JP2021094670A - 被覆切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
[1]
基材と、該基材の表面上に形成された被覆層とを備える被覆切削工具であって、
前記被覆層が、下部層と、該下部層の表面上に形成された上部層とを含み、
前記下部層が、Tiの炭化物層、Tiの窒化物層、Tiの炭窒化物層、Tiの炭酸化物層及びTiの炭窒酸化物層からなる群より選択される1種以上の層からなるTi化合物層であり、
前記下部層の平均厚さが、3.0μm以上15.0μm以下であり、
前記上部層が、α型酸化アルミニウム層からなり、
前記上部層の平均厚さが、3.0μm以上15.0μm以下であり、
前記Ti化合物層が、少なくとも1層のTiの炭窒化物層を含み、
前記Tiの炭窒化物層が下記式(i)で表される組成からなり、
Ti(CxN1-x) (i)
(式中、xは、前記Tiの炭窒化物層において、C元素とN元素との合計に対するC元素の原子比を表し、0.65<x≦0.90を満足する。)
前記Tiの炭窒化物層において、下記式(1)で表される(331)面の組織係数TC(331)が、1.5以上4.0以下である、被覆切削工具。
[2]
前記Tiの炭窒化物層において、前記組織係数TC(331)が、2.0以上4.0以下である、[1]に記載の被覆切削工具。
[3]
前記Tiの炭窒化物層を構成する粒子の平均粒径が、0.3μm以上2.0μm以下である、[1]又は[2]に記載の被覆切削工具。
[4]
前記被覆層が、前記上部層の表面に形成された外層を含み、
前記外層が、Tiの窒化物層及び/又はTiの炭窒化物層からなり、
前記外層の平均厚さが、0.1μm以上5.0μm以下である、[1]〜[3]のいずれかに記載の被覆切削工具。
[5]
前記被覆層全体の平均厚さが、7.5μm以上25.0μm以下である、[1]〜[4]のいずれかに記載の被覆切削工具。
[6]
前記基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス及び立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、[1]〜[5]のいずれかに記載の被覆切削工具。
Ti(CxN1-x) (i)
(式中、xは、Tiの炭窒化物層において、C元素とN元素との合計に対するC元素の原子比を表し、0.65<x≦0.90を満足する。)
本実施形態の下部層は、Tiの炭化物層(以下、「TiC層」とも表記する。)、Tiの窒化物層(以下、「TiN層」とも表記する。)、Tiの炭窒化物層(以下、「TiCN層」とも表記する。)、Tiの炭酸化物層(以下、「TiCO層」とも表記する。)及びTiの炭窒酸化物層(以下、「TiCNO層」とも表記する。)からなる群より選択される1種以上の層からなるTi化合物層である。被覆切削工具が、基材とα型酸化アルミニウム(以下、「α型Al2O3」とも表記する。)を含有する上部層との間に、下部層を備えると、耐摩耗性及び密着性が向上する。
Ti(CxN1-x) (i)
(式中、xは、前記Tiの炭窒化物層において、C元素とN元素との合計に対するC元素の原子比を表し、0.65<x≦0.90を満足する。)
組成Ti(CxN1-x)において、xが0.65を超えると、硬さが向上することにより、被覆切削工具の耐摩耗性が向上し、xが0.90以下であると、硬さが高くなることによる靭性の低下を抑制し、被覆切削工具の耐欠損性が向上する。同様の観点から、xは、0.66以上0.89以下が好ましく、0.67以上0.89以下がより好ましい。
本実施形態の被覆切削工具は、下部層に含まれるTiの炭窒化物層において、上記式(1)で表される(331)面の組織係数TC(331)が、1.5以上であると、組成Ti(CxN1-x)中のxを特定の大きい範囲としても、Tiの炭窒化物層を構成する粒子の粒径を大きくすることができ、この結果、靭性が向上する。これにより、本実施形態の被覆切削工具は、耐摩耗性及び耐欠損性が向上する。一方、本実施形態の被覆切削工具は、下部層に含まれるTiの炭窒化物層において、上記式(1)で表される(331)面の組織係数TC(331)が、4.0以下であると、容易に製造することができる。同様の観点から、下部層に含まれるTiの炭窒化物層において、上記式(1)で表される(331)面の組織係数TC(331)は、2.0以上4.0以下であることが好ましく、2.2以上3.8以下であることがより好ましい。
なお、従来は、炭素の原子比が0.7を超えたTiの炭窒化物層を製造するには、炭素源となるC2H4等の分圧を大きくする必要があるため、Tiの炭窒化物層を構成する粒子が微粒化する傾向があり、その結果、被覆切削工具は、靭性が不十分となる場合がある。本実施形態の被覆切削工具では、上述のとおり(331)面に配向したTiの炭窒化物層を有するので、Tiの炭窒化物層を構成する粒子が微粒化することを抑制でき、その結果、被覆切削工具は、靭性が向上し、耐欠損性に優れる。また、従来技術として(331)面に配向したTiの炭窒化物層は得られておらず、(331)面に配向したTiの炭窒化物層は、(220)面に対して耐欠損性が優位であり、(422)面に対して耐摩耗性が優位である。
本実施形態の被覆切削工具は、被覆層が、下部層と、該下部層の表面上に形成された上部層とを含む。本実施形態に用いる上部層は、α型酸化アルミニウム層からなる。α型酸化アルミニウム層は、α型酸化アルミニウムからなる。本実施形態の被覆切削工具は、α型酸化アルミニウム層からなる上部層を含むことにより、下部層のTi化合物層の酸化による反応摩耗を抑制することができる。この結果、本実施形態の被覆切削工具は、耐摩耗性が向上する。
本実施形態の被覆切削工具は、被覆層が、上部層の表面に形成された外層を含むことが好ましい。外層は、Tiの窒化物層及び/又はTiの炭窒化物層からなる。
原料組成をTiCl4:3.5〜8.0mol%、CH3CN:0.8〜2.0mol%、H2:残部とし、温度を800〜850℃、圧力を70〜120hPaとする化学蒸着法でTiCN層の一部を形成する。工程1の時間は、3〜15分とする。
〔工程2〕
原料組成をTiCl4:3.5〜8.0mol%、CH3CN:0.3〜1.0mol%、C2H4:1.0〜3.0mol%、H2:残部とし、温度を900〜950℃、圧力を70〜120hPaとする化学蒸着法でTiCN層の全部を形成する。
