.18 MΩ/㎝의 저항률을 갖는다. 초순수는 실험실 초순수(예를 들어, 1μg/L TOC 미만, 생물학적, 유기, 및 무기 물질의 200개 입자/ℓ 미만, 0.1μg/L 미만의 비휘발성 잔여물, 0.5μg/L 미만의 실리카, 다른 원소의 0.01μg/L 미만, 이온 화합물의 0.05μg/L 미만, 미생물학적 입자의 CFU/100㎖ 미만, 또는 미국 약전 또는 반도체 장비 및 재료 국제 표준에 의해 제시된 지침을 충족하는 임의의 다른 매개변수)에 대한 기준을 충족할 수도 있다.
수원은 ASTM 인터내셔널에 의해 확립된 바와 같은, 유형(E1 내지 E4)(E1.1 내지 E1.3을 포함함)의 전자기기 및 반도체 등급의 초순수일 수도 있다. 예를 들어, 수원은 1000μg/L 미만의 TOC(예를 들어, 300μg/L 미만, 50μg/L, 5μg/L, 2μg/L, 또는 1μg/L TOC), 25μg/L 미만의 용해된 산소(예를 들어, 10μg/L 미만, 5μg/L, 또는 3μg/L 용해된 산소), 1.0㎛의 평균 크기를 가진 생물학적, 유기, 또는 무기 입자의 100개 입자/ℓ 미만(예를 들어, 20개 입자/ℓ 미만 또는 1개 입자/ℓ), 1000μg/L 미만의 실리카(예를 들어, 50μg/L 미만, 10μg/L, 5μg/L, 3μg/L, 1μg/L, 또는 0.5μg/L의 실리카), 10CFU/L 미만의 미생물(예를 들어, 5CFU/L 미만, 3CFU/L, 또는 1CFU/L의 미생물), 10㎛의 평균 크기를 가진 SEM 입자의 100,000SEM개 입자/ℓ 미만(예를 들어, SEM 입자의 50개 입자/ℓ 미만, 30개 입자/ℓ, 또는 10개 입자/ℓ)을 가질 수도 있다. 수원은 25℃에서 약 18.2 MΩ/㎝ 미만, 예를 들어, 약 18.1 MΩ/㎝, 약 16.5 MΩ/㎝, 약 12 MΩ/㎝, 또는 약 0.5 MΩ/㎝의 저항률을 가질 수도 있다.
수원은 (예를 들어, 응집 또는 침전제의 첨가, 정화기, 침전 탱크 또는 미립자 여과 시스템. 예를 들어, 모래 필터, 일회용 필터 소자, 한외여과 막 또는 다른 막의 사용, 및/또는 녹사, 활성탄, 합성 재료 또는 다공성 수지를 포함하는 흡수/포착 베드의 사용에 의한) 모든 부유식 물질의 제거를 위해 처리될 수도 있다. 수원은 (예를 들어, 이온 교환 시스템, 역삼투, 전기투석, 전기 탈이온화, 및/또는 연속적인 전기 탈이온화의 사용에 의한) 담수화를 위해 처리될 수도 있다. 수원은 (예를 들어, 과산화수소 또는 오존, 및/또는 자외선 처리에 의한) 유기 또는 생물학적 물질의 제거를 위해 처리될 수도 있다. 수원은 (예를 들어, 미세 다공성 막에 의한) 생물학적, 유기, 및 무기 입자의 제거를 위해 처리될 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 수원은 필터 모듈에 의해 처리되는 물일 수도 있다. 시스템의 유입구는 필터 모듈로부터 하류에 유체 흐름 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 사용 때, 시스템의 유입구는 필터 모듈로부터 하류에 유체 흐름 가능하게 연결될 수도 있다. 예를 들어, 컨디셔닝 시스템의 유입구는 시스템이 컨디셔닝하도록 구성되는 한외여과 모듈로부터 하류에 유체 흐름 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 이러한 배열에서, 필터 모듈에 의해 처리된 물의 일부는 컨디셔닝 시스템의 유입구로 재지향될 수도 있다.
