JP7259663B2 - 回転速センサ - Google Patents

Description

本発明は、磁気検出素子を利用した回転速センサに関する。

回転速センサは、例えば、車輪の回転速度を検出する目的で車両に搭載される。かかる目的で車両に搭載される回転速センサは、一般的に「車輪速センサ」と呼ばれる。車輪速センサとしての回転速センサは、車輪のロックを防止するアンチロックブレーキシステム（ＡＢＳシステム）や、車輪のスリップを防止するトラクションコントロールシステム等の構成要素の１つとして車両に搭載される。特許文献１（特開２０１７－９６８２８号公報）には、車輪と共に回転する歯車の回転による磁界の変動を検出する車輪速センサが記載されている。

特開２０１７－９６８２８号公報

磁気検出素子を利用した回転速センサの場合、被計測物である歯車やパルサーリングなどが回転することによる磁界を検出し、この磁界の大きさに応じた電気信号を出力する。磁気検出素子を利用した回転速センサの場合、被計測物と回転速センサとの離間距離（エアギャップと呼ぶ）を小さくすることにより、回転速センサの磁気検出素子に検出される磁界が大きくなる。この結果、回転速センサの計測精度を向上させることができる。

しかし、回転速センサの取り付け作業の容易性、回転センサの設計の自由度等を考慮すると、エアギャップは大きい方が好ましい。そこで、本発明は、計測精度を維持しつつ、エアギャップを大きくすることができる回転速センサを提供することを目的とする。

一実施の形態である回転速センサは、第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、および前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、を有する。前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第１方向に形成された開口部を備える。

例えば、前記開口部は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子の中心と前記第２磁気検出素子の中心とを結んだ線分の中心と重なる位置に形成される。

例えば、前記開口部は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子または前記第２磁気検出素子と重なる。

例えば、前記開口部は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の両方と重なる。

例えば、前記開口部の開口端は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の両方と重なる。

例えば、前記磁性板の前記開口部の開口端の形状は円形であり、前記開口部の開口端の開口径は、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の中心間距離より大きい。

例えば、前記第１磁気検出素子と前記第２磁気検出素子とは、前記第１方向に直交する第２方向に沿って配列される。前記磁性板の前記開口部の開口端は、前記第２方向に沿った第１開口径と、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に沿った第２開口径と、を備える。前記第２開口径は、前記第１開口径より小さく、かつ、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の中心間距離より大きい。

例えば、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の中心とを結んだ仮想線は、前記第１方向視において、前記開口部の中心と重なる。

例えば、前記開口部は、前記第３面および前記第４面の一方から他方まで貫通する貫通孔である。

本発明の代表的な実施の形態によれば、回転速センサと被計測物とのエアギャップを大きくすることができる。

一実施の形態である回転速センサの構成例を示す説明図である。 図１に示す歯車の回転軸に直交する面に沿って切断したセンサ保持部内部の要部断面図である。 図２に示すセンサ部品周辺に形成される磁束線を模式的に示す要部拡大断面図である。 図３に示す回転速センサに対する検討例を示す要部拡大断面図である。 図１に示すＹ方向と、図２に示すＸ方向とを含むＸ－Ｙ平面におけるセンサ部品内の磁気検出素子の位置を示す拡大透視平面図である。 図３に示す磁性板のＸ－Ｙ平面における平面図である。 図６に示す磁性板に対する変形例を示す平面図である。 図６に示す磁性板に対する別の変形例を示す平面図である。 磁性板に形成された開口部の有無、および開口部の大きさが、エアギャップの最大値に及ぼす影響を調査した結果を示す説明図である。 開口部と磁気検出素子の平面的な位置関係が、エアギャップの最大値に及ぼす影響を調査した結果を示す説明図である。 図６に示す磁性板をＹ方向に沿ってずらした状態を示す平面図である。 図２に示す磁性板に対する変形例を示す要部断面図である。

