JP7259663B2 - 回転速センサ - Google Patents

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Description

本発明は、磁気検出素子を利用した回転速センサに関する。
回転速センサは、例えば、車輪の回転速度を検出する目的で車両に搭載される。かかる目的で車両に搭載される回転速センサは、一般的に「車輪速センサ」と呼ばれる。車輪速センサとしての回転速センサは、車輪のロックを防止するアンチロックブレーキシステム(ABSシステム)や、車輪のスリップを防止するトラクションコントロールシステム等の構成要素の1つとして車両に搭載される。特許文献1(特開2017-96828号公報)には、車輪と共に回転する歯車の回転による磁界の変動を検出する車輪速センサが記載されている。
特開2017-96828号公報
磁気検出素子を利用した回転速センサの場合、被計測物である歯車やパルサーリングなどが回転することによる磁界を検出し、この磁界の大きさに応じた電気信号を出力する。磁気検出素子を利用した回転速センサの場合、被計測物と回転速センサとの離間距離(エアギャップと呼ぶ)を小さくすることにより、回転速センサの磁気検出素子に検出される磁界が大きくなる。この結果、回転速センサの計測精度を向上させることができる。
しかし、回転速センサの取り付け作業の容易性、回転センサの設計の自由度等を考慮すると、エアギャップは大きい方が好ましい。そこで、本発明は、計測精度を維持しつつ、エアギャップを大きくすることができる回転速センサを提供することを目的とする。
一実施の形態である回転速センサは、第1面、前記第1面の反対側の第2面、前記第1面と前記第2面との間に配置される第1磁気検出素子、および前記第1面と前記第2面との間に前記第1磁気検出素子と離間して配置される第2磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、前記センサ部品の前記第2面側に配置される磁石と、前記センサ部品の前記第2面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、を有する。前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第1方向に形成された開口部を備える。
例えば、前記開口部は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子の中心と前記第2磁気検出素子の中心とを結んだ線分の中心と重なる位置に形成される。
例えば、前記開口部は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子または前記第2磁気検出素子と重なる。
例えば、前記開口部は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の両方と重なる。
例えば、前記開口部の開口端は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の両方と重なる。
例えば、前記磁性板の前記開口部の開口端の形状は円形であり、前記開口部の開口端の開口径は、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の中心間距離より大きい。
例えば、前記第1磁気検出素子と前記第2磁気検出素子とは、前記第1方向に直交する第2方向に沿って配列される。前記磁性板の前記開口部の開口端は、前記第2方向に沿った第1開口径と、前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向に沿った第2開口径と、を備える。前記第2開口径は、前記第1開口径より小さく、かつ、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の中心間距離より大きい。
例えば、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の中心とを結んだ仮想線は、前記第1方向視において、前記開口部の中心と重なる。
例えば、前記開口部は、前記第3面および前記第4面の一方から他方まで貫通する貫通孔である。
本発明の代表的な実施の形態によれば、回転速センサと被計測物とのエアギャップを大きくすることができる。