시스템은 자기 부상 펌프로부터 하류에 배치된 유출구를 포함할 수도 있다. 유출구는 컨디셔닝을 위해 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결 가능할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 유출구는 물의 전달을 턴 온하거나 턴 오프하기 위한 밸브를 포함할 수도 있다. 유출구는 필터 모듈로의 물의 전달을 위한 하나 이상의 구성을 가진 노즐을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 노즐은 공정수를 좁은 스트림, 넓은 샤워, 또는 이들의 조합으로서 배출하도록 구성될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 사용자 인터페이스 및/또는 제어기는 유출구의 밸브 또는 노즐에 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 조작자 또는 제어기는 필터 모듈의 유출구에서의 수질에 응답하여 필터 모듈로의 공정수의 전달을 차단하도록 선택할 수도 있다. 조작자 또는 제어기는 필터 모듈의 유형, 크기 및/또는 재료에 응답하여 공정수의 스트림을 선택할 수도 있다. 조작자 또는 제어기는 공정수(예를 들어, 가열된 물 또는 주위 온도 물)의 온도에 응답하여 공정수의 스트림을 선택할 수도 있다.
시스템은 시스템의 하나 이상의 컴포넌트를 지지하는 기저부를 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 시스템은 열 교환기, 자기 부상 펌프, 채널, 및/또는 제어기를 지지하는 기저부를 더 포함할 수도 있다. 기저부는 시스템의 사용자 인터페이스 및/또는 임의의 밸브, 부가적인 채널, 부가적인 펌프를 지지하도록 더 배치될 수도 있다. 일반적으로, 기저부를 시스템을 휴대하기 쉽게 만들도록 구성될 수도 있다. 기저부는 시스템의 컴포넌트를 함께 압축 구성으로 유지함으로써 시스템의 수송의 용이성을 제공할 수도 있다. 기저부는 이동-가능 소자, 예를 들어, 바퀴 및/또는 트랙을 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 기저부는 필터 모듈을 컨디셔닝할 때 시스템의 사용의 용이성을 제공할 수도 있다. 이동-가능 소자는 360° 이동 범위를 제공할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 필터 모듈은 처리를 위해 기저부에 장착될 수도 있다.
시스템은 하나 이상의 전력 컴포넌트를 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 시스템은 시스템을 켜거나 또는 끄기 위한 전력 연결해제 스위치를 포함할 수도 있다. 시스템은 전력 변압기 그리고 임의로, 전력 공급 연결해제부를 포함할 수도 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 예시적인 시스템(100)은 서로에 대해 유체 흐름 가능하게 연결된 열 교환기(110) 및 자기 부상 펌프(120)를 포함할 수도 있다. 열 교환기(110) 및 자기 부상 펌프(120)는 각각 유입구로부터 하류에 그리고 유출구로부터 상류에 배치될 수도 있다. 유입구는 수원(180)으로부터 물을 수용하도록 구성될 수도 있다. 채널(160)은 열 교환기(110)를 우회하도록 포함될 수도 있다. 채널(160)의 유입구에서, 밸브(162)는 물을 채널(160) 또는 열 교환기(110)로 선택적으로 향하게 할 수도 있다. 제어기(130)는 제어기(130)가 밸브(162)를 작동시킬 수도 있도록 밸브(162)에 작동 가능하게 연결될 수도 있다. 시스템은 시스템 매개변수를 측정하도록, 하나 이상의 센서, 예를 들어, 유입구 센서(170) 및 유출구 센서(172)를 포함할 수도 있다. 센서(170, 172)는 제어기(130)에 전기적으로 연결될 수도 있다. 제어기(130)는 필터 모듈의 유출구에 배치된 센서(174)에 더 전기적으로 연결될 수도 있다. 사용자 인터페이스(140)는 센서(170, 172, 174)에 의해 획득된 측정값을 디스플레이하고/하거나 조작자가 하나 이상의 시스템 컴포넌트를 제어하게 하도록 제공될 수도 있다.
도 1에 도시된 실시형태에서, 열 교환기(110)는 자기 부상 펌프(120)로부터 상류에 배치된다. 우회 채널(160)은 자기 부상 펌프(120)의 별개의 유입구에 유체 흐름 가능하게 연결된다. 이러한 실시형태에서, 자기 부상 펌프(120)는 밸브(162)에 의해 제공된 방향성에 따라, 가열된 물 또는 주위 온도 물을 처리할 수도 있다. 도 2에 도시된 대안적인 실시형태에서, 자기 부상 펌프(120)는 열 교환기(110)로부터 상류에 배치된다. 우회 채널(160)은 자기 부상 펌프(120)로부터 하류에 배치된다. 이러한 실시형태에서, 자기 부상 펌프(120)는 주위 온도 물을 처리할 수도 있다.
