JP7276505B2 - アクチュエータ、および、流体制御装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動する板と、板を振動可能に支持する機構とを備えるアクチュエータ、および、該アクチュエータを備える流体制御装置に関する。

特許文献１には、振動板ユニットを備える流体制御装置が記載されている。特許文献１の振動板ユニットは、振動板、枠板、および、連結部によって構成されている。枠板は、振動板の外縁を囲む形状である。連結部は、振動板の外縁と枠板とを接続する。

この際、連結部は、変形し易い形状からなり、振動板を弾性支持する。これにより、枠板が固定されていても、振動板は、所定の屈曲振動が可能になる。

特開２０１３－５７２４７号公報

しかしながら、特許文献１に示すような連結部は、変形し易い形状であることから、外部からの衝撃等によって破損し易い。また、流体制御装置としての一例であるポンプの動作によって、振動板と連結部とを含むアクチュエータの上下面（振動板の上下面）に差圧が生じた場合、連結部が変形することで、振動板に配置された駆動体に応力が生じ、駆動体が破損し易い。

したがって、本発明の目的は、所望の振動を実現させながら、破損し難いアクチュエータを提供することにある。

この発明のアクチュエータは、第１主板、枠体、連結部、および、駆動体を備える。枠体は、第１主板の外縁よりも外側に、第１主板から離間して配置されている。連結部は、第１主板と枠体と間に配置されている。駆動体は、第１主板に配置され、第１主板を屈曲振動させる。連結部は、外縁に沿って配置された、第１主板および枠体に接続する連結体と、連結体に隣接する空隙と、を有する。第１主板と連結体とは、同一材料からなる。連結体の平均厚みは、第１主板の平均厚みよりも大きい。

この構成では、連結体が厚いことで、外力に対して構造的な耐久性が高くなり、破損し難い。また、アクチュエータとして機能する振動は、第１主板に生じるので、所定の振動が得られる。

この発明によれば、所望の振動を実現させながら、破損し難いアクチュエータを実現できる。

図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータを含む流体制御装置の分解斜視図である。 図２は、第１の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。 図３は、第１の実施形態に係るアクチュエータの第１主板を含む平板の平面図である。 図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）は、第１の実施形態に係るアクチュエータにおける第１主板の支持態様の派生例を示す断面図である。 図５は、第２の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。 図６は、第３の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。 図７は、第４の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。 図８は、第５の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。 図９は、アクチュエータの第１主板を含む平板の他の例を示す平面図である。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータを含む流体制御装置の分解斜視図である。図２は、第１の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。図３は、第１の実施形態に係るアクチュエータの第１主板を含む平板の平面図である。なお、図３では、厚みの差をハッチングの差によって表現している。

また、以下の各実施形態に示す各図においては、説明を分かり易くするために、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載している。また、図面を読み易くするために、一意的に推定できる構成要素については、部分的に符号を省略している。

（流体制御装置１０の構成）
図１、図２に示すように、流体制御装置１０は、第１主板２１、枠体２２、連結部２３、圧電素子３０、第２主板４０、接続部材５０を備える。圧電素子３０が、本発明の「駆動体」に対応する。また、第１主板２１、枠体２２、連結部２３、および、圧電素子３０によって、アクチュエータ１１が構成される。

図１、図３に示すように、第１主板２１は、平面視した形状が円形の平板である。第１主板２１は、円形の第１主面２１１と第２主面２１２とを有する。第１主面２１１と第２主面２１２とは、互いに対向する。第１主板２１は、例えば金属等からなる。第１主板２１は、後述の圧電素子３０の歪みによって、屈曲振動を起こすものであればよい。屈曲振動とは、第１主板２１を側面視して、第１主面２１１および第２主面２１２が波状に変位する振動である。

枠体２２は、平板であり、枠体２２を平面視した形状は、内周形状が円形の環形である。枠体２２は、環形の第１主面２２１と第２主面２２２とを有する。第１主面２２１と第２主面２２２とは、互いに対向する。枠体２２は、第１主板２１の外縁よりも外側に配置されている。枠体２２は、第１主板２１の外縁から距離をおいて配置されており、平面視において、第１主板２１を囲んでいる。すなわち、第１主板２１は、枠体２２の内周端の内側の空間内に配置されている。

