JP7257295B2 - ファイバレーザ発振器及びファイバレーザ発振器のメンテナンスシステム - Google Patents

Description

本発明は、ファイバレーザ発振器及びファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムに関する。

特許文献１に、筐体、並びに、筐体の内部に収容されたファイバレーザモジュール，ディストリビュータ，及びビームスイッチを備えたファイバレーザ発振器が記載されている。
ディストリビュータは、外部から供給された低露点のドライエアをファイバレーザモジュール内に供給する。
ビームスイッチは、ファイバレーザモジュールに繋がれたフィーディングファイバと外部のレーザ加工機に繋がれたプロセスファイバとがコネクタ接続又は融着接続された接続部分を、内部に収容し保持する光接続ボックスである。

特開２０１３－２３９６９６号公報

コネクタ接続においては、光ファイバの端面のコンタミネーションによって光ファイバが局所的に高温になり焼損する可能性がある。また、フィーディングファイバ及びプロセスファイバにおいては、それぞれの光ファイバ自体のコンタミネーションによる局所的な昇温が生じて焼損する、或いは予期せぬ理由によって断線する可能性がある。

このような不具合が生じた場合のメンテナンス作業は、通常、ファイバレーザ発振器が設置されている現場で行われる。具体的には、ファイバレーザ発振器の筐体を開け、光接続ボックスを取り出し、必要な部位のクリーニング或いは部材交換などをして、コネクタの再接続或いは光ファイバの再融着を行う。

一般に、光ファイバに関するメンテナンス作業は、塵埃が少なく融着に適する低湿度の環境下で行うことが望まれる。そのため、従来のファイバレーザ発振器のメンテナンス作業は、その設置場所で行われることから、塵埃の排除が容易ではなく湿度の制御が困難で、質の良い作業を行いにくいのが実情である。
すなわち、ファイバレーザ発振器は、メンテナンス作業を容易かつ良質に行えるような改善が望まれている。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、容易かつ良質なメンテナンス作業を行うことができるファイバレーザ発振器及びファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムを提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明は次の構成を有する。
１） 筐体と、
前記筐体の一面に着脱可能に取り付けられた蓋と、
前記筐体の内部に収容されたファイバレーザモジュール及び光接続ボックスと、
前記光接続ボックスが載置可能であって、前記蓋が外された前記一面から出入り可能な棚と、
外部から供給されたエアを、前記筐体の内部空間に噴出させる第１のエア供給路及び前記ファイバレーザモジュールに供給する第２のエア供給路と、
を備えたファイバレーザ発振器である。
２） 開閉弁及び先端に取り付けられた継手を有する第３のエア供給路を備えたことを特徴とする１）に記載のファイバレーザ発振器である。
３） １）に記載のファイバレーザ発振器と、
前記ファイバレーザ発振器に前記エアを供給するエア供給ユニットと、
前記筐体の前記蓋を外した前記一面の側に、前記筐体の内部空間を外部空間と区画するよう取り付け可能なテントユニットと、
を含んで構成されたファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムである。
４） ２）に記載のファイバレーザ発振器と、
前記ファイバレーザ発振器に前記エアとしてドライエアを供給するエア供給ユニットと、
前記筐体の前記蓋を外した前記一面の側に、前記筐体の内部空間を外部空間と区画するよう取り付け可能なテントユニットと、
を含んで構成され、
前記テントユニットは、第１の端部が前記第３のエア供給路の前記継手に接続可能で、前記第１の端部の反対端の第２の端部にエア吹き出しユニットを備えた第４のエア供給路を備えていることを特徴とするファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムである。
５） 前記テントユニットは、外部から内部へ手を挿通可能な挿入口を有し、前記エア吹き出しユニットは、前記挿入口に向け前記エアを吹き出すことを特徴とする４）に記載のファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムである。
６） 前記エアは外気よりも低露点のドライエアであることを特徴とする３）～５）のいずれか１つに記載のファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムである。