도 3a 및 도 3b는 예시적인 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 사시도이다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 시스템은 수송의 용이성을 위해 기저부(150)에 배치된다. 기저부(150)는 이동-가능 소자(152)(도 3a 및 도 3b에서, 바퀴)를 포함할 수도 있다. 기저부(150)는 조작의 용이성을 위해 핸들(154)을 더 포함할 수도 있다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같은 시스템에 대한 예시적인 치수는 예를 들어, 약 60 내지 70인치 길이(60인치, 65인치, 70인치)(152㎝, 165㎝, 178㎝); 약 25 내지 35인치 폭(25인치, 30인치, 35인치)(63㎝, 76㎝, 89㎝); 약 70 내지 80인치 높이(70인치, 75인치, 80인치)(178㎝, 190㎝, 203㎝)일 수도 있다.
도 3a 및 도 3b의 예시적인 시스템은 자기 부상 펌프(110) 및 열 교환기(120)를 더 포함할 수도 있다. 전력 연결해제 스위치(102)는 시스템을 개방하거나 또는 폐쇄하도록 사용될 수도 있다. 예를 들어, 전력 연결해제 스위치(102)는 제어기(130) 또는 사용자 인터페이스(140)를 개방하거나 또는 폐쇄하도록 사용될 수도 있다. 시스템은 전력 변압기(104)를 더 포함할 수도 있다. 시스템은 전력 공급 신속 연결해제부(106)를 더 포함할 수도 있다. 시스템은 하나 이상의 센서를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 도 3a 및 도 3b의 예시적인 시스템은 초음파 유량계(178) 및 온도 전송기(176)를 포함한다. 시스템은 샘플 포트(182)를 포함할 수도 있다. 시스템은 하나 이상의 밸브 또는 점검 밸브를 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 도 3a 및 도 3b의 예시적인 시스템은 점검 밸브(168), 압력 제어 밸브(164), 및 압력 조절 밸브(166)를 포함한다. 시스템은 공기 조절기(132)를 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 예를 들어, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 필터 모듈(190)은 시스템의 기저부(150)에 장착 가능할 수도 있다. 이러한 시스템은 필터 모듈 리젝트 유량계(192)를 더 포함할 수도 있다.
본 명세서에 개시된 방법은 수원(170) 내 TOC의 농도를 측정하는 것, 수원(110)을 가열하는 것, 필터 모듈을 가열된 물로 헹구는 것, 필터 모듈을 주위 온도를 가진 물로(예를 들어, 우회 채널(160)을 통해 열 교환기를 우회하는 물로) 플러싱하는 것, 및 필터 모듈을 가열된 물(110)로 헹구는 것과 필터 모듈을 주위 온도 물(160)로 헹구는 것을 순환하는 것을 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 가열된 물 및/또는 주위 온도 물의 유량은 제어될 수도 있다(120).
일반적으로, 본 명세서에 개시된 시스템은 1개 초과의 포트를 가진 임의의 필터 모듈에 대해 조정 가능하다. 일부 실시형태에서, 시스템은 적어도 하나의 유입구 및 하나의 유출구, 예를 들어, 하나의 침투구를 가진 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결된다. 필터 모듈은 부가적으로 적어도 하나의 리젝트 포트를 가질 수도 있다. 필터 모듈은 4개의 포트, 예를 들어, 1개의 유입구, 1개의 리젝트 포트, 및 2개의 침투 포트를 가질 수도 있다. 어댑터 피스가 필터 모듈을 컨디셔닝 시스템에 연결시키도록 제공될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 어댑터 피스는 컨디셔닝 시스템 상의 1 내지 1/2"의 위생 호스 연결부에 연결되도록 구성될 수도 있다.
부가적인 실시형태는 필터 모듈 처리의 용이성을 위해 제공된다. 특정한 실시형태에서, 예를 들어, 활주식 필터 모듈 연결부가 이용 가능한 경우에, 컨디셔닝 시스템을 격리된 서비스 모듈의 옆에 위치시키고 필터를 제거하는 일 없이 모듈의 처리를 위한 시스템과 유체 흐름 가능하게 연결되는 것이 가능할 수도 있다. 이 실시형태는 필터 모듈의 유지보수를 위해 특히 유용할 수 있다.
또 다른 양상에 따르면, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하는 방법이 제공된다. 방법은 예를 들어, 도 1 및 도 2(시스템(100))에 도시된 바와 같이 그리고 본 명세서에 설명된 바와 같이, 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 제공하는 것을 포함할 수도 있다. 방법은 컨디셔닝 시스템을 설치하고/하거나 본 명세서에 개시된 방법 중 하나의 방법에 따라 컨디셔닝 시스템을 작동시키기 위한 명령어를 제공하는 것을 더 포함할 수도 있다. 특정한 실시형태에서, 방법은 컨디셔닝 시스템을 컨디셔닝 시스템의 유입구를 통해 고순도의 수원에 유체 흐름 가능하게 연결시키기 위한 명령어를 제공하는 것을 포함할 수도 있다. 방법은 컨디셔닝 시스템을 컨디셔닝 시스템의 유출구를 통해 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결시키기 위한 명령어를 제공하는 것을 더 포함할 수도 있다. 방법은 시스템을 전력원에 연결시키고/시키거나 전력을 시스템에 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
특정한 실시형태에서, 방법은 명령 받은 임의의 유체 연결을 수행하는 것을 더 포함할 수도 있다. 따라서, 방법은 컨디셔닝 시스템의 유입구를 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결시키는 것 및 컨디셔닝 시스템의 유출구를 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결시키는 것을 포함할 수도 있다.
