JP7296011B2 - メンテナンスシステム - Google Patents

Description

本明細書は、メンテナンスシステムに関する技術を開示する。

特許文献１に記載のメンテナンス用基板は、ブラシ、清掃用ノズル、第１センサ、第２センサおよびブロアのうちの少なくとも一つを備える。ブラシは、メンテナンス対象物をブラッシングする。清掃用ノズルは、部品装着装置の作業ヘッドに取り付け可能に保持され、メンテナンス対象物にエアを吹き付ける。第１センサは、作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルから吹き出すエアの正圧または吸着ノズルに吸い込まれるエアの負圧を測定する。第２センサは、作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルによって部品が基板に装着されるときの装着荷重を測定する。ブロアは、作業ヘッドにエアを吹き付ける。

国際公開第２０１８／１３４８６７号

しかしながら、特許文献１に記載のメンテナンス用基板は、部品装着装置の搬送装置によって搬送される。そのため、メンテナンス作業は、部品装着装置による基板製品の生産の影響を受け易い。

このような事情に鑑みて、本明細書は、従来技術と異なる手法によって、部品装着機に設けられる機器をメンテナンス可能なメンテナンスシステムを開示する。

本明細書は、少なくとも一つのメンテナンスユニットと、搬送装置と、メンテナンス制御部とを備えるメンテナンスシステムを開示する。前記メンテナンスユニットは、基板に部品を装着する部品装着機に設けられる機器をメンテナンスする。前記搬送装置は、前記部品装着機の外部に設けられ、前記メンテナンスユニットを搭載した状態でメンテナンスが必要な前記機器を備える少なくとも一つの前記部品装着機である対象作業機に移動して前記メンテナンスユニットを前記対象作業機と対向させる。前記メンテナンス制御部は、前記メンテナンスユニットが前記対象作業機と対向するときに、前記メンテナンスユニットに前記機器のメンテナンスを行わせる。

上記のメンテナンスシステムによれば、少なくとも一つのメンテナンスユニットと、搬送装置と、メンテナンス制御部とを備える。これにより、部品装着機の外部に設けられる搬送装置がメンテナンスユニットを搭載した状態で対象作業機に移動してメンテナンスユニットを対象作業機と対向させることができる。そして、メンテナンス制御部は、メンテナンスユニットが対象作業機と対向するときに、メンテナンスユニットに機器のメンテナンスを行わせることができる。よって、メンテナンスシステムは、基板搬送装置がメンテナンス用基板を搬送する場合と比べて、基板製品の生産の影響を受け難い。

メンテナンスシステムを備える基板生産ラインの構成例を示す平面図である。 図１の物品移動装置および部品装着機の概略構成を示す斜視図である。 メンテナンス制御部による制御手順の一例を示すフローチャートである。 対象作業機の機内の所定位置に第一可動装置が位置決めされた状態の一例を示す側面図である。 ヘッド検査装置およびヘッド洗浄装置の一例を示す斜視図である。 装着ヘッドの一例を示す斜視図である。 対象作業機の機内の所定位置にノズルパレットを備える第二可動装置が位置決めされた状態の一例を示す側面図である。 メンテナンスユニットの一例を示す斜視図である。 吸着ノズルの一例を示す斜視図である。 メンテナンスシステムの他の構成例を示す平面図である。

１．実施形態
１－１．基板生産ライン１の構成例
本実施形態のメンテナンスシステム５０は、基板生産ライン１に適用される。図１に示すように、本実施形態の基板生産ライン１は、少なくとも一つ（同図では、４つ）の部品装着機１０と、交換システム３０と、物品移動装置４０と、メンテナンスシステム５０と、保管装置ＢＳ０と、ライン制御装置ＬＣ０と、待機部ＷＳ０とを備えている。メンテナンスシステム５０は、少なくとも一つ（同図では、２つ）のメンテナンスユニット６０と、搬送装置７０と、メンテナンス制御部８０とを備えている。

４つの部品装着機１０は、図２に示す基板９０の搬送方向に沿って並んで設置されている。部品装着機１０は、基板９０に所定の対基板作業を行う対基板作業機ＷＭ０に含まれる。部品装着機１０による対基板作業には、基板９０の搬入作業および搬出作業、部品の採取作業および装着作業などが含まれる。部品装着機１０には、例えば、カセット式のフィーダ２０が着脱可能に設けられる。

また、基板生産ライン１の基板搬入側（図１の紙面左側）には、例えば、フィーダ２０の保管に用いられる保管装置ＢＳ０が設けられている。物品移動装置４０は、基板９０に設けられる物品を部品装着機１０に供給する。本実施形態の物品移動装置４０は、交換システム３０および保管装置ＢＳ０を用いて、フィーダ２０の補給作業、交換作業および回収作業を行うことができる。さらに、基板生産ライン１の基板搬出側（図１の紙面右側）には、例えば、搬送装置７０が待機可能な待機部ＷＳ０が設けられている。

メンテナンスユニット６０を搭載する搬送装置７０は、待機部ＷＳ０から所定の部品装着機１０に移動する。そして、メンテナンスユニット６０は、部品装着機１０に設けられる機器ＭＣ０のメンテナンスを実施することができる。なお、基板生産ライン１は、例えば、生産する基板製品の種別などに応じて、その構成が適宜変更され得る。具体的には、基板生産ライン１には、例えば、はんだ印刷機、はんだ検査機、リフロー炉、外観検査機などの対基板作業機ＷＭ０が適宜設置され得る。

基板生産ライン１を構成する各装置は、ネットワークを介してライン制御装置ＬＣ０と種々のデータを入出力可能に構成されている。例えば、保管装置ＢＳ０は、複数のスロットを備えている。保管装置ＢＳ０は、複数のスロットに装備されたフィーダ２０をストックする。保管装置ＢＳ０のスロットに装備されたフィーダ２０は、ライン制御装置ＬＣ０との間で通信可能な状態になる。これにより、保管装置ＢＳ０のスロットと当該スロットに装備されたフィーダ２０の識別情報が関連付けられて、ライン制御装置ＬＣ０に記録される。

また、ライン制御装置ＬＣ０は、基板生産ライン１の動作状況を監視し、部品装着機１０などの対基板作業機ＷＭ０、交換システム３０、物品移動装置４０、メンテナンスシステム５０などを統括制御する。ライン制御装置ＬＣ０には、対基板作業機ＷＭ０、交換システム３０、物品移動装置４０、メンテナンスシステム５０などを制御するための各種データが記憶されている。ライン制御装置ＬＣ０は、例えば、部品装着機１０による部品の装着処理の実行に際して、制御プログラムなどの各種データを送出する。

