JP7231061B2 - 分布定数フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents

Description

本発明は、分布定数フィルタおよび当該分布定数フィルタを含むマルチプレクサに関する。

従来、分布定数フィルタが知られている。たとえば、特開２００７－３１８２７１号公報（特許文献１）には、４つの共振素子を含むフィルタが開示されている。当該４つの共振素子の各々は、両端部開放のマイクロストリップ線路が折り曲げられた構造を有し、当該フィルタの中心周波数とフィルタの帯域幅から定義される周波数範囲内にてほぼ半波長の整数倍となる電気長を有する。

分布定数フィルタの低損失化を実現する構成として、たとえば特開平４－４３７０３号公報（特許文献２）には、積層された複数のストリップ導体を含む対称型ストリップライン共振器が開示されている。複数のストリップ導体の両端部の各々において、当該複数のストリップ導体はスルーホールによって互いに接続されている。その結果、対称型ストリップライン共振器においては、両ストリップ導体に対して、信号が同位相で有利に入力され得る。

特開２００７－３１８２７１号公報 特開平４－４３７０３号公報

信号の波長が短くなるほど、当該信号に共振する分布定数線路共振器のサイズを小さくする必要がある。たとえばミリ波の信号のように、非常に短い波長を有する信号に分布定数フィルタを対応させるためには、分布定数線路共振器を非常に小型の導体によって形成する必要がある。その結果、分布定数線路共振器におけるスルーホール（ビア導体）の形成精度のばらつき、または位置精度のばらつきによって分布定数フィルタの特性が劣化し得る。

本発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は分布定数線路共振器における製造ばらつきおよび当該製造ばらつきによる分布定数フィルタの特性の劣化を低減することである。

本発明の一局面に係る分布定数フィルタは、少なくとも１つの共振器と、第１接地電極とを備える。少なくとも１つの共振器は、接地されない。第１接地電極は、第１方向において少なくとも１つの共振器と対向する。少なくとも１つの共振器の各々は、分布定数線路共振器である。少なくとも１つの共振器の各々は、複数の分布定数線路と、ビア導体とを含む。複数の分布定数線路は、第１方向に積層されている。ビア導体は、第１方向に延在する。複数の分布定数線路の各々は、当該分布定数線路の両端部のうち一方端部のみにおいてビア導体に接続されている。

本発明の他の局面に係る分布定数線路共振器は、複数の分布定数線路と、ビア導体とを備える。複数の分布定数線路は、第１方向に積層され、接地されない。ビア導体は、第１方向に延在する。複数の分布定数線路の各々は、当該分布定数線路の両端部のうち一方端部のみにおいてビア導体に接続されている。

本発明に係る分布定数フィルタによれば、複数の分布定数線路の各々が当該分布定数線路の両端部のうち一方端部のみにおいてビア導体に接続されていることにより、分布定数線路共振器の製造ばらつきによる分布定数フィルタの特性の劣化を低減することができる。

本発明に係る分布定数線路共振器によれば、複数の分布定数線路の各々が当該分布定数線路の両端部のうち一方端部のみにおいてビア導体に接続されていることにより、製造ばらつきを低減することができる。

実施の形態１に係る分布定数フィルタの外観斜視図である。 図１の分布定数フィルタをＺ軸方向から平面視した図である。 図１の分布定数フィルタをＸ軸方向から平面視した図である。 図１の分布定数フィルタの内部に形成された複数の電極を示す図である。 実施の形態１の比較例１に係る分布定数フィルタの誘電体基板内部の斜視図である。 分布定数線路共振器において積層された分布定数線路の数（積層数）と当該分布定数線路共振器の急峻性の指標である無負荷Ｑ値の比との関係を示す図である。 積層数と電界結合の結合係数との関係を示す図である。 積層数と磁界結合の結合係数との関係を示す図である。 図４の分布定数フィルタの通過特性（実線）および図５の分布定数フィルタの通過特性（点線）を併せて示す図である。 実施の形態１の変形例１に係る分布定数フィルタの誘電体基板内部の電極の斜視図である。 実施の形態１の変形例２に係る分布定数フィルタの誘電体基板内部の電極の斜視図である。 図１０の分布定数フィルタの通過特性（実線）および図１１の分布定数フィルタの通過特性（点線）を併せて示す図である。 実施の形態１の変形例３に係る分布定数フィルタの誘電体基板内部の電極の斜視図である。 実施の形態１の変形例４に係る分布定数フィルタをＹ軸方向から平面視した図である。 実施の形態２に係る分布定数フィルタの外観斜視図である。 実施の形態２に係る分布定数フィルタの斜視図である。 図１５のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ線断面図である。 実施の形態３に係る分布定数フィルタの斜視図である。 図１８の分布定数線路共振器にｏｄｄモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。 図１８の分布定数線路共振器にｅｖｅｎモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。 図１６の分布定数線路共振器にｏｄｄモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。 図１６の分布定数線路共振器にｅｖｅｎモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。 実施の形態３の変形例に係る分布定数フィルタの斜視図である。 実施の形態４に係るアンテナモジュールの断面図である。 実施の形態５に係るマルチプレクサの一例であるデュプレクサの等価回路図である。 図２５のデュプレクサを形成する複数の電極を示す斜視図である。

以下、実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は原則として繰り返さない。

［実施の形態１］
図１は、実施の形態１に係る分布定数フィルタ１の外観斜視図である。図２は、図１の分布定数フィルタ１をＺ軸方向から平面視した図である。図３は、図１の分布定数フィルタ１をＸ軸方向から平面視した図である。図４は、図１の分布定数フィルタ１の内部に形成された複数の電極を示す図である。図１～図４において、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸は互いに直交している。後に説明する図５、図１０、図１１、図１３～図２３、図２４、および図２６においても同様である。

図１～図４を参照しながら、分布定数フィルタ１は、たとえば直方体状である。分布定数フィルタ１は、誘電体基板１００と、分布定数線路共振器１３１（第１共振器）と、分布定数線路共振器１３２（第３共振器）と、分布定数線路共振器１３３（第４共振器）と、分布定数線路共振器１３４（第２共振器）と、接地電極１２１（第１接地電極）と、接地電極１２２（第２接地電極）と、接地導体部１５０と、結合電極１２０と、入出力端子Ｐ１１（第１端子）と、入出力端子Ｐ１２（第２端子）とを備える。

