JP7229749B2 - 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、記録媒体、および、情報処理システム - Google Patents

Description

情報処理装置、情報処理方法、プログラム、記録媒体、および、情報処理システムに関する。

半導体製造装置などの処理装置に対して遠隔操作を行う場合、インターフェースが用いられることがある。半導体の製造現場などにおいては、複数の処理装置が設置されているため、インターフェースによって、接続する処理装置を選択する必要がある。このような処理装置選択インターフェースでは、まず、接続先装置に関する情報として、機種名、装置名、設置場所等の個体を識別するための情報が文字で出力される。作業者は、前記識別情報を参考に接続先装置を決定し、当該装置に対して操作端末を接続する操作を行う、という手順が一般的であった。

前記の接続手順では、文字により詳細かつ厳密な情報が得られる反面、隅々まで目を通さずに接続する装置を選択してしまい、結果的に意図しない装置に接続してしまう場合があった。さらに、同じ装置が多数配置された環境では、接続後も同じような画面が表示されるため、装置名等の文字情報に注目しない限り誤接続に気付かないという問題があった。また、誤接続の認識がないまま操作が行われた場合、それ以前から装置を操作していた者が開始した処理を止めてしまう等、誤接続に起因するトラブルが発生する場合もあった。

上記の対策と成り得る技術として、装置の外観図により直感的に接続先を選択する技術が特許文献１に、接続した装置の状態に応じて操作画面のレイアウトを変更する技術が特許文献２に開示されている。

特開２００２－２６８７８３号公報 特許第５０５５０９９号

特許文献１、特許文献２の先行技術を用いた装置選択インターフェースは、それぞれの装置の外観や装置状態に明確な差異がある状況においては、誤接続に起因するトラブルの発生を抑える効果が見込めるものである。しかしながら、半導体の量産ラインでは、同じ機種である装置を多数配置し、かつ常に稼働状態となるように運用しており、装置の外観、状態ともに同様である場合が多い。そのため、前記文献に記載された技術を用いても各々の装置のＵＩ（ユーザインターフェース）に表示情報の目立った違いは生じず、半導体製造装置を遠隔操作する際の誤接続防止手段としては不十分であった。

本発明は、例えば、遠隔操作において、処理装置に対する作業者が意図しない操作を低減させる点で有利な情報処理装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、複数の処理装置と通信可能に接続され、複数の処理装置に対する操作を行う情報処理装置であって、複数の処理装置と情報処理装置との位置関係と、複数の処理装置の装置状態と、複数の処理装置に対する操作の制限に関する操作権限の情報とに基づき、複数の処理装置に対する操作の優先度を決定する決定手段を備える、ことを特徴とする。

本発明によれば、例えば、遠隔操作において、処理装置に対する作業者が意図しない操作を低減させる点で有利な情報処理装置を提供することができる。

第１実施形態に係る情報処理システムの主要な構成を示す構成図である。 半導体製造工場の装置配置の一例を示す図である。 位置情報に関する図である。 表示処理の一例を示すフロー図である。 操作権限の決定処理の一例を示すフロー図である。 動線に基づく位置情報の一例を説明する図である。 操作権限評価値の一例を示す図である。 装置選択ＵＩを説明する図である。 装置操作画面の一例を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳しく説明する。

〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る情報処理システム１００の主要な構成を示す構成図である。情報処理システム１００は、複数の処理装置２６と、操作端末２７としての情報処理装置と、を含む。

処理装置２６は、例えば、リソグラフィ装置（インプリント装置、露光装置、平坦化装置、または荷電粒子線描画装置等）、成膜装置、エッチング装置等の半導体製造装置でありうる。換言すると、処理装置２６は、例えば、リソグラフィ装置、成膜装置、エッチング装置等の半導体製造装置として構成されうる。それぞれの処理装置２６は、処理装置の各部を制御する制御部２６２を備えうる。

操作端末２７は、複数の処理装置２６から選択された少なくとも一の処理装置２６と通信可能に接続され、該処理装置２６を操作する。操作端末２７は、例えば、デスクトップ型のパーソナルコンピュータなどの設置位置が固定されている固定式であっても良いし、ノートパソコンやタブレット端末などの設置位置が可変となる移動式であっても良い。また、処理装置２６専用の操作端末であっても良い。なお、操作端末２７は処理装置２６の外部装置であればよく、これらに限定されるものではない。操作端末２７は、操作端末ＵＩ１、決定部２、位置管理部３、および、操作権限管理部４を備えうる。

