KR102624514B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치(1)는, 제1 반송부(6a) 및 제2 반송부(6b)를 구비한다. 제2 반송부(6b)는, 제1 반송부(6a)의 하방에 설치된다. 제1 반송부(6a)는, 제1 반송 공간(61a), 제1 반송 FFU(11, 12), 및 제1 바닥부(71)를 갖는다. 제1 반송 FFU(11, 12)는, 제1 반송 공간(61a)의 상방에 설치된다. 제1 바닥부(71)는, 복수의 제1 통과 구멍을 갖는다. 제1 바닥부(71)는, 제1 반송 공간(61a)의 하방에 설치된다. 제2 반송부(6b)는, 제2 반송 공간(61b), 제2 반송 FFU(13, 14), 제2 바닥부(72), 및 배기 팬(73)을 갖는다. 제2 반송 FFU(13, 14)는, 제1 바닥부(71)의 하방에 설치된다. 제2 바닥부(72)는, 복수의 제2 통과 구멍을 갖는다. 제2 바닥부(72)는, 제2 반송 공간(61b)의 하방에 설치된다. 배기 팬(73)은, 제2 바닥부(72)의 하방에 설치된다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 기판 처리 장치에 관한 것이다.

상단의 처리 블록과, 하단의 처리 블록을 구비하는 기판 처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 상단의 처리 블록 및 하단의 처리 블록은 각각, 기판을 처리하는 처리 유닛을 갖고, 기판 처리 장치는, 상단 측의 처리 유닛에 기판을 반송하는 반송 장치와, 하단 측의 처리 유닛에 기판을 반송하는 반송 장치를 구비한다. 상단 측의 반송 장치는, 상단의 처리 블록에 인접하는 반송 공간 내를 주행하고, 하단 측의 반송 장치는, 하단의 처리 블록에 인접하는 반송 공간 내를 주행한다. 상단 측의 반송 공간과, 하단 측의 반송 공간은, 격벽 등에 의해서 구획되어 있다.

일본국 특허공개 2016-201526호 공보

그러나, 상단 측의 반송 공간 내를 반송 장치가 주행함으로써, 상단 측의 반송 공간 내의 기류가 흐트러지는 경우가 있다. 마찬가지로, 하단 측의 반송 공간 내를 반송 장치가 주행함으로써, 하단 측의 반송 공간 내의 기류가 흐트러지는 경우가 있다. 따라서, 상단 측의 반송 공간 내의 기류의 흐트러짐을 억제할 필요가 있다. 마찬가지로, 하단 측의 반송 공간 내의 기류의 흐트러짐을 억제할 필요가 있다.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 상단 측의 반송 공간 내의 기류의 흐트러짐과, 하단 측의 반송 공간 내의 기류의 흐트러짐을 억제할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 일 국면에 의하면, 기판 처리 장치는, 기판을 처리한다. 당해 기판 처리 장치는, 처리부와, 제1 반송부와, 제2 반송부를 구비한다. 상기 처리부는, 상기 기판을 처리한다. 상기 제1 반송부는, 상기 처리부와 인접한다. 상기 제2 반송부는, 상기 처리부와 인접하고, 상기 제1 반송부의 하방에 설치된다. 상기 제1 반송부는, 제1 기판 반송부와, 제1 반송 공간과, 제1 반송 팬 필터 유닛과, 제1 바닥부를 갖는다. 상기 제1 기판 반송부는, 상기 기판을 반송한다. 상기 제1 반송 공간에는, 상기 제1 기판 반송부가 수용된다. 상기 제1 반송 팬 필터 유닛은, 상기 제1 반송 공간의 상방에 설치되고, 상기 제1 반송 공간의 상방으로부터 하방을 향하여 기체를 공급한다. 상기 제1 바닥부는, 복수의 제1 통과 구멍을 갖는다. 상기 제1 바닥부는, 상기 제1 반송 공간의 하방에 설치된다. 상기 제2 반송부는, 제2 기판 반송부와, 제2 반송 공간과, 제2 반송 팬 필터 유닛과, 제2 바닥부와, 배기 팬을 갖는다. 상기 제2 기판 반송부는, 상기 기판을 반송한다. 상기 제2 반송 공간에는, 상기 제2 기판 반송부가 수용된다. 상기 제2 반송 팬 필터 유닛은, 상기 제1 바닥부의 하방에 설치되고, 상기 제2 반송 공간의 상방으로부터 하방을 향하여 기체를 공급한다. 상기 제2 바닥부는, 복수의 제2 통과 구멍을 갖는다. 상기 제2 바닥부는, 상기 제2 반송 공간의 하방에 설치된다. 상기 배기 팬은, 상기 제2 바닥부의 하방에 설치된다. 상기 배기 팬은, 상기 복수의 제2 통과 구멍을 통과한 기체를 배기한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제1 반송부는, 상기 처리부와 인접하는 제1 측벽부를 더 갖는다. 상기 제2 반송부는, 상기 처리부와 인접하는 제2 측벽부를 더 갖는다. 상기 제2 측벽부는, 상기 제1 측벽부의 하방에 설치된다. 상기 제1 측벽부와 상기 제2 측벽부 중 적어도 한쪽은, 간극 형성부를 더 갖는다. 상기 간극 형성부는, 상기 제1 측벽부와 상기 제2 측벽부 사이에 간극을 형성한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 중 적어도 한쪽은, 개구율 조정 부재를 더 갖는다. 상기 개구율 조정 부재는, 상기 간극의 개구율을 조정한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제1 반송부는, 복수의 상기 제1 반송 팬 필터 유닛을 갖는다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제1 기판 반송부는, 상기 제1 반송 공간 내에서 이동하는 제1 반송 로봇을 포함한다. 상기 복수의 제1 반송 팬 필터 유닛은, 상기 제1 반송 로봇의 이동 범위를 덮도록 배치된다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제2 반송부는, 복수의 상기 제2 반송 팬 필터 유닛을 갖는다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제2 기판 반송부는, 상기 제2 반송 공간 내에서 이동하는 제2 반송 로봇을 포함한다. 상기 복수의 제2 반송 팬 필터 유닛은, 상기 제2 반송 로봇의 이동 범위를 덮도록 배치된다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제1 반송부는, 상기 제1 바닥부에 설치된 제1 정류부를 더 갖는다. 상기 제1 정류부는, 상기 복수의 제1 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제2 반송 팬 필터 유닛은, 팬과, 상자형 부재와, 제2 정류부를 갖는다. 상기 상자형 부재는, 상기 팬을 지지한다. 상기 제2 정류부는, 상기 상자형 부재에 설치된다. 상기 제2 정류부는, 상기 복수의 제1 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 제2 반송부는, 천정부와, 제3 정류부를 더 갖는다. 상기 천정부에는, 상기 제2 반송 팬 필터 유닛이 설치된다. 상기 제3 정류부는, 상기 천정부에 설치된다. 상기 제3 정류부는, 상기 복수의 제1 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 인덱서부와, 제1 패스부와, 제2 패스부를 더 구비한다. 상기 인덱서부는, 상기 기판의 반입 및 반출을 행한다. 상기 제1 패스부는, 상기 인덱서부와 상기 제1 반송부 사이에 설치된다. 상기 제1 패스부에는, 상기 기판이 일시적으로 재치(載置)된다. 상기 제2 패스부는, 상기 인덱서부와 상기 제2 반송부 사이에 설치된다. 상기 제2 패스부에는, 상기 기판이 일시적으로 재치된다. 상기 인덱서부는, 인덱서 반송부와, 인덱서 공간과, 인덱서 팬 필터 유닛부를 갖는다. 상기 인덱서 반송부는, 상기 기판의 반입 및 반출을 행한다. 상기 인덱서 공간에는, 상기 인덱서 반송부가 수용된다. 상기 인덱서 팬 필터 유닛부는, 상기 인덱서 공간의 상방에 설치되고, 상기 인덱서 공간의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 인덱서 팬 필터 유닛부는, 제1 인덱서 팬 필터 유닛과, 제2 인덱서 팬 필터 유닛을 갖는다. 상기 제1 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 패스부 및 상기 제2 패스부 측과는 반대 측에 배치된다. 상기 제2 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 패스부 및 상기 제2 패스부 측에 배치된다.

한 실시형태에 있어서, 상기 인덱서부는, 제1 개구와, 제2 개구를 더 갖는다. 상기 제1 개구는, 상기 제1 패스부에 연통한다. 상기 제2 개구는, 상기 제2 패스부에 연통한다. 상기 제2 개구는, 상기 제1 개구의 하방에 설치된다. 상기 인덱서 팬 필터 유닛부는, 제3 인덱서 팬 필터 유닛을 더 갖는다. 상기 제3 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구를 정면에서 봤을 때, 상기 제1 인덱서 팬 필터 유닛 및 상기 제2 인덱서 팬 필터 유닛의 측방 중 한쪽에 배치되어 있다.

한 실시형태에 있어서, 상기 인덱서 공간은, 제1 인덱서 공간과, 제2 인덱서 공간을 포함한다. 상기 제2 인덱서 공간은, 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구를 정면에서 봤을 때, 상기 제1 인덱서 공간의 측방 중 한쪽에 위치한다. 상기 제1 인덱서 공간의 최상부는, 상기 제2 인덱서 공간의 최상부보다 상방에 위치한다. 상기 제1 인덱서 팬 필터 유닛 및 상기 제2 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 인덱서 공간의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급한다. 상기 제3 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제2 인덱서 공간의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급한다.

