JP7274107B2 - 被覆切削工具 - Google Patents
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Description
特許文献1には、硬質材料で被覆された物体がAl2O3層を有することが開示されているが、Al2O3層の特性に関しては、一切考慮されていない。そのため、特許文献1に記載の硬質材料で被覆された物体は、耐摩耗性や耐欠損性が不十分であり、改善の余地がある。
特許文献2に記載のコーティング付き切削工具は、α-Al2O3層の配向が考慮されている点で、耐クレータ摩耗性は、向上している。しかしながら、特許文献2に記載のコーティング付き切削工具は、α-Al2O3層の粒径が考慮されていないため、粒子脱落に起因したチッピングが生じる場合があり、耐欠損性が不十分であり、改善の余地がある。
[1]
基材と、該基材の表面に形成された被覆層とを備え、
前記被覆層が、前記基材側から前記被覆層の表面側に向かって、下部層及び上部層をこの順で含み、前記下部層の表面に前記上部層が形成されており、
前記下部層が、下記式(1)で表される組成を有する化合物を含有し、
(AlxTi1-x)N・・・(1)
[式(1)中、xはAl元素とTi元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.70≦x≦0.90を満足する。]、
前記下部層の平均厚さが、1.0μm以上15.0μm以下であり、
前記上部層が、α型Al2O3からなるα型Al2O3層を含有し、
前記上部層の平均厚さが、0.5μm以上15.0μm以下であり、
前記α型Al2O3層の粒子において、粒径が0.05μm以上0.5μm未満である粒子の割合が、50面積%以上80面積%以下である、被覆切削工具。
[2]
前記α型Al2O3層の粒子において、粒径が0.5μm以上1.0μm未満である粒子の割合が、10面積%以上50面積%以下である、[1]に記載の被覆切削工具。
[3]
前記α型Al2O3層の粒子において、粒径が1.0μm以上3.0μm以下である粒子の割合が、0面積%以上10面積%以下である、[1]又は[2]に記載の被覆切削工具。
[4]
前記上部層において、全粒界の合計長さ100%に対するΣ3粒界の長さの割合が、0%以上10%以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の被覆切削工具。
[5]
前記被覆層全体の平均厚さが、2.0μm以上20.0μm以下である、[1]~[4]のいずれかに記載の被覆切削工具。
[6]
前記基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス又は立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、[1]~[5]のいずれかに記載の被覆切削工具。
(AlxTi1-x)N・・・(1)
[式(1)中、xはAl元素とTi元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.70≦x≦0.90を満足する。]、
下部層の平均厚さが、1.0μm以上15.0μm以下であり、上部層が、α型Al2O3からなるα型Al2O3層を含有し、上部層の平均厚さが、0.5μm以上15.0μm以下であり、α型Al2O3層の粒子において、粒径が0.05μm以上0.5μm未満である粒子の割合が、50面積%以上80面積%以下ある。
そして、これらの構成が組み合わされることにより、本実施形態の被覆切削工具は、耐摩耗性及び耐欠損性が向上し、その結果、工具寿命を延長することができるものと考えられる。
なお、本実施形態の被覆切削工具における各層及び被覆層全体の平均厚さは、各層又は被覆層全体における3箇所以上の断面から、各層の厚さ又は被覆層全体の厚さを測定して、その相加平均値を計算する。
本実施形態に用いる下部層は、下記式(1)で表される組成を有する化合物を含有する。
(AlxTi1-x)N・・・(1)
[式(1)中、xはAl元素とTi元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.70≦x≦0.90を満足する。]