図１を参照しながら、誘電体基板１００は、複数の誘電体層がＺ軸方向（第１方向）に積層されることによって形成されている。Ｚ軸方向に垂直な誘電体基板１００の最外層の面を上面ＵＦ１および底面ＢＦ１とする。上面ＵＦ１および底面ＢＦ１は、Ｚ軸方向に対向している。Ｚ軸方向に平行な面のうちＺＸ平面と平行な面を側面Ｆ１１およびＦ１３とする。Ｚ軸方向に平行な面のうちＹＺ平面と平行な面を側面Ｆ１２およびＦ１４とする。

底面ＢＦ１には、接地電極１２１が形成されている。接地電極１２１は、底面ＢＦ１を覆っている。上面ＵＦ１には、接地電極１２２が配置されている。接地電極１２２は、上面ＵＦ１を覆っている。側面Ｆ１４，Ｆ１２には、入出力端子Ｐ１１，Ｐ１２がそれぞれ露出している。

図２および図３を参照しながら、接地導体部１５０は、複数のビア導体Ｖ１０を含む。分布定数線路共振器１３１～１３４は、接地電極１２１と１２２との間に配置されているとともに、複数のビア導体Ｖ１０に囲まれている。複数のビア導体Ｖ１０の各々は、接地電極１２１と１２２とを接続している。分布定数線路共振器１３１～１３４は、Ｚ軸方向において接地電極１２１と１２２とに挟まれているストリップラインである。

分布定数線路共振器１３１～１３４の各々は、接地されていない。分布定数線路共振器１３１～１３４の各々の両端部は、電圧が変化し得る開放端である。分布定数線路共振器１３１～１３４の各々において信号が通過可能な経路の最大長さは、分布定数フィルタ１を通過可能な所望の信号の誘電体基板１００内の波長（特定波長）の２分の１である。すなわち、分布定数線路共振器１３１～１３４の各々は、λ／２共振器である。分布定数フィルタ１は、４つのλ／２共振器から形成される４段の分布定数フィルタである。分布定数フィルタ１の段数（共振器の数）は、２段、あるいは３段であってもよいし、５段以上であってもよい。なお、誘電体基板１００内の信号の波長は、誘電体基板１００の誘電率の大きさに応じて、真空中の当該信号の波長よりも短縮される。

図４も併せて参照しながら、分布定数線路共振器１３１は、複数の分布定数線路１４１と、ビア導体Ｖ１１とを含む。複数の分布定数線路１４１は、Ｚ軸方向に積層されている。ビア導体Ｖ１１は、Ｚ軸方向に延在している。分布定数線路共振器１３１は、端部１３１１（第１端部）と、端部１３１２（第２端部）と、中間部１３１３とから形成されている。中間部１３１３は、Ｙ軸方向（第２方向）に延在し、端部１３１１と１３１２とを接続している。複数の分布定数線路１４１の各々は、端部１３１２においてビア導体Ｖ１１に接続されている。複数の分布定数線路１４１の各々は、端部１３１１においてビア導体Ｖ１１に接続されていてもよい。Ｘ軸方向（第３方向）における端部１３１１の長さ（幅）ｗ１１および端部１３１２の幅ｗ１２は、中間部１３１３の幅ｗ１３より長い。幅ｗ１２は、幅ｗ１１と同じでもよいし、異なっていてもよい。

分布定数線路共振器１３４は、複数の分布定数線路１４４と、ビア導体Ｖ１４とを含む。複数の分布定数線路１４４は、Ｚ軸方向に積層されている。ビア導体Ｖ１４は、Ｚ軸方向に延在している。分布定数線路共振器１３４は、端部１３４１（第１端部）と、端部１３４２（第２端部）と、中間部１３４３とから形成されている。中間部１３４３は、Ｙ軸方向に延在し、端部１３４１と１３４２とを接続している。複数の分布定数線路１４４の各々は、端部１３４２においてビア導体Ｖ１４に接続されている。複数の分布定数線路１４４の各々は、端部１３４１においてビア導体Ｖ１４に接続されていてもよい。分布定数線路共振器１３４の構造は、Ｙ軸に平行な対称軸に関して分布定数線路共振器１３１の構造とほぼ線対称である。分布定数線路共振器１３１と同様に、端部１３４１の幅および端部１３４２の幅は、中間部１３４３の幅より長い。

分布定数線路共振器１３２は、複数の分布定数線路１４２と、ビア導体Ｖ１２とを含む。複数の分布定数線路１４２は、Ｚ軸方向に積層されている。ビア導体Ｖ１２は、Ｚ軸方向に延在している。分布定数線路共振器１３２は、端部１３２１（第１端部）と、端部１３２２（第２端部）と、中間部１３２３とから形成されている。中間部１３２３は、Ｙ軸方向に延在し、端部１３２１と１３２２とを接続している。複数の分布定数線路１４２の各々は、端部１３２２においてビア導体Ｖ１２に接続されている。複数の分布定数線路１４２の各々は、端部１３２１においてビア導体Ｖ１２に接続されていてもよい。端部１３２１の幅ｗ２１および端部１３２２の幅ｗ２２は、中間部１３１３の幅ｗ２３より長い。幅ｗ２２は、幅ｗ２１と同じでもよいし、異なっていてもよい。

分布定数線路共振器１３３は、複数の分布定数線路１４３と、ビア導体Ｖ１３とを含む。複数の分布定数線路１４３は、Ｚ軸方向に積層されている。ビア導体Ｖ１３は、Ｚ軸方向に延在している。分布定数線路共振器１３３は、端部１３３１（第１端部）と、端部１３３２（第２端部）と、中間部１３３３とから形成されている。中間部１３３３は、Ｙ軸方向に延在し、端部１３３１と１３３２とを接続している。複数の分布定数線路１４３の各々は、端部１３３２においてビア導体Ｖ１３に接続されている。複数の分布定数線路１４３の各々は、端部１３３１においてビア導体Ｖ１３に接続されていてもよい。分布定数線路共振器１３３の構造は、Ｙ軸に平行な対称軸に関して分布定数線路共振器１３２の構造とほぼ線対称である。分布定数線路共振器１３２と同様に、端部１３３１の幅および端部１３３２の幅は、中間部１３３３の幅より長い。

分布定数線路共振器１３１～１３４の各々の端部において、当該分布定数線路共振器の複数の分布定数線路が互いに接続されることにより、当該複数の分布定数線路各々の電位（極性）が一致する。そのため、当該複数の分布定数線路の各々を流れる電流の共振モードを一致させることができる。その結果、当該複数の分布定数線路の各々を電流が流れる方向を一致させることができる。また、分布定数フィルタ１においては、分布定数線路共振器１３１～１３４の各々の複数の分布定数線路を流れる電流の向きを一致させるために必要なビア導体が１つであるため、ビア導体の形成に伴う製造ばらつきを低減することができる。