한 실시형태에 있어서, 상기 인덱서 반송부는, 인덱서 반송 로봇과, 안내 레일을 포함한다. 상기 인덱서 반송 로봇은, 상기 기판을 반송한다. 상기 안내 레일은, 상기 인덱서 반송 로봇을 상하 방향으로 안내한다. 상기 제3 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구를 정면에서 봤을 때, 상기 안내 레일 측과는 반대 측에 배치된다.

한 실시형태에 있어서, 상기 배기 팬은, 상기 인덱서 공간으로부터 상기 제2 패스부를 통해 상기 제2 반송 공간에 흐르는 기류를 발생시킨다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 상단 측의 반송 공간 내의 기류의 흐트러짐과, 하단 측의 반송 공간 내의 기류의 흐트러짐을 억제할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 따른 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타낸 사시도이다.
도 2는, 본 발명의 실시형태 1에 따른 기판 처리 장치의 분해 사시도이다.
도 3은, 본 발명의 실시형태 1에 따른 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타낸 측면도이다.
도 4는, 본 발명의 실시형태 1에 따른 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타낸 평면도이다.
도 5는, 기판 처리 장치의 반송 블록의 내부 구성을 나타낸 측면도이다.
도 6은, 기판 처리 장치의 인덱서 블록 및 패스 블록을 나타낸 사시도이다.
도 7은, 본 발명의 실시형태 1에 따른 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타낸 다른 측면도이다.
도 8은, 기판 처리 장치의 인덱서 블록의 내부 구성을 나타낸 정면도이다.
도 9는, 기판 처리 장치의 반송 블록을 나타낸 사시도이다.
도 10은, (a)는, 상단 측벽부 및 하단 측벽부의 단면을 나타낸 도면이다. (b)는, 개구율 조정 부재를 나타낸 사시도이다.
도 11은, (a)는, 상단 측벽부 및 하단 측벽부의 단면을 나타낸 다른 도면이다. (b)는, 개구율 조정 부재의 다른 상태를 나타낸 사시도이다.
도 12는, 본 발명의 실시형태 2에 따른 기판 처리 장치가 구비하는 반송 블록의 일부를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 13은, 본 발명의 실시형태 2에 따른 기판 처리 장치가 구비하는 반송 블록의 일부를 확대하여 나타낸 다른 도면이다.

이하, 도면(도 1~도 13)을 참조하여 본 발명의 기판 처리 장치에 따른 실시형태를 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 실시형태로 한정되지 않는다. 또한, 설명이 중복되는 개소에 대해서는, 적절히 설명을 생략하는 경우가 있다. 또, 도면 중 동일 또는 상당 부분에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이고 설명을 반복하지 않는다.

본 명세서에서는, 이해를 용이하게 하기 위해, 서로 직교하는 X방향, Y방향 및 Z방향을 기재하는 경우가 있다. 전형적으로는, X방향 및 Y방향은 수평 방향과 평행이며, Z방향은 연직 방향과 평행이다. 단, 이들 방향의 정의에 의해, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 사용 시의 방향을 한정하는 의도는 없다.

본 실시형태에 있어서의 「기판」에는, 반도체 웨이퍼, 포토마스크용 유리 기판, 액정 표시용 유리 기판, 플라즈마 표시용 유리 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 및 광자기 디스크용 기판 등의 각종 기판을 적용 가능하다. 이하에서는 주로, 원반형의 반도체 웨이퍼의 처리에 이용되는 기판 처리 장치를 예로 들어 본 실시형태를 설명하지만, 위에 예시한 각종 기판의 처리에도 동일하게 적용 가능하다. 또, 기판의 형상에 대해서도 각종의 것을 적용 가능하다.

[실시형태 1]

이하, 도 1~도 11을 참조하여 본 발명의 실시형태 1을 설명한다. 우선, 도 1을 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 설명한다. 도 1은, 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 기판 처리 장치(1)는, 기판(W)을 처리한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 인덱서 블록(3)과, 패스 블록(4)과, 처리 블록(5)과, 반송 블록(6)과, 유틸리티 블록(7)을 구비한다.

인덱서 블록(3)은, 캐리어 재치부(31)를 구비한다. 본 실시형태에 있어서, 인덱서 블록(3)은, 4개의 캐리어 재치부(31)를 구비한다. 캐리어 재치부(31)에는, 캐리어(C)가 재치된다. 캐리어(C)는, 복수 장(예를 들면, 25장)의 기판(W)을 적층하여 수납한다. 캐리어(C)는, 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 이하, 캐리어 재치부(31)에 재치된 캐리어(C)를, 「캐리어(C)」라고 기재한다.

인덱서 블록(3)은, 캐리어(C)에 수납되어 있는 처리 전의 기판(W)을 인덱서 블록(3)의 내부 공간에 반입한다. 또, 인덱서 블록(3)은, 인덱서 블록(3)의 내부 공간으로부터 외부로 처리 후의 기판(W)을 반출한다. 구체적으로는, 인덱서 블록(3)은, 처리 후의 기판(W)을 캐리어(C)에 수납한다. 인덱서 블록(3)은, 인덱서부의 일례이다.

패스 블록(4)은, 인덱서 블록(3)과 반송 블록(6) 사이에 설치된다. 인덱서 블록(3), 패스 블록(4), 및 반송 블록(6)은 X방향을 따라서 배치된다. 구체적으로는, 패스 블록(4)은 인덱서 블록(3)의 -X 측에 배치되고, 반송 블록(6)은 패스 블록(4)의 -X 측에 배치된다.

패스 블록(4)에는, 처리 전의 기판(W)과, 처리 후의 기판(W)이 일시적으로 재치된다. 인덱서 블록(3)은, 캐리어(C)로부터 패스 블록(4)까지 처리 전의 기판(W)을 반송한다. 또, 인덱서 블록(3)은, 패스 블록(4)으로부터 캐리어(C)까지 처리 후의 기판(W)을 반송한다. 또한, 패스 블록(4)은, 기판(W)의 표리를 반전시키는 기구를 구비해도 된다.

반송 블록(6)은, 처리 블록(5)에 인접한다. 반송 블록(6)은, 패스 블록(4)으로부터 처리 블록(5)까지 처리 전의 기판(W)을 반송한다. 또, 반송 블록(6)은, 처리 블록(5)으로부터 패스 블록(4)까지 처리 후의 기판(W)을 반송한다.

처리 블록(5)은, 기판(W)을 처리한다. 처리 블록(5)은, 예를 들면, 기판(W)을 세정한다. 처리 블록(5)은, 처리부의 일례이다. 유틸리티 블록(7)은, 처리액을 처리 블록(5)에 공급한다. 처리액은, 약액을 포함한다. 처리액은, DIW를 더 포함해도 된다. 유틸리티 블록(7)은 또한, 예를 들면 질소 가스나 공기와 같은 기체를 처리 블록(5)에 공급해도 된다.

본 실시형태의 기판 처리 장치(1)는, 2개의 처리 블록(5)을 갖는다. 2개의 처리 블록(5)은, 반송 블록(6)에 인접한다. 상세하게는, 2개의 처리 블록(5) 중 한쪽은, 반송 블록(6)에 대해서 -Y 측에 배치되고, 2개의 처리 블록(5) 중 다른 쪽은, 반송 블록(6)에 대해서 ＋Y 측에 배치된다. 이하, 반송 블록(6)에 대해서 -Y 측에 배치되는 처리 블록(5)을, 「-Y 측의 처리 블록(5)」이라고 기재하고, 반송 블록(6)에 대해서 ＋Y 측에 배치되는 처리 블록(5)을, 「＋Y 측의 처리 블록(5)」이라고 기재한다.

계속해서, 도 2를 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 더 설명한다. 도 2는, 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)의 분해 사시도이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 2개의 처리 블록(5)은 각각, 상하 방향(Z방향)으로 적층된 복수의 처리 유닛(2)으로 이루어지는 타워 유닛(TW)을 포함한다. 본 실시형태에 있어서, -Y 측의 처리 블록(5)은, 2개의 타워 유닛(TW1, TW3)을 포함하고, ＋Y 측의 처리 블록(5)은, 2개의 타워 유닛(TW2, TW4)을 포함한다. 2개의 타워 유닛(TW1, TW3)은, X방향을 따라서 배치된다. 구체적으로는, 타워 유닛(TW3)이, 타워 유닛(TW1)의 -X 측에 배치된다. 2개의 타워 유닛(TW2, TW4)도 마찬가지로 X방향을 따라서 배치된다. 구체적으로는, 타워 유닛(TW4)이, 타워 유닛(TW2)의 -X 측에 배치된다.

본 실시형태에서는, 각 타워 유닛(TW1~TW4)은, 4개의 처리 유닛(2)을 갖는다. 이하, 4개의 타워 유닛(TW1~TW4)을 각각 「제1 타워 유닛(TW1)~제4 타워 유닛(TW4)」이라고 기재하는 경우가 있다.

