JP7243956B2 - 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電力変換回路 - Google Patents
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このため、本発明の半導体装置によれば、低電圧でのリーチスルーを抑制するとともにリカバリー時にソフトリカバリーとすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、逆方向サージ電力耐量の低下を抑制することやリカバリー時のノイズの発生を抑制することができる。
このため、本発明の半導体装置によれば、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して第2領域を薄くすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、順方向電圧(VF)の増大を抑制することやVF-Qrrトレードオフの悪化を抑制することができる。
1.半導体装置1の構成
まず、実施形態1に係る半導体装置1の構成について説明する。
実施形態に係る半導体装置1は、ダイオードである。
実施形態に係る半導体装置1は、図1に示すように、半導体基体10と、主面側構造20と、電極30とを備える。
実施形態においては、第1導電型はN型である。第1導電型の不純物としては、例えばリンを用いることができる。
第1領域12における不純物濃度は、例えば5×1013cm-3~1×1016cm-3の範囲内とすることができる。第1領域12においては、基本的に全域にわたって不純物濃度がほぼ均一である。なお、後述する第3領域22のような第2導電型の不純物が導入されている部分等、半導体装置の製造工程において後から形成された領域についてはこの限りではない。
第1領域12の厚さは、例えば75μm~120μmの範囲内とすることができる。
第2領域14の電極30側端部における不純物濃度は、例えば1×1019cm-3~1×1021cm-3の範囲内とすることができる。
第2領域14の厚さは、例えば、75μm~175μmの範囲内とすることができる。
また、半導体装置1においては、第1領域12の厚さと第2領域14の厚さとの合計をWtとするとき、0.4≦Wa/Wt≦0.5の関係を満たす。
また、「第1領域の主面上」は、「第1領域の外部であって第1領域の表面上」ということもできる。
第3領域22の表面不純物濃度は、例えば1×1016cm-3~1×1019cm-3とすることができる。
第1領域12と第3領域22とは、PN接合を形成している。
第1領域12と導電体膜24とは、ショットキー接合を形成している。
導電体膜24は、アノード電極を兼ねている。
酸化膜26は、第1領域12の主面上に、導電体膜24の半導体基体10と接している部分を囲むように形成されている。酸化膜26は、例えばSiO2からなる。
次に、実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
実施形態に係る半導体装置の製造方法は、実施形態1に係る半導体装置1を製造するための製造方法である。
なお、本明細書においては、本発明との関連性が高い工程について記載する。つまり、必ずしも本明細書に記載した工程のみで半導体装置全体を製造するものではない。本発明の半導体装置の製造方法は、本明細書で説明する工程の前後や本明細書で説明する工程の間に、本明細書に記載する以外の工程を含んでいてもよい。
厚さに関して再度記載すると、半導体基体準備工程S1で準備する半導体基体10は、第1領域12の厚さと第2領域14の厚さとの合計(半導体基体10の厚さ)が150μm~250μmの範囲内にあり、かつ、0.6≦Wa/Wb≦0.9の関係及び0.4≦Wa/Wt≦0.5の関係を満たす。
実施形態における主面側構造20は、例えば、マスクや酸化膜(酸化膜26を含む)を形成する工程、第2導電型(P型)の不純物を半導体基体10に選択的に導入して第3領域22を形成する工程、熱処理を行う工程、導電体膜24を形成する工程等を実施することで形成することができる。主面側構造20自体は既知の構造であり、上記例示で記載した工程も既知の工程であり、各種工程を実施する順番や組み合わせ等も既知のものであるため、詳細な説明は省略する。
次に、実施形態に係る電力変換回路100について説明する。
実施形態に係る電力変換回路100は、図3に示すように、ダイオードである半導体装置1と、スイッチング素子110と、誘導性負荷(リアクトル)120と、電源130と、平滑コンデンサ140とを備える。電力変換回路100の外部端子には、負荷150が接続されている。
半導体装置1は、いわゆるフリーホイールダイオードとして扱われる。
スイッチング素子110は、ドライブ回路(図示せず)からスイッチング素子110のゲート電極に印加されるクロック信号に応答してスイッチングする。スイッチング素子110がオン状態になると、スイッチング素子110、誘導性負荷120及び電源130から構成される回路が閉状態となり、誘導性負荷120に電源130からの電流が流れるようになる。
電源130の陽極は、誘導性負荷120の一方端と電気的に接続されており、電源130の負極は、スイッチング素子110のソース電極と電気的に接続されている。また、スイッチング素子110のドレイン電極は、誘導性負荷120の他方端及び半導体装置1の電極30(アノード電極)と電気的に接続されている。
以下、実施形態に係る半導体装置1、半導体装置の製造方法及び電力変換回路の効果について説明する。
このため、実施形態に係る半導体装置1によれば、低電圧でのリーチスルーを抑制するとともにリカバリー時にソフトリカバリーとすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、逆方向サージ電力耐量の低下を抑制することやリカバリー時のノイズの発生を抑制することができる。
このため、実施形態に係る半導体装置1においては、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して第2領域14を薄くすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、順方向電圧(VF)の増大を抑制することやVF-Qrrトレードオフの悪化を抑制することができる。
以下、本発明に係る半導体装置について、実際に特性を計測した結果に基づく説明を行う。
このため、第1領域における不純物濃度の1000倍は、1×1017cm-3となる(図4の符号Cb参照。)。
一方、比較例1に係る半導体装置においては評価距離は約5μmであり(図4の符号D2参照。)、比較例2に係る半導体装置においては評価距離は約48μmである(図4の符号D3参照。)。
具体的には、第1領域の厚さWaは、全ての半導体装置において90μmとした。
第2領域の厚さWbは、実施例に係る半導体装置においては110μmとし、比較例1に係る半導体装置においては525μmとし、比較例2に係る半導体装置においては175μmとした。
比較例1に係る半導体装置においては、Wa/Wb≒0.17となり、Wa/Wt≒0.15となる。
比較例2に係る半導体装置においては、Wa/Wb≒0.51となり、Wa/Wt≒0.34となる。