本実施形態の被覆切削工具は、基材と上部層との間に、このような下部層を備えると、耐摩耗性及び密着性が向上する。
本実施形態に用いる上部層は、α型Al2O3からなるα型Al2O3層を含有する。本実施形態の被覆切削工具は、上部層がα型Al2O3からなるα型Al2O3層を含有することにより、硬くなるため、耐摩耗性が向上する。
まず、基材の表面に、下部層を化学蒸着法で形成する。次いで、下部層の表面に上部層を化学蒸着法で形成する。
下部層は、原料組成をTiCl4:0.2~0.5mol%、AlCl3:0.5~2.0mol%、NH3:2.0~5.0mol%、H2:残部とし、温度を700~900℃、圧力を3~5hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
上部層として、例えば、α型Al2O3からなるα型Al2O3層(以下、単に「Al2O3層」ともいう。)を以下のとおり形成することができる。
また、上部層と接する基材側の層を、上記式(1)で表される組成(AlxTi1-x)Nを有する化合物を含有する下部層とすることにより、α型Al2O3層の粒径0.05μm以上0.5μm未満である粒子の割合を上記特定の範囲に制御することができる傾向にある。このメカニズムは明らかではないが、本発明者は、上部層と該上部層と接する基材側の層との界面が影響すると推定している。具体的には、上部層と接する基材側の層を、上記式(1)で表される組成(AlxTi1-x)Nを有する化合物を含有するような平滑な下部層とすることにより、上部層のα型Al2O3層の粒子が微粒化し易くなり、α型Al2O3層の粒径0.05μm以上0.5μm未満である粒子の割合を上記特定の範囲に制御することができる傾向にあると推定している。一方、上部層と接する基材側の層をTiCNやTiAlCNO等の針状粒子の層とすると、上部層のα型Al2O3層の粒子が粗大化する傾向にある。
また、上部層と接する基材側の層を、上記式(1)で表される組成(AlxTi1-x)Nを有する化合物を含有する下部層とすることにより、粗大粒子の割合、特に粒径が1.0μm以上の粒子の割合を減らすことができる傾向にある。
また、上部層と接する基材側の層を、上記式(1)で表される組成(AlxTi1-x)Nを有する化合物を含有する下部層とすることにより、全粒界の合計長さ100%に対するΣ3粒界の長さの割合を小さくすることができる傾向にある。
発明品1~18及び比較品1~9については、基材の表面を洗浄した後、以下のとおり被覆層を化学蒸着法により形成した。まず、基材を外熱式化学蒸着装置に装入し、表2に示す原料組成、温度及び圧力の条件の下、表1に組成を示す下部層を、表1に示す平均厚さになるよう、基材の表面に形成した。その後、表3に示す条件で、下部層の表面上にα型Al2O3層の核を形成した。α型Al2O3層の核形成後、表4に示す原料組成、温度及び圧力の条件の下、表1に示す組成の上部層を、表1に示す平均厚さになるよう、下部層の表面に形成した。なお、発明品9については上部層を形成しなかった。こうして、発明品1~18及び比較品1~9の被覆切削工具を得た。
比較品10及び11については、基材の表面を洗浄した後、以下のとおり被覆層を化学蒸着法により形成した。まず、基材を外熱式化学蒸着装置に装入し、表2に示す原料組成、温度及び圧力の条件の下、表1に組成を示す下部層を、表1に示す平均厚さになるよう、基材の表面に形成した。その後、表5に示す原料組成、温度及び圧力の条件の下、表1に示す組成の中間層を、表1に示す平均厚さになるよう、下部層の表面に形成した。次いで、CO2:0.5mol%、H2:99.5mol%のガス組成、1000℃の温度、及び60hPaの圧力の条件の下、5分間、中間層の表面に酸化処理を施した。その後、表3に示す条件で、中間層の表面上にα型Al2O3層の核を形成した。α型Al2O3層の核形成後、表4に示す原料組成、温度及び圧力の条件の下、表1に示す組成の上部層を、表1に示す平均厚さになるよう、中間層の表面に形成した。こうして、比較品10及び11の被覆切削工具を得た。