계속해서, 도 3을 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 더 설명한다. 도 3은, 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)의 내부 구성을 나타내는 측면도이다. 상세하게는, 도 3은, ＋Y 측에서 본 기판 처리 장치(1)의 내부 구성을 나타낸다. 우선, 도 3을 참조하여 인덱서 블록(3) 및 패스 블록(4)을 설명한다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 인덱서 블록(3)은, 인덱서 공간(3a)과, 인덱서 반송부(32)를 구비한다. 패스 블록(4)은, 상단 패스부(41)와, 하단 패스부(42)를 구비한다. 상단 패스부(41)는, 하단 패스부(42)의 상방(＋Z 측)에 설치된다.

상단 패스부(41)에는, 처리 전의 기판(W)과, 처리 후의 기판(W)이 일시적으로 재치된다. 마찬가지로, 하단 패스부(42)에는, 처리 전의 기판(W)과, 처리 후의 기판(W)이 일시적으로 재치된다. 또한, 상단 패스부(41)는, 기판(W)의 표리를 반전시키는 기구를 구비해도 된다. 마찬가지로, 하단 패스부(42)는, 기판(W)의 표리를 반전시키는 기구를 구비해도 된다. 상단 패스부(41)는, 제1 패스부의 일례이며, 하단 패스부(42)는, 제2 패스부의 일례이다.

인덱서 반송부(32)는, 인덱서 공간(3a)에 수용된다. 인덱서 반송부(32)는, 캐리어(C)에 수납되어 있는 처리 전의 기판(W)을 인덱서 공간(3a)에 반입한다. 또, 인덱서 반송부(32)는, 인덱서 공간(3a)으로부터 외부로 처리 후의 기판(W)을 반출한다. 구체적으로는, 인덱서 반송부(32)는, 처리 후의 기판(W)을 캐리어(C)에 수납한다.

또, 인덱서 반송부(32)는, 상단 패스부(41) 및 하단 패스부(42)에 처리 전의 기판(W)을 반송한다. 인덱서 반송부(32)는, 상단 패스부(41) 및 하단 패스부(42)로부터 캐리어(C)까지, 처리 후의 기판(W)을 반송한다.

보다 구체적으로는, 인덱서 반송부(32)는, 기판(W)을 반송하는 인덱서 반송 로봇(33)과, 안내 레일(34)을 갖는다. 안내 레일(34)은, 인덱서 반송 로봇(33)을 상하 방향(Z방향)으로 안내한다.

인덱서 반송 로봇(33)은, 안내 레일(34)을 따라서 승강한다. 상세하게는, 인덱서 반송 로봇(33)은, 캐리어(C)에 액세스 가능한 위치와, 상단 패스부(41)에 액세스 가능한 위치와, 하단 패스부(42)에 액세스 가능한 위치 사이에서 승강한다.

인덱서 반송 로봇(33)은, 캐리어(C)에 액세스 가능한 위치로 이동하여, 캐리어(C)로부터 처리 전의 기판(W)을 취출(取出)한다. 또, 인덱서 반송 로봇(33)은, 캐리어(C)에 액세스 가능한 위치로 이동하여, 처리 후의 기판(W)을 캐리어(C)에 수납한다.

인덱서 반송 로봇(33)은, 상단 패스부(41)에 액세스 가능한 위치로 이동하여, 처리 전의 기판(W)을 상단 패스부(41)에 재치한다. 또, 인덱서 반송 로봇(33)은, 상단 패스부(41)에 액세스 가능한 위치로 이동하여, 처리 후의 기판(W)을 상단 패스부(41)로부터 취출한다.

인덱서 반송 로봇(33)은, 하단 패스부(42)에 액세스 가능한 위치로 이동하여, 처리 전의 기판(W)을 하단 패스부(42)에 재치한다. 또, 인덱서 반송 로봇(33)은, 하단 패스부(42)에 액세스 가능한 위치로 이동하여, 처리 후의 기판(W)을 하단 패스부(42)로부터 취출한다.

계속해서, 도 3을 참조하여 패스 블록(4) 및 반송 블록(6)을 더 설명한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 반송 블록(6)은, 상단 반송부(6a)와, 하단 반송부(6b)를 포함한다. 하단 반송부(6b)는, 상단 반송부(6a)의 하방(-Z 측)에 설치된다. 상단 패스부(41)는, 인덱서 블록(3)과 상단 반송부(6a) 사이에 설치된다. 하단 패스부(42)는, 인덱서 블록(3)과 하단 반송부(6b) 사이에 설치된다.

도 1을 참조하여 설명한 바와 같이, 반송 블록(6)은, 처리 블록(5)에 인접한다. 따라서, 상단 반송부(6a) 및 하단 반송부(6b)는 처리 블록(5)에 인접한다. 상단 반송부(6a)는 제1 반송부의 일례이며, 하단 반송부(6b)는 제2 반송부의 일례이다.

상세하게는, 상단 반송부(6a)는, 제1 타워 유닛(TW1)의 위 2개의 처리 유닛(2), 및 제3 타워 유닛(TW3)의 위 2개의 처리 유닛(2)에 인접한다. 상단 반송부(6a)는, 제2 타워 유닛(TW2)의 위 2개의 처리 유닛(2)(도 2 참조), 및 제4 타워 유닛(TW4)의 위 2개의 처리 유닛(2)(도 2 참조)에도 인접한다. 이하, 제1 타워 유닛(TW1)~제4 타워 유닛(TW4)에 포함되는 위 2개의 처리 유닛(2)을 「상단의 처리 유닛(2)」이라고 기재하는 경우가 있다.

하단 반송부(6b)는, 제1 타워 유닛(TW1)의 아래 2개의 처리 유닛(2), 및 제3 타워 유닛(TW3)의 아래 2개의 처리 유닛(2)에 인접한다. 하단 반송부(6b)는, 제2 타워 유닛(TW2)의 아래 2개의 처리 유닛(2)(도 2 참조), 및 제4 타워 유닛(TW4)의 아래 2개의 처리 유닛(2)(도 2 참조)에도 인접한다. 이하, 제1 타워 유닛(TW1)~제4 타워 유닛(TW4)에 포함되는 아래 2개의 처리 유닛(2)을 「하단의 처리 유닛(2)」이라고 기재하는 경우가 있다.

상단 반송부(6a)는, 기판(W)을 반송하는 상단 기판 반송부(50a)와, 상단 반송 공간(61a)을 갖는다. 상단 기판 반송부(50a)는, 상단 반송 공간(61a)에 수용된다. 상단 기판 반송부(50a)는, 상단의 처리 유닛(2) 각각과 상단 패스부(41)의 사이에서 기판(W)을 반송한다. 상단 기판 반송부(50a)는, 제1 기판 반송부의 일례이며, 상단 반송 공간(61a)은 제1 반송 공간의 일례이다.

상단 기판 반송부(50a)는, 상단 반송 로봇(51a)과, 고정틀(52a)과, 가동틀(53a)을 갖는다. 상단 반송 로봇(51a)은, 상단 반송 공간(61a) 내를 이동한다. 상세하게는, 상단 반송 로봇(51a)은, 모든 상단의 처리 유닛(2)과, 상단 패스부(41)에 액세스 가능해지도록, 고정틀(52a) 및 가동틀(53a)에 의해서 이동 가능하게 지지되어 있다. 구체적으로는, 고정틀(52a)이, 가동틀(53a)을 X방향으로 이동 가능하게 지지하고, 가동틀(53a)이, 상단 반송 로봇(51a)을 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 따라서, 상단 반송 로봇(51a)은 X방향 및 Z방향(상하 방향)으로 이동한다. 상단 반송 로봇(51a)은, 제1 반송 로봇의 일례이다.

하단 반송부(6b)는, 기판(W)을 반송하는 하단 기판 반송부(50b)와, 하단 반송 공간(61b)을 갖는다. 하단 기판 반송부(50b)는, 하단 반송 공간(61b)에 수용된다. 하단 기판 반송부(50b)는, 하단의 처리 유닛(2) 각각과 하단 패스부(42)의 사이에서 기판(W)을 반송한다. 하단 기판 반송부(50b)는, 제2 기판 반송부의 일례이며, 하단 반송 공간(61b)는 제2 반송 공간의 일례이다.

하단 기판 반송부(50b)는, 하단 반송 로봇(51b)과, 고정틀(52b)과, 가동틀(53b)을 갖는다. 하단 반송 로봇(51b)은, 하단 반송 공간(61b) 내를 이동한다. 상세하게는, 하단 반송 로봇(51b)은, 모든 하단의 처리 유닛(2)과, 하단 패스부(42)에 액세스 가능해지도록, 고정틀(52b) 및 가동틀(53b)에 의해서 이동 가능하게 지지되어 있다. 구체적으로는, 고정틀(52b)이, 가동틀(53b)을 X방향으로 이동 가능하게 지지하고, 가동틀(53b)이, 하단 반송 로봇(51b)을 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 따라서, 하단 반송 로봇(51b)은 X방향 및 Z방향(상하 방향)으로 이동한다. 하단 반송 로봇(51b)은, 제2 반송 로봇의 일례이다.