連結部２３は、第１主板２１と枠体２２との間に配置されている。連結部２３は、第１主板２１の外縁の周方向に沿って配置されている。より具体的には、連結部２３は、複数の連結体２３１と複数の空隙２３２とを有する。複数の連結体２３１と複数の空隙２３２とは、第１主板２１の外縁の周方向に沿って交互に隣接して配置されている。複数の連結体２３１は、第１主板２１の外縁と枠体２２の内周端とに接続し、梁を形成している。空隙２３２は、第１主板２１の第１主面２１１および枠体２２の第１主面２２１側から第１主板２１の第２主面２１２および枠体２２の第２主面２２２側に貫通し、平面視して弧状の溝である。

第１主板２１、枠体２２、および、複数の連結体２３１は、１枚の板から一体形成されている。すなわち、１枚の板に複数の空隙２３２を形成し、枠体２２の外形を成形することによって、第１主板２１、枠体２２、および、複数の連結体２３１は、形成される。よって、第１主板２１、枠体２２、および、複数の連結体２３１は、同一材料からなる。なお、複数の連結体２３１の個数は、３個に限るものではなく、４個以上であってもよい。

このような構成によって、第１主板２１は、連結部２３（より具体的には、複数の連結体２３１）によって、枠体２２に対して振動可能に保持される。

圧電素子３０は、円板の圧電体と駆動用の電極とを備える。駆動用の電極は、円板の圧電体における両主面に形成されている。

圧電素子３０は、第１主板２１の第２主面２１２に配置される。この際、平面視において、圧電素子３０の中心と第１主板２１の中心とは、略一致している。圧電素子３０は、駆動用の電極に駆動信号が印加されることで歪む。この歪みによって、第１主板２１は、屈曲振動する。

そして、以上の構成によって、第１主板２１が屈曲して所定の機能を実現するアクチュエータ１１となる。

第２主板４０は、平面視した形状が円形の平板である。第２主板４０は、屈曲振動が殆ど生じない材料、厚み等からなることが好ましい。第２主板４０の外形形状は、第１主板２１、連結部２３、および、枠体２２からなる部分の外形形状を含む大きさである。第２主板４０は、円形の主面４０１と主面４０２とを有する。主面４０１と主面４０２とは、互いに対向する。

第２主板４０は、貫通孔４００を備える。貫通孔４００は、第２主板４０の主面４０１側と主面４０２側とを連通する。貫通孔４００は、第２主板４０の中心に重なる位置に配置される。なお、貫通孔４００の配置位置は、第２主板４０の中心に重なる位置に限らない。例えば、貫通孔４００は、複数であり、複数の貫通孔４００は、第２主板の中心を原点とする環状に配置されていてもよい。

第２主板４０は、第１主板２１に対して、互いの主面が平行になるように配置される。この際、第２主板４０の主面４０１と第１主板２１の第１主面２１１とは、対向する。また、第２主板４０を平面視した中心と、第１主板２１を平面視した中心とは、略一致している。

接続部材５０は、環状の柱体である。接続部材５０は、屈曲振動が殆ど生じない材料、厚み等からなることが好ましい。接続部材５０は、枠体２２と第２主板４０との間に配置される。接続部材５０の高さ方向の一方端は、枠体２２の第１主面２２１に接続する。接続部材５０の高さ方向の他方端は、第２主板４０の主面４０１に接続する。なお、接続部材５０は、枠体２２または第２主板４０と別体でもよく、一体形成されていてもよい。

この構成によって、流体制御装置１０は、第１主板２１、連結部２３の複数の連結体２３１、および、枠体２２からなる平板と、第２主板４０と、接続部材５０とによって囲まれる空間を備える。この空間における第１主板２１と第２主板４０とに挟まれた空間が、流体制御装置１０の実質的なポンプ室１００となる。ポンプ室１００は、貫通孔４００、および、連結部２３の複数の空隙２３２に連通している。言い換えれば、ポンプ室１００は、貫通孔４００、および、連結部２３の複数の空隙２３２を介して、流体制御装置１０の外部空間に連通している。

このような構成では、第１主板２１の屈曲振動によって、ポンプ室１００内の圧力分布が生じる。そして、第１主板２１の屈曲振動によって、ポンプ室１００内の圧力分布が経時的に変化し、流体制御装置１０は、第１主板２１の第１主面２１１に平行な方向に流体を搬送できる。これにより、例えば、流体制御装置１０は、空隙２３２から流体を吸入し、貫通孔４００から流体を吐出できる。または、流体制御装置１０は、この逆方向にも、流体を搬送可能である。