分布定数線路共振器１３１～１３４の各々においては、２つの端部よりも、中間部が細い。分布定数線路共振器１３１～１３４の各々は、当該分布定数線路共振器のインピーダンスがステップ状に変化するＳＩＲ（Stepped Impedance Resonator）である。分布定数線路共振器１３１～１３４の各々がＳＩＲであることにより、当該分布定数線路共振器が共振する基本波の周波数（共振周波数）を２次共振周波数の１／２以下にすることができる。その結果、分布定数線路共振器１３１～１３４の各々を小型化することができるとともに、不要波の高次共振周波数を共振周波数から相対的に遠ざけることができる。

分布定数線路共振器１３１と１３４とは、Ｘ軸方向において互いに対向している。分布定数線路共振器１３１は、分布定数線路共振器１３１の端部１３１１，１３１２において分布定数線路共振器１３４とは反対側に屈曲している。分布定数線路共振器１３４は、端部１３４１，１３４２において分布定数線路共振器１３１とは反対側に屈曲している。Ｘ軸方向における中間部１３１３と１３４３との間の距離は、端部１３１１と１３４１との間の距離および端部１３１２と１３４２との間の距離の各々よりも短い。磁界強度は中間部１３１３，１３４３で最も強くなり、電界強度は端部１３１１，１３４１および端部１３１２，１３４２で最も強くなる。その結果、分布定数線路共振器１３１，１３４においては、中間部１３１３と１３４３との間に生じる磁界結合が端部１３１１，１３４１の間で生じる電界結合および端部１３１２，１３４２の間で生じる電界結合の各々よりも強く、支配的である。

分布定数線路共振器１３２と１３３とは、Ｘ軸方向において互いに対向している。分布定数線路共振器１３２は、端部１３２１において分布定数線路共振器１３３の側に屈曲している。分布定数線路共振器１３３は、端部１３３１において分布定数線路共振器１３２の側に屈曲している。Ｘ軸方向における端部１３２１と１３３１との間の距離および端部１３２２と１３３２との間の距離は、中間部１３２３と１３３３との間の距離よりも短い。Ｘ軸方向における端部１３２２と１３３２との間の距離は、端部１３２１と１３３１との間の距離よりも長い。しかし、端部１３２２と１３３２との間に配置されている結合電極１２０によって端部１３２２と１３３２との間に生じる電界結合が強められる。その結果、分布定数線路共振器１３２，１３３においては、端部１３２１，１３３１の間で生じる電界結合および端部１３２２，１３３２の間で生じる電界結合の各々が中間部１３２３と１３３３との間に生じる磁界結合よりも強く、支配的である。

なお、分布定数線路共振器１３１，１３４において電界結合が支配的であるとともに、分布定数線路共振器１３２，１３３において磁界結合が支配的であってもよい。

入出力端子Ｐ１１，Ｐ１２の各々は、端部１３１２，１３４２にそれぞれ電気的に接続されている。入出力端子Ｐ１１に入力された信号は、入出力端子Ｐ１２から出力される。入出力端子Ｐ１２に入力された信号は、入出力端子Ｐ１１から出力される。なお、２つの回路素子が電気的に接続されている場合には、当該２つの回路素子が直接接続されている場合、および当該２つの回路素子が電界結合している場合が含まれる。分布定数フィルタ１においては、入出力端子Ｐ１１，Ｐ１２の各々は、Ｚ軸方向において端部１３１２，１３４２にそれぞれ対向し、電界結合している。

端部１３１１と１３２２とは、Ｙ軸方向において互いに対向し、電界結合している。端部１３４１と１３３２とは、Ｙ軸方向において互いに対向し、電界結合している。

図５は、実施の形態１の比較例１に係る分布定数フィルタ１０の誘電体基板内部の斜視図である。分布定数フィルタ１０の構成は、図４の分布定数線路共振器１３１～１３４が、分布定数線路共振器１１～１４にそれぞれ置き換えられた構成である。これら以外は同様であるため、説明を繰り返さない。図５に示されるように、分布定数線路共振器１１～１４の各々は、１つの分布定数線路から形成されている。

図６は、分布定数線路共振器において積層された分布定数線路の数（積層数）と当該分布定数線路共振器の急峻性の指標である無負荷Ｑ値の比との関係を示す図である。図６において、図５に示される分布定数線路共振器１１の無負荷Ｑ値を１とした場合の各積層数に対応する無負荷Ｑ値の比が示されている。積層数が５に対応する無負荷Ｑ値の比が図４に示される分布定数線路共振器１３１の無負荷Ｑ値の比である。図６に示されるように、積層数が増加するほど分布定数線路共振器の無負荷Ｑ値は増加する。

図７は、積層数と電界結合の結合係数との関係を示す図である。図７において積層数が１に対応する結合係数が図５に示される分布定数線路共振器１１と１２との間の電界結合の結合係数であり、積層数が５に対応する結合係数が図４に示される分布定数線路共振器１３１と１３２との間の電界結合の結合係数である。図７に示されるように、積層数が増加するほど分布定数線路共振器間の電界結合の結合係数は増加する。

図８は、積層数と磁界結合の結合係数との関係を示す図である。図８において積層数が１に対応する結合係数が図５に示される分布定数線路共振器１１と１４との間の磁界結合の結合係数であり、積層数が５に対応する結合係数が図４に示される分布定数線路共振器１３１と１３４との間の磁界結合の結合係数である。図８に示されるように、積層数が増加するほど分布定数線路共振器間の磁界結合の結合係数は増加する。

図９は、図４の分布定数フィルタ１の通過特性（実線）および図５の分布定数フィルタ１０の通過特性（点線）を併せて示す図である。通過特性とは、挿入損失の周波数特性である。図９の縦軸の減衰量は、０ｄＢから下に向かう方向に増加する。後に説明する図１２においても同様である。図９に示されるように、２６ＧＨｚ～３０ＧＨｚの周波数帯において、分布定数フィルタ１の挿入損失は、分布定数フィルタ１０の挿入損失よりも小さい。分布定数フィルタ１においては、複数の分布定数線路の積層構造により各分布定数線路共振器の無負荷Ｑ値が高められ、その結果、低損失化が実現されている。

