JP7234032B2 - Method for manufacturing adhesive film, method for manufacturing adhesive film, and connected body - Google Patents

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Description

本技術は、電子部品を接続する接着フィルムの製造方法、接着フィルム、及び接続体の製造方法に関する。 The present technology relates to a method for manufacturing an adhesive film that connects electronic components, a method for manufacturing an adhesive film, and a connecting body.

従来、各種表示手段として、液晶表示装置が多く用いられている。近年、このような液晶表示装置においては、ファインピッチ化、軽量薄型化等の観点から、液晶駆動用ICを直接液晶表示パネルの基板上に実装するいわゆるCOG(chip on glass)や、液晶駆動回路が形成されたフレキシブル基板を直接液晶表示パネルの基板上に実装するいわゆるFOG(film on glass)が採用されている(例えば特許文献1を参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, liquid crystal display devices have been widely used as various display means. In recent years, from the standpoint of finer pitch, lighter weight, and thinner liquid crystal display devices, so-called COG (chip on glass), in which a liquid crystal driving IC is directly mounted on the substrate of the liquid crystal display panel, and a liquid crystal driving circuit. A so-called FOG (film on glass) is employed in which a flexible substrate having a .DELTA.

例えば熱硬化型の異方性導電フィルムを用いた接続方法は、一般的に熱加圧温度が高く、液晶駆動用IC等の電子部品や基板に対する熱衝撃が大きくなる傾向にある。基板に対する熱衝撃が大きくなると、基板(特に基板の端子部)に反りが生じうる。また、異方性導電フィルムが接続された後、常温まで温度が低下する際にも、その温度差に起因してバインダーが収縮し、基板に反りが生じるおそれがある。そして、基板に反りが生じる結果、液晶駆動用ICの接続不良が発生するおそれがある。 For example, a connection method using a thermosetting anisotropic conductive film generally requires a high heat press temperature, which tends to increase the thermal impact on electronic components such as an IC for driving a liquid crystal and the substrate. When the thermal shock to the substrate increases, the substrate (particularly the terminal portion of the substrate) may warp. Also, when the temperature drops to room temperature after the anisotropic conductive film is connected, the binder may shrink due to the temperature difference, and the substrate may warp. As a result of warping of the substrate, there is a possibility that connection failure of the liquid crystal driving IC may occur.

このため、例えば光硬化型の接着剤(フィルム)を用いた低温での実装が望まれている。また、近年では基板(表示パネル)が、ガラスよりも耐熱性の低い材料(例えば、プラスチック基板)を用いる場合もあることから、上記の要請は増してきている。 For this reason, mounting at a low temperature using, for example, a photocurable adhesive (film) is desired. Moreover, in recent years, there are cases where substrates (display panels) are made of materials having lower heat resistance than glass (for example, plastic substrates), so the above demands are increasing.

特開2012-253282号公報JP 2012-253282 A

光硬化型の接着剤(フィルム)は、2層以上の多層構造で接続する必要があるほどに精緻な条件が求められる。例えば、バインダーの収縮が大きい場合、基板に反りが生じ、接着強度が低下することがある。 Photo-curable adhesives (films) require precise conditions to the extent that they need to be connected in a multi-layer structure of two or more layers. For example, if the shrinkage of the binder is large, the substrate may warp and the adhesive strength may decrease.

本技術は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、高い接着強度が得られる接着フィルムの製造方法、接着フィルム、及び接続体の製造方法を提供することを目的とする。 The present technology has been proposed in view of such conventional circumstances, and an object of the present technology is to provide a method for manufacturing an adhesive film that provides high adhesive strength, an adhesive film, and a method for manufacturing a connected body.

本技術に係る接着フィルムの製造方法は、膜形成樹脂と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤とを含有するバインダー中に第1のゴム粒子が分散された第1の樹脂層を形成する工程と、前記バインダー中に第2のゴム粒子が分散された第2の樹脂層を形成する工程と、前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層とを貼り合わせる工程とを有し、前記第1のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が1000MPa以上1200MPa以下であり、前記第2のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が750MPa以上950MPa以下である。 A method for producing an adhesive film according to the present technology forms a first resin layer in which first rubber particles are dispersed in a binder containing a film-forming resin, a radically polymerizable compound, and a photopolymerization initiator. forming a second resin layer in which second rubber particles are dispersed in the binder; and bonding the first resin layer and the second resin layer together, When the first rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. When the storage elastic modulus at 20° C. is 1000 MPa or more and 1200 MPa or less, and the second rubber particles and the film-forming resin are blended at a weight ratio of 1:1, the frequency is measured in a tensile mode using a viscoelasticity measuring device. The storage elastic modulus at 20° C. measured under the conditions of 10 Hz and a heating rate of 3° C./min is 750 MPa or more and 950 MPa or less.

本技術に係る接着フィルムは、膜形成樹脂と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤とを含有するバインダー中に第1のゴム粒子が分散された第1の樹脂層と、前記バインダー中に第2のゴム粒子が分散された第2の樹脂層とを備え、前記第1のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が1000MPa以上1200MPa以下であり、前記第2のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が750MPa以上950MPa以下である。 An adhesive film according to the present technology includes a first resin layer in which first rubber particles are dispersed in a binder containing a film-forming resin, a radically polymerizable compound, and a photopolymerization initiator; a second resin layer in which second rubber particles are dispersed, and when the first rubber particles and the film-forming resin are blended at a weight ratio of 1:1, a viscoelasticity measuring device is used to The storage elastic modulus at 20° C. measured under the conditions of a frequency of 10 Hz and a heating rate of 3° C./min in a tensile mode is 1000 MPa or more and 1200 MPa or less, and the weight ratio of the second rubber particles and the film-forming resin is 1:1. ratio, the storage elastic modulus at 20° C. measured using a viscoelasticity measuring device under the conditions of a frequency of 10 Hz and a heating rate of 3° C./min is 750 MPa or more and 950 MPa or less.

本技術に係る接続体の製造方法は、前述の接着フィルムを用いて、第1の電子部品の第1の端子と、第2の電子部品の第2の端子とを接続する。 A method for manufacturing a connection body according to the present technology connects a first terminal of a first electronic component and a second terminal of a second electronic component using the adhesive film described above.

本技術によれば、応力を緩和してバインダーの収縮を抑制し、高い接着強度を得ることができる。 According to the present technology, it is possible to reduce the shrinkage of the binder by relieving the stress and obtain high adhesive strength.

図1は、異方性導電フィルムの一例を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an anisotropic conductive film. 図2は、異方性導電フィルムを基板の端子上に配置した状態の一例を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a state in which an anisotropic conductive film is arranged on terminals of a substrate. 図3は、異方性導電フィルム上に電子部品を配置する状態の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a state in which electronic components are arranged on an anisotropic conductive film. 図4は、異方性導電フィルムを硬化させた状態の一例を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a state in which the anisotropic conductive film is cured.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら下記順序にて詳細に説明する。
1.接着フィルム
2.接着フィルムの製造方法
3.接続体の製造方法
4.実施例
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail in the following order with reference to the drawings.
1. Adhesive film2. Method for producing adhesive film3. 4. Manufacturing method of connecting body. Example

<1.接着フィルム>
本実施の形態に係る接着フィルムは、膜形成樹脂と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤とを含有するバインダー中に第1のゴム粒子が分散された第1の樹脂層と、バインダー中に第2のゴム粒子が分散された第2の樹脂層とを備える。ここで、第1の樹脂層及び第2の樹脂層が同じバインダーで形成されることにより、単層フィルムとして扱うことができる。
<1. Adhesive film>
The adhesive film according to the present embodiment includes a first resin layer in which first rubber particles are dispersed in a binder containing a film-forming resin, a radically polymerizable compound, and a photopolymerization initiator; and a second resin layer in which second rubber particles are dispersed. Here, by forming the first resin layer and the second resin layer with the same binder, it can be handled as a single layer film.

