JP7230564B2 - 銅張積層板の製造方法 - Google Patents
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Description
第2発明の銅張積層板の製造方法は、第1発明において、前記銅めっき液中の銅濃度が15~70g/L、硫酸濃度が20~250g/L、塩素濃度が20~80mg/Lであることを特徴とする。
第3発明の銅張積層板の製造方法は、第1または第2発明において、前記電解めっきの電流密度が0.1~4.5A/dm2であることを特徴とする。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る方法により製造される銅張積層板1は、基材10と、基材10の表面に形成された銅めっき被膜20とからなる。図1に示すように基材10の片面のみに銅めっき被膜20を形成してもよいし、基材10の両面に銅めっき被膜20を形成してもよい。
めっき装置3は、ロールツーロールにより長尺帯状の基材10を搬送しつつ、基材10に対して電解めっきを行なう装置である。めっき装置3はロール状に巻回された基材10を繰り出す供給装置31と、めっき後の基材10(銅張積層板1)をロール状に巻き取る巻取装置32とを有する。
(試験1)
つぎの手順で、基材を準備した。ベースフィルムとして、厚さ35μmのポリイミドフィルム(宇部興産社製 Upilex-35SGAV1)を用意した。ベースフィルムをマグネトロンスパッタリング装置にセットした。マグネトロンスパッタリング装置内にはニッケルクロム合金ターゲットと銅ターゲットとが設置されている。ニッケルクロム合金ターゲットの組成はCrが20質量%、Niが80質量%である。真空雰囲気下で、ベースフィルムの片面に、厚さ250Åのニッケルクロム合金からなる下地金属層を形成し、その上に厚さ1,500Åの銅薄膜層を形成した。
試験1と同様の手順で基材を準備した。
つぎに、銅めっき液を調整した。レベラー成分としてヤヌス・グリーンB(東京化成工業株式会社製の試薬、以下同じ)を用いたほかは、試験1と同様の条件で銅めっき液を調整した。レベラー成分の濃度が異なる7種類の銅めっき液(レベラー成分の濃度:10、20、30、50、70、90、100mg/L)を調整した。これらを銅めっき液7~13と称する。
10 基材
11 ベースフィルム
12 金属層
13 下地金属層
14 銅薄膜層
Claims (3)
- 銅めっき液を用いた電解めっきにより、基材の表面に銅めっき被膜を成膜して銅張積層板を得る方法であって、
前記銅めっき液中のレベラー成分に含まれるN+の濃度が1.4~2.5mg/Lであり、
前記レベラー成分がヤヌス・グリーンBであり、
前記銅めっき被膜の再結晶時間が4日以上である
ことを特徴とする銅張積層板の製造方法。 - 前記銅めっき液中の銅濃度が15~70g/L、硫酸濃度が20~250g/L、塩素濃度が20~80mg/Lである
ことを特徴とする請求項1記載の銅張積層板の製造方法。 - 前記電解めっきの電流密度が0.1~4.5A/dm2である
ことを特徴とする請求項1または2記載の銅張積層板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019025046A JP7230564B2 (ja) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | 銅張積層板の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2020132921A JP2020132921A (ja) | 2020-08-31 |
JP7230564B2 true JP7230564B2 (ja) | 2023-03-01 |
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JP2019025046A Active JP7230564B2 (ja) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | 銅張積層板の製造方法 |
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JP (1) | JP7230564B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7343280B2 (ja) * | 2019-02-15 | 2023-09-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013159820A (ja) | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Nippon Mektron Ltd | 電気メッキ方法および電気メッキ装置 |
JP2016113645A (ja) | 2014-12-11 | 2016-06-23 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 |
WO2016208609A1 (ja) | 2015-06-26 | 2016-12-29 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性基板 |
JP2017031459A (ja) | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 |
JP2017066462A (ja) | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 銀コート銅粉の製造方法、及びそれを用いた導電性ペーストの製造方法 |
JP2017185690A (ja) | 2016-04-05 | 2017-10-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性基板、導電性基板の製造方法 |
JP2017185689A (ja) | 2016-04-05 | 2017-10-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性基板 |
JP2019167583A (ja) | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
JP2020011441A (ja) | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020012156A (ja) | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP2020084280A (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
JP2020084279A (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
-
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013159820A (ja) | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Nippon Mektron Ltd | 電気メッキ方法および電気メッキ装置 |
JP2016113645A (ja) | 2014-12-11 | 2016-06-23 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 |
WO2016208609A1 (ja) | 2015-06-26 | 2016-12-29 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性基板 |
JP2017031459A (ja) | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 |
JP2017066462A (ja) | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 銀コート銅粉の製造方法、及びそれを用いた導電性ペーストの製造方法 |
JP2017185690A (ja) | 2016-04-05 | 2017-10-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性基板、導電性基板の製造方法 |
JP2017185689A (ja) | 2016-04-05 | 2017-10-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 導電性基板 |
JP2019167583A (ja) | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
JP2020011441A (ja) | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020012156A (ja) | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP2020084280A (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
JP2020084279A (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
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JP2020132921A (ja) | 2020-08-31 |
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