分布定数フィルタ１においては、分布定数線路共振器１３１～１３４各々の積層数が等しい場合について説明した。分布定数線路共振器１３１～１３４各々の積層数は、異なっていてもよい。

図１０は、実施の形態１の変形例１に係る分布定数フィルタ１Ａの誘電体基板内部の電極の斜視図である。分布定数フィルタ１Ａの構成は、図４の分布定数線路共振器１３２，１３３が分布定数線路共振器１３２Ａ（第３共振器），分布定数線路共振器１３３Ａ（第４共振器）にそれぞれ置き換えられた構成である。分布定数線路共振器１３２Ａの構成は、図４の複数の分布定数線路１４２，ビア導体Ｖ１２が複数の分布定数線路１４２Ａ，ビア導体Ｖ１２Ａにそれぞれ置き換えられた構成である。分布定数線路共振器１３３Ａの構成は、図４の複数の分布定数線路１４３，ビア導体Ｖ１３が複数の分布定数線路１４３Ａ，ビア導体Ｖ１３Ａにそれぞれ置き換えられた構成である。これら以外は同様であるため説明を繰り返さない。

図１０に示されるように、複数の分布定数線路１４２Ａ，１４３Ａ各々の積層数は１０であり、複数の分布定数線路１４１，１４４各々の積層数は５である。分布定数線路共振器１３２Ａ，１３３Ａの各々の無負荷Ｑ値は、分布定数線路共振器１３１，１３４の各々の無負荷Ｑ値よりも大きい。

図１１は、実施の形態１の変形例２に係る分布定数フィルタ１Ｂの誘電体基板内部の電極の斜視図である。分布定数フィルタ１Ｂの構成は、図４の分布定数線路共振器１３１，１３４が分布定数線路共振器１３１Ｂ（第１共振器），分布定数線路共振器１３４Ｂ（第２共振器）にそれぞれ置き換えられた構成である。分布定数線路共振器１３１Ｂの構成は、図４の複数の分布定数線路１４１，ビア導体Ｖ１１が複数の分布定数線路１４１Ｂ，ビア導体Ｖ１１Ｂにそれぞれ置き換えられた構成である。分布定数線路共振器１３４Ｂの構成は、図４の複数の分布定数線路１４４，ビア導体Ｖ１４が複数の分布定数線路１４４Ｂ，ビア導体Ｖ１４Ｂにそれぞれ置き換えられた構成である。これら以外は同様であるため説明を繰り返さない。

図１１に示されるように、複数の分布定数線路１４１Ｂ，１４４Ｂ各々の積層数は１０であり、複数の分布定数線路１４２，１４３各々の積層数は５である。分布定数線路共振器１３１Ｂ，１３４Ｂの各々の無負荷Ｑ値は、分布定数線路共振器１３２，１３３の各々の無負荷Ｑ値よりも大きい。

図１２は、図１０の分布定数フィルタ１Ａの通過特性（実線）および図１１の分布定数フィルタ１Ｂの通過特性（点線）を併せて示す図である。図１２に示されるように、通過帯域において、分布定数フィルタ１Ａの挿入損失は、分布定数フィルタ１Ｂの挿入損失よりも小さい。通過帯域外において、分布定数フィルタ１Ａの減衰極における減衰量は、分布定数フィルタ１Ｂの減衰極における減衰よりも大きい。そのため、通過帯域から通過帯域外に向かう挿入損失の変化が分布定数フィルタ１Ｂより分布定数フィルタ１Ａの方が急峻となる。その結果、分布定数フィルタ１Ａにおいて、通過帯域の信号は通過させ、通過帯域外の信号は通過させないという信号のフィルタリング機能が分布定数フィルタ１Ｂよりも高められている。

入出力端子Ｐ１１，Ｐ１２にそれぞれ電気的に接続されている２つの分布定数線路共振器よりも、当該２つの分布定数線路共振器にそれぞれ電界結合している２つの分布定数線路共振器の無負荷Ｑ値を向上させる方が、分布定数フィルタの性能を向上させることができる。

分布定数フィルタ１Ａにおいては、分布定数線路共振器１３１，１３４各々の積層数が等しいとともに、分布定数線路共振器１３２Ａ，１３３Ａ各々の積層数が等しい場合について説明した。分布定数線路共振器１３１，１３４各々の積層数は異なっていてもよい。分布定数線路共振器１３２Ａ，１３３Ａ各々の積層数も異なっていてもよい。

図１３は、実施の形態１の変形例３に係る分布定数フィルタ１Ｃの誘電体基板内部の電極の斜視図である。分布定数フィルタ１Ｃの構成は、図１０の分布定数線路共振器１３３Ａ，１３４が分布定数線路共振器１３３Ｃ（第１共振器），分布定数線路共振器１３４Ｃ（第２共振器）にそれぞれ置き換えられた構成である。分布定数線路共振器１３３Ｃの構成は、図１０の複数の分布定数線路１４３Ａ，ビア導体Ｖ１３Ａが複数の分布定数線路１４３Ｃ，ビア導体Ｖ１３Ｃにそれぞれ置き換えられた構成である。分布定数線路共振器１３４Ｃの構成は、図１０の複数の分布定数線路１４４，ビア導体Ｖ１４が複数の分布定数線路１４４Ｃ，ビア導体Ｖ１４Ｃにそれぞれ置き換えられた構成である。これら以外は同様であるため説明を繰り返さない。

図１３に示されるように、複数の分布定数線路１４３Ｃの積層数は８であり、複数の分布定数線路１４４Ｃの積層数は３である。分布定数線路共振器１３１，１３４Ｃ各々の積層数は異なっている。分布定数線路共振器１３２，１３３Ｃ各々の積層数も異なっている。

製造コストの制限、設計領域の制限、または所望の特性に応じて、分布定数フィルタに含まれる複数の分布定数線路共振器の各々の積層数を適宜決定することができる。積層数の低減により、分布定数フィルタの製造コストおよび製造ばらつきを低減することができる。また、積層数が低減された分布定数線路共振器は低背化されるため、当該分布定数線路共振器に関するレイアウトの自由度を向上させることができる。

分布定数フィルタ１においては、分布定数線路共振器１３１～１３４の各々がストリップラインである場合について説明した。分布定数線路共振器１３１～１３４の各々は、Ｚ軸方向において一方側において接地電極と対向するマイクロストリップラインでもよい。