また、第1のゴム粒子と膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率の下限は、1000MPa以上、好ましくは1050MPa以上であり、20℃における貯蔵弾性率の上限は、1200MPa以下、好ましくは1150MPa以下である。また、第2のゴム粒子と膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率の下限は、750MPa以上、好ましくは800MPa以上であり、20℃における貯蔵弾性率の上限は、950MPa以下、好ましくは900MPaある。これにより、応力を緩和してバインダーの収縮を抑制し、高い接着強度を得ることができる。なお、本明細書において、上記条件で測定した貯蔵弾性率を、「第1のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率」、「第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率」などと省略記載することもある。 In addition, when the first rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under the conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. The lower limit of the storage modulus at 20°C is 1000 MPa or more, preferably 1050 MPa or more, and the upper limit of the storage modulus at 20°C is 1200 MPa or less, preferably 1150 MPa or less. In addition, when the second rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under the conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. The lower limit of the storage modulus at 20°C is 750 MPa or more, preferably 800 MPa or more, and the upper limit of the storage modulus at 20°C is 950 MPa or less, preferably 900 MPa. As a result, the stress can be relaxed, the shrinkage of the binder can be suppressed, and high adhesive strength can be obtained. In this specification, the storage elastic modulus measured under the above conditions is abbreviated as "the storage elastic modulus of the first rubber particles at 20°C", "the storage elastic modulus of the second rubber particles at 20°C", and the like. sometimes.

第1の樹脂層における第1のゴム粒子の含有量は、バインダー90質量部に対して10質量部以上30質量部以下であり、第2の樹脂層における第2のゴム粒子の含有量は、バインダー90質量部に対して10質量部以上30質量部以下であることが好ましい。 The content of the first rubber particles in the first resin layer is 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder, and the content of the second rubber particles in the second resin layer is It is preferably 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder.

第1の樹脂層における膜形成樹脂の含有量は、バインダー90質量部に対して30質量部以上60質量部以下であり、第2の樹脂層における膜形成樹脂の含有量は、バインダー90質量部に対して30質量部以上60質量部以下であることが好ましい。 The content of the film-forming resin in the first resin layer is 30 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder, and the content of the film-forming resin in the second resin layer is 90 parts by mass of the binder. is preferably 30 parts by mass or more and 60 parts by mass or less.

接着フィルムは、2層構造であってもよいし、3層以上の構造であってもよい。接着フィルムの層全体の合計の平均厚さは、目的に応じて適宜選択することができ、例えば5~30μmとすることができる。接着フィルムの1層あたりの平均厚さの下限は、3μm以上とすることが好ましく、5μm以上とすることがより好ましい。また、接着フィルムの1層あたりの平均厚さの上限は、厚くなりすぎると収縮を抑制する効果が出現させ難くなるため、25μm以下とすることが好ましく、20μm以下とすることがより好ましい。各層の厚みは、同じであっても、異なっていてもよく、適宜調整することができる。接着フィルムを押圧の影響を受ける電子部品の端子(電極)間接続に用いる場合には、各層の厚さが上記1層あたりの平均厚さの要件を満たすことが好ましく、合計が5~30μmとなることがより好ましい。 The adhesive film may have a two-layer structure or a three-layer or more structure. The total average thickness of all layers of the adhesive film can be appropriately selected depending on the purpose, and can be, for example, 5 to 30 μm. The lower limit of the average thickness per layer of the adhesive film is preferably 3 μm or more, more preferably 5 μm or more. Also, the upper limit of the average thickness of one layer of the adhesive film is preferably 25 μm or less, more preferably 20 μm or less, because if the thickness is too large, the effect of suppressing shrinkage becomes difficult to appear. The thickness of each layer may be the same or different, and can be adjusted as appropriate. When the adhesive film is used for connection between terminals (electrodes) of electronic components that are affected by pressure, the thickness of each layer preferably satisfies the requirement for the average thickness per layer, and the total thickness is 5 to 30 μm. It is more preferable to be

第1のゴム粒子及び第2のゴム粒子の平均粒径の下限は、好ましくは10nm以上、より好ましくは30nm以上、さらに好ましくは50nm以上であり、平均粒径の上限は、好ましくは3000nm以下、より好ましくは1000nm以下、さらに好ましくは500nm以下である。接着フィルムの押圧時や硬化後の応力を緩和することができる。 The lower limit of the average particle size of the first rubber particles and the second rubber particles is preferably 10 nm or more, more preferably 30 nm or more, and still more preferably 50 nm or more, and the upper limit of the average particle size is preferably 3000 nm or less. It is more preferably 1000 nm or less, still more preferably 500 nm or less. It is possible to relax the stress when the adhesive film is pressed or after it is cured.

ゴム粒子の平均粒径は、次の方法で測定した値とすることができる。まず、任意に選択したゴム粒子の一次粒子を走査型電子顕微鏡(SEM、(株)日立製作所社製、製品名:S-800)で観察(倍率:5000倍)し、その最大径及び最小径を測定する。この最大径及び最小径の積の平方根をその粒子の一次粒径とする。そして、任意に選択したゴム粒子50個について上記のようにして一次粒径を測定し、その平均値を平均粒径とする。 The average particle diameter of rubber particles can be a value measured by the following method. First, arbitrarily selected primary particles of rubber particles are observed with a scanning electron microscope (SEM, manufactured by Hitachi, Ltd., product name: S-800) (magnification: 5000 times), and the maximum and minimum diameters are observed. to measure. The square root of the product of this maximum diameter and minimum diameter is taken as the primary particle diameter of the particle. Then, the primary particle diameters of 50 arbitrarily selected rubber particles are measured as described above, and the average value is defined as the average particle diameter.

以下、本実施の形態の接着フィルムとして、バインダー中に導電粒子を分散させた異方性導電フィルムを例に挙げて説明する。異方性導電フィルムは、光硬化型の異方性導電フィルムが好適に用いられ、光ラジカル系であってもよいし、光カチオン系であってもよい。また、光ラジカル系と、光カチオン系を併用したものであってもよい。 An anisotropic conductive film in which conductive particles are dispersed in a binder will be described below as an example of the adhesive film of the present embodiment. A photocurable anisotropic conductive film is preferably used as the anisotropic conductive film, and it may be a photoradical type or a photocationic type. Further, a photo-radical system and a photo-cation system may be used in combination.

図1は、異方性導電フィルムの一例を示す断面図である。図1に示すように、異方性導電フィルム10は、導電粒子13と第1のゴム粒子とを含有する導電粒子含有層11と、第2のゴム粒子を含有する絶縁性樹脂層12とを有する。第1のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率は、第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率よりも大きく、その差の下限は、好ましくは100MPa以上、より好ましくは200MPa以上であり、差の上限は、好ましくは400MPa以下、より好ましくは300MPa以下である。このような構成とすることにより、絶縁性樹脂層側から加熱ツールで押圧したときに、導電粒子含有層の変形量が小さくなるため、基板と電子部品との接続不良をより効果的に抑制できる。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an anisotropic conductive film. As shown in FIG. 1, an anisotropic conductive film 10 comprises a conductive particle-containing layer 11 containing conductive particles 13 and first rubber particles, and an insulating resin layer 12 containing second rubber particles. have. The storage modulus of the first rubber particles at 20°C is greater than the storage modulus of the second rubber particles at 20°C, and the lower limit of the difference is preferably 100 MPa or more, more preferably 200 MPa or more. is preferably 400 MPa or less, more preferably 300 MPa or less. With such a configuration, when the insulating resin layer side is pressed by a heating tool, the amount of deformation of the conductive particle-containing layer is reduced, so that poor connection between the substrate and the electronic component can be more effectively suppressed. .

以下、本実施の形態の一例として、光ラジカル系の異方性導電フィルムについて、導電粒子含有層、絶縁性樹脂層の順序で説明する。 Hereinafter, as an example of the present embodiment, a photoradical anisotropic conductive film will be described in the order of the conductive particle-containing layer and the insulating resin layer.