本発明によれば、容易かつ良質なメンテナンス作業を行うことができる、という効果が得られる。

図１は、本発明の実施の形態に係るファイバレーザ発振器の実施例であるファイバレーザ発振器９１を備えたレーザ加工装置９３の外観斜視図である。 図２は、ファイバレーザ発振器９１の図１に示されるＳ２－Ｓ２位置での断面図である。 図３は、ファイバレーザ発振器９１にテントユニット８１を取り付けたメンテナンス状態を示す断面図である。 図４は、ファイバレーザ発振器９１の外観斜視図である。 図５は、ファイバレーザ発振器９１の蓋１６を取り外した状態を示す外観斜視図である。 図６は、ファイバレーザ発振器９１の図５の状態において作業棚１８及び載置棚１９を引き出した状態を示す外観斜視図である。 図７は、テントユニット８１を示す斜視図である。

本発明の実施の形態に係るファイバレーザ発振器を、その実施例であるファイバレーザ発振器９１及びファイバレーザ発振器９１のメンテナンスシステムＳＴにより説明する。

本発明の実施の形態に係るファイバレーザ発振器及びファイバレーザ発振器のメンテナンスシステムを、それぞれの実施例であるファイバレーザ発振器９１及びメンテナンスシステムＳＴにより説明する。以下、ファイバレーザ発振器９１をＦＬ発振器９１とも称する。
メンテナンスシステムＳＴは、図３に示されるように、ファイバレーザ発振器９１とテントユニット８１とを含んで構成されている。テントユニット８１は、ファイバレーザ発振器９１に取り付けて使用される、

図１に示されるように、ＦＬ発振器９１は、レーザ加工装置９３に備えられている。
レーザ加工装置９３は、加工本体部９２と、ＦＬ発振器９１と、エア供給ユニット２０とを備え、ワークＷに対しレーザビームＬｓを照射してレーザ加工を行う装置である。

ＦＬ発振器９１は、レーザビームを生成してプロセスファイバＦＢ１に出力する。加工本体部９２は、ワークＷを支持するテーブル９２ｆと、テーブル９２ｆの上方を３次元的に移動する加工ヘッド９２ｈとを有する。
加工ヘッド９２ｈは、コリメータレンズ９２ａを有するコリメータユニット９２ｂ，ベンドミラー９２ｃ，集束レンズ９２ｄ，及びノズル９２ｅを有する。
コリメータユニット９２ｂには、プロセスファイバＦＢ１が接続され、ＦＬ発振器９１で生成されたレーザビームＬｓが供給される。
コリメータユニット９２ｂに供給されたレーザビームＬｓは、プロセスファイバＦＢ１の出口端面から発散するように射出し、コリメータレンズ９２ａによって平行光とされる。その後、ベンドミラー９２ｃで反射して集束レンズ９２ｄに入力され、集束レンズ９２ｄにより所定位置で焦点を結ぶ光束に加工されてノズル９２ｅからテーブル９２ｆに向け射出する。

ＦＬ発振器９１は箱状の筐体１を有する。筐体１の一面には、蓋１６が、人手で着脱可能なように取り付けられている。

エア供給ユニット２０は、コンプレッサ２１から供給された圧縮空気を、気体分離膜モジュールに通して圧縮空気中の水蒸気を分離し、外気よりも低露点のドライエアを生成する。エア供給ユニット２０は、生成したドライエアを、出力ポート２０１及び出力ポート２０２それぞれに接続されたエア供給路ＡＲ１及びエア供給路ＡＲ２へ出力する。
エア供給路ＡＲ１に出力されたドライエアは、ＦＬ発振器９１に供給され、ＦＬ発振器９１内を低湿度に維持する。
エア供給路ＡＲ２から出力されたドライエアは、レーザ加工装置９３の加工ヘッド９２ｈに供給され、光学部材の塵埃の付着防止或いは除去などに利用される。

次にＦＬ発振器９１の構造を図２～図６を参照して詳述する。
図２は、ＦＬ発振器９１の通常の使用状態における、図１のＳ２－Ｓ２位置での断面図である。図２には、説明の便宜上、上下前後の各方向を矢印で示してある。左方は紙面手前方であり右方は紙面奥方である。図３は、図２と同様の断面図であってＦＬ発振器９１のメンテナンス状態を示す図である。図４及び図６は、それぞれ図２及び図３の状態のＦＬ発振器９１を、左前斜め上方から見た斜視図である。図５は、図４に対し蓋１６を取り外した状態を示す斜視図である。