계속해서, 도 3을 참조하여 상단 반송 로봇(51a) 및 하단 반송 로봇(51b)을 설명한다. 상단 반송 로봇(51a)은, 기대부(54)와, 선회 베이스(55)와, 아암(56)을 갖는다. 기대부(54)는, 가동틀(53a)에 지지되어 있다. 선회 베이스(55)는, 기대부(54)에 대해서 수평면 내에서 선회 가능하게 기대부(54)에 지지되어 있다. 아암(56)은, 선회 베이스(55)에 대해서 수평면 내에서 진퇴 가능하게 선회 베이스(55)에 지지되어 있다. 하단 반송 로봇(51b)도, 상단 반송 로봇(51a)과 동일하게, 기대부(54)와, 선회 베이스(55)와, 아암(56)을 갖는다. 하단 반송 로봇(51b)의 구성은, 상단 반송 로봇(51a)과 동일하기 때문에, 그 설명은 생략한다.

계속해서, 도 4를 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 더 설명한다. 도 4는, 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)의 내부 구성을 나타내는 평면도이다. 상세하게는, 도 4는, ＋Z 측에서 본 기판 처리 장치(1)의 내부 구성을 나타낸다. 우선, 도 4를 참조하여 인덱서 반송부(32)를 설명한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 안내 레일(34)은, 패스 블록(4)의 근방에 배치된다. 상세하게는, 안내 레일(34)은, Y방향에 있어서의 패스 블록(4)의 중심의 측방에 배치된다. 본 실시형태에서는, 안내 레일(34)은, Y방향에 있어서의 패스 블록(4)의 중심에 대해서 ＋Y 측에 배치된다. 보다 구체적으로는, 안내 레일(34)은, 캐리어 재치부(31) 측(＋X 측)에서 봤을 경우, 패스 블록(4)에 있어서의 기판(W)의 재치 위치와 겹치지 않는 위치에 배치된다.

인덱서 반송 로봇(33)은, 기대부(35)와, 다관절 아암(36)과, 핸드(37)를 갖는다. 기대부(35)는, 안내 레일(34)에 의해서 상하 방향(Z방향)으로 승강 가능하게 지지되어 있다. 기대부(35)는, 안내 레일(34)을 따라서 상하 방향(Z방향)으로 승강한다. 다관절 아암(36)은, 기대부(35)에 지지되어 있다. 핸드(37)는, 다관절 아암(36)의 선단에 지지되어 있다. 다관절 아암(36)은, 핸드(37)를 X방향 및 Y방향으로 이동시킨다.

계속해서, 도 4를 참조하여 처리 유닛(2)을 설명한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 처리 유닛(2)는, 예를 들면, 흡인 척(21)과, 가드(23)와, 처리 노즐(25)을 구비한다. 흡인 척(21)은, 기판(W)을 진공 흡인에 의해서 흡착한다. 흡인 척(21)은, 도시하지 않은 전동 모터에 의해서 회전 구동된다. 이에 의해 기판(W)이 수평면 내에서 회전한다. 처리 노즐(25)은, 처리액을 기판(W)에 공급함으로써, 기판(W)을 처리한다. 가드(23)는, 흡인 척(21)을 둘러싸도록, 흡인 척(21)의 주위에 배치된다. 가드(23)는, 처리 노즐(25)로부터 기판(W)에 공급된 처리액이 주위에 비산하는 것을 방지한다.

계속해서, 도 5를 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 더 설명한다. 도 5는, 기판 처리 장치(1)의 반송 블록(6)의 내부 구성을 나타내는 측면도이다. 상세하게는, 도 5는, ＋Y 측에서 본 반송 블록(6)의 내부 구성을 나타낸다. 또한, 도 5에서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 상단 기판 반송부(50a) 및 하단 기판 반송부(50b)를 도시하지 않았다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 상단 반송부(6a)는, 2개의 상단 FFU(팬 필터 유닛)(11, 12)와, 복수의 상단 펀칭 플레이트(71)를 더 갖는다. 또, 하단 반송부(6b)는, 2개의 하단 FFU(13, 14)와, 복수의 하단 펀칭 플레이트(72)와, 복수의 배기 팬(73)을 더 갖는다.

2개의 상단 FFU(11, 12)는, 상단 반송 공간(61a)의 상방에 설치된다. 2개의 상단 FFU(11, 12)는, X방향을 따라서 배치된다. 구체적으로는, 2개의 상단 FFU(11, 12)는, 도 3을 참조하여 설명한 상단 반송 로봇(51a)이 이동하는 범위를 덮도록 배치된다. 상세하게는, 2개의 상단 FFU(11, 12)는, X방향에 있어서의 상단 반송 로봇(51a)의 이동 범위를 덮도록 배치된다.

2개의 상단 FFU(11, 12)는, 상단 반송 공간(61a)의 상방으로부터 하방을 향하여 기체를 공급하여, 상단 반송 공간(61a)에 다운 플로우를 발생시킨다. 구체적으로는, 2개의 상단 FFU(11, 12)는, 기판 처리 장치(1)가 설치되는 클린 룸 중의 공기를 빨아들여, 상단 반송 공간(61a)에 공급한다. 상단 반송 공간(61a)에 다운 플로우를 발생시킴으로써, 상단 반송 공간(61a)에 있어서의 풍속의 균일성이 향상된다. 그 결과, 상단 반송 공간(61a)의 청정도가 향상된다. 2개의 상단 FFU(11, 12)는, 제1 반송 팬 필터 유닛의 일례이다. 보다 상세하게는, 2개의 상단 FFU(11, 12)는 각각, 팬(112)과, 상자형 부재(111)와, 필터를 갖는다. 팬(112)은, 상자형 부재(111)의 상부에 지지된다. 팬(112)은, 클린 룸 중의 공기를 빨아들인다. 팬(112)이 빨아들인 공기는, 상자형 부재(111)의 내부 공간에 퍼지고, 필터를 통해 상자형 부재(111)로부터 유출된다.

복수의 상단 펀칭 플레이트(71)는, 상단 반송 공간(61a)의 하방에 설치된다. 상단 펀칭 플레이트(71)는, 상하 방향으로 상단 펀칭 플레이트(71)를 관통하는 복수의 통과 구멍을 갖는다. 2개의 상단 FFU(11, 12)로부터 상단 반송 공간(61a)에 공급된 기체는, 상단 반송 공간(61a)을 상방으로부터 하방으로 흐른 후, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한다. 복수의 상단 펀칭 플레이트(71)는 제1 바닥부의 일례이며, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍은 제1 통과 구멍의 일례이다.

2개의 하단 FFU(13, 14)는, 하단 반송 공간(61b)의 상방에 설치된다. 2개의 하단 FFU(13, 14)는, X방향을 따라서 배치된다. 구체적으로는, 2개의 하단 FFU(13, 14)는, 도 3을 참조하여 설명한 하단 반송 로봇(51b)이 이동하는 범위를 덮도록 배치된다. 상세하게는, 2개의 하단 FFU(13, 14)는, X방향에 있어서의 하단 반송 로봇(51b)의 이동 범위를 덮도록 배치된다.

2개의 하단 FFU(13, 14)는, 하단 반송 공간(61b)의 상방으로부터 하방을 향하여 기체를 공급하여, 하단 반송 공간(61b)에 다운 플로우를 발생시킨다. 구체적으로는, 2개의 하단 FFU(13, 14)는, 복수의 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 빨아들여, 하단 반송 공간(61b)에 공급한다. 하단 반송 공간(61b)에 다운 플로우를 발생시킴으로써, 하단 반송 공간(61b)에 있어서의 풍속의 균일성이 향상된다. 그 결과, 하단 반송 공간(61b)의 청정도가 향상된다. 또, 하단 FFU(13, 14)는, 상단 반송 공간(61a)으로부터 하단 반송 공간(61b)으로 기체를 배기한다. 따라서, 기판 처리 장치(1)가 설치되는 공장의 배기용력을 이용하지 않고, 상단 반송 공간(61a)으로부터 기체를 배기할 수 있다. 2개의 하단 FFU(13, 14)는, 제2 반송 팬 필터 유닛의 일례이다. 또한, 2개의 하단 FFU(13, 14)는 각각, 상단 FFU(11, 12)와 동일하게, 팬과, 상자형 부재와, 필터를 갖는다. 하단 FFU(13, 14)의 구성은, 상단 FFU(11, 12)와 동일하기 때문에, 여기서의 설명은 생략한다.

복수의 하단 펀칭 플레이트(72)는, 하단 반송 공간(61b)의 하방에 설치된다. 하단 펀칭 플레이트(72)는, 상하 방향으로 하단 펀칭 플레이트(72)를 관통하는 복수의 통과 구멍을 갖는다. 2개의 하단 FFU(13, 14)로부터 하단 반송 공간(61b)에 공급된 기체는, 하단 반송 공간(61b)을 상방으로부터 하방으로 흐른 후, 하단 펀칭 플레이트(72)의 통과 구멍을 통과한다. 복수의 하단 펀칭 플레이트(72)는 제2 바닥부의 일례이며, 하단 펀칭 플레이트(72)의 통과 구멍은 제2 통과 구멍의 일례이다.