[導電粒子含有層]
導電粒子含有層は、例えば、膜形成樹脂(ポリマー)と、反応性樹脂としてのラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含有するバインダー中に、導電粒子及び第1のゴム粒子が分散されて構成される。
[Conductive particle-containing layer]
The conductive particle-containing layer comprises, for example, a film-forming resin (polymer), a radically polymerizable compound as a reactive resin, and a binder containing a photoradical polymerization initiator, in which conductive particles and first rubber particles are dispersed. configured.

膜形成樹脂は、フィルム形成性を良好にするために用いられるものであり、例えば、ビスフェノールS型フェノキシ樹脂、フルオレン骨格を有するフェノキシ樹脂、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリフェニレンスルフィド、ポリテトラフルオロエチレン、ポリカーボネートなどが挙げられ、これらは単独又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、フィルム形成状態、接続信頼性等の観点からビスフェノールS型フェノキシ樹脂が好適に用いられる。フェノキシ樹脂は、ビスフェノール類とエピクロルヒドリンより合成されるポリヒドロキシポリエーテルである。市場で入手可能なフェノキシ樹脂の具体例としては、新日鐵住金化学(株)の商品名「FA290」などが挙げられる。 Film-forming resins are used to improve film-forming properties, and examples thereof include bisphenol S-type phenoxy resins, phenoxy resins having a fluorene skeleton, polystyrene, polyacrylonitrile, polyphenylene sulfide, polytetrafluoroethylene, polycarbonate, and the like. These can be used alone or in combination of two or more. Among these resins, bisphenol S-type phenoxy resin is preferably used from the viewpoint of film forming state, connection reliability, and the like. A phenoxy resin is a polyhydroxy polyether synthesized from bisphenols and epichlorohydrin. Specific examples of commercially available phenoxy resins include Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.'s trade name "FA290".

膜形成樹脂の含有量の下限は、バインダー90質量部に対して好ましくは30質量部以上、より好ましくは35質量部以上であり、膜形成樹脂の含有量の上限は、バインダー90質量部に対して好ましくは60質量部以下、より好ましくは55質量部以下である。膜形成樹脂は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上の膜形成樹脂を併用する場合、その合計量が上記含有量の範囲を満たすことが好ましい。 The lower limit of the content of the film-forming resin is preferably 30 parts by mass or more, more preferably 35 parts by mass or more relative to 90 parts by mass of the binder, and the upper limit of the content of the film-forming resin is relative to 90 parts by mass of the binder. is preferably 60 parts by mass or less, more preferably 55 parts by mass or less. The film-forming resin may be used singly or in combination of two or more. When two or more film-forming resins are used in combination, the total amount preferably satisfies the above content range.

ラジカル重合性化合物は、活性ラジカルによって重合する官能基を有する物質であり、(メタ)アクリレート、マレイミド化合物などが挙げられる。また、光ラジカル重合性化合物は、モノマー、又はオリゴマーのいずれの状態で用いることもでき、モノマーとオリゴマーとを併用してもよい。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリル酸エステル(アクリレート)とメタクリル酸エステル(メタクリレート)とを包含する意味である。 A radically polymerizable compound is a substance having a functional group that is polymerized by an active radical, and examples thereof include (meth)acrylates and maleimide compounds. Moreover, the photoradical polymerizable compound can be used in either a monomer or oligomer state, and a monomer and an oligomer may be used in combination. In this specification, (meth)acrylate is meant to include both acrylic acid ester (acrylate) and methacrylic acid ester (methacrylate).

(メタ)アクリレートとしては、エポキシアクリレートオリゴマー、ウレタンアクリレートオリゴマー、ポリエーテルアクリレートオリゴマー、ポリエステルアクリレートオリゴマーなどの光重合性オリゴマー;トリメチロールプロパントリアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリアルキレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールアクリレート、2-シアノエチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロベンテニロキシエチルアクリレート、2-(2-エトキシエトキシ)エチルアクリレート、2-エトキシエチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、n-ヘキシルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、イソボルニルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、n-ラウリルアクリレート、2-メトキシエチルアクリレート、2-フェノキシエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリールアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの光重合性単官能又は多官能アクリレートモノマーなどが挙げられる。 (Meth)acrylates include photopolymerizable oligomers such as epoxy acrylate oligomers, urethane acrylate oligomers, polyether acrylate oligomers, and polyester acrylate oligomers; trimethylolpropane triacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyalkylene glycol diacrylate, and pentaerythritol acrylate. , 2-cyanoethyl acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, dicyclobentenyloxyethyl acrylate, 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acrylate, 2-ethoxyethyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-hexyl acrylate, 2 - hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, isobornyl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acrylate, n-lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, neopentyl glycol diacrylate , photopolymerizable monofunctional or multifunctional acrylate monomers such as dipentaerythritol hexaacrylate.

ラジカル重合性化合物の含有量の下限は、バインダー90質量部に対して好ましくは10質量部以上、より好ましくは20質量部以上であり、ラジカル重合性化合物の含有量の上限は、バインダー90質量部に対して好ましくは60質量部以下、より好ましくは50質量部以下である。ラジカル重合性化合物は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上のラジカル重合性化合物を併用する場合、その合計量が上記含有量の範囲を満たすことが好ましい。 The lower limit of the content of the radically polymerizable compound is preferably 10 parts by mass or more, more preferably 20 parts by mass or more relative to 90 parts by mass of the binder, and the upper limit of the content of the radically polymerizable compound is 90 parts by mass of the binder. is preferably 60 parts by mass or less, more preferably 50 parts by mass or less. The radically polymerizable compound may be used singly or in combination of two or more. When two or more radically polymerizable compounds are used in combination, the total amount preferably satisfies the above content range.

光ラジカル重合開始剤は、公知の光ラジカル重合開始剤の中から適宜選択して使用することができる。光ラジカル重合開始剤としては、例えば、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤等が挙げられ、特にオキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。 The radical photopolymerization initiator can be appropriately selected from known radical photopolymerization initiators and used. Examples of photoradical polymerization initiators include alkylphenone-based photopolymerization initiators, acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators, oxime ester-based photopolymerization initiators, and the like, and oxime ester-based photopolymerization initiators are particularly preferred. .

光ラジカル重合開始剤の具体例としては、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド(IRGACURE819)、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1(IRGACURE369)、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン(IRGACURE379)、1.2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ベンゾイルオキシム)](IRGACURE OXE01)、2-ヒドロキシ-2-シクロヘキシルアセトフェノン(IRGACURE184)、α-ヒドロキシ-α,α´-ジメチルアセトフェノン(DAROCUR1173)、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン(IRGACURE651)、4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル(2-ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン(DAROCUR2959)、2-ヒドロキシ-1-{4-[2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル]-ベンジル}フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン(IRGACURE127、以上BASF社製)等が挙げられる。 Specific examples of photoradical polymerization initiators include bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide (IRGACURE819), 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)- Butanone-1 (IRGACURE369), 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone (IRGACURE379), 1.2- Octanedione, 1-[4-(phenylthio)-,2-(O-benzoyloxime)] (IRGACURE OXE01), 2-hydroxy-2-cyclohexylacetophenone (IRGACURE 184), α-hydroxy-α,α'-dimethylacetophenone (DAROCUR1173), 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (IRGACURE651), 4-(2-hydroxyethoxy)phenyl(2-hydroxy-2-propyl)ketone (DAROCUR2959), 2-hydroxy-1-{4- [2-hydroxy-2-methyl-propionyl]-benzyl}phenyl}-2-methyl-propan-1-one (IRGACURE 127, manufactured by BASF) and the like.

導電粒子含有層中の光ラジカル重合開始剤の含有量は、例えば0.1~10wt%とすることができる。光ラジカル重合開始剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上の光ラジカル重合開始剤を併用する場合、その合計量が上記含有量の範囲を満たすことが好ましい。 The content of the radical photopolymerization initiator in the conductive particle-containing layer can be, for example, 0.1 to 10 wt %. A photoradical polymerization initiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together. When two or more photoradical polymerization initiators are used in combination, the total amount preferably satisfies the above content range.

