JP7285655B2 - 弾性波デバイスおよび複合基板 - Google Patents
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Description
度特性が良好な弾性波デバイスを提供できる複合基板を提供することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る弾性波デバイス1の断面図である。弾性波デバイス1は、複合基板100と、複合基板100上に位置するIDT電極40とを備える。複合基板100は、圧電基板10と第1支持体20と第2支持体30と、を備える。ここで、便宜的にD1方向、D2方向、D3方向を定義し、D3方向を厚み方向とする。
持基板20を構成する材料としては、例えば、シリコン基板やサファイア基板等を用いてもよい。第1支持体20のヤング率E1は、シリコン基板を用いた場合には、180GPaである。
-0.098ln(E2/E1)+0.14≦t2/t≦-0.098ln(E2/E1)+0.54 ・・・式(1)
式(1)を満たすことにより、圧電基板10に大きな応力をかけることができ、弾性波デバイス1の温度変化による特性変化を低減することができる(温度補償効果を高めることができる)。以下、そのメカニズムについて詳述する。
第1支持体20としてSi基板を用い、複合基板100の総厚みtを240μmとしたときに、第2支持体30としてCu基板を用いた場合には、最大応力を実現するt2/tは0.39となり、t2は93μmとなる。同様に第2支持体30として樹脂基板を用いた場合には、最大応力を実現するt2/tは0.73となり、t2は174μmとなる。
上述の例では、圧電基板10,第1支持体20,第2支持体30の外周が揃っていたが、この限りではない。圧電基板10の下面が第1支持体20に、第1支持体20の下面が第2支持体30に接続されていればよく、例えば、図4(a)に示すように、圧電基板10の外周が第1支持体20の外周の内側に位置していてもよいし、図4(b)に示すように、第2支持体30の外周が第1支持体10の外周の外側に位置していたり、第2支持体30が、第1支持体10の外周の外側において第1支持体20の側に張り出す部分を備えていてもよい。
次に、上述の弾性波デバイス1を提供するための複合基板100について説明する。図5(a)は複合基板100の上面図であり、図5(b)は複合基板100の部分破断斜視図である。複合基板100は、ウエハ状の圧電基板11、第1支持体120、第2支持体130がこの順に積層されている。なお、圧電基板110,第1支持体120、第2支持体130はそれぞれ、圧電基板10,第1支持体20、第2支持体30と同様の構成を備えている。以下、異なる点のみを説明し、重複する説明を割愛する。
10,110・・・圧電基板
20,120・・・第1支持体
30,130・・・第2支持体
100・・複合基板
Claims (5)
- 厚み方向で対向する第1面と第2面とを備える第1支持体と、
前記第1面に接合された、前記第1支持体よりも線膨張係数の大きい圧電基板と、
前記第2面に接合された、前記第1支持体よりも線膨張係数の大きい第2支持体と、
前記圧電基板の前記第1支持体と反対側の面に形成された複数の電極指が繰り返し配列されたIDT電極と、
を備え、
前記第1支持体と前記圧電基板と前記第2支持体とを合わせた総厚みをt,前記第2支持体の厚みをt2,前記第1支持体のヤング率をE1,前記第2支持体のヤング率をE2とすると、-0.098ln(E2/E1)+0.14≦t2/t≦-0.098ln(E2/E1)+0.54の関係を満たし、
前記圧電基板は、タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、
前記第1支持体は、Siからなり、
前記第2支持体は、エポキシ樹脂からなる、
弾性波デバイス。 - 厚み方向で対向する第1面と第2面とを備える第1支持体と、
前記第1面に接合された、前記第1支持体よりも線膨張係数の大きい圧電基板と、
前記第2面に接合された、前記第1支持体よりも線膨張係数の大きい第2支持体と、
前記圧電基板の前記第1支持体と反対側の面に形成された複数の電極指が繰り返し配列されたIDT電極と、
を備え、
前記第1支持体と前記圧電基板と前記第2支持体とを合わせた総厚みをt,前記第2支持体の厚みをt2,前記第1支持体のヤング率をE1,前記第2支持体のヤング率をE2とすると、(-0.098ln(E2/E1)+0.34)×0.95≦t2/t≦(-0.098ln(E2/E1)+0.34)×1.05の関係を満たし、
前記圧電基板は、タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、
前記第1支持体は、Siからなり、
前記第2支持体は、エポキシ樹脂からなる、
弾性波デバイス。 - 前記圧電基板の厚みは、前記電極指のピッチの20倍以下の厚みである、請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記t2は、100μm以下の場合を除く、
請求項1~3のいずれかに記載の弾性波デバイス。 - 厚み方向で対向する第1面と第2面とを備える第1支持体と、
前記第1面に接合された、前記第1支持体よりも線膨張係数の大きい圧電基板と、
前記第2面に接合された、前記第1支持体よりも線膨張係数の大きい第2支持体と、
を備え、
前記第1支持体と前記圧電基板と前記第2支持体とを合わせた総厚みをt,前記第2支持体の厚みをt2,前記第1支持体のヤング率をE1,前記第2支持体のヤング率をE2とすると、-0.098ln(E2/E1)+0.14≦t2/t≦-0.098ln(E2/E1)+0.54の関係を満たし、
前記圧電基板は、タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、
前記第1支持体は、Siからなり、
前記第2支持体は、エポキシ樹脂からなる、複合基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2020137051A JP2020137051A (ja) | 2020-08-31 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7285655B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023058715A1 (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Citations (5)
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JP2008252351A (ja) | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
JP2010200197A (ja) | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Panasonic Corp | 弾性表面波デバイス |
JP2014147054A (ja) | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧電基板及び弾性表面波素子 |
JP2018125773A (ja) | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014027388A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 基板の設計方法 |
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2019
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20080169724A1 (en) | 2007-01-17 | 2008-07-17 | Rf Micro Devices, Inc. | Piezoelectric substrate for a saw device |
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JP2018125773A (ja) | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020137051A (ja) | 2020-08-31 |
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