１－２．部品装着機１０の構成例
図２に示すように、４つの部品装着機１０の各々は、基板搬送装置１１と、部品供給装置１２と、ヘッド駆動装置１３とを備えている。本明細書では、部品装着機１０の水平幅方向であり基板９０の搬送方向をＸ方向とし、部品装着機１０の水平奥行き方向をＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な鉛直方向（図２の紙面上下方向）をＺ方向とする。

基板搬送装置１１は、例えば、ベルトコンベアおよび位置決め装置などによって構成されている。基板搬送装置１１は、基板９０を搬送方向（Ｘ方向）に順次搬送すると共に、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。

部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、複数のフィーダ２０を装備可能な第一スロット１２１および第二スロット１２２を備えている。本実施形態では、第一スロット１２１は、部品装着機１０の前部側（図２の紙面左側）の上部に配置され、装備されたフィーダ２０を駆動可能に保持する。第一スロット１２１に装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による装着処理において駆動制御され、当該フィーダ２０の上部の規定位置に設けられた取り出し部において部品を供給する。

第二スロット１２２は、第一スロット１２１の下方に配置され、装備されたフィーダ２０をストックする。つまり、第二スロット１２２は、生産に用いられるフィーダ２０を予備的に保持し、または、生産に用いられた使用済みのフィーダ２０を一時的に保持する。なお、第一スロット１２１と第二スロット１２２との間におけるフィーダ２０の交換作業は、物品移動装置４０によって行われる。

また、フィーダ２０は、部品供給装置１２の第一スロット１２１または第二スロット１２２に装備されると、コネクタを介して部品装着機１０から電力が供給される。そして、フィーダ２０は、部品装着機１０との間で通信可能な状態になる。第一スロット１２１に装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による制御指令などに基づいて、部品を収容するキャリアテープの送り動作が制御される。これにより、フィーダ２０は、フィーダ２０の上部に設けられた取り出し部において、部品を順次供給することができる。

ヘッド駆動装置１３は、直動機構によって移動台１３１を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させる。移動台１３１には、クランプ部材によって装着ヘッド１４が交換可能（着脱可能）に固定されている。装着ヘッド１４は、ヘッド駆動装置１３の直動機構によって移動台１３１と一体的に水平方向に移動される。装着ヘッド１４は、部品供給装置１２によって供給された部品を保持部材によって採取する。保持部材は、例えば、供給される負圧によって部品を吸着する吸着ノズル１５、部品を把持するチャックなどを用いることができる。

装着ヘッド１４は、Ｚ方向に移動可能に且つＺ方向に平行なＱ軸周りに回転可能に保持部材を保持する。部品装着機１０は、保持部材によって採取された部品の姿勢に応じて、装着処理時の保持部材の位置および回転角度を補正する。そして、装着ヘッド１４は、必要に応じて補正された装着位置および装着角度で、部品を装着する。部品装着機１０は、上記のピックアンドプレースサイクルを繰り返すことによって、基板９０に複数の部品を装着する装着処理を実行する。

なお、装着ヘッド１４に設けられる保持部材は、例えば、装着処理において部品の種別に応じて適宜変更され得る。部品装着機１０は、例えば、実行する装着処理において必要な吸着ノズル１５が装着ヘッド１４に取り付けられていない場合に、ノズルステーション１６に収容されている吸着ノズル１５を装着ヘッド１４に取り付ける。ノズルステーション１６は、部品装着機１０の機内の所定位置に着脱可能に装備される。

１－３．交換システム３０および物品移動装置４０の構成例
図１および図２に示すように、交換システム３０は、第一レール３１と、第二レール３２とを備えている。第一レール３１および第二レール３２は、物品移動装置４０の走行路３０Ｒを形成する。第一レール３１は、４つの部品装着機１０が並んで設置されている基板生産ライン１に沿って設けられ、上下方向（Ｚ方向）において、第一スロット１２１と、第二スロット１２２との間に設けられている。

第二レール３２は、基板生産ライン１に沿って設けられ、上下方向（Ｚ方向）において、第二スロット１２２の下方に設けられている。図１に示すように、第一レール３１および第二レール３２は、基板生産ライン１において、基板９０の搬送方向（Ｘ方向）の概ね全域に亘って延伸している。

物品移動装置４０は、第一レール３１および第二レール３２によって形成される走行路３０Ｒを走行することができる。物品移動装置４０は、例えば、第一レール３１に設けられる送電部と対向して設けられる第一受電部を介して、非接触給電によって送電部から電力の供給を受ける。第一受電部が受け取った電力は、物品移動装置４０の走行、所定作業に用いられる。

なお、送電部には、部品装着機１０に設けられる電力供給装置から電力が供給される。また、物品移動装置４０は、例えば、第一位置検出装置によって走行路３０Ｒにおける位置（現在位置）を検出する。第一位置検出装置は、例えば、光学的な検出方法、電磁誘導を用いた検出方法などによって、物品移動装置４０の位置を検出することができる。

上記の所定作業には、基板９０に装着される部品を供給するフィーダ２０の補給作業、交換作業および回収作業のうちの少なくとも一つの作業が含まれる。具体的には、物品移動装置４０は、保管装置ＢＳ０から部品装着機１０の第一スロット１２１または第二スロット１２２にフィーダ２０を搬送して、フィーダ２０の補給作業を行う。また、物品移動装置４０は、部品装着機１０の第一スロット１２１と第二スロット１２２との間で、フィーダ２０の交換作業を行う。さらに、物品移動装置４０は、不要になったフィーダ２０を部品装着機１０から保管装置ＢＳ０に搬送して、フィーダ２０の回収作業を行う。

１－４．メンテナンスシステム５０の構成例
図１に示すように、メンテナンスシステム５０は、少なくとも一つ（同図では、２つ）のメンテナンスユニット６０と、搬送装置７０と、メンテナンス制御部８０とを備えている。

メンテナンスユニット６０は、基板９０に部品を装着する部品装着機１０に設けられる機器ＭＣ０をメンテナンスする。機器ＭＣ０は、部品装着機１０に設けられるものであれば良く、限定されない。例えば、既述されている装着ヘッド１４、吸着ノズル１５などは、機器ＭＣ０に含まれる。また、メンテナンスの内容も限定されない。例えば、機器ＭＣ０の検査、洗浄などは、メンテナンスに含まれる。