導電粒子としては、異方性導電フィルムにおいて使用されている公知の導電粒子を用いることができる。例えば、ニッケル、鉄、銅、アルミニウム、錫、鉛、クロム、コバルト、銀、金等の各種金属や金属合金の粒子、金属酸化物、カーボン、グラファイト、ガラス、セラミック、プラスチック等の粒子の表面に金属をコートしたもの、これらの粒子の表面に更に絶縁薄膜をコートしたもの等が挙げられ、これらの中から2種以上を混在させてもよい。樹脂粒子の表面に金属をコートしたものである場合、樹脂粒子としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、アクリロニトリル・スチレン(AS)樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ジビニルベンゼン系樹脂、スチレン系樹脂等の粒子を用いることができる。導電粒子の表面は、公知の手法で絶縁処理をしたものを使用してもよい。 As the conductive particles, known conductive particles used in anisotropic conductive films can be used. For example, on the surface of various metals such as nickel, iron, copper, aluminum, tin, lead, chromium, cobalt, silver, and gold, particles of metal alloys, metal oxides, carbon, graphite, glass, ceramics, plastics, etc. Examples thereof include metal-coated particles, particles coated with an insulating thin film on the surface of these particles, and the like, and two or more of these particles may be used in combination. When the resin particles are coated with a metal on their surfaces, the resin particles may be, for example, epoxy resins, phenol resins, acrylic resins, acrylonitrile-styrene (AS) resins, benzoguanamine resins, divinylbenzene-based resins, styrene-based resins, or the like. of particles can be used. The surface of the conductive particles may be subjected to insulation treatment by a known technique.

導電粒子の平均粒径としては、通常1~30μm、好ましくは2~20μm、より好ましくは2.5~15μmである。また、バインダー樹脂中の導電性粒子の平均粒子密度は、接続信頼性及び絶縁信頼性の観点から、好ましくは100~100000個/mm、より好ましくは500~80000個/mmである。この個数密度はフィルム平面視で光学顕微鏡を用いて観察して求めることができる。一例として、粒子個数がN=200以上であればよい。また観察領域は、1辺が50μm以上の200μm以上の領域を、合計2mm以上になるように設定することができる。 The average particle size of the conductive particles is usually 1-30 μm, preferably 2-20 μm, more preferably 2.5-15 μm. Also, the average particle density of the conductive particles in the binder resin is preferably 100 to 100,000/mm 2 , more preferably 500 to 80,000/mm 2 from the viewpoint of connection reliability and insulation reliability. This number density can be obtained by observing the film from a plan view using an optical microscope. As an example, the number of particles may be N=200 or more. Further, the observation area can be set so that the area of 200 μm 2 or more with one side of 50 μm or more and a total area of 2 mm 2 or more.

また、導電粒子は、絶縁性樹脂中に分散されていてもよく、フィルム平面視において個々に独立していてもよく、また任意に配置されて存在していてもよい。導電性粒子が配置される場合、異方性接続される電極のサイズやレイアウトに応じて、個数密度や導電粒子間距離などを設定することができる。このため、捕捉向上、ショート抑制などに効果があり、歩留まりの向上などコスト削減効果も見込まれる。 Also, the conductive particles may be dispersed in an insulating resin, may be independent of each other in a plan view of the film, or may be arbitrarily arranged. When conductive particles are arranged, the number density, the distance between the conductive particles, and the like can be set according to the size and layout of the electrodes to be anisotropically connected. For this reason, it is effective in improving trapping and suppressing short circuits, and is expected to have cost reduction effects such as an improvement in yield.

導電粒子含有層中の導電粒子の含有量は、接続体の導通抵抗を良好にする観点から、例えば2~50wt%が好ましく、3~30wt%がより好ましい。導電粒子は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上の導電粒子を併用する場合、その合計量が上記含有量の範囲を満たすことが好ましい。また、導電粒子含有層中の導電粒子の平均粒子密度も、その合計量が上記含有量の範囲を満たすことが好ましい。 The content of the conductive particles in the conductive particle-containing layer is preferably, for example, 2 to 50 wt%, more preferably 3 to 30 wt%, from the viewpoint of improving the conduction resistance of the connector. The conductive particles may be used singly or in combination of two or more. When two or more types of conductive particles are used in combination, the total amount preferably satisfies the above content range. Moreover, it is preferable that the total amount of the average particle density of the conductive particles in the conductive particle-containing layer also satisfies the above range of content.

第1のゴム粒子は、実装後にバインダー樹脂に発生する応力を弾性変形することにより吸収し、基板の反りを抑制する目的で用いられる。第1のゴム粒子としては、例えば、ブタジエンゴム、アクリルゴム、ニトリルゴム、シリコーンゴム等が挙げられる。特に、第1のゴム粒子としては、基板の反りを抑制する観点から、核材(コア層)としてゴム系の粒子を用い、核材の表面に樹脂(例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等)をグラフト重合して表面層(シェル層)を形成した、コアシェル構造の粒子を用いることが好ましい。 The first rubber particles are used for the purpose of absorbing the stress generated in the binder resin after mounting by elastic deformation and suppressing the warp of the substrate. Examples of the first rubber particles include butadiene rubber, acrylic rubber, nitrile rubber, and silicone rubber. In particular, as the first rubber particles, rubber-based particles are used as a core material (core layer) from the viewpoint of suppressing warping of the substrate, and a resin (eg, acrylic resin, epoxy resin, etc.) is grafted onto the surface of the core material. Particles having a core-shell structure in which a surface layer (shell layer) is formed by polymerization are preferably used.

第1のゴム粒子の平均粒子径は、基板と電子部品との接続性を十分に確保する観点から、導電粒子の平均粒子径よりも小さいことが好ましい。第1のゴム粒子の平均粒径の上限は、基板の反りを抑制する観点から、500nm以下であり、300nm以下がより好ましく、200nm以下がさらに好ましい。また、第1のゴム粒子の平均粒径の下限値は、例えば50nm以上とすることができる。 The average particle size of the first rubber particles is preferably smaller than the average particle size of the conductive particles from the viewpoint of ensuring sufficient connectivity between the substrate and the electronic component. The upper limit of the average particle size of the first rubber particles is 500 nm or less, more preferably 300 nm or less, and even more preferably 200 nm or less, from the viewpoint of suppressing warping of the substrate. Also, the lower limit of the average particle size of the first rubber particles can be set to, for example, 50 nm or more.

第1のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率の下限は、1000MPa以上、好ましくは1050MPa以上であり、20℃における貯蔵弾性率の上限は、1200MPa以下、好ましくは1150MPa以下である。 The lower limit of the storage elastic modulus of the first rubber particles at 20°C is 1000 MPa or higher, preferably 1050 MPa or higher, and the upper limit of the storage elastic modulus at 20°C is 1200 MPa or lower, preferably 1150 MPa or lower.

第1のゴム粒子の含有量の下限は、バインダー90質量部に対して好ましくは10質量部以上、より好ましくは15質量部以上であり、第1のゴム粒子の含有量の下限は、バインダー90質量部に対して好ましくは30質量部以下、より好ましくは25質量部以下である。第1のゴム粒子は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上の第1のゴム粒子を併用する場合、その合計量が上記含有量の範囲を満たすことが好ましい。 The lower limit of the content of the first rubber particles is preferably 10 parts by mass or more, more preferably 15 parts by mass or more with respect to 90 parts by mass of the binder, and the lower limit of the content of the first rubber particles is 90 parts by mass of the binder. It is preferably 30 parts by mass or less, more preferably 25 parts by mass or less. A 1st rubber particle may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together. When two or more kinds of first rubber particles are used in combination, the total amount preferably satisfies the above content range.

導電粒子含有層は、上述した成分以外の他の成分を含有してもよい。他の成分としては、例えば、シランカップリング剤などを用いることができる。シランカップリング剤としては、例えば、エポキシ系シランカップリング剤、アクリル系シランカップリング剤、チオール系シランカップリング剤、アミン系シランカップリング剤などを用いることができる。 The conductive particle-containing layer may contain components other than the components described above. As another component, for example, a silane coupling agent can be used. Examples of silane coupling agents that can be used include epoxy-based silane coupling agents, acrylic-based silane coupling agents, thiol-based silane coupling agents, and amine-based silane coupling agents.