操作端末ＵＩ１は、接続する処理装置２６の選択、および接続後の処理装置２６の操作を行うためのユーザインターフェース（ＵＩ）を備えている。操作端末ＵＩ１は、後述する優先度に基づいた処理装置２６の選択画面（装置選択画面）、および処理装置２６の操作画面を表示部５に表示させる制御を行う。装置選択画面および処理装置２６の操作画面にはグラフィカルユーザインターフェース（ＧＵＩ）、キャラクタユーザインタフェース（ＣＵＩ）が含まれうる。さらに、操作画面には、グラフィカルユーザインターフェースとキャラクタユーザインタフェースとを組み合わせたユーザインターフェースも含まれうる。

なお、本図において、表示部５は、操作端末２７の外部に備えられる構成としたが、操作端末２７がディスプレイなどの表示部５を備えていても良い。

決定部２は、操作端末２７と処理装置２６との位置関係（位置情報）と、処理装置２６の装置状態と、に基づき、複数の処理装置２６に対する操作の優先度（以下単に優先度と略す）を決定する。ここで、装置状態には、処理装置２６において、処理が開始されるのを待っている状態、処理が実行されている状態、および処理が中断されている状態などの状態が含まれ得る。また、装置状態には、処理装置２６において、初期化が行われている状態、処理がエラーにより停止している状態、およびメンテナンス作業が行われている状態が含まれ得る。

位置管理部３は、操作端末２７が固定式である場合、操作端末２７が設置されている位置を端末位置３１として管理しており、操作端末２７が移動式である場合、操作端末２７の現在位置を取得する。

操作権限管理部４は、処理装置２６の最新の装置状態を監視しており、操作端末２７が処理装置２６との接続後に得られる各処理装置２６に対する操作権限を特定し得る。操作権限は、操作の制限に関する情報であり、操作端末２７と処理装置２６との組み合わせにより定まる。操作権限によって、操作端末２７が処理装置２６に対して、どのようなコマンドを実行させることが許され得るかが決まる。言い換えると、操作権限は、操作端末２７の処理装置２６に対する操作の自由度（どのような操作が許可されるか）を示すものである。

ここで、作業者（操作者）が操作端末２７を介して、処理装置２６と接続を確立し、表示部５に処理装置２６を操作するための操作用画面が表示されるまでの処理の流れについて説明する。まず、作業者が処理装置２６の操作に先立ち、接続する処理装置２６を選択するための装置選択画面を起動させる操作を行う（Ｓ１０１）。操作端末ＵＩ１は、作業者の操作に基づき、装置選択画面を表示部５に表示させる。装置選択画面が起動した後、装置選択画面に表示する接続先の候補である処理装置２６（候補装置）の装置ＩＤ、および設置位置（候補装置情報１１）を読み出す。ここで、候補装置が存在する場合、操作端末ＵＩ１は、決定部２に対して候補装置の優先度を要求する（Ｓ１０２）。

決定部２は、操作端末２７の端末ＩＤを確認し、位置管理部３に対して当該端末が設置されている位置を位置管理部３に問い合わせる（Ｓ１０３）。位置管理部３は、操作端末２７の端末ＩＤと設置位置との関係を示す情報（端末位置３１）を参照し、当該端末の位置を決定部２へ返信する。（Ｓ１０４）なお、ここでは、操作端末２７の端末ＩＤを確認する構成としたが、端末ＩＤの確認は行わず、操作端末２７が設置されている位置のみを問い合わせる構成としても良い。この場合、例えば操作端末２７が固定式である場合、位置管理部３は、位置管理部３に記憶された操作端末２７の設置位置を決定部２へ返信する。また、操作端末２７が移動式である場合、位置管理部３は、操作端末２７の現在位置を取得し、取得された操作端末２７の現在位置を決定部２へ返信する。

