JP7302333B2 - 感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、硬化物の製造方法、積層体、及び電子部品 - Google Patents
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Description
[2]上記(D)成分が、2級チオール基を2つ以上有する多官能2級チオール化合物を含む、上記[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3]上記(D)成分が、ペンタエリスリトール骨格及びイソシアヌル環骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する2級チオール化合物を含む、上記[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4]上記(D)成分の含有量が、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として、0.02~1.0質量%である、上記[1]~[3]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[5]上記(A)成分が、光重合性官能基として(メタ)アクリロイル基を有する高分子量体を含む、上記[1]~[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[6]上記(A)成分が、炭素-窒素結合としてウレタン結合を有する高分子量体を含む、上記[1]~[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[7]上記(A)成分が、光重合性官能基として6以上のエチレン性不飽和基を有し、かつ重量平均分子量が2,500以上である高分子量体を含む、上記[1]~[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[8]上記(A)成分が、鎖状炭化水素骨格、脂環式骨格、及び芳香環骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する高分子量体を含む、上記[1]~[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[9]上記(B)成分が、ウレタン結合を有する低分子量体、イソシアヌル環を有する低分子量体、及び脂環式骨格を有する低分子量体からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、上記[1]~[8]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[10]上記(B)成分が、少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基及びウレタン結合を有する低分子量体を含む、上記[1]~[8]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[11]上記(C)成分が、下記一般式(C1)で表される化合物又は下記一般式(C2)で表される化合物を含む、上記[1]~[10]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[RC1、RC2及びRC3は、各々独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、又は炭素数1~6のアルコキシ基を示し、RC4及びRC5は、各々独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、又は炭素数6~12のアリール基を示す。水素原子以外のRC1~RC5は、各々置換基を有していてもよい。]
[RC6は、水酸基、炭素数1~6のアルコキシ基、又はアミノ基を示し、RC7及びRC8は、各々独立に、水素原子、炭素数1~8のアルキル基、炭素数6~12のアリール基、又は炭素数1~8のアルコキシ基を示す。RC7とRC8は、互いに結合して、炭素数3~16の環状構造を形成していてもよい。水酸基及び水素原子以外のRC6~RC8は、各々置換基を有していてもよく、置換基を有するアミノ基は、置換基同士が互いに結合して、炭素数3~12の環状構造を形成していてもよい。RC9は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、メルカプト基、又は酸素原子、窒素原子及び硫黄原子から選ばれる1種以上の原子を含んでいてもよい炭素数1~10の有機基を示す。]
[12](E)成分:ガラス転移温度が70~150℃であり、炭素-窒素結合を有さない高分子量体、を更に含有する、上記[1]~[11]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[13](F)成分:2級チオール基を有さないシラン化合物、を更に含有する、上記[1]~[12]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[14]上記[1]~[13]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いた感光層を有する、感光性樹脂フィルム。
[15]基板上に、上記[1]~[13]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物、又は上記[14]に記載の感光性樹脂フィルムを用いて感光層を設ける工程、該感光層の少なくとも一部に活性光線を照射して、光硬化部を形成する工程、及び、該感光層の光硬化部以外の少なくとも一部を除去し、樹脂パターンを形成する工程を順に有する、硬化物の製造方法。
