JP7238400B2 - 冷却装置 - Google Patents

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Description

本発明は、冷却装置に関する。
従来の電子部品冷却装置は、ヒートシンク、ラジエータ及び電動ポンプを備える。
例えば、特開2004-304076号公報に記載の電子部品冷却装置のヒートシンクは、冷却されるべき電子部品が装着される電子部品装着面と、冷媒として液体が流れる冷媒流路とを備えている。ラジエータは、冷媒が流れる液体流路を有し、液体流路が空冷されて冷媒が冷却される。電動ポンプは、冷媒に移動エネルギーを与え、ヒートシンクとラジエータとの間で冷媒を循環させる。
特開2004-304076号公報
しかしながら、上記特許文献に開示された冷却装置は、ヒートシンク、ラジエータ及び電動ポンプがそれぞれパイプを介して接続されており、冷却装置全体が大型化する問題があった。
本発明は、小型化できる冷却装置を提供することを目的とする。
本発明の例示的な冷却装置は、コールドプレートと、ラジエータと、ポンプと、第1タンクと、第2タンクと、を備える。コールドプレートは、内部に冷媒が流通する第1冷媒流路を有する。ラジエータは、複数のフィンと、前記第1冷媒流路と連通する第2冷媒流路を形成する複数のパイプと、を有する。ポンプは、前記冷媒を循環させる。第1タンクは、複数の前記パイプの一端と連結する。第2タンクは、複数の前記パイプの他端と前記ポンプとを連結する。前記ラジエータは、前記コールドプレート上に配置され、前記ポンプは、前記コールドプレートの側面に隣接して配置される。前記コールドプレートは、上面視において側面が屈曲して形成される切欠部を有し、前記ポンプの少なくとも一部は、前記切欠部に配置される。前記コールドプレートは、前記切欠部の上方を覆う上壁部を有し、前記上壁部の下面と前記ポンプの上面とが、対向する。
例示的な本発明によれば、小型化した冷却装置を提供することができる。
図1は、本発明の本実施形態に係る冷却装置の上面斜視図である。 図2は、本発明の本実施形態に係る冷却装置の底面斜視図である。 図3は、本発明の本実施形態に係る冷却装置の上面図である。 図3中のA-A線断面斜視図である。 図3中のB-B線断面図である。 図6は、本発明の本実施形態に係る冷却装置のコールドプレートの上壁部を示す底面図である。 図7は、本発明の本実施形態に係る冷却装置のコールドプレートの底壁部を示す上面図である。
以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、本願では、コールドプレート10に対して、ラジエータ20が配置されている方向を「上側」、ラジエータ20が配置されている方向の反対側を「下側」、とそれぞれ称する。また、本願では、コールドプレート10に対してラジエータ20が配置されている方向を「上下方向」と称し、「上下方向」と直交する方向を「水平方向」と称して、各部の形状や位置関係を説明する。ただし、これは、あくまで説明の便宜のために上下方向および水平方向を定義したものであって、本発明に係る冷却装置1の製造時および使用時の向きを限定するものではない。また、本願では、上面視においてコールドプレート10の長手方向を、「長手方向X」と称し、短手方向を、「短手方向Y」と称する。また、コールドプレート10の上面に直交する方向を、「直交方向Z」と称する。
また、本願において「平行な方向」とは、略平行な方向も含む。また、本願において「直交する方向」とは、略直交する方向も含む。
(1.冷却装置の構成)
本発明の例示的な一実施形態の冷却装置について説明する。図1、図2は本発明の実施形態に係る冷却装置1の上面斜視図及び底面斜視図である。また、図3は冷却装置1の上面図であり、図4は図3中のA-A線断面斜視図である。また、図5は図3中のB-B線断面図である。
なお、図2において、冷却装置1の外観からは見えない冷媒流路11、凹部13f、流入口13a、流出口13b、吐出管10h及び吹込管10gを破線で示す。また、図3において、冷却装置1の外観からは見えない流出口13b、上壁部貫通孔13c、第1タンク貫通孔41a及び第2タンク貫通孔42aを破線で示す。