搬送装置７０は、部品装着機１０の外部に設けられる。搬送装置７０は、メンテナンスユニット６０を搭載した状態でメンテナンスが必要な機器ＭＣ０を備える少なくとも一つの部品装着機１０である対象作業機ＴＧ０に移動して、メンテナンスユニット６０を対象作業機ＴＧ０と対向させる。搬送装置７０は、メンテナンスユニット６０を搭載した状態で対象作業機ＴＧ０に移動して、メンテナンスユニット６０を対象作業機ＴＧ０と対向させることができれば良く、種々の形態をとり得る。

例えば、図１に示すように、搬送装置７０は、部品装着機１０が並んで設置されている基板生産ライン１に沿って設けられる走行路３０Ｒを走行することができる。この形態では、メンテナンスユニット６０および搬送装置７０は、部品装着機１０から非接触給電によって供給された供給電力を用いて駆動することができる。

具体的には、搬送装置７０は、例えば、第一レール３１に設けられる送電部と対向して設けられる第二受電部を介して、非接触給電によって送電部から電力の供給を受けることができる。送電部には、部品装着機１０に設けられる電力供給装置から電力が供給される。これにより、メンテナンスユニット６０および搬送装置７０は、バッテリなどを搭載する必要がなく、軽量化および小型化を図ることができる。

また、走行路３０Ｒは、上記供給電力を用いて駆動し基板９０に設けられる物品を部品装着機１０に供給する物品移動装置４０が走行可能である。既述したように、物品移動装置４０は、フィーダ２０の補給作業、交換作業および回収作業を行うことができる。フィーダ２０から供給される部品は、基板９０に設けられる物品に含まれる。物品移動装置４０は、フィーダ２０の補給作業によって、部品装着機１０に部品を供給する。

このように、本実施形態の搬送装置７０は、物品移動装置４０が走行可能な走行路３０Ｒを走行することができる。これにより、例えば、第一レール３１、第二レール３２、送電部および電力供給装置などは、物品移動装置４０および搬送装置７０において共用することができる。そのため、個別に走行路を設ける場合と比べて、基板生産ライン１の小型化を図ることができる。

なお、搬送装置７０は、走行路３０Ｒを走行する形態に限定されない。例えば、搬送装置７０は、無人搬送車（ＡＧＶ：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）を用いることもできる。無人搬送車は、作業者による運転操作が不要であり、自動走行が可能である。この場合、搬送装置７０は、メンテナンスユニット６０および搬送装置７０を駆動させる駆動源（バッテリなど）を搭載する。

搬送装置７０は、走行路３０Ｒにおける位置（現在位置）を検出する第二位置検出装置を備えることができる。例えば、第二位置検出装置は、物品移動装置４０に設けられる第一位置検出装置と同様の位置検出装置を用いることができる。搬送装置７０は、第二位置検出装置によって検出された位置（現在位置）に基づいて、メンテナンスユニット６０を対象作業機ＴＧ０と対向させることができる。

対象作業機ＴＧ０は、例えば、ライン制御装置ＬＣ０、複数の基板生産ライン１を管理する管理装置などによって選出することができる。例えば、管理装置は、機器ＭＣ０の使用回数、使用時間、前回のメンテナンス日時、メンテナンスの実施内容などを記憶する記憶装置を備えている。例えば、管理装置は、使用回数が所定の回数を超える機器ＭＣ０を備える部品装着機１０を対象作業機ＴＧ０として選出することができる。

同様に、管理装置は、使用時間が所定の時間を超える機器ＭＣ０を備える部品装着機１０を対象作業機ＴＧ０として選出することもできる。管理装置は、前回のメンテナンスから経過した経過時間が所定の時間を超える機器ＭＣ０を備える部品装着機１０を対象作業機ＴＧ０として選出することもできる。管理装置によって選出された対象作業機ＴＧ０は、ライン制御装置ＬＣ０に通知される。

メンテナンス制御部８０は、メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向するときに、メンテナンスユニット６０に機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせる。メンテナンス制御部８０は、種々の制御装置に設けることができる。図１に示すように、本実施形態のメンテナンス制御部８０は、ライン制御装置ＬＣ０に設けられている。メンテナンス制御部８０は、複数の基板生産ライン１を管理する管理装置などに設けることもできる。メンテナンス制御部８０は、クラウド上に形成することもできる。

また、メンテナンス制御部８０は、搬送装置７０を駆動制御することもできる。本実施形態のメンテナンス制御部８０は、図３に示すフローチャートに従って、メンテナンスユニット６０および搬送装置７０を駆動制御する。具体的には、メンテナンス制御部８０は、メンテナンスの開始条件が成立するか否かを判断する（ステップＳ１１）。メンテナンスの開始条件が成立する状態は、例えば、メンテナンスの所定タイミングであり、且つ、物品移動装置４０が保管装置ＢＳ０において待機している状態をいう。例えば、メンテナンス制御部８０は、対象作業機ＴＧ０が存在し、且つ、メンテナンスの実施によって部品装着機１０による基板製品の生産を停滞させないときに、メンテナンスの所定タイミングであると判断することができる。

例えば、部品装着機１０において部品切れが発生すると、対象作業機ＴＧ０においてアイドリング（対基板作業の待機時間）が生じる場合がある。この場合に対象作業機ＴＧ０について機器ＭＣ０のメンテナンスを実施しても、部品装着機１０による基板製品の生産を停滞させる可能性は少ない。このことは、対象作業機ＴＧ０の段取り替えについても同様に言える。

そこで、メンテナンス制御部８０は、基板製品の生産中の対象作業機ＴＧ０のアイドリング時、または、対象作業機ＴＧ０の段取り替え時に、メンテナンスユニット６０に機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせることができる。これにより、メンテナンスシステム５０は、基板製品の生産の停滞を抑制しつつ必要なメンテナンスを実施することができる。

具体的には、ライン制御装置ＬＣ０は、基板生産ライン１の動作状況を監視している。メンテナンス制御部８０は、部品装着機１０の動作状況に基づいて、対象作業機ＴＧ０のアイドリングを知得することができる。また、ライン制御装置ＬＣ０は、基板製品の生産計画を管理する管理装置から基板製品の生産計画を知得することができる。メンテナンス制御部８０は、基板製品の生産計画に基づいて、対象作業機ＴＧ０の段取り替えを知得することができる。