[16]更に、上記樹脂パターンを加熱処理する工程を有する、上記[15]に記載の硬化物の製造方法。
[17]上記樹脂パターンの厚みが、70μm以上300μm以下である、上記[15]又は[16]に記載の硬化物の製造方法。
[18]上記[1]~[13]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物を備える積層体。
[19]上記硬化物の厚みが、70μm以上300μm以下である上記[18]に記載の積層体。
[20]上記[1]~[13]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物を備える電子部品。
本明細書において、「~」を用いて示された数値範囲は、「~」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示における実施形態に係る(以後、単に本実施形態と称する場合がある。)感光性樹脂組成物は、(A)成分:光重合性官能基及び炭素-窒素結合を有する高分子量体と、(B)成分:光重合性官能基を有する低分子量体と、(C)成分:光重合開始剤と、(D)成分:2級チオール化合物と、を含有する。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(A)成分として光重合性官能基及び炭素-窒素結合を有する高分子量体を含む。「高分子量体」とは、重量平均分子量(Mw)2,500以上である化合物を意味する。なお、本明細書において、重量平均分子量(Mw)の値は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ(GPC)法によって、テトラヒドロフラン(THF)を用いて標準ポリスチレン換算により求めた値である。
中でも、パターン形成性を向上させる観点から、脂環式ジイソシアネート化合物及び該ジイソシアネート化合物の多量体から適宜選択すればよく、特に、イソホロンジイソシアネート、及びイソシアヌレート型多量体(イソシアヌレート型ポリイソシアネート)から適宜選択すればよい。
以上のイソシアネート化合物は、単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
以上のジオール化合物は、単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらは、単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、カプロラクトン変性体は、例えば、上記(メタ)アクリレートの原料となるアルコール化合物(又はフェノール化合物)をε-カプロラクトンで変性したものを原料として用いて得られるものである。
これらの中でも、パターン形成性、及び感光性の観点から、UN-952、UN-954が好ましく、UN-954がより好ましい。
なお、以上の記載において、括弧内の官能基数、及びMwは、各々ウレタン(メタ)アクリレートに含まれる(メタ)アクリロイル基の総数、及び重量平均分子量である。
光重合性官能基数が6以上であれば、パターン形成性とともに、耐熱性、高温における硬化物の剛性を向上させることができる。一方、光重合性官能基数が30以下であれば、硬化物の剛性が向上し、かつ基板等との密着性が向上する。また、適度な粘度を有する樹脂組成物とすることができ、塗布性が向上し、塗布後の樹脂組成物に対して光照射を行った場合に、表面部分だけが急速に光硬化しやすく内部は光硬化が十分に進行しないといった現象を抑制でき、優れた解像度が得られるので、厚い感光層を形成した場合であっても優れたパターン形成性が得られる。更に、光硬化及び熱硬化の少なくとも一方の硬化を行った後、未反応の(メタ)アクリロイル基の残存をより少なくし、得られる硬化物の物性及び特性の変動をより抑制することができる。
重量平均分子量が2,500以上であれば、基板上に塗布した際に、塗布した組成物のだれの発生が抑制できるため、優れたフィルム形成性が得られる。また、厚い感光層を形成しやすく、硬化収縮による樹脂の応力が大きくなって信頼性が低下するという問題も抑えることができる。
一方、重量平均分子量が100,000以下であれば、塗布性が向上し、厚い感光層を形成しやすくなり、パターン形成性が向上する。また、現像液に対する溶解性も良好となるため、優れた解像度を発現させることができる。更に、硬化物の透明性が向上し、透明材料として要求される優れた透過率を有する硬化物を得ることができる。
得られる樹脂組成物のパターン形成性、塗布性、及び樹脂組成物の硬化物に要求する物性及び特性を考慮すると、(A)成分の含有量の上限値は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として、95質量%以下、85質量%以下、又は、75質量%以下から適宜選択すればよい。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(B)成分として、光重合性官能基を有する低分子量体を含有する。「低分子量体」とは、重量平均分子量が2,500未満である化合物を意味する。ここで、光重合性官能基を有する低分子量体がケイ素原子を有している場合であっても、後述する(F)成分のシラン化合物ではなく、光重合性官能基を有する低分子量体であることを優先して(B)成分に分類する。
(B1)成分は、パターン形成性を向上させる観点から、光重合性官能基を2つ以上有していてもよく、光重合性官能基を2~5つ有していてもよく、光重合性官能基を2つ又は3つ有していてもよく、3つ有していてもよい。