以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

＜全体構造＞
図１に示されるように、本実施の形態に係る回転速センサＲＳＳ１は、センサヘッド２，ケーブル３及びコネクタ４を有する。センサヘッド２は、不図示の車輪と一緒に回転する歯車５の近傍に配置される。センサヘッド２は、歯車５との位置関係が所定の位置関係となるように、車体（ハブ，ナックル，サスペンション等）に固定される。本実施の形態では、センサヘッド２は、センサヘッド２のセンサ保持部２Ｓと歯車５の外周（後述する図２に示す複数の歯５Ｔが配置される部分）とが互いに対向するように固定されている。歯車５は、磁性体から成り、図示しない車輪の回転に応じて、回転軸５ｒを中心に回転する。センサヘッド２内には磁石１０が内蔵されている。歯車５が回転すると、センサヘッド２内の磁石１０から歯車５に向かう磁界の向き（ベクトル）や分布が変化する。

センサヘッド２には、磁界を検出し、その磁界の大きさに応じた電気信号を出力する磁気センサ用ＩＣであるセンサ部品２０が内蔵されている。以下で説明する「エアギャップＧ１」とは、回転速センサＲＳＳ１と歯車５との最短距離として定義される。本実施の形態の場合、センサヘッド２に内蔵されるセンサ部品２０と歯車５との間には、センサ保持部２Ｓの筐体の一部分が介在するので、エアギャップＧ１は、センサ保持部２Ｓの筐体と、歯車５との最短距離として定義される。また、センサヘッド２とコネクタ４とは、ケーブル３を介して接続されている。センサヘッド２に内蔵されているセンサ部品２０から出力された電気信号は、ケーブル３を介してコネクタ４に伝送され、コネクタ４の接続先に入力される。コネクタ４は、例えば、ＡＢＳシステムの制御部や制御装置、ＡＢＳシステムを含む各種システムを統括的に制御する制御部や制御装置などに接続される。

図１に示されるように、センサヘッド２は、フランジ部２Ｆと、フランジ部２Ｆの一側に設けられたセンサ保持部２Ｓと、フランジ部２Ｆの他側に設けられたケーブル保持部２Ｃと、を含んでいる。これらフランジ部２Ｆ、センサ保持部２Ｓおよびケーブル保持部２Ｃは、樹脂によって一体成形されている。フランジ部２Ｆ、センサ保持部２Ｓおよびケーブル保持部２Ｃのそれぞれは、射出成形された樹脂成形体の一部である。

フランジ部２Ｆは、フランジ部２Ｆのセンサ保持部２Ｓ側からケーブル保持部２Ｃ側まで貫通する貫通孔２ｈを備える。貫通孔２ｈは、センサヘッド２を固定する際に、ボルトを挿入するボルト穴である。

＜センサ部品の周辺構造＞
次に、図２～図４を用いて図１に示すセンサ部品２０の周辺構造について説明する。図２～図４に示す磁石１０、センサ部品２０、および磁性板３０は、センサヘッド２（図１参照）のセンサ保持部２Ｓ内に固定されているが、図２～図４では、樹脂から成るセンサヘッド２の筐体の図示を省略している。図３および図４では、センサ部品２０周辺に形成される磁束線のイメージを二点鎖線で示している。また、図３および図４は断面図であるが、磁界の向きを見やすくするため各部材のハッチングは省略している。

本実施の形態の回転速センサＲＳＳ１の場合、センサ保持部２Ｓの内部には、歯車５に近い側から順に、センサ部品２０、磁性板３０、磁石１０が配置されている。

センサ部品２０は、歯車５と対向する上面（第１面）２０ｔ、上面２０ｔの反対側の下面（第２面）２０ｂ、上面２０ｔと下面２０ｂとの間に配置される磁気検出素子（第１磁気検出素子）２１、および上面２０ｔと下面２０ｂとの間に磁気検出素子２１と離間して配置される磁気検出素子（第２磁気検出素子）２２を備える。磁石１０は、Ｎ極に着磁した磁極部１０ｎと、Ｓ極に着磁した磁極部１０ｓとを備える。本実施の形態では、磁極部１０ｎは、センサ部品２０の下面２０ｂと対向し、磁極部１０ｓは、センサ部品２０の下面２０ｂと対向しない。