복수의 배기 팬(73)은, 복수의 하단 펀칭 플레이트(72)의 하방에 설치되고, 복수의 하단 펀칭 플레이트(72)의 통과 구멍을 통과한 기체를 반송 블록(6)의 외부로 배기한다. 보다 구체적으로는, 복수의 배기 팬(73)은, 기판 처리 장치(1)의 외부로 기체를 배기한다. 따라서, 기판 처리 장치(1)가 설치되는 공장의 배기용력을 이용하지 않고, 하단 반송 공간(61b)으로부터 기체를 배기할 수 있다.

본 실시형태에 의하면, 상단 FFU(11, 12)가 상단 반송 공간(61a)에 발생시킨 다운 플로우(기류)를, 상단 펀칭 플레이트(71)를 통해 하단 FFU(13, 14)가 빨아들이기 때문에, 상단 반송 공간(61a) 내를 상단 반송 로봇(51a)이 이동해도, 상단 반송 공간(61a) 내에 발생하고 있는 다운 플로우(기류)가 상단 반송 로봇(51a)의 이동에 의해서 흐트러지는 것을 억제할 수 있다. 마찬가지로, 하단 FFU(13, 14)가 하단 반송 공간(61b)에 발생시킨 다운 플로우(기류)를, 하단 펀칭 플레이트(72)를 통해 배기 팬(73)이 빨아들이기 때문에, 하단 반송 공간(61b) 내를 하단 반송 로봇(51b)이 이동해도, 하단 반송 공간(61b)에 발생하고 있는 다운 플로우(기류)가 하단 반송 로봇(51b)의 이동에 의해서 흐트러지는 것을 억제할 수 있다.

또, 본 실시형태에 의하면, 상단 반송부(6a)가 2개의 상단 FFU(11, 12)를 구비하기 때문에, 상단 반송 공간(61a)의 넓은 범위에 다운 플로우를 안정적으로 발생시킬 수 있다. 마찬가지로, 하단 반송부(6b)가 2개의 하단 FFU(13, 14)를 구비하기 때문에, 하단 반송 공간(61b)의 넓은 범위에 다운 플로우를 안정적으로 발생시킬 수 있다.

또, 본 실시형태에 의하면, 2개의 상단 FFU(11, 12)가, 상단 반송 로봇(51a)의 이동 범위를 덮도록 배치되기 때문에, 상단 반송 공간(61a) 내에 발생하고 있는 다운 플로우(기류)의 흐트러짐을 보다 억제할 수 있다. 마찬가지로, 2개의 하단 FFU(13, 14)가, 하단 반송 로봇(51b)의 이동 범위를 덮도록 배치되기 때문에, 하단 반송 공간(61b) 내에 발생하고 있는 다운 플로우(기류)의 흐트러짐을 보다 억제할 수 있다.

계속해서, 도 6~도 8을 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 더 설명한다. 도 6은, 기판 처리 장치(1)의 인덱서 블록(3) 및 패스 블록(4)을 나타내는 사시도이다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 인덱서 블록(3)은, 인덱서 FFU부(15)를 더 구비한다. 인덱서 FFU부(15)는, 도 3을 참조하여 설명한 인덱서 공간(3a)의 상방에 배치된다. 인덱서 FFU부(15)는, 인덱서 공간(3a)의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급하여, 인덱서 공간(3a)에 다운 플로우를 발생시킨다.

보다 구체적으로는, 인덱서 FFU부(15)는, 제1 인덱서 FFU(16)와, 제2 인덱서 FFU(17)와, 제3 인덱서 FFU(18)를 갖는다. 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)는, 기판 처리 장치(1)가 설치되는 클린 룸 중의 공기를 빨아들여, 인덱서 공간(3a)에 공급한다. 또한, 제1 인덱서 FFU(16), 제2 인덱서 FFU(17), 및 제3 인덱서 FFU(18)는 각각, 상단 FFU(11, 12)와 동일하게, 팬(112)과, 상자형 부재(111)와, 필터를 갖는다. 제1 인덱서 FFU(16), 제2 인덱서 FFU(17), 및 제3 인덱서 FFU(18)의 구성은, 상단 FFU(11, 12)와 동일하기 때문에, 그 설명은 생략한다.

제1 인덱서 FFU(16)는, 패스 블록(4) 측과는 반대 측에 배치되고, 제2 인덱서 FFU(17)는, 패스 블록(4) 측에 배치된다. 환언하면, 제1 인덱서 FFU(16)는, 도 3을 참조하여 설명한 상단 패스부(41) 및 하단 패스부(42)와는 반대 측에 배치된다. 제2 인덱서 FFU(17)는, 도 3을 참조하여 설명한 상단 패스부(41) 및 하단 패스부(42) 측에 배치된다. 제3 인덱서 FFU(18)에 대해서는, 도 8을 참조하여 후술 한다.

도 7은, 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)의 내부 구성을 나타내는 다른 측면도이다. 상세하게는, 도 7은, ＋Y 측에서 본 기판 처리 장치(1)의 내부 구성을 나타낸다. 또한, 도 7에서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 인덱서 반송부(32), 상단 기판 반송부(50a), 및 하단 기판 반송부(50b)를 도시하지 않았다.

도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 상단 패스부(41)는, 상단 개구(41a)와, 상단 패스 공간(41b)을 갖고, 하단 패스부(42)는, 하단 개구(42a)와, 하단 패스 공간(42b)을 갖는다. 상단 패스 공간(41b)은, 상단 개구(41a)를 통해 상단 반송 공간(61a)과 연통한다. 하단 패스 공간(42b)은, 하단 개구(42a)를 통해 하단 반송 공간(61b)과 연통한다.

또, 도 7에 나타내는 바와 같이, 인덱서 블록(3)은, 제1 개구(3b)와, 제2 개구(3c)를 갖는다. 제1 개구(3b)는, 상단 패스부(41)의 상단 패스 공간(41b)에 연통한다. 따라서, 인덱서 공간(3a)은, 제1 개구(3b)를 통해 상단 패스 공간(41b)과 연통한다. 제2 개구(3c)는, 제1 개구(3b)의 하방에 설치되고, 하단 패스부(42)의 하단 패스 공간(42b)에 연통한다. 따라서, 인덱서 공간(3a)은, 제2 개구(3c)를 통해 하단 패스 공간(42b)와 연통한다.

본 실시형태에 의하면, 인덱서 블록(3)이 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)를 구비하기 때문에, 인덱서 공간(3a)에 있어서, 캐리어 재치부(31) 측과 패스 블록(4) 측에 다운 플로우를 발생시킬 수 있다. 또, 제2 인덱서 FFU(17)에 의해서 패스 블록(4) 측에 다운 플로우를 발생시킴으로써, 상단 패스 공간(41b) 및 하단 패스 공간(42b)을 통해 인덱서 공간(3a)으로부터 상단 반송 공간(61a) 및 하단 반송 공간(61b)으로 흐르는 기류를 발생시킬 수 있다.

계속해서, 도 7을 참조하여 배기 팬(73)을 더 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 배기 팬(73)은, 하단 패스부(42)의 하단 패스 공간(42b) 내의 기체를 흡인하는 배기량으로 구동된다. 따라서, 배기 팬(73)의 구동에 의해, 하단 패스부(42)의 하단 패스 공간(42b) 내의 기체가 하단 반송 공간(61b)으로 흐른다. 그 결과, 하단 패스 공간(42b)을 통해 인덱서 공간(3a)으로부터 하단 반송 공간(61b)으로 기체가 흐른다. 즉, 배기 팬(73)은, 하단 패스 공간(42b)을 통해 인덱서 공간(3a)으로부터 하단 반송 공간(61b)으로 흐르는 기류를 발생시킨다. 본 실시형태에 의하면, 하단 패스 공간(42b)을 통해 인덱서 공간(3a)으로부터 하단 반송 공간(61b)으로 흐르는 기류를 보다 확실하게 발생시킬 수 있다.

계속해서, 도 6 및 도 8을 참조하여 인덱서 FFU부(15)를 더 설명한다. 도 8은, 기판 처리 장치(1)의 인덱서 블록(3)의 내부 구성을 나타내는 정면도이다. 상세하게는, 도 8은, ＋X 측에서 본 인덱서 블록(3)의 내부 구성을 나타낸다. 또한, 도 8에서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 인덱서 반송 로봇(33)을 도시하지 않았다.

도 6 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 제3 인덱서 FFU(18)는, 인덱서 블록(3)의 내부에 설치된다. 구체적으로는, 제3 인덱서 FFU(18)는, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)를 정면에서 봤을 때, 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)의 측방 중 한쪽(-Y 측)에 배치된다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 인덱서 FFU부(15)에 의해, 인덱서 공간(3a)의 넓은 범위에 다운 플로우를 발생시킬 수 있다.

상세하게는, 인덱서 블록(3)은, 전기 부품군(38)을 더 구비한다. 또, 인덱서 공간(3a)은, 제1 인덱서 공간(3a1)과, 제2 인덱서 공간(3a2)을 포함한다.

전기 부품군(38)은, 복수의 전기 부품을 포함한다. 전기 부품군(38)은, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)를 정면에서 봤을 때, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)의 측방 중 한쪽(-Y 측)에 설치된다.