특정한 실시형태에서, 조작자는 컨디셔닝 시스템을 컨디셔닝될 동일한 필터 모듈에 의해 생산되는 고품질의 물로 작동시키길 원할 수도 있다. 이 방식은 필터 모듈의 현장 처리에 편리할 수도 있다. 방법은 컨디셔닝 시스템의 유입구를 필터 모듈의 유출구에 유체 흐름 가능하게 연결시키는 것을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 조작자는 컨디셔닝 시스템의 유출구를 한외여과 모듈의 유입구에 유체 흐름 가능하게 연결시킴으로써 한외여과 모듈을 컨디셔닝하도록 명령 받을 수도 있다. 이러한 실시형태에서, 방법은 컨디셔닝 시스템의 유입구를 한외여과 모듈의 유출구에 유체 흐름 가능하게 연결시키는 것을 더 포함할 수도 있다. 효율을 위해, 필터 모듈의 유출구는 컨디셔닝 시스템의 유입구에 연결되는, 물의 일부를 흘리기 위한 포트를 포함할 수도 있다. 필터 모듈은 정상적으로 계속해서 작동할 수도 있다.
일부 실시형태에서, 방법은 수원 내 오염물질의 농도를 측정하도록 구성된 유입구 센서를 설치하는 것을 더 포함할 수도 있다. 방법은 자기 부상 펌프로부터 하류에서 물 내 오염물질의 농도를 측정하도록 구성된 유출구 센서를 설치하는 것을 더 포함할 수도 있다. 방법은 작동을 위해 제어기를 유입구 센서 및 유출구 센서에 전기적으로 연결시키는 것을 더 포함할 수도 있다. 일부 실시형태에서, 방법은 제어기를 필터 모듈의 유출구에서 물 내 오염물질의 농도를 측정하도록 구성된 센서에 전기적으로 연결시키는 것을 포함할 수도 있다. 센서는 이전에 설명된 바와 같이, 인라인 센서일 수도 있다. 센서는 이전에 설명된 바와 같은 임의의 오염물질을 측정하도록 구성될 수도 있다. 방법은 제어기를 우회 채널 밸브에, 자기 부상 펌프에 그리고/또는 열 교환기에 연결시키는 것을 더 포함할 수도 있다. 제어기는 이전에 설명된 바와 같이 작동되도록 프로그래밍될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 제어기는 필요할 때 본 명세서에 설명된 방법에 의해 작동되도록 하나 이상의 부가적인 밸브, 펌프, 또는 다른 컴포넌트에 더 전기적으로 연결될 수도 있다.
특정한 실시형태에 따르면, 방법은 필터 모듈과 함께 컨디셔닝 시스템을 작동시키기 전에 컨디셔닝 시스템을 전처리하기 위한 명령어를 제공하는 것을 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 명령어는 컨디셔닝 시스템을 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결시키기 전에 컨디셔닝 시스템을 플러싱하도록 제공될 수도 있다. 특정한 실시형태에 따르면, 컨디셔닝 시스템의 유입구 및 컨디셔닝 시스템의 유출구에서의 오염물질의 농도가 측정될 수도 있다. 컨디셔닝 시스템은 컨디셔닝 시스템의 유출구에서의 오염물질의 농도가 컨디셔닝 시스템의 유입구에서의 오염물질의 농도와 상당히 유사해질 때까지 전처리될 수도 있다. 따라서, 조작자는 컨디셔닝 시스템이 오염물질을 공정수에 제공하지 않는 것을 보장할 수 있다. 상당히 유사한 농도는 서로의 약 5% 이내, 약 3% 이내, 약 2% 이내, 약 1% 이내, 약 0.5% 이내, 약 0.1% 이내, 약 0.05% 이내, 또는 약 0.01% 이내일 수도 있다.