冷却装置1は、コールドプレート10、ラジエータ20、第1タンク41、第2タンク42及びポンプ30を有する。ラジエータ20、第1タンク41及び第2タンク42はコールドプレート10上に配置される。ラジエータ20、第1タンク41及び第2タンク42の下面は、コールドプレート10の上面と接する。また、ポンプ30は、コールドプレート10の側面に隣接して配置される。これにより、コールドプレート10、ラジエータ20、ポンプ30、第1タンク41及び第2タンク42を一体化して冷却装置1全体を小型化することができ、冷却装置1全体のハンドリング性が向上する。
また、コールドプレート10、ラジエータ20及びポンプ30が、直接接続され、それぞれを連結するパイプ等の部材が、削減される。これにより、冷却装置1は、より小型化される。従って、冷却装置1が、実機へ容易に取り付けられる。なお、コールドプレート10、ラジエータ20及びポンプ30は、コールドプレート10上の領域において、短縮されたパイプなどを用いて連結されてもよい。
コールドプレート10は、銅又はアルミニウム等の熱伝導性の高い金属から成り、底壁部12、上壁部13を有する。本実施形態において、コールドプレート10は、上面視において四角形である。すなわち、底壁部12及び上壁部13は、上面視において水平方向に拡がる板状である。なお、本実施形態の底壁部12及び上壁部13は、上面視において四角形であるがこの限りではない。例えば、上面視において多角形、又は円形であってもよい。底壁部12の下面には発熱部品H(図4参照)が接触する。
また、コールドプレート10は、一方の短辺側の側面が屈曲して切欠部10dが形成される。切欠部10dの側方及び下方は、開放され、切欠部10dの上方は、閉じられる。すなわち、切欠部10dの上方は上壁部13により覆われる。
切欠部10d内にはポンプ30が収納され、上壁部13の下面とポンプ30の上面とが、対向する。これにより、冷却装置1全体を上下方向に小型化することができる。ポンプ30の外側面が、切欠部10dの側方の開放端よりも内側に位置する。これにより、冷却装置1全体をより小型化することができる。従って、コールドプレート10の下面に発熱部品Hを接触させたときに、ポンプ30の外側面が、発熱部品Hの周囲に配置された部材と接触することを防止できる。なお、本実施形態において、ポンプ30の外側面が、切欠部10dの側方の開放端よりも内側に位置するが、ポンプ30の少なくとも一部が、切欠部10dに配置されていれば、冷却装置1全体を小型化できる。
また、ポンプ30の下端は、コールドプレート10の下面よりも上方に配置される。これにより、コールドプレート10の下面に発熱部品Hを接触させたときにポンプ30の下端が発熱部品Hの設置面に接触し、コールドプレート10と発熱部品Hとの間に隙間が介在することを防止できる。従って、発熱部品Hの発熱は、コールドプレート10の底壁部12に、効率良く伝達される。
コールドプレート10は、内部に冷媒が流通する第1冷媒流路11、吸込管10g及び吐出管10hを有する。
第1冷媒流路11は、底壁部12、上壁部13及び側壁部13iで囲まれる内部空間に形成される。側壁部13iは、上壁部13の下面に形成されて上方に凹む凹部13fの外周側に形成される。凹部13fは、上壁部13を切削加工等して形成される。なお、上壁部13と側壁部13iとを別部材により形成してもよい。
第1冷媒流路11の内部には平行に複数並んで配置されるブレード12aが設けられる。上壁部13には上下方向に貫通する流出口13b及び上下方向に貫通する上壁部貫通孔13cが設けられる(図3参照)。側壁部13iには第1冷媒流路11に面して開口する流入口13aが、設けられる(図5参照)。流入口13aを介して第1冷媒流路11に流入した冷媒は流出口13bを介して第1冷媒流路11から流出する。本実施形態において冷媒は液体であり、例えば不凍液(エチレングリコール水溶液、プロピレングリコール水溶液等)、純水等が使用される。
吸込管10gの一端は、コールドプレート10の側面において切欠部10dに面して開口する。吸込管10gは、短手方向Yに直線状に延びて他端が上壁部貫通孔13cと連通する(図2参照)。
