JP7234729B2 - ノズル、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)塗布液が供給される塗布液供給口と、塗布液供給口から内部に流入する塗布液を塗布幅方向に拡幅するマニホールドと、該マニホールドに連通して塗布液が下流に向かって流れる流出流路と、該流出流路の下流側端部で開口して塗布液が外部に吐出される吐出口と、を有するノズルであって、前記吐出口を含む吐出口先端面と、前記吐出口の塗布幅方向両端で上流側に向けて連なる外側斜面とで、下流側に突き出る突出部を外部に形成するとともに、前記流出流路の塗布幅方向両端に存在する両端流出面と前記外側斜面とで、塗布方向に延びる線状のエッジを形成し、かつ、前記両端流出面と前記外側斜面とがなす角度は60度以上90度以下であることを特徴とするノズル。
(2)前記吐出口を含む平面と前記外側斜面とがなす角度は5度以上85度以下であることを特徴とする、前記(1)に記載のノズル。
(3)前記吐出口を含む平面と前記両端流出面とがなす角度は15度以上90度以下であることを特徴とする、前記(1)または(2)に記載のノズル。
(4)前記(1)~(3)のいずれかに記載のノズルと、該ノズルに定量の塗布液を供給する塗布液供給装置と、基材を保持する基材載置台と、前記ノズルおよび前記基材載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動装置と、前記ノズルを基材に近接させる近接装置と、前記ノズルの吐出口を前記基材上の任意の場所に位置合わせをする位置合わせ装置と、を備えている塗布装置。
(5)前記(1)~(3)のいずれかに記載のノズルを所望する場所で基材に近接させ、前記ノズルに塗布液を供給して前記ノズルの吐出口から塗布液を吐出するとともに、前記基材の前記ノズルに対する相対移動を行って、前記基材上にストライプ塗布膜を形成することを特徴とする塗布方法。
(6)前記(5)に記載の塗布方法を用いて、ディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
10 XYZステージ
12 Z軸リニア駆動装置
14 吸着盤
16 X-ψ駆動装置
18 ブラケット
20 Y軸リニア駆動装置
22 CCDカメラ
24 高さセンサー
26 ベース
28 門型ベース
30 ノズル
31 第1リップ
32 マニホールド
33 流入流路
34 内面
41 第2リップ
42 組立ボルト
44 内面
45 挿入用孔
50 塗布液供給装置
52 供給バルブ
54 吸引バルブ
56 フィルター
60 シリンジポンプ
62 シリンジ
64 ピストン
66 本体
68 供給ホース
70 吸引ホース
72 タンク
74 塗布液
76 圧空源
80 制御装置
82 操作盤
100 流出スペーサ
101 第1流出流路
102 第2流出流路
103A、103B 第1両端流出面
104A、104B 第2両端流出面
105A、105B エッジ
106A、106B 外側斜面
107 底面
108 切欠き
109A、109B 突出部
110 吐出口
111 吐出口先端面
112 外形輪郭
120 第1スペーサ
122 外形輪郭
124 開口部
140 第2スペーサ
142 外形輪郭
200 ノズル
210 流出スペーサ
211 第1流出流路
212 第2流出流路
213A、213B 両端流出面
215A、215B エッジ
216A、216B 外側斜面
217A、217B 突出部
220 吐出口
300 従来ノズル
310 流出スペーサ
312 第2流出流路
313A、313B 両端流出面
315A、315B 内側エッジ
316A、316B 外側斜面
319A、319B 吐出口先端延在面
320 吐出口
321A、321B 外側エッジ
A 基板
BD ビード
C クリアランス
LA、LB、LD、LE、LF 長さ
P ピッチ
WA、WB、WC、WD、WE 幅
αA、αB 吐出口を含む平面と両端流出面がなす角度
θA、θB エッジで接続する両端流出面と外側斜面がなす角度
φA、φB 吐出口を含む平面と外側斜面がなす角度
Claims (5)
- 塗布液が供給される塗布液供給口と、塗布液供給口から内部に流入する塗布液を塗布幅方向に拡幅するマニホールドと、該マニホールドに連通して塗布液が下流に向かって流れる複数の流出流路と、該複数の流出流路それぞれの下流側端部で開口して塗布液が外部に吐出される複数の吐出口と、を有するノズルであって、前記吐出口を含む吐出口先端面と、前記吐出口の塗布幅方向両端で上流側に向けて連なる外側斜面とで、下流側に突き出る突出部を外部に形成するとともに、前記流出流路の塗布幅方向両端に存在する両端流出面と前記外側斜面とで、塗布方向に延びる線状のエッジを形成し、前記両端流出面と前記外側斜面とがなす角度は60度以上90度以下であり、かつ、前記吐出口を含む平面と前記外側斜面とがなす角度は5度以上85度以下であることを特徴とするノズル。
- 前記吐出口を含む平面と前記両端流出面とがなす角度は15度以上85度以下であることを特徴とする請求項1に記載のノズル。
- 請求項1または2に記載のノズルと、該ノズルに定量の塗布液を供給する塗布液供給装置と、基材を保持する基材載置台と、前記ノズルおよび前記基材載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動装置と、前記ノズルを基材に近接させる近接装置と、前記ノズルの吐出口を前記基材上の任意の場所に位置合わせをする位置合わせ装置と、を備えている塗布装置。
- 請求項1または2に記載のノズルを所望する場所で基材に近接させ、前記ノズルに塗布液を供給して前記ノズルの吐出口から塗布液を吐出するとともに、前記基材の前記ノズルに対する相対移動を行って、前記基材上にストライプ塗布膜を形成することを特徴とする塗布方法。
- 請求項4に記載の塗布方法を用いて、ディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
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JP2019055847A JP7234729B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | ノズル、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
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JP2019055847A JP7234729B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | ノズル、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2020157172A JP2020157172A (ja) | 2020-10-01 |
JP7234729B2 true JP7234729B2 (ja) | 2023-03-08 |
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ID=72640835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019055847A Active JP7234729B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | ノズル、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
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JP2011177707A (ja) | 2010-02-08 | 2011-09-15 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
JP2013192983A (ja) | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
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2019
- 2019-03-25 JP JP2019055847A patent/JP7234729B2/ja active Active
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