磁気検出素子２１および２２には、ホール効果を利用して磁束密度を計測するホール素子や、磁気抵抗効果を利用して磁界（磁束や磁束密度）の大きさを計測する磁気抵抗効果素子（ＭＲ（Magneto Resistive effect）素子）を用いることができる。本実施形態における磁気検出素子２１および２２のそれぞれは、巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive effect）素子）である。磁気検出素子２１および２２は、Ｚ方向（第１方向）およびＹ方向（図１参照）と直交するＸ方向（第２方向）に沿って配列される。磁気検出素子２１および２２は、互いに離間し、その中心間距離Ｐ１は、歯車５が備える複数の歯５Ｔのうち、互いに隣り合う二つの歯５Ｔの先端の中心間距離Ｐ２より小さい。

本実施の形態のように、磁石１０と歯車５との間にセンサ部品２０が配置される回転速センサの場合、センサ部品２０の背面側（下面２０ｂ側）から磁力が印加される。このような磁力の印加方式をバックバイアス方式と呼ぶ。回転速センサの他の例として、回転体自身に磁石を設ける方式もある。例えば、マグネットエンコーダの外周にＮ極とＳ極とが交互に配列され、そのマグネットエンコーダと対向する位置にセンサ部品が配置される。この場合、車輪の回転に伴ってマグネットエンコーダが回転すると、マグネットエンコーダが備える磁極の位置が変化するので、センサ部品の周辺の磁界が変動する。

磁気検出素子２１および２２を備えるセンサ部品２０は、水平方向（Ｘ方向とＹ方向（図１参照）とを含むＸ－Ｙ平面に沿った方向）の磁界を検出する。磁気検出素子２１および２２は、検出した磁界の大きさに応じた電気信号を出力する。このため、磁気検出素子２１および２２の周囲の磁界が変化すれば、磁気検出素子２１および２２から出力される信号の値が変化する。磁気検出素子２１および２２から出力された信号は、ケーブル３およびコネクタ４を介して、例えば、ＡＢＳシステムの制御部や制御装置、ＡＢＳシステムを含む各種システムを統括的に制御する制御部や制御装置などに伝送される。

本実施の形態のバックバイアス方式の場合、磁石１０から歯車５に向かって延びる磁束線が、磁石１０と歯車５との間に配置された磁気検出素子２１および２２を貫く程度が変化することにより回転体の速度や回転方向を検出する。この場合、センサ部品２０による磁気の検出精度を向上させようとすれば、エアギャップＧ１（図１参照）は小さくなる傾向がある。エアギャップＧ１、言い換えれば、歯車５とセンサ保持部２Ｓとのクリアランスが小さくなると、歯車５の近傍にセンサヘッド２を固定する必要が生じる。この場合、センサヘッド２自身、あるいはセンサヘッド２の近くに固定される部品を取り付ける際の作業が煩雑になる。また、センサ部品２０の設計の自由度を考慮すると、エアギャップＧ１は大きい方が好ましい。エアギャップＧ１は、寸法のばらつき、振動による振れ幅等を考慮して必要な値が設定される。

磁石１０のようにＮ極とＳ極とを備える一つの磁石の場合、Ｎ極からＳ極に向かって磁石１０の周囲に複数の磁束線が形成される。図２に示すように、回転速センサＲＳＳ１の場合、磁石１０と歯車５との間、詳しくは、磁石１０とセンサ部品２０との間に、磁性体材料から成る磁性板３０が配置される。磁性板３０は、センサ部品２０の下面２０ｂと対向する上面（第３面）３０ｔと、上面３０ｔの反対側に位置し、磁石１０と対向する下面（第４面）３０ｂと、を有する。

磁性板３０を構成する磁性体材料としては、金属材料が例示できる。本実施の形態の場合、磁性板３０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）から成る。永久磁石の近傍に磁性体が配置されている場合、永久磁石のＮ極から延びる磁束線は、磁性体の方向に向かって延び、磁性体を貫く。したがって、図２に示す構造の場合、センサ部品２０と磁石１０との間に磁性板３０を配置することで、磁石１０の磁極部１０ｎからセンサ部品２０に向かう磁界の磁束密度を増大させることができる。