吐出管10hの一端は、コールドプレート10の側面において切欠部10dに面して開口する。吐出管10hは、短手方向Yに延びて他端側が長手方向Xに屈曲し、流入口13aと連通する(図2参照)。吸込管10g及び吐出管10hは、ポンプ30の後述する吸込口31a及び吐出口31bに夫々連結される。なお、吸込管10g及び吐出管10hについては、後で詳細に説明する。
ポンプ30はカスケード型であり、直方体状の筐体31の内部に冷媒の流路31dを有する(図4参照)。流路31dには上下方向に延びる中心軸を中心に回転可能に支持される羽根車(不図示)が配置される。羽根車はモータ(不図示)の回転軸と連結される。
ポンプ30は、冷媒を内部に吸込む吸込口31a及び冷媒を外部に吐出する吐出口31bを有する。詳細には、筐体31は同一側面に吸込口31a及び吐出口31bが設けられる(図2参照)。吸込口31a及び吐出口31bは筐体31の側面から外方に突出する。吸込口31aは、吸込管10gに連結され、吐出口31bは、吐出管10hに連結される。モータの駆動により羽根車が回転し、吸込口31aから筐体31内に流入した冷媒が、吐出口31bから吐出される。本実施形態では、吸込口31a及び吐出口31bは、パイプ23と直交する方向に延びる。
吐出口31bから吐出された冷媒は、吐出管10hを流通し、流入口13aを介して第1冷媒流路11に流入する。第1冷媒流路11は、吐出口31bと連結され、第2冷媒流路22は、第2タンク42を介して吸込口31aと連結される。これにより、ポンプ20には第2冷媒流路22を流通して冷却された冷媒が流入する。従って、ポンプ20内に搭載されている電子部品(不図示)へ熱が伝わることを防止し、ポンプ20の信頼性を向上することができる。
ラジエータ20は複数のフィン21及び複数のパイプ23を有する。フィン21は平板状に形成され、上壁部13の上面から起立してコールドプレート10の水平方向に延びる。本実施形態において、複数のフィン21は、コールドプレート10の短手方向Yに延びる。また、フィン21は、コールドプレート10の長手方向Xに等間隔で平行に複数配列される。
フィン21の下端は上壁部13の上面と接する。これにより、上壁部13からフィン21への熱伝導性が向上する。なお、フィン21と上壁部13とは別部材であっても同一部材であってもよい。本実施形態において、フィン21は上壁部13とは別部材である。フィン21の下端は、例えば、上壁部13の上面に溶接によって接合される。
フィン21が上壁部13と同一部材である場合、例えば、フィン21は上壁部13の上面を切削加工して形成される。
なお、フィン21と上壁部13とが別部材の場合、上述のコールドプレート10と同様に、フィン21は銅又はアルミニウム等の熱伝導性の高い金属であることが好ましい。フィン21が、コールドプレート10と同様な熱伝導性の高い金属で形成されることで、コールドプレート10からの熱を効率よくフィン21へ伝達することができる。
パイプ23は、内部が中空であって冷媒が通る第2冷媒流路22を形成する。第2冷媒流路22は、第1冷媒流路11と連通する。具体的には、第2冷媒流路22の一端は、第1タンク41を介して第1冷媒流路11の一端と連通する。第2冷媒流路22の他端は、第2タンク42及びポンプ30を介して第1冷媒流路11の他端と連通する。
パイプ23は、コールドプレート10の長手方向Xに直線状に延びる。パイプ23は、断面が扁平に形成され、コールドプレート10の上面に対してYZ面内で傾斜する(図5参照)。パイプ23は、複数のフィン21に設けられたフィン貫通孔24に挿通されて溶接により複数のフィン21と固定される。このとき、パイプ23の延びる方向とフィン21の延びる方向とが直交する。つまり、本実施形態において、複数のフィン21は、短手方向Yに延び、パイプ23は、長手方向Xに延びる。なお、フィン21とパイプ23とが延びる方向はこの限りではない。例えば、パイプ23が、フィン21の延びる方向に対して傾斜して配置されてもよい。
パイプ23の一端は第1タンク41と連結され、パイプ23の他端は第2タンク42と連結される。第1タンク41及び第2タンク42はパイプ23の延びる方向に対向して配置される。これにより、冷媒はパイプ23を介して第1タンク41から第2タンク42へ直線状に円滑に流通する。
第1タンク41及び第2タンク42は、フィン21の配列方向に対して平行に配置されており、第1タンク41と第2タンク42との間に複数のフィン21を所定の間隔でより多く配置することができる。これにより、フィン21全体の表面積を大きくしてラジエータ20の冷却性能を向上することができる。また、パイプ23と第1タンク41及び第2タンク42とを容易に接続することができる。