また、本実施形態の搬送装置７０は、物品移動装置４０が走行可能な走行路３０Ｒを走行する。そのため、メンテナンス制御部８０は、搬送装置７０の移動を開始する前に、物品移動装置４０が保管装置ＢＳ０において待機していることを確認する。メンテナンス制御部８０は、メンテナンスの開始条件が成立すると判断すると（ステップＳ１１でＹｅｓの場合）、搬送装置７０を対象作業機ＴＧ０に移動させる（ステップＳ１２）。そして、メンテナンス制御部８０は、メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向しているか否かを判断する（ステップＳ１３）。既述したように、搬送装置７０は、第二位置検出装置によって検出された位置（現在位置）に基づいて、メンテナンスユニット６０を対象作業機ＴＧ０と対向させることができる。

走行路３０Ｒの待機部ＷＳ０側の端部には、通信ユニットが設けられている。通信ユニットは、例えば、光通信などの無線通信によって、メンテナンスユニット６０、搬送装置７０およびメンテナンス制御部８０の間の通信を可能にする。メンテナンス制御部８０は、無線通信によって、搬送装置７０から移動完了通知を受信すると、メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向していると判断することができる。

メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向している場合（ステップＳ１３でＹｅｓの場合）、メンテナンス制御部８０は、メンテナンスユニット６０に機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせる（ステップＳ１４）。メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向していない場合（ステップＳ１３でＮｏの場合）、制御は、ステップＳ１２に示す処理に戻り、メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向するまで、ステップＳ１２に示す処理およびステップＳ１３に示す判断が繰り返される。

メンテナンス制御部８０は、無線通信によって、メンテナンスユニット６０からメンテナンスの完了通知を受信すると、搬送装置７０を待機部ＷＳ０に移動させる（ステップＳ１５）。そして、制御は、一旦、終了する。また、メンテナンス制御部８０は、メンテナンスの開始条件が成立しないと判断すると（ステップＳ１１でＮｏの場合）、制御は、ステップＳ１２～ステップＳ１５に示す処理および判断を行わないで、一旦、終了する。

なお、メンテナンスの実施中に物品移動装置４０が稼働する場合、メンテナンス制御部８０は、走行路３０Ｒにおける物品移動装置４０の移動範囲と、走行路３０Ｒにおける搬送装置７０の移動範囲とが重複しないことを確認する。

１－４－１．メンテナンスの一例（第一形態）
図４に示すように、メンテナンスユニット６０は、対象作業機ＴＧ０の機内に進退可能に設けられる第一可動装置６１を備えることができる。第一可動装置６１は、対象作業機ＴＧ０の機内に進退可能であれば良く、種々の形態をとり得る。例えば、第一可動装置６１は、ボールねじなどの直動機構によって構成することができる。

メンテナンス制御部８０は、第一可動装置６１を対象作業機ＴＧ０の機内の所定位置に位置決めし、位置決めされた第一可動装置６１において機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせることができる。図１に示すように、本形態の所定位置は、第一スロット１２１に装備されたフィーダ２０の上部に設けられる取り出し部の近傍の領域ＡＲ１に設定されている。領域ＡＲ１は、装着ヘッド１４の移動可能範囲に設定される。

図１および図４に示すように、本形態の機器ＭＣ０には、部品を吸着する吸着ノズル１５を保持すると共に吸着ノズル１５にエアを供給する装着ヘッド１４が含まれる。具体的には、部品装着機１０は、ベースＢ０と、ベースＢ０の上に引き出し可能に設けられる作業モジュールＭ０とを備えている。作業モジュールＭ０には、既述した基板搬送装置１１、ヘッド駆動装置１３などが設けられる。ベースＢ０には、既述した電力供給装置、エアを供給するエア源１７などが設けられる。

エア源１７から供給されたエアは、装着ヘッド１４に供給され、装着ヘッド１４の内部に形成されているエア流路１４ｂを流通して、吸着ノズル１５に供給される。この形態では、第一可動装置６１は、例えば、ヘッド検査装置６２およびヘッド洗浄装置６３のうちの少なくとも一つを備えることができる。

図４および図５に示すように、第一可動装置６１は、メンテナンスとして装着ヘッド１４の良否を判定するヘッド検査装置６２を備えている。これにより、メンテナンスユニット６０は、対象作業機ＴＧ０の機内において、メンテナンスとして装着ヘッド１４の良否を判定することができる。ヘッド検査装置６２は、装着ヘッド１４に関する種々の検査を実施することができる。例えば、ヘッド検査装置６２は、装着ヘッド１４の駆動部１４ａの駆動負荷、装着ヘッド１４の内部に形成されているエア流路１４ｂを流通するエアの流量、および、エアの圧力のうちの少なくとも一つの良否を判定する。

図６に示すように、装着ヘッド１４は、ヘッド本体部１４１と、ノズルツール１４２と、駆動部１４ａと、エア流路１４ｂとを備えている。ヘッド本体部１４１は、ヘッド駆動装置１３の移動台１３１にクランプされる。ノズルツール１４２には、複数の吸着ノズル１５が円周上において等間隔に配置されており、複数の吸着ノズル１５の各々は、Ｚ方向に移動可能に且つ自転可能に保持されている。

駆動部１４ａは、ツール駆動装置およびエア供給装置を備えている。ツール駆動装置は、電動機、減速機、直動機構などを備えており、吸着ノズル１５を順に規定位置に割り出して、割り出された吸着ノズル１５を角度決めすると共にＺ方向の位置決めを行う。エア流路１４ｂは、吸着ノズル１５に負圧を供給する負圧流路と、吸着ノズル１５に正圧を供給する正圧流路とを備えている。エア供給装置は、負圧が供給される負圧供給状態、正圧が供給される正圧供給状態およびエアの流通が遮断される遮断状態のうちの一の状態に切り替え可能なバルブ装置を備えている。

ヘッド検査装置６２は、例えば、装着ヘッド１４の駆動部１４ａに対して規定の動作を行うように指令し、当該動作の所要時間に基づいて駆動部１４ａの駆動負荷を検査することができる。具体的には、ヘッド検査装置６２は、駆動部１４ａに対して、吸着ノズル１５を順に規定位置に割り出させて、割り出された吸着ノズル１５を角度決めさせると共にＺ方向の位置決めを行わせる。