또 다른 양상에서, 컨디셔닝 서비스를 제공하는 방법이 또한 개시된다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 컨디셔닝 시스템(100)은 사용 전의 모듈의 컨디셔닝을 위해 또는 유지보수를 위해 고객에게 일시적으로 제공될 수도 있다. 컨디셔닝 시스템은 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결될 수도 있고 방법은 서비스 제공으로서 고객의 현장에서 수행되었다. 일부 실시형태에서, 컨디셔닝 시스템을 유체 흐름 가능하게 연결시키기 위한 명령어가 제공될 수도 있다. 컨디셔닝 후 수질은 성능이 사용 전의 특정한 고객 필요조건을 충족시키는 것을 보장하도록 모니터링될 수도 있다. 수질은 유지보수가 요구될 수도 있을 때를 결정하도록 사용 동안 모니터링될 수도 있다. 일부 실시형태에서, 유지보수 일정은 유지보수 기간 사이의 평균 사용량을 결정하기에 충분한 시간 기간 동안 수질을 측정함으로써 선택될 수도 있다. 유지보수는 반년마다, 1년마다, 2년마다, 또는 필요할 때(예를 들어, 입자파 또는 유압 충격 사건 후) 일정이 정해질 수도 있고/있거나 수행될 수도 있다.
예언적 실시예
한외여과 모듈의 부분은 물 처리를 위해 설치되기 전에 컨디셔닝될 수도 있다. 제1 컨디셔닝 사이클에서, 한외여과 모듈의 부분은 1시간 동안 185℉의 온도에서 물로 헹궈질 수도 있다. 4000ppb TOC의 초기 농도는 한외여과 모듈로부터 하류에서 기록된다. 헹굼 동안, TOC의 농도는 200ppb로 안정화된다. 한외여과 모듈의 부분은 하류의 물이 배수되는 경우에 주위 온도 물(70℉)로 플러싱될 수도 있다.
제2 컨디셔닝 사이클에서, 부분은 1시간 동안 185℉의 온도에서 물로 헹궈질 수도 있다. 4000ppb TOC의 초기 농도는 한외여과 모듈로부터 하류에서 기록된다. 제2 헹굼 동안, TOC의 농도는 200ppb로 안정화된다. 부분은 하류의 물이 배수되는 경우에 주위 온도 물(70℉)로 다시 플러싱될 수도 있다.
제3 컨디셔닝 사이클에서, 부분은 1시간 동안 185℉의 온도에서 물로 헹궈질 수도 있다. 200ppb TOC의 초기 농도는 한외여과 모듈로부터 하류에서 기록된다. 헹굼 동안, TOC의 농도는 200ppb로 안정화된다. 임의로, 주위 온도 물(70℉)에 의한 제3 플러싱이 수행될 수도 있다.
방법은 한외여과 모듈의 모든 부분이 컨디셔닝될 때까지 연이은 부분에 대해 반복될 수도 있다.
본 명세서에 개시된 시스템 및 방법은 종래의 방법보다 더 짧은 시간으로 처리 전에 한외여과 모듈을 컨디셔닝하도록 채용될 수도 있다.
본 명세서에서 사용되는 용어 및 전문 용어는 설명의 목적을 위한 것이고 제한적인 것으로 간주되어서는 안 된다. 본 명세서에서 사용될 때, 용어 "복수"는 2개 이상의 항목 또는 컴포넌트를 나타낸다. 용어 "포함하는(comprising)", "포함하는(including)", "지닌(carrying)", "가진(having)", "함유하는(containing)", 및 "수반하는(involving)"은 작성된 설명 또는 청구항 등을 막론하여, 개방형 용어이고, 즉, "~를 포함하지만 이로 제한되지 않는"을 의미한다. 따라서, 이러한 용어의 사용은 이후에 나열된 항목, 및 이들의 등가물, 뿐만 아니라 부가적인 항목을 포함하는 것으로 여겨진다. 오직 천이구(transitional phrase), "~로 이루어진" 및 "~로 본질적으로 이루어진"은 청구항에 대해, 폐쇄형 또는 반폐쇄형 천이구이다. 청구항 소자를 수식하기 위한 청구항 내 서수 용어, 예컨대, "제1", "제2", "제3" 등의 사용은 자체가 방법의 작동이 수행되는 하나의 또는 일시적인 순서에 대한 또 다른 청구항 소자의 임의의 우선권, 우선도, 또는 순서를 함축하지 않지만, 단지 동일한 명칭(하지만 서수 용어의 사용)을 가진 하나의 청구항 소자로부터 특정한 명칭을 가진 또 다른 소자를 구별하여 청구항 소자를 구별하기 위한 라벨로서 사용된다.