パイプ23は、第1タンク41及び第2タンク42の側面を貫通して第1タンク41及び第2タンク42に直接連結される(図4参照)。これにより、冷却装置1の部品点数を削減するとともにパイプ23を長手方向Xに長く形成して冷媒をより効率良く冷却することができる。
図5に示すように本実施形態では、パイプ23は、水平方向に3列並んで配置されるとともに上下方向に3列並んで配置される。これにより、合計9本のパイプ23が第1タンク41及び第2タンク42を介して並列に接続される(図5参照)。従って、冷却装置1が大型化することを抑制しつつ、各パイプ23から複数のフィン21へ熱が伝達されて冷媒を効率良く冷却することができる。なお、パイプ23の数は9本には限定されず、8本以下又は10本以上でもよい。また、複数のパイプ23は等間隔に配置される必要はなく、それぞれのパイプ23の上下方向に位置が異なるように配置されてもよい。
第1タンク41及び第2タンク42は、直方体状であり、第1タンク41及び第2タンク42の下面には上下方向に貫通する第1タンク貫通孔41a及び第2タンク貫通孔42aが、夫々形成される。
第2タンク42は、切欠部10dの上方に配置される。これにより、切欠部10dに配置されるポンプ30と第2タンク42とを近接して配置することができる。従って、ポンプ30と第2タンク42とを連結するパイプなどの部材を削減して冷却装置1全体を小型化することができる。
また、第2タンク貫通孔42aを第2タンク42の下面に配置することにより、ポンプ30と第2タンク42とを連結するパイプなどの部材をより削減することができる。第1タンク貫通孔41aは、上壁部13の流出口13bと上下方向に一致して連通する(図3参照)。第2タンク貫通孔42aは、吸込管10gと連通する上壁部貫通孔13cの先端と上下方向に一致して連通する(図3参照)。
図6は上壁部13の底面図であり、ポンプ30を配置した状態を示す。図7は底壁部12の上面図である。図7において、一点鎖線は上壁部13に設けられる流出口13b及び凹部13fを示す。
上壁部13及び底壁部12は、上面視において短辺側の一方の側面が屈曲して上壁切欠部13d、底壁切欠部12dが夫々形成される。上壁切欠部13dの側方及び下方は、開放され、切欠部10dの上方は、閉じられる。上壁切欠部13d及び底壁切欠部12dにより、コールドプレート10の切欠部10dが形成される。
上壁切欠部13dの下面の四隅には下方に突出する突起部13eが、設けられる。ポンプ30の上面は、突起部13eの下面と接触する。これにより、上壁部13の下面とポンプ30の上面との間に、隙間Sが形成される(図1参照)。すなわち、上壁部13の下面とポンプ30の上面との間に、隙間Sが介在する。これにより、コールドプレート10の熱が、ポンプ30に伝達することを低減し、ポンプ20内に搭載されている電子部品(不図示)の発熱が促進されることを防止し、ポンプ20の耐用年数をより延ばすことができる。
上壁部13の下面には上方に凹む溝部13gと、上方に凹む溝部13hが、形成される。底壁部12の上面には下方に凹む溝部12gと、下方に凹む溝部12hが形成される。上壁部13の下面と底壁部12の上面とを上下方向に接合したとき、溝部13g及び溝部12gが上下方向に対向して、吸込管10gが形成される。また、溝部13h及び溝部12hが上下方向に対向して、吐出管10hが形成される。
すなわち、コールドプレート10は、吸込管10g及び吐出管10hを有する。吹込管10gは、溝部13g及び溝部12gが上下方向に対向して形成される。吐出管10hは、溝部13h及び溝部12hが上下方向に対向して形成される。
吸込口31aは、溝部13g及び溝部12gにより挟持されて吸込管10gに連結される。また、吐出口31bは溝部13h及び溝部12hにより挟持されて吐出管10hに連結される。
詳細には、溝部13g及び溝部12gの内面と、吸込口31aの外面とが接触し、吸込口31aの外面が、溝部13g及び溝部12gの内面により上下から押し付けられる。同様にして溝部13h及び溝部12hの内面と、吐出口31bの外面とが接触し、吐出口31bの外面が、溝部13h及び溝部12hの内面により上下から押し付けられる。これにより、吸込口31a及び吐出口31bを、吸込管10g及び吐出管10hに容易に連結することができる。