（第１主板２１の支持構造のより具体的な説明）
図２に示すように、複数の連結体２３１の厚みＤ２３は、第１主板２１の厚みＤ２１よりも大きい。なお、本実施形態では、第１主板２１の厚みが一定であるので、第１主板２１の平均厚みは、厚みＤ２１と同じである。

このような構成によって、第１主板２１を振動可能に保持する構造である複数の連結体２３１は厚くなり、変形が生じ難い。したがって、複数の連結体２３１の外力に対する構造的な耐久性は、高くなる。すなわち、複数の連結体２３１は、外力による破断やクラックが生じ難くなる。一方で、アクチュエータ１１および流体制御装置１０として所望の機能を実現するための振動は、第１主板２１の屈曲振動によって実現される。したがって、この構成を実現することによって、アクチュエータ１１および流体制御装置１０として必要な第１主板２１の屈曲振動は、確保できる。

これにより、本実施形態のアクチュエータ１１および流体制御装置１０は、所望の振動を実現させながら、破損し難く、本実施形態のアクチュエータ１１および流体制御装置１０の信頼性は向上する。さらには、流体制御装置１０としての一例であるポンプの動作によって、第１主板２１と複数の連結体２３１とを含むアクチュエータの上下面（第１主板２１の第１主面２１１と第２主面２１２）に差圧が生じた場合、連結体２３１が変形することに起因する圧電素子３０への応力は抑制できる。したがって、圧電素子３０の破損を抑制できる。これにより、流体制御装置１０の信頼性はさらに向上する。

また、本実施形態の構成では、次の特徴を有する。図２に示すように、枠体２２の厚みＤ２２は、複数の連結体２３１の厚みＤ２３と同じである。これにより、枠体２２に漏洩する振動は、抑制される。したがって、枠体２２が薄い場合よりも、アクチュエータ１１および流体制御装置１０の効率は向上する。なお、枠体２２の厚みＤ２２は、複数の連結体２３１の厚みＤ２３以上であるとよく、厚みＤ２３が大きくなるほど、振動の漏洩を抑制できる。ここでいう厚みとは、平均厚みであり、図２に示す場合のように、厚みが一定であれば、厚みと平均厚みとは同じとなる。この概念は、本願の他の部分にも適用される。

また、本実施形態の構成では、第１主板２１の第１主面２１１、枠体２２の第１主面２２１、および、複数の連結体２３１の第１主面２３１１は、面一である。一方、枠体２２の第２主面２２２、および、複数の連結体２３１の第２主面２３１２は、面一であり、第１主板２１の第２主面２１２は、枠体２２の第２主面２２２、および、複数の連結体２３１の第２主面２３１２よりも、第１主板２１の第１主面２１１側にある。

この構成では、圧電素子３０の少なくとも一部が、複数の連結体２３１の第２主面２３１２と第１主板２１の第２主面２１２の段差による空間内に配置されるので、アクチュエータ１１および流体制御装置１０を薄型化できる。

（第１主板２１の支持態様の派生例）
図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）は、第１の実施形態に係るアクチュエータにおける第１主板の支持態様の派生例を示す断面図である。

図４（Ａ）の態様では、アクチュエータ１１Ａ１は、第１主板２１の第２主面２１２、枠体２２の第２主面２２２、および、複数の連結体２３１の第２主面２３１２が面一である。この構成では、第１主板２１の第１主面２１１が複数の連結体２３１の第１主面２３１１よりも、第１主板２１の第２主面２１２側に位置する。これにより、上述の流体制御装置の構成であれば、ポンプ室１００の体積を大きくできる。

図４（Ｂ）の態様では、アクチュエータ１１Ａ２は、第１主板２１は、複数の連結体２３１の厚み方向の途中位置に接続している。図４（Ｃ）の態様では、アクチュエータ１１Ａ３は、第１主板２１は、１つの連結体２３１に対しては、第２主面２１２が第２主面２３１２に面一なるように接続される。また、第１主板２１は、他の連結体２３１に対しては、第１主面２１１が第１主面２３１１に面一なるように接続される。これらの構成であっても、上述の所望の振動を実現させながら、破損し難い構造を実現できる。

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図５は、第２の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。

図５に示すように、第２の実施形態に係る流体制御装置１０Ｂは、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、アクチュエータ１１Ｂの構成において異なる。流体制御装置１０Ｂの他の構成は、流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