(B1)成分が有する光重合性官能基は、前述の(B)成分に含まれる光重合性官能基として説明されたものであり、パターン形成性を向上させる観点から、光重合性官能基として(メタ)アクリロイル基を有していてもよい。
(一般式(7)中、R4、R5及びR6は、各々独立に炭素数1~6のアルキレン基を示し、R7及びR8は、各々独立に水素原子又はメチル基を示し、R9は水素原子又は(メタ)アクリロイル基を示す。)
炭素数1~6のアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、イソプロピレン基、イソブチレン基、t-ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基等が挙げられ、これらの中でも、パターン形成性を向上させる観点から、エチレン基であってもよい。
(B1)成分は、単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
(B2)成分は、パターン形成性を向上させる観点から、光重合性官能基を2つ以上有していてもよく、光重合性官能基を2~6つ有していてもよく、光重合性官能基を2~4つ有していてもよく、光重合性官能基を2つ有していてもよい。
本明細書において、光重合性官能基として(メタ)アクリロイル基を有する(B2)成分を、単に「低分子量体のウレタン(メタ)アクリレート」と称することがある。
ここで、パターン形成性の向上等の観点から適宜選択するものとしては、同じ観点から高分子量体の生成に用いられるものとして適宜選択するものと同じものが例示される。
この反応生成物としては、例えば、下記一般式(8)で表される構造単位を有するものが挙げられる。
(B)成分として、(B2)成分を含有することによって、パターン形成性の改善効果が大きくなる。
(B3)成分は、パターン形成性を向上させる観点から、光重合性官能基を2つ以上有していてもよく、光重合性官能基を2~4つ有していてもよく、光重合性官能基を2つ有していてもよい。
(B3)成分が有する光重合性官能基は、前述の(B)成分に含まれる光重合性官能基として説明されたものであり、パターン形成性を向上させる観点から、光重合性官能基として(メタ)アクリロイル基を有していてもよい。
(B3)成分が有する脂環式骨格としては、特に制限されるものではないが、例えば、炭素数5~20の脂環式炭化水素骨格が挙げられる。脂環式炭化水素骨格としては、シクロペンタン骨格、シクロヘキサン骨格、シクロオクタン骨格、シクロデカン骨格、ノルボルナン骨格、ジシクロペンタン骨格、及び、トリシクロデカン骨格からなる群から選択される少なくとも1種であってもよい。これらの中でも、パターン形成性を向上させる観点から、トリシクロデカン骨格であってもよい。
上記(B1)~(B3)成分のうちの少なくとも2種以上を使用する場合、(B)成分の固形分全量中における、(B2)成分の含有量は、10質量%以上、15質量%以上、20質量%以上から適宜選択してもよい。(B2)成分の含有量が10質量%以上であれば、厚い感光層を形成した場合であっても優れたパターン形成性が得られ、また、硬化物の優れた剛性も得られる。これと同様の観点から、(B2)成分の上限値は、90質量%以下、80質量%以下、70質量%以下から適宜選択してもよい。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(C)成分として光重合開始剤を含む。(C)成分としては、(A)成分及び(B)成分の少なくとも1つを重合させることができるものであれば特に制限はなく、通常用いられる光重合開始剤から適宜選択することができる。パターン形成性を向上させる観点から、活性光線により遊離ラジカルを生成するもの、例えば、アシルホスフィンオキサイド系、オキシムエステル系、芳香族ケトン系、キノン系、アルキルフェノン系、イミダゾール系、アクリジン系、フェニルグリシン系、クマリン系等の光重合開始剤が挙げられる。
(RC1、RC2及びRC3は、各々独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、又は炭素数1~6のアルコキシ基を示し、RC4及びRC5は、各々独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、又は炭素数6~12のアリール基を示す。水素原子以外のRC1~RC5は、各々置換基を有していてもよい。)
RC1、RC2及びRC3が表す炭素数1~6のアルキル基は、炭素数1~3のアルキル基であってもよく、炭素数1又は2のアルキル基であってもよい。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、tert-ブチル基、n-ヘプチル基、n-ヘキシル基等が挙げられる。
RC1、RC2及びRC3が表す炭素数1~6のアルコキシ基は、炭素数1~3のアルコキシ基であってもよく、炭素数1又は2のアルコキシ基であってもよい。アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n-ブトキシ基、tert-ブトキシ基等が挙げられる。
これらの基の中でも、RC1、RC2及びRC3は、パターン形成性を向上させる観点から、メチル基であってもよい。
RC4及びRC5が表す炭素数1~6のアルキル基及び炭素数1~6のアルコキシ基は、RC1、RC2及びRC3の場合と同様に説明される。
RC4及びRC5が表す炭素数6~12のアリール基は、炭素数6~10のアリール基であってもよく、炭素数6~8のアリール基であってもよい。アリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基等が挙げられる。