さらに決定部２は、操作権限管理部４に対して操作端末２７のそれぞれの処理装置２６における操作権限を操作権限管理部４に問い合わせる（Ｓ１０５）。操作権限管理部４は、複数の処理装置２６それぞれの装置状態４１を参照し、操作権限の情報を決定部２へ返信する（Ｓ１０６）。続けて決定部２は、操作端末２７と処理装置２６との位置関係、および操作権限の情報から優先度を決定するための情報（優先度取得情報２０）を参照し、優先度を決定する。決定部２は、決定された優先度を操作端末ＵＩ１へと返信する（Ｓ１０７）。ここで、優先度は、操作端末２７と処理装置２６との位置関係に関する評価値と、接続後に付与される操作権限の強さ（操作の自由度の高さ）に関する評価値と、に基づき決定される。なお、候補装置が複数台ある場合、優先度要求（Ｓ１０２）と返信（Ｓ１０７）を台数分繰り返しても良いし、複数台分まとめて要求し返信する形にしても良い。

全ての候補装置に関して優先度を決定した後、操作端末ＵＩ１は、優先度と表示順決定情報１２を用いて、装置選択画面に表示する処理装置２６とその表示順とを決定する。なお、表示順決定情報１２は、複数の処理装置２６に確実に序列をつけるための情報である。表示順決定情報１２として、それぞれの評価値（操作端末２７と処理装置２６との位置関係に関する評価値、操作権限に関する評価値等。以下単に評価値と略す。）に対する重み付けや、序列の決定に関わる例外規定（接続禁止、優先接続等）を規定しておく。

続けて操作端末ＵＩ１は、表示順、評価値、ＵＩ表示仕様１３に従い、表示対象となる処理装置２６（表示対象装置）の表示仕様を決定し、該表示仕様に従い装置選択ＵＩ上に処理装置に関する情報を出力する。ここで、処理装置に関する情報とは、操作端末ＵＩ１によって、装置選択画面にグラフィックオブジェクトが表示される場合、表示対象装置を示すアイコンやボタンなどのグラフィックオブジェクトのことである。なお、処理装置に関する情報とは、表示対象装置を示すリストや文字であっても良い。

ＵＩ表示仕様１３は、操作端末ＵＩ１における表示仕様を規定したものである。ＵＩ表示仕様１３は、例えば、処理装置に関する情報の描画仕様、すなわち、処理装置に関する情報を表示する際の位置、大きさ、および色を規定したものである。ＵＩ表示仕様１３には、例えば、処理装置に関する情報の評価値と表示順に従った表示位置、大きさ、または、色等の変更について規定しておく。

以上により、装置選択ＵＩ、および装置選択後の表示部５に処理装置に関する情報は、操作端末２７と処理装置２６との位置関係、接続後に得られる操作権限に応じた表示仕様となる。これにより、同じ外観、同じ装置状態の装置であっても表示に違いを持たせる事が可能となり、作業者が意図しない装置との接続（誤接続）を低減することができる。

〔実施例１〕
以降に本発明の一実施例について説明する。図２は、半導体製造工場の装置配置の一例を示す図である。本図においては、エリア２１Ａにブロック２２Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆが配置され、エリア２１Ｂにブロック２２Ｇ、Ｈ、Ｉが配置されている。ブロック２２Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ内には、処理装置２６Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇがそれぞれ設置されており、さらにそれぞれの装置には組み込み型の操作端末である端末２６１Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇが設置されている。さらに、ブロック２２Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｉ内には、固定式の操作端末である端末２７Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｉがそれぞれ設置されている。また、ブロック２２Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ内には、移動式の操作端末である２７Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇがそれぞれ設置されている。

全てのブロックには、位置コード表示端末２８Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉがそれぞれ設置されている。ブロック２２Ｉには、位置コード表示端末２８に対し、設備位置の特定に用いる位置コードを定期的に配信する位置コード管理サーバ２９が設置されている。位置コード詳細については後述する。同一エリア内の設備（処理装置２６、操作端末２７、位置コード表示端末２８）は、エリア内ネットワーク２５（Ａ、Ｂ）に接続され、さらにルータ２４（Ａ、Ｂ）を介して基幹ネットワーク２３に接続されている。

各ブロックの位置は、ブロックＩＤとエリア内における位置とを関連付けて管理されている。図３（Ａ）は、ブロックの位置の管理の一例を示す図である。例えば、エリア２１Ａおよびエリア２１Ｂにおいて、行番号と列番号が割り振られている。この行番号と列番号により、それぞれのエリア内において、各ブロックの位置の特定が可能となる。また、設置位置が変化する移動式の操作端末の位置を管理するために、ブロックＩＤを示す位置コードが位置コード管理サーバ２９から位置コード表示端末２８へ定期的に配信される。図３（Ｂ）は、位置コードの一例を示す図である。位置コードは、位置コード管理サーバ２９によって、定期的に更新される。位置コードから移動式の操作端末が設置されているブロック、すなわち、移動式の操作端末の位置を特定できる構成としている。