ここで、図４に検討例である回転速センサＲＳＳ２を示す。回転速センサＲＳＳ２が備える磁性板３０Ｃは、板状の部材である。この磁性板３０Ｃが磁石１０とセンサ部品２０との間に配置されている場合、磁性板３０Ｃを貫く磁界は、磁性板３０Ｃ内を磁性板３０Ｃの厚さ方向（図４のＺ方向）に直線的に貫き易い。なお、厳密には、磁性板３０Ｃの内部でも磁界の向き（ベクトル）は若干変化するが、磁性板３０Ｃの中心近辺では特に、磁界の向きが変化し難い。したがって、実質的には、磁界は、磁性板３０Ｃを厚さ方向に直線的に貫いていると見做すことができる。図４に示すように、歯車５の回転に応じて、磁界の向きが変化しそうになっても、磁性板３０Ｃの内部では、磁性板３０Ｃにより見かけ上、Ｚ方向に矯正されるようにみえる。

このため、センサ部品２０の磁気検出素子２１および２２と、磁石１０との間に磁性板３０Ｃが挟まれている場合、磁性板３０Ｃが有する磁界の向きの矯正効果により、歯車５が回転しても、磁気検出素子２１および２２を貫く磁界の向きは、大きくは変化しない。

また、磁性板３０Ｃと、磁気検出素子２１および２２との離間距離が大きくなると、磁性板３０Ｃにより集められた磁界が周囲に分散し易くなり、結果的に磁気検出素子２１および２２を貫く磁界の磁束密度が低下してしまう。したがって、検出精度の要求レベルによっては、エアギャップＧ１（図１参照）を小さくしなければならない場合がある。

本実施の形態の回転速センサＲＳＳ１の場合、磁気検出素子２１および２２の近傍において、磁性板３０による磁界の向きの矯正の程度を低減させることにより、磁気検出素子２１および２２を貫く磁界の磁束密度を大きくできる。詳しくは、図３に示すように、磁性板３０は、単純な板状の部材ではなく、開口部３０Ｈを備える。開口部３０Ｈは、センサ部品２０、磁性板３０、および磁石１０の配列方向であるＺ方向（第１方向）に視た場合において（第１方向視）、磁気検出素子２１の中心と磁気検出素子２２の中心とを結んだ線分（図６に二点鎖線で示す仮想線である線分２５）の中心（図６に示す中心２５ｃ）と重なる位置に形成される。これにより、開口部３０Ｈ内では、磁界の向きが矯正され難くなるので、歯車５の回転に対応して、Ｚ方向と交差するＸ方向の磁界の成分が増大する。磁気検出素子２１および２２の近傍で、Ｘ方向の磁界の成分が増大すれば、磁気検出素子２１および２２を貫く磁界の磁束密度を増大させることができる。なお、ここで重なる位置とは、Ｚ方向（第１方向）にＸ－Ｙ平面を視た平面視（第１方向視）において、開口部３０Ｈの形成された領域内に中心２５ｃが位置していることを意味する。

図３に二点鎖線で示す磁束線は、イメージであるが、複数の磁束線のうちの一部は、磁性板３０の内側の側面から開口部３０Ｈに向かって延びている。この場合、開口部３０Ｈと磁気検出素子２１および２２との位置関係を調整することにより、磁気検出素子２１および２２の近傍の磁束密度を大きくすることができる。その結果、エアギャップＧ１（図１参照）を小さくしなくても、検出精度を向上させることができる。言い換えれば、必要な検出精度を確保した状態で、エアギャップＧ１を大きくできる。

以下、開口部の形状や開口部３０Ｈと磁気検出素子２１および２２との好ましい位置関係について順に説明する。

まず、図５を用いて本実施の形態のセンサ部品２０について説明する。図５は、Ｘ方向とＹ方向とを含むＸ－Ｙ平面を視た平面視（第１方向視）において、二つの磁気検出素子２１および２２の位置を示している。磁気検出素子２１および２２は、Ｘ方向において、互いに離間して隣り合うように配列されている。磁気検出素子２１および２２の中心間距離Ｐ１は、１．６９ｍｍである。

また、磁気検出素子２１および２２は、封止体２３に封止されている。磁気検出素子２１および２２は、封止体２３の内部において、リード線２４と電気的に接続されている。複数のリード線２４のそれぞれは、一部分が封止体２３の内部に封止され、他の部分は封止体２３の外部に延びている。磁気検出素子２１および２２が検出した磁界に応じた信号は、リード線２４を介してセンサ部品２０の外部に出力される。