アクチュエータ１１Ｂは、第１主板２１Ｂを備える。第１主板２１Ｂは、第１領域２０１と第２領域２０２とを有する。第１領域２０１と第２領域２０２とは、第１主板２１Ｂの中心から外縁に向けて、この順で配置されている。言い換えれば、第１領域２０１は、第１主板２１Ｂの外縁を含まない領域であり、第２領域２０２は、第１領域２０１を囲い第１主板２１Ｂの外縁を含む領域である。

第１領域２０１の厚みＤ２０１は、第２領域２０２の厚みＤ２０２よりも大きい。第１領域２０１と第２領域２０２とは、ポンプ室１００側の主面は、面一でつながっており、第１主面２１１を構成している。第１領域２０１の第２主面２０１２は、第２領域２０２の第２主面２０２２よりも、第１主面２１１から離間している。

圧電素子３０は、第１領域２０１の第２主面２０１２に配置されている。

このような構成では、所定の共振周波数を得るために、第１主板２１Ｂを薄くすることができる。したがって、第１主板２１Ｂの振動変位を増加できる。これにより、例えば、圧電素子３０の駆動電圧を低下させることができ、アクチュエータ１１Ｂおよび流体制御装置１０Ｂの効率を向上できる。

この際、第２領域２０２の厚みＤ２０２は、第１主板２１Ｂの平均厚みよりも小さくなるため、第１主板２１Ｂの外縁付近の振動変位をさらに増加できる。これにより、アクチュエータ１１Ｂおよび流体制御装置１０Ｂの効率をさらに向上できる。

また、第１主板２１Ｂの第１主面２１１が中心から外縁まで平坦、すなわち、ポンプ室１００側の面の全体が平坦面であるので、実質的に流体制御装置１０の流体制御（流体搬送）の機能に作用するポンプ室１００の平面面積を大きくでき、体積を大きくできる。したがって、流体制御装置１０Ｂの効率をさらに向上できる。

また、アクチュエータ１１Ｂの構成では、第１主板２１Ｂの厚み方向の上端面（第１主面２１１）、連結体２３１の厚み方向の上端面（第１主面２３１１）、および、枠体２２の厚み方向の上端面（第１主面２２１）は、面一である。さらに、第１主板２１Ｂの厚み方向の下端面（第１領域２０１の第２主面２０１２）、連結体２３１の厚み方向の下端面（第２主面２３１２）、および、枠体２２の厚み方向の下端面（第２主面２２２）は、面一である。これにより、第１主板２１Ｂ、連結体２３１、および、枠体２２の厚み寸法を安定して、これらの構造体を形成できる。したがって、アクチュエータ１１Ｂは、振動特性のバラツキを小さくできる。

（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図６は、第３の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。

図６に示すように、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ｃは、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、アクチュエータ１１Ｃの構成において異なる。流体制御装置１０Ｃの他の構成は、流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

アクチュエータ１１Ｃは、第１主板２１Ｃを備える。第１主板２１Ｃは、第１領域２０１と第２領域２０２とを有する。第１領域２０１と第２領域２０２とは、第１主板２１Ｃの中心から外縁に向けて、この順で配置されている。

第１領域２０１の厚みＤ２０１は、第２領域２０２の厚みＤ２０２よりも大きい。第１領域２０１と第２領域２０２とは、ポンプ室１００側と反対側の主面は、面一でつながっており、第２主面２１２を構成している。第１領域２０１の第１主面２０１１は、第２領域２０２の第１主面２０２１よりも、第２主面２１２から離間している。

圧電素子３０は、第２主面２１２に配置されており、平面視において、第１領域２０１に部分的に重なっている。

このような構成では、第２の実施形態に係る流体制御装置１０Ｂと同様に、第１主板２１Ｃの振動変位を増加できる。これにより、アクチュエータ１１Ｃおよび流体制御装置１０Ｃの効率を向上できる。

この際、第２領域２０２の厚みＤ２０２は、第１主板２１Ｃの平均厚みよりも小さいことが好ましい。このような構成によって、第１主板２１Ｃの外縁付近の振動変位をさらに増加できる。これにより、アクチュエータ１１Ｃおよび流体制御装置１０Ｃの効率をさらに向上できる。

また、アクチュエータ１１Ｃの構成では、第１主板２１Ｃの厚み方向の上端面（第１領域２０１の第１主面２０１１）、連結体２３１の厚み方向の上端面（第１主面２３１１）、および、枠体２２の厚み方向の上端面（第１主面２２１）は、面一である。さらに、第１主板２１Ｃの厚み方向の下端面（第２主面２１２）、連結体２３１の厚み方向の下端面（第２主面２３１２）、および、枠体２２の厚み方向の下端面（第２主面２２２）は、面一である。これにより、第１主板２１Ｃ、連結体２３１、および、枠体２２の厚み寸法を安定して、これらの構造体を形成できる。したがって、アクチュエータ１１Ｃは、振動特性のバラツキを小さくできる。