[絶縁性樹脂層]
絶縁性樹脂層は、例えば、膜形成樹脂(ポリマー)と、反応性樹脂としてのラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含有するバインダー中に、第2のゴム粒子が分散されて構成される。第2のゴム粒子の含有量の下限は、バインダー90質量部に対して好ましくは10質量部以上、より好ましくは15質量部以上であり、第2のゴム粒子の含有量の下限は、バインダー90質量部に対して好ましくは30質量部以下、より好ましくは25質量部以下である。
[Insulating resin layer]
The insulating resin layer is formed by dispersing the second rubber particles in a binder containing, for example, a film-forming resin (polymer), a radically polymerizable compound as a reactive resin, and a photoradical polymerization initiator. be done. The lower limit of the content of the second rubber particles is preferably 10 parts by mass or more, more preferably 15 parts by mass or more with respect to 90 parts by mass of the binder, and the lower limit of the content of the second rubber particles is 90 parts by mass of the binder. It is preferably 30 parts by mass or less, more preferably 25 parts by mass or less.

第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率は、導電粒子含有層中の第1のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率よりも小さい。第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率の下限は、750MPa以上、好ましくは800MPa以上であり、第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率の上限は、950MPa以下、好ましくは900MPaある。その他の絶縁性樹脂層を構成する成分の好ましい条件は、上述した導電粒子含有層と同様である。 The storage elastic modulus of the second rubber particles at 20°C is smaller than the storage elastic modulus of the first rubber particles in the conductive particle-containing layer at 20°C. The lower limit of the storage modulus of the second rubber particles at 20°C is 750 MPa or more, preferably 800 MPa or more, and the upper limit of the storage modulus of the second rubber particles at 20°C is 950 MPa or less, preferably 900 MPa. Preferred conditions for other components constituting the insulating resin layer are the same as those for the conductive particle-containing layer described above.

以上に説明した異方性導電フィルムによれば、内部応力を低減することができるため、基板の反りを抑制し、基板と電子部品との接続不良を抑制し、基板と電子部品との接合強度を良好にすることができる。なお、異方性導電フィルムといった導電粒子を含有した接着フィルムを例に説明したが、本技術において、導電粒子は、必ずしも含有する必要はない。 According to the anisotropic conductive film described above, since the internal stress can be reduced, the warp of the substrate is suppressed, the connection failure between the substrate and the electronic component is suppressed, and the bonding strength between the substrate and the electronic component is reduced. can be improved. Although an adhesive film containing conductive particles such as an anisotropic conductive film has been described as an example, the conductive particles do not necessarily need to be contained in the present technology.

<2.接着フィルムの製造方法>
本実施の形態に係る接続体の製造方法は、膜形成樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有するバインダー中に第1のゴム粒子が分散された第1の樹脂層を形成する工程と、バインダー中に第2のゴム粒子が分散された第2の樹脂層を形成する工程と、第1の樹脂層と第2の樹脂層とを貼り合わせる工程とを有する。
<2. Method for producing an adhesive film>
The method for manufacturing a connected body according to the present embodiment forms a first resin layer in which first rubber particles are dispersed in a binder containing a film-forming resin, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator. forming a second resin layer in which the second rubber particles are dispersed in a binder; and bonding the first resin layer and the second resin layer together.

第1の樹脂層及び第2の樹脂層は、それぞれ前述した導電粒子含有層及び絶縁性樹脂層とすることができる。第1の樹脂層及び第2の樹脂層が同じバインダーで形成されることにより、単層フィルムとして扱うことができる。また、第1のゴム粒子及び第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率を前述の範囲とすることにより、応力を緩和してバインダーの収縮を抑制し、高い接着強度を得ることができる。 The first resin layer and the second resin layer can be the conductive particle-containing layer and the insulating resin layer described above, respectively. By forming the first resin layer and the second resin layer with the same binder, it can be treated as a single layer film. Further, by setting the storage elastic modulus of the first rubber particles and the second rubber particles at 20° C. to the range described above, the stress can be alleviated, the shrinkage of the binder can be suppressed, and high adhesive strength can be obtained.

<3.接続体の製造方法>
本実施の形態に係る接続体の製造方法は、上述した接着フィルムを用いて、第1の電子部品の第1の端子と、第2の電子部品の第2の端子とを接続する。より具体的には、異方性導電フィルムを基板の端子上に配置する工程と、異方性導電フィルム上に電子部品を配置し、電子部品をツールにより押圧し、光を照射し、異方性導電フィルムを硬化させる工程とを有する。なお、接続体の製造方法は、電子部品に限らず、2つの部品間の接続にも適用することができる。
<3. Method for manufacturing connection body>
In the method for manufacturing a connection body according to the present embodiment, the adhesive film described above is used to connect the first terminal of the first electronic component and the second terminal of the second electronic component. More specifically, a step of placing an anisotropic conductive film on a terminal of a substrate, placing an electronic component on the anisotropic conductive film, pressing the electronic component with a tool, irradiating light, and anisotropic and curing the electrically conductive film. It should be noted that the manufacturing method of the connecting body is applicable not only to electronic components but also to connection between two components.

以下、一例として、上述した導電粒子含有層11と絶縁性樹脂層12とを有する光硬化型の異方性導電フィルム10を用いた接続体の製造方法について説明する。 Hereinafter, as an example, a method for manufacturing a connected body using the photocurable anisotropic conductive film 10 having the conductive particle-containing layer 11 and the insulating resin layer 12 described above will be described.

まず、図2に示すように、異方性導電フィルム10の導電粒子含有層11側を、第1の電子部品20の端子列20a上に配置する。第1の電子部品20としては、例えば、LCD(Liquid Crystal Display)パネル、有機EL(OLED)などのフラットパネルディスプレイ(FPD)用途、タッチパネル用途などの透明基板、プリント配線板(PWB)などが挙げられる。プリント配線板の材質は、特に限定されず、例えば、FR-4基材などのガラスエポキシでもよく、熱可塑性樹脂などのプラスチック、セラミックなども用いることができる。また、透明基板は、透明性の高いものであれば特に限定はなく、ガラス基板、プラスチック基板などが挙げられる。 First, as shown in FIG. 2 , the conductive particle-containing layer 11 side of the anisotropic conductive film 10 is placed on the terminal row 20 a of the first electronic component 20 . Examples of the first electronic component 20 include LCD (Liquid Crystal Display) panels, flat panel display (FPD) applications such as organic EL (OLED), transparent substrates such as touch panel applications, and printed wiring boards (PWB). be done. The material of the printed wiring board is not particularly limited. For example, glass epoxy such as FR-4 base material may be used, plastic such as thermoplastic resin, and ceramic may also be used. The transparent substrate is not particularly limited as long as it has high transparency, and examples thereof include glass substrates and plastic substrates.

次に、図3及び図4に示すように、異方性導電フィルム10の絶縁性樹脂層12上に第2の電子部品22を配置し、第2の電子部品22を熱圧着ツールにより押圧して光を照射し、異方性導電フィルムを硬化させる。これにより、熱圧着ツールの熱により異方性導電フィルム10を構成する樹脂が溶融し、熱圧着ツールにより第2の電子部品22が十分に押し込まれ、導電粒子13が端子間に挟持された状態で樹脂が硬化するため、優れた導通性を得ることができる。 Next, as shown in FIGS. 3 and 4, a second electronic component 22 is placed on the insulating resin layer 12 of the anisotropic conductive film 10, and the second electronic component 22 is pressed with a thermocompression bonding tool. The anisotropic conductive film is cured by irradiating it with light. As a result, the resin forming the anisotropic conductive film 10 is melted by the heat of the thermocompression bonding tool, the second electronic component 22 is sufficiently pushed by the thermocompression bonding tool, and the conductive particles 13 are sandwiched between the terminals. Since the resin is cured at , excellent conductivity can be obtained.