ヘッド検査装置６２は、当該動作の所要時間が所定範囲に含まれるときに、駆動部１４ａの駆動負荷が正常であり、装着ヘッド１４は、良品であると判定する。逆に、ヘッド検査装置６２は、当該動作の所要時間が所定範囲に含まれないときに、駆動部１４ａの駆動負荷が異常であり、装着ヘッド１４は、不良品であると判定する。これにより、駆動部１４ａの汚れの度合いなどが検査される。

また、図５に示すように、ヘッド検査装置６２は、吸着ノズル１５をセット可能な検査部６２ａを備えている。検査部６２ａには、エアの流量を測定する流量測定器と、エアの圧力を測定する圧力測定器とが設けられている。ヘッド検査装置６２は、検査用の吸着ノズル１５を装着ヘッド１４に保持させて、当該吸着ノズル１５を検査部６２ａにセットさせる。

装着ヘッド１４が当該吸着ノズル１５を保持し当該吸着ノズル１５が検査部６２ａにセットされた状態で、ヘッド検査装置６２は、例えば、装着ヘッド１４のバルブ装置に対して正圧供給状態に切り替えさせて、エア流路１４ｂを流通するエアの流量を流量測定器によって測定する。また、上記状態で、ヘッド検査装置６２は、装着ヘッド１４のバルブ装置に対して正圧供給状態に切り替えさせて、エア流路１４ｂを流通するエアの圧力を圧力測定器によって測定する。なお、エアは、エア源１７から供給される。また、検査用の吸着ノズル１５は、内部を流通するエアの流量などが正常であることが予め確認されている。

ヘッド検査装置６２は、流量測定器によって測定されたエアの流量が所定範囲に含まれるときに、エア流路１４ｂを流通するエアの流量が正常であり、装着ヘッド１４は、良品であると判定する。逆に、ヘッド検査装置６２は、流量測定器によって測定されたエアの流量が所定範囲に含まれないときに、エア流路１４ｂを流通するエアの流量が異常であり、装着ヘッド１４は、不良品であると判定する。

同様に、ヘッド検査装置６２は、圧力測定器によって測定されたエアの圧力が所定範囲に含まれるときに、エア流路１４ｂを流通するエアの圧力が正常であり、装着ヘッド１４は、良品であると判定する。逆に、ヘッド検査装置６２は、圧力測定器によって測定されたエアの圧力が所定範囲に含まれないときに、エア流路１４ｂを流通するエアの圧力が異常であり、装着ヘッド１４は、不良品であると判定する。

なお、ヘッド検査装置６２は、例えば、装着ヘッド１４の駆動部１４ａに対して規定の動作を行わせながら、エア流路１４ｂを流通するエアの流量を流量測定器に測定させることもでき、エアの圧力を圧力測定器に測定させることもできる。また、正圧流路は、負圧流路と比べて、異物が残存し難いので、ヘッド検査装置６２は、負圧流路について検査し、正圧流路について検査を省略することもできる。

図４および図５に示すように、第一可動装置６１は、メンテナンスとして、装着ヘッド１４の駆動部１４ａ、および、装着ヘッド１４の内部に形成されているエア流路１４ｂのうちの少なくとも一方を洗浄するヘッド洗浄装置６３を備えることができる。例えば、本形態のヘッド洗浄装置６３は、装着ヘッド１４から排出された異物を回収する回収部６３ａを備えている。

ヘッド洗浄装置６３は、装着ヘッド１４を回収部６３ａの上方に移動させ、吸着ノズル１５が回収部６３ａに進入するように吸着ノズル１５を下降させる。この状態で、ヘッド洗浄装置６３は、例えば、装着ヘッド１４のバルブ装置に対して正圧供給状態に切り替えさせて、エア源１７から供給されるエアをエア流路１４ｂに流通させる。これにより、エア流路１４ｂに残存する異物が排出される。回収部６３ａは、例えば、フィルタを備えており、排出された異物は、回収部６３ａのフィルタによって回収される。

また、上記状態で、ヘッド洗浄装置６３は、例えば、装着ヘッド１４の駆動部１４ａに対して規定の動作を行うように指令することができる。規定の動作は、検査時と同じ動作であっても良く、検査時と異なる動作であっても良い。これにより、駆動部１４ａに残存する異物が排出され、排出された異物は、同様に回収部６３ａによって回収される。

ヘッド検査装置６２は、ヘッド洗浄装置６３によって洗浄された装着ヘッド１４の良否を再び判定することができる。装着ヘッド１４の洗浄後の検査は、装着ヘッド１４が洗浄される前の検査と同じ内容、同じ条件であると良い。これにより、ヘッド検査装置６２は、ヘッド洗浄装置６３による装着ヘッド１４の洗浄効果を確認し易い。

１－４－２．メンテナンスの他の一例（第二形態）
図７および図８に示すように、メンテナンスユニット６０は、対象作業機ＴＧ０の機内に進退可能に設けられる第二可動装置６４を備えることができる。第二可動装置６４は、対象作業機ＴＧ０の機内に進退可能であれば良く、種々の形態をとり得る。例えば、第二可動装置６４は、第一可動装置６１と同様の直動機構を用いることができる。

メンテナンス制御部８０は、第二可動装置６４を対象作業機ＴＧ０の機内に進退させて第二可動装置６４を用いて機器ＭＣ０を搬出させ、メンテナンスユニット６０において当該機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせることができる。具体的には、図１および図７に示すように、本形態の機器ＭＣ０には、部品を吸着する吸着ノズル１５が含まれる。また、対象作業機ＴＧ０は、吸着ノズル１５を収容するノズルステーション１６と、吸着ノズル１５を保持する装着ヘッド１４とを備える。さらに、第二可動装置６４は、吸着ノズル１５を収容可能なノズルパレット６５を備える。

メンテナンス制御部８０は、ノズルパレット６５を対象作業機ＴＧ０の機内の所定位置に位置決めし、ノズルステーション１６に収容されている吸着ノズル１５を装着ヘッド１４に保持させ、装着ヘッド１４が保持した吸着ノズル１５を位置決めされたノズルパレット６５に移載させる。図１に示すように、本形態の所定位置は、第一スロット１２１に装備されたフィーダ２０の上部に設けられる取り出し部の近傍の領域ＡＲ２に設定されている。領域ＡＲ２は、装着ヘッド１４の移動可能範囲に設定される。