一実施の形態である回転速センサの構成例を示す説明図である。 図1に示す歯車の回転軸に直交する面に沿って切断したセンサ保持部内部の要部断面図である。 図2に示すセンサ部品周辺に形成される磁束線を模式的に示す要部拡大断面図である。 図3に示す回転速センサに対する検討例を示す要部拡大断面図である。 図1に示すY方向と、図2に示すX方向とを含むX-Y平面におけるセンサ部品内の磁気検出素子の位置を示す拡大透視平面図である。 図3に示す磁性板のX-Y平面における平面図である。 図6に示す磁性板に対する変形例を示す平面図である。 図6に示す磁性板に対する別の変形例を示す平面図である。 磁性板に形成された開口部の有無、および開口部の大きさが、エアギャップの最大値に及ぼす影響を調査した結果を示す説明図である。 開口部と磁気検出素子の平面的な位置関係が、エアギャップの最大値に及ぼす影響を調査した結果を示す説明図である。 図6に示す磁性板をY方向に沿ってずらした状態を示す平面図である。 図2に示す磁性板に対する変形例を示す要部断面図である。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
<全体構造>
図1に示されるように、本実施の形態に係る回転速センサRSS1は、センサヘッド2,ケーブル3及びコネクタ4を有する。センサヘッド2は、不図示の車輪と一緒に回転する歯車5の近傍に配置される。センサヘッド2は、歯車5との位置関係が所定の位置関係となるように、車体(ハブ,ナックル,サスペンション等)に固定される。本実施の形態では、センサヘッド2は、センサヘッド2のセンサ保持部2Sと歯車5の外周(後述する図2に示す複数の歯5Tが配置される部分)とが互いに対向するように固定されている。歯車5は、磁性体から成り、図示しない車輪の回転に応じて、回転軸5rを中心に回転する。センサヘッド2内には磁石10が内蔵されている。歯車5が回転すると、センサヘッド2内の磁石10から歯車5に向かう磁界の向き(ベクトル)や分布が変化する。
センサヘッド2には、磁界を検出し、その磁界の大きさに応じた電気信号を出力する磁気センサ用ICであるセンサ部品20が内蔵されている。以下で説明する「エアギャップG1」とは、回転速センサRSS1と歯車5との最短距離として定義される。本実施の形態の場合、センサヘッド2に内蔵されるセンサ部品20と歯車5との間には、センサ保持部2Sの筐体の一部分が介在するので、エアギャップG1は、センサ保持部2Sの筐体と、歯車5との最短距離として定義される。また、センサヘッド2とコネクタ4とは、ケーブル3を介して接続されている。センサヘッド2に内蔵されているセンサ部品20から出力された電気信号は、ケーブル3を介してコネクタ4に伝送され、コネクタ4の接続先に入力される。コネクタ4は、例えば、ABSシステムの制御部や制御装置、ABSシステムを含む各種システムを統括的に制御する制御部や制御装置などに接続される。
図1に示されるように、センサヘッド2は、フランジ部2Fと、フランジ部2Fの一側に設けられたセンサ保持部2Sと、フランジ部2Fの他側に設けられたケーブル保持部2Cと、を含んでいる。これらフランジ部2F、センサ保持部2Sおよびケーブル保持部2Cは、樹脂によって一体成形されている。フランジ部2F、センサ保持部2Sおよびケーブル保持部2Cのそれぞれは、射出成形された樹脂成形体の一部である。
フランジ部2Fは、フランジ部2Fのセンサ保持部2S側からケーブル保持部2C側まで貫通する貫通孔2hを備える。貫通孔2hは、センサヘッド2を固定する際に、ボルトを挿入するボルト穴である。
<センサ部品の周辺構造>
次に、図2~図4を用いて図1に示すセンサ部品20の周辺構造について説明する。図2~図4に示す磁石10、センサ部品20、および磁性板30は、センサヘッド2(図1参照)のセンサ保持部2S内に固定されているが、図2~図4では、樹脂から成るセンサヘッド2の筐体の図示を省略している。図3および図4では、センサ部品20周辺に形成される磁束線のイメージを二点鎖線で示している。また、図3および図4は断面図であるが、磁界の向きを見やすくするため各部材のハッチングは省略している。
本実施の形態の回転速センサRSS1の場合、センサ保持部2Sの内部には、歯車5に近い側から順に、センサ部品20、磁性板30、磁石10が配置されている。
センサ部品20は、歯車5と対向する上面(第1面)20t、上面20tの反対側の下面(第2面)20b、上面20tと下面20bとの間に配置される磁気検出素子(第1磁気検出素子)21、および上面20tと下面20bとの間に磁気検出素子21と離間して配置される磁気検出素子(第2磁気検出素子)22を備える。磁石10は、N極に着磁した磁極部10nと、S極に着磁した磁極部10sとを備える。本実施の形態では、磁極部10nは、センサ部品20の下面20bと対向し、磁極部10sは、センサ部品20の下面20bと対向しない。