따라서 적어도 하나의 실시형태의 수개의 양상을 설명하기 때문에, 당업자는 다양한 대안, 변경, 및 개선이 손쉽게 발생할 것임을 이해할 것이다. 임의의 실시형태에서 설명된 임의의 특징은 임의의 다른 실시형태의 임의의 특징에 포함될 수도 있거나 또는 임의의 특징으로 치환될 수도 있다. 이러한 대안, 변경, 및 개선은 본 개시내용의 일부인 것으로 의도되고 본 발명의 범위 내에 있는 것으로 의도된다. 따라서, 전술한 설명 및 도면은 오직 실시예이다.
당업자는 본 명세서에 설명된 매개변수 및 구성이 예시적이고 실제 매개변수 및/또는 구성이 개시된 방법 및 재료가 사용되는 특정한 적용에 의존할 것임을 이해해야 한다. 당업자는 또한 단지 개시된 특정한 실시형태에 대한 일상적인 실험, 등가물을 사용하는 것을 인지해야 하거나 또는 확인할 수 있다.

Claims (26)

  1. 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템(conditioning system)으로서,
    초순수 공급원(source of ultrapure water)에 유체 흐름 가능하게 연결 가능한 유입구;
    상기 유입구로부터 하류에 배치된 제1 내부식성 재료로 라이닝된(lined) 열 교환기;
    상기 열 교환기와 유체 연통(fluid communication)하는 자기 부상 펌프;
    상기 자기 부상 펌프로부터 하류에 배치되고 상기 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결 가능한 유출구;
    상기 열 교환기를 우회하도록 구성 및 배열된, 제2 내부식성 재료로 라이닝된 채널;
    물을 상기 열 교환기로 또는 상기 채널로 선택적으로 향하게 하도록 구성된 제어기로서, 상기 초순수 공급원 내 총 유기 탄소(total organic carbon: TOC)의 농도 및 상기 유출구에서의 물 내 TOC의 농도 중 적어도 하나에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능한, 상기 제어기; 및
    상기 열 교환기, 상기 자기 부상 펌프, 상기 채널 및 상기 제어기를 지지하는 기저부를 포함하는, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 초순수 공급원 내 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 유입구 센서 및 상기 유출구에서 초순수 내 TOC의 농도를 검출하도록 구성된 유출구 센서를 더 포함하되, 상기 유입구 센서 및 상기 유출구 센서 중 적어도 하나는 상기 제어기에 전기적으로 연결되는, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 유입구 센서 및 상기 유출구 센서 중 적어도 하나는 10㎚ 이하의 입자 크기를 검출하도록 더 구성되는, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 유입구는 상기 필터 모듈로부터 하류에서 유체 흐름 가능하게 연결 가능한, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 필터 모듈은 한외여과 모듈인, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 내부식성 재료는 190℉까지의 수온에서 안정한, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1 내부식성 재료 및 상기 제2 내부식성 재료 중 적어도 하나는 플루오로폴리머인, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 내부식성 재료 및 상기 제2 내부식성 재료 중 적어도 하나는 에틸렌 테트라플루오로에틸렌(ETFE), 폴리비닐플루오라이드(PVF), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF), 퍼플루오로알콕시 알칸(PFA), 플루오로네이티드 에틸렌 프로필렌(FEP), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 에틸렌 클로로트라이플루오로에틸렌(ECTFE), 폴리클로로트라이플루오로에틸렌 (PCTFE), 및 이들의 조합인, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 상기 시스템의 임의의 금속 컴포넌트는 스테인리스강이 실질적으로 없는, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 금속 컴포넌트 중 적어도 하나는 티타늄, 인콜로이, 하스텔로이, 및 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함하는, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  11. 제1항에 있어서, 상기 시스템은 휴대용인, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 자기 부상 펌프는 내부식성 플라스틱으로 라이닝되는, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  13. 제1항에 있어서, 상기 제어기는 상기 필터 모듈의 용량의 표시에 응답하여 상기 자기 부상 펌프의 속도를 설정하도록 더 프로그램 가능한, 필터 모듈을 위한 컨디셔닝 시스템.
