JP7271680B2 - 光センサモジュールおよび光センサモジュールの製造方法 - Google Patents

Description

本願は、光センサモジュール、およびその製造方法に関する。

従来から、赤外線検出素子などの光検出素子（センサ）を備えた光センサモジュールにおいて、金属キャップ内に光センサを収納した光センサモジュールが知られている。

このような光センサモジュールにおいて、金属キャップの入射窓にレンズを配置したものが知られている。金属キャップの入射窓にレンズを配した光センサモジュールでは、センサの受光部にレンズで集光して結像させることで、映像あるいは温度分布を検出することができる。キャップの入射窓にレンズを配置した光センサモジュールにおいては、レンズとセンサとの位置合わせを高精度に行う必要がある。しかしながら、上述した従来の光センサモジュールでは、センサとレンズとの間に介在する部材（センサとレンズとの位置合わせに影響を及ぼす部品）が多く、レンズとセンサとの位置合わせを高精度に行うことができない。

これに対して、レンズとセンサとの位置合わせを高精度に行うことができるように、回路基板にセンサとレンズとの位置合わせに用いるアライメントマークを形成し、アライメントマークを見ながらセンサを回路基板にダイボンドした上で、アライメントマークを見ながらレンズを搭載する製造方法が開示されている（特許文献１参照）。

特開２０１１－６９６４９号公報

特許文献１に記載された光センサモジュールにおいては、キャップは金属で形成され、レンズと別体となっているために、レンズの光学中心を認識カメラで容易に認識できる構成となっている。しかしながら、金属キャップはコストが高いという問題がある。光センサモジュールをコストダウンするためには、例えば、レンズを保持するためのレンズ台座を使用しない、接着剤を使用せずにレンズを予め特定の位置に固定したキャップを使用する、金属ではなく樹脂のキャップを使用する、等の方法が考えられる。

接着剤を使用せずにレンズを予めキャップ（レンズ保持部材）に固定する場合、レンズを固定するためにレンズの外周部をキャップで支える必要があるため、レンズの外縁がキャップの外側から見えず、レンズの光学中心を容易に認識できない。しかも、一度キャップを基板に接着してしまえばレンズの位置を修正することができない。そのため、アライメントマークを見ながらレンズを搭載する場合でも、レンズとセンサの位置合わせを高精度に行うためには、センサを駆動させた状態でレンズを通した画像を確認しながらレンズを搭載するアクティブアライメントを行う必要がある。

本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、レンズが予め固定されて一体となったレンズ保持部材を、アクティブアライメントを用いることなく、レンズとセンサの位置合わせを短時間で高精度に行うことができる光センサモジュールおよびその製造方法を提供することを目的とする。

本願に開示される光センサモジュールは、基板と、この基板に固定された、光を検出する光検出素子と、基板の電極パターン上に設けられた配線部材と、レンズが固定され、光検出素子を取り囲む位置で基板に固定され、底面の外周が矩形形状を有するレンズ保持部材と、を備えた光センサモジュールにおいて、レンズは、レンズの外周部がレンズ保持部材の材料自身により覆われることにより固定されており、レンズの外縁が、レンズ保持部材の内面側またはレンズ保持部材の外面側でレンズの外縁の全周の４分の１以上、２分の１以下露出しており、レンズ保持部材は基板に対して予め定められた向きに固定されているものである。
また、レンズの外縁の一部が、レンズ保持部材の内面側または外面側で露出しており、レンズ保持部材は基板に対して予め定められた向きに固定されているとともに、レンズの側面に対向するレンズ保持部材の内壁が、レンズの側面側に張り出す突起を３個以上有しているものである。

また、本願に開示される光センサモジュールの製造方法は、レンズの外縁が円形である光センサモジュールの製造方法であって、レンズが固定されたレンズ保持部材のレンズが固定された部分を、レンズの外縁が露出する側から撮像し、撮像した画像の、レンズの外縁の少なくとも３点を含む円から、レンズの光学中心位置を求める工程と、光検出素子の受光部の直上に、求めたレンズの光学中心位置が配置されるようにレンズ保持部材の位置を設定して、レンズ保持部材と基板とを固定する工程と、を有するものである。

本願に開示される光センサモジュールおよびその製造法方法によれば、アクティブアライメントを用いることなく、レンズとセンサの位置合わせを短時間で高精度に行うことができる光センサモジュールおよびその製造方法が得られる。

実施の形態１による光センサモジュールの構成を示す断面図である。 実施の形態１による光センサモジュールのレンズ保持部材の構成を示す下面図である。 実施の形態１による光センサモジュールの製造方法の一工程を説明するための図である。 実施の形態２による光センサモジュールの構成を示す断面図である。 実施の形態２による光センサモジュールのレンズ保持部材の構成を示す下面図である。 実施の形態２による光センサモジュールのレンズ保持部材の別の構成を示す上面図である。 実施の形態２による光センサモジュールの図６の構成のレンズ保持部材の要部拡大図である。 実施の形態３による光センサモジュールのレンズ保持部材の構成を示す下面図である。 実施の形態３による光センサモジュールのレンズ保持部材の別の構成を示す下面図である。 図８に示す光センサモジュールのレンズ保持部材において、レンズ保持部材の向きの測定を説明するための図である。 図９に示す光センサモジュールのレンズ保持部材において、レンズ保持部材の向きの測定を説明するための図である。 実施の形態４による光センサモジュールのレンズ保持部材の構成を示す下面図である。 実施の形態４による光センサモジュールのレンズ保持部材による効果を説明するための図である。 実施の形態５による光センサモジュールの製造方法を説明するための第一の図である。 実施の形態５による光センサモジュールの製造方法を説明するための第二の図である。 実施の形態５による光センサモジュールの製造方法を説明するための第三の図である。

本願の光センサモジュールの実施の形態について、図を参照しながら説明する。なお、各図において、同一または同様の構成部分については同じ符号を付している。また、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け当業者の理解を容易にするため、既によく知られた事項の説明および実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。

また、各図間では、対応する各構成部分のサイズあるいは縮尺はそれぞれ独立している。例えば、構成の一部を変更した図と変更していない図示において、同一構成部分のサイズあるいは縮尺が異なっている場合もある。また、光センサモジュールの構成について、実際にはさらに複数の部材を備えているが、本願の説明に必要な部分のみを記載し、その他の部分については説明を省略している。また、以下の説明では、光センサモジュールとして赤外線を検出する光センサモジュールを例にして説明するが、赤外線ではなく同様の課題を持つ可視光の光センサモジュールなど、種々の光センサモジュールに対して各実施の形態を適用することもできる。

実施の形態１.
図１は、実施の形態１による光センサモジュールの概略構成示す断面図、図２は図１のレンズ保持部材８０をガラスエポキシ基板２０との接着面側から見た平面図、すなわち下面図である。図１は、図２のＡ－Ａ位置での断面図となっている。光センサモジュールは、基本構成として、光検出素子としての赤外線検出素子１０と、基板としてのガラスエポキシ基板２０と、成形後にレンズ９０が挿入されてレンズ９０の周囲を樹脂でかしめて固定することで、赤外線を透過して集光するためのレンズ９０が固定されたレンズ保持部材８０とを有している。ガラスエポキシ基板２０の一表面に赤外線検出素子１０がＡｇペースト６０によって固着されて、レンズ保持部材８０に覆われた内部に固定され、収納されている。レンズ９０が固定されたレンズ保持部材８０の底面８４は接着剤７０によってガラスエポキシ基板２０に接着されている。

なお、図１および図２では、光センサモジュールにおける基本的な構成部分のみを図示し、ガラスエポキシ基板２０上に接合されている他の部材である、専用ＩＣ、ワイヤ、コンデンサ、コネクタ等、本願に直接関係しない構成部材については図示を省略している。

赤外線検出素子１０は熱型の赤外線センサであり、例えば、バナジウムオキサイド（ＶＯｘ）に代表される抵抗ボロメータ型のセンサ、あるいはＰＮダイオードの温度特性を利用したＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ダイオードボロメータ型のセンサで、Ｓｉからなる。また、赤外線検出素子１０の端には、赤外線検出素子１０の受光部に対してレンズ９０を透過した赤外線が集光される位置にレンズ保持部材８０を接着するため、アライメントマーク（後で説明する図１４に示すアライメントマーク１１）が形成されている。

基板としてのガラスエポキシ基板２０は、種々の機能を発揮する回路を含む基板である。ガラスエポキシ基板２０は、板状のガラスエポキシ基材２０ａと、このガラスエポキシ基材２０ａの両面に形成された、電極パターン２０ｂおよび電極パターン２０ｃを有する。電極パターン２０ｂ、電極パターン２０ｃは、ガラスエポキシ基板２０上に固定された赤外線検出素子１０および図示しない他の電子デバイスを電気的に接続し、また他の回路基板および外部の電源等に接続するインターフェイス等を提供する。ガラスエポキシ基材２０ａは、電気的絶縁物であり、接着剤７０でガラスエポキシ基板２０に接着されているレンズ保持部材８０、電極パターン２０ｂ、２０ｃにＡｇペースト６０によって接合されている赤外線検出素子１０および他の電子デバイスなど、との線膨張係数差によって、光センサモジュールの動作中、温度上昇により応力が生じる。ガラスエポキシ基材２０ａは、この応力に起因する反りなどの変形が生じ難いように厚い材料が好ましく、一般的には、例えば厚さ０．８ｍｍ～１．０ｍｍ程度のガラスエポキシ基材２０ａが用いられる。

また、図１では、ガラスエポキシ基板２０には赤外線検出素子１０が１枚のみ配置されている例を示しているが、１枚のガラスエポキシ基板２０に複数の赤外線検出素子１０を配置してもよい。さらに、ガラスエポキシ基板２０の個数は１個であるが、ガラスエポキシ基板２０の個数は１個に限定されない。例えば、１枚のガラスエポキシ基板２０内に複数の同一の電極パターンを設け、個々の電極パターン上に１枚ずつ赤外線検出素子１０および他の電子デバイスを配置して接合し、個々の赤外線検出素子１０の領域をそれぞれレンズ保持部材８０で覆うことで封止した後、個々の電極パターンごとに切断して分割するような構成としても良い。

電極パターン２０ｂおよび電極パターン２０ｃは、同じ材料が用いられるのが一般的である。一方の電極パターン２０ｂには、赤外線検出素子１０がＡｇペースト６０によって接合され、また電極パターン２０ｂは、Ａｕワイヤ等で接合部を形成することで、他の電子デバイスと赤外線検出素子１０とを電気的に接続する。このような電極パターン２０ｂは、赤外線検出素子１０と、外部の回路とを電気接続するための配線部材であるため、電気抵抗の小さい金属が好ましい。よって、電極パターン２０ｂ、２０ｃは、一般的には例えば１０～４０μｍ程度のＣｕ箔が用いられる。

ガラスエポキシ基板２０上に形成された電極パターン２０ｂと赤外線検出素子１０とは、接合材であるＡｇペースト６０により接合されている。Ａｇペースト６０によって赤外線検出素子１０が接合される時は、既に他の電子部品がはんだによってガラスエポキシ基板２０上に接合されている。そのため、赤外線検出素子１０の接合時に周囲のはんだが再溶融しないように、Ａｇペースト６０の硬化温度がはんだの融点未満であることが好ましい。また、赤外線検出素子１０の温度上昇を避けるため接合材は熱伝導率が大きい方が好ましい。そのため、接合材はＡｇペーストに限らず他の導電性接着剤、あるいはＡｇナノ粒子ペースト等の焼結接合材でもかまわないが、接着温度、熱伝導率、コスト等の観点からＡｇペーストを用いるのが好ましい。

接着剤７０はレンズ保持部材８０の底面８４と、ガラスエポキシ基板２０の赤外線検出素子１０が接合された側の面とを接着する。接着剤７０によってレンズ保持部材８０が接着される時は、ガラスエポキシ基板２０の表面に赤外線検出素子１０がＡｇペースト６０によって接着され、他の電子部品がはんだによって接合され、それらを電気的に接続するための部材であるＡｕワイヤ等が配線されている。そのため、接着剤７０の硬化時にガラスエポキシ基板２０上に実装されている他の部材が破壊したり、はんだが再溶融したりしないように、接着剤７０の硬化温度は、赤外線検出素子１０、他の電子部品、レンズ保持部材８０の耐熱温度、およびはんだの融点より低いことが好ましい。

レンズ保持部材８０は、熱可塑性樹脂あるいは熱硬化性樹脂、金属等によって、平板状の上面部８０１と上面部８０１の外縁に連なる側部８０２とから構成される。上面部８０１の形状は本実施の形態１では正方形としたが、長方形でも円形でも楕円形などでもかまわない。また、レンズ保持部材８０を底面８４の側から見た図である図２に示すように、レンズ保持部材８０の上面部８０１内に、レンズ９０がレンズ保持部材８０自身で固定されている。レンズ保持部材８０の底面８４側、すなわち内面側においてはレンズ９０の外周の半周のみレンズ９０の外縁９１が露出し、それ以外のレンズ９０の外周部はレンズ保持部材８０を形成する樹脂で構成されるレンズ保持部８２により覆われている。レンズ９０の固定は、次のようにして行われる。まず、射出成形により、レンズ９０が挿入される開口部を有し、開口部の内面側にはレンズ保持部８２が形成されたレンズ保持部材８０を作製する。この開口部に、レンズ９０をレンズ保持部材８０の外面側から挿入する。その後、レンズ９０の周囲のレンズ保持部材８０の外面側の樹脂を熱で変形させてかしめることによりレンズ保持部材８０にレンズ９０が固定される。したがって、図１の断面図で示すように、レンズ９０の外面側は外周部全体がレンズ保持部材８０を構成する樹脂により覆われている。

レンズ９０が固定されたレンズ保持部材８０は、レンズ９０を透過した赤外線が赤外線検出素子１０の受光部に集光する位置になるよう、底面８４の全周が接着剤７０によってガラスエポキシ基板２０に接着されて固定されている。レンズ保持部材８０が接着された後、レンズ保持部材８０内を真空とすることで赤外線検出素子１０を封止している。レンズ保持部材８０の接着面である底面８４の接着面積を増やして接着強度を上げるために、図１に示すように、底面８４の各辺が外側に張り出すように縁部８１が形成されている。

レンズ保持部材８０に熱可塑性樹脂を使用する場合は、ＰＣ（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ）が一般的である。ＰＣの他にもＰＡ６６（ＮＹＬＯＮ６６）、ＰＢＴ（Ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅ Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ＰＰＳ（Ｐｏｌｙ Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ Ｓｕｌｆｉｄｅ）等を使用することができる。これらの樹脂は耐熱性が高いため、接着剤７０を硬化させる際に加熱が必要である場合でも加熱温度を高く設定できるため好ましい。レンズ保持部材８０の底面８４とガラスエポキシ基板２０を接着する接着剤７０は、ガラスエポキシ基板２０の反り量、およびレンズ保持部材８０とガラスエポキシ基板２０との間の線膨張係数差によって生じる応力、を吸収できる程度の厚さに塗布するのがよい。具体的には、塗布する接着剤７０の厚みは、１０～３００μｍ程度とするのが好ましい。

レンズ９０は、本実施の形態１においては両面が凸状球面で光学中心が中心に位置する円形のシリコンレンズである。レンズ保持部材８０の内面側において、レンズ９０の外周部が半周を除いた部分で、レンズ保持部材８０を形成する樹脂で構成されるレンズ保持部８２により覆われて、レンズ９０がレンズ保持部材８０自身で固定されている。レンズが固定されているレンズ保持部材８０において、レンズ９０の外縁９１の半周は、内面側で露出している。レンズ保持部材８０が移動するとレンズ９０もレンズ保持部材８０とともに移動するため、レンズ保持部材８０の移動により赤外線検出素子１０との相対位置が変化してしまう。また、レンズ９０は赤外線を透過するが可視光は透過しないため、レンズ９０を通してレンズ保持部材８０の内部を観察することはできない。

赤外線検出素子１０により、正しく撮像されるために、レンズ９０の位置はレンズ９０の集光点が赤外線検出素子１０の受光部に重なるよう、レンズ９０が赤外線検出素子１０の受光部の直上に位置するよう組立てられる。しかし、レンズ保持部材８０によってレンズ９０の外縁が完全に覆われている場合、レンズ９０の光学中心を外観から認識することができない。レンズ保持部材８０のレンズ９０上を覆う樹脂量のバラつき、レンズ９０のレンズ保持部材８０に対する固定位置のバラつきなどが存在する。このため、光学中心を外観から認識することができなければ、赤外線検出素子１０の受光部とレンズ９０の光学中心の位置を高精度で合わせることができない。レンズ９０の光学中心の位置が赤外線検出素子１０の直上からずれていると、赤外線検出素子１０が撮像できなくなったり、微小な変位であっても画像が欠けたりする等の恐れがある。

レンズ保持部材８０内に収納されるガラスエポキシ基板２０の電極パターン２０ｂ上には、赤外線検出素子１０を動作させるための配線部材等が存在する。レンズ保持部材８０を接着剤７０上に配設した時、レンズ保持部材８０がガラスエポキシ基板２０に対して向きが合っていないと、レンズ保持部材８０の底面８４あるいは側部８０２の内壁が、レンズ保持部材８０の内側の配線部材と接触する。レンズ保持部材８０の底面８４あるいは内壁と接触した配線部材は、変形して周囲の配線部材と接触したり、配線が切れたりすることで光センサモジュールが動作しなくなる等の不良の恐れがある。

レンズがレンズ保持部材と別体となって、レンズ保持部材を移動させずにレンズのみを移動させてレンズの位置を調整できる光センサモジュールの場合は、微小な変位であれば、レンズ保持部材を基板に接着後にレンズの集光点が赤外線検出素子の受光部に重なるようにレンズの位置を再調整できる。しかし、本願の光センサモジュールでは、レンズ９０はレンズ保持部材８０と一体となって成形されて固定されており、レンズ保持部材８０を接着剤７０上に搭載した後は、レンズ９０の位置を調整することができない。このため、接着剤７０の硬化前であっても赤外線検出素子１０の受光部とレンズ９０の集光点との相対位置が合わないことによる不良が発生する恐れは、レンズ保持部材８０とレンズ９０が別体となっている光センサモジュールと比較して大きい。

この不良を防ぐためには、レンズ９０がレンズ保持部材８０に固定された状態でもレンズ９０の集光点を正確に認識し、さらに、レンズ保持部材８０の底面８４がガラスエポキシ基板２０に対して常に同じ向きとなるようレンズ保持部材８０を固定することが重要である。

レンズ９０がレンズ保持部材８０に固定された状態でもレンズ９０の集光点を正確に認識するには、アクティブアライメントという方法を用いることができる。アクティブアライメントとは、レンズ保持部材８０をガラスエポキシ基板２０に固定する際、実際に赤外線検出素子１０を駆動させて、レンズ９０を通してテストチャートを見ることで光軸合わせを行う方法である。アクティブアライメントを用いてレンズ保持部材８０をガラスエポキシ基板２０に設置するためには、ガラスエポキシ基板２０に接合されている赤外線検出素子１０を駆動させるために、電気配線を行い通電する必要がある。したがって、１枚のガラスエポキシ基板２０内に複数の同一の電極パターンを設け、個々の電極パターン上に１枚ずつ赤外線検出素子１０および他の電子デバイスを配置して接合し、個々の赤外線検出素子１０の領域をそれぞれレンズ保持部材８０で覆うことで封止した後、個々の電極パターンごとに切断して分割するような構成にはアクティブアライメントは用いることができない。アクティブアライメントによりレンズの位置を調整するためには、個々の電極パターンごとに切断した状態で１台ずつレンズ保持部材８０を設置しなければならない。そのため、製品１台の組立に時間を要する。加えて、テストチャートを装置内に設けなければならないため、一般のマウンタ装置と比較して装置が大型で高額となる。

本実施の形態１による光センサモジュールでは、図１および図２に示すように、レンズ保持部材８０の底面８４側、すなわち内面側の半周において、固定されているレンズ９０の外縁９１が内面側から見えるよう、レンズ保持部材８０から露出している。それ以外のレンズ９０の外縁はレンズ保持部材８０を形成する樹脂で構成されるレンズ保持部８２により覆われている。レンズ保持部材８０を接着剤７０に搭載する前に、レンズ保持部材８０の底面８４側からカメラでレンズ９０を撮影し、撮影した画像からレンズ保持部材８０から露出したレンズ９０の外縁９１を抽出することが可能となる。円形のレンズの場合、抽出したレンズ９０の外縁９１から、以下のようにしてレンズの光学中心を知ることができる。

図３で示すように、カメラで撮影したレンズ９０が固定されている部分の画像から、レンズ９０の外縁９１を抽出し、抽出した外縁９１上の異なる位置として少なくとも３点の位置を決定し（ステップＳＴ１）、決定した３点を含む円を描く（ステップＳＴ２）。次に円の中心の位置を演算により求める。レンズ９０の外縁形状が円形であれば、描いた円は、レンズ保持部材８０の樹脂で覆われた部分も含めて、レンズ９０の外縁形状と一致する。よって、レンズ９０の光学中心がその中心に位置する場合、描いた円の中心がレンズ９０の光学中心となる。よって、演算により求めた円の中心を光学中心の位置として決定する（ステップＳＴ３）。このようにして、レンズ保持部材８０とレンズ９０が固定された状態でも、レンズ保持部材８０に対するレンズ９０の光学中心の位置を正確に認識することができる。

また、レンズ保持部材８０を基板２０に接着する際、レンズ保持部材８０の向きを基板２０の向きと合わせる必要がある。このため、レンズ９０の光学中心の位置とともに、レンズ保持部材８０の向きを知る必要がある。レンズ保持部材８０の形状が図１に示す正方形、あるいは長方形のような矩形であった場合、例えばカメラでレンズ保持部材８０の底面の外周を認識して、その外周の一辺と基準となる直線との角度を測定することで、レンズ保持部材８０の向きを知ることができる。他にレンズ保持部材８０の向きを知る方法としては、レンズ保持部材８０の全体像を撮影して、元となる画像と比較する、等が一般的な方法である。しかし、レンズ保持部材８０に対してレンズ９０のサイズが小さいため、レンズ保持部材８０の向きとレンズ９０の光学中心の位置を認識するためには、倍率が異なるカメラを２台使用するか、レンズ保持部材８０全体の大きさに合わせた倍率の低いカメラでレンズ９０の光学中心を認識する必要があった。

本実施の形態１による光センサモジュールでは、レンズ保持部材８０を射出成形により作製している。そのため、レンズ９０の外縁９１がレンズ保持部材８０から露出する位置は、常にレンズ保持部材８０の向きに対して一定になる。レンズ保持部材８０の底面８４がガラスエポキシ基板２０に対して意図した向きになる場合のレンズ保持部材８０のレンズ９０を含むレンズ９０の近傍の画像を記憶しておく。レンズ９０の光学中心を認識するのと同時に、図３に示すような、レンズ９０の近傍の得られた画像の向きを、記憶した画像と比較して同じ画像になるようにしてレンズ保持部材８０の向きを修正することができる。このように、レンズ保持部材８０全体を撮像することなく、レンズ保持部材８０のレンズ９０が固定されている部分のみを高倍率のカメラ１台で撮像することにより、レンズ９０の光学中心とレンズ保持部材８０の向きを共に認識できる。

よって、実施の形態１で説明した方法は、アクティブアライメントが適用できない、１枚のガラスエポキシ基板内に複数の赤外線検出素子を配置して個々の赤外線検出素子の領域をそれぞれレンズ保持部材８０で覆うことで封止する構成にも適用できる。この方法により、従来の方法より高精度、短時間、低コストで光センサモジュールを組立てることができる。

実際の実験では、レンズ９０をレンズ保持部材８０に対して位置合わせを行わずに組み立てた場合の組立精度（赤外線検出素子１０の受光部とレンズ９０の光学中心とのずれ）は約±１５０μｍであり、レンズ保持部材８０の外形を基準としてレンズ９０の外形を位置合わせして組み立てた場合のレンズ９０の組立精度は約±１３０μｍであった。これに対し、本実施の形態１の構成および方法でレンズ９０の光学中心を認識して組み立てた場合の組立精度は約±２５μｍであった。

露出させるレンズ９０の外縁９１は、レンズ保持部材８０内の気密が保たれ、露出させた部分からレンズ９０が脱落しなければ、レンズ保持部材８０のどの場所からどれだけのサイズが露出されていてもかまわない。例えば、レンズ９０の外縁９１を露出させるのはレンズ保持部材８０の外面側でもかまわない。この場合、レンズ９０の内面側は外周部全体がレンズ保持部材８０を構成する樹脂により覆われることになる。この構成では、後述の実施の形態５で説明する、レンズ９０の光学中心と向きを認識するためのカメラはレンズ９０を吸着して搬送するためのノズル側に取付けられることになる。また、露出させるレンズ９０の外縁９１の長さは、短い方が露出部からのレンズ９０の脱落を低減できるが、レンズ９０の外縁として決定する３つ以上の点は、お互いが可能な限り離れていた方が、より正確にレンズ９０の外縁を近似する円を描ける。よって、露出させるレンズ９０の外縁９１の長さは、具体的にはレンズ９０の外縁全体３６０°中の９０～１８０°となるように、すなわち外縁全体の４分の１以上、２分の１以下の範囲の長さにするのが好ましい。

以上説明したように、実施の形態１による光センサモジュールでは、レンズ９０の外縁９１の一部が、底面８４側、すなわちレンズ保持部材の内面側、またはレンズ保持部材８０の外面側で、露出させて、それ以外の外縁はレンズ保持部材８０を形成する樹脂によって覆っている。レンズ保持部材８０をガラスエポキシ基板２０上に接着する前に、レンズ９０の外縁の位置を少なくとも３点以上、レンズ保持部材８０の底面８４側、または外面側に設置されたカメラで撮像された画像により決定することで、レンズ９０の光学中心を認識できる。よって、アクティブアライメントを使用することなくレンズ９０の光学中心の位置を高精度に認識することができる。加えて、露出するレンズ９０の外縁９１の位置がレンズ保持部材８０に対して常に一定となるようレンズ保持部材８０を形成することで、高倍率の認識カメラ１台でレンズ保持部材８０の向きを認識でき、レンズ保持部材８０と基板２０の向きを合わせることができる。したがって、赤外線検出素子１０の受光部とレンズ９０の光学中心の位置を高精度で合わせることができ、かつレンズ保持部材８０の向きが基板２０の向きと合わないために生じる配線部材の潰れおよび変形を防止できる。そのため、単純な製造工程で高品質な光センサモジュールを提供することができる。

実施の形態２．
図４は実施の形態２による光センサモジュールの概略構成を示す断面図である。本実施の形態２による光センサモジュールも基本的に実施の形態１における光センサモジュールと同じ構成を有するが、以下の点で相違する。ここでは、主に相違点について説明を行い、同じ構成部分についてはその説明を省略する。なお、図４は光センサモジュールにおける基本的な構成部分のみを図示する模式図であり、その他の構成部分については説明を省略する。

実施の形態１では、接着剤７０でレンズ保持部材８０の底面８４の全周を接着後にレンズ保持部材８０内を真空とすることで赤外線検出素子１０を封止していた。これに対して本実施の形態２では、図４に示すように赤外線検出素子１０上に光透過部材である透光板１５が枠１５１を介して赤外線検出素子１０の表面から距離を離して接合されている。赤外線検出素子１０と透光板１５の間に形成される空間内を真空とすることで赤外線検出素子１０を封止し、レンズ保持部材８０内は真空封止されていない点で実施の形態１と相違する。

レンズ９０と同じ、赤外線を透過する材料であるシリコンで形成された透光板１５は、枠１５１と接合される部分に金属がコーティングされており、赤外線検出素子１０の表面に接合された枠１５１にはんだ接合される。このようにして透光板１５が赤外線検出素子１０の受光部の光入射側に固定され、赤外線検出素子１０と一体となることで、赤外線検出素子１０の受光部を覆っている。赤外線検出素子１０、枠１５１、透光板１５で覆われた内部は真空封止されている。透光板１５は赤外線を透過するが可視光は透過しないため、この透光板１５を通して赤外線検出素子１０の受光部を観察することはできない。赤外線検出素子１０の取り付け位置および向きを外部から認識できるよう、アライメントマークが、赤外線検出素子１０の表面の、枠１５１の外部となる位置に設けられている。

図５は、本実施の形態２による光センサモジュールにおける、レンズ９０が固定されたレンズ保持部材８０のみを底面８４側から見た下面図である。図５に示すように、レンズ９０の外周部は、レンズ保持部材８０の内面側において、レンズ保持部材８０を形成する樹脂で構成されるレンズ保持部８２により３カ所のみ覆われている。それ以外のレンズ９０の外周部においてはレンズ９０の外縁９１がレンズ保持部材８０から露出している。図４の断面図で示すように、レンズ９０の外面側は外周部全体がレンズ保持部材８０を構成する樹脂により覆われている。赤外線検出素子１０を透光板１５と枠１５１で真空封止しているため、レンズ保持部材８０内を真空封止する必要がなく、レンズ保持部材８０のレンズ９０を固定している部分で気密を保つ必要がない。レンズ保持部材８０はレンズ９０がレンズ保持部材８０から脱落しない程度に樹脂で固定すればよい。図５の構成のみならず、例えば、レンズ保持部材８０の上方から見た平面図、すなわち上面図で示す図６のように、レンズ保持部材８０の外面側を３カ所のみレンズ保持部材８０の樹脂で構成されるレンズ保持部８２で固定し、それ以外はレンズ９０の外縁９１を露出させるようにしてもよい。この場合、レンズ９０の内面側は外周部全体がレンズ保持部材８０を構成する樹脂により覆われることになる。

図７は、図６の破線で囲まれた領域を拡大して示す図である。図７に示すように、レンズ保持部材８０の、レンズ９０の外縁９１、すなわちレンズ９０の側面に対向する内壁８５の径はレンズ９０の外形よりも大きい。この内壁８５に突起８６を３個設けてレンズ９０の側面を固定する構成としている。図５で示す、内面側にレンズ保持部８２を設けた構成においても、突起８６を設けても良いことは言うまでもない。突起８６を設けることで、レンズ保持部材８０の樹脂の覆いによるレンズの固定を最小とするよう、レンズを円ではなく点で固定できるようになる。この構成により、レンズ９０の側面をレンズ保持部材８０内で保持し、レンズ９０をより高精度に固定することができるようになる。加えて、レンズ９０の外縁９１を露出させる部分を、レンズ保持部材８０の外面側、すなわち光が入射する側とすることで、レンズ９０の画角を広げることができる。また、レンズ保持部材８０の樹脂の使用量を減らせるためレンズ保持部材８０に要する材料費も少なくすることができる。突起８６は３個に限らず、３個以上設ければよいのは言うまでもない。

なお、上述では、レンズ保持部材８０の内面側または外面側を３カ所のみでレンズ９０の外縁を覆いそれ以外の部分ではレンズ９０の外縁９１が露出するようにした。ただし、赤外線検出素子１０を透光板１５と枠１５１により真空封止を行う構成において、実施の形態１で説明したのと同様、レンズ９０の１／２以上をレンズ保持部材８０の樹脂で覆うようにしてもよい。この場合であっても、レンズ保持部材８０の内部を真空封止する必要がないため、レンズ９０の固定部分は気密である必要がない。

実施の形態３．
図８は、実施の形態３による光センサモジュールのレンズ保持部材８０を底面８４側から見た下面図である。本実施の形態３による光センサモジュールも基本的に実施の形態１による光センサモジュールと同じ構造を有するが、以下の点で相違する。ここでは、主に相違点について説明を行い、同じ構成部分についてはその説明を省略する。なお、図８は実施の形態３による光センサモジュールにおけるレンズ保持部材８０の構成のみを図示する模式図であり、光センサモジュールのその他の構成部分については説明を省略する。

本実施の形態３では、図８に示すように、１２０°の角度で等間隔に分散した３ヶ所でレンズ９０の外縁９１をレンズ保持部材８０から露出させて、それ以外の外縁はレンズ保持部材８０を形成する樹脂で構成されるレンズ保持部８２によって覆っている。

レンズ９０の外縁９１が露出される部分は、図９に示すように９０°間隔で４ヶ所設けても良く、等間隔でさらに多くの位置に設けても良い。このように、レンズ９０の外縁９１をレンズ保持部材８０から露出させる部分を等間隔で３か所以上設ける。カメラでレンズ保持部材８０からレンズ９０の外縁９１が露出した部分を認識する時、認識した点から正確にレンズ９０の外形と一致する円を描くことができるため、高精度にレンズ９０の集光点を認識することができる。加えて、例えば図８のように外縁９１を等間隔で３カ所露出させ、等間隔で外縁９１上の３点を認識点として決定した場合、図１０に示すように、外縁９１の対向する２つの認識点を結び、認識点を結んだ直線、および他の一つの認識点と求めた円の中心を結んだ直線を、レンズ保持部材８０上に直交するｘｙ座標の軸として作成できる。あるいは図９のように外縁９１を等間隔で４カ所露出させた場合、図１１に示すように、対向する２つの認識点を結んだ直交する２つの直線をｘｙ座標の軸として作成できる。これによって、レンズ保持部材８０の底面８４がガラスエポキシ基板２０に対して意図した向きになる場合のレンズ９０の記憶画像から得られるｘｙ軸と、認識したレンズ９０の画像から得られたｘｙ軸の角度を測定することで、レンズ保持部材８０の向きの回転量を定量的に測定できるため、より高精度にレンズ保持部材８０の向きを修正することができる。

以上のように、レンズ９０が固定されているレンズ保持部材８０からレンズ９０の外縁を等間隔で３ヶ所以上露出させることで、より高精度にレンズ９０の集光点を認識することができ、かつより高精度にレンズ保持部材８０の向きを修正することができる。

以上の説明では、レンズ９０の外縁を露出させるのはレンズ保持部材８０の内面側としたが、レンズ保持部材８０の外面側でレンズ９０の外縁を露出させる構成にしてもよいことは言うまでもない。

実施の形態３で示したレンズ保持部材８０の構造は、実施の形態２にも適用できる。実施の形態２で説明した、透光板１５と枠１５１により真空封止を行う構成においては、レンズ保持部材８０の内部を真空封止する必要がないため、レンズ９０の固定部分は気密である必要がない。

実施の形態４．
図１２は実施の形態４による光センサモジュールのレンズ保持部材８０を底面８４側から見た下面図である。本実施の形態４による光センサモジュールも基本的に実施の形態１による光センサモジュールと同じ構造を有するが、以下の点で相違する。ここでは主に相違点について説明を行い、同じ構成部分についてはその説明を省略する。なお、図１２は実施の形態４による光センサモジュールにおけるレンズ保持部材８０の構成のみを図示する模式図であり、光センサモジュールのその他の構成部分については説明を省略する。

実施の形態１で説明したように、レンズ９０をレンズ保持部材８０の上面部に固定する方法として、射出成形で形成したレンズ保持部材８０に、レンズ９０をレンズ保持部材８０の開口部にレンズ保持部材８０の外面側から挿入した後、レンズ９０の周囲のレンズ保持部材８０の外面側の樹脂を熱で変形させてかしめる方法を用いている。この方法により、レンズ９０の外周をレンズ保持部材８０で覆い、レンズ９０とレンズ保持部材８０を一体に形成している。レンズ保持部材８０を作製した後にレンズ９０を挿入して、何らかの方法で固定することでレンズ保持部材８０とレンズ９０を一体に形成する場合、レンズ保持部材８０自体の寸法バラつきとレンズ９０の寸法バラつきを共に考慮しなければならない。したがって、レンズ保持部材８０にレンズ９０を挿入するための開口部の大きさは、レンズ９０より大きくする必要がある。この場合、レンズ９０をレンズ保持部材８０の開口部に挿入した時、レンズ９０とレンズ保持部材８０の開口部を形成する内壁との間には、必ず遊びとなる空間が生じる。レンズ９０はこの空間内を自由に移動できることに加えて、レンズ９０の固定時に加わる力によってもレンズ９０が移動する。さらに、レンズ９０が円形であった場合、レンズ保持部材８０の開口部内の特定の位置に押し当てる等で、レンズ保持部材８０の開口部内でのレンズ９０の位置を決めた状態でレンズ９０を固定することも難しい。よって、レンズ保持部材８０の外周の位置に対してレンズ９０の光学中心の位置を定めることは難しく、その寸法のバラつきはレンズ保持部材８０およびレンズ９０自体の加工精度と比較して大きくなる。

したがって、赤外線検出素子１０の受光部とレンズ９０の光学中心の位置を高精度で合わせて組立てても、レンズ保持部材８０の外周の位置に対してレンズ９０の光学中心の位置が大きくズレることもある。この場合、レンズ保持部材８０の向きが基板の向きに対して所定の向きになっていない場合と同様に、レンズ保持部材８０の底面８４あるいは側部８０２の内壁が、レンズ保持部材８０の内側の配線部材と接触する恐れがある。レンズ保持部材８０の底面８４あるいは内壁と接触した配線部材は、変形して周囲の配線部材と接触したり、配線が切れたりすることで光センサモジュールが動作しなくなる等の不良の恐れが生じる。

しかも、レンズ９０をレンズ保持部材８０に固定した後では、レンズ９０とレンズ保持部材８０の固定部の内壁との間の遊びの空間は、外部から目視で観察できなくなってしまう。したがって、事前の検査でレンズ保持部材８０の外周の位置に対してレンズ９０の光学中心の位置が大きくズレているレンズ保持部材８０を見つけることは難しく、レンズ保持部材８０をガラスエポキシ基板２０に対して組立てた後でなければ不良を検出できないという課題があった。

本実施の形態４では、図１２に示すように、レンズ９０の外周を覆うレンズ保持部８２の樹脂の形状、すなわちレンズ９０の外縁９１を露出させる部分と、レンズ９０の外縁９１を露出させずにレンズ９０の外周部を覆う部分との境界８２１が、階段状に形成されている。階段の一段の高さを一定、例えば０．０５ｍｍとしておく。これにより、図１３に示すように、レンズ保持部材８０の外周の位置に対してレンズ９０の光学中心の位置が大きくズレているレンズ保持部材８０のズレ量を、階段状の何段目にレンズ９０の外縁９１があるかを見ることで測定することができる。レンズ保持部材８０をガラスエポキシ基板２０に対して組立てる前にレンズ保持部材８０を外観検査することで、レンズ保持部材８０の外周の位置に対してレンズ９０の光学中心の位置が大きくズレているレンズ保持部材８０を取り除くことができ、光センサモジュールの組立不良を抑制することができる。

以上では、レンズ９０の外縁９１を露出させるのはレンズ保持部材８０の内面側としたが、レンズ保持部材８０の外面側でレンズ９０の外縁９１を露出させてもかまわない。さらに、実施の形態４で示したレンズ保持部材８０の構造は実施の形態２で説明した、透光板と枠により赤外線検出素子を真空封止する構成にも適用できる。この構成の光センサモジュールにあっては、レンズ保持部材８０の内部を真空封止する必要がないため、レンズ９０の固定部分は気密である必要がない。

実施の形態５．
本実施の形態５では、実施の形態１で説明した光センサモジュールの製造方法について、図１４～図１６を参照して説明する。

まず、赤外線検出素子１０が接合されたガラスエポキシ基板２０を作製する。図１４に作製されたガラスエポキシ基板の平面図、図１５に断面図を示す。図１４および図１５に示すように、赤外線検出素子１０、および図示しない専用ＩＣ、ワイヤ、コンデンサ、コネクタ等必要な部材が全て接合されたガラスエポキシ基板２０上に接着剤７０を塗布する。図１４に示すように、赤外線検出素子１０には、基準となる位置にアライメントマーク１１が付されており、アライメントマーク１１の位置を基準として、レンズ保持部材８０の底面８４がガラスエポキシ基板２０と接着される接着位置に接着剤７０を塗布しておく。

図１６に示すように、専用の収納トレイ２００に収納されている、レンズ９０が固定されたレンズ保持部材８０を、搬送ノズル２０１が、レンズが固定されていない表面を真空吸着して、接着剤７０が塗布されたガラスエポキシ基板２０の上部まで搬送する。この搬送の途中で、レンズ保持部材８０がカメラ２０２上を通り、カメラ２０２が、レンズ保持部材８０の底面８４側からレンズ９０が固定されている部分の画像を撮像する。

例えば、図３で説明したように、撮像した画像から、レンズ９０の外縁９１の異なる位置を少なくとも３点決定し、決定した３点を含む円を描き、演算により円の中心位置を求める。また、撮像した画像と、予め基準の向きの画像として記憶された画像と比較を行い、例えばレンズ保持部材８０のレンズ９０を覆うレンズ保持部８２などを基準とすることにより、撮像した画像が記憶された画像と同じ向きになるために回転させる角度を計算する。搬送ノズル２０１での搬送中に、計算した角度に従って搬送ノズル２０１を回転させることで、レンズ保持部材８０の向きを修正する。

図１４に示したガラスエポキシ基板２０を、上方に配置された別のカメラによって撮像し、赤外線検出素子１０の端に形成されたアライメントマーク１１の位置を基準として、ガラスエポキシ基板２０の向きを基準の向きに設定して設置しておく。また、アライメントマーク１１から赤外線検出素子１０の受光部の中心までの距離を予め装置に記憶しておくと、アライメントマーク１１の位置から赤外線検出素子１０の受光部の中心の位置がわかる。赤外線検出素子１０の受光部の中心の位置と、演算により求めたレンズ９０の光学中心の位置が同じ位置になるまで搬送ノズル２０１を移動させる。搬送ノズル２０１に吸着されているレンズ保持部材８０の向きは、基準の向きになっているため、基準の向きに設置されているガラスエポキシ基板２０の向きと合っている。その後、搬送ノズル２０１を、レンズ保持部材８０の底面８４が接着剤７０に接触し、さらに接着剤７０を変形させてガラスエポキシ基板２０に接触するまで下降させ、真空吸着を破壊することで、搬送ノズル２０１のみを元の位置まで上昇させる。これによって、接着剤７０はレンズ保持部材８０の底面８４に濡れ広がると共に、変形してレンズ保持部材８０の底面８４の内側と外側にはみ出しフィレットを形成する。

その後、レンズ保持部材８０が接着された状態でガラスエポキシ基板２０をＵＶ照射装置の下まで搬送し、ＵＶ照射することで、レンズ保持部材８０の底面８４の外側に形成された接着剤７０のフィレット部を硬化させる。接着剤７０のフィレット部の硬化によって、振動などによるレンズ保持部材８０の位置ズレが生じるのを防止できる。ガラスエポキシ基板２０をさらに搬送して加熱炉に投入し、部材の耐熱温度以下で数時間加熱することで接着剤７０を完全に硬化させて接着を完了させる。このようにして、光センサモジュールの組立が完了する。

以上のように、赤外線検出素子１０上に形成されたアライメントマーク１１を基準に接着剤７０を塗布して、レンズ保持部材８０を接着することで、アクティブアライメントを用いることなく、赤外線検出素子１０の受光部とレンズ９０の光学中心の位置を高精度で合わせることができる。加えて、レンズ保持部材８０とガラスエポキシ基板２０の向きの不整合による、配線部材の潰れあるいは変形を防止し、レンズ保持部材８０の底面８４に接着剤７０を濡れ広がらせて、確実にレンズ保持部材８０の内部を封止できる。そのため、低コストで高品質な光センサモジュールを組立てることができる。

以上では、接着剤７０はＵＶと熱によって硬化する接着剤を使用したが、ＵＶまたは熱のみで硬化する接着剤を用いても良く、あるいは２液を混合させて一定時間で硬化する接着剤を用いても良い。ＵＶと熱によって硬化する接着剤を使用することで、先にレンズ保持部材８０を搭載するのと同じ装置内でＵＶ照射してレンズ保持部材８０の外側でフィレットを形成している接着剤７０を硬化させることができる。その後、接着剤全体を熱硬化させるため、光センサモジュールを装置から取出して加熱炉まで搬送する必要があるが、フィレット部が硬化しているため、搬送する間に生じる揺れあるいは振動、衝撃等で、レンズ保持部材８０が移動するのを防止できる。したがって、ＵＶと熱によって硬化する接着剤の使用は、赤外線検出素子の受光部とレンズの相対位置を高精度に合わせることができる、本願開示の技術にとって好ましい。

本願には、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。

１０ 赤外線検出素子（光検出素子）、１５ 透光板（光透過部材）、２０ ガラスエポキシ基板（基板）、２０ａ ガラスエポキシ基材、８０ レンズ保持部材、８２ レンズ保持部、８２１ 境界、８４ 底面、８５ 内壁、８６ 突起、９０ レンズ、９１ レンズの外縁、

Claims (12)

1. 基板と、
   この基板に固定された、光を検出する光検出素子と、
   前記基板の電極パターン上に設けられた配線部材と、
   レンズが固定され、前記光検出素子を取り囲む位置で前記基板に固定され、底面の外周が矩形形状を有するレンズ保持部材と、を備えた光センサモジュールにおいて、
   前記レンズは、前記レンズの外周部が前記レンズ保持部材の材料自身により覆われることにより固定されており、
   前記レンズの外縁が、前記レンズ保持部材の内面側または外面側で、前記レンズの外縁の全周の４分の１以上、２分の１以下露出しており、前記レンズ保持部材は前記基板に対して予め定められた向きに固定されていることを特徴とする光センサモジュール。
2. 基板と、
   この基板に固定された、光を検出する光検出素子と、
   前記基板の電極パターン上に設けられた配線部材と、
   レンズが固定され、前記光検出素子を取り囲む位置で前記基板に固定され、底面の外周が矩形形状を有するレンズ保持部材と、を備えた光センサモジュールにおいて、
   前記レンズは、前記レンズの外周部が前記レンズ保持部材の材料自身により覆われることにより固定され、
   前記レンズの外縁の一部が、前記レンズ保持部材の内面側または外面側で露出しており、前記レンズ保持部材は前記基板に対して予め定められた向きに固定されているとともに、
   前記レンズの側面に対向する前記レンズ保持部材の内壁が、前記レンズの側面側に張り出す突起を３個以上有することを特徴とする光センサモジュール。
3. 前記レンズの外縁が露出している部分は、前記レンズの外縁の全周の４分の１以上、２分の１以下であることを特徴とする請求項２に記載の光センサモジュール。
4. 前記レンズの外縁が露出している部分は、３か所以上に分散していることを特徴とする請求項２に記載の光センサモジュール。
5. 前記レンズの外縁が露出している部分は、等間隔に分散していることを特徴とする請求項４に記載の光センサモジュール。
6. 前記予め定められた向きは、前記基板に固定された前記光検出素子の光入射側に形成されたアライメントマークを基準とした向きであることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光センサモジュール。
7. 前記レンズ保持部材の底面と前記基板間に前記配線部材が存在しないことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光センサモジュール。
8. 前記レンズ保持部材において、前記レンズの外縁が露出する部分と、前記レンズの外縁が露出せずに前記レンズの外周部が覆われる部分の境界が、階段状に形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光センサモジュール。
9. 前記光検出素子の光入射側が、光透過部材を含む部材で真空封止されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の光センサモジュール。
10. 基板と、
    この基板に固定された、光を検出する光検出素子と、
    外縁が円形であるレンズが固定され、前記光検出素子を取り囲む位置で前記基板に固定されたレンズ保持部材と、を備え
    前記レンズは、前記レンズの外周部が前記レンズ保持部材の材料自身により覆われることにより固定されており、
    前記レンズの外縁の一部が、前記レンズ保持部材の内面側または外面側で露出している光センサモジュールの製造方法であって、
    前記レンズが固定された前記レンズ保持部材の前記レンズが固定された部分を、前記レンズの外縁が露出する側から撮像し、撮像した画像の、前記レンズの外縁の少なくとも３点を含む円から、前記レンズの光学中心位置を求める工程と、
    前記光検出素子の受光部の直上に、求めた前記レンズの光学中心位置が配置されるように前記レンズ保持部材の位置を設定して、前記レンズ保持部材と前記基板とを固定する工程と、
    を有することを特徴とする光センサモジュールの製造方法。
11. 前記光検出素子の光入射側に設けられたアライメントマークを用いて、前記光検出素子の受光部の位置を決定することを特徴とする請求項１０に記載の光センサモジュールの製造方法。
12. 前記レンズ保持部材のレンズが固定された部分を撮像した画像と、予め記憶された基準となる画像とを比較して、前記レンズ保持部材の向きを修正する工程を含むことを特徴とする請求項１０または１１に記載の光センサモジュールの製造方法。

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