図１４は、実施の形態１の変形例４に係る分布定数フィルタ１ＤをＹ軸方向から平面視した図である。分布定数フィルタ１Ｄの構成は、図３の分布定数フィルタ１から接地電極１２２が除かれた構成である。分布定数フィルタ１Ｄは、分布定数フィルタ１から接地電極１２１が除かれた構成であってもよい。分布定数フィルタ１Ｄは、分布定数フィルタ１から複数のビア導体Ｖ１０、および接地電極１２１または１２２が除かれた構成であってもよい。

なお、分布定数線路共振器１３１～１３４の各々と底面ＢＦ１との距離ｈ１１と上面ＵＦ１との距離ｈ１２とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。また、分布定数線路共振器１３１～１３４が形成されている誘電体層の誘電率と、分布定数線路共振器１３１～１３４が形成されていない誘電体層の誘電率とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。

以上、実施の形態１および変形例１～４に係る分布定数フィルタによれば、分布定数線路共振器の製造ばらつきによる分布定数フィルタの特性の劣化を低減することができる。

実施の形態１では、４つの分布定数線路共振器を備える場合について説明した。実施の形態に係る分布定数フィルタが備える分布定数線路共振器の数は、４つに限定されない。以下では、２つの分布定数線路共振器を備える分布定数フィルタについて説明する。

［実施の形態２］
図１５および図１６は、実施の形態２に係る分布定数フィルタ２の斜視図である。図１７は、図１５のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ線断面図である。図１５～図１７を参照しながら、分布定数フィルタ２は、たとえば直方体状である。分布定数フィルタ２は、誘電体基板２００と、分布定数線路共振器２３１，２３２と、接地電極２２１（第１接地電極），接地電極２２２（第２接地電極）と、接地電極２１１～２１４と、入出力端子Ｐ２１（第１端子）と、入出力端子Ｐ２２（第２端子）とを備える。なお、図１６においては、分布定数フィルタ２の内部に形成された分布定数線路共振器２３１，２３２を見易くするため、図１５の誘電体基板２００を図示していない。誘電体基板２００の不図示について、図１８および図２３においても同様である。

誘電体基板２００は、複数の誘電体層がＺ軸方向（第１方向）に積層されることによって形成されている。分布定数線路共振器２３１，２３２の各々は、誘電体基板２００の内部においてＸ軸方向（第２方向）に延在している。分布定数線路共振器２３１のＸ軸方向の長さ、Ｙ軸方向の長さ、およびＺ軸方向の長さは、分布定数線路共振器２３２のＸ軸方向の長さ、Ｙ軸方向の長さ、およびＺ軸方向の長さとそれぞれ同じである。分布定数線路共振器２３１，２３２は、接地電極２２１と２２２との間において、Ｙ軸方向（第３方向）にこの順に並置されている。

入出力端子Ｐ２１，Ｐ２２の各々は、不図示のビア導体および線路導体を介して、分布定数線路共振器２３１，２３２にそれぞれ電気的に接続されている。入出力端子Ｐ２１に入力された信号は、入出力端子Ｐ２２から出力される。入出力端子Ｐ２２に入力された信号は、入出力端子Ｐ２１から出力される。

Ｚ軸方向に垂直な分布定数フィルタ２の最外層の面を上面ＵＦ２および底面ＢＦ２とする。上面ＵＦ２および底面ＢＦ２は、Ｚ軸方向に対向している。Ｚ軸方向に平行な面のうちＺＸ平面と平行な面を側面Ｆ２１およびＦ２３とする。Ｚ軸方向に平行な面のうちＹＺ平面と平行な面を側面Ｆ２２およびＦ２４とする。

底面ＢＦ２には、入出力端子Ｐ２１，Ｐ２２、および接地電極２２１が形成されている。入出力端子Ｐ２１，Ｐ２２、および接地電極２２１は、たとえば底面ＢＦ２に平面電極が規則的に配置されたＬＧＡ（Land Grid Array）端子である。底面ＢＦ２は、不図示の回路基板に接続される。

上面ＵＦ２には、接地電極２２２が配置されている。接地電極２２２は、上面ＵＦ２を覆っている。

側面Ｆ２１には、接地電極２１１，２１２が配置されている。接地電極２１１，２１２は、Ｘ軸方向に互いに離間して配置されている。接地電極２１１，２１２の各々は、接地電極２２１，２２２に接続されている。

側面Ｆ２３には、接地電極２１３，２１４が配置されている。接地電極２１３，２１４は、Ｘ軸方向に互いに離間して配置されている。接地電極２１３，２１４の各々は、接地電極２２１，２２２に接続されている。側面Ｆ２２，Ｆ２４には、接地電極が形成されていない。

分布定数線路共振器２３１，２３２の各々の両端部は、電圧が変化し得る開放端である。分布定数線路共振器２３１，２３２の各々のＸ軸方向の長さは、分布定数フィルタ２を通過可能な所望の信号の波長の２分の１である。すなわち、分布定数線路共振器２３１，２３２の各々は、λ／２共振器である。分布定数フィルタ２は、２つのλ／２共振器から形成される２段の分布定数フィルタである。分布定数フィルタ２の段数は、３段以上であってもよい。

分布定数線路共振器２３１，２３２は、複数の分布定数線路２４１，２４２をそれぞれ含む。複数の分布定数線路２４１の各々は、Ｘ軸方向に延在し、Ｚ軸方向を法線とする分布定数線路を形成している。複数の分布定数線路２４１の各々は、誘電体基板２００を形成する複数の誘電体層のいずれかに配置されている。すなわち、複数の分布定数線路２４１は、Ｚ軸方向に誘電体層の厚み分の間隔を空けて積層されている。複数の分布定数線路２４１においてＺ軸方向に隣接する導体の間隔は一定でなくてもよい。複数の分布定数線路２４２も、複数の分布定数線路２４１と同様に配置されている。

分布定数線路共振器２３１，２３２は、ビア導体Ｖ２１，Ｖ２２をそれぞれ含む。分布定数線路共振器２３１の一方端部において、複数の分布定数線路２４１は、ビア導体Ｖ２１によって互いに接続されている。分布定数線路共振器２３２の一方端部において、複数の分布定数線路２４２は、ビア導体Ｖ２２によって互いに接続されている。

以上、実施の形態２に係る分布定数フィルタによれば、分布定数線路共振器の製造ばらつきによる分布定数フィルタの特性の劣化を低減することができる。

［実施の形態３］
実施の形態２においては、分布定数線路共振器を形成する複数の分布定数線路の幅が一定である場合について説明した。当該分布定数線路共振器の延在方向から当該複数の分布定数線路を平面視すると、当該複数の分布定数線路は、全体として矩形を形成する。矩形のように尖った角部分を有する分布定数線路共振器に電流が流れると、当該角部分に電界集中が生じ易い。電界集中は、導体損失を生じさせるため、分布定数フィルタの挿入損失を悪化させる。