  14. 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법으로서,
    초순수 공급원 내 총 유기 탄소(TOC)의 농도를 측정하는 단계;
    상기 초순수 공급원을 약 170℉ 내지 약 190℉로 가열하여 가열된 물을 생산하는 단계;
    상기 필터 모듈의 유출구에서 물 내 TOC의 농도를 안정화시키기에 충분한 제1 미리 결정된 시간 기간 동안 약 2 내지 약 15gpm의 제1 유량의 가열된 물로 상기 필터 모듈을 헹구는 단계;
    제2 미리 결정된 시간 기간 동안 약 2 내지 약 40gpm의 제2 유량의, 주위 온도를 가진 상기 초순수 공급원으로 상기 필터 모듈을 헹구는 단계로서, 상기 제2 유량은 상기 제1 유량 초과인, 상기 초순수 공급원으로 필터 모듈을 헹구는 단계; 및
    상기 필터 모듈의 상기 유출구에서의 상기 물이 14㎚ 미만의 입자 크기를 가진 입자의 100개/리터 미만을 가질 때까지 상기 필터 모듈을 상기 가열된 물로 헹구는 것과 상기 필터 모듈을 주위 온도에서 상기 초순수로 헹구는 것을 순환하는 단계를 포함하는, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 필터 모듈은 물 처리의 사용 전에 컨디셔닝되는, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 필터 모듈은 상기 필터 모듈의 상기 유출구에서의 상기 물 내 TOC의 농도가 2ppb 초과일 때 컨디셔닝되는, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법.
  17. 제14항에 있어서, 상기 필터 모듈의 용량에 응답하여 상기 제1 유량을 선택하는 단계를 더 포함하는, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 필터 모듈의 재료에 응답하여 상기 가열된 물의 온도를 선택하는 단계를 더 포함하는, 필터 모듈을 컨디셔닝하는 방법.
  19. 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법으로서,
    휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 제공하는 단계로서, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템은,
    제1 내부식성 재료로 라이닝된 열 교환기;
    상기 열 교환기와 유체 연통하는 자기 부상 펌프;
    상기 열 교환기를 우회하도록 구성 및 배열된, 제2 내부식성 재료로 라이닝된 채널; 및
    물을 상기 열 교환기로 또는 상기 채널로 선택적으로 향하게 하도록 구성된 제어기로서, 상기 열 교환기 및 상기 자기 부상 펌프로부터 상류의 물 내 총 유기 탄소(TOC)의 농도 및 상기 자기 부상 펌프로부터 하류의 물 내 TOC의 농도 중 적어도 하나에 응답하여 작동하도록 프로그램 가능한, 상기 제어기를 포함하는, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 제공하는 단계; 및
    상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유입구를 통해 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하고 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 유출구를 통해 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하기 위한 명령어를 제공하는 단계를 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 초순수 공급원 내 TOC의 농도를 측정하도록 구성된 유입구 센서 및 상기 자기 부상 펌프로부터 하류의 물 내 TOC의 농도를 측정하도록 구성된 유출구 센서를 설치하는 단계를 더 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 제어기를 상기 유입구 센서 및 상기 유출구 센서에 전기적으로 연결시키는 단계를 더 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  22. 제19항에 있어서, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 상기 유입구를 상기 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하고 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 상기 유출구를 상기 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하는 단계를 더 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 상기 유입구를 상기 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것은 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 상기 필터 모듈의 유출구에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것을 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  24. 제22항에 있어서, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 상기 유출구를 상기 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것은 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 한외여과 모듈의 유입구에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것을 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  25. 제24항에 있어서, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템의 상기 유입구를 상기 초순수 공급원에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것은 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 상기 한외여과 모듈의 유출구에 유체 흐름 가능하게 연결하는 것을 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
  26. 제1항에 있어서, 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 상기 필터 모듈에 유체 흐름 가능하게 연결하기 전에 상기 휴대용 필터 모듈 컨디셔닝 시스템을 플러싱(flush)하기 위한 명령어를 제공하는 단계를 더 포함하는, 필터 모듈의 컨디셔닝을 용이하게 하기 위한 방법.
KR1020207017924A 2017-12-20 2018-12-20 온수 카트 컨디셔닝 시스템 및 방법 KR20200097281A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762608214P 2017-12-20 2017-12-20
US62/608,214 2017-12-20
PCT/US2018/066673 WO2019126428A1 (en) 2017-12-20 2018-12-20 Hot water cart conditioning system and method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200097281A true KR20200097281A (ko) 2020-08-18

Family

ID=66992953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207017924A KR20200097281A (ko) 2017-12-20 2018-12-20 온수 카트 컨디셔닝 시스템 및 방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US11975294B2 (ko)
EP (1) EP3727647B1 (ko)
JP (1) JP7303187B2 (ko)
KR (1) KR20200097281A (ko)
CN (1) CN111491712A (ko)
IL (1) IL274985B2 (ko)
SG (1) SG11202004085VA (ko)
WO (1) WO2019126428A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102549174B1 (ko) * 2022-05-19 2023-06-30 삼성전자주식회사 한외여과막 모듈의 세정 방법 및 이를 이용한 초순수 제조 시스템의 관리 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116920581B (zh) * 2023-08-31 2024-04-19 浙江浙能迈领环境科技有限公司 用于天然气动力船舶的二氧化碳回收控制系统及其方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60261585A (ja) 1984-06-07 1985-12-24 Kubota Ltd 超純水の製造方法
BE904031A (fr) 1986-01-13 1986-05-02 Procedes Et Brevets Ind En Abr Dispositif et procede de brossage.