図２に示されるように、ＦＬ発振器９１は、前面が解放された直方体状の筐体１と、筐体１の前面に着脱自在に取り付けられた蓋１６とを有する。
図２及び図４に示されるように、蓋１６は、手で把持する一対のハンドル１６ａが取り付けられており、右縁部には、蓋１６を筐体１に取り付けた状態でプロセスファイバＦＢ１を通すための切り込み部１６ｂを有する。

図２に示されるように、筐体１の内部において、筐体１の底壁１１にはファイバレーザモジュール５，電源部６，制御部７，及びディストリビュータ３１が置かれている。
筐体１の後壁１２には、分岐器３２が取り付けられている。
筐体１は、内部に、上下２段の棚として上側の作業棚１８と下側の載置棚１９を有する。作業棚１８及び載置棚１９は、図５にも示される筐体１の左側壁１３と右側壁１４との間に、それぞれローラ１８ａ及びローラ１９ａによって水平移動可能に支持されている。
作業棚１８及び載置棚１９は、図２に示された収納位置と、図３に示されるように前方に引き出した引き出し位置との間を、人手によって移動可能とされている。

ディストリビュータ３１には、エア供給ユニット２０からエアの配管として既述のエア供給路ＡＲ１が接続されている。
ディストリビュータ３１とＦＬモジュール５及び分岐器３２との間は、エアの配管としてそれぞれエア供給路ＡＲ３及びエア供給路ＡＲ４が配設されている。
分岐器３２からは、エアの２つの配管としてエア供給路ＡＲ５及びエア供給路ＡＲ６が延設されている。以下、エア供給路ＡＲ５を第１のエア供給路、エア供給路ＡＲ３を第２のエア供給路、エア供給路ＡＲ６を第３のエア供給路とも称する。

エア供給路ＡＲ５には開閉弁３３が配設され先端にノズル３６が取り付けられている。ノズル３６の配置位置は、前後左右方向については、筐体１の後壁１２に近い左右中央であり、上下方向については、作業棚１８から載置棚１９までの間に概ね対応した位置とされる。
ノズル３６は、開閉弁３３が開状態のときに、ディストリビュータ３１から送られたドライエアを、上下左右の広範囲に噴出させる。

エア供給路ＡＲ６は、開閉弁３４が配設されると共に、筐体の天壁１５にホルダ３５によって支持されて、天壁１５に沿って筐体１の前端近傍まで延設されている。
エア供給路ＡＲ６の先端には継手３７が取り付けられている。図３に示されるように、継手３７に着脱可能な継手であるカプラ８４ａを装着することによってエア供給路の延長が可能である。

開閉弁３３，３４は、例えば電磁開閉弁が用いられ、不図示の電気配線により制御部７を介して作業者が外部から制御できるようになっている。開閉弁３３，３４は、手動で開閉する弁であってもよい。

ＦＬモジュール５の内部には、図示しない複数のファイバレーザモジュールユニットと各ファイバレーザモジュールユニットで生成されたレーザビームＬｓを１つに纏めてフィーディングファイバＦＢ２から出力させるコンバイナが収容されている。
載置棚１９は、光接続ボックス４が載置可能な大きさ及び強度を有する。図２に示されるように、載置棚１９には光接続ボックス４が置かれている。光接続ボックス４とＦＬモジュール５との間はフィーディングファイバＦＢ２で接続されている。
光接続ボックス４の内部において、フィーディングファイバＦＢ２とプロセスファイバＦＢ１とが例えばコネクタ接続され、その接続部分が支持されている。

この構成により、ＦＬモジュール５で生成されフィーディングファイバＦＢ２へ出力されたレーザビームＬｓは、光接続ボックス４においてプロセスファイバＦＢ１に接続されてレーザ加工装置９３の加工ヘッド９２ｈに供給される。
また、エア供給ユニット２０で生成されたドライエアは、エア供給路ＡＲ１を通してディストリビュータ３１に供給される。
ディストリビュータ３１は、供給されたドライエアをエア供給路ＡＲ３及びエア供給路ＡＲ４に出力する。