そこで、実施の形態３においては、分布定数線路共振器を形成する複数の分布定数線路において、最外層に近い導体の幅を中間層に近い導体の幅よりも短くする。当該分布定数線路共振器の延在方向から当該複数の分布定数線路を平面視すると、当該複数の分布定数線路は、全体として矩形の角部が丸められた形状を形成する。当該形状においては角部が尖っていないため、電界集中が緩和される。実施の形態３に係る分布定数フィルタによれば、導体損失が低減される。その結果、挿入損失を改善することができる。

図１８は、実施の形態３に係る分布定数フィルタ３の斜視図である。分布定数フィルタ３の構成は、図１６の分布定数線路共振器２３１，２３２が、分布定数線路共振器３３１，３３２にそれぞれ置き換えられた構成である。これ以外は同様であるため説明を繰り返さない。

図１８に示されるように、分布定数線路共振器３３１は、複数の分布定数線路３４１と、ビア導体Ｖ３１とを含む。複数の分布定数線路３４１の各々は、Ｘ軸方向に延在し、Ｚ軸方向を法線とする分布定数線路を形成している。

分布定数線路共振器３３１の両端部は、電圧が変化し得る開放端である。分布定数線路共振器３３１の一方端部において、複数の分布定数線路３４１は、ビア導体Ｖ３１によって互いに接続されている。

分布定数線路共振器３３２は、複数の分布定数線路３４２と、ビア導体Ｖ３２とを含む。複数の分布定数線路３４２の各々は、Ｘ軸方向に延在し、Ｚ軸方向を法線とする分布定数線路を形成している。

分布定数線路共振器３３２の両端部は、電圧が変化し得る開放端である。分布定数線路共振器３３２の一方端部において、複数の分布定数線路３４２は、ビア導体Ｖ３２によって互いに接続されている。

分布定数線路共振器３３１，３３２の各々のＸ軸方向の長さは、分布定数フィルタ３を通過可能な所望の信号の波長の２分の１である。すなわち、分布定数線路共振器３３１，３３２の各々は、λ／２共振器である。分布定数フィルタ３は、２つのλ／２共振器から形成される２段の分布定数フィルタである。分布定数フィルタ３の段数は、３段以上であってもよい。

複数の分布定数線路３４１，３４２は互いに同様の積層構造を有する。以下では、複数の分布定数線路３４１の積層構造について説明する。

複数の分布定数線路３４１は、分布定数線路３４１１（第１分布定数線路）と、分布定数線路３４１２（第２分布定数線路）と、分布定数線路３４１３（第３分布定数線路）と、分布定数線路３４１４（第３分布定数線路）とを含む。複数の分布定数線路３４１に含まれる導体のうち、分布定数線路３４１１および３４１２以外の導体は、分布定数線路３４１１と分布定数線路３４１２との間に積層されている。

分布定数線路共振器３３１の幅は、幅ｗ３３（特定長さ）である。分布定数線路３４１３，３４１４および分布定数線路３４１３と３４１４との間に積層されている導体の各々の幅も幅ｗ３３である。

分布定数線路３４１１の幅は、幅ｗ３１（＜ｗ３３）である。分布定数線路３４１２の幅は、幅ｗ３２（＜ｗ３３）である。幅ｗ３１とｗ３２とは異なっていてもよいし、等しくてもよい。

分布定数線路３４１１と分布定数線路３４１３との間に配置された分布定数線路の幅は、分布定数線路３４１１から３４１３に近づくにつれて徐々に長くなる。分布定数線路３４１２と分布定数線路３４１４との間に配置された分布定数線路の幅は、分布定数線路３４１２から３４１４に近づくにつれて徐々に長くなる。

図１９は、図１８の分布定数線路共振器３３１，３３２にｏｄｄモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。図２０は、図１８の分布定数線路共振器３３１，３３２にｅｖｅｎモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。ｏｄｄモードにおいては分布定数線路共振器３３１，３３２の各々を流れる電流の方向が逆となり、ｅｖｅｎモードにおいては分布定数線路共振器３３１，３３２の各々を流れる電流の方向が同じとなる。図１９および図２０に示されるように、分布定数線路共振器３３１，３３２の各々に含まれる複数の分布定数線路は、全体として矩形の角部が丸められた形状を形成している。

図２１は、図１６の分布定数線路共振器２３１，２３２にｏｄｄモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。図２２は、図１６の分布定数線路共振器２３１，２３２にｅｖｅｎモードにおいて高周波信号を流すシミュレーションにおける電界強度の分布を、Ｘ軸方向から平面視した図である。図２１および図２２に示されるように、分布定数線路共振器２３１，２３２の各々に含まれる複数の分布定数線路は、全体として角部分が尖った矩形を形成している。

ｏｄｄモードに関して図１９および図２１を比較するとともに、ｅｖｅｎモードに関して図２０および図２２を比較すると、図２１および図２２において分布定数線路共振器２３１，２３２の各々の最外層の導体の両端部に生じている電界集中が、図１９および図２０の分布定数線路共振器３３１，３３２の最外層の導体においては分散されている。分布定数フィルタ３によれば、電界集中の緩和により導体損失が低減される。その結果、分布定数フィルタ２よりも挿入損失を改善することができる。

分布定数線路共振器に含まれる複数の分布定数線路が全体として形成する形状は、円形であってもよい。なお、円形は、真円である必要はなく、また楕円形も含む。

図２３は、実施の形態３の変形例に係る分布定数フィルタ３Ａの斜視図である。分布定数フィルタ３Ａの構成は、図１８の複数の分布定数線路３４１，３４２が３４１Ａ，３４２Ａに置き換えられた構成である。これ以外は同様であるため説明を繰り返さない。

図２３に示されるように、Ｘ軸方向から複数の分布定数線路３４１Ａ，３４２Ａを平面視したとき、複数の分布定数線路３４１Ａ，３４２Ａの各々は、全体として円形を形成している。

複数の分布定数線路３４１Ａは、分布定数線路３４３１（第１分布定数線路）と、分布定数線路３４３２（第２分布定数線路）と、分布定数線路３４３３（第３分布定数線路）とを含む。複数の分布定数線路３４１Ａに含まれる導体のうち、分布定数線路３４３１および３４３２以外の導体は、分布定数線路３４３１と分布定数線路３４３２との間に積層されている。