熱圧着ツールによる加熱は、好ましくは160℃以下の温度、より好ましくは140℃以下の温度、さらに好ましくは120℃以下の温度で押圧させる。このような低い温度で加圧することにより、第1の電子部品20及び第2の電子部品22への熱の影響を抑制することができる。また、熱圧着ツールによる押圧の圧力は、例えば、0.1MPa~100MPaが好ましい。加熱及び押圧の時間は、例えば、0.5~120秒間とすることができる。 The heating by the thermocompression bonding tool is preferably performed at a temperature of 160° C. or lower, more preferably 140° C. or lower, and still more preferably 120° C. or lower. By applying pressure at such a low temperature, the influence of heat on the first electronic component 20 and the second electronic component 22 can be suppressed. Further, the pressing pressure by the thermocompression bonding tool is preferably 0.1 MPa to 100 MPa, for example. The heating and pressing time can be, for example, 0.5 to 120 seconds.

また、圧着ツールと第2の電子部品22との間には緩衝材を使用してもよい。緩衝材としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE:polytetrafluoroethylene)、ポリイミド、ガラスクロス、シリコンラバーなどを用いることができる。 A cushioning material may also be used between the crimping tool and the second electronic component 22 . As the cushioning material, polytetrafluoroethylene (PTFE), polyimide, glass cloth, silicon rubber, or the like can be used.

光照射は、第1の電子部品20側から行ってもよいし、第2の電子部品22側から行ってもよい。また、光照射は、熱圧着ツールの横側から行ってもよい。また、光照射は、照度を一定としてもよく、段階的又は連続的に照度を上昇又は下降させてもよい。光照射される光としては、紫外線(UV:ultraviolet)、可視光線(visible light)、赤外線(IR:infrared)などの波長帯域から異方性導電フィルムの硬化システムに応じて選択することができる。これらの中でも、光照射器より照射される光は、エネルギーが高い紫外線を含むことが好ましい。 Light irradiation may be performed from the first electronic component 20 side or may be performed from the second electronic component 22 side. Moreover, light irradiation may be performed from the lateral side of the thermocompression bonding tool. Further, the light irradiation may have a constant illuminance, or may be stepwise or continuously increased or decreased in illuminance. The light to be irradiated can be selected from wavelength bands such as ultraviolet (UV), visible light, infrared (IR), etc., according to the curing system of the anisotropic conductive film. Among these, it is preferable that the light emitted from the light irradiator contains ultraviolet rays having high energy.

紫外線は、10nm~400nmの波長であり、波長が短い紫外線は、エネルギーが大きい反面、樹脂内部まで到達し難い性質があり、一方、波長が長い紫外線は、エネルギーはやや小さいものの比較的樹脂内部まで浸透し易い性質がある。また、波長が200nm以下になると酸素を分解するのに消費されたり、酸素に吸収されたりし易い。このため、光照射器から照射される光は、波長が200nm以上の近紫外線を含むことが好ましい。近紫外線を含む光を照射する光源としては、例えば、波長248nm、313nm、334nm、365nm、405nm、436nmを高出力する高圧水銀ランプなどが挙げられる。 Ultraviolet rays have a wavelength of 10 nm to 400 nm. Ultraviolet rays with short wavelengths have high energy, but on the other hand, it is difficult for them to reach the inside of the resin. It has permeable properties. In addition, when the wavelength is 200 nm or less, it is likely to be consumed to decompose oxygen or to be absorbed by oxygen. Therefore, the light emitted from the light irradiator preferably contains near-ultraviolet rays having a wavelength of 200 nm or more. Examples of the light source that emits light containing near-ultraviolet rays include high-pressure mercury lamps that output high wavelengths of 248 nm, 313 nm, 334 nm, 365 nm, 405 nm, and 436 nm.

第2の電子部品22は、第1の電子部品20の端子列20aに対向する端子列22aを備える。第2の電子部品22は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。第2の電子部品22としては、例えば、IC(Integrated Circuit)、フレキシブル基板(FPC:Flexible Printed Circuits)、テープキャリアパッケージ(TCP)基板、ICをFPCに実装したCOF(Chip On Film)などが挙げられる。 The second electronic component 22 has a terminal row 22a that faces the terminal row 20a of the first electronic component 20 . The second electronic component 22 is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. Examples of the second electronic component 22 include an IC (Integrated Circuit), a flexible printed circuit (FPC), a tape carrier package (TCP) substrate, and a COF (Chip On Film) in which an IC is mounted on an FPC. be done.

以上のような接続体の製造方法によれば、第1のゴム粒子及び第2のゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率を前述の範囲とした異方性導電フィルムを用いることにより、押圧時の導電粒子含有層の変形量を小さくし、内部応力を低減させることができるため、基板の反りを抑制し、導通抵抗及び接合強度が良好な接続体を得ることができる。 According to the manufacturing method of the connected body as described above, by using the anisotropic conductive film in which the storage elastic modulus at 20° C. of the first rubber particles and the second rubber particles is within the above range, Since the amount of deformation of the conductive particle-containing layer can be reduced and the internal stress can be reduced, it is possible to suppress warping of the substrate and obtain a connection body with good conduction resistance and bonding strength.

なお、上記実施の形態では、第2の電子部品22を熱圧着ツールにより押圧し、光を照射し、異方性導電フィルムを硬化させることとしたが、押圧と光照射の順番や光照射の連続性は、特に限定されるものではない。例えば、電子部品を加熱ツールにより押圧する前に予め異方性導電フィルムを硬化させてもよい。すなわち、先に光を照射して異方性導電フィルムを硬化させ、第2の電子部品22を熱圧着ツールにより押圧してもよい。また、熱圧着ツールによる押圧と同時に光照射を行ってもよく、光照射を仮圧着と本圧着とで分けて行ってもよい。 In the above embodiment, the second electronic component 22 is pressed by a thermocompression bonding tool and irradiated with light to cure the anisotropic conductive film. Continuity is not particularly limited. For example, the anisotropic conductive film may be cured in advance before pressing the electronic component with the heating tool. That is, the anisotropic conductive film may be cured by irradiating light first, and then the second electronic component 22 may be pressed by a thermocompression bonding tool. Moreover, the light irradiation may be performed simultaneously with the pressing by the thermocompression bonding tool, or the light irradiation may be performed separately for the temporary compression bonding and the final compression bonding.

<4.実施例>
以下、本技術の実施例について説明する。本実施例では、導電粒子を含有する第1の樹脂層と、第2の樹脂層とを貼り合わせ、異方性導電フィルムを作製した。なお、本技術は、これらの実施例に限定されるものではない。
<4. Example>
Examples of the present technology will be described below. In this example, a first resin layer containing conductive particles and a second resin layer were laminated to prepare an anisotropic conductive film. Note that the present technology is not limited to these examples.

本実施例では以下の化合物を用いた。
フェノキシ樹脂:FA290(新日鐵住金化学(株))
2官能エポキシ化合物:840-S(DIC(株))
光カチオン重合開始剤:IRGACURE 290(BASFジャパン(株))
導電粒子:平均粒径3.2μm
粒子A:コアシェル構造架橋ゴム粒子(平均粒子径100nm、20℃における貯蔵弾性率1102MPa)
粒子B:アクリル系ゴム粒子(平均粒子径70nm、20℃における貯蔵弾性率1373MPa)
粒子C:アクリル系ゴム粒子(平均粒子径300nm、20℃における貯蔵弾性率860MPa)
粒子D:アクリル系ゴム粒子(平均粒子径600nm、20℃における貯蔵弾性率646MPa)
粒子E:メタクリルシラン処理シリカ粒子(平均粒子径10nm、20℃における貯蔵弾性率3384MPa)
The following compounds were used in this example.
Phenoxy resin: FA290 (Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
Bifunctional epoxy compound: 840-S (DIC Corporation)
Photocationic polymerization initiator: IRGACURE 290 (BASF Japan Ltd.)
Conductive particles: average particle size 3.2 μm
Particle A: core-shell structure crosslinked rubber particles (average particle diameter 100 nm, storage elastic modulus 1102 MPa at 20°C)
Particle B: Acrylic rubber particles (average particle diameter 70 nm, storage elastic modulus 1373 MPa at 20°C)
Particle C: Acrylic rubber particles (average particle diameter 300 nm, storage elastic modulus 860 MPa at 20°C)
Particle D: Acrylic rubber particles (average particle diameter 600 nm, storage elastic modulus 646 MPa at 20°C)
Particle E: methacrylsilane-treated silica particles (average particle diameter 10 nm, storage modulus 3384 MPa at 20°C)