磁気検出素子21および22には、ホール効果を利用して磁束密度を計測するホール素子や、磁気抵抗効果を利用して磁界(磁束や磁束密度)の大きさを計測する磁気抵抗効果素子(MR(Magneto Resistive effect)素子)を用いることができる。本実施形態における磁気検出素子21および22のそれぞれは、巨大磁気抵抗効果素子(GMR(Giant Magneto Resistive effect)素子)である。磁気検出素子21および22は、Z方向(第1方向)およびY方向(図1参照)と直交するX方向(第2方向)に沿って配列される。磁気検出素子21および22は、互いに離間し、その中心間距離P1は、歯車5が備える複数の歯5Tのうち、互いに隣り合う二つの歯5Tの先端の中心間距離P2より小さい。
本実施の形態のように、磁石10と歯車5との間にセンサ部品20が配置される回転速センサの場合、センサ部品20の背面側(下面20b側)から磁力が印加される。このような磁力の印加方式をバックバイアス方式と呼ぶ。回転速センサの他の例として、回転体自身に磁石を設ける方式もある。例えば、マグネットエンコーダの外周にN極とS極とが交互に配列され、そのマグネットエンコーダと対向する位置にセンサ部品が配置される。この場合、車輪の回転に伴ってマグネットエンコーダが回転すると、マグネットエンコーダが備える磁極の位置が変化するので、センサ部品の周辺の磁界が変動する。
磁気検出素子21および22を備えるセンサ部品20は、水平方向(X方向とY方向(図1参照)とを含むX-Y平面に沿った方向)の磁界を検出する。磁気検出素子21および22は、検出した磁界の大きさに応じた電気信号を出力する。このため、磁気検出素子21および22の周囲の磁界が変化すれば、磁気検出素子21および22から出力される信号の値が変化する。磁気検出素子21および22から出力された信号は、ケーブル3およびコネクタ4を介して、例えば、ABSシステムの制御部や制御装置、ABSシステムを含む各種システムを統括的に制御する制御部や制御装置などに伝送される。
本実施の形態のバックバイアス方式の場合、磁石10から歯車5に向かって延びる磁束線が、磁石10と歯車5との間に配置された磁気検出素子21および22を貫く程度が変化することにより回転体の速度や回転方向を検出する。この場合、センサ部品20による磁気の検出精度を向上させようとすれば、エアギャップG1(図1参照)は小さくなる傾向がある。エアギャップG1、言い換えれば、歯車5とセンサ保持部2Sとのクリアランスが小さくなると、歯車5の近傍にセンサヘッド2を固定する必要が生じる。この場合、センサヘッド2自身、あるいはセンサヘッド2の近くに固定される部品を取り付ける際の作業が煩雑になる。また、センサ部品20の設計の自由度を考慮すると、エアギャップG1は大きい方が好ましい。エアギャップG1は、寸法のばらつき、振動による振れ幅等を考慮して必要な値が設定される。
磁石10のようにN極とS極とを備える一つの磁石の場合、N極からS極に向かって磁石10の周囲に複数の磁束線が形成される。図2に示すように、回転速センサRSS1の場合、磁石10と歯車5との間、詳しくは、磁石10とセンサ部品20との間に、磁性体材料から成る磁性板30が配置される。磁性板30は、センサ部品20の下面20bと対向する上面(第3面)30tと、上面30tの反対側に位置し、磁石10と対向する下面(第4面)30bと、を有する。
磁性板30を構成する磁性体材料としては、金属材料が例示できる。本実施の形態の場合、磁性板30は、ステンレス鋼(SUS430)から成る。永久磁石の近傍に磁性体が配置されている場合、永久磁石のN極から延びる磁束線は、磁性体の方向に向かって延び、磁性体を貫く。したがって、図2に示す構造の場合、センサ部品20と磁石10との間に磁性板30を配置することで、磁石10の磁極部10nからセンサ部品20に向かう磁界の磁束密度を増大させることができる。
ここで、図4に検討例である回転速センサRSS2を示す。回転速センサRSS2が備える磁性板30Cは、板状の部材である。この磁性板30Cが磁石10とセンサ部品20との間に配置されている場合、磁性板30Cを貫く磁界は、磁性板30C内を磁性板30Cの厚さ方向(図4のZ方向)に直線的に貫き易い。なお、厳密には、磁性板30Cの内部でも磁界の向き(ベクトル)は若干変化するが、磁性板30Cの中心近辺では特に、磁界の向きが変化し難い。したがって、実質的には、磁界は、磁性板30Cを厚さ方向に直線的に貫いていると見做すことができる。図4に示すように、歯車5の回転に応じて、磁界の向きが変化しそうになっても、磁性板30Cの内部では、磁性板30Cにより見かけ上、Z方向に矯正されるようにみえる。