分布定数線路３４３３の幅は、幅ｗ３３である。分布定数線路３４３１の幅は、幅ｗ３４（＜ｗ３３）である。分布定数線路３４３２の幅は、幅ｗ３５（＜ｗ３３）である。幅ｗ３４とｗ３５とは異なっていてもよいし、等しくてもよい。

分布定数線路３４３１と分布定数線路３４３３との間に配置された導体の幅は、分布定数線路３４３１から３４３３に近づくにつれて徐々に長くなる。分布定数線路３４３２と分布定数線路３４３３との間に配置された導体の幅は、分布定数線路３４３２から３４３３に近づくにつれて徐々に長くなる。

以上、実施の形態３および変形例に係る分布定数フィルタによれば、分布定数線路共振器の製造ばらつきによる分布定数フィルタの特性の劣化を低減することができるとともに、低損失化を実現することができる。

［実施の形態４］
実施の形態４においては、積層された複数の分布定数線路がアンテナ素子として機能する構成について説明する。

図２４は、実施の形態４に係るアンテナモジュール４の断面図である。図２４に示されるように、アンテナモジュール４は、誘電体基板２００Ａと、分布定数線路共振器２３１Ａと、接地電極２２１Ａと、ビア導体Ｖ２１Ａとを備える。

誘電体基板２００Ａは、複数の誘電体層がＺ軸方向に積層されることによって形成されている。分布定数線路共振器２３１Ａは、誘電体基板２００Ａの内部においてＸ軸方向に延在している。

分布定数線路共振器２３１Ａは、複数の分布定数線路２４１Ａを含む。複数の分布定数線路２４１Ａの各々は、Ｘ軸方向に延在し、Ｚ軸方向を法線とする分布定数線路を形成している。複数の分布定数線路２４１Ａの各々は、誘電体基板２００Ａを形成する複数の誘電体層のいずれかに配置されている。すなわち、複数の分布定数線路２４１Ａは、Ｚ軸方向に誘電体層の厚み分の間隔を空けて積層されている。複数の分布定数線路２４１ＡにおいてＺ軸方向に隣接する導体の間隔は一定でなくてもよい。

ビア導体Ｖ２１Ａは、接地電極２２１Ａを貫通している。ビア導体Ｖ２１Ａは、接地電極２２１Ａから絶縁されている。ビア導体Ｖ２１Ａは、複数の分布定数線路２４１Ａを、たとえばＲＦＩＣ（Radio Frequency Integrated Circuit）に接続する。複数の分布定数線路２４１Ａは、ＲＦＩＣからの高周波信号をアンテナモジュール４の外部に送信する。複数の分布定数線路２４１Ａは、アンテナモジュール４の外部から高周波信号を受信して、当該高周波信号をＲＦＩＣに伝達する。すなわち、分布定数線路２４１Ａは、アンテナ素子として機能する。

以上、実施の形態４に係るアンテナモジュールによれば、分布定数線路共振器の製造ばらつきによるアンテナモジュールの特性の劣化を低減することができるとともに、低損失化を実現することができる。

［実施の形態５］
実施の形態５においては、実施の形態１～３に係る分布定数フィルタを含むマルチプレクサについて説明する。

図２５は、実施の形態５に係るマルチプレクサの一例であるデュプレクサ５の等価回路図である。図２５に示されるように、デュプレクサ５は、分布定数フィルタ１Ｅ，１Ｆと、共通端子Ｐｃｏｍとを備える。分布定数フィルタ１Ｅは、端子Ｐ１１Ｅ（第１端子）と、端子Ｐ１２Ｅ（第２端子）とを含む。分布定数フィルタ１Ｆは、端子Ｐ１１Ｆ（第１端子）と、端子Ｐ１２Ｆ（第２端子）とを含む。共通端子Ｐｃｏｍは、分布定数フィルタ１Ｅの端子Ｐ１２Ｅに接続されているとともに、分布定数フィルタ１Ｆの端子Ｐ１１Ｆに接続されている。分布定数フィルタ１Ｅの通過帯域は、分布定数フィルタ１Ｆの通過帯域と異なる。すなわち、分布定数フィルタ１Ｅのサイズは、分布定数フィルタ１Ｆのサイズと異なる。

図２６は、図２５のデュプレクサ５を形成する複数の電極を示す斜視図である。図２６においては、図２５の分布定数フィルタ１Ｅ，１Ｆの各々が実施の形態１に係る分布定数フィルタである場合が示されている。分布定数フィルタ１Ｅ，１Ｆに含まれる複数の電極の各々の参照符号から最後のアルファベットを除いた参照符号は、図４に示される複数の電極のうち、当該電極が対応する電極を示す。分布定数フィルタ１Ｅ，１Ｆの各々の構造は、図４に示される分布定数フィルタ１と同様であるため、説明を繰り返さない。図２６に示されるように、端子Ｐ１２ＥおよびＰ１１Ｆは、ビア導体Ｖ５０によって共通端子Ｐｃｏｍに接続されている。

なお、実施の形態５に係るマルチプレクサに含まれる分布定数フィルタは、実施の形態１に係る分布定数フィルタに限定されず、実施の形態１の変形例１～４、実施の形態２、ならびに実施の形態３および変形例に係る分布定数フィルタであってもよい。また、実施の形態５に係るマルチプレクサに含まれる分布定数フィルタの数は２に限定されず、３以上であってもよい。すなわち、実施の形態５に係るマルチプレクサは、デュプレクサおよびダイプレクサに限定されず、たとえばトリプレクサ、クアッドプレクサ、あるいはペンタプレクサを含む。さらに、分布定数フィルタ１Ｅ，１Ｆは、或る平面（たとえばＸＹ平面）上に並置されてもよいし、当該平面に直交する方向（たとえばＺ軸方向）に積層されてもよい。

以上、実施の形態５に係るマルチプレクサによれば、分布定数線路共振器の製造ばらつきによるマルチプレクサの特性の劣化を低減することができるとともに、低損失化を実現することができる。

なお、上記で説明した複数の分布定数線路を互いに接続するビア導体は、一体的に形成されている必要はない。複数の誘電体層の積層方向に隣接する２つの分布定数線路毎に当該２つの分布定数線路を互いに接続する導体が形成され、複数の分布定数線路の間隔毎に形成された複数の導体が全体として当該ビア導体を形成してもよい。当該複数の導体は、積層方向から平面視したときに完全に重なっている必要はなく、たとえば誘電体層毎に互い違いに当該導体の中心軸がずれていてもよい。

