JP7275198B2 - マイクロリソグラフィマスクを特徴付けるための装置および方法 - Google Patents
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Description
コヒーレント光を放出する少なくとも1つの光源と、
少なくとも1つの光源のコヒーレント光からマスク上に回折限界光スポット(diffraction-limited light spot)を生成する照明光学ユニットと、
走査デバイスであって、それを用いてマスクに対して回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニットと、
センサユニットに入射し、マスクから来た光を評価するための評価ユニットと、
少なくとも1つの光源によって放出されたコヒーレント光の一部を結合出力するための出力結合素子と、
この出力結合された部分の強度を捕捉するための強度センサと、
を備える。
コヒーレント光を放出する少なくとも1つの光源と、
少なくとも1つの光源のコヒーレント光からマスク上に回折限界光スポットを生成する照明光学ユニットと、
走査デバイスであって、それを用いてマスクに対して回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニットと、
センサユニットに入射し、マスクから来た光を評価するための評価ユニットと、
を備え、
互いに独立して調整可能な複数の光学素子からなるアレイが、マスクとセンサユニットとの間の光路に配置されている。
コヒーレント光を放出する複数の光源と、
これらの光源によって生成された光を合成するためのスイッチング光学ユニットと、
コヒーレント光からマスク上に回折限界光スポットを生成する照明光学ユニットと、
走査デバイスであって、それを用いてマスクに対して回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニットと、
センサユニットに入射し、マスクから来た光を評価するための評価ユニットと、
を備える。
コヒーレント光を放出する少なくとも1つの光源と、
少なくとも1つの光源のコヒーレント光からマスク上に回折限界光スポットを生成する照明光学ユニットと、
走査デバイスであって、それを用いてマスクに対して回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニットと、
センサユニットに入射し、マスクから来た光を評価するための評価ユニットと、
を備え、
照明光学ユニットが少なくとも1つのミラーを備え、ミラーが、装置の動作中にミラーの光学有効面で生じる入射角がそれぞれの面法線に対して少なくとも70°となるように配置されている。
コヒーレント光を放出する少なくとも1つの光源と、
少なくとも1つの光源のコヒーレント光からマスク上に回折限界光スポットを生成する照明光学ユニットと、
走査デバイスであって、それを用いてマスクに対して回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニットと、
センサユニットに入射し、マスクから来た光を評価するための評価ユニットと、
を備え、
照明光学ユニットが少なくとも1つのミラーを備え、ミラーが、装置の動作中にミラーの光学有効面で生じる入射角が、それぞれの面法線に対して最大で20°となるように配置されている。
コヒーレント光を放出する少なくとも1つの光源と、
少なくとも1つの光源のコヒーレント光からマスク上に回折限界光スポットを生成する照明光学ユニットと、
走査デバイスであって、それを用いてマスクに対して回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニットと、
センサユニットに入射し、マスクから来た光を評価するための評価ユニットと、
を備え、
少なくとも1つの位相シフタ素子が、光源とマスクとの間の光路に配置されている。
回折限界光スポットが、照明光学ユニットを介して少なくとも1つの光源によって生成されたコヒーレント光からマスク上に生成され、
回折限界光スポットの走査移動が、マスクに対して実施され、
センサユニットに入射し、マスクから来た光が評価され、
少なくとも1つの光源によって放出されたコヒーレント光の一部が出力結合され、この出力結合された部分の強度が捕捉される。
110 照明光学ユニット
120 マスク
130 センサユニット
140 出力結合素子
145 コヒーレント光の一部
150 強度センサ
205 光源
210 照明光学ユニット
220 マスク
230 センサユニット
240 出力結合素子
245 コヒーレント光の一部
250 強度センサ
310 照明光学ユニット
311 照明光学ユニット
340 出力結合素子
405a 光源
405b 光源
410 照明光学ユニット
510 照明光学ユニット
605 光源
610 照明光学ユニット
620 マスク
630 センサユニット
710 照明光学ユニット
720 マスク
730 センサユニット
810 照明光学ユニット
820 マスク
830 センサユニット
Claims (12)
- マイクロリソグラフィマスクを特徴付けるための装置であって、
コヒーレント光を放出する少なくとも1つの光源(105、205、405a、405b、605)と、