このため、センサ部品20の磁気検出素子21および22と、磁石10との間に磁性板30Cが挟まれている場合、磁性板30Cが有する磁界の向きの矯正効果により、歯車5が回転しても、磁気検出素子21および22を貫く磁界の向きは、大きくは変化しない。
また、磁性板30Cと、磁気検出素子21および22との離間距離が大きくなると、磁性板30Cにより集められた磁界が周囲に分散し易くなり、結果的に磁気検出素子21および22を貫く磁界の磁束密度が低下してしまう。したがって、検出精度の要求レベルによっては、エアギャップG1(図1参照)を小さくしなければならない場合がある。
本実施の形態の回転速センサRSS1の場合、磁気検出素子21および22の近傍において、磁性板30による磁界の向きの矯正の程度を低減させることにより、磁気検出素子21および22を貫く磁界の磁束密度を大きくできる。詳しくは、図3に示すように、磁性板30は、単純な板状の部材ではなく、開口部30Hを備える。開口部30Hは、センサ部品20、磁性板30、および磁石10の配列方向であるZ方向(第1方向)に視た場合において(第1方向視)、磁気検出素子21の中心と磁気検出素子22の中心とを結んだ線分(図6に二点鎖線で示す仮想線である線分25)の中心(図6に示す中心25c)と重なる位置に形成される。これにより、開口部30H内では、磁界の向きが矯正され難くなるので、歯車5の回転に対応して、Z方向と交差するX方向の磁界の成分が増大する。磁気検出素子21および22の近傍で、X方向の磁界の成分が増大すれば、磁気検出素子21および22を貫く磁界の磁束密度を増大させることができる。なお、ここで重なる位置とは、Z方向(第1方向)にX-Y平面を視た平面視(第1方向視)において、開口部30Hの形成された領域内に中心25cが位置していることを意味する。
図3に二点鎖線で示す磁束線は、イメージであるが、複数の磁束線のうちの一部は、磁性板30の内側の側面から開口部30Hに向かって延びている。この場合、開口部30Hと磁気検出素子21および22との位置関係を調整することにより、磁気検出素子21および22の近傍の磁束密度を大きくすることができる。その結果、エアギャップG1(図1参照)を小さくしなくても、検出精度を向上させることができる。言い換えれば、必要な検出精度を確保した状態で、エアギャップG1を大きくできる。
以下、開口部の形状や開口部30Hと磁気検出素子21および22との好ましい位置関係について順に説明する。
まず、図5を用いて本実施の形態のセンサ部品20について説明する。図5は、X方向とY方向とを含むX-Y平面を視た平面視(第1方向視)において、二つの磁気検出素子21および22の位置を示している。磁気検出素子21および22は、X方向において、互いに離間して隣り合うように配列されている。磁気検出素子21および22の中心間距離P1は、1.69mmである。
また、磁気検出素子21および22は、封止体23に封止されている。磁気検出素子21および22は、封止体23の内部において、リード線24と電気的に接続されている。複数のリード線24のそれぞれは、一部分が封止体23の内部に封止され、他の部分は封止体23の外部に延びている。磁気検出素子21および22が検出した磁界に応じた信号は、リード線24を介してセンサ部品20の外部に出力される。
また、磁気検出素子21および22は、X-Y平面を視た平面視において、封止体23の中心23cに対してY方向にずれた位置に配置されている。詳しくは、平面視において、封止体23は、辺23s1と、Y方向において辺23s1の反対側にある辺23s2と、を有する。磁気検出素子21および22は、X-Y平面を視た平面視において、辺23s2よりも辺23s1に近い位置に配置されている。このため、磁気検出素子21の中心と磁気検出素子22の中心とを結んだ線分(図5に二点鎖線で示す仮想線)25の中心25cは、封止体23の中心23cと重ならない。
図6では、磁気検出素子21および22と、開口部30Hとの平面的な位置関係を示すため、磁気検出素子21および22の輪郭を点線で示している。図6に示すように、磁性板30は、X-Y平面を視た平面視(第1方向視)において、四角形の外縁形状を備える。また、平面視において、磁性板30の中央には開口部30Hが形成されている。開口部30Hは、磁気検出素子21の中心と磁気検出素子22の中心とを結んだ線分(図5に二点鎖線で示す仮想線)25の中心25cと重なる位置に配置されている。