得られた試料の各層の平均厚さを下記のようにして求めた。すなわち、FE-SEMを用いて、被覆切削工具の刃先稜線部からすくい面の中心部に向かって50μmの位置の近傍における断面での3箇所の厚さを測定し、その相加平均値を平均厚さとして求めた。測定結果を表1に示す。
得られた試料の各層の組成は、被覆切削工具の刃先稜線部からすくい面の中心部に向かって50μmまでの位置の近傍の断面において、EDSを用いて測定した。測定結果を表1に示す。
得られた試料の上部層のCSL粒界の長さ及びΣ3粒界の長さを下記のとおりに測定した。まず、被覆切削工具において、基材の表面と平行な方向に上部層の断面が露出するまで研磨して観察面を得た。また、得られた観察面を、コロイダルシリカを用いて研磨して鏡面観察面を得た。
得られた試料について、α型Al2O3層の粒子の粒径を以下のとおり測定した。被覆切削工具において、基材の表面と平行な方向に上部層の断面が露出するまで研磨して観察面を得た。この観察面について、EBSDを備えたFE-SEMで観察した。隣接する測定点の間で5度以上の方位差がある場合はそこを粒界と定義した。粒界で囲まれた領域を1つの結晶粒と定義した。次に、α型Al2O3層の粒子の各結晶粒の面積を求め、それと同じ面積を有する円の直径を各結晶粒の粒径とした。そして、測定面積全体を100面積%としたときの各粒径範囲の粒径分布(面積%)を求めた。結果を表6に示す。
被削材:SCM400
被削材形状:200mm×150mm×80mmの直方体形状
切削速度:350m/分
切り込み深さ:2.0mm
切削幅:75mm
送り:0.20mm/t
クーラント:DRY
評価項目(耐摩耗性試験):試料の逃げ面摩耗幅が0.3mm以上に至ったときを工具寿命とし、工具寿命までの加工時間を測定した。
被削材:SCM400
被削材形状:φ30mmの穴が6個ついた200mm×150mm×80mmの直方体形状
切削速度:160m/分
切り込み深さ:1.0mm
切削幅:100mm
送り:0.30mm/t
クーラント:DRY
評価項目(耐欠損性試験):試料がチッピング(幅0.2mm以上)あるいは欠損に至ったときを工具寿命とし、工具寿命までに加工した回数を測定した。なお、加工回数については、直方体形状の被削材の上面(200mm×150mmの被削材の面)を数往復して全面加工したときを1回(1pass)とした。
以上の結果より、発明品は、耐摩耗性及び耐欠損性の両方が優れる結果、工具寿命が長いことが分かった。
Claims (2)
- 基材と、該基材の表面に形成された被覆層とを備え、
前記被覆層が、前記基材側から前記被覆層の表面側に向かって、下部層及び上部層をこの順で含み、前記下部層の表面に前記上部層が形成されており、
前記下部層が、下記式(1)で表される組成を有する化合物を含有し、
(AlxTi1-x)N・・・(1)
[式(1)中、xはAl元素とTi元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.70≦x≦0.90を満足する。]、
前記下部層の平均厚さが、1.0μm以上15.0μm以下であり、
前記上部層が、α型Al2O3からなるα型Al2O3層を含有し、
前記上部層の平均厚さが、0.5μm以上15.0μm以下であり、
前記α型Al2O3層の粒子において、粒径が0.05μm以上0.5μm未満である粒子の割合が、50面積%以上80面積%以下であり、
前記α型Al 2 O 3 層の粒子において、粒径が0.5μm以上1.0μm未満である粒子の割合が、10面積%以上50面積%以下であり、
前記α型Al 2 O 3 層の粒子において、粒径が1.0μm以上3.0μm以下である粒子の割合が、0面積%以上10面積%以下であり、
前記上部層において、全粒界の合計長さ100%に対するΣ3粒界の長さの割合が、0%以上10%以下であり、
前記被覆層全体の平均厚さが、2.0μm以上20.0μm以下である、被覆切削工具。 - 前記基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス又は立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、請求項1に記載の被覆切削工具。
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