次に図４を用いて、図２のシステムに対して図１に示した表示処理を適用する手順について説明する。図４は、表示処理の一例を示すフロー図である。まず、作業者によって、操作端末の装置選択ＵＩが起動されると、操作端末ＵＩ１は、対象操作端末の端末形式と候補装置情報１１を読み出す（Ｓ４０１）。ここで、端末形式は、操作端末が、処理装置に組み込まれた組み込み型端末、リモート操作用の固定式端末、リモート操作用の移動式端末の何れに該当するのかを示す。候補装置情報１１については、接続先の候補である処理装置の装置ＩＤ、設置位置（ブロックＩＤ）、ＩＰアドレスを含んだ情報とする。

次に、決定部２は、端末形式を判定する。まず、決定部２は、端末形式が組み込み型であるか否かを判定する（Ｓ４０２）。操作端末が組み込み型である場合（ＹＥＳ）、その操作端末が組み込まれた処理装置を接続対象装置として決定し、接続対象装置の接続へと移行する。一方、端末形式が組み込み型でない場合（ＮＯ）、すなわち、端末形式がリモート操作用である場合、固定式なのか移動式なのか判定する（Ｓ４０３）。ここで、端末形式が移動式である場合（ＹＥＳ）、位置管理部３は、位置コード表示端末２８へ位置コードを要求する。位置コード表示端末２８は、位置コード管理サーバ２９に対して最新の位置コードを要求し受信する。位置コード表示端末２８は受信した最新の位置コードを位置管理部３へと配信し、位置管理部３はこれを決定部へと返信する。これにより、位置管理部３はが操作端末の位置コードを取得する（Ｓ４０４）。なお、本実施例における位置コード表示端末２８は、ＰＣに位置コード要求ボタン、および位置コード表示領域を設けた単純なソフトウェアを実装し、ネットワーク経由で位置コード管理サーバから端末位置コードを取得する構成としている。

次に、位置管理部３は、取得した端末位置コードから操作端末の位置を取得する。位置管理部３は、位置コード管理サーバ２９から端末位置（ブロックＩＤ）を取得し、決定部２へと返信する（Ｓ４０５）。一方、端末形式が移動式ではない場合（Ｓ４０３、ＮＯ）、位置管理部３は、操作端末に記憶されている端末位置を読み出し、決定部２へと返信する（Ｓ４０６）。

以降、決定部２は、候補装置が接続先として妥当か否かを決定する処理、すなわち優先度を決定する処理を全ての候補装置に対して実施する。まず、決定部２は、優先度を決定する処理が実施されていない候補装置があるか否かを判定する（Ｓ４０７）。優先度を決定する処理が実施されていない候補装置がある場合、決定部２は、優先度決定の対象となる処理装置（評価対象装置）に対して、端末位置を用いて、接続が確立した後に得られる操作権限の情報を問い合わせる（Ｓ４０８）。

ここで、処理装置側で実行する操作権限の決定に関して図５を用いて説明する。図５は、操作権限の決定処理の一例を示すフロー図である。このフローチャートで示す各動作（ステップ）は、装置内部の制御部２６２よって実行されうる。制御部２６２は、問い合わせ元である操作端末に付与できる操作権限を特定するに当たり、まず、問い合わせ元の操作端末が設置されている位置のエリアＩＤとブロックＩＤを取得する（Ｓ５０１）。取得されるエリアＩＤとブロックＩＤは、問い合わせメッセージに含めても良いし、端末ＩＤなどの情報から引き当てるための変換テーブルを設ける等しても良い。

次に、取得された操作端末のエリアＩＤ、ブロックＩＤと、自装置の設置位置のエリアＩＤ、ブロックＩＤを比較し、操作端末～処理装置間の距離を位置情報として求める。処理装置と操作端末とが異なるエリアに存在していた場合（Ｓ５０２、不一致）、ブロック間距離に別エリアである事を示す特殊な数値（本実施例では－１）をセットする（Ｓ５０３）。同一エリアに存在していた場合（Ｓ５０２、一致）、さらに処理装置と操作端末のブロックＩＤを比較する（Ｓ５０４）。処理装置と操作端末とが異なるブロックであった場合（Ｓ５０４、不一致）、図３（Ａ）に示した各ブロックの行番号、列番号をＸＹ座標に見立て、１ブロックを単位とした距離を求める（Ｓ５０５）。