（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図７は、第４の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。

図７に示すように、第４の実施形態に係る流体制御装置１０Ｄは、第２の実施形態に係る流体制御装置１０Ｂに対して、アクチュエータ１１Ｄの構成において異なる。流体制御装置１０Ｄの他の構成は、流体制御装置１０Ｂと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

アクチュエータ１１Ｄは、第２の実施形態に係るアクチュエータ１１Ｂに対して、第１主板２１Ｄを備える点で異なる。アクチュエータ１１Ｄの他の構成は、アクチュエータ１１Ｂと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

第１主板２１Ｄは、第２の実施形態に係る第１主板２１Ｂに対して、凹部２１３を有する点で異なる。第１主板２１Ｄの他の構成は、第１主板２１Ｂと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

凹部２１３は、第１領域２０１の中心、言い換えれば、第１主板２１Ｄの中心を含む円筒形である。凹部２１３は、第１領域２０１において第１主面２１１から凹む形状である。この際、凹部２１３は、第２領域２０２の厚みＤ２０２が第１領域２０１の平均厚みよりも小さくなる範囲内において、形状を設定することが好ましい。

このような構成においても、アクチュエータ１１Ｄおよび流体制御装置１０Ｄは、上述のアクチュエータ１１Ｂおよび流体制御装置１０Ｂと同様の作用効果を奏する。さらに、このような構成によって、流体制御装置１０Ｄは、第１主板２１Ｄの屈曲振動によって第１主板２１Ｄの中心部分が第２主板４０に接触することを抑制できる。

（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図８は、第５の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す断面図である。

図８に示すように、第５の実施形態に係る流体制御装置１０Ｅは、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、接続部材５０Ｅの構成において異なる。流体制御装置１０Ｅの他の構成は、流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

接続部材５０Ｅは、複数のビーズ５１と接着材５２とを備える。複数のビーズ５１は、所定の粒径を有する。なお、複数のビーズ５１の粒径は一定でなくてもよく、ポンプ室１００の高さに応じて適宜設定されていればよい。

接続部材５０Ｅは、接着材５２によって、第２主板４０の主面４０１と枠体２２の第１主面２２１とを接着する構造からなる。この際、接着材５２に混ぜられた複数のビーズ５１の粒径によって、第２主板４０の主面４０１と枠体２２の第１主面２２１との距離、すなわち、ポンプ室１００の高さを実現する。

このような構成であっても、流体制御装置１０Ｅは、流体制御装置１０と同様の作用効果を奏することができる。

なお、上述の説明では、連結部２３は、複数の連結体２３１と複数の空隙２３２とが周方向に隣接して交互に配置される態様を示した。しかしながら、連結部は、連結体に対して空隙が径方向（周方向および厚み方向に直交する方向）に隣接している態様であってもよい。図９は、アクチュエータの第１主板を含む平板の他の例を示す平面図である。

図９に示すように、連結部は、環状の連結体２３１と複数の空隙２３２とを有する。環状の連結体２３１は、第１主板２１の外縁に沿って、一周繋がる形状である。複数の空隙２３２は、弧状であり、環状の連結体２３１に対して、周方向に直交する径方向に隣接して配置されている。言い換えれば、複数の空隙２３２は、環状の連結体２３１と第１主板２１との間、および、環状の連結体２３１と枠体２２との間に配置されている。

複数の空隙２３２は、周方向に沿って間隔をおいて配置されている。この複数の空隙２３２が切れる部分において、環状の連結体２３１は、第１主板２１および枠体２２に接続している。そして、この複数の空隙２３２が切れる部分も、本願の連結体の一部に含むことができる。

このような構成であっても、上述の厚みの関係を適用することによって、上述の作用効果を奏することができる。

また、上述の各実施形態では、第１主板を平面視した形状は、円形であったが、正多角形、特に、角数の多い正多角形であっても、上述の構成を適用することは可能である。だたし、第１主板が円形であることによって、振動が全周に均一に発生するので、振動効率が向上し、より好ましい。この際、枠体の内縁は、第１主板の外縁に沿う円形であることが好ましく、枠体の内縁が円形であることによって、円形の第１主板をバランス良く支持し易い。また、上述の各実施形態では、枠体２２の外縁が円形の態様を示したが、枠体２２の外形は円形に限らず、適宜設定できる。