제2 인덱서 공간(3a2)은, 전기 부품군(38)의 하방의 공간이며, 제1 인덱서 공간(3a1)은, 나머지 공간이다. 따라서, 제2 인덱서 공간(3a2)은, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)를 정면에서 봤을 때, 제1 인덱서 공간(3a1)의 측방 중 한쪽(-Y 측)에 위치하고, 제1 인덱서 공간(3a1)의 최상부는, 제2 인덱서 공간(3a2)의 최상부보다 상방에 위치한다.

제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)는, 제1 인덱서 공간(3a1)의 상방에 설치된다. 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)는, 제1 인덱서 공간(3a1)의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급하여, 제1 인덱서 공간(3a1)에 다운 플로우를 발생시킨다.

전기 부품군(38)의 하방의 공간(제2 인덱서 공간(3a2))에는, 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)에 의해서 발생하는 기류(다운 플로우)가 닿기 어렵다. 제3 인덱서 FFU(18)는, 전기 부품군(38)의 하방에 배치된다. 상기 제3 인덱서 FFU(18)는, 제2 인덱서 공간(3a2)의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급하여, 제2 인덱서 공간(3a2)에 다운 플로우를 발생시킨다.

본 실시형태에 의하면, 인덱서 블록(3)이 제3 인덱서 FFU(18)를 구비하므로, 인덱서 공간(3a) 중, 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)에 의해서 발생하는 기류(다운 플로우)가 닿기 어려운 공간(제2 인덱서 공간(3a2))에, 보다 확실하게 다운 플로우를 발생시킬 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)를 정면에서 봤을 때, 제3 인덱서 FFU(18)는, 안내 레일(34)과는 반대 측에 배치된다. 구체적으로는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 안내 레일(34)은, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)를 정면에서 봤을 때, 제1 개구(3b) 및 제2 개구(3c)의 한쪽(＋Y 측)의 끝과 겹쳐지도록 설치된다. 안내 레일(34)은 상하 방향(Z방향)으로 연장되기 때문에, 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)에 의해서 발생하는 기류는, 안내 레일(34)을 따라서 상하 방향(Z방향)으로 흐르기 쉽다. 한편, 제2 인덱서 공간(3a2)(안내 레일(34)과는 반대 측의 공간)에서는, 제1 인덱서 FFU(16) 및 제2 인덱서 FFU(17)에 의해서 발생하는 기류가 유입되어도, 기류가 확산해 버려, 다운 플로우가 발생하기 어렵다.

본 실시형태에 의하면, 제3 인덱서 FFU(18)가, 제2 인덱서 공간(3a2)에 다운 플로우를 발생시키기 때문에, 인덱서 공간(3a)에 있어서, 다운 플로우가 발생하기 어려운 공간을 감소시킬 수 있다.

계속해서, 도 5, 도 7, 및 도 9~도 11을 참조하여 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 더 설명한다. 도 9는, 기판 처리 장치(1)의 반송 블록(6)을 나타내는 사시도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 상단 반송부(6a)는 상단 측벽부(611)를 갖고, 하단 반송부(6b)는 하단 측벽부(612)를 갖는다. 하단 측벽부(612)는, 상단 측벽부(611)의 하방에 설치되고, 상단 측벽부(611) 및 하단 측벽부(612)는, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 처리 블록(5)에 인접한다. 상단 측벽부(611)는 제1 측벽부의 일례이며, 하단 측벽부(612)는 제2 측벽부의 일례이다. 보다 구체적으로는, 상단 측벽부(611)는, ＋Y 측의 상단 측벽부(611)와, -Y 측의 상단 측벽부(611)를 포함한다. ＋Y 측의 상단 측벽부(611)는, 상단 반송부(6a)의 ＋Y 측의 측벽을 구성하고, -Y 측의 상단 측벽부(611)는, 상단 반송부(6a)의 -Y 측의 측벽을 구성한다. 마찬가지로, 하단 측벽부(612)는, ＋Y 측의 하단 측벽부(612)와, -Y 측의 하단 측벽부(612)를 포함한다. ＋Y 측의 하단 측벽부(612)는, 하단 반송부(6b)의 ＋Y 측의 측벽을 구성하고, -Y 측의 하단 측벽부(612)는, 하단 반송부(6b)의 -Y 측의 측벽을 구성한다.

도 10 (a)는, 상단 측벽부(611) 및 하단 측벽부(612)의 단면을 나타내는 도면이다. 상세하게는, 도 10 (a)는, ＋Y 측의 상단 측벽부(611)의 단면 및 ＋Y 측의 하단 측벽부(612)의 단면을 나타낸다.

도 10 (a)에 나타내는 바와 같이, 상단 측벽부(611)는 상단 간극 형성부(611a)를 갖고, 하단 측벽부(612)는 하단 간극 형성부(612a)를 갖는다. 상단 간극 형성부(611a) 및 하단 간극 형성부(612a)는 상하 방향(Z방향)에 있어서 대향하고, 상단 간극 형성부(611a)와 하단 간극 형성부(612a) 사이에 간극(63)을 형성한다. 간극(63)은, 도 5를 참조하여 설명한 하단 FFU(13, 14)가 배치되는 공간과 연통한다. 또, 간극(63)은, 반송 블록(6)의 외부와 연통한다. 상세하게는, 간극(63)은, 반송 블록(6)과 처리 블록(5)의 간극을 통해, 기판 처리 장치(1)의 외부와 연통한다.

보다 구체적으로는, ＋Y 측의 상단 측벽부(611)는, 복수의 상단 간극 형성부(611a)를 갖고, ＋Y 측의 하단 측벽부(612)는, 복수의 하단 간극 형성부(612a)를 갖는다. 마찬가지로, -Y 측의 상단 측벽부(611)는, 복수의 상단 간극 형성부(611a)를 갖고, -Y 측의 하단 측벽부(612)는, 복수의 하단 간극 형성부(612a)를 갖는다. ＋Y 측의 복수의 상단 간극 형성부(611a) 및 ＋Y 측의 복수의 하단 간극 형성부(612a)는, X방향을 따라서 설치된다. -Y 측의 복수의 상단 간극 형성부(611a) 및 -Y 측의 복수의 하단 간극 형성부(612a)도 동일하게 X방향을 따라서 설치된다.

본 실시형태에 의하면, 상단 반송 공간(61a)으로부터, 하단 FFU(13, 14)가 배치되는 공간으로 유입된 기체의 일부를, 복수의 간극(63)을 통해 반송 블록(6)의 외부로 내보낼 수 있다. 이 결과, 도 7을 참조하여 설명한 상단 패스 공간(41b)으로부터 상단 반송 공간(61a)으로 기체가 흐르기 쉬워져, 상단 패스 공간(41b)에 기체가 정체되기 어려워진다. 따라서, 상단 패스 공간(41b)을 통해 인덱서 공간(3a)으로부터 상단 반송 공간(61a)으로 흐르는 기류를 보다 확실하게 발생시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상단 반송부(6a)가 복수의 개구율 조정 부재(62)를 갖는다. 복수의 개구율 조정 부재(62)는, 복수의 간극(63)과 1대 1로 대응한다. 개구율 조정 부재(62)는, 대응하는 간극(63)의 개구율을 조정한다.

구체적으로는, 개구율 조정 부재(62) 각각은, Y방향에서 볼 때, 대응하는 간극(63)과의 겹침 상태가 변화하도록, 상단 측벽부(611)에 대해서 상하 방향(Z방향)으로 슬라이드 가능하게, 상단 측벽부(611) 상에 지지되어 있다. 개구율 조정 부재(62)를 슬라이드시킴으로써, 대응하는 간극(63)의 개구율을 조정할 수 있다. 예를 들면, 작업자가, 개구율 조정 부재(62)를 상하 방향(Z방향)으로 슬라이드시켜, 대응하는 간극(63)의 개구율을 조정한다.

도 10 (b)는, 개구율 조정 부재(62)를 나타내는 사시도이다. 상세하게는, 도 10 (b)는, 간극(63)을 반(半)개방하고 있는 개구율 조정 부재(62)를 나타낸다. 또한, 도 10 (a)도 동일하게 간극(63)을 반개방하고 있는 개구율 조정 부재(62)를 나타낸다.

도 10 (b)에 나타내는 바와 같이, 개구율 조정 부재(62)는, 판부(62a)와, 차폐부(62b)를 갖는다. 판부(62a)는, Z방향으로 연장된다. 차폐부(62b)는, X방향으로 연장된다. 차폐부(62b)는, 판부(62a)의 하단에 접속되어 있다.

개구율 조정 부재(62)는, 도시하지 않은 고정부에 의해, 간극(63)의 상방에 있어서 상단 측벽부(611)에 고정된다. 고정부에는, Z방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있고, 개구율 조정 부재(62)의 판부(62a)는, 고정부의 관통 구멍에 슬라이딩 가능하게 삽입된다.

고정부에는, 예를 들면, 관통 구멍에 대해서 판부(62a)를 고정하기 위한 나사 기구가 설치되어도 된다. 혹은, 판부(62a)에 평기어를 설치하고, 고정부에 기어를 설치하여, 판부(62a)와 고정부에 의해, 이른바 랙 앤드 피니언 기구를 구성해도 된다. 이 경우, 고정부에 설치된 기어를 수동 또는 모터에 의해 회전시킴으로써, 개구율 조정 부재(62)를 Z방향으로 슬라이드시켜도 된다.