また、磁気検出素子２１および２２は、Ｘ－Ｙ平面を視た平面視において、封止体２３の中心２３ｃに対してＹ方向にずれた位置に配置されている。詳しくは、平面視において、封止体２３は、辺２３ｓ１と、Ｙ方向において辺２３ｓ１の反対側にある辺２３ｓ２と、を有する。磁気検出素子２１および２２は、Ｘ－Ｙ平面を視た平面視において、辺２３ｓ２よりも辺２３ｓ１に近い位置に配置されている。このため、磁気検出素子２１の中心と磁気検出素子２２の中心とを結んだ線分（図５に二点鎖線で示す仮想線）２５の中心２５ｃは、封止体２３の中心２３ｃと重ならない。

図６では、磁気検出素子２１および２２と、開口部３０Ｈとの平面的な位置関係を示すため、磁気検出素子２１および２２の輪郭を点線で示している。図６に示すように、磁性板３０は、Ｘ－Ｙ平面を視た平面視（第１方向視）において、四角形の外縁形状を備える。また、平面視において、磁性板３０の中央には開口部３０Ｈが形成されている。開口部３０Ｈは、磁気検出素子２１の中心と磁気検出素子２２の中心とを結んだ線分（図５に二点鎖線で示す仮想線）２５の中心２５ｃと重なる位置に配置されている。

本実施の形態では、開口部３０Ｈの開口端の形状は、円形である。開口端の開口径Ｒ１は、磁気検出素子２１および２２の中心間距離Ｐ１（図５参照）より大きい。例えば、開口径Ｒ１は、２ｍｍである。

また、本実施の形態では、磁性板３０の開口部３０Ｈは、磁気検出素子２１および２２の両方と重なる位置に形成されている。エアギャップＧ１（図１参照）を大きくするためには、開口部３０Ｈが、磁気検出素子２１および２２の少なくとも一方と重なっていることが好ましい。また、開口部３０Ｈが、磁気検出素子２１および２２の両方と重なっていることが特に好ましい。

上記したように、磁気検出素子２１および２２は、平面視において、封止体２３の中心２３ｃに対してＹ方向にずれた位置に配置されている。磁性板３０は、平面視において、センサ部品２０の封止体２３と重なる位置に配置されている。開口部３０Ｈは、平面視において、磁性板３０の中央に形成されている。本実施の形態では、封止体２３の中心２３ｃは、開口部３０Ｈの中心３０Ｈｃと重なる。このため、磁気検出素子２１の中心と磁気検出素子２２の中心とを結んだ線分２５の中心２５ｃは、開口部３０Ｈの中心３０Ｈｃと重ならない。ただし、実験結果から、エアギャップＧ１を大きくするためには、開口部３０Ｈは、線分２５の中心２５ｃと重なる位置に配置されていることが好ましい。

また、図７は、図６に示す磁性板に対する変形例を示す平面図である。図７に示す磁性板３１は、開口部３１Ｈの開口形状が図６に示す磁性板３０の開口部３０Ｈの開口形状と相違する。開口部３１Ｈは、一対の平行な直線部と一対の円弧部とからなる形状を有している。図７に示す磁性板３１の開口部３１Ｈの開口端は、Ｘ方向に沿った開口径Ｒ２と、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿った開口径Ｒ３と、を備える。図７に示す例では、開口径Ｒ２は３ｍｍ、開口径Ｒ３は２ｍｍである。したがって、開口径Ｒ３は、開口径Ｒ２より小さく、かつ、磁気検出素子２１および２２の中心間距離Ｐ１（図５参照）より大きい。

次に、図９に示す実験では、磁性板に形成された開口部の有無、および開口部の大きさが、エアギャップＧ１（図１参照）の最大値に及ぼす影響を調査した。図９では、各実施例におけるエアギャップの最大値の計測結果を縦軸とする棒グラフで示している。本願では、エアギャップを大きくすることが目的の一つなので、エアギャップの最大値が大きい方が好ましい結果である。