今回開示された各実施の形態は、矛盾しない範囲で適宜組み合わされて実施されることも予定されている。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１～３，１Ａ～１Ｆ，４ アンテナモジュール、５ デュプレクサ、１０ 分布定数フィルタ、１１～１４，１３１～１３４，１３１Ｅ～１３４Ｅ，１３１Ｆ～１３４Ｆ，１３１Ｂ，１３２Ａ，１３３Ａ，１３３Ｃ，１３４Ｂ，１３４Ｃ，２３１，２３１Ａ，２３２，３３１，３３２ 分布定数線路共振器、１００，２００，２００Ａ 誘電体基板、１２０，１２０Ｅ，１２０Ｆ 結合電極、１２１，１２２，２１１～２１４，２２１，２２１Ａ，２２２ 接地電極、１３１１，１３１２，１３２１，１３２２，１３３１，１３３２，１３４１，１３４２ 端部、１３１３，１３２３，１３３３，１３４３ 中間部、１４１～１４４，１４１Ｅ～１４４Ｅ，１４１Ｆ～１４４Ｆ，１４１Ｂ，１４２Ａ，１４３Ａ，１４３Ｃ，１４４Ｂ，１４４Ｃ，２４１，２４１Ａ，２４２，３４１，３４１Ａ，３４２，３４２Ａ 複数の分布定数線路、３４１１～３４１４，３４３１～３４３３ 分布定数線路、１５０ 接地導体部、ＢＦ１，ＢＦ２ 底面、Ｆ１１～Ｆ１４，Ｆ２１～Ｆ２４ 側面、Ｐ１１，Ｐ１１Ｅ，Ｐ１１Ｆ，Ｐ１２，Ｐ１２Ｅ，Ｐ１２Ｆ，Ｐ２１，Ｐ２２ 入出力端子、ＵＦ１，ＵＦ２ 上面、Ｖ１０～Ｖ１４，Ｖ１１Ｂ，Ｖ１１Ｅ～Ｖ１４Ｅ，Ｖ１１Ｆ～Ｖ１４Ｆ，Ｖ１２Ａ，Ｖ１３Ａ，Ｖ１３Ｃ，Ｖ１４Ｂ，Ｖ１４Ｃ，Ｖ２１，Ｖ２１Ａ，Ｖ２２，Ｖ３１，Ｖ３２，Ｖ５０ ビア導体。

Claims (11)

1. 接地されない複数の共振器と、
   第１方向において前記複数の共振器と対向する第１接地電極と、
   第１端子および第２端子とを備え、
   前記複数の共振器の各々は、分布定数線路共振器であり、
   前記複数の共振器の各々は、
   前記第１方向に積層された複数の分布定数線路と、
   前記第１方向に延在するビア導体とを含み、
   前記複数の分布定数線路の各々は、当該分布定数線路の両端部のうち一方端部のみにおいて前記ビア導体に接続され、
   前記複数の共振器は、前記第１方向および前記第１方向に直交する第２方向の各々に直交する第３方向において互いに対向する第１共振器および第２共振器を含み、
   前記第１共振器に含まれる前記複数の分布定数線路の各々の前記一方端部は、前記第１端子に電気的に接続され、
   前記第２共振器に含まれる前記複数の分布定数線路の各々の前記一方端部は、前記第２端子に電気的に接続され、
   前記第１共振器は、前記第１共振器の両端部において前記第２共振器とは反対側に屈曲し、
   前記第２共振器は、前記第２共振器の両端部において前記第１共振器とは反対側に屈曲している、分布定数フィルタ。
2. 前記複数の分布定数線路の各々の長さは、特定波長の１／２である、請求項１に記載の分布定数フィルタ。
3. 接地される第２接地電極をさらに備え、
   前記複数の共振器は、前記第１接地電極と前記第２接地電極との間に配置されている、請求項１または２に記載の分布定数フィルタ。
4. 前記第１接地電極および前記第２接地電極とを接続し、前記複数の共振器を囲むように配置された接地導体部をさらに備える、請求項３に記載の分布定数フィルタ。
5. 前記複数の分布定数線路の各々は、前記第２方向に延在し、
   前記第３方向における前記複数の共振器の各々の長さは、特定長さであり、
   前記複数の分布定数線路は、第１分布定数線路と、第２分布定数線路と、第３分布定数線路とを含み、
   前記複数の分布定数線路のうち、前記第１分布定数線路および前記第２分布定数線路以外の分布定数線路は、前記第１分布定数線路と前記第２分布定数線路との間に配置され、
   前記第３方向における前記第１分布定数線路および前記第２分布定数線路の各々の長さは、前記特定長さよりも短く、
   前記第３方向における前記第３分布定数線路の長さは、前記特定長さである、請求項１～４のいずれか１項に記載の分布定数フィルタ。
6. 前記複数の共振器の各々は、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とを接続する中間部とから形成され、
   前記中間部は、前記第２方向に延在し、
   前記第３方向における前記第１端部および前記第２端部の各々の長さは、前記第３方向における前記中間部の長さより長い、請求項１～４のいずれか１項に記載の分布定数フィルタ。
7. 前記第１共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数は、前記第２共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数と異なる、請求項１～６のいずれか１項に記載の分布定数フィルタ。
8. 前記複数の共振器は、前記第３方向において互いに対向する第３共振器および第４共振器をさらに含み、
   前記第３共振器の一方端部は、前記第１共振器の他方端部と前記第２方向において対向し、
   前記第４共振器の一方端部は、前記第２共振器の他方端部と前記第２方向において対向し、
   前記第３共振器は、前記第３共振器の他方端部において前記第４共振器の側に屈曲し、
   前記第４共振器は、前記第４共振器の他方端部において前記第３共振器の側に屈曲し、
   前記第３共振器の他方端部は、前記第４共振器の他方端部と対向している、請求項１～７のいずれか１項に記載の分布定数フィルタ。
9. 前記第３共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数は、前記第４共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数と異なる、請求項８に記載の分布定数フィルタ。
10. 前記第３共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数は、前記第１共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数および前記第２共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数の各々よりも多く、
    前記第４共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数は、前記第１共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数および前記第２共振器に含まれる複数の分布定数線路の積層数の各々よりも多い、請求項８または９に記載の分布定数フィルタ。
11. 請求項１～１０のいずれか１項に記載の複数の分布定数フィルタを備える、マルチプレクサ。

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