ノズルステーション１６に収容されている吸着ノズル１５がノズルパレット６５に移載されると、メンテナンス制御部８０は、ノズルパレット６５を備える第二可動装置６４を後退させ、ノズルパレット６５をメンテナンスユニット６０の機内に搬入する。この形態では、メンテナンスユニット６０は、例えば、ノズル検査装置６６およびノズル洗浄装置６７のうちの少なくとも一つを備えることができる。

メンテナンスユニット６０は、メンテナンスとして吸着ノズル１５の良否を判定するノズル検査装置６６を備えている。これにより、メンテナンスユニット６０は、対象作業機ＴＧ０の機外において、メンテナンスとして吸着ノズル１５の良否を判定することができる。ノズル検査装置６６は、吸着ノズル１５に関する種々の検査を実施することができる。例えば、ノズル検査装置６６は、吸着ノズル１５の外観、吸着ノズル１５の内部を流通するエアの流量、および、伸縮部１５ａの摺動抵抗のうちの少なくとも一つの良否を判定する。

図９に示すように、吸着ノズル１５は、ノズル本体部１５１と、フランジ部１５２と、ノズル軸部１５３と、識別部１５４とを備えている。ノズル本体部１５１は、筒状に形成されており、装着ヘッド１４に保持される。フランジ部１５２は、ノズル本体部１５１の軸方向の一端側（図９の紙面下側）において、円板状に形成されている。ノズル軸部１５３は、管状に形成されており、ノズル本体部１５１から軸線方向に沿って延伸している。ノズル本体部１５１およびノズル軸部１５３の内部には、吸着ノズル１５におけるエア流路が形成されている。ノズル軸部１５３は、ノズル本体部１５１を介して供給される負圧によって、先端部において部品を保持する。

また、ノズル軸部１５３は、ノズル本体部１５１に対して軸方向に伸縮可能に構成される。具体的には、ノズル軸部１５３は、弾性部材によってノズル本体部１５１から進出する方向に付勢されている。ノズル本体部１５１およびノズル軸部１５３を備える伸縮部１５ａは、ノズル軸部１５３の先端部においてノズル本体部１５１側に荷重が印加されたときに、ノズル本体部１５１に対してノズル軸部１５３が摺動し、上記の弾性部材による弾性力に抗して収縮する。さらに、フランジ部１５２の上面には、識別部１５４が付されている。識別部１５４は、例えば、一次元コードまたは二次元コードを用いることができ、識別部１５４には、吸着ノズル１５の識別情報などが含まれる。

ノズル検査装置６６は、例えば、ノズルパレット６５に移載された吸着ノズル１５を撮像装置によって撮像し、当該撮像により取得した画像データに基づいて吸着ノズル１５の外観の良否を判定することができる。これにより、吸着ノズル１５の歪み、欠損、付着物の有無などが検査される。

また、ノズル検査装置６６は、例えば、装着ヘッド１４と同等の移載装置と流量測定器を用いて、吸着ノズル１５の内部を流通するエアの流量を測定することもできる。この場合、ノズル検査装置６６は、流量測定器によって測定されたエアの流量が所定範囲に含まれるときに、吸着ノズル１５の内部を流通するエアの流量が正常であり、吸着ノズル１５は、良品であると判定する。逆に、ノズル検査装置６６は、流量測定器によって測定されたエアの流量が所定範囲に含まれないときに、吸着ノズル１５の内部を流通するエアの流量が異常であり、吸着ノズル１５は、不良品であると判定する。

さらに、ノズル検査装置６６は、例えば、上記移載装置と、ロードセルなどの荷重測定器を用いて、吸着ノズル１５のノズル軸部１５３がノズル本体部１５１に向かって摺動した際の荷重を検出することもできる。この場合、ノズル検査装置６６は、荷重測定器によって測定された荷重が所定範囲に含まれるときに、伸縮部１５ａの摺動抵抗が正常であり、吸着ノズル１５は、良品であると判定する。逆に、ノズル検査装置６６は、荷重測定器によって測定された荷重が所定範囲に含まれないときに、伸縮部１５ａの摺動抵抗が異常であり、吸着ノズル１５は、不良品であると判定する。伸縮部１５ａの摺動抵抗の増加は、例えば、伸縮部１５ａの汚れなどが要因となって生じる。

なお、ノズル検査装置６６は、第一形態のメンテナンスユニット６０に設けることもできる。この場合、第一可動装置６１は、ノズルパレット６５とノズル検査装置６６を備える。第一可動装置６１が対象作業機ＴＧ０の機内の所定位置に位置決めされたときに、ノズル検査装置６６は、対象作業機ＴＧ０の装着ヘッド１４と、ノズルパレット６５に設けられる流量測定器を用いて、吸着ノズル１５の内部を流通するエアの流量を測定する。また、ノズル検査装置６６は、対象作業機ＴＧ０の装着ヘッド１４と、ノズルパレット６５に設けられるロードセルなどの荷重測定器を用いて、吸着ノズル１５のノズル軸部１５３がノズル本体部１５１に向かって摺動した際の荷重を検出することもできる。

図７に示すように、メンテナンスユニット６０は、メンテナンスとして吸着ノズル１５を洗浄するノズル洗浄装置６７を備えることができる。例えば、ノズル洗浄装置６７は、吸着ノズル１５の内部（例えば、吸着ノズル１５におけるエア流路および伸縮部１５ａ）または外部を洗浄する。具体的には、ノズル洗浄装置６７は、洗浄庫６９において吸着ノズル１５の洗浄および乾燥を行う。ノズル洗浄装置６７は、例えば、吸着ノズル１５の内部または外部に高圧の洗浄流体（例えば、エア、洗浄液など）を流通させて、洗浄処理を行うことができる。また、ノズル洗浄装置６７は、洗浄液（例えば、水、オイルなど）を用いて洗浄処理が実行された吸着ノズル１５にエアを吹き付ける乾燥処理を実行することもできる。

図７および図８に示すように、メンテナンスユニット６０は、ノズル洗浄装置６７にエアを供給する配管の端部に設けられるユニット側コネクタ６８を備える。また、対象作業機ＴＧ０は、エアを供給するエア源１７と、エア源１７に接続されると共にユニット側コネクタ６８と嵌合可能な作業機側コネクタ１８とを備える。