JPS62164903U (ko) * 1986-04-10 1987-10-20
EP0284052B1 (en) * 1987-03-25 1993-09-29 Hitachi, Ltd. Process for producing ultra-pure water and process for using said ultra-pure water
NL1009457C2 (nl) * 1998-06-19 1999-12-21 Sepeq B V Inrichting en werkwijze voor het filteren van een vloeistof.
JP2001336528A (ja) * 2000-05-25 2001-12-07 Ntn Corp 磁気浮上装置
JP4228732B2 (ja) 2003-03-14 2009-02-25 栗田工業株式会社 超純水製造システム
JP4793975B2 (ja) 2005-02-14 2011-10-12 日東電工株式会社 超純水用膜モジュールの洗浄方法
US20080245737A1 (en) * 2007-04-03 2008-10-09 Siemens Water Technologies Corp. Method and system for providing ultrapure water
US8741155B2 (en) 2007-04-03 2014-06-03 Evoqua Water Technologies Llc Method and system for providing ultrapure water
JP5245605B2 (ja) 2008-07-18 2013-07-24 栗田工業株式会社 濾過膜の洗浄方法及び超純水製造用濾過膜
JP2010044022A (ja) 2008-08-18 2010-02-25 Kurita Water Ind Ltd 検水の連続モニタリング方法および装置
GB0818921D0 (en) * 2008-10-16 2008-11-19 Otv Sa Method of TOC monitoring
US7947176B1 (en) * 2009-12-11 2011-05-24 Tri-Flo International, Inc. Membrane fluid filtration and remediation system
WO2013040420A2 (en) * 2011-09-15 2013-03-21 Deka Products Limited Partnership Systems, apparatus, and methods for a water purification system
US9295181B2 (en) * 2012-11-08 2016-03-22 International Business Machines Corporation Coolant-conditioning unit with automated control of coolant flow valves
JP6048274B2 (ja) 2013-03-27 2016-12-21 三浦工業株式会社 純水製造装置
JP6304259B2 (ja) 2013-10-04 2018-04-04 栗田工業株式会社 超純水製造装置
US20150166385A1 (en) 2013-12-16 2015-06-18 Hennesy Mechanical Sales, LLC Mobile water purification system and method
AU2016257925B2 (en) 2015-05-04 2021-12-02 Evoqua Water Technologies Llc Method and system for providing ultrapure water with flexible lamp configuration

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102549174B1 (ko) * 2022-05-19 2023-06-30 삼성전자주식회사 한외여과막 모듈의 세정 방법 및 이를 이용한 초순수 제조 시스템의 관리 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021506562A (ja) 2021-02-22
SG11202004085VA (en) 2020-07-29
US11975294B2 (en) 2024-05-07
WO2019126428A1 (en) 2019-06-27
EP3727647B1 (en) 2024-04-03
JP7303187B2 (ja) 2023-07-04
IL274985B1 (en) 2023-07-01
US20210086138A1 (en) 2021-03-25
IL274985B2 (en) 2023-11-01
EP3727647A4 (en) 2021-08-25
CN111491712A (zh) 2020-08-04
IL274985A (en) 2020-07-30
EP3727647A1 (en) 2020-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5925240A (en) Water treatment system having dosing control
US6099735A (en) Counter top reverse osmosis water purification system
US5919357A (en) Filter cartridge assembly
DK2883844T3 (en) PROCEDURE FOR ENERGY SAVING IN A WATER SUPPLY SYSTEM
US11702351B2 (en) Method and system for treating ultrapure water
JP2007533441A (ja) 流体の殺菌装置および殺菌のための方法
KR20200097281A (ko) 온수 카트 컨디셔닝 시스템 및 방법
US10527370B2 (en) Cooling process
KR20220024458A (ko) 수처리 시스템 및 그 사용 방법
JP4196222B2 (ja) 超純水製造用膜分離装置の洗浄装置
JP4296469B2 (ja) 超純水製造用膜分離装置の洗浄方法
US20230357056A1 (en) Method and System for Treating Ultrapure Water
Tate Reverse Osmosis
KR100810986B1 (ko) 왕복축동형 세정봉이 장착된 관형 분리막 시스템
KR20160134397A (ko) 수액 농축장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination