JP7270413B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
(基板処理装置10の構成;図1、図2)
図1は、第1実施例の基板処理装置10の外観を示し、図2は、基板処理装置10の内部を示す。なお、図1、図2では、基板処理装置10を簡略化して描いている。また、図中には、XYZ座標が定義されている。
図3は、コンベア40の幅が最大幅L1に調整される場合の搬出口14を示す。図3に示すように、搬出口14の幅方向(即ちY軸方向)の幅L0は、最大幅L1よりも長い。しかし、コンベア40の幅が最大幅L1である場合、コンベア40の第2ベルトコンベア44と搬出口14の第2ベルトコンベア44側に位置する端辺14a(即ちY軸正方向側の端辺)との間には僅かな隙間しかない。このため、コンベア40の幅が最大幅L1である場合に、当該隙間から基板処理装置10内に異物が混入する可能性は低い。
実装ユニット24、コンベア40、筐体12、シャッタ16が、それぞれ、「基板処理部」、「コンベア」、「筐体」、「シャッタ」の一例である。第1ベルトコンベア42、第2ベルトコンベア44、駆動部46が、それぞれ、「第1支持部」、「第2支持部」、「駆動部」の一例である。
(基板処理装置100の構成;図5)
図5は、第2実施例の基板処理装置100の外観を示す。基板処理装置100は、シャッタ116及びシャッタ116を取り付けるための各部が異なる点を除いて、第1実施例の基板処理装置10と同様である。以下では、上記の異なる点について説明する。
Claims (2)
- 複数の異なる寸法の基板を処理可能な基板処理部と、
前記基板を前記基板処理部に搬入すると共に前記基板処理部から搬出するコンベアであって、前記基板が載置される幅が最大幅から前記最大幅より短い最小幅の間で調整可能である、コンベアと、
前記基板を前記基板処理部に搬入するための搬入口であって幅方向の寸法が前記最大幅より長い搬入口と、前記基板処理部から前記基板を搬出するための搬出口であって前記幅方向の寸法が前記最大幅より長い搬出口と、を有し、前記基板処理部と前記コンベアを収容する筐体と、
前記搬入口と前記搬出口のうちの少なくとも一方の口に設けられているシャッタであって、前記コンベアの前記幅が前記最大幅と前記最小幅の間の特定幅に調整されることによって前記幅方向における前記一方の口の端辺と前記幅方向における前記コンベアの端部との間に隙間が生じる場合に、当該隙間を塞ぐ、シャッタと、
前記筐体の側面に締結され、前記シャッタの上端を支持する上支持レールと、
前記筐体の側面に締結され、前記シャッタの下端を支持する下支持レールと、
を備え、
前記シャッタは、前記上支持レールと前記下支持レールに沿って案内され、
前記上支持レール及び前記下支持レールは、前記筐体の前記側面からを取り外し可能に構成されており、
前記シャッタは、前記筐体の前記側面から前記上支持レール及び前記下支持レールを取り外して、前記筐体から取り外し可能に構成されている、
基板処理装置。 - 前記コンベアは、前記基板の前記幅方向の一端を支持する第1支持部と、前記基板の前記幅方向の他端を支持する第2支持部と、前記第2支持部を前記第1支持部に対して移動させる駆動部と、を備え、
前記駆動部で前記第2支持部を前記第1支持部に対して移動させることで、前記第1支持部と前記第2支持部との前記幅方向の間隔が前記最大幅と前記最小幅の間で調整され、
前記シャッタは、前記幅方向に移動可能であり、
前記シャッタは、前記コンベアの前記第2支持部に連結されている、請求項1に記載の基板処理装置。
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