本実施の形態では、開口部30Hの開口端の形状は、円形である。開口端の開口径R1は、磁気検出素子21および22の中心間距離P1(図5参照)より大きい。例えば、開口径R1は、2mmである。
また、本実施の形態では、磁性板30の開口部30Hは、磁気検出素子21および22の両方と重なる位置に形成されている。エアギャップG1(図1参照)を大きくするためには、開口部30Hが、磁気検出素子21および22の少なくとも一方と重なっていることが好ましい。また、開口部30Hが、磁気検出素子21および22の両方と重なっていることが特に好ましい。
上記したように、磁気検出素子21および22は、平面視において、封止体23の中心23cに対してY方向にずれた位置に配置されている。磁性板30は、平面視において、センサ部品20の封止体23と重なる位置に配置されている。開口部30Hは、平面視において、磁性板30の中央に形成されている。本実施の形態では、封止体23の中心23cは、開口部30Hの中心30Hcと重なる。このため、磁気検出素子21の中心と磁気検出素子22の中心とを結んだ線分25の中心25cは、開口部30Hの中心30Hcと重ならない。ただし、実験結果から、エアギャップG1を大きくするためには、開口部30Hは、線分25の中心25cと重なる位置に配置されていることが好ましい。
また、図7は、図6に示す磁性板に対する変形例を示す平面図である。図7に示す磁性板31は、開口部31Hの開口形状が図6に示す磁性板30の開口部30Hの開口形状と相違する。開口部31Hは、一対の平行な直線部と一対の円弧部とからなる形状を有している。図7に示す磁性板31の開口部31Hの開口端は、X方向に沿った開口径R2と、X方向に直交するY方向に沿った開口径R3と、を備える。図7に示す例では、開口径R2は3mm、開口径R3は2mmである。したがって、開口径R3は、開口径R2より小さく、かつ、磁気検出素子21および22の中心間距離P1(図5参照)より大きい。
次に、図9に示す実験では、磁性板に形成された開口部の有無、および開口部の大きさが、エアギャップG1(図1参照)の最大値に及ぼす影響を調査した。図9では、各実施例におけるエアギャップの最大値の計測結果を縦軸とする棒グラフで示している。本願では、エアギャップを大きくすることが目的の一つなので、エアギャップの最大値が大きい方が好ましい結果である。
図9では、比較例E0と実施例E1~E3の計測結果を示している。比較例E0は、図4に示す回転速センサRSS2が備える磁性板30Cのように、開口部が形成されていない磁性板を用いた計測結果である。また、実施例E1は、図8に示す開口部30Hの開口径R1が1.5mmである場合の計測結果である。実施例E2は、図6に示す開口部30Hの開口径R1が2mmである場合の計測結果である。実施例E3は、図7に示す開口部31Hの開口径R2が3mm、開口径R3が2mmである場合の計測結果である。
実施例E1~E3では、図6に示す開口部30Hの中心30Hc(または図7に示す開口部31Hの中心31Hc)が封止体23の中心23c(図5参照)と重なる位置に配置した。
図9に示す比較例E0と、実施例E1~E3の各実施例とを比較すると、磁性板30または31に開口部30Hまたは31Hを設けることにより、最大のエアギャップの距離が大きくなっていることが判る。図3に示す磁気検出素子21および22の近傍に開口部30H(あるいは図7に示す31H)が設けられている場合、磁気検出素子21および22を貫く磁界の磁束密度が増加している。
また、実施例E1と実施例E2とを比較すると、実施例E1のエアギャップが2.2mmであるのに対し、実施例E2のエアギャップは、3.5mmである。実施例E1の場合、図8に示すように、開口径R1が1.5mmであるため、開口部30Hが磁気検出素子21および22と重ならない。また、図7に示す磁性板31を用いた実施例E3の場合、エアギャップは、2.45mmであり、実施例E1と比較してエアギャップが大きい。この結果から、開口部30Hが磁気検出素子21および22と重なっていることが好ましい。
また、実施例E2と実施例E3とを比較すると、エアギャップの最大値は、実施例E2の方が実施例E3より1.4倍以上大きい。実施例E3の場合、開口部31Hの大きさが大きいことにより、磁気検出素子21および22の周辺に磁束線を集中させることが難しくなったためと考えられる。この結果から、図6に示すように、開口部30Hの開口端が磁気検出素子21および22と重なっている程度の大きさの開口部30Hが特に好ましい。