より詳細には、上壁切欠部13dの突起部13eにポンプ30を載置し、吸込口31a及び吐出口31bを溝部13g、溝部13hに嵌めた後、溝部12g、13fを吸込口31a及び吐出口31bにそれぞれ押しつけながら、上壁部13の下面と底壁部12の上面とを上下方向に接合する。これにより、吸込口31a及び吐出口31bは、吸込管10g及び吐出管10hにそれぞれ正確に位置決めされ、容易に連結される。
また、ブレード12aは底壁部12の上面に設けられる。ブレード12aはコールドプレート10の長手方向Xに延びて短手方向Yに等間隔で平行に複数並んで配置される。ブレード12aの上端と上壁部13の下面との間には上下方向の隙間が形成される(図5参照)。なお、ブレード12aの上端と上壁部13の下面とを接触させてもよい。
流入口13aを介して第1冷媒流路11に流入した冷媒は、底壁部12上を短手方向Yに広がり、複数のブレード12aの間を流通する。複数のブレード12aの間を流通する冷媒は、第1冷媒流路11全体に広がり、流出口13bから流出する。これにより、コールドプレート10の下面全体が冷媒により冷却される。
底壁部12の下面には発熱部品Hが接触する(図4参照)。このとき、発熱部品Hは、第1冷媒流路11と上下方向に対向する底壁部12の下面に配置されることが好ましい。発熱部品Hと第1冷媒流路11とが上下方向に対向して配置されることで、発熱部品Hから発せられる熱を効率よく第1冷媒流路11を流通する冷媒へ伝達することができる。
また、発熱部品Hは、ブレード12aが配置される領域の下方に位置することがより好ましい。つまり、発熱部品Hは、ブレード12aが延びる長手方向Xのブレード12aの幅の内側、かつブレード12aが配列される短手方向Yのブレード12aの配列幅の内側に位置する。当該領域と重なる位置に発熱部品Hを配置することで、発熱部品Hをより効率よく冷却することができる。
さらに、発熱部品Hは、流入口13aと流出口13bとを結ぶ線と重なる位置に配置されることがより好ましい。冷却装置1を循環する冷媒は、流入口13aと流出口13bとを結ぶ線の周辺においてラジエータ20によって冷却される。このため、当該線上に発熱部品Hを配置することで、発熱部品Hをより効率よく冷却することができる。
(2.冷却装置の動作)
コールドプレート10の底壁部12の下面にCPU等の冷却されるべき発熱部品を接触させてポンプ30を駆動する。これにより、第1冷媒流路11、第1タンク41、第2冷媒流路22及び第2タンク42の順で冷媒が循環する。発熱部品Hの発熱はコールドプレート10の底壁部12に伝達される。底壁部12に伝達された熱は上壁部13を介してフィン21に伝達されるとともに、第1冷媒流路11及び第2冷媒流路22を流通する冷媒を介してフィン21に伝達される。これにより、フィン21を介して放熱が行われ、発熱部品Hの温度上昇を抑制することができる。
ラジエータ20の側方に冷却ファン(不図示)を配置してフィン21の延びる方向(短手方向Y)に冷却風を送風することにより、フィン21からの放熱を促し、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。
(3.その他)
上記実施形態は、本発明の例示にすぎない。実施形態の構成は、本発明の技術的思想を超えない範囲で適宜変更されてもよい。また、実施形態は、可能な範囲で組み合わせて実施されてよい。
上記実施形態ではカスケード型のポンプ30を用いたが、例えば、ダイヤフラム型、遠心型等のポンプを用いてもよい。
本発明のモータは、例えば、マイクロコンピュータ等の電子部品を冷却する冷却装置に利用することができる。
1 冷却装置
10 コールドプレート
10d 切欠部
10g 吸込管
10h 吐出管
11 第1冷媒流路
12 底壁部
12a ブレード
12d 底壁切欠部
12g、12h 溝部
13 上壁部
13a 流入口
13b 流出口
13c 上壁部貫通孔
13d 上壁切欠部
13e 突起部
13f 凹部
13g、13h 溝部
13i 側壁部
20 ラジエータ
21 フィン
22 第2冷媒流路
23 パイプ
24 フィン貫通孔