RC6が表すアルコキシ基は、一般式(C1)におけるRC1、RC2及びRC3の場合と同様に説明される。
これらの基の中でも、RC6は、パターン形成性を向上させる観点から、水酸基であってもよい。
RC7及びRC8が表すアルキル基、アルコキシ基及びアリール基は、一般式(C1)におけるRC1~RC5が表すアルキル基、アルコキシ基及びアリール基と同様のものが挙げられる。
RC7及びRC8は、互いに結合して、炭素数3~16の環状構造を形成していてもよい。
上記環状構造は、炭素数4~10の環状構造であってもよく、炭素数5~8の環状構造であってもよい。
上記環状構造は、パターン形成性を向上させる観点から、脂環式構造であってもよく、脂環式構造としては、シクロペンタン構造、シクロヘキサン構造、シクロヘプタン構造、シクロオクタン構造等が挙げられる。また、これらの脂環式構造は、RC7及びRC8が共に直接結合する炭素原子を含んでいてもよい。
ただし、置換基を有するアミノ基は、置換基同士が互いに結合して、炭素数3~12の環状構造を形成していてもよい。
アミノ基の置換基が形成する環状構造は、炭素数3~10の環状構造であってもよく、炭素数3~5の環状構造であってもよい。
上記環状構造は、アミノ基の窒素原子を含む5~10員環であってもよく、アミノ基の窒素原子を含む5~7員環であってもよく、アミノ基の窒素原子を含む6員環であってもよい。さらに、これらの環状構造は、酸素原子等の窒素原子以外のヘテロ原子を含んでいてもよい。アミノ基の置換基が形成する環状構造の具体例としては、下記式(C3)で表される構造(モルホリノ基)が挙げられる。
RC9が表す炭素数1~10の有機基は、炭素数1~6の有機基であってもよく、炭素数1~4の有機基であってもよい。
RC9が表す炭素数1~10の有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アリール基等の炭化水素基であってもよい。これらのアルキル基、アルケニル基及びアリール基としては、上記一般式(C1)におけるRC1~RC5が表すアルキル基、アルケニル基及びアリール基と同様のものが挙げられる。
RC9が表す酸素原子を含む炭素数1~10の有機基としては、例えば、炭素数1~10のアルコキシ基等が挙げられる。
RC9が表す窒素原子を含む炭素数1~10の有機基としては、例えば、上記一般式(C3)で表される基が挙げられる。
RC9が表す硫黄原子を含む炭素数1~10の有機基としては、例えば、メチルチオ基等のアルキルチオ基などが挙げられる。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(D)成分として、2級チオール化合物を含有する。2級チオール化合物は、2級チオール基を有する化合物であり、感光性樹脂組成物中で連鎖移動剤として機能する。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(E)成分として、ガラス転移温度が70~150℃であり、炭素-窒素結合を有さない高分子量体を含有してもよい。「高分子量体」は、上記(A)成分における定義と同じである。(E)成分を含有することによって、感光性樹脂組成物のタックの抑制効果を有する。
RE2が表す脂肪族飽和炭化水素基としては、直鎖又は分枝状の炭素数1~6のアルキレン基、炭素数3~8のシクロアルキレン基、炭素数6~14のアリーレン基、及び、これらの組み合わせからなる2価の有機基等が挙げられる。アルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が挙げられる。シクロアルキレン基としては、例えば、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロオクチレン基等が挙げられる。アリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基等が挙げられる。これらの組み合わせからなる2価の有機基としては、例えば、-CH2-フェニレン基-CH2-、-CH2-シクロヘキシレン基-CH2-等が挙げられる。
RE2としては、パターン形成性の観点及びタック性の低減の観点から、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロへキシレン基、-CH2-フェニレン基-CH2-であってもよく、メチレン基、エチレン基、プロピレン基であってもよく、メチレン基であってもよい。
測定の前処理として、(E)成分を120℃、3時間で加熱した後、冷却し、サンプルを準備する。
該サンプル10mgを用いて、示差走査熱量計(株式会社島津製作所製、商品名:DSC-50)にて窒素気流下で、25~200℃の温度範囲、昇温速度20℃/分で昇温し、溶媒等の影響を排除する。25℃まで冷却した後、再度同条件下で昇温し、ベースラインの偏起の開始する温度をガラス転移温度とする。
また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、(F)2級チオール基を有さないシラン化合物を更に含有することができる。なお、2級チオール基を有するシラン化合物は、(D)成分に分類される。(F)成分としては、公知のシランカップリング剤を用いることができる。(F)成分は、電子部品の基板との接着性を向上させることができ、特に、該基板がケイ素を含有する基板(例えば、ガラス基板、シリコンウエハ、エポキシ樹脂含浸ガラスクロス基板等)の場合は有効である。