エア供給ユニット２０が動作中は、ＦＬモジュール５の内部にはエア供給路ＡＲ３からドライエアが供給される。分岐器３２にはエア供給路ＡＲ４からドライエアが供給される。

分岐器３２に供給されたドライエアは、エア供給路ＡＲ５及びエア供給路ＡＲ６へ分岐して出力される。エア供給路ＡＲ５の開閉弁３３が開けられると、ドライエアは、図２に矢印ＤＲａで示されるように、ノズル３６から筐体１の内部空間Ｖ１に噴出する。
ＦＬ発振器９１の動作時は、通常、開閉弁３３を開状態として、筐体１の内部空間Ｖ１をドライエアによって正圧で充填しておく。これにより、外部空間Ｖｇから内部空間Ｖ１への空気の流入は実質的になくなり、外部からの塵埃の進入が防止できる。

図２及び図４～６に示されるように、筐体１の外面に前縁部には、係止する一対の面ファスナの一方となる面ファスナ１７が取り付けられている。
図３に示されるように、エア供給路ＡＲ６の先端のコネクタには、ＦＬ発振器９１のメンテナンス作業時に筐体１に取り付けられるテントユニット８１のホース８４のカプラ８４ａが接続可能となっている。

次に、ＦＬ発振器９１のメンテナンス作業について説明する。
メンテナンス作業では、光接続ボックス４の内部に収容された光ファイバの融着接続部分の再融着、コネクタ接続部分の端面の清掃、などが行われる。
メンテナンス作業は、図３に示されるように、蓋１６を取り外した筐体１の前面側に、外部空間Ｖｇに対し筐体１の内部空間Ｖ１を簡易的に区画するテントユニット８１が取り付けられて行われる。

図７はテントユニット８１を示す斜視図である。図７に示される上下左右前後の各方向は、テントユニット８１を筐体１に取り付けた状態である図３に示される方向に対応している。

テントユニット８１は、枠体８２，シート８３，ホース８４，及びエア吹き出しユニット８５を有する。
枠体８２は、概ね直方体の各辺に対応するように組まれ、テントユニット８１の骨組みとして機能する。
シート８３は、枠体８２の後面を除く各面に張られた透明で薄い軟質樹脂のシート部材である。シート８３において、テントユニット８１の前面に張られた部分には、放射状の切込みが形成されて、通常は閉じ必要なときに手及び腕を挿通可能な挿入口８３ａが左右に離隔して一対設けられている。

ホース８４は、第４のエア供給路として機能する。ホース８４は、ディストリビュータ３１から供給されたドライエアを流すための部材である。ホース８４は、枠体８２の上部の部位に取り付けられたハンガ８４ｂによって概ね前後方向の延びるように吊り下げられている。
ホース８４の第１の端部である後端部には、カプラ８４ａが取り付けられている。カプラ８４ａは、筐体１のエア供給路ＡＲ６の先端に取り付けられた継手３７に対し挿抜可能である。ホース８４の後端部の反対端の第２の端部である前端は、エア吹き出しユニット８５に接続されている。

エア吹き出しユニット８５は、ブラケット８５ａによって枠体８２の前方端の上部に吊り下げられている。エア吹き出しユニット８５は、左右方向に延びる姿勢で配置された筒形状の本体部８５ｂと、本体部８５ｂの下側に左右方向に延びる細い幅で開口したスリット状の吹き出し口８５ｃとを有する。

枠体８２の後方側の部分は、筐体１の前縁部の外形にほぼ対応して形成され、筐体１の外側に嵌るようになっており、内面には面ファスナ１７に係止可能な面ファスナ８６が取り付けられている。
これにより、図３に示されるように、蓋１６を取り外した筐体１の前面側に、面ファスナ８６を面ファスナ１７に係止させてテントユニット８１を取り付けることができる。
面ファスナ１７に面ファスナ８６を係止させることで、筐体１の内部空間Ｖ１と、テントユニット８１の内部空間Ｖ８１とが簡易的に一体化し、外部空間Ｖｇに対して遮蔽された空間Ｖ１８１が形成される。
この状態で開閉弁３３を開け、ノズル３６からドライエアを噴出させることで、空間Ｖ１８１は、正圧のドライエアで充填される。

図３に示されるように、ホース８４のカプラ８４ａをエア供給路ＡＲ６の継手３７に装着して開閉弁３４を開けると、エア供給ユニット２０から供給されたドライエアが、エア吹き出しユニット８５の吹き出し口８５ｃから図３の破線矢印ＤＲｂのように気流として噴出する。このエア吹き出しユニット８５から噴出した気流は、前後に狭く左右に延びたライン状の範囲で下方に向く気流である。エア吹き出しユニット８５は、いわゆるエアカーテンユニットとして機能する。
これにより、挿入口８３ａから手を出し入れする際などにおける、挿入口８３ａから内部への塵埃の進入が防止される。