処理装置と操作端末とが同じブロックであった場合（Ｓ５０４、一致）、ブロック間距離に０をセットする（Ｓ５０６）。なお、本実施例においては、操作端末と処理装置の間の直線的な距離を位置情報として用いるが、操作端末と処理装置の間を移動するのに必要な動線の距離を位置情報として用いても良い。図６は、動線に基づく位置情報の一例を説明する図である。ブロック２２Ｅとブロック２２Ｆとの間に壁６０が存在し、評価対象装置がブロック２２Ｄに設置されている場合を例として説明する。例えば、同じブロックであるブロック２２Ｄには、０の数値を設定する。ブロック２２Ｄを基準とした最短の移動距離の長さに応じた数値を各ブロックに設定する。具体的には、ブロック２２Ｄに隣接するブロック２２Ｅ、Ａには１、ブロック２２Ｂは２、ブロック２２Ｃは３、ブロック２２Ｆは４を設定する。このようにすることで、動線の距離を位置情報として用いることも可能である。なお、移動するのに必要な時間もファクターとした距離を位置情報として用いても良い。

図５に戻り、制御部２６２は、最新の装置状態を取得し（Ｓ５０７）、取得した装置状態を事前に登録しておいた不可視の例外状態と比較する（Ｓ５０８）。ここで、処理装置の装置状態が例外状態にあるか否かを判定する（Ｓ５０８）。装置が例外状態にある場合（ＹＥＳ）、例外状態に応じた操作権限の情報を応答内容にセットする（Ｓ５０９）。なお、ここで例外状態とは、例えば、装置内に作業者が立ち入りメンテナンス作業を行っている状態など、装置側で特殊な作業を実施している状態である。Ｓ５０９は、このような作業を実施している状態を想定したものであり、操作端末の位置によらず外部からの接続要求を遮断したい場合等に相応の操作権限の情報を返信する事が目的である。装置状態が例外状態ではない場合（Ｓ５０８、ＮＯ）、取得された位置情報、および装置状態に基づいた操作権限の情報を応答内容にセットする（Ｓ５１０）。

なお、ここで操作権限の情報には、少なくとも、現在の装置状態、優先接続端末の有無、操作権限評価値を含む。操作権限評価値は、問い合わせ元の操作端末が接続した場合に得られる操作の自由度を数値化したものであり、装置状態と端末位置との組み合わせ毎に装置コマンドの実行可否を規定したものである。

図７は、操作権限評価値の一例を示す図である。本実施例では、多数の装置コマンドを装置に与える影響の大きさに着目して５つに分類し、各々の装置コマンド群に対する実行可否を規定している。なお、装置状態の変化に伴い、装置コマンドの実行可否も変化するため、問い合わせを受けた時点で最新の装置状態に基づいた操作権限評価値を算出する必要がある。

再び図４に戻り、決定部２は、取得した操作権限の情報を用いて評価対象装置の優先度を決定する（Ｓ４０９）。なお、優先度を決定する際、取得した情報をそのまま利用せず、特定の情報、例えば距離に重みを付け特定装置の扱いを変える等の補正を実施しても良い。決定部２は、評価対象装置の優先度を決定した後、再び優先度を決定する処理が実施されていない候補装置があるか否かを判定する（Ｓ４０７）。優先度を決定する処理が実施されていない候補装置があると判断された場合（Ｓ４０７、あり）、決定部２は、Ｓ４０８～４０９を繰り返す。優先度を決定する処理が実施されていない候補装置がないと判断された場合（Ｓ４０７、なし）、それぞれの装置の優先度に基づいて接続先候補装置リストを生成する（Ｓ４１０）。接続先候補装置リストは、優先度でソートされる。

次に、決定部２は、生成された接続先候補リスト内に装置選択ＵＩに表示されていない表示対象装置があるか否かを判定する（Ｓ４１１）。表示されていない表示対象装置がある場合（Ｓ４１１、あり）、決定部２は、それら装置の中で優先度が最も低い装置を検索する。操作端末ＵＩ１は、当該装置に応じたＵＩ表示仕様に従い、当該装置を選択するためのグラフィックオブジェクトを表示部５に表示させる（Ｓ４１２）。