シランカップリング剤としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のアルコキシシラン;(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、(メタ)アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等の(メタ)アクリロイル基含有アルコキシシラン;γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチルブチリデン)プロピルアミン等のアミン系アルコキシシラン;γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、グリシドキシプロピルメチルジイソプロペノキシシラン等のグリシドキシ基含有アルコキシシラン;2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルコキシシラン;3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイド基含有アルコキシシラン;3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプト基含有アルコキシシラン;トリエトキシシリルプロピルエチルカルバメート等のカルバメート基含有アルコキシシラン;3-(トリエトキシシリル)プロピルコハク酸無水物等の多塩基酸無水物基含有アルコキシシランなどが挙げられる。これらは、単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
より接着性を向上させる観点から、(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、(メタ)アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等の(メタ)アクリロイル基含有アルコキシシラン、グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、グリシドキシプロピルメチルジイソプロペノキシシラン等のグリシドキシ基含有アルコキシシランなどの、分子中にエチレン性不飽和基を有するシランカップリング剤を用いてもよい。
また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、更に(G)熱ラジカル重合開始剤を含有することができる。(G)成分としては、特に制限はなく、例えば、α,α’-ビス(t-ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキシド、t-ブチルクミルパーオキシド、ジ-t-ブチルパーオキシド等のジアルキルパーオキシド;メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、メチルシクロヘキサノンパーオキシド等のケトンパーオキシド;1,1-ビス(t-ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1-ビス(t-ブチルパーオキシ)-2-メチルシクロヘキサン、1,1-ビス(t-ブチルパーオキシ)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン、1,1-ビス(t-ヘキシルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1-ビス(t-ヘキシルパーオキシ)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン等のパーオキシケタール;p-メンタンヒドロパーオキシド等のヒドロパーオキシド;オクタノイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、ステアリルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド等のジアシルパーオキシド;ビス(4-t-ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ-2-エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ-2-エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ-3-メトキシブチルパーオキシカーボネート等のパーオキシカーボネート;t-ブチルパーオキシピバレート、t-ヘキシルパーオキシピバレート、1,1,3,3-テトラメチルブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、2,5-ジメチル-2,5-ビス(2-エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、t-ヘキシルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-ブチルパーオキシイソブチレート、t-ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t-ブチルパーオキシ-3,5,5-トリメチルヘキサノエート、t-ブチルパーオキシラウリレート、t-ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキシルモノカーボネート、t-ブチルパーオキシベンゾエート、t-ヘキシルパーオキシベンゾエート、2,5-ジメチル-2,5-ビス(ベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t-ブチルパーオキシアセテート等のパーオキシエステルなどの過酸化物系重合開始剤、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス(4-メトキシ-2’-ジメチルバレロニトリル)等のアゾ系重合開始剤などが挙げられる。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物と基板との接着性、耐熱性、硬化物の剛性等の諸特性を更に向上させる目的で、(H)成分を含有することができる。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、更に、増感剤、耐熱性高分子量体、熱架橋剤、上記(F)成分以外の接着助剤等の添加剤を含有することができる。