図９では、比較例Ｅ０と実施例Ｅ１～Ｅ３の計測結果を示している。比較例Ｅ０は、図４に示す回転速センサＲＳＳ２が備える磁性板３０Ｃのように、開口部が形成されていない磁性板を用いた計測結果である。また、実施例Ｅ１は、図８に示す開口部３０Ｈの開口径Ｒ１が１．５ｍｍである場合の計測結果である。実施例Ｅ２は、図６に示す開口部３０Ｈの開口径Ｒ１が２ｍｍである場合の計測結果である。実施例Ｅ３は、図７に示す開口部３１Ｈの開口径Ｒ２が３ｍｍ、開口径Ｒ３が２ｍｍである場合の計測結果である。

実施例Ｅ１～Ｅ３では、図６に示す開口部３０Ｈの中心３０Ｈｃ（または図７に示す開口部３１Ｈの中心３１Ｈｃ）が封止体２３の中心２３ｃ（図５参照）と重なる位置に配置した。

図９に示す比較例Ｅ０と、実施例Ｅ１～Ｅ３の各実施例とを比較すると、磁性板３０または３１に開口部３０Ｈまたは３１Ｈを設けることにより、最大のエアギャップの距離が大きくなっていることが判る。図３に示す磁気検出素子２１および２２の近傍に開口部３０Ｈ（あるいは図７に示す３１Ｈ）が設けられている場合、磁気検出素子２１および２２を貫く磁界の磁束密度が増加している。

また、実施例Ｅ１と実施例Ｅ２とを比較すると、実施例Ｅ１のエアギャップが２．２ｍｍであるのに対し、実施例Ｅ２のエアギャップは、３．５ｍｍである。実施例Ｅ１の場合、図８に示すように、開口径Ｒ１が１．５ｍｍであるため、開口部３０Ｈが磁気検出素子２１および２２と重ならない。また、図７に示す磁性板３１を用いた実施例Ｅ３の場合、エアギャップは、２．４５ｍｍであり、実施例Ｅ１と比較してエアギャップが大きい。この結果から、開口部３０Ｈが磁気検出素子２１および２２と重なっていることが好ましい。

また、実施例Ｅ２と実施例Ｅ３とを比較すると、エアギャップの最大値は、実施例Ｅ２の方が実施例Ｅ３より１．４倍以上大きい。実施例Ｅ３の場合、開口部３１Ｈの大きさが大きいことにより、磁気検出素子２１および２２の周辺に磁束線を集中させることが難しくなったためと考えられる。この結果から、図６に示すように、開口部３０Ｈの開口端が磁気検出素子２１および２２と重なっている程度の大きさの開口部３０Ｈが特に好ましい。

次に、図１０に示す実験では、図６に示す磁性板３０の位置をＹ方向に沿ってずらすことにより、開口部３０Ｈと、磁気検出素子２１および２２との平面的な位置関係が、エアギャップの最大値に及ぼす影響を調査した。図１０では、図９と同様に、各実施例におけるエアギャップの最大値の計測結果を縦軸とする棒グラフで示している。

図１０では、実施例Ｅ２および実施例Ｅ４の計測結果を示している。実施例Ｅ４は、図１１に示すように、開口部３０Ｈの中心３０Ｈｃと線分２５の中心２５ｃとがほぼ重なる位置までＹ方向に磁性板３０をずらした状態での計測結果である。詳しくは、図６に示す磁性板３０をＹ方向に０．６ｍｍずらしている。この時、磁石１０およびセンサ部品２０は、移動されていない。開口部３０Ｈの開口径Ｒ１は、図６と同様に２ｍｍである。

図１１に示すレイアウトは、磁気検出素子２１および２２のそれぞれが、開口部３０Ｈの中心３０Ｈｃを通る仮想線３０ＶＬと重なる点で図６に示すレイアウトと相違する。図１０に示す実施例Ｅ４のエアギャップの最大値は、３．８５ｍｍであり、実施例Ｅ２のエアギャップの最大値よりさらに大きい。

ただし、実施例Ｅ２におけるエアギャップの最大値は、実施例Ｅ４におけるエアギャップの最大値より小さいが、図９に示す実施例Ｅ１や実施例Ｅ３におけるエアギャップの最大値よりは大きい。このことから、図４に示す磁性板３０Ｃを用いた比較例Ｅ０と比較すると、図６に示すように、開口部３０Ｈが、磁気検出素子２１および２２と重なる範囲内でのずれ量であれば、エアギャップを大きくする効果が得られる。