メンテナンス作業に際しては、作業棚１８及び載置棚１９を引き出し位置に移動させておくとよい。例えば、光接続ボックス４に収められた融着接続した接続部分を再融着する作業をする場合、図３に示されるように、作業者は、光接続ボックス４の蓋を開けた状態とし、作業棚１８にファイバスプライサ９４を置き、テントユニット８１の挿入口８３ａに対し外から内へ腕を挿通し、空間Ｖ１８１内で再融着作業を行う。
ＦＬ発振器９１は、作業棚１８を備えているので、作業に必要な小物９５を置くことができ、作業が容易になる。

既述のように、ノズル３６からドライエアが噴出しているので、再融着作業を含むメンテナンス作業は低湿度のドライエア内で行うことができる。また、筐体１及びテントユニット８１の内部空間は正圧となるので、外部から塵埃が進入する可能性は低く、塵埃の少ない環境でメンテナンス作業を行うことができる。
また、内部空間Ｖ８１の内部の前上方に配置したエア吹き出しユニット８５から、図３における破線矢印ＤＲｂのように下方に向けてドライエアを噴出するので、挿入口８３ａの隙間からの塵埃の進入が抑制できる。

テントユニット８１内に充填された高圧力のドライエアは、係止された面ファスナ１７及び面ファスナ８６との間の隙間、或いはシート８３の底部などに排気のために設けた不図示の排気口から排出させる。

以上詳述したように、ファイバレーザ発振器９１は、外部から供給されたドライエアを、筐体１の内部に噴出するエア供給路ＡＲ５及びノズル３６を有している。
また、ファイバレーザ発振器９１は、蓋を取り外して前面が解放された筐体１の前面側に取り付けて、外部空間Ｖｇから区分されると共に筐体１の内部空間Ｖ１を前方に拡張した空間Ｖ１８１を形成するテントユニット８１を取り付け可能となっている。
これにより、ファイバレーザ発振器９１は、テントユニット８１を取り付けてメンテナンス作業が可能である。作業者は、メンテナンス作業を、外部空間Ｖｇから区画され、かつ塵埃の進入が防止された塵埃が少ない空間Ｖ１８１内で容易に行うことができる。
空間Ｖ１８１は、エア供給ユニット２０で生成されたドライエアを正圧で充填できるので、メンテナンス作業において良質の融着を行うことができる。
ファイバレーザ発振器９１は、筐体１に対し出入り可能に移動する棚として、作業棚１８及び載置棚１９を有する。これにより、メンテナンス作業を、テントユニット８１の内部空間Ｖ８１で行うことができ、作業が容易となる。
すなわち、ファイバレーザ発振器９１及びファイバレーザ発振器９１のメンテナンスシステムＳＴは、作業者がメンテナンス作業を容易、かつ良質に行うことができる。

本発明の実施例は、上述した構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよい。

テントユニット８１は、筐体１に対し面ファスナで取り付けるものに限らない。例えば、フックで引っ掛ける、マグネットで挟み込む、などの他の方法で取り付けてもよい。
ノズル３６からのドライエアの噴出によって内部空間Ｖ１が正圧になるので、筐体１とテントユニット８１との間は完全に密閉されてなくてよい。
テントユニット８１のエア吹き出しユニット８５に照明装置を設け、作業の手元を照明できるようにしてもよい。

ＦＬ発振器９１は、エア供給路ＡＲ５及びＡＲ６のうち、少なくともエア供給路ＡＲ５を備えていればよい。エア供給路ＡＲ５のノズル３６から十分な流量のドライエアを空間１８１に噴出して空間１８１の正圧が十分確保及び維持できれば外部からの塵埃の進入を防ぐことができる。

エア供給路ＡＲ５の先端に取り付けられているノズル３６は、なくてもよい。ノズル３６がない場合、例えば、エア供給路ＡＲ５の先端形状が、ドライエアが筐体１の内部空間Ｖ１に拡散して噴出する形状にしてもよい。