ユニット側コネクタ６８および作業機側コネクタ１８は、メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向するときに嵌合する。ノズル洗浄装置６７は、エア源１７から供給されるエアを用いて洗浄庫６９において洗浄流体を流通させて、吸着ノズル１５を洗浄することができる。また、ノズル検査装置６６は、エア源１７から供給されるエアを用いて正圧および負圧を生成して検査を行うこともできる。このように、メンテナンスユニット６０において必要なエアが対象作業機ＴＧ０から供給される。よって、メンテナンスユニット６０は、エア源を別途搭載する必要がなく、メンテナンスユニット６０の軽量化および小型化を図ることができる。

また、搬送装置７０は、メンテナンスユニット６０を搭載した状態で対象作業機ＴＧ０に移動して、メンテナンスユニット６０を対象作業機ＴＧ０と対向させる。そのため、メンテナンスユニット６０に設けられるユニット側コネクタ６８と、対象作業機ＴＧ０に設けられる作業機側コネクタ１８との位置関係によっては、ユニット側コネクタ６８および作業機側コネクタ１８の嵌合が困難な場合が想定される。

そこで、ユニット側コネクタ６８および作業機側コネクタ１８は、フローティングコネクタであると良い。フローティングコネクタは、ユニット側コネクタ６８および作業機側コネクタ１８の位置ずれを吸収することができ、ユニット側コネクタ６８および作業機側コネクタ１８を正規の位置で嵌合させることができる。

ノズル検査装置６６は、ノズル洗浄装置６７によって洗浄された吸着ノズル１５の良否を再び判定することができる。吸着ノズル１５の洗浄後の検査は、吸着ノズル１５が洗浄される前の検査と同じ内容、同じ条件で行われると良い。これにより、ノズル検査装置６６は、ノズル洗浄装置６７による吸着ノズル１５の洗浄効果を確認し易い。

１－４－３．変形形態
図１に示す搬送装置７０は、複数（同図では、２つ）のメンテナンスユニット６０を一の対象作業機ＴＧ０と対向させる。搬送装置７０は、複数（２つ）のメンテナンスユニット６０のうちの一のメンテナンスユニット６０を一の対象作業機ＴＧ０と対向させ当該メンテナンスユニット６０の終了後に移動して、他の一のメンテナンスユニット６０を当該対象作業機ＴＧ０と対向させることもできる。

また、図１に示す形態では、メンテナンス制御部８０は、一の対象作業機ＴＧ０との間で、メンテナンスユニット６０に機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせる。既述したように、いずれのメンテナンスユニット６０においても対象作業機ＴＧ０の装着ヘッド１４を使用するので、複数（２つ）のメンテナンスユニット６０において同時にメンテナンスを実施することは困難である。

そこで、図１０に示す搬送装置７０は、複数（同図では、２つ）のメンテナンスユニット６０のうちの一のメンテナンスユニット６０を一の対象作業機ＴＧ０と対向させ、他の一のメンテナンスユニット６０を他の一の対象作業機ＴＧ０と対向させる。これにより、複数（２つ）のメンテナンスユニット６０の各々は、それぞれの対象作業機ＴＧ０の装着ヘッド１４を使用することができ、複数（２つ）のメンテナンスユニット６０において同時にメンテナンスを実施することができる。なお、同図では、領域ＡＲ１または領域ＡＲ２に相当する領域が領域ＡＲ３で図示されている。

また、第一可動装置６１または第二可動装置６４が対象作業機ＴＧ０の機内に進退する際に第一スロット１２１に装備されているフィーダ２０が邪魔になる可能性がある。この場合、搬送装置７０は、メンテナンスユニット６０がフィーダ２０と対向しない位置（空きスロット）に移動することができる。そして、領域ＡＲ１～領域ＡＲ３は、搬送装置７０の移動に応じてスライドされる。また、十分な空きスロットがない場合、例えば、物品移動装置４０は、不要なフィーダ２０を第一スロット１２１から第二スロット１２２に移動させることができる。さらに、物品移動装置４０は、不要なフィーダ２０を保管装置ＢＳ０に移動させることもできる。

既述されている形態では、ヘッド検査装置６２によって装着ヘッド１４が検査された後に、ヘッド洗浄装置６３によって装着ヘッド１４が洗浄され、ヘッド検査装置６２によって装着ヘッド１４が再び検査される。上述されていることは、吸着ノズル１５についても同様に言える。しかしながら、最初の検査を実施せずに、ヘッド洗浄装置６３によって装着ヘッド１４が洗浄された後に、ヘッド検査装置６２によって装着ヘッド１４が検査されても良い。同様に、最初の検査を実施せずに、ノズル洗浄装置６７によって吸着ノズル１５が洗浄された後に、ノズル検査装置６６によって吸着ノズル１５が検査されても良い。

２．メンテナンス方法
メンテナンスシステム５０について既述されていることは、メンテナンス方法についても同様に言える。具体的には、メンテナンス方法は、メンテナンス制御工程を備え、メンテナンスユニット６０と搬送装置７０とを用いて機器ＭＣ０のメンテナンスを行う。メンテナンス制御工程は、メンテナンス制御部８０が行う制御に相当する。

３．実施形態の効果の一例
メンテナンスシステム５０によれば、少なくとも一つのメンテナンスユニット６０と、搬送装置７０と、メンテナンス制御部８０とを備える。これにより、部品装着機１０の外部に設けられる搬送装置７０がメンテナンスユニット６０を搭載した状態で対象作業機ＴＧ０に移動してメンテナンスユニット６０を対象作業機ＴＧ０と対向させることができる。そして、メンテナンス制御部８０は、メンテナンスユニット６０が対象作業機ＴＧ０と対向するときに、メンテナンスユニット６０に機器ＭＣ０のメンテナンスを行わせることができる。よって、メンテナンスユニット６０は、基板搬送装置１１がメンテナンス用基板を搬送する場合と比べて、基板製品の生産の影響を受け難い。

１：基板生産ライン、１０：部品装着機、１４：装着ヘッド、
１４ａ：駆動部、１４ｂ：エア流路、１５：吸着ノズル、１５ａ：伸縮部、
１６：ノズルステーション、１７：エア源、１８：作業機側コネクタ、
３０Ｒ：走行路、４０：物品移動装置、５０：メンテナンスシステム、
６０：メンテナンスユニット、６１：第一可動装置、
６２：ヘッド検査装置、６３：ヘッド洗浄装置、６４：第二可動装置、
６５：ノズルパレット、６６：ノズル検査装置、６７：ノズル洗浄装置、
６８：ユニット側コネクタ、６９：洗浄庫、７０：搬送装置、
８０：メンテナンス制御部、９０：基板、ＭＣ０：機器、
ＴＧ０：対象作業機。