次に、図10に示す実験では、図6に示す磁性板30の位置をY方向に沿ってずらすことにより、開口部30Hと、磁気検出素子21および22との平面的な位置関係が、エアギャップの最大値に及ぼす影響を調査した。図10では、図9と同様に、各実施例におけるエアギャップの最大値の計測結果を縦軸とする棒グラフで示している。
図10では、実施例E2および実施例E4の計測結果を示している。実施例E4は、図11に示すように、開口部30Hの中心30Hcと線分25の中心25cとがほぼ重なる位置までY方向に磁性板30をずらした状態での計測結果である。詳しくは、図6に示す磁性板30をY方向に0.6mmずらしている。この時、磁石10およびセンサ部品20は、移動されていない。開口部30Hの開口径R1は、図6と同様に2mmである。
図11に示すレイアウトは、磁気検出素子21および22のそれぞれが、開口部30Hの中心30Hcを通る仮想線30VLと重なる点で図6に示すレイアウトと相違する。図10に示す実施例E4のエアギャップの最大値は、3.85mmであり、実施例E2のエアギャップの最大値よりさらに大きい。
ただし、実施例E2におけるエアギャップの最大値は、実施例E4におけるエアギャップの最大値より小さいが、図9に示す実施例E1や実施例E3におけるエアギャップの最大値よりは大きい。このことから、図4に示す磁性板30Cを用いた比較例E0と比較すると、図6に示すように、開口部30Hが、磁気検出素子21および22と重なる範囲内でのずれ量であれば、エアギャップを大きくする効果が得られる。
なお、本実施の形態では、磁性板30に形成された開口部30H(または31H)は、磁性板30の上面30tおよび下面30bの一方から他方まで貫通する貫通孔であるが、貫通しない開口部とすることもできる。すなわち、図12に示す変形例では、磁性板32が有する開口部32Hは、磁性板32の上面32t側に形成され、下面32b側まで貫通していない。この場合でも、図4に示す例と比較すれば、エアギャップを大きくする効果は得られる。ただし、エアギャップを最大化する観点からは、図2に示す開口部30Hのように、磁性板30の上面30tおよび下面30bの一方から他方まで貫通することが好ましい。
本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上記した複数の変形例のうちのいくつかを組み合わせて適用してもよい。
2 センサヘッド
2C ケーブル保持部
2F フランジ部
2h 貫通孔
2S センサ保持部
3 ケーブル
4 コネクタ
5 歯車
5r 回転軸
5T 歯
10 磁石
10n,10s 磁極部
20 センサ部品
20b,30b,32b 下面
20t,30t,32t 上面
21 磁気検出素子(第1磁気検出素子)
22 磁気検出素子(第2磁気検出素子)
23 封止体
23c,25c,30Hc 中心
23s1,23s2 辺
24 リード線
25 線分
30,30C,31,32 磁性板
30H,31H,32H 開口部
30VL 仮想線
E0 比較例
E1-E4 実施例
G1 エアギャップ
P1,P2 中心間距離
R1,R2,R3 開口径
RSS1,RSS2 回転速センサ

Claims (8)

  1. 第1面、前記第1面の反対側の第2面、前記第1面と前記第2面との間に配置される第1磁気検出素子、および前記第1面と前記第2面との間に前記第1磁気検出素子と離間して配置される第2磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
    前記センサ部品の前記第2面側に配置される磁石と、
    前記センサ部品の前記第2面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
    を有し、
    前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第1方向に形成された開口部を備え、
    前記開口部は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子または前記第2磁気検出素子と重なる、回転速センサ。
  2. 請求項1に記載の回転速センサにおいて、
    前記開口部は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子の中心と前記第2磁気検出素子の中心とを結んだ線分の中心と重なる位置に形成されている、回転速センサ。