なお、ここで表示対象装置とは、優先度が一定の水準を超えており、かつ接続先候補リスト内で一定以上の優先順位となっている装置を意味する。これは、表示スペースに見合った台数しか表示部５に表示できない事、および優先度が一定の水準よりも低い装置はそもそも表示されないようにし、作業者による誤選択を低減させるためである。さらに、Ｓ４１２について、図８を用いて補足する。図８は、装置選択ＵＩを説明する図である。図８（Ａ）は、装置選択ＵＩ画面の一例を示す図である。本実施例の装置選択ＵＩでは、優先度毎の表示仕様に従い、選択肢となる表示対象装置を示すグラフィックオブジェクトが表示部５に表示される。

図８（Ｂ）は、優先度毎の表示仕様の一例を示す図である。本実施例ではグラフィックオブジェクトの形状や配置パターン単純にしているため、表示仕様としてはオブジェクトの表示原点座標（位置）、表示サイズ（大きさ）、色の３データとなっている。操作端末ＵＩ１は、優先度に応じてグラフィックオブジェクトの位置、大きさ、及び色の少なくとも１つを変更して表示部５に表示させる。表示原点座標は、例えば、優先度が高いものほど、より手前に見える（重なりの上側になる）座標となるように規定されており、操作端末ＵＩ１は、優先度が高いグラフィックオブジェクトを手前に表示させる。

表示サイズは、例えば、優先度が高いものほど、より大きく見えるように、すなわち、表示画面において専有面積が大きくなるように規定されており、操作端末ＵＩ１は、優先度が高いグラフィックオブジェクトの大きさを大きくして表示部５に表示させる。

色は、例えば、優先度が高いものほど、背景との違いが顕著でかつ不安を与える色相を避けた色となるように規定される。なお、不安を与える色相とは赤、黄色等の警告に用いられる色であり、逆の色相である緑、青等が安心感を得られる色である。なお、色の色相、彩度、及び明度の少なくとも１つを優先度に応じて変更するように規定しても良い。この場合、操作端末ＵＩ１は、優先度に応じて表示対象装置を示すグラフィックオブジェクトの色の色相、彩度、及び明度の少なくとも１つを変更して表示部５に表示させても良い。例えば、優先度が高いものほど明度を高く表示させても良い。明度が高いほど、目立ちやすくなり、作業者により選択されやすい。表示原点座標、サイズ、色の組み合わせにより、接続先としてより妥当な装置が物理的にも心理的にも選択されやすい装置選択ＵＩを生成する。

さらに、同じ表示順であっても、優先度の絶対値による違いを表現するために、表示色（図８（Ｂ）にて規定した色）の補正値を規定しておく。図８（Ｃ）は、補正値の一例を示す図である。優先度から該当する評価値ランクを求め、当該ランクの表示色補正値を取得し、前記表示色の数値に加算する。具体的には、優先度の絶対値が高いほど鮮やかになり、低いほど背景色に近づいて行くような色補正となるように規定しておく。なお、本実施例では、オブジェクトの形状や色、補正方法も単純なものとしているが、本発明の趣旨から外れない範囲で、オブジェクトの形状やテクスチャーの変更、あるいは３Ｄ効果を適用する等、必要に応じてより複雑な表示仕様を用いても良い。

なお、ここでは処理装置に関する情報としてグラフィックオブジェクトを例にして説明したが、処理装置に関する情報はリストや文字等であっても良い。リストや文字等である場合も同様に、操作端末ＵＩ１は優先度に応じて表示する位置、大きさ、及び色の少なくとも１つを変更して表示部５に表示させる。

表示すべき全ての装置を装置選択ＵＩに表示した後（Ｓ４１１、なし）、接続先装置が選択されるのを待つ（Ｓ４１３）。接続先装置選択後、選択された処理装置に接続し（Ｓ４１４）、操作端末ＵＩ１は、当該装置を操作するための画面を表示部５に表示する（Ｓ４１５）。