本実施形態の感光性樹脂組成物には、必要に応じて希釈剤を使用することができる。希釈剤としては、例えば、イソプロパノール、イソブタノール、t-ブタノール等の炭素数1~6のアルコール類;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン等のアミド類;ジメチルスルホキシド、スルホラン等の硫黄原子含有類;γ-ブチロラクトン、炭酸ジメチル等のエステル類;セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類、などの極性溶媒が挙げられる。これらは、単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、本実施形態の感光性樹脂組成物を用いた感光層を有する。本実施形態の感光性樹脂フィルムは、キャリアフィルムを有していてもよい。本明細書において、「層」との用語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。
本実施形態の硬化物の製造方法は、基板上に本実施形態の感光性樹脂組成物、又は感光性樹脂フィルムを用いて感光層を設ける工程(感光層形成工程)、該感光層の少なくとも一部に活性光線を照射して、光硬化部を形成する工程(露光工程)、及び、該感光層の光硬化部以外の少なくとも一部を除去し、樹脂パターンを形成する工程(除去工程)を順に有する。また、所望に応じて、更に、上記樹脂パターンを加熱処理する工程(加熱工程)を有する。本実施形態の硬化物の製造方法により、所望のパターン形成が可能となり、また、例えば、70μm以上という厚い感光層を形成した場合であっても優れたパターン形成性を有するという本実施形態の感光性樹脂組成物の特徴をいかし、例えば、70μm以上という厚い硬化物によって所望のパターン形成が可能となる。本明細書において、「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の作用が達成されれば、「工程」に含まれる。
感光層形成においては、本実施形態の感光性樹脂組成物、又は感光性樹脂フィルムを、各々基板上に塗布、又は積層することにより、感光層を形成することができる。
露光工程では、感光層形成工程にて基板上に設けた感光層に対して、必要に応じて少なくとも一部に活性光線を照射し、露光部を光硬化させて硬化部を形成する。活性光線を照射する際に、所望のパターンを有するマスクを介して感光層に活性光線を照射してもよく、また、LDI(Laser Direct Imaging)露光法、DLP(Digital Light Processing)露光法等の直接描画露光法により活性光線を照射してもよい。
除去工程では、露光工程で形成した感光層の硬化部以外の部分(未露光部)の少なくとも一部を除去し、樹脂パターンを形成する。未露光部の除去は、例えば、有機溶剤等の現像液を用いて行えばよい。
また、現像液として用いられる有機溶剤中には、通常用い得る各種添加剤を添加してもよい。
加熱工程は、必要に応じて採用される工程であり、除去工程で形成した樹脂パターンを加熱処理し、硬化物を形成する工程である。加熱処理は、加熱温度を選択して段階的に昇温しながら、1~2時間実施することが好ましい。加熱温度は、120~240℃、140~230℃、又は、150~220℃から適宜選択すればよい。また、段階的に昇温する場合は、例えば、120℃前後、160℃前後の少なくとも一方で、10~50分間、又は、20~40分間、加熱処理した後、220℃前後で、30~100分間、又は、50~70分間、加熱処理を行えばよい。
本実施形態の積層体は、本実施形態の感光性樹脂組成物の硬化物を備えるものであり、例えば、上記の硬化物の製造方法に用いられる基板、感光性樹脂フィルムのキャリアフィルム等の各種支持体の上に該硬化物を備えるものが挙げられる。本実施形態の感光性樹脂組成物の硬化物は、例えば、上記の本実施形態の硬化物の製造方法により形成することができる。
よって、本実施形態の積層体は、例えば、携帯電話等のモバイル端末における電子回路基板などの電子部品として用いることができる。
よって、本実施形態の積層体は、例えば、インダクタ等の電子回路基板などの電子部品として用いることができる。
重量平均分子量は、以下の装置を用い、GPC法で標準ポリスチレン換算により求めた値であり、ポリマー0.5mgをテトラヒドロフラン(THF)1mLに溶かした溶液を用いて測定した。
装置名:東ソー株式会社製 HLC-8320GPC
カラム:Gelpack R-420、R-430、及びR-440(3本つなぎ)
検出器:RI検出器
カラム温度:40℃
溶離液:THF
流速:1ml/分
標準物質:ポリスチレン
測定の前処理として、(E)成分を120℃、3時間で加熱した後、冷却し、サンプルを準備した。
該サンプル10mgを用いて、示差走査熱量計(株式会社島津製作所製、商品名:DSC-50)にて窒素気流下で、25~200℃の温度範囲、昇温速度20℃/分で昇温し、次いで、25℃まで冷却し、次いで、再度同条件下で昇温し、ベースラインの偏起の開始する温度をガラス転移温度とした。