なお、本実施の形態では、磁性板３０に形成された開口部３０Ｈ（または３１Ｈ）は、磁性板３０の上面３０ｔおよび下面３０ｂの一方から他方まで貫通する貫通孔であるが、貫通しない開口部とすることもできる。すなわち、図１２に示す変形例では、磁性板３２が有する開口部３２Ｈは、磁性板３２の上面３２ｔ側に形成され、下面３２ｂ側まで貫通していない。この場合でも、図４に示す例と比較すれば、エアギャップを大きくする効果は得られる。ただし、エアギャップを最大化する観点からは、図２に示す開口部３０Ｈのように、磁性板３０の上面３０ｔおよび下面３０ｂの一方から他方まで貫通することが好ましい。

本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上記した複数の変形例のうちのいくつかを組み合わせて適用してもよい。

２ センサヘッド
２Ｃ ケーブル保持部
２Ｆ フランジ部
２ｈ 貫通孔
２Ｓ センサ保持部
３ ケーブル
４ コネクタ
５ 歯車
５ｒ 回転軸
５Ｔ 歯
１０ 磁石
１０ｎ，１０ｓ 磁極部
２０ センサ部品
２０ｂ，３０ｂ，３２ｂ 下面
２０ｔ，３０ｔ，３２ｔ 上面
２１ 磁気検出素子（第１磁気検出素子）
２２ 磁気検出素子（第２磁気検出素子）
２３ 封止体
２３ｃ，２５ｃ，３０Ｈｃ 中心
２３ｓ１，２３ｓ２ 辺
２４ リード線
２５ 線分
３０，３０Ｃ，３１，３２ 磁性板
３０Ｈ，３１Ｈ，３２Ｈ 開口部
３０ＶＬ 仮想線
Ｅ０ 比較例
Ｅ１－Ｅ４ 実施例
Ｇ１ エアギャップ
Ｐ１，Ｐ２ 中心間距離
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３ 開口径
ＲＳＳ１，ＲＳＳ２ 回転速センサ

Claims (8)

1. 第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、および前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
   前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、
   前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
   を有し、
   前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第１方向に形成された開口部を備え、
   前記開口部は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子または前記第２磁気検出素子と重なる、回転速センサ。
2. 請求項１に記載の回転速センサにおいて、
   前記開口部は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子の中心と前記第２磁気検出素子の中心とを結んだ線分の中心と重なる位置に形成されている、回転速センサ。
3. 第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、および前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
   前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、
   前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
   を有し、
   前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第１方向に形成された開口部を備え、
   前記開口部は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の両方と重なる、回転速センサ。
4. 請求項３に記載の回転速センサにおいて、
   前記開口部の開口端は、前記第１方向視において、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の両方と重なる、回転速センサ。
5. 第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、および前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
   前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、
   前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
   を有し、
   前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第１方向に形成された開口部を備え、
   前記開口部の開口端の形状は、円形であり、
   前記開口部の開口端の開口径は、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の中心間距離より大きい、回転速センサ。
6. 第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、および前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
   前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、
   前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
   を有し、
   前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第１方向に形成された開口部を備え、
   前記第１磁気検出素子と前記第２磁気検出素子とは、前記第１方向に直交する第２方向に沿って配列され、
   前記開口部の開口端は、前記第２方向に沿った第１開口径と、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に沿った第２開口径と、を備え、
   前記第２開口径は、前記第１開口径より小さく、かつ、前記第１磁気検出素子および前記第２磁気検出素子の中心間距離より大きい、回転速センサ。
7. 請求項１～６の何れか１項に記載の回転速センサにおいて、
   前記第１磁気検出素子の中心と前記第２磁気検出素子の中心とを結んだ仮想線は、前記第１方向視において、前記開口部の中心と重なる、回転速センサ。
8. 第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、および前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
   前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、
   前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
   を有し、
   前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第１方向に形成された開口部を備え、
   前記開口部は、前記磁性板を前記第１方向に貫通する貫通孔である、回転速センサ。

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