고정부는, 고정부에 대해서 판부(62a)를 슬라이딩시킴으로써, Y방향에서 볼 때 차폐부(62b)와 간극(63)의 겹침 상태를 보다 크게 변화시키는 것이 가능한 위치에 설치되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 개구율 조정 부재(62)가 있는 상태인 경우에, Y방향에서 볼 때, 차폐부(62b)가 간극(63)을 완전하게 차폐하고, 개구율 조정 부재(62)가 다른 상태인 경우에, 차폐부(62b)가 간극(63)을 완전하게 개방하도록, 고정부를 배치하는 것이 바람직하다.

도 11 (a)는, 상단 측벽부(611) 및 하단 측벽부(612)의 단면을 나타내는 다른 도면이다. 도 11 (b)는, 개구율 조정 부재(62)의 다른 상태를 나타내는 사시도이다. 상세하게는, 도 11 (a)는, 간극(63)을 닫고 있는 개구율 조정 부재(62)를 나타낸다. 도 11 (b)도 동일하게 간극(63)을 닫고 있는 개구율 조정 부재(62)를 나타낸다.

도 10 (a) 및 도 10 (b)에 나타내는 바와 같이, 개구율 조정 부재(62)가 간극(63)을 개방함으로써, 간극(63)을 통해, 하단 FFU(13, 14)가 배치되는 공간(도 5 참조)으로부터 반송 블록(6)의 외부로 기체가 유출된다. 한편, 도 11 (a) 및 도 11 (b)에 나타내는 바와 같이, 개구율 조정 부재(62)가 간극(63)을 차단함으로써, 간극(63)을 통한 기체의 유출이 저지된다.

본 실시형태에 의하면, 반송 블록(6)이 개구율 조정 부재(62)를 구비함으로써, 간극(63)의 개구율을 조정하여, 하단 FFU(13, 14)가 배치되는 공간으로부터 반송 블록(6)의 외부로의 기체의 유출의 용이함을 조정할 수 있다. 따라서, 하단 FFU(13, 14)가 배치되는 공간으로부터 반송 블록(6)의 외부로의 단위시간당 기체의 유출량을 조정할 수 있다. 따라서, 간극(63)의 개구율을 조정하여, 상단 패스 공간(41b)을 통해 인덱서 공간(3a)으로부터 상단 반송 공간(61a)으로 흐르는 기류를 보다 확실하게 발생시킬 수 있다.

이상, 도 1~도 11을 참조하여 본 발명의 실시형태 1을 설명했다. 본 실시형태에 의하면, 상단 반송 공간(61a) 내에 발생하고 있는 다운 플로우(기류)의 흐트러짐과, 하단 반송 공간(61b) 내에 발생하고 있는 다운 플로우(기류)의 흐트러짐을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 상단 측벽부(611)가 상단 간극 형성부(611a)를 갖고, 하단 측벽부(612)가 하단 간극 형성부(612a)를 가졌는데, 상단 측벽부(611)만이 간극(63)을 형성하는 구조 또는 형상을 가져도 되고, 하단 측벽부(612)만이 간극(63)을 형성하는 구조 또는 형상을 가져도 된다.

또, 본 실시형태에서는, 반송 블록(6)이 복수의 간극(63)을 가졌는데, 반송 블록(6)은 간극(63)을 1개 가져도 된다.

또, 본 실시형태에서는, 반송 블록(6)이, ＋Y 측 및 -Y 측 양측에 간극(63)을 가졌는데, 반송 블록(6)이, ＋Y 측 및 -Y 측 중 한쪽의 측에만 간극(63)을 가져도 된다.

또, 본 실시형태에서는, 개구율 조정 부재(62)가 상하 방향으로 슬라이드했는데, 개구율 조정 부재(62)가 슬라이드하는 방향은 상하 방향에 한정되지 않는다. 개구율 조정 부재(62)는, 대응하는 간극(63)의 개구율을 조정할 수 있도록 슬라이드할 수 있으면 된다. 예를 들면, 개구율 조정 부재(62)는, 상단 측벽부(611)에 의해서, X방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어도 된다.

또, 본 실시형태에서는, 상단 반송부(6a)가 개구율 조정 부재(62)를 가졌는데, 하단 반송부(6b)가 개구율 조정 부재(62)를 가져도 되고, 상단 반송부(6a) 및 하단 반송부(6b) 양자가 개구율 조정 부재(62)를 가져도 된다.

[실시형태 2]

계속해서 도 12 및 도 13을 참조하여 본 발명의 실시형태 2에 대해 설명한다. 단, 실시형태 1과 상이한 사항을 설명하고, 실시형태 1과 같은 사항에 대한 설명은 생략한다. 실시형태 2는, 실시형태 1과 다르게, 반송 블록(6)에 제1 정류부(81)~제3 정류부(83)가 설치된다.

도 12는, 본 실시형태의 기판 처리 장치(1)가 구비하는 반송 블록(6)의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다. 상세하게는, 도 12는, ＋Y 측에서 본 반송 블록(6)의 일부를 확대하여 나타낸다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, 상단 반송부(6a)는, 상단 펀칭 플레이트(71)에 설치된 제1 정류부(81)를 더 갖는다. 제1 정류부(81)는, 상단 펀칭 플레이트(71)로부터 하방으로 돌출한다. 제1 정류부(81)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 틀체의 절곡부에 의해서 구성되어도 된다.

제1 정류부(81)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다. 상세하게는, 제1 정류부(81)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체가, 하단 FFU(13) 또는 하단 FFU(14)를 향하여 흐르도록, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 하단 FFU(13) 및 하단 FFU(14)가, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 효율적으로 흡인할 수 있다.

본 실시형태에서는 또한, 하단 FFU(13, 14)가 제2 정류부(82)를 갖는다. 구체적으로는, 하단 FFU(13, 14)는 각각, 팬(112)과, 상자형 부재(111)와, 제2 정류부(82)와, 필터를 갖는다. 제2 정류부(82)는, 상자형 부재(111)에 설치된다. 제2 정류부(82)는, 상자형 부재(111)로부터 상방으로 돌출한다.

제2 정류부(82)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다. 상세하게는, 제2 정류부(82)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체가, 팬(112)을 향하여 흐르도록, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 하단 FFU(13) 및 하단 FFU(14)가, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 효율적으로 흡인할 수 있다.

또한, 상자형 부재(111)는, 팬(112)을 지지한다. 구체적으로는, 팬(112)은, 상자형 부재(111)의 상부에 지지된다. 필터는, 상자형 부재(111)의 내부에 수용된다. 팬(112)이 빨아들인 공기는, 상자형 부재(111)의 내부 공간에 퍼져, 필터를 통해 상자형 부재(111)로부터 유출된다.

도 13은, 본 실시형태의 반송 블록(6)의 일부를 확대하여 나타내는 다른 도면이다. 상세하게는, 도 13은, -X 측에서 본 반송 블록(6)의 일부를 확대하여 나타낸다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 하단 반송부(6b)는, 천정부(613)와, 제3 정류부(83)를 더 갖는다. 천정부(613)에는, 하단 FFU(13, 14)와, 제3 정류부(83)가 설치된다.

제3 정류부(83)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다. 상세하게는, 제3 정류부(83)는, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체가, 하단 FFU(13, 14)를 향하여 흐르도록, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 정류한다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 하단 FFU(13) 및 하단 FFU(14)가, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 효율적으로 흡인할 수 있다.

이상, 도 12 및 도 13을 참조하여 본 발명의 실시형태 2를 설명했다. 본 실시형태에 의하면, 하단 FFU(13) 및 하단 FFU(14)가, 상단 펀칭 플레이트(71)의 통과 구멍을 통과한 기체를 효율적으로 흡인할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 반송 블록(6)에 제1 정류부(81)~제3 정류부(83)가 설치되었는데, 제1 정류부(81)~제3 정류부(83) 중 1개 또는 2개가 반송 블록(6)에 설치되어도 된다.

이상, 도면(도 1~도 13)을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대해 설명했다. 단, 본 발명은, 상기의 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지의 양태에 있어서 실시할 수 있다. 또, 상기의 실시형태에 개시되는 복수의 구성 요소는 적절히 개변 가능하다. 예를 들면, 어느 실시형태에 나타내어지는 전체 구성 요소 중의 어느 구성 요소를 다른 실시형태의 구성 요소에 추가해도 되고, 또는, 어느 실시형태에 나타내어지는 전체 구성 요소 중 몇 개의 구성 요소를 실시형태로부터 삭제해도 된다.

도면은, 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 각각의 구성 요소를 주체로 모식적으로 나타내고 있으며, 도시된 각 구성 요소의 두께, 길이, 개수, 간격 등은, 도면 작성 관계상 실제와는 상이한 경우도 있다. 또, 상기의 실시형태로 나타내는 각 구성 요소의 구성은 일례로서, 특별히 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 효과로부터 실질적으로 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다.

예를 들면, 도 1~도 13을 참조하여 설명한 실시형태에서는, 상단 반송부(6a)가 2개의 상단 FFU(11, 12)를 구비했는데, 상단 반송부(6a)는, 1개의 상단 FFU를 구비해도 되고, 3개 이상의 상단 FFU를 구비해도 된다. 마찬가지로, 하단 반송부(6b)는, 2개의 하단 FFU(13, 14)를 구비했는데, 하단 반송부(6b)는, 1개의 하단 FFU를 구비해도 되고, 3개 이상의 하단 FFU를 구비해도 된다.