得られた発明品1〜14及び比較品1〜7ついて、Cu−Kα線を用いた2θ/θ集中法光学系のX線回折測定を、出力:50kV、250mA、入射側ソーラースリット:5°、発散縦スリット:2/3°、発散縦制限スリット:5mm、散乱スリット:2/3°、受光側ソーラースリット:5°、受光スリット:0.3mm、BENTモノクロメータ、受光モノクロスリット:0.8mm、サンプリング幅:0.01°、スキャンスピード:4°/min、2θ測定範囲:20°〜155°とする条件で行った。装置は、株式会社リガク製のX線回折装置(型式「SmartLab」)を用いた。X線回折図形から、得られた発明品1〜14及び比較品1〜7における下部層のTiCN層の各結晶面のピーク強度を求めた。得られた各結晶面のピーク強度から、下部層のTiCN層における(331)面の組織係数TC(331)、(220)面の組織係数TC(220)及び(422)面の組織係数TC(422)を順に下記式(1)〜(3)より算出した。結果を表6に示す。
得られた発明品1〜14及び比較品1〜7ついて、下部層のTiCN層を構成する粒子の平均粒径は、FE−SEMに付属したEBSDを用いて測定した。具体的には、ダイヤモンドペーストを用いて被覆切削工具を研磨した後、コロイダルシリカを用いて仕上げ研磨を行い、被覆切削工具の断面組織を得た。被覆切削工具の断面組織を有する試料をFE−SEMにセットし、試料の断面組織に70度の入射角度で15kVの加速電圧及び0.5nA照射電流で電子線を照射した。EBSDにより被覆切削工具の下部層のTiCN層における断面組織を、測定範囲が(TiCN層の平均厚さ−0.5μm)×50μmの範囲、0.1μmのステップサイズで測定した。このとき、方位差が5°以上の境界を粒界とみなし、この粒界によって囲まれる領域を粒子とした。ここで、平均粒径を求める際の粒径は、被覆層の膜厚方向に直交する方向における粒径とした。この際、TiCN層の平均厚さの50%の位置において各粒子の粒径を求めた。具体的には、まず、TiCN層の平均厚さの50%の位置に膜厚方向に直交する方向に直線を引いた。次に、直線の範囲に含まれる粒子の数を求めた。直線の長さを粒子の数で除した値を平均粒径とした。この際、TiCN層の断面組織から、画像解析ソフトを用いて粒径を求めた。TiCN層について、特定した各粒子の平均粒径をそれぞれ求めた。結果を、表6に示す。
被削材:FCD600の円盤形状、
切削速度:150m/min、
送り:0.30mm/rev、
切り込み深さ:2.0mm、
クーラント:有り、
評価項目:試料が欠損、最大逃げ面摩耗幅が0.3mmに至ったときを工具寿命とし、工具寿命までの加工時間を測定した。
被削材:FCD600の2本溝入り丸棒、
切削速度:150m/min、
送り:0.30mm/rev、
切り込み深さ:2.0mm、
クーラント:有り、
評価項目:試料が欠損、最大逃げ面摩耗幅が0.3mmに至ったときを工具寿命とし、工具寿命までの加工時間を測定した。
Claims (6)
- 基材と、該基材の表面上に形成された被覆層とを備える被覆切削工具であって、
前記被覆層が、下部層と、該下部層の表面上に形成された上部層とを含み、
前記下部層が、Tiの炭化物層、Tiの窒化物層、Tiの炭窒化物層、Tiの炭酸化物層及びTiの炭窒酸化物層からなる群より選択される1種以上の層からなるTi化合物層であり、
前記下部層の平均厚さが、3.0μm以上15.0μm以下であり、
前記上部層が、α型酸化アルミニウム層からなり、
前記上部層の平均厚さが、3.0μm以上15.0μm以下であり、
前記Ti化合物層が、少なくとも1層のTiの炭窒化物層を含み、
前記Tiの炭窒化物層が下記式(i)で表される組成からなり、
Ti(CxN1-x) (i)
(式中、xは、前記Tiの炭窒化物層において、C元素とN元素との合計に対するC元素の原子比を表し、0.65<x≦0.90を満足する。)
前記Tiの炭窒化物層において、下記式(1)で表される(331)面の組織係数TC(331)が、1.5以上4.0以下である、被覆切削工具。
- 前記Tiの炭窒化物層において、前記組織係数TC(331)が、2.0以上4.0以下である、請求項1に記載の被覆切削工具。
- 前記Tiの炭窒化物層を構成する粒子の平均粒径が、0.3μm以上2.0μm以下である、請求項1又は2に記載の被覆切削工具。
- 前記被覆層が、前記上部層の表面に形成された外層を含み、
前記外層が、Tiの窒化物層及び/又はTiの炭窒化物層からなり、
前記外層の平均厚さが、0.1μm以上5.0μm以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の被覆切削工具。 - 前記被覆層全体の平均厚さが、7.5μm以上25.0μm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
- 前記基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス及び立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07285001A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆切削工具 |
JPH11131235A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆超硬合金 |
WO2000079022A1 (fr) * | 1999-06-21 | 2000-12-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Alliage dur enrobé |
US20040265541A1 (en) * | 2003-04-24 | 2004-12-30 | Sakari Ruppi | Coating with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance and toughness |
JP2011011331A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Sandvik Intellectual Property Ab | 被覆された切削工具インサート |
WO2012144088A1 (ja) * | 2011-04-21 | 2012-10-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3109306B2 (ja) | 1992-11-25 | 2000-11-13 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層の耐摩耗性が向上した表面被覆サーメット製切削工具 |