表1又は表2に示す配合組成(表中の数値の単位は質量部であり、溶液の場合は固形分換算量である。)に従って組成物を配合し、3本ロールミルで混練し感光性樹脂組成物を調製した。固形分濃度が60質量%になるようにN,N-ジメチルアセトアミドを加えて、感光性樹脂組成物を得た。
厚み50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人株式会社製、商品名:A-4100)をキャリアフィルムとし、該キャリアフィルム上に、実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、乾燥後の厚みが50μmとなるように均一に塗布した。次いで、熱風対流式乾燥機を用いて100℃で15分間加熱して乾燥することにより感光層を形成し、キャリアフィルムと感光層とを有する感光性樹脂フィルムを作製した。
基板として、銅表面を有するガラスエポキシ基板(商品名:MCL-E-679FGB、日立化成株式会社製、以下、「Cu有り基板」とも言う)を用意した。上記基板上に、感光性樹脂フィルムを、感光層が該ガラスエポキシ基板側に位置する向きにして積層し、キャリアフィルムを除去した。積層は、ラミネータを用いて60℃にて行った。次いで、感光層上に、上記の方法で、感光性樹脂フィルムを再度積層し、キャリアフィルムを除去し、これを3回繰り返すことで、ガラスエポキシ基板上に厚み200μmの感光層とキャリアフィルムとを備える積層体を得た。
A:5~10μmのライン幅で形成可能であった。
B:5~10μmのライン幅では形成できなかったが、15~20μmのライン幅では形成可能であった。
C:20μm以下のライン幅で形成できなかった、又は、現像後に感光層が剥離した。
パターン形成性の評価で作製した現像後のCu有り基板について、感光層を現像により除去した部分の銅表面を金属顕微鏡を用いて観察することで現像残渣を評価した。評価は、ライン幅が10μmのライン間で、10μmが解像していない場合は最小のライン間で、パターン形成性が最も良好であった露光量で露光及び現像した場合の銅表面を観察し、下記の基準で行った。評価結果を表1及び表2に示す。この評価結果がAである場合を合格とする。
A:銅表面そのものの色味を示す。これは残渣がほとんど無いことを示す。
B:干渉縞(虹色)が観察される。これは残渣が少量あることを示す。
C:残渣の有機物(白色)が観察される。これは残渣が多量にあることを示す。
[(A)成分]
・UN-954:ウレタンアクリレート(根上工業株式会社製、商品名、官能基数:6、重量平均分子量(Mw):4,500)
・A-9300:イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、分子量:423、上記式(7-1)で表される化合物であり(B1)成分に該当する。)
・TMCH-5R:ウレタンアクリレート(日立化成株式会社製、商品名、官能基数:2、重量平均分子量(Mw):950、分子内にアクリロイル基(光重合性官能基)、ウレタン結合(炭素-窒素結合)、鎖状炭化水素骨格、及び脂環式炭化水素骨格を有する化合物であり、(B2)成分に該当する。)
・I-184:1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトンである「IRGACURE-184」(BASF社製、商品名)
・I-819:ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイドである「IRGACURE-819」(BASF社製、商品名)
・PE1:ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)である「カレンズMT PE1」(昭和電工株式会社製、商品名)
・NR1:1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオンである「カレンズMT NR1」(昭和電工株式会社製、商品名)
・Z250:サイクロマーP (ACA)Z250(ダイセル・オルネクス株式会社製、酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により生成した上記式(XI)で表される3つの構成単位からなる樹脂(重量平均分子量:19,000~25,000))。
・KBM-803:3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン(1級チオール化合物、信越化学工業株式会社製、商品名)
・KBM-503:3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業株式会社製、商品名)
Claims (19)
- (A)成分:光重合性官能基及び炭素-窒素結合を有する高分子量体と、(B)成分:光重合性官能基を有する低分子量体と、(C)成分:光重合開始剤と、(D)成分:2級チオール化合物と、を含有し、
前記(B)成分が、少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基及びウレタン結合を有する低分子量体を含む、感光性樹脂組成物。 - 前記(D)成分が、2級チオール基を2つ以上有する多官能2級チオール化合物を含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(D)成分が、ペンタエリスリトール骨格及びイソシアヌル環骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する2級チオール化合物を含む、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(D)成分の含有量が、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として、0.02~1.0質量%である、請求項1~3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(A)成分が、光重合性官能基として(メタ)アクリロイル基を有する高分子量体を含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(A)成分が、炭素-窒素結合としてウレタン結合を有する高分子量体を含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(A)成分が、光重合性官能基として6以上のエチレン性不飽和基を有し、かつ重量平均分子量が2,500以上である高分子量体を含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(A)成分が、鎖状炭化水素骨格、脂環式骨格、及び芳香環骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する高分子量体を含む、請求項1~7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(B)成分が、ウレタン結合を有する低分子量体、イソシアヌル環を有する低分子量体、及び脂環式骨格を有する低分子量体からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1~8のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(C)成分が、下記一般式(C1)で表される化合物又は下記一般式(C2)で表される化合物を含む、請求項1~9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
[RC1、RC2及びRC3は、各々独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、又は炭素数1~6のアルコキシ基を示し、RC4及びRC5は、各々独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、又は炭素数6~12のアリール基を示す。水素原子以外のRC1~RC5は、各々置換基を有していてもよい。]
[RC6は、水酸基、炭素数1~6のアルコキシ基、又はアミノ基を示し、RC7及びRC8は、各々独立に、水素原子、炭素数1~8のアルキル基、炭素数6~12のアリール基、又は炭素数1~8のアルコキシ基を示す。RC7とRC8は、互いに結合して、炭素数3~16の環状構造を形成していてもよい。水酸基及び水素原子以外のRC6~RC8は、各々置換基を有していてもよく、置換基を有するアミノ基は、置換基同士が互いに結合して、炭素数3~12の環状構造を形成していてもよい。RC9は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、メルカプト基、又は酸素原子、窒素原子及び硫黄原子から選ばれる1種以上の原子を含んでいてもよい炭素数1~10の有機基を示す。] - (E)成分:ガラス転移温度が70~150℃であり、炭素-窒素結合を有さない高分子量体、を更に含有する、請求項1~10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- (F)成分:2級チオール基を有さないシラン化合物、を更に含有する、請求項1~11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1~12のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いた感光層を有する、感光性樹脂フィルム。
- 基板上に、請求項1~12のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物、又は請求項13に記載の感光性樹脂フィルムを用いて感光層を設ける工程、該感光層の少なくとも一部に活性光線を照射して、光硬化部を形成する工程、及び、該感光層の光硬化部以外の少なくとも一部を除去し、樹脂パターンを形成する工程を順に有する、硬化物の製造方法。
- 更に、前記樹脂パターンを加熱処理する工程を有する、請求項14に記載の硬化物の製造方法。
- 前記樹脂パターンの厚みが、70μm以上300μm以下である、請求項14又は15に記載の硬化物の製造方法。
- 請求項1~12のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を備える積層体。
- 前記硬化物の厚みが、70μm以上300μm以下である請求項17に記載の積層体。
- 請求項1~12のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を備える電子部品。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
JP2008077067A (ja) | 2006-08-24 | 2008-04-03 | Jsr Corp | 感光性樹脂組成物、表示パネル用スペーサーおよび表示パネル |
WO2008146855A1 (ja) | 2007-05-29 | 2008-12-04 | Asahi Glass Company, Limited | 感光性組成物、隔壁、ブラックマトリックス |
WO2015072533A1 (ja) | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、及び、表示装置 |
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