Claims (13)

1. 基板に部品を装着する部品装着機に設けられる機器をメンテナンスする少なくとも一つのメンテナンスユニットと、
   前記部品装着機の外部に設けられ、前記メンテナンスユニットを搭載した状態でメンテナンスが必要な前記機器を備える少なくとも一つの前記部品装着機である対象作業機に移動して前記メンテナンスユニットを前記対象作業機と対向させる搬送装置と、
   前記メンテナンスユニットが前記対象作業機と対向するときに、前記メンテナンスユニットに前記機器のメンテナンスを行わせるメンテナンス制御部と、
   を備えるメンテナンスシステムであって、
   前記メンテナンスユニットは、前記対象作業機の機内に進退可能に設けられる第一可動装置を備え、
   前記メンテナンス制御部は、前記第一可動装置を前記対象作業機の機内の所定位置に位置決めし、位置決めされた前記第一可動装置において前記機器のメンテナンスを行わせ、
   前記機器には、前記部品を吸着する吸着ノズルを保持すると共に前記吸着ノズルにエアを供給する装着ヘッドが含まれ、
   前記第一可動装置は、メンテナンスとして前記装着ヘッドの良否を判定するヘッド検査装置を備えるメンテナンスシステム。
2. 前記ヘッド検査装置は、前記装着ヘッドの駆動部の駆動負荷、前記装着ヘッドの内部に形成されているエア流路を流通するエアの流量、および、前記エアの圧力のうちの少なくとも一つの良否を判定する請求項１に記載のメンテナンスシステム。
3. 前記第一可動装置は、メンテナンスとして、前記装着ヘッドの駆動部、および、前記装着ヘッドの内部に形成されているエア流路のうちの少なくとも一方を洗浄するヘッド洗浄装置を備え、
   前記ヘッド検査装置は、前記ヘッド洗浄装置によって洗浄された前記装着ヘッドの良否を再び判定する請求項１または請求項２に記載のメンテナンスシステム。
4. 基板に部品を装着する部品装着機に設けられる機器をメンテナンスする少なくとも一つのメンテナンスユニットと、
   前記部品装着機の外部に設けられ、前記メンテナンスユニットを搭載した状態でメンテナンスが必要な前記機器を備える少なくとも一つの前記部品装着機である対象作業機に移動して前記メンテナンスユニットを前記対象作業機と対向させる搬送装置と、
   前記メンテナンスユニットが前記対象作業機と対向するときに、前記メンテナンスユニットに前記機器のメンテナンスを行わせるメンテナンス制御部と、
   を備えるメンテナンスシステムであって、
   前記メンテナンスユニットは、前記対象作業機の機内に進退可能に設けられる第二可動装置を備え、
   前記メンテナンス制御部は、前記第二可動装置を前記対象作業機の機内に進退させて前記第二可動装置を用いて前記機器を搬出させ、前記メンテナンスユニットにおいて当該機器のメンテナンスを行わせるメンテナンスシステム。
5. 前記機器には、前記部品を吸着する吸着ノズルが含まれ、
   前記対象作業機は、
   前記吸着ノズルを収容するノズルステーションと、
   前記吸着ノズルを保持する装着ヘッドと、
   を備え、
   前記第二可動装置は、前記吸着ノズルを収容可能なノズルパレットを備え、
   前記メンテナンス制御部は、前記ノズルパレットを前記対象作業機の機内の所定位置に位置決めし、前記ノズルステーションに収容されている前記吸着ノズルを前記装着ヘッドに保持させ、前記装着ヘッドが保持した前記吸着ノズルを位置決めされた前記ノズルパレットに移載させる請求項４に記載のメンテナンスシステム。
6. 前記機器には、前記部品を吸着する吸着ノズルが含まれ、
   前記メンテナンスユニットは、メンテナンスとして前記吸着ノズルの良否を判定するノズル検査装置を備える請求項４または請求項５に記載のメンテナンスシステム。
7. 前記ノズル検査装置は、前記吸着ノズルの外観、前記吸着ノズルの内部を流通するエアの流量、および、伸縮部の摺動抵抗のうちの少なくとも一つの良否を判定する請求項６に記載のメンテナンスシステム。
8. 前記メンテナンスユニットは、メンテナンスとして前記吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄装置を備え、
   前記ノズル検査装置は、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された前記吸着ノズルの良否を再び判定する請求項６または請求項７に記載のメンテナンスシステム。
9. 前記メンテナンスユニットは、前記ノズル洗浄装置にエアを供給する配管の端部に設けられるユニット側コネクタを備え、
   前記対象作業機は、
   前記エアを供給するエア源と、
   前記エア源に接続されると共に前記ユニット側コネクタと嵌合可能な作業機側コネクタと、
   を備え、
   前記ユニット側コネクタおよび前記作業機側コネクタは、前記メンテナンスユニットが前記対象作業機と対向するときに嵌合し、
   前記ノズル洗浄装置は、前記エア源から供給される前記エアを用いて洗浄庫において洗浄流体を流通させて、前記吸着ノズルを洗浄する請求項８に記載のメンテナンスシステム。
10. 前記ユニット側コネクタおよび前記作業機側コネクタは、フローティングコネクタである請求項９に記載のメンテナンスシステム。
11. 前記メンテナンス制御部は、基板製品の生産中の前記対象作業機のアイドリング時、または、前記対象作業機の段取り替え時に、前記メンテナンスユニットに前記機器のメンテナンスを行わせる請求項１～請求項１０のいずれか一項に記載のメンテナンスシステム。
12. 前記メンテナンスユニットおよび前記搬送装置は、前記部品装着機から非接触給電によって供給された供給電力を用いて駆動し、
    前記搬送装置は、前記部品装着機が並んで設置されている基板生産ラインに沿って設けられる走行路を走行する請求項１～請求項１１のいずれか一項に記載のメンテナンスシステム。
13. 前記走行路は、前記供給電力を用いて駆動し前記基板に設けられる物品を前記部品装着機に供給する物品移動装置が走行可能である請求項１２に記載のメンテナンスシステム。

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