また、上述の各部は、厚みが一定である態様を示したが、所定の範囲内（例えば、製造誤差の範囲内、性能上許容の範囲内）であれば、厚みに部分的な差があってもよい。この場合、上記の各部の厚みは、平均厚みとして考えればよい。

また、上述の各実施形態では、第１主板、枠体、複数の連結体を一体形成する態様を示した。しかしながら、第１主板と複数の連結体とを一体形成し、枠体をこれらと別体で形成してもよい。また、第１主板、複数の連結体、および、枠体を、それぞれ別体で形成することも可能である。この場合、複数の連結体の外力に対する構造的な耐久性が高くなる構成、例えば、剛性の高い材料を用いればよい。ただし、上述の各実施形態に係る構成を用いることによって、アクチュエータおよび流体制御装置を容易に形成しながら、上述の作用効果を奏することができ、実用上、より有効である。

また、上述の各実施形態の構成は、適宜組合せが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。

１０、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ：流体制御装置
１１、１１Ａ１、１１Ａ２、１１Ａ３、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ：アクチュエータ
２１、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ：第１主板
２２：枠体
２３：連結部
３０：圧電素子
４０：第２主板
５０、５０Ｅ：接続部材
５１：ビーズ
５２：接着材
１００：ポンプ室
２０１：第１領域
２０２：第２領域
２１１：第１主板２１の第１主面
２１２：第１主板２１の第２主面
２１３：凹部
２２１：枠体２２の第１主面
２２２：枠体２２の第２主面
２３１：連結体
２３２：空隙
４００：貫通孔
４０１：第２主板４０の主面
４０２：第２主板４０の主面
２０１１：第１領域２０１の第１主面
２０１２：第１領域２０１の第２主面
２０２１：第２領域２０２の第１主面
２０２２：第２領域２０２の第２主面
２３１１：連結体２３１の第１主面
２３１２：連結体２３１の第２主面

Claims (10)

1. 第１主板と、
   前記第１主板の外縁よりも外側に、前記第１主板から離間して配置された枠体と、
   前記第１主板と前記枠体と間に配置された連結部と、
   前記第１主板に配置され、前記第１主板を屈曲振動させる駆動体と、を備え、
   前記連結部は、前記外縁に沿って配置された、前記第１主板および前記枠体に接続する連結体と、前記連結体に隣接する空隙と、を有し、
   前記第１主板と前記連結体とは、同一材料からなり、
   前記連結体の平均厚みは、前記第１主板の平均厚みよりも大きい、
   アクチュエータ。
2. 前記枠体の平均厚みは、前記連結体の平均厚み以上である、
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第１主板は、前記外縁を含まない第１領域と、前記第１領域を囲い前記外縁を含む第２領域と、を有し、
   前記第１領域の平均厚みは、前記第２領域の平均厚みよりも大きい、
   請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記第２領域の平均厚みは、前記第１主板の平均厚みよりも小さい、
   請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記第１主板、前記連結体、および、前記枠体は、一体形成されており、
   前記第１主板の厚み方向の上端、前記連結体の厚み方向の上端、および、前記枠体の厚み方向の上端は、面一である、
   または、
   前記第１主板の厚み方向の下端、前記連結体の厚み方向の下端、および、前記枠体の厚み方向の下端は、面一である、
   請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のアクチュエータ。
6. 前記第１主板は、円形である、
   請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のアクチュエータ。
7. 前記枠体の内縁は、前記第１主板の外縁に沿う円形である、
   請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のアクチュエータと、
   前記第１主板の主面に対して直交する方向に前記第１主板から距離をおいて配置される第２主板と、
   前記第２主板と前記枠体の間に配置され、前記第２主板と前記枠体とに接続する接続部材とを備え、
   前記第２主板の主面は、前記第１主板の主面と平行に位置し、
   前記第２主板は、前記第２主板の主面に直交する方向に延びる貫通孔を有し、
   前記第１主板、前記第２主板、および、前記接続部材に囲まれ、前記連結部の前記空隙、および、前記第２主板の前記貫通孔によって外部に連通するポンプ室を有する、
   流体制御装置。
9. 前記第１主板における前記第２主板に対向する主面は、凹凸を有さない形状である、
   請求項８に記載の流体制御装置。
10. 前記第１主板における前記第２主板に対向する主面は、外縁が中央よりも凹んでいる、
    請求項８に記載の流体制御装置。

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