粒子の20℃における貯蔵弾性率は、次の方法で測定した。まず、重量比が1:1となるようにフェノキシ樹脂(FA290(新日鐵住金化学(株))と粒子とを分散させ、バーコータでフィルム化した。そして、得られたフィルムを粘弾性測定装置(エー・アンド・デイ社製)を用いて引張モード(周波数10Hz、昇温3℃/分)で貯蔵弾性率(E’)を測定した際の20℃における貯蔵弾性率を「ゴム粒子の20℃における貯蔵弾性率」とした。 The storage modulus of the particles at 20°C was measured by the following method. First, a phenoxy resin (FA290 (Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) and particles were dispersed so that the weight ratio was 1:1, and the film was formed with a bar coater. (manufactured by A&D Co., Ltd.) in tensile mode (frequency 10 Hz, temperature rise 3 ° C./min), the storage elastic modulus at 20 ° C. is "20% of rubber particles. storage modulus at °C”.

<実施例1-3、比較例1-6>
[異方性導電フィルムの作製]
フェノキシ樹脂60質量部、2官能エポキシ化合物30質量部、光カチオン重合開始剤2質量部、面密度が60000個/mm2となる量の導電粒子及び下記表に記載のゴム粒子を混合した。混合後の配合物を剥離処理したPET上に乾燥後の平均厚みが6μmとなるように塗布し、70℃で5分間乾燥させ、第1の樹脂層である導電粒子含有層を得た。
<Example 1-3, Comparative Example 1-6>
[Preparation of anisotropic conductive film]
60 parts by mass of a phenoxy resin, 30 parts by mass of a difunctional epoxy compound, 2 parts by mass of a photocationic polymerization initiator, conductive particles in an amount to give a surface density of 60,000 particles/mm 2 , and rubber particles shown in the table below were mixed. The mixture after mixing was coated on PET that had been subjected to release treatment so that the average thickness after drying was 6 μm, and dried at 70° C. for 5 minutes to obtain a conductive particle-containing layer, which was the first resin layer.

フェノキシ樹脂20質量部、2官能エポキシ化合物30質量部、光カチオン重合開始剤2質量部及び下記表に記載のゴム粒子を均一に混合した。混合後の配合物を剥離処理したPET上に乾燥後の平均厚みが14μmとなるように塗布し、70℃で5分間乾燥させ第2の樹脂層である絶縁性樹脂層を得た。 20 parts by mass of a phenoxy resin, 30 parts by mass of a bifunctional epoxy compound, 2 parts by mass of a photocationic polymerization initiator, and rubber particles shown in the table below were uniformly mixed. The mixture after mixing was coated on the release-treated PET so that the average thickness after drying was 14 μm, and dried at 70° C. for 5 minutes to obtain an insulating resin layer as a second resin layer.

ロールラミネータを用いて、導電粒子含有層と絶縁性樹脂層とをラミネートし、2層構造の異方性導電フィルムを得た。 Using a roll laminator, the conductive particle-containing layer and the insulating resin layer were laminated to obtain an anisotropic conductive film having a two-layer structure.

[接続体の作製]
評価素子として、以下の条件の評価用ICを用いた。
外形;1.8mm×20mm
バンプ高さ;15μm
[Preparation of connecting body]
As an evaluation element, an IC for evaluation under the following conditions was used.
Outline: 1.8mm x 20mm
Bump height; 15 μm

評価用ICが接続される評価基材として、厚さ0.5mmのITOコーティングガラスを用いた。 ITO-coated glass with a thickness of 0.5 mm was used as an evaluation substrate to which the evaluation IC was connected.

異方性導電フィルムの導電粒子含有層側が評価基材に接するように、異方性導電フィルムを評価基材に載置した。異方性導電フィルムの絶縁性樹脂層上に、評価用ICを載置した後、熱加圧及び紫外線照射を行うことにより異方性導電フィルムを硬化させ、接続体を得た。 The anisotropic conductive film was placed on the evaluation substrate so that the conductive particle-containing layer side of the anisotropic conductive film was in contact with the evaluation substrate. After placing the IC for evaluation on the insulating resin layer of the anisotropic conductive film, the anisotropic conductive film was cured by heat pressurization and ultraviolet irradiation to obtain a connected body.

熱加圧は、評価用IC側から、加熱押圧ヘッドにより圧着条件100℃、80MPa、5秒間で行った。なお、加熱押圧ヘッドの温度は、熱加圧開始から5秒後に100℃に到達するように設定した。熱加圧は、熱圧着ヘッドと評価用ICとの間に、緩衝材として厚み50μmのテフロン(登録商標)シートを介して行った。 The heat press was performed from the side of the evaluation IC using a heat press head under the conditions of 100° C., 80 MPa, and 5 seconds. The temperature of the heating and pressing head was set so as to reach 100° C. 5 seconds after the start of heating and pressing. Thermal compression was performed by interposing a Teflon (registered trademark) sheet having a thickness of 50 μm as a cushioning material between the thermocompression head and the IC for evaluation.

紫外線照射は、評価基材側から紫外線照射器(ZUV-C30H:オムロン株式会社製)を用いて行った。紫外線照射は、熱加圧開始から1秒間後に開始し、4秒間行った(積算光量800mJ/cm)。 The ultraviolet irradiation was carried out from the side of the substrate for evaluation using an ultraviolet irradiator (ZUV-C30H: manufactured by Omron Co., Ltd.). The ultraviolet irradiation was started 1 second after the start of heat pressurization and continued for 4 seconds (accumulated amount of light 800 mJ/cm 2 ).

[接続体の導通抵抗値]
接続体サンプルについて、初期の接続抵抗値(Ω)及び信頼性試験後の接続抵抗値(Ω)を測定した。接続抵抗値の測定は、評価用ICのバンプと接続された評価基材の配線にデジタルマルチメータを接続し、4端子法で電流2mAを流したときの抵抗値を測定した。初期の接続抵抗値が2Ω以下であり、信頼性試験後の接続抵抗値が10Ω以下であったものをOKと評価し、それ以外をNGと評価した。信頼性試験の条件は、温度85℃、相対湿度85%、500時間とした。
[Continuity resistance value of connection body]
The initial connection resistance value (Ω) and the connection resistance value (Ω) after the reliability test were measured for the connection body sample. The connection resistance value was measured by connecting a digital multimeter to the wiring of the evaluation substrate connected to the bumps of the evaluation IC, and measuring the resistance value when a current of 2 mA was applied by the four-terminal method. The initial connection resistance value of 2Ω or less and the connection resistance value of 10Ω or less after the reliability test were evaluated as OK, and the others were evaluated as NG. The reliability test conditions were a temperature of 85° C., a relative humidity of 85%, and 500 hours.

[接続体のダイシェア強度]
各接続体サンプルについて、ボンドテスター(シリーズ4000、ノードソン・アドバンテスト・テクノロジー社製)を用いて、ツールスピード0.2mm/秒の条件で、評価用ICのダイシェア強度を測定した。
[Die shear strength of connecting body]
For each connecting body sample, the die shear strength of the evaluation IC was measured using a bond tester (series 4000, manufactured by Nordson Advantest Technologies, Inc.) at a tool speed of 0.2 mm/sec.

[判定]
接続体の初期の接続抵抗値が2Ω以下、信頼性試験後の接続抵抗値が10Ω以下、及び、接続体のダイシェア強度が30MPa以上であったものをOKと評価し、それ以外をNGと評価した。
[judgement]
The initial connection resistance value of the connection body was 2 Ω or less, the connection resistance value after the reliability test was 10 Ω or less, and the connection body had a die shear strength of 30 MPa or more. bottom.