なお、処理装置との接続が確立した後の装置操作画面においても、優先度を反映した表示を行っても良い。図９は、装置操作画面の一例を示す図である。本装置操作画面では、優先度を星の数で表現する領域を設け、操作画面の色についても優先度に基づいた色（優先度が低いほど背景との差がなくなり見づらくなる表示仕様）としている。具体的には、優先度が高いほど明度を高くして表示させ、反対に優先度が低いほど、明度を低くしている。このようにすることにより、接続が確立した後においても現在操作中の処理装置の優先度を把握することが可能となり、誤接続が発生した場合でも、接続確立後に作業者が誤接続に気づくことができ、作業者が意図しない操作を低減することが可能となる。なお、ここでは、優先度に基づき色を変更する仕様としたが、優先度に基づき、操作画面サイズを変更しても良い。

以上により、操作端末のより近くに位置し、操作の自由度が高い装置ほど選択されやすい装置選択ＵＩを提供することが可能となる。

（その他の実施形態）
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形、および変更が可能である。例えば、１台の処理装置が複数の処理部を有するクラスタ型である場合、決定部２は、処理部毎に優先度を決定する。また、上記実施例では、処理装置が半導体製造装置であるものとして説明を行ったが、ライン製造に用いられる物品の製造装置を処理装置として用いても良い。

また、本発明における制御の一部または全部を上述した実施例の機能を実現するコンピュータプログラムをネットワーク又は各種記憶媒体を介して情報処理装置に供給するようにしてもよい。そしてその情報処理装置におけるコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行するようにしてもよい。その場合、そのプログラム、及び該プログラムを記憶した記憶媒体は本発明を構成することとなる。

１ 操作端末ＵＩ
２ 決定部
３ 位置管理部
４ 操作権限管理部
２６ 処理装置
２７ 操作端末
１００ 情報処理システム

Claims (13)

1. 複数の処理装置と通信可能に接続され、前記複数の処理装置に対する操作を行う情報処理装置であって、
   前記複数の処理装置と前記情報処理装置との位置関係と、前記複数の処理装置の装置状態と、前記複数の処理装置に対する前記操作の制限に関する操作権限の情報とに基づき、前記複数の処理装置に対する前記操作の優先度を決定する決定手段を備える、ことを特徴とする情報処理装置。
2. ユーザインターフェースを含む画面を表示手段に表示させる制御手段を備え、
   前記制御手段は、前記優先度に基づき、前記処理装置に関する情報を表示させる、ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
3. 前記制御手段は、前記処理装置との接続を確立させる前に前記処理装置に関する情報を前記表示手段に表示させる、ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
4. 前記制御手段は、前記処理装置との接続が確立した後に前記処理装置に関する情報を前記表示手段に表示させる、ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
5. 前記制御手段は、前記優先度に応じて前記処理装置に関する情報の位置、大きさ、及び色の少なくとも１つを変更して前記表示手段に表示させる、ことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
6. 前記制御手段は、前記優先度が高い前記処理装置に関する情報の大きさを大きくして前記表示手段に表示させる、ことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
7. 前記制御手段は、前記優先度に応じて前記処理装置に関する情報の色の色相、彩度、及び明度の少なくとも１つを変更して前記表示手段に表示させる、ことを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
8. 前記処理装置に関する情報は、グラフィックオブジェクトである、ことを特徴とする請求項２乃至７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
9. 前記複数の処理装置は、リソグラフィ装置を含む、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の情報処理装置。
10. 複数の処理装置と通信可能に接続され、前記複数の処理装置に対する操作を行う情報処理装置のための情報処理方法であって、
    前記複数の処理装置と前記情報処理装置との位置関係と、前記複数の処理装置の装置状態と、前記複数の処理装置に対する前記操作の制限に関する操作権限の情報とに基づき、前記複数の処理装置に対する前記操作の優先度を決定する、ことを特徴とする情報処理方法。
11. コンピュータを、請求項１乃至９の何れか１項に記載の情報処理装置の各手段として機能させるためのコンピュータプログラム。
12. 請求項１１に記載のコンピュータプログラムを記憶したコンピュータで読み取り可能な記憶媒体。
13. 複数の処理装置と、前記複数の処理装置と通信可能に接続され、前記複数の処理装置に対する操作を行う情報処理装置と、を含む情報処理システムであって、
    前記情報処理装置は、前記複数の処理装置と前記情報処理装置との位置関係と、前記複数の処理装置の装置状態と、前記複数の処理装置に対する前記操作の制限に関する操作権限の情報とに基づき、前記複数の処理装置に対する前記操作の優先度を決定する決定手段を備える、ことを特徴とする情報処理システム。
    

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