또, 도 1~도 13을 참조하여 설명한 실시형태에서는, 상단 반송부(6a)가 복수의 상단 펀칭 플레이트(71)를 구비했는데, 상단 반송부(6a)는 1개의 상단 펀칭 플레이트를 구비해도 된다. 마찬가지로, 하단 반송부(6b)는 복수의 하단 펀칭 플레이트(72)를 구비했는데, 하단 반송부(6b)는 1개의 하단 펀칭 플레이트를 구비해도 된다.

또, 도 1~도 13을 참조하여 설명한 실시형태에서는, 하단 반송부(6b)가 2개의 배기 팬(73)을 구비했지만, 하단 반송부(6b)는, 1개의 배기 팬(73)을 구비해도 되고, 3개 이상의 배기 팬(73)을 구비해도 된다.

본 발명은, 기판을 처리하는 장치에 유용하다.

1: 기판 처리 장치
3: 인덱서 블록
3a: 인덱서 공간
3a1: 제1 인덱서 공간
3a2: 제2 인덱서 공간
3b: 제1 개구
3c: 제2 개구
5: 처리 블록
6a: 상단 반송부
6b: 하단 반송부
11: 상단 FFU
12: 상단 FFU
13: 하단 FFU
14: 하단 FFU
15: 인덱서 FFU부
16: 제1 인덱서 FFU
17: 제2 인덱서 FFU
18: 제3 인덱서 FFU
32: 인덱서 반송부
33: 인덱서 반송 로봇
34: 안내 레일
41: 상단 패스부
42: 하단 패스부
50a: 상단 기판 반송부
50b: 하단 기판 반송부
51a: 상단 반송 로봇
51b: 하단 반송 로봇
61a: 상단 반송 공간
61b: 하단 반송 공간
62: 개구율 조정 부재
63: 간극
71: 상단 펀칭 플레이트
72: 하단 펀칭 플레이트
73: 배기 팬
81: 제1 정류부
82: 제2 정류부
83: 제3 정류부
111: 상자형 부재
112: 팬
611: 상단 측벽부
611a: 상단 간극 형성부
612: 하단 측벽부
612a: 하단 간극 형성부
613: 천정부
W: 기판

Claims (16)

1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
   상기 기판을 처리하는 처리부와,
   상기 처리부와 인접하는 제1 반송부와,
   상기 처리부와 인접하고, 상기 제1 반송부의 하방에 설치되는 제2 반송부와,
   상기 기판의 반입 및 반출을 행하는 인덱서부와,
   상기 인덱서부와 상기 제1 반송부 사이에 설치되고, 상기 기판이 일시적으로 재치(載置)되는 제1 패스부와,
   상기 인덱서부와 상기 제2 반송부 사이에 설치되고, 상기 기판이 일시적으로 재치되는 제2 패스부를 구비하고,
   상기 제1 반송부는,
   상기 기판을 반송하는 제1 기판 반송부와,
   상기 제1 기판 반송부를 수용하는 제1 반송 공간과,
   상기 제1 반송 공간의 상방에 설치되고, 상기 제1 반송 공간의 상방으로부터 하방을 향하여 기체를 공급하는 제1 반송 팬 필터 유닛과,
   복수의 제1 통과 구멍을 갖고, 상기 제1 반송 공간의 하방에 설치되는 제1 바닥부
   를 갖고,
   상기 제2 반송부는,
   상기 기판을 반송하는 제2 기판 반송부와,
   상기 제2 기판 반송부를 수용하는 제2 반송 공간과,
   상기 제1 바닥부의 하방에 설치되고, 상기 제2 반송 공간의 상방으로부터 하방을 향하여 기체를 공급하는 제2 반송 팬 필터 유닛과,
   복수의 제2 통과 구멍을 갖고, 상기 제2 반송 공간의 하방에 설치되는 제2 바닥부와,
   상기 제2 바닥부의 하방에 설치되고, 상기 복수의 제2 통과 구멍을 통과한 기체를 배기하는 배기 팬
   을 갖고,
   상기 인덱서부는,
   상기 기판의 반입 및 반출을 행하는 인덱서 반송부와,
   상기 인덱서 반송부를 수용하는 인덱서 공간과,
   상기 인덱서 공간의 상방에 설치되고, 상기 인덱서 공간의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급하는 인덱서 팬 필터 유닛부
   를 갖고,
   상기 인덱서 팬 필터 유닛부는,
   상기 제1 패스부 및 상기 제2 패스부 측과는 반대 측에 배치되는 제1 인덱서 팬 필터 유닛과,
   상기 제1 패스부 및 상기 제2 패스부 측에 배치되는 제2 인덱서 팬 필터 유닛
   을 갖고,
   상기 배기 팬은, 상기 제2 패스부의 공간 내의 기체를 흡인하는 배기량으로 구동하는 것에 의해, 상기 인덱서 공간으로부터 상기 제2 패스부를 통해 상기 제2 반송 공간에 흐르는 기류를 발생시키는,
   기판 처리 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1 반송부는, 상기 처리부와 인접하는 제1 측벽부를 더 갖고,
   상기 제2 반송부는, 상기 처리부와 인접하고, 상기 제1 측벽부의 하방에 설치되는 제2 측벽부를 더 갖고,
   상기 제1 측벽부와 상기 제2 측벽부 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 측벽부와 상기 제2 측벽부 사이에 간극을 형성하는 간극 형성부를 더 갖는, 기판 처리 장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 중 적어도 한쪽은, 상기 간극의 개구율을 조정하는 개구율 조정 부재를 더 갖는, 기판 처리 장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 반송부는, 복수의 상기 제1 반송 팬 필터 유닛을 갖는, 기판 처리 장치.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 제1 기판 반송부는, 상기 제1 반송 공간 내에서 이동하는 제1 반송 로봇을 포함하고,
   상기 복수의 제1 반송 팬 필터 유닛은, 상기 제1 반송 로봇의 이동 범위를 덮도록 배치되는, 기판 처리 장치.
6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제2 반송부는, 복수의 상기 제2 반송 팬 필터 유닛을 갖는, 기판 처리 장치.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 제2 기판 반송부는, 상기 제2 반송 공간 내에서 이동하는 제2 반송 로봇을 포함하고,
   상기 복수의 제2 반송 팬 필터 유닛은, 상기 제2 반송 로봇의 이동 범위를 덮도록 배치되는, 기판 처리 장치.
8. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 반송부는, 상기 제1 바닥부에 설치된 제1 정류부를 더 갖고,
   상기 제1 정류부는, 상기 복수의 제1 통과 구멍을 통과한 기체를 정류(整流)하는, 기판 처리 장치.
9. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제2 반송 팬 필터 유닛은, 팬과, 상기 팬을 지지하는 상자형 부재와, 상기 상자형 부재에 설치된 제2 정류부를 갖고,
   상기 제2 정류부는, 상기 복수의 제1 통과 구멍을 통과한 기체를 정류(整流)하는, 기판 처리 장치.
10. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 반송부는,
    상기 제2 반송 팬 필터 유닛이 설치되는 천정부와,
    상기 천정부에 설치된 제3 정류부
    를 더 갖고,
    상기 제3 정류부는, 상기 복수의 제1 통과 구멍을 통과한 기체를 정류(整流)하는, 기판 처리 장치.
11. 청구항 1에 있어서,
    상기 인덱서부는,
    상기 제1 패스부에 연통하는 제1 개구와,
    상기 제1 개구의 하방에 설치되고, 상기 제2 패스부에 연통하는 제2 개구
    를 더 갖고,
    상기 인덱서 팬 필터 유닛부는, 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구를 정면에서 봤을 때, 상기 제1 인덱서 팬 필터 유닛 및 상기 제2 인덱서 팬 필터 유닛의 측방 중 한쪽에 배치되어 있는 제3 인덱서 팬 필터 유닛을 더 갖는, 기판 처리 장치.
12. 청구항 11에 있어서,
    상기 인덱서 공간은,
    제1 인덱서 공간과,
    상기 제1 개구 및 상기 제2 개구를 정면에서 봤을 때, 상기 제1 인덱서 공간의 측방 중 한쪽에 위치하는 제2 인덱서 공간
    을 포함하고,
    상기 제1 인덱서 공간의 최상부는, 상기 제2 인덱서 공간의 최상부보다 상방에 위치하고,
    상기 제1 인덱서 팬 필터 유닛 및 상기 제2 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 인덱서 공간의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급하고,
    상기 제3 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제2 인덱서 공간의 상방으로부터 하방으로 기체를 공급하는, 기판 처리 장치.
13. 청구항 11에 있어서,
    상기 인덱서 반송부는,
    상기 기판을 반송하는 인덱서 반송 로봇과,
    상기 인덱서 반송 로봇을 상하 방향으로 안내하는 안내 레일
    을 포함하고,
    상기 제3 인덱서 팬 필터 유닛은, 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구를 정면에서 봤을 때, 상기 안내 레일 측과는 반대 측에 배치되는, 기판 처리 장치.
14. 삭제
15. 삭제
16. 삭제