30 ポンプ
31 筐体
31a 吸込口
31b 吐出口
31d 流路
41 第1タンク
41a 第1タンク貫通孔
42 第2タンク
42a 第2タンク貫通孔
H 発熱部品
S 隙間
X 長手方向
Y 短手方向
Z 直交方向

Claims (15)

  1. 内部に冷媒が流通する第1 冷媒流路を有するコールドプレートと、
    複数のフィンと、前記第1 冷媒流路と連通する第2 冷媒流路を形成する複数のパイプと、を有するラジエータと、
    前記冷媒を循環させるポンプと、
    複数の前記パイプの一端と連結する第1 タンクと、
    複数の前記パイプの他端と前記ポンプとを連結する第2 タンクと、を備え、
    前記ラジエータは、前記コールドプレート上に配置され、
    前記ポンプは、前記コールドプレートの側面に隣接して配置され、
    前記コールドプレートは、上面視において側面が屈曲して形成される切欠部を有し、
    前記ポンプの少なくとも一部は、前記切欠部に配置され、
    前記コールドプレートは、前記切欠部の上方を覆う上壁部を有し、
    前記上壁部の下面と前記ポンプの上面とが、対向する冷却装置。
  2. 前記上壁部の下面と前記ポンプの上面との間に、隙間が介在する、請求項1に記載の冷却装置。
  3. 前記ポンプは、前記冷媒を外部に吐出する吐出口と、前記冷媒を内部に吸込む吸込口と、を有し、
    前記第1冷媒流路は、前記吐出口と連結され、
    前記第2冷媒流路は、前記第2タンクを介して前記吸込口と連結される、請求項1または請求項2に記載の冷却装置。
  4. 前記第2タンクは、前記切欠部の上方に配置される、請求項3に記載の冷却装置。
  5. 前記第2タンクの下面に前記吸込口と連通する第2タンク貫通孔が配置される、請求項
    に記載の冷却装置。
  6. 前記パイプは、直線状に延び、
    前記第1タンク及び前記第2タンクが、前記パイプの延びる方向に対向して配置される、請求項1~請求項5のいずれかに記載の冷却装置。
  7. 前記ポンプの下端は、前記コールドプレートの下面よりも上方に配置される、請求項1
    請求項6のいずれかに記載の冷却装置。
  8. 前記ポンプは、カスケード型である、請求項1~請求項7のいずれかに記載の冷却装置。
  9. 内部に冷媒が流通する第1 冷媒流路を有するコールドプレートと、
    複数のフィンと、前記第1 冷媒流路と連通する第2 冷媒流路を形成する複数のパイプと、を有するラジエータと、
    前記冷媒を循環させるポンプと、
    複数の前記パイプの一端と連結する第1 タンクと、
    複数の前記パイプの他端と前記ポンプとを連結する第2 タンクと、を備え、
    前記ラジエータは、前記コールドプレート上に配置され、
    前記ポンプは、前記コールドプレートの側面に隣接して配置され、
    前記コールドプレートは、上面視において側面が屈曲して形成される切欠部を有し、
    前記ポンプの少なくとも一部は、前記切欠部に配置され、
    前記ポンプの外側面が、前記切欠部の側方の開放端よりも内側に位置する冷却装置。
  10. 前記ポンプは、前記冷媒を外部に吐出する吐出口と、前記冷媒を内部に吸込む吸込口と、を有し、
    前記第1冷媒流路は、前記吐出口と連結され、
    前記第2冷媒流路は、前記第2タンクを介して前記吸込口と連結される、請求項9に記載の冷却装置。
  11. 前記第2タンクは、前記切欠部の上方に配置される、請求項10に記載の冷却装置。
  12. 前記第2タンクの下面に前記吸込口と連通する第2タンク貫通孔が配置される、請求項
    11に記載の冷却装置。
  13. 前記パイプは、直線状に延び、
    前記第1タンク及び前記第2タンクが、前記パイプの延びる方向に対向して配置される、請求項9~請求項12のいずれかに記載の冷却装置。
  14. 前記ポンプの下端は、前記コールドプレートの下面よりも上方に配置される、請求項9
    ~請求項13のいずれかに記載の冷却装置。
  15. 前記ポンプは、カスケード型である、請求項9~請求項14のいずれかに記載の冷却装置。
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