EP1323847A3 (en) * | 2001-12-28 | 2005-09-14 | Seco Tools Ab | Coated cemented carbide body and method for use |
JP4022865B2 (ja) * | 2002-09-27 | 2007-12-19 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被覆切削工具 |
SE527346C2 (sv) * | 2003-04-24 | 2006-02-14 | Seco Tools Ab | Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret |
KR101225803B1 (ko) * | 2004-04-13 | 2013-01-23 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 표면 피복 절삭 공구 |
DE102005049393B4 (de) * | 2005-10-15 | 2019-08-08 | Kennametal Widia Produktions Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers |
JP2009285760A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Kyocera Corp | 切削工具 |
CN102612417A (zh) * | 2009-11-06 | 2012-07-25 | 株式会社图格莱 | 被覆工具 |
EP2692466B1 (en) | 2011-03-31 | 2019-10-02 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool |
US8741428B2 (en) * | 2011-04-21 | 2014-06-03 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and manufacturing method thereof |
WO2013081047A1 (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | 京セラ株式会社 | 被覆工具 |
EP2604720A1 (en) * | 2011-12-14 | 2013-06-19 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool and method of manufacturing the same |
DE112014001640B4 (de) * | 2013-03-28 | 2022-06-02 | Kennametal Inc. | Mehrschichtig strukturierte Beschichtungen für Schneidwerkzeuge und Verfahren zum Herstellen eines Schneidwerkzeugs |
EP3000913B1 (en) * | 2014-09-26 | 2020-07-29 | Walter Ag | Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N) |
RU2704949C2 (ru) * | 2014-12-19 | 2019-10-31 | Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб | Режущий инструмент с хогф-покрытием |
KR101687142B1 (ko) * | 2016-07-20 | 2016-12-15 | 한국야금 주식회사 | 절삭공구용 경질피막 |
JP6973026B2 (ja) * | 2017-02-20 | 2021-11-24 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
EP3366796A1 (en) * | 2017-02-28 | 2018-08-29 | Sandvik Intellectual Property AB | Coated cutting tool |
JP6727553B2 (ja) * | 2017-09-14 | 2020-07-22 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
CN112292482B (zh) * | 2018-06-28 | 2023-09-08 | 山特维克科洛曼特公司 | 涂布的切削工具 |
-
2019
- 2019-12-19 JP JP2019228993A patent/JP7141601B2/ja active Active
-
2020
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07285001A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆切削工具 |
JPH11131235A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆超硬合金 |
WO2000079022A1 (fr) * | 1999-06-21 | 2000-12-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Alliage dur enrobé |
US20040265541A1 (en) * | 2003-04-24 | 2004-12-30 | Sakari Ruppi | Coating with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance and toughness |
JP2011011331A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Sandvik Intellectual Property Ab | 被覆された切削工具インサート |
WO2012144088A1 (ja) * | 2011-04-21 | 2012-10-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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