Figure 0007234032000001
Figure 0007234032000001

表1に示す結果から、粒子と膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合の20℃における貯蔵弾性率が1000MPa以上1200MPa以下である第1のゴム粒子と、粒子と膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合の20℃における貯蔵弾性率が750MPa以上950MPa以下である第2のゴム粒子とを配合することにより、基板と電子部品との接続不良を抑制し、基板と電子部品との接着強度が良好になることが分かった。これは、押圧時の導電粒子含有層の変形量を小さくし、内部応力を低減させることができたためであると考えられる。 From the results shown in Table 1, the first rubber particles having a storage elastic modulus of 1000 MPa or more and 1200 MPa or less at 20°C when the particles and the film-forming resin are blended at a weight ratio of 1:1, the particles and the film-forming resin and second rubber particles having a storage elastic modulus of 750 MPa or more and 950 MPa or less at 20° C. when blended at a weight ratio of 1:1, suppressing poor connection between the substrate and the electronic component, It was found that the adhesive strength between the substrate and the electronic component was improved. It is considered that this is because the amount of deformation of the conductive particle-containing layer during pressing was reduced and the internal stress was reduced.

10 異方性導電フィルム、11 導電粒子含有層、12 絶縁性樹脂層、13 導電粒子、20 第1の電子部品、20a 端子列、22 第2の電子部品、22a 端子列、23 紫外線照射器、24 異方性導電膜 10 anisotropic conductive film, 11 conductive particle-containing layer, 12 insulating resin layer, 13 conductive particles, 20 first electronic component, 20a terminal row, 22 second electronic component, 22a terminal row, 23 ultraviolet irradiation device, 24 anisotropic conductive film

Claims (14)

膜形成樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有するバインダー中に第1のゴム粒子が分散された第1の樹脂層を形成する工程と、
前記バインダー中に第2のゴム粒子が分散された第2の樹脂層を形成する工程と、
前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層とを貼り合わせる工程とを有し、
前記第1のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が1000MPa以上1200MPa以下であり、
前記第2のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が750MPa以上950MPa以下である接着フィルムの製造方法。
forming a first resin layer in which first rubber particles are dispersed in a binder containing a film-forming resin, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator;
forming a second resin layer in which second rubber particles are dispersed in the binder;
A step of bonding the first resin layer and the second resin layer together,
When the first rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. Storage modulus at 20 ° C. is 1000 MPa or more and 1200 MPa or less,
In the case where the second rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. A method for producing an adhesive film having a storage modulus of 750 MPa or more and 950 MPa or less at 20°C.
前記第1の樹脂層における前記第1のゴム粒子の含有量が、前記バインダー90質量部に対して10質量部以上30質量部以下であり、
前記第2の樹脂層における前記第2のゴム粒子の含有量が、前記バインダー90質量部に対して10質量部以上30質量部以下である請求項1記載の接着フィルムの製造方法。
The content of the first rubber particles in the first resin layer is 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder,
2. The method for producing an adhesive film according to claim 1, wherein the content of said second rubber particles in said second resin layer is 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of said binder.
前記第1のゴム粒子及び前記第2のゴム粒子の平均粒子径が、500nm以下である請求項1又は2記載の接着フィルムの製造方法。 3. The method for producing an adhesive film according to claim 1, wherein the average particle size of said first rubber particles and said second rubber particles is 500 nm or less. 前記第1の樹脂層における前記膜形成樹脂の含有量が、前記バインダー90質量部に対して30質量部以上60質量部以下であり、
前記第2の樹脂層における前記膜形成樹脂の含有量が、前記バインダー90質量部に対して30質量部以上60質量部以下である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の接着フィルムの製造方法。
The content of the film-forming resin in the first resin layer is 30 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder,
4. The adhesive film according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the film-forming resin in the second resin layer is 30 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder. Production method.
前記第1の樹脂層が、前記バインダー中に導電粒子をさらに分散してなる請求項1乃至4のいずれか1項に記載の接着フィルムの製造方法。 5. The method for producing an adhesive film according to claim 1, wherein said first resin layer further comprises conductive particles dispersed in said binder. 膜形成樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有するバインダー中に第1のゴム粒子が分散された第1の樹脂層と、
前記バインダー中に第2のゴム粒子が分散された第2の樹脂層とを備え、
前記第1のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が1000MPa以上1200MPa以下であり、
前記第2のゴム粒子と前記膜形成樹脂とを1:1の重量比で配合した場合において、粘弾性測定装置を用いて引張モードで周波数10Hz、昇温速度3℃/minの条件で測定した20℃における貯蔵弾性率が750MPa以上950MPa以下である接着フィルム。
a first resin layer in which first rubber particles are dispersed in a binder containing a film-forming resin, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator;
a second resin layer in which second rubber particles are dispersed in the binder;
When the first rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. Storage modulus at 20 ° C. is 1000 MPa or more and 1200 MPa or less,
In the case where the second rubber particles and the film-forming resin were blended at a weight ratio of 1:1, measurement was performed using a viscoelasticity measuring device under conditions of a frequency of 10 Hz and a temperature increase rate of 3°C/min in a tensile mode. An adhesive film having a storage modulus of 750 MPa or more and 950 MPa or less at 20°C.
前記第1の樹脂層における前記第1のゴム粒子の含有量が、前記バインダー90質量部に対して10質量部以上30質量部以下であり、
前記第2の樹脂層における前記第2のゴム粒子の含有量が、前記バインダー90質量部に対して10質量部以上30質量部以下である請求項6記載の接着フィルム。
The content of the first rubber particles in the first resin layer is 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder,
7. The adhesive film according to claim 6, wherein the content of said second rubber particles in said second resin layer is 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of said binder.
前記第1のゴム粒子及び前記第2のゴム粒子の平均粒子径が、1μm以下である請求項6又は7記載の接着フィルム。 8. The adhesive film according to claim 6, wherein the average particle size of said first rubber particles and said second rubber particles is 1 [mu]m or less. 前記第1の樹脂層における前記膜形成樹脂の含有量が、前記バインダー90質量部に対して30質量部以上60質量部以下であり、
前記第2の樹脂層における前記膜形成樹脂の含有量が、前記バインダー90質量部に対して30質量部以上60質量部以下である請求項6乃至8のいずれか1項に記載の接着フィルム。
The content of the film-forming resin in the first resin layer is 30 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder,
9. The adhesive film according to any one of claims 6 to 8, wherein the content of the film-forming resin in the second resin layer is 30 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 90 parts by mass of the binder.
前記第1の樹脂層が、前記バインダー中に導電粒子をさらに含有してなる請求項6乃至9のいずれか1項に記載の接着フィルム。 10. The adhesive film according to any one of claims 6 to 9, wherein said first resin layer further contains conductive particles in said binder. 前記請求項6乃至9のいずれか1項に記載の接着フィルムを用いて、第1の部品と、第2の部品とを接続する接続体の製造方法。 10. A method for manufacturing a connecting body for connecting a first component and a second component using the adhesive film according to any one of claims 6 to 9. 前記請求項10に記載の接着フィルムを用いて、第1の電子部品の第1の端子と、第2の電子部品の第2の端子とを異方性接続する接続体の製造方法。 11. A method of manufacturing a connector for anisotropically connecting a first terminal of a first electronic component and a second terminal of a second electronic component using the adhesive film according to claim 10. 前記請求項6乃至9のいずれか1項に記載の接着フィルムを介して、第1の部品と、第2の部品とが接続された接続体。 A connection body in which a first component and a second component are connected via the adhesive film according to any one of claims 6 to 9. 前記請求項10に記載の接着フィルムを介して、第1の電子部品の第1の端子と、第2の電子部品の第2の端子とが異方性接続された接続体。 11. A connection body in which a first terminal of a first electronic component and a second terminal of a second electronic component are anisotropically connected via the adhesive film according to claim 10.
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