その結果、図5(a)に示すように、比較例1に係る半導体装置の逆方向サージ電力耐量は極端に低い(およそ1kW以下)であったのに対して、実施例に係る半導体装置の逆方向サージ電力耐量は8kW~10kW程度であり、十分に高い値であることが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例1に係る半導体装置と比較して逆方向サージ電力耐量に関する特性が優れているといえる。
その結果、図5(b)に示すように、比較例1に係る半導体装置おいては大きな電圧ノイズが発生したのに対して、実施例に係る半導体装置においては電圧ノイズが非常に小さいことが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例1に係る半導体装置と比較してリカバリー時のノイズの低減に関する特性が優れているといえる。
その結果、図6(a)に示すように、実施例に係る半導体装置のVF-IF特性は比較例1に係る半導体装置のVF-IF特性に近く、比較例2に係る半導体装置と比較してIFあたりのVFを十分に低減することができていることが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例2に係る半導体装置と比較して順方向電圧に関する特性が優れているといえる。
その結果、図6(b)に示すように、実施例に係る半導体装置のVF-Qrrトレードオフの特性は比較例1に係る半導体装置のVF-Qrrトレードオフの特性に近く、比較例2に係る半導体装置と比較してVFを十分に低減することができていることが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例2に係る半導体装置と比較してVF-Qrrトレードオフの特性が優れているといえる。
Claims (11)
- 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有する半導体基体と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、
前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にあり、
前記第1領域の厚さと前記第2領域の厚さとの合計が150μm~250μmの範囲内にあることを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有する半導体基体と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、
前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にある半導体装置であって、
前記半導体装置は、ダイオードであり、
前記主面側構造は、前記第1領域の主面側に選択的に形成された第2導電型の第3領域と、前記第1領域及び前記第3領域と接触している導電体膜とを有することを特徴とする半導体装置。 - 前記導電体膜は、ケイ素含有アルミニウム又は白金からなることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有する半導体基体と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、
前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にあり、
前記第1領域の厚さをWaとし、前記第2領域の厚さをWbとするとき、
0.6≦Wa/Wb≦0.9の関係を満たすことを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有する半導体基体と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、
前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にあり、
前記第1領域の厚さをWaとし、前記第1領域の厚さと前記第2領域の厚さとの合計をWtとするとき、
0.4≦Wa/Wt≦0.5の関係を満たすことを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有し、前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって主面側構造を形成する主面側構造形成工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
前記第1領域の厚さと前記第2領域の厚さとの合計が150μm~250μmの範囲内にあることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有し、前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって主面側構造を形成する主面側構造形成工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
前記半導体装置は、ダイオードであり、
前記主面側構造は、前記第1領域の主面側に選択的に形成された第2導電型の第3領域と、前記第1領域及び前記第3領域と接触している導電体膜とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記導電体膜は、ケイ素含有アルミニウム又は白金からなることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有し、前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって主面側構造を形成する主面側構造形成工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
前記第1領域の厚さをWaとし、前記第2領域の厚さをWbとするとき、
0.6≦Wa/Wb≦0.9の関係を満たすことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有し、前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程と、
前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって主面側構造を形成する主面側構造形成工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
前記第1領域の厚さをWaとし、前記第1領域の厚さと前記第2領域の厚さとの合計をWtとするとき、
0.4≦Wa/Wt≦0.5の関係を満たすことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ダイオードと、
スイッチング素子と、
誘導性負荷とを備え、
前記ダイオードは、第1導電型の第1領域及び第1導電型かつ前記第1領域よりも不純物濃度が高い第2領域を有する半導体基体と、前記第1領域の主面側から前記第1領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、前記第1領域と前記第2領域との境界の深さ位置から前記第2領域内における不純物濃度が前記第1領域における不純物濃度の1000倍になる深さ位置までの距離が、20μm~40μmの範囲内にあることを特徴とする電力変換回路。
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