JP7288783B2 - センサ素子及びガスセンサ - Google Patents
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Description
酸素イオン伝導性の固体電解質層を備え、長手方向を有する長尺な直方体形状の素子本体と、
前記長手方向を前後方向として、前記素子本体の前端側に配設された複数の電極を有し、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するための検出部と、
前記複数の電極の1つであり前記素子本体の前記長手方向に沿った表面である第1面に配設された外側電極と、
前記第1面上に配設されて前記外側電極を被覆する多孔質の第1保護層と、
を備え、
前記第1保護層の後端面の表面積Sが0.9mm2以上である、
ものである。
図1~3に示したセンサ素子10を作製して、実験例1とした。ただし、後端面31aは、図7の後端面31aのように傾斜角度θが90°となるように作製した。実験例1のセンサ素子10の作製は、以下のように行った。まず、安定化剤のイットリアを4mol%添加したジルコニア粒子,有機バインダー,分散剤,可塑剤,及び有機溶剤を混合してテープ成形により成形したセラミックスグリーンシートを6枚用意した。このグリーンシートには印刷時や積層時の位置決めに用いるシート穴や必要なスルーホール等を予め複数形成しておいた。また、各々のグリーンシートには外側電極24を含む検出部23の各電極24~28及びヒータ29を形成するための導電性ペーストのパターンを印刷した。そして、6枚のグリーンシートを所定の順序に積層して、所定の温度・圧力条件を加えることで圧着させた。こうして得られた圧着体から素子本体20の大きさの未焼成素子本体を切り出した。そして、切り出した未焼成素子本体を焼成して、素子本体20を得た。外側電極24用の導電性ペーストは、Ptの粉末と、ジルコニア粉末と、バインダーとを混合することによって作製した。次に、素子本体20の表面に多孔質保護層30をプラズマ溶射により形成して、センサ素子10を得た。プラズマ溶射に用いる粉末溶射材料は、アルミナとした。第1保護層31の後端面31aの形状は、マスクを用いて調整した。実験例1の素子本体20の寸法は、長さが67.5mm、幅が4.25mm、厚みが1.45mmとした。第1保護層31は、気孔率が20%であり、厚みTが0.2μmであった。第1保護層31の後端面31aは、表面積Sが1.8mm2であり、傾斜角度θが90°であった。外側電極24と後端面31aとの最小距離Dは、6mmであった。第1保護層31の後端面31aは、算術平均粗さRaが10μmであった。
マスクの形状を変更して後端面31aを湾曲のない平面的な形状とし、且つ厚みTを変更した点以外は、実験例1と同様にして、実験例2のセンサ素子10を作製した。実験例2では、厚みTが0.3μmであり、表面積Sは1.7mm2であり、傾斜角度θが50°であった。最小距離Dは7mmであった。
後端面31aの形状は湾曲のない平面的な形状としたままで、表面積S,厚みT,傾斜角度θを種々変更した点以外は、実験例2と同様にして、実験例3~5のセンサ素子10を作製した。実験例3では、厚みTが0.3μmであり、表面積Sは1.3mm2であり、傾斜角度θが90°であった。実験例4では、厚みTが0.2μmであり、表面積Sは0.9mm2であり、傾斜角度θが90°であった。実験例5では、厚みTが0.1μmであり、表面積Sは0.4mm2であり、傾斜角度θが90°であった。実験例3~5の最小距離Dはいずれも7mmであった。
実験例1~5のセンサ素子10について、外側電極24の耐被毒性を評価する耐被毒性試験を行った。具体的には、まず、センサ素子10を図14のように45°傾けた状態で、ヒータ29により素子本体20の検出部23周辺を100℃に維持した。この状態での素子本体20の後端面31a周辺の温度は約80℃であった。この状態で、シロキサン(オクタメチルシクロテトラシロキサン)を0.12cc/Lの割合で含んだ水溶液を、センサ素子10の後端面31aと第1面20aとの接触部分に2μL/30secの速度で継続的に滴下した(図14の白抜き矢印参照)。また、滴下の開始前、及び滴下を開始してから6時間経過毎のタイミングで、ヒータ29により素子本体20の検出部23周辺を800℃に加熱しセンサ素子10を駆動させて、センサ素子10の出力(ポンプ電流Ip2)を測定した。そして、滴下の開始前のポンプ電流Ip2に対する、滴下開始後のポンプ電流Ip2の変化率を導出し、変化率が0%以下-5%超過の範囲内であった場合には問題なし(OK)と判定した。一方、変化率が-5%以下(変化率の絶対値が5%以上)であった場合には異常(NG)と判定した。耐被毒性試験中は、センサ素子10を大気中に配置した。すなわち、被測定ガスを大気(NOx濃度がゼロ)とした。外側電極24がシロキサンにより被毒して劣化すると検出部23の感度特性が変化することから、被測定ガス中のNOx濃度が変化しなくとも、ポンプ電流Ip2が変化する。そのため、ポンプ電流Ip2が滴下の開始前から変化した場合には、滴下した水溶液が外側電極24に多量に到達して外側電極24が被毒していることを意味する。実験例1~5のセンサ素子10の各々について、異常と判定されるまで、水溶液の滴下及び6時間経過毎のポンプ電流Ip2の測定を継続した。実験例1~5のセンサ素子10の表面積S,厚みT,傾斜角度θ,及び耐被測定試験の結果を表1に示す。
Claims (4)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質層を備え、長手方向を有する長尺な直方体形状の素子本体と、
前記長手方向を前後方向として、前記素子本体の前端側に配設された複数の電極を有し、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するための検出部と、
前記複数の電極の1つであり前記素子本体の前記長手方向に沿った表面である第1面に配設された外側電極と、
前記第1面上に配設されて前記外側電極を被覆する多孔質の第1保護層と、
を備え、
前記第1保護層の後端面の表面積Sが0.9mm2以上であり、
前記外側電極の後端から、前記後端面と前記第1面との接触部分までの最小距離Dが5mm以上であり、
前記第1保護層の前記後端面は、前記第1面に平行且つ前記長手方向に垂直な方向を左右方向として、左右の中央ほど凹むように湾曲した形状であり、
前記第1保護層の前記後端面は、前記第1面に対する傾斜角度θが10°以上80°以下である、
センサ素子。 - 前記第1保護層の厚みTが0.03mm以上1mm以下である、
請求項1に記載のセンサ素子。 - 前記第1保護層の前記後端面は、前記傾斜角度θが40°以上50°以下である、
請求項1又は2に記載のセンサ素子。 - 請求項1~3のいずれか1項に記載のセンサ素子を備えたガスセンサ。
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