エア供給ユニット２０から筐体１に供給されるエアは、ドライエアでなくてもよい。筐体１の内部空間Ｖ１を外部空間Ｖｇから区画して正圧に維持できれば、外部からの塵埃の進入は防止できる。
テントユニット８１のシート８３は、軟質の樹脂シートでなくてもよい。透明で薄い硬質の樹脂シートであってもよい。

１ 筐体
１１ 底壁
１２ 後壁
１３ 左側壁
１４ 右側壁
１５ 天壁
１６ 蓋
１６ａ ハンドル
１６ｂ 切り込み部
１７ 面ファスナ
１８ 作業棚
１８ａ ローラ
１９ 載置棚
１９ａ ローラ
２０ エア供給ユニット
２０１，２０２ 出力ポート
２１ コンプレッサ
３１ ディストリビュータ
３２ 分岐器
３３，３４ 開閉弁
３５ ホルダ
３６ ノズル
３７ 継手
４ 光接続ボックス
５ ファイバレーザモジュール（ＦＬモジュール）
６ 電源部
７ 制御部
８１ テントユニット
８２ 枠体
８３ シート
８３ａ 挿入口
８４ ホース
８４ａ カプラ
８４ｂ ハンガ
８５ エア吹き出しユニット
８５ａ ブラケット
８５ｂ 本体部
８５ｃ 吹き出し口
８６ 面ファスナ
９１ ファイバレーザ発振器（ＦＬ発振器）
９２ 加工本体部
９２ａ コリメータレンズ
９２ｂ コリメータユニット
９２ｃ ベンドミラー
９２ｄ 集束レンズ
９２ｅ ノズル
９２ｆ テーブル
９２ｈ 加工ヘッド
９３ レーザ加工装置
９４ ファイバスプライサ
９５ 小物
ＡＲ１，ＡＲ２，ＡＲ３，ＡＲ４，ＡＲ５，ＡＲ６ エア供給路
ＦＢ１ プロセスファイバ
ＦＢ２ フィーディングファイバ
Ｌｓ レーザビーム
ＳＴ メンテナンスシステム
Ｖｇ 外部空間
Ｖ１，Ｖ８１ 内部空間
Ｖ１８１ 空間
Ｗ ワーク

Claims (6)

1. 筐体と、
   前記筐体の一面に着脱可能に取り付けられた蓋と、
   前記筐体の内部に収容されたファイバレーザモジュール及び光接続ボックスと、
   前記光接続ボックスが載置可能であって、前記蓋が外された前記一面から出入り可能な棚と、
   外部から供給されたエアを、前記筐体の内部空間に噴出させる第１のエア供給路及び前記ファイバレーザモジュールに供給する第２のエア供給路と、
   を備えたファイバレーザ発振器。
2. 開閉弁及び先端に取り付けられた継手を有する第３のエア供給路を備えたことを特徴とする請求項１記載のファイバレーザ発振器。
3. 請求項１記載のファイバレーザ発振器と、
   前記ファイバレーザ発振器に前記エアを供給するエア供給ユニットと、
   前記筐体の前記蓋を外した前記一面の側に、前記筐体の内部空間を外部空間と区画するよう取り付け可能なテントユニットと、
   を含んで構成されたファイバレーザ発振器のメンテナンスシステム。
4. 請求項２記載のファイバレーザ発振器と、
   前記ファイバレーザ発振器に前記エアとしてドライエアを供給するエア供給ユニットと、
   前記筐体の前記蓋を外した前記一面の側に、前記筐体の内部空間を外部空間と区画するよう取り付け可能なテントユニットと、
   を含んで構成され、
   前記テントユニットは、第１の端部が前記第３のエア供給路の前記継手に接続可能で、前記第１の端部の反対端の第２の端部にエア吹き出しユニットを備えた第４のエア供給路を備えていることを特徴とするファイバレーザ発振器のメンテナンスシステム。
5. 前記テントユニットは、外部から内部へ手を挿通可能な挿入口を有し、前記エア吹き出しユニットは、前記挿入口に向け前記エアを吹き出すことを特徴とする請求項４記載のファイバレーザ発振器のメンテナンスシステム。
6. 前記エアは外気よりも低露点のドライエアであることを特徴とする請求項３～５のいずれか１項に記載のファイバレーザ発振器のメンテナンスシステム。

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