  3. 第1面、前記第1面の反対側の第2面、前記第1面と前記第2面との間に配置される第1磁気検出素子、および前記第1面と前記第2面との間に前記第1磁気検出素子と離間して配置される第2磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
    前記センサ部品の前記第2面側に配置される磁石と、
    前記センサ部品の前記第2面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
    を有し、
    前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第1方向に形成された開口部を備え、
    前記開口部は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の両方と重なる、回転速センサ。
  4. 請求項に記載の回転速センサにおいて、
    前記開口部の開口端は、前記第1方向視において、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の両方と重なる、回転速センサ。
  5. 第1面、前記第1面の反対側の第2面、前記第1面と前記第2面との間に配置される第1磁気検出素子、および前記第1面と前記第2面との間に前記第1磁気検出素子と離間して配置される第2磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
    前記センサ部品の前記第2面側に配置される磁石と、
    前記センサ部品の前記第2面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
    を有し、
    前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第1方向に形成された開口部を備え、
    前記開口部の開口端の形状は、円形であり、
    前記開口部の開口端の開口径は、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の中心間距離より大きい、回転速センサ。
  6. 第1面、前記第1面の反対側の第2面、前記第1面と前記第2面との間に配置される第1磁気検出素子、および前記第1面と前記第2面との間に前記第1磁気検出素子と離間して配置される第2磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
    前記センサ部品の前記第2面側に配置される磁石と、
    前記センサ部品の前記第2面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
    を有し、
    前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第1方向に形成された開口部を備え、
    前記第1磁気検出素子と前記第2磁気検出素子とは、前記第1方向に直交する第2方向に沿って配列され、
    前記開口部の開口端は、前記第2方向に沿った第1開口径と、前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向に沿った第2開口径と、を備え、
    前記第2開口径は、前記第1開口径より小さく、かつ、前記第1磁気検出素子および前記第2磁気検出素子の中心間距離より大きい、回転速センサ。
  7. 請求項1~の何れか1項に記載の回転速センサにおいて、
    前記第1磁気検出素子の中心と前記第2磁気検出素子の中心とを結んだ仮想線は、前記第1方向視において、前記開口部の中心と重なる、回転速センサ。
  8. 第1面、前記第1面の反対側の第2面、前記第1面と前記第2面との間に配置される第1磁気検出素子、および前記第1面と前記第2面との間に前記第1磁気検出素子と離間して配置される第2磁気検出素子、を備えるセンサ部品と、
    前記センサ部品の前記第2面側に配置される磁石と、
    前記センサ部品の前記第2面と前記磁石との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板と、
    を有し、
    前記磁性板は、前記センサ部品、前記磁性板、および前記磁石の配列方向である第1方向に形成された開口部を備え、
    前記開口部は、前記磁性板を前記第1方向に貫通する貫通孔である、回転速センサ。
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