前記少なくとも1つの光源(105、205、405a、405b、605)の前記コヒーレント光から前記マスク(120、220、620、720、820)上に回折限界光スポットを生成する照明光学ユニット(110、210、310、311、410、510、610、710、810)と、
走査デバイスであって、それを用いて前記マスク(120、220、620、720、820)に対して前記回折限界光スポットの走査移動を実施することが可能な走査デバイスと、
センサユニット(130、230、630、730、830)と、
前記センサユニット(130、230、630、730、830)に入射し、前記マスク(120、220、620、720、820)から来た光を評価するための評価ユニットと、
を備え、
前記装置が、
前記少なくとも1つの光源(105、205、405a、405b、605)によって放出された前記コヒーレント光の一部(145、245)を結合出力するための出力結合素子(140、240、340)と、
この出力結合された部分(145、245)の強度を捕捉するための強度センサ(150、250)と、
をさらに備えることを特徴とし、
前記装置が、互いに独立して調整可能な複数の光学素子の少なくとも1つのアレイを備え、前記アレイが、前記マスク(120、220、620、720、820)と前記センサユニット(130、230、630、730、830)との間の光路に配置されていることを特徴とする、
装置。 - 前記出力結合素子(140、240、340)が反射性素子であることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記出力結合素子(140)が、前記少なくとも1つの光源(105)と前記照明光学ユニット(110)との間に配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記出力結合素子(240、340)が、前記照明光学ユニット(210、311)内に配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記照明光学ユニット(310、311)が、ゾーンプレートを備えることを特徴とする、請求項1~4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記出力結合素子(340)が、このゾーンプレートの反射領域によって形成されていることを特徴とする、請求項5に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの光源(105、205、405a、405b、605)が、HHGレーザであることを特徴とする、請求項1~6のいずれか1項に記載の装置。
- 複数のコヒーレント光源(405a、405b)を備えることを特徴とする、請求項1~7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記照明光学ユニット(510)が少なくとも1つのミラー(511、512、513、514)を備え、前記ミラーが、前記装置の動作中に前記ミラー(511、512、513、514)の光学有効面で生じる入射角がそれぞれの面法線に対して少なくとも70°となるように配置されていることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載の装置。
- 前記照明光学ユニット(610)が少なくとも1つのミラー(611、612)を備え、前記ミラーが、前記装置の前記動作中に前記ミラー(611、612)の光学有効面で生じる入射角がそれぞれの面法線に対して最大で20°となるように配置されていることを特徴とする、請求項1~9のいずれか1項に記載の装置。
- 光源(105、205、405)とマスク(120、220、620、720、820)との間の光路に少なくとも1つの位相シフタ素子をさらに備えることを特徴とする、請求項1~10のいずれか1項に記載の装置。
- マイクロリソグラフィマスクを特徴付けるための方法であって、
回折限界光スポットが、少なくとも1つの光源(105、205、405a、405b、605)によって生成されたコヒーレント光から照明光学ユニット(110、210、310、311、410、510、610、710、810)を介して前記マスク(120、220、620、720、820)上に生成され、
前記回折限界光スポットの走査移動が前記マスク(120、220、620、720、820)に対して実施され、
センサユニット(130、230、630、730、830)に入射し、前記マスク(120、220、620、720、820)から来た光が評価される、
方法において、
前記少なくとも1つの光源(105、205、405a、405b、605)によって放出された前記コヒーレント光の一部(145、245)が出力結合され、この出力結合された部分(145、245)の強度が捕捉される、
ことを特徴とし、
互いに独立して調整可能な複数の光学素子の少なくとも1つのアレイが、前記マスク(120、220、620、720、820)と前記センサユニット(130、230、630、730、830)との間の光